KR100586188B1 - 기판이송장치 - Google Patents

Abstract

글라스 기판에 공급되는 약액 처리 효율을 향상시키면서도 기판 이송용 축들을 회전시키기 위한 동력전달이 용이하게 이루어질 수 있는 기판이송장치를 개시한다. 이러한 기판이송장치는 기판 이송용 축들이 휘어진 상태로 배치되고, 상기 기판 이송용 축들의 중앙부에 구동력을 전달하여 기판 이송용 축들의 피로를 줄여 내구성을 증대시킬 수 있는 구성을 제공한다. 따라서 본 발명은 어느 정도 유연성을 가지면서 곡면으로 배치되어 기판을 이송하는 기판 이송용 축들의 중간부에서 상기 기판 이송용 축들을 회전할 수 있도록 동력전달이 이루어지는 구성을 제공한다. 따라서, 대면적의 기판을 이송할 때 별도의 경사 이송에 필요한 업- 다운 장치 등을 설치할 필요가 없어 제조 비용을 감소시키고, 대면적의 기판이 양측으로 휘어져 약액이 신속하게 흘러내려 약액을 효율적으로 처리하고, 경사 이송에 필요한 별도의 동작이 필요 없어 택 타임(tact-time)을 줄여 생산성을 향상시키면서도 기판 이송용 축들의 피로를 줄여 내구성을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

기판, 약액, 베스, 이송축, 웜기어, 마그네틱, 자성

Description

기판이송장치{Apparatus for transporting of works}

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 기판이송장치의 사시도이다.

도 2는 도 1의 A-A부를 절개하여 도시한 단면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 주요부를 상세하게 확대하여 도시한 사시도이다.

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 글라스 기판에 공급되는 약액 처리 효율을 향상시키면서도 동력전달이 용이하게 이루어질 수 있는 기판이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 글라스 기판 등을 이송시키는 장치는, 대한민국 특허공보 등록번호 제10-286470호에 개시되어 있다. 상기 공보에는 기판을 경사진 상태로 이송시키면서 기판의 상부에 뿌려지는 약액이 상부 측에서 하부 측으로 흘러내리도록 하여 신속하게 기판 위에서 약액이 제거될 수 있는 기술이 개시되어 있다.

그러나 이러한 종래의 기술은 수평으로 이송되는 기판이 특정 약액 처리 범위에서 경사지는 형태로 이송되도록 하기 위한 것으로, 경사 이송에 필요한 별도의 복잡한 이송장치가 필요하여 장비의 생산 비용이 증대되는 문제점을 가지고 있다.

또한, 상기 종래의 기판 경사 이송에 관한 기술은 기판이 대면적인 경우 상부측과 하부측의 약액 차이로 인하여 기판에 얼룩이 발생하여 불량이 발생될 수 있는 문제점을 가진다. 또한, 종래의 기판 경사 이송에 관한 기술은 수평 상태의 기판을 경사지도록 경사 장치를 작동시키는 과정을 포함하게 되어 택 타임(tact time)으로 인하여 생산성이 저하되는 문제점을 가질 수 있다.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판을 경사 이송하는 것과 마찬가지로 약액의 배출 효율을 증대시키면서도 경사에 필요한 장치를 사용하지 않도록 하여 장비의 생산비용을 감소시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 기판이 대면적인 경우에도 약액으로 인하여 기판에 얼룩이 생기는 것을 감소시켜 기판의 불량을 최소화시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 종래 기술에 비하여 기판의 처리 속도를 향상시켜 생산성을 증대시키는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기 목적들을 달성하면서도 기판 이송용 축들의 피로를 줄이고 내구성을 증대시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판 처리를 위한 작업 공간을 제공하는 베스; 상기 작업 공간에 위치되어 기판을 이송 및 지지하는 다수의 기판 이송용 축; 상기 기판 이송용 축들의 중앙부와 이 축들의 끝단부가 다른 평면상에 위치하는 수단; 상기 기판 이송용 축들의 회전이 원활하게 이루어지도록 상기 기판 이송용 축들의 중간부에 구동력을 전달하는 구동수단을 포함하는 기판이송장치를 제공한다.

