KR101081531B1 - 기판이송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 기판 제조과정에서 상기 기판의 습윤공정, 수세공정 및 건조공정을 위한 복수개의 공정챔버들 가지는 공정라인 또는 처리시스템에 있어서 상기 공정챔버들에 단순히 기판을 이송하는 기능을 수행하는 컨베이어가 간단한 구성을 가지도록 하여 제조비용을 절약할 수 있는 기판이송장치에 관한 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치는 한 쌍의 지지판의 양단에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 롤러; 상기 한 쌍의 롤러를 각각 한 쌍의 지지판 사이에 지지시키는 한 쌍의 샤프트; 상기 샤프트에 연결되어 구동력을 발생시키는 구동모터; 및 상기 한 쌍의 롤러에 연결되어 상기 롤러의 회전시 회전되며 기판을 지지하는 기판지지벨트를 포함한다.

기판, 처리, 장치, 글라스, 유리, 롤러, 벨트, 컨베이어, 이송, 이동, 풀리

Description

기판이송장치{Substrate transfer apparatus}

본 발명은 기판이송장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 제조과정에서 상기 기판의 습윤공정, 수세공정 및 건조공정을 위한 복수개의 공정챔버들 가지는 공정라인 또는 처리시스템에 있어서 상기 공정챔버들에 단순히 기판을 이송하는 기능을 수행하는 컨베이어가 간단한 구성을 가지도록 하여 제조비용을 절약할 수 있는 기판이송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 최근에 널리 사용되는 액정표시장치(LCD) 및 플라즈마표시장치(PDP) 등과 같은 평판디스플레이(FPD)는 제조과정에서 상기 평판디스플레이 기판(Glass)을 세정, 에칭, 현상 또는 스트립핑(Stripping)하는 습윤 공정(Wet process)과 습윤 공정 처리된 기판을 세정 또는 수세하기 위한 수세 공정, 상기 수세 공정 처리된 기판을 건조시키는 건조 공정 및 검사 공정 등을 포함하게 된다.

이 같은 공정들은 대부분 해당 공정을 수행하기 위한 공정챔버에서 이루어지며, 이 같은 각각의 공정챔버로 기판을 이송 또는 반송시키기 위한 이송장치가 설치되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 기판이송장치는, 대개 동력을 발생시키는 구동장치(1), 그 구동장치(1)에 구동적으로 연결되는 풀리(2)와 벨트(3), 각각의 풀리(2)에 연결되어 회전 구동되는 이송 샤프트(4) 및 각각의 이송 샤프트(4)에 설치되어 실제로 기판을 지지하는 복수의 롤러(5)로 구성되는 벨트 구동식 컨베이어 등을 포함한다.

그러나 상기와 같이 공정챔버 내부에 구비되지 않고 공정챔버들 간에 구비되어 기판을 이송하는 기판이송장치의 상측에서는 상기 공정챔버에서와 같이 공정이 이루어지지 않고 단순히 상기 공정챔버들 간의 기판을 이송하는 역할만을 수행하기 때문에, 상기와 같이 공정챔버들 간에 구비되어 단순히 기판을 이송하는 역할을 수행하는 기판이송장치의 경우 공정챔버들 내부에 구비되는 기판이송장치와 동일하게 복잡한 구성을 가지도록 하지 않아도 된다.

즉, 공정챔버들 내부 또는 종래의 기판이송장치는, 일반적으로 기판 이송 구간에 일정 간격을 가지며 복수개의 롤러(5)와 샤프트(4)가 구비되고 있기 때문에, 그 구성 즉, 샤프트(4)들을 회전 동작시키기 위한 풀리(2)들과 상기 풀리(2)들에 구동장치(1)의 동력을 전달되도록 하기 위한 벨트(3)의 조립 구성이 복잡하고 상기 구성부들에 대한 유지 보수 작업시 많은 시간이 소요되며 이로 인하여 기판처리공정의 생산성 및 작업성이 저하되는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 안출된 것으로서, 기판이송장치에 있어서 공정챔버들에 단순히 기판을 이송하는 컨베이어가 기판 이송 구간의 양단에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 롤러와 상기 롤러 사이에 상기 롤러의 회전에 따라 회전되며 기판을 지지하도록 구비되는 복수개의 벨트로 간단하게 구성되도록 할 수 있는 기판이송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

