JP5479669B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
平板型の表示装置では、画素マトリックスが一枚の基板に形成されている。例えば液晶表示装置は、二枚の透明な絶縁基板(通常はガラス基板)で液晶を挟んだものを基板として含む。画素電極や薄膜トランジスタ等の微細構造は一般に、それら二枚の絶縁基板の各内面に形成されている。
本発明の目的は、基板の表面全体に対する加工を更に均一化し、かつ更に効率的に行うことができる基板処理装置、を提供することにある。
ここで、流体の種類は、基板の表面に対する加工の内容に応じて様々である。流体は好ましくは、エッチング液、洗浄液、または、基板の乾燥に利用されるガスである。
こうして、本発明による基板処理装置は、エッチングによる厚さの均一化等、基板全体に対する加工を更に均一に、かつ更に効率良く行うことができるので、基板の歩留まりを向上させ、かつ基板の製造工程を簡単化できる。それ故、その基板を実装する装置(好ましくは表示装置)の製造コストを低減させ、かつその装置の信頼性を向上させることができる。
図1は、本発明の実施形態による基板処理装置の構成を示している。その基板処理装置は、基板装着部100、第1位置変換部200、工程チャンバ300、第2位置変換部400、及び基板分離部500を具備する。基板装着部100は基板を後述の固定フレームに装着し、以降の工程で基板が固定フレームに安定に固定されているようにする。第1位置変換部200は、固定フレームに固定された基板を工程チャンバ300の内部に移動させる。工程チャンバ300は好ましくは、基板に対する工程別に、第1工程チャンバ301、第2工程チャンバ302、及び第3工程チャンバ303に分けられている。第2位置変換部400は基板を工程チャンバ300から基板分離部500に移動させる。基板分離部500は基板を固定フレームから分離する。
移送部320は一対の駆動軸321とローラ322とを含む。一対の駆動軸321は互いに平行であり、第2方向D2に延びている。好ましくは、一対の駆動軸321の両方を含む平面に対して垂直な第1方向D1では、同様な駆動軸321の対が一定の間隔で複数設けられている。各駆動軸321は外部から動力を受けて軸回転する(図4に示されている矢印R3参照)。ローラ322は各駆動軸321に複数個ずつ設けられ、各駆動軸321に沿って一定の間隔で固定されている。各ローラ322は好ましくは円筒形であり、更に好ましくはダンベル形状である。すなわち、各ローラ322の外周面の中心部には溝323が形成されている。各ローラ322はその中心軸を駆動軸321によって貫かれた状態でその駆動軸321に固定されている。それにより、各ローラ322は駆動軸321と共に回転する。一対の駆動軸321の間では、共通の長手方向(第2方向)D2に対して垂直な第3方向D3で各ローラ322が対向している。固定フレーム10は、第3方向D3で対向する一対のローラ322(特にそれらの溝323)の間に挿入され、それらのローラ322の回転により第1方向D1に移送される。
第3方向D3が工程チャンバ300の底面に対して平行に設定可能な場合、基板1は、その表面が水平に維持された状態で、工程チャンバ300の内部を移送される。ここで、基板装着部100が基板1の表面を水平に維持した状態で基板1を固定フレーム10に装着する場合、基板1の傾きを変更することなく基板1を工程チャンバ300の内部に移送できる。従って、第1位置変換部200(特に固定フレーム10を回転させる工程)は省略可能である。
図5は、図4に示されている供給管341の断面図である。中心軸Cの周りでの供給管341の回転振動は好ましくは、一定の基準方向RDに対して対称的な角度範囲で行われる。例えば図5に一点鎖線で示されているように、供給管341の回転振動により、噴射ノズル342の位置が、基板1に面した方向RDを基準方向として、左側に45゜、右側に45゜の角度範囲で周期的に変化する。その結果、噴射ノズル342一個あたりの流体Lの噴射範囲が、各噴射ノズル342の本来の噴射角より拡大する。
図7には、図4に示されている供給部340とは別の供給部350が示されている。ここで、移送部320及び支持部材330は、図4に示されている上述の実施形態によるものと同様な構造を有する。従って、それらの詳細については上述の説明を援用する。
第1工程チャンバ301でエッチング工程を行い、第2工程チャンバ302で洗浄工程を行い、第3工程チャンバ303で乾燥工程を行う場合、好ましくは、全ての工程でスリットノズルが用いられる。その他に、エッチング工程では噴射ノズルが用いられ、洗浄工程と乾燥工程ではスリットノズルが用いられてもよい。