또한, 본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판이송장치에 있어서, 베이스; 상기 베이스에 회전 가능하게 결합되며 중간부가 사이드 측에 비하여 높이가 높게 배치되며 유연성을 가지는 다수의 기판 이송용 축; 상기 기판 이송용 축들을 곡면 상태로 지지하는 다수의 서포터; 기판을 이송시키기 위하여 상기 기판 이송용 축들에 결합되는 다수의 이송롤러; 상기 베이스에 제공되는 구동원; 상기 구동원의 구동력을 전달받아 회전동력을 전달하는 동력전달부재; 상기 동력전달부재의 회전력을 전달받아 상기 기판 이송용 축을 회전시킬 수 있도록 상기 기판 이송용 축의 중앙부에 결합되는 또 다른 동력전달부재를 포함하는 기판이송장치를 제공한다.

이와 같이 이루어지는 본 발명은 구동원의 구동력이 동력전달부재에 전달되고, 상기 동력전달부재는 기판 이송용 축들의 중간부에 배치되는 또 다른 동력전달부재로 회전력이 전달되어 중간부가 사이드 측에 비하여 높게 배치되는 기판 이송용 축들을 회전시키게 된다. 이때 상기 기판 이송용 축들의 중간부에서 구동력이 전달되는 것은 기판 이송용 축들의 일측에서 구동력이 전달되는 것에 비하여 상기 기판 이송용 축들의 피로를 줄이고 원활하게 회전될 수 있도록 하여 내구성을 증대시키는 효과를 가질 수 있다.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명에 따른 실시 예를 설명하기 위한 기판이송장치의 일부를 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 A-A부를 절개하여 도시한 단면도로, 베스(1), 상기 베스(1) 내에 설치되며 세정액 또는 약액 등을 분사하기 위한 유체분사장치(3), 그리고 대면적의 기판(G)을 자중에 의하여 휘어진 상태로 이송하기 위한 기판 이송수단(5)을 도시하고 있다. 그리고 상기 베스(1) 내에는 상기 기판이송수단(5)을 설치하기 위한 프레임 형태의 베이스(13)가 마련될 수 있다.

상기 유체분사장치(3)는 세정액 또는 약액을 기판(G) 등에 분사시키기 위한 것으로 통상의 것이 사용될 수 있다.

상기 기판이송수단(5)은 기판(G)의 중앙부와 양 끝단부의 높이가 기판(G)의 자중 등에 의하여 차이가 이루어지는 상태에서 기판(G)을 이송시키는 것이다. 상기 기판이송수단(5)은 바람직하게는 기판(G)의 양끝부분에 비하여 중앙부가 위쪽으로 돌출되어 만곡 상태로 휘어진 상태로 이송시키는 구조가 더욱 바람직하다. 그리고 필요에 따라 상기 기판(G)의 양 끝단은 동일한 평면에 배치될 수 도 있으며, 서로 다른 평면에 배치될 수도 있는 것이다. 이것은 기판이송수단(5)을 설계할 때 설계 자유도를 높여 기판(G)의 크기 또는 작업 환경에 따라 적절한 기판이송장치를 제작하기 위한 것이다.

상기 기판 이송수단(5)은, 기판(G)이 양 사이드에 비하여 가운데 부분이 돌출된 상태로 휘어진 상태로 기판을 이송시키는 것으로, 모터(M) 등의 구동원에 의 하여 회전하는 기판 이송용 축(7)들, 상기 기판 이송용 축(7)들을 휘어진 상태로 지지하는 다수의 서포터(9), 그리고 대면적의 기판(G)에 밀착되어 상기 기판(G)을 이송하는 다수의 이송 롤러(11, '롤러' 라고도 함)를 포함할 수 있다.

상기 기판 이송용 축(7)은 어느 정도 휘어지는 성질을 가진 재질로 이루어지는 것이 바람직하며, 상기 베스(1) 내에 배치되는 베이스(13)에 회전 가능하게 결합된다. 즉, 상기 베이스(13)에는 구름부재인 베어링(b) 등의 아웃터 레이스가 결합되고, 기판 이송용 축(7)은 양단에 구름부재인 상기 베어링(b)의 인너 레이스가 결합되어 회전 가능한 형태로 결합되는 것이다(도 2의 화살표 방향). 또한, 상기 구름부재는 부시 등 기판 이송용 축(7)을 회전시킨 수 있는 결합구조이면 어느 것이나 가능하다.

