JP2002321820A5 - - Google Patents

Description

【００２４】
このような構成によれば、例えば少なくとも２つの支持部材が基板に対して当接しないで、基板の温度とほぼ同一温度に調整された流体又は気体の噴出圧力により基板を支持するので、基板情報に関わらず、転写跡を残すことなく基板の搬送を行うことができる。
本発明の一の形態によれば、前記駆動部は、搬送する基板の製品領域の面取り数の情報に基づいて選択的に昇降駆動されることを特徴とする。
本発明の一の形態によれば、前記第１のローラと前記第２のローラとは、製品領域の異なる基板の製品領域以外でかつ製品領域の間の領域をそれぞれ支持するように配置されていることを特徴とする。
本発明の一の形態によれば、前記第２のローラは、内部に形成されたリング状の空間及び前記複数の噴出孔を介して流体または気体を噴出させるように構成され、前記遮蔽部材は前記リング状の空間に遊挿され、円弧状の形状を有することを特徴とする。

Claims (12)

1. 基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも１対の搬送ローラと、
   基板の裏面側で昇降可能に配置され、基板を支持し前記１対の搬送ローラとともに回転する第１のローラと、
   基板の裏面側で昇降可能に配置され、基板を支持し前記１対の搬送ローラとともに回転する、前記第１のローラとは別の第２のローラと、
   前記第１のローラと前記第２のローラとを選択的に昇降させる駆動部と
   を具備することを特徴とする搬送装置。
2. 請求項１に記載の搬送装置において、
   前記第１のローラ又は第２のローラのうち少なくとも一方は、表面から流体又は気体を噴出させる手段を具備し、基板を非接触状態で支持することを特徴とする搬送装置。
3. 請求項２に記載の搬送装置において、
   前記流体又は気体の温度を基板の温度とほぼ同一に調整する手段を更に具備することを特徴とする搬送装置。
4. 基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも１対の搬送ローラと、
   基板の裏面側で昇降可能に配置され、基板を支持し前記１対の搬送ローラとともに回転する第１のローラと、
   基板の裏面側に配置され、流体又は気体を噴出させることにより基板を非接触状態で支持する支持部材と、
   前記流体又は気体の温度を基板の温度とほぼ同一に調整する手段と
   を具備することを特徴とする搬送装置。
5. 請求項４に記載の搬送装置において、
   前記支持部材は、前記１対の搬送ローラとともに回転する第２のローラであり、
   この第２のローラは、
   前記流体又は気体を噴出させるための複数の噴出孔と、
   回転により基板裏面に対向しなくなった前記複数の噴出孔のうち少なくとも１つを遮蔽する遮蔽部材と
   を具備することを特徴とする搬送装置。
6. 請求項５に記載の搬送装置において、
   前記遮蔽部材は、前記第２のローラ内部に配置され、前記基板裏面に対向しなくなった前記複数の噴出孔のうち少なくとも１つを自重により常に遮蔽していることを特徴とする搬送装置。
7. 請求項６に記載の搬送装置において、
   前記遮蔽部材は、前記複数の噴出孔の各々の径より大きい径を有するボール体であることを特徴とする搬送装置。
8. 基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも１対の搬送ローラと、
   基板の裏面側に配置され、流体又は気体を噴出させることにより基板を非接触状態で支持する少なくとも２つの支持部材と、
   前記流体又は気体の温度を基板の温度とほぼ同一に調整する手段と
   を具備することを特徴とする搬送装置。
9. 基板の両端を支持するとともに回転により基板を搬送させる少なくとも１対の搬送ローラと、
   基板の裏面側で昇降可能に配置され、流体又は気体を噴出させることにより基板を非接触状態で支持する第１の支持部材と、
   基板の裏面側で昇降可能に配置され、流体又は気体を噴出させることにより基板を非接触状態で支持する、前記第１の支持部材とは別の第２の支持部材と、
   前記第１の支持部材と前記第２の支持部材とを選択的に昇降させる駆動部と
   を具備することを特徴とする搬送装置。
10. 前記駆動部は、搬送する基板の製品領域の面取り数の情報に基づいて選択的に昇降駆動されることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
11. 前記第１のローラと前記第２のローラとは、製品領域の異なる基板の製品領域以外でかつ製品領域の間の領域をそれぞれ支持するように配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の搬送装置。
12. 前記第２のローラは、内部に形成されたリング状の空間及び前記複数の噴出孔を介して流体または気体を噴出させるように構成され、前記遮蔽部材は前記リング状の空間に遊挿され、円弧状の形状を有することを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。