図10Aに示されている構造では、スリットノズル372が、所定の距離を隔てて互いに向き合っている第1ボディー372aと第2ボディー372bとを含む。第1ボディー372a及び第2ボディー372bは互いに対称的な形状である。第1ボディー372a及び第2ボディー372bの間の空間372cは流体Lの経路であり、その空間372cの先端部には開口部372dが形成されている。その開口部372dを通じて流体Lが外部に噴射される。好ましくは、図10Aに示されているように、スリットノズル372は基板1の表面の法線方向に対して一定の角度だけ斜めに傾いている。
尚、流体Lの噴射方向の調節は、図10Bに示されている構造の他にも、第1ボディー382a及び第2ボディー382bの各先端部を非対称な構造にすることによって実現可能である。
第2位置変換部400は、図11の(a)に示されているようなカセット21を具備する。カセット21は好ましくは直方体形状の筒である。固定フレーム10は、工程チャンバ300の内部で各工程を経た後、カセット21の内部に収められる。一つのカセット21の内部には複数の固定フレーム10が、一定の間隔で、かつ互いに平行に装着可能である。固定フレーム10は好ましくは、第2位置変換部400により工程チャンバ300からカセット21の内部に移送され、一定の方向(例えば水平方向)に対して垂直に装着される(図11の(a)参照)。
10 固定フレーム
100 基板装着部
200 第1位置変換部
300 工程チャンバ
400 第2位置変換部
500 基板分離部
Claims (17)
- 基板の端部を支持する固定フレーム、
前記基板が装着された前記固定フレームを収容する工程チャンバ、
前記工程チャンバの内部に設けられ、前記固定フレームの端部を支持して前記固定フレームを前記工程チャンバの内部に移送する移送部、及び、
前記移送部により移送される前記固定フレームに装着された前記基板の両面と所定の距離を隔てて対向し、前記基板の両面に対して流体を同時に供給する一対の供給部、
を有し、
前記供給部が、
前記流体を外部から前記工程チャンバの内部に移動させる供給管、及び、
前記供給管に連結され、前記供給管から前記基板の表面に対して前記流体を噴射する噴射部材、
を含み、
前記噴射部材はスリットノズルであって、
前記スリットノズルが、所定の距離を隔てて互いに向き合っている第1ボディーと第2ボディーとを含み、前記第1ボディーと前記第2ボディーとの互いに向き合っている内面の少なくともいずれかに凹凸が形成されている、基板処理装置。 - 基板の端部を支持する固定フレーム、
前記基板が装着された前記固定フレームを収容する工程チャンバ、
前記工程チャンバの内部に設けられ、前記固定フレームの端部を支持して前記固定フレームを前記工程チャンバの内部に移送する移送部、及び、
前記移送部により移送される前記固定フレームに装着された前記基板の両面と所定の距離を隔てて対向し、前記基板の両面に対して流体を同時に供給する一対の供給部、
を有し、
前記供給部が、
前記流体を外部から前記工程チャンバの内部に移動させる供給管、及び、
前記供給管に連結され、前記供給管から前記基板の表面に対して前記流体を噴射する噴射部材、
を含み、
前記噴射部材はスリットノズルであって、
前記スリットノズルが、所定の距離を隔てて互いに向き合っている第1ボディーと第2ボディーとを含み、前記第1ボディーと前記第2ボディーとの互いに向き合っている先端部の少なくとも一方に、他方に向かって突出している突起が形成されている、基板処理装置。 - 前記工程チャンバの内部に設けられ、前記固定フレームの両面を支持する支持部材、をさらに有する、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記固定フレームが、
前記基板を露出させる開口領域が形成されている底部と、前記底部の端部から前記底部に対して垂直に突き出して前記開口領域を囲んでいる側部と、を含む第1固定フレーム、及び、
前記基板を露出させる開口領域が形成され、前記側部で囲まれた空間に収納されている第2固定フレーム、