상기 기판 이송용 축(7)들은 각각 중앙부 측으로 구동력이 전달되어 회전될 수 있도록 구동수단에 의하여 회전이 이루어지게 되는데, 상기 구동수단을 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

상기 구동수단은, 제1 실시 예로, 베스(1) 또는 베이스(13)에 결합될 수 있는 모터(M) 등의 구동원, 상기 구동원의 회전동력을 전달받아 회전하는 제1 동력전달부재(21), 상기 제1 동력전달부재(21)의 구동력을 전달받아 상기 기판 이송용 축(7)의 중앙부를 통하여 구동력을 전달할 수 있도록 상기 기판 이송용 축(7)의 중앙부에 제공되는 제2 동력전달부재(23)를 포함할 수 있다.

상기 제1, 2 동력전달부재(23)는 하나의 예로 웜기어 등이 사용될 수 있으며, 이러한 구조에 한정되는 것은 아니며, 단지 기판 이송용 축(7)들의 중앙부 측 으로 구동력이 전달되어 상기 기판 이송용 축(7)들이 회전될 수 있는 구조면 어느 것이나 가능하다. 특히, 상기 제1 동력전달부재(21)가 여러 형태의 동력전달부재의 조합으로 이루지면서 단지 기판 이송용 축(7)들의 중앙부에 제공되는 제2 동력전달부재(23)에 구동력을 전달할 수 있는 기어 구조 또는 동력전달구조 이면 본 발명의 목적 및 효과를 달성할 수 있는 것이다.

한편, 상기 기판 이송용 축(7)들은 중앙부가 양 사이드측에 비하여 위쪽(도2 기준)으로 돌출되는 형태로 굴곡되어 배치되는 것이 바람직하다. 즉, 상기 기판 이송용 축(7)들은 중앙부의 높은 부분과 양 사이드 부분이 h1(도 2에 도시하고 있음) 정도의 높이를 가지도록 배치되는 것이 바람직하다.

그리고 상기 기판 이송용 축(7)들이 굴곡된 상태를 유지한 상태로 회전 가능하게 지지되도록 다수의 서포터(9)가 상기 베스(1) 내에 배치된다.

상기 서포터(9)는 상기 기판 이송용 축(7)들에 접촉하는 부분에 구름부재인 베어링(롤러베어링 또는 구름베어링 등) 또는 부시(bush) 등이 결합될 수 있고, 상기 베어링 또는 부시(bush) 등이 별도의 서포터에 의하여 결합된다. 상기 서포터(9)는 상기 기판 이송용 축(7)들이 굴곡된 형태(라운드진 형태)로 배치되는 상태를 유지시키기 위한 것으로, 중앙부에 배치되는 것은 양측에 배치되는 것에 비하여 그 높이가 높게 이루어지는 것이 바람직하다. 그리고 상기 서포터(9)는 베어링 또는 부시 등에 의하여 상기 기판 이송용 축들의 외주면 전체를 지지할 수도 있고 일부만을 지지할 수 도 있으며, 도시는 생략하였으나, 비접촉식의 일반적인 지지방식을 택할 수 도 있다.

또한, 상기 서포터(9)는 베스(1) 또는 상기 베스(1) 내에 제공될 수 있는 베이스(13)의 저면에 단차를 두거나 또는 만곡 상태로 이루어지는 경우 동일한 크기의 것을 설치할 수 있다. 이러한 경우에는 상기 서포터(9)는 동일한 스펙을 가지므로 부품의 수를 줄여 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다.

그리고 상기 기판 이송용 축(7)들에는 대면적의 기판(G)을 이송시키기 위한 이송롤러(11)들이 다수가 제공된다. 그리고 상기 이송롤러(11)들 위에 대면적의 기판(G)이 안착되어 이송롤러(11)의 회전에 따라 이송이 될 수 있다.

