CN106698022B - 一种基板传送装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基板传送装置及方法，所述基板传送装置包括：第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送。因此，本发明有效减少了双辊的使用数量，且不再使用导向轮，其简化了结构，降低异常发生概率；另外，双辊与导轨电连接，且导轨做接地处理，因此能及时有效地传导基板上的静电，防止产品静电释放炸伤。

Description

一种基板传送装置及方法

【技术领域】

本发明涉及移动显示器制造技术领域，特别涉及一种基板传送装置及方法。

【背景技术】

在TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)基板制作过程中，需要使用各种湿式机台进行清洗、刻蚀、显影等制程，这些湿式机台通常包含干式传送单元，药液单元，水洗单元，以及对玻璃基板干燥的AK(air knife，空气刀)单元等；在这些单元中，为了保证基板传送过程中不会因为水流、气流的变化而产生跳动，各单元基板前进方向的两侧固定距离均安装有double roller(双辊)和guide roller(导向轮)，以保证基板传送的稳定性，防止基板发生跳动或者方向偏移。

在实践中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

在实际使用过程中，容易发生double roller(双辊)或者Guide roller gap(导辊间隙)异常以及形变的问题，而gap(间隙)异常或形变容易造成破片发生，严重影响生产的顺利进行。另外，现有的机台使用过程中，因为基板本身带电，传送时与Roller(滚筒)摩擦带电，药液或者水与Nozzle(喷嘴)摩擦带电等问题，常常造成产品静电炸伤，严重影响产品良率。

故，有必要提出一种新的技术方案，以解决上述技术问题。

【发明内容】

本发明的目的在于提供一种基板传送装置及方法，其能简化结构，降低异常发生概率；另外，能及时有效地传导基板上的静电，防止产品静电释放炸伤。

为解决上述问题，本发明的技术方案如下：

本发明实施例提供了一种基板传送装置，所述基板传送装置包括：

第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；

第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；

第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；

第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；

其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

第三双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接，且与所述第一双辊间隔设置；

第四双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接，且与所述第二双辊间隔设置；

其中，利用所述第三双辊和所述第四双辊将基板固定传送。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

传送单元，所述基板位于所述传送单元上，用于传送所述基板。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、所述第四双辊分别位于所述基板的四个角边。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述第一双辊和所述第二双辊分别位于所述基板的对角边。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

双辊控制单元，用于控制所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊均与所述传送单元的传输速率同步。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述基板传送装置还包括：

传送控制单元，用于控制所述传送单元均与所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊的传输速率同步。

进一步的，在所述基板传送装置中，所述双辊控制单元与所述传送控制单元集成在同一模块中。

本发明实施例还提供了一种包括上面所述的基板传送装置的基板传送方法，包括以下步骤：

将基板放置在传送单元上；

对所述传送单元以及第一双辊和第二双辊进行通电；

向所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊输出控制指令；

根据所述控制指令，控制所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。

进一步的，在所述基板传送方法中，所述基板传送方法，还包括：

对第三双辊和第四双辊进行通电；

向所述第三双辊和所述第四双辊输出所述控制指令；

根据所述控制指令，控制所述第三双辊和第四双辊与所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。

相对现有技术，本发明实施例提供的基板传送装置及方法，所述基板传送装置包括：第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送。因此，本发明有效减少了double roller(双辊)的使用数量，且不再使用guide roller(导向轮)，其简化了结构，降低异常发生概率；另外，双辊与导轨电连接，且导轨做接地处理，因此能及时有效地传导基板上的静电，防止产品静电释放炸伤。

为让本发明的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。

【附图说明】

图1为本发明实施例一提供的基板传送装置的一结构示意图。

图2为本发明实施例一提供的基板传送装置的另一结构示意图。

图3为本发明实施例二提供的基板传送装置的结构示意图。

图4为本发明实施例三提供的基板传送装置的结构示意图。

图5为本发明实施例提供的基板传送装置的结构示意图。

图6为本发明实施例四提供的基板传送方法的实现流程示意图。

【具体实施方式】

本说明书所使用的词语“实施例”意指用作实例、示例或例证。此外，本说明书和所附权利要求中所使用的冠词“一”一般地可以被解释为意指“一个或多个”，除非另外指定或从上下文清楚导向单数形式。