を有する、請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記移送部が、外周面に溝が形成されたローラを含み、前記固定フレームの端部が前記溝に嵌められた状態で前記固定フレームが移送される、請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記流体が、エッチング液、洗浄液、及びガスのいずれかである、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記基板の表面が前記工程チャンバの内部で水平方向に対して垂直に維持される、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記基板の表面が前記工程チャンバの内部で水平に維持される、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記供給管の長手方向が、前記固定フレームの移送方向に対して斜めに傾いている、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記供給管を所定の角度範囲で回転振動させる、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記供給管を前記基板の表面に対して平行に並進運動させる、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 噴射ノズルをさらに含む、請求項1または2に記載の基板処理装置。
- 前記供給管から分岐したラインをさらに含み、
前記スリットノズルは複数であって、
一対の前記スリットノズルが、前記ラインの先端部に前記ラインに対して対称的に、かつ前記ラインの周りに回転可能に連結される、請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 基板を固定フレームの所定位置に移動させ、前記固定フレームに前記基板の端部を支持させて固定する基板装着部、
前記固定フレームを内部に移送し、前記固定フレームに装着された前記基板に対する加工を行う工程チャンバ、及び、
前記基板を前記固定フレームから分離する基板分離部、
を有する基板処理装置であり、
前記工程チャンバが、
前記工程チャンバの内部に設けられ、前記固定フレームの端部を支持して前記固定フレームを前記工程チャンバの内部に移送する移送部、及び、
前記移送部により移送される前記固定フレームに装着された前記基板の両面と所定の距離を隔てて対向し、前記基板の両面に対して流体を同時に供給する一対の供給部、
を含み、
前記供給部が、
前記流体を外部から前記工程チャンバの内部に移動させる供給管、及び、
前記供給管に連結され、前記供給管から前記基板の表面に対して前記流体を噴射する噴射部材、
を含み、
前記噴射部材はスリットノズルであって、
前記スリットノズルが、所定の距離を隔てて互いに向き合っている第1ボディーと第2ボディーとを含み、前記第1ボディーと前記第2ボディーとの互いに向き合っている内面の少なくともいずれかに凹凸が形成されている、基板処理装置。 - 基板を固定フレームの所定位置に移動させ、前記固定フレームに前記基板の端部を支持させて固定する基板装着部、
前記固定フレームを内部に移送し、前記固定フレームに装着された前記基板に対する加工を行う工程チャンバ、及び、
前記基板を前記固定フレームから分離する基板分離部、
を有する基板処理装置であり、
前記工程チャンバが、
前記工程チャンバの内部に設けられ、前記固定フレームの端部を支持して前記固定フレームを前記工程チャンバの内部に移送する移送部、及び、
前記移送部により移送される前記固定フレームに装着された前記基板の両面と所定の距離を隔てて対向し、前記基板の両面に対して流体を同時に供給する一対の供給部、
を含み、
前記供給部が、
前記流体を外部から前記工程チャンバの内部に移動させる供給管、及び、
前記供給管に連結され、前記供給管から前記基板の表面に対して前記流体を噴射する噴射部材、
を含み、
前記噴射部材はスリットノズルであって、
前記スリットノズルが、所定の距離を隔てて互いに向き合っている第1ボディーと第2ボディーとを含み、前記第1ボディーと前記第2ボディーとの互いに向き合っている先端部の少なくとも一方に、他方に向かって突出している突起が形成されている、基板処理装置。 - 前記基板が固定された前記固定フレームを回転させることにより、前記基板の表面の法線方向を90°回転させて前記工程チャンバの内部に移動させる第1位置変換部、及び、
前記基板が固定された前記固定フレームを回転させることにより、前記基板の表面の法線方向を90°回転させて前記基板分離部に移動させる第2位置変換部、
をさらに有する、請求項14または15に記載の基板処理装置。 - 前記工程チャンバが、
前記基板をエッチングする第1工程チャンバ、
前記基板を洗浄する第2工程チャンバ、及び、
前記基板を乾燥させる第3工程チャンバ、
を含む、請求項14または15に記載の基板処理装置。
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