이와 같이 이루어지는 본 발명은 이송롤러(11)의 상부에 대면적의 기판(G)이 안착되어 이송된다. 즉, 모터(M)의 구동에 따라 제1 동력전달부재(21)가 회전하고, 상기 제1 동력전달부재(21)가 회전함에 따라 제2 동력전달부재(23)가 회전하면서 기판 이송용 축(7)들이 화살표 방향(도2에 도시하고 있음)으로 회전한다.

이때 상기 제1, 2 동력전달부재(21, 23)들은 서로 직교하는 상태의 웜 기어로 이루어질 수 있어 상기 기판 이송용 축(7)들의 중앙부를 회전시키게 되는 것이다. 이와 같이 기판 이송용 축(7)들의 중간부를 통하여 구동력을 전달하는 구조는 어느 정도 유연성을 가지는 기판 이송용 축(7)들의 끝단까지 회전력이 전달되는 거리를 줄일 수 있어, 기판 이송용 축(7)들의 피로를 현저하게 줄일 수 있는 것이다.

따라서 상기 기판 이송용 축(7)들의 중앙부에 회전력을 전달시키는 구조는, 기판 이송용 축(7)들의 일측에서 회전시키는 구조에 비하여 기판 이송용 축(7)들의 피로를 현저하게 줄일 수 있어 내구성을 증대시킬 수 있는 이점이 있다.

계속해서 상기 기판 이송용 축(7)들의 회전에 따라 이송롤러(11)가 회전되고, 상기 이송롤러(11)들이 기판(G)의 저면에 밀착되어 있으므로 대면적의 기판(G)이 이송된다. 이때, 기판(G)은 자중에 의하여 양 사이드 측에 비하여 중앙부가 높아진 상태로 굴곡되어 이송이 이루어진다(도 2에서 높이 h2 표시). 그리고 유체분사장치(3)에 의하여 약액 또는 세정액 등이 분사되면 기판(G)에 분사된 약액 또는 세정액 등은 기판(G)의 중앙부에서 양 사이드 측으로 신속하게 이동된다(도 2의 점선 화살표 방향). 따라서 기판(7)의 일측 사이드를 들어 올려 경사진 상태를 유지하지 않고도 약액 등을 효율적으로 처리할 수 있으며, 별도로 기판을 업-다운(up-down)하기 위한 장치가 필요하지 않게 된다.

이와 같이 본 발명은 어느 정도 유연성을 가지면서 곡면으로 배치되어 기판을 이송하는 기판 이송용 축들의 중간부에서 상기 기판 이송용 축들을 회전할 수 있는 동력전달이 이루어지는 구성을 통하여, 대면적의 기판을 이송할 때 별도의 경사 이송에 필요한 업- 다운 장치 등을 설치할 필요가 없어 제조 비용을 감소시키고, 대면적의 기판이 양측으로 휘어져 약액이 신속하게 흘러내려 약액을 효율적으로 처리하고, 경사 이송에 필요한 별도의 동작이 필요 없어 택 타임(tact-time)을 줄여 생산성을 향상시키면서도 기판 이송용 축들의 피로를 줄여 내구성을 향상시킬 수 있는 효과를 가진다.

Claims (5)

1. 기판 처리를 위한 작업 공간을 제공하는 베스;

   상기 작업 공간에 위치되어 기판의 중간부가 사이드 측에 비하여 높이가 높게 배치되며 유연성을 가지는 다수의 기판 이송용 축;

   상기 기판 이송용 축들을 곡면 상태로 지지하는 다수의 서포터;

   상기 기판 이송용 축들의 회전이 원활하게 이루어지도록 모터의 구동력을 상기 기판 이송용 축들의 중간부로 동력전달부재들을 통하여 전달하는 구동수단을 포함하는 기판이송장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 기판이송용 축의 부분별 위치를 다르게 하는 수단은 상기 기판이송용 축들을 지지하는 서포터인 기판이송장치.
3. 삭제
4. 삭제
5. 제1항에 있어서, 상기 동력전달부재들은 웜기어로 이루어지는 기판이송장치.

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