实施例一

请参阅图1及图2，为本发明实施例提供的基板传送装置的结构示意图。为了便于说明，仅示出了与本发明实施例相关的部分。

所述基板传送装置包括：第一导轨10、第二导轨20、第一双辊11、以及第二双辊21；其中，所述第一导轨10接地，以释放静电；所述第二导轨20接地，以释放静电。所述第一双辊11位于所述第一导轨10上，并与所述第一导轨10电性连接；所述第二双辊21位于所述第二导轨20上，并与所述第二导轨20电性连接。其中，所述第一导轨10与所述第二导轨20并排设置，利用所述第一双辊11和所述第二双辊21将基板30固定传送。

优选的，所述第一导轨10与所述第二导轨20的间距为所述基板30的宽度。这样，所述第一双辊11和所述第二双辊21恰好能夹住基板30，而不会存在空隙。因此，能有效固定基板，以使基板在传送过程中不会因为水流、气流的变化而产生跳动，以保证基板传送的稳定性，防止基板发生跳动或者方向偏移。

作为本发明一实施例，所述第一双辊11和所述第二双辊21分别位于所述基板的对角边。当基板向前方传送时，能有效通过对角边设置的所述第一双辊和所述第二双辊来夹住基板，以进行固定基板，以使基板在传送过程中不会因为水流、气流的变化而产生跳动，以保证基板传送的稳定性，防止基板发生跳动或者方向偏移。

在本发明实施例中，所述基板传送装置还包括：传送单元、双辊控制单元、以及传送控制单元。其中，所述基板30位于所述传送单元上，用于传送所述基板。该传送单元可以为Roller(滚筒)，基板放置在Roller(滚筒)上，跟随Roller(滚筒)的滚动而一起向前移动。

所述双辊控制单元，用于控制所述第一双辊11和所述第二双辊与所述传送单元的传输速率同步。

所述传送控制单元，用于控制所述传送单元均与所述第一双辊和所述第二双辊的传输速率同步。

然而，可以理解的是，所述双辊控制单元与所述传送控制单元可以集成在同一模块中。

在本实施例中，所述基板传送装置是设置在封闭的容纳室100内，如图5所示。

在运行过程中，所述第一双辊11和所述第二双辊21稳固住基板30，并随基板30前进的方向在相应的导轨上移动。另外，因为基板本身带电，传送时与传送单元摩擦带电，但由于双辊与导轨电连接，且导轨做接地处理，因此能及时有效地传导基板上的静电，防止产品静电释放炸伤。

实施例二

请参阅图3，为本发明实施例二提供的基板传送装置的结构示意图。本实施例二与本实施例一的区别在于：

所述第一双辊位于所述基板一侧的中间位置处，所述第二双辊位于所述基板另一侧的中间位置处，其中，所述基板一侧与所述基板另一侧相对设置。同样的，当基板向前方传送时，能有效通过所述第一双辊和所述第二双辊，以进行固定基板，以使基板在传送过程中不会因为水流、气流的变化而产生跳动，以保证基板传送的稳定性，防止基板发生跳动或者方向偏移。

实施例三

请参阅图4，为本发明实施例三提供的基板传送装置的结构示意图。本实施例三与本实施例一的区别在于：

所述基板传送装置还包括：第三双辊12、以及第四双辊22。

所述第三双辊12位于所述第一导轨10上，并与所述第一导轨10电性连接，且与所述第一双辊11间隔设置。所述第四双辊22位于所述第二导轨20上，并与所述第二导轨20电性连接，且与所述第二双辊21间隔设置；其中，利用所述第三双辊12和所述第四双辊22将基板固定传送。

其中，所述第一双辊11与所述第三双辊12之间的间距为基板30的长度，所述第二双辊21与所述第四双辊22之间的间距为基板30的长度。这样更能确保基板30在传送过程中，不会发生偏移。