한편, 본 발명의 목적은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치는 한 쌍의 지지판의 양단에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 롤러; 상기 한 쌍의 롤러를 각각 한 쌍의 지지판 사이에 지지시키는 한 쌍의 샤프트; 상기 샤프트에 연결되어 구동력을 발생시키는 구동모터; 및 상기 한 쌍의 롤러에 연결되어 상기 롤러의 회전시 회전되며 기판을 지지하는 기판지지벨트를 포함한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 지지판의 외측에 연장되는 한 쌍의 샤프트의 일단에는 각각 풀리가 구비되고 상기 풀리는 벨트에 의해 연결된다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 롤러는 상기 샤프트의 길이에 대해 일정길이를 가지며 일정간격으로 복수개가 배열된다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 상기 기판지지벨트는 상기 롤러의 길이에 대해 일정폭을 가지며 일정 간격으로 복수개가 배열된다.

본 발명에 의하면, 기판이송장치에 있어서 공정챔버들에 단순히 기판을 이송하는 컨베이어가 기판 이송 구간의 양단에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 롤러와 상기 롤러 사이에 상기 롤러의 회전에 따라 회전되며 기판을 지지하도록 구비되는 복수개의 벨트로 간단하게 구성되도록 할 수 있다.

또한, 복수개의 공정챔버들 가지는 공정라인 또는 처리시스템에 있어서 상기 공정챔버들에 단순히 기판을 이송하는 기능을 수행하는 컨베이어가 간단한 구성을 가지도록 하여 제조비용과 유지보수 비용을 절약하고 이를 통하여 기판처리공정의 생산성과 작업성을 향상시킬 수 있다.

한편, 본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려 주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 3은 도 2의 기판이송장치에 대한 측단면도이다.

도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치는, 기판 이송 구간에 대응되는 한 쌍의 지지판(10)의 양단에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 롤러(20), 한 쌍의 롤러(20)를 각각 한 쌍의 지지판(10) 사이에 지지시키는 한 쌍의 샤프트(30), 지지판(10)의 외측에 연장되는 한 쌍의 샤프트(30)의 일단에 각각 구비되는 한 쌍의 풀리(40), 한 쌍의 풀리(40)에 연결되는 벨트(50), 한 쌍의 풀리(40) 중 어느 하나의 풀리에 연결되어 구동력을 발생시키는 구동모터(60) 및 한 쌍의 롤러(20)에 연결되어 롤러(20)의 회전시 회전되며 기판을 지지하는 기판지지벨트(70)를 포함한다.

한 쌍의 롤러(20)는 샤프트(30)에 의해 기판(w)의 이송방향에 수직한 방향으로 기판 이송 구간의 양단에 평행하게 배열된다.

여기서, 롤러(20)는 원통형의 형상을 가지고 내부에 샤프트(30)가 삽입되는 관통홀이 형성되며 샤프트(30) 상에서 미끄러지지 않도록 삽입되어 있어 샤프트(30)의 회전시 함께 회전하게 된다.

또한, 롤러(20)는 샤프트(30)의 길이에 대해 일정길이를 가지며 일정간격으 로 복수개가 배열되거나, 샤프트(30)의 길이에 대응되는 길이를 가지며 단일 배열될 수 있다.

샤프트(30)는 지지판(10) 사이에 기판(w)의 이송 방향에 수직한 방향으로 서로 평행하게 수평 또는 일단이 타단에 비해 높게 위치되도록 경사지게 배치될 수 있다.

도 4는 도 2의 기판이송장치에 있어서 샤프트지지수단을 나타낸 사시도이다.

도 4에 도시된 바와 같이, 지지판(10)에는 샤프트(30)를 지지하기 위한 샤프트지지수단(80)이 더 구비될 수 있으며, 상기 샤프트지지수단(80)은 제1 베어링(81), 제2 베어링(82), 지지부재(83) 및 지지부재커버(84)를 포함할 수 있다.

제1 베어링(81)은 기판(w)의 이송 방향에 수직한 방향으로 배치된 샤프트(30)가 회전 가능하도록 샤프트(30)의 일단을 삽입하여 지지한다. 제2 베어링(82)은 제1 베어링(81)으로부터 이격되어 샤프트(30)의 일단을 삽입하여 지지한다. 여기서, 샤프트(30)의 일단에는 제1 베어링(81)의 내륜의 일측면이 밀착 고정