JP4149935B2 - 平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置 - Google Patents
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Description
4 基板移送用軸
6 駆動軸
8 移送ローラ
10 流体噴射口
12 ノズル部
14 ベース部
16 溝部
32 第1圧力気体発生手段
34 第2圧力気体発生手段
38 支持台
40、42 ローラー
Claims (8)
- 基板を処理する作業が行われる作業空間と、
前記作業空間内に設置されて、前記基板を支持及び運送するためにモータなどの駆動手段から回転力の伝達を受けて回転する複数の基板移送用軸と、
前記基板移送用軸下端の少なくとも1ヶ所に提供された、前記軸の曲がり防止手段と、
を含み、
前記軸の曲がり防止手段は、前記基板移送用軸に向かって流体を噴射する流体噴射口であり、前記軸と互いに同一の極性を有し、
前記流体噴射口は、前記基板移送用軸の上下左右方向に流体を噴射する4個のノズルを含み、
前記上下方向に設置されるノズルは第1流体供給源と連結され、
前記左右方向に設置されるノズルは第2流体供給源と連結され、
前記基板移送用軸が上下または左右方向に曲がる時に、前記第1または第2流体供給源の流体噴射圧を調節して平衡状態を維持させることを特徴とする平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。 - 前記流体噴射口は、前記基板移送用軸の下端部に流体を噴射する一つ以上のノズルを含むことを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。
- 前記流体噴射口は、前記基板移送用軸の全表面に向かって流体を噴射することを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。
- 前記曲がり防止手段は、前記基板移送用軸の長さ方向に対して中央部分に設置されることを特徴とする請求項1に記載の平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。
- 基板処理のための作業空間と、
前記作業空間内に設置されて前記基板を支持及び運送する複数の基板移送用軸と、
前記基板移送用軸を回転させるための駆動手段と、を含み、
前記基板移送用軸下端の少なくとも1ヶ所には、該軸が曲がるのを防止するために該軸に向かって流体を噴射する流体噴射口が設置され、
前記流体噴射口は、前記基板移送用軸の上下、左右方向に流体を噴射する4個のノズルを含み、前記軸と互いに同一の極性を有し、
前記ノズルは、異なる流体供給源に連結されて流体供給源の流体噴射圧を調節することを特徴とする平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。 - 前記流体噴射口は、前記基板移送用軸の下端部から上端部側に流体を噴射する一対のノズルを含むことを特徴とする請求項5に記載の平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。
- 前記流体噴射口は、前記基板移送用軸の表面全体に向かって流体を噴射することを特徴とする請求項5に記載の平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。
- 前記基板移送用軸の曲がりを防止する手段は、前記基板移送用軸の長さ方向に対して中央部分に設置されることを特徴とする請求項5に記載の平板ディスプレイ用基板処理システムの基板移送装置。
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