然而，可以理解的是，同一侧的双辊之间的间距并不限于在基板30的长度范围内，只要能稳固基板的合适间距，即凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

优选的，所述第一双辊11、所述第二双辊21、所述第三双辊12、所述第四双辊22分别位于所述基板30的四个角边。当基板向前方传送时，能有效通过四个角边设置的所述第一双辊和所述第二双辊以及所述第三双辊12和所述第四双辊22，以进行固定基板，以使基板在传送过程中不会因为水流、气流的变化而产生跳动，以保证基板传送的稳定性，防止基板发生跳动或者方向偏移。

然而，可以理解的是，双辊的数量可根据实际需求来进行设定，并不限于上述的二个或者四个。

请参阅图6，为本发明实施例四提供的基板传送方法的实现流程示意图。

所述基板传送方法，包括以下步骤：

在步骤S101中，将基板放置在传送单元上；

在步骤S102中，对所述传送单元以及第一双辊和第二双辊进行通电；

在步骤S103中，向所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊输出控制指令；

在步骤S104中，根据所述控制指令，控制所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。

作为本发明一优选实施例，当所述基板传送装置还包括第三双辊12以及第四双辊22时，所述基板传送方法，还包括：

对第三双辊和第四双辊进行通电；

向所述第三双辊和所述第四双辊输出所述控制指令；

根据所述控制指令，控制所述第三双辊和第四双辊与所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。

综上所述，本发明实施例提供的基板传送装置及方法，所述基板传送装置包括：第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送。因此，本发明有效减少了double roller(双辊)的使用数量，且不再使用guide roller(导向轮)，其简化了结构，降低异常发生概率；另外，双辊与导轨电连接，且导轨做接地处理，因此能及时有效地传导基板上的静电，防止产品静电释放炸伤。

尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本发明，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本发明包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件执行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结构上与执行本文所示的本说明书的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本说明书的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (9)

1.一种基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置是设置在封闭的容纳室内，所述基板传送装置包括：

第一导轨，所述第一导轨接地，以释放静电；

第二导轨，所述第二导轨接地，以释放静电；

第一双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接；

第二双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接；

其中，所述第一导轨与所述第二导轨并排设置，利用所述第一双辊和所述第二双辊将基板固定传送；所述第一导轨与所述第二导轨的间距为所述基板的宽度；所述基板传送装置还包括传送单元用于传送所述基板，所述基板位于所述传送单元上；所述第一双辊和所述第二双辊稳固住所述基板，并随所述基板前进的方向在相应的第一导轨及第二导轨上移动。

2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括：

第三双辊，位于所述第一导轨上，并与所述第一导轨电性连接，且与所述第一双辊间隔设置；

第四双辊，位于所述第二导轨上，并与所述第二导轨电性连接，且与所述第二双辊间隔设置；

其中，利用所述第三双辊和所述第四双辊将基板固定传送。

3.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、所述第四双辊分别位于所述基板的四个角边。

4.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述第一双辊和所述第二双辊分别位于所述基板的对角边。

5.根据权利要求2所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括：

双辊控制单元，用于控制所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊均与所述传送单元的传输速率同步。

6.根据权利要求5所述的基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置还包括：

传送控制单元，用于控制所述传送单元均与所述第一双辊、所述第二双辊、所述第三双辊、以及所述第四双辊的传输速率同步。

7.根据权利要求6所述的基板传送装置，其特征在于，所述双辊控制单元与所述传送控制单元集成在同一模块中。

8.一种包括权利要求1至7任一项所述的基板传送装置的基板传送方法，其特征在于，包括以下步骤：

将基板放置在传送单元上；

对所述传送单元以及第一双辊和第二双辊进行通电；

向所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊输出控制指令；

根据所述控制指令，控制所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。

9.根据权利要求8所述的基板传送方法，其特征在于，所述基板传送方法，还包括：

对第三双辊和第四双辊进行通电；

向所述第三双辊和所述第四双辊输出所述控制指令；

根据所述控制指令，控制所述第三双辊和第四双辊与所述传送单元以及所述第一双辊和所述第二双辊以相同的传输速率同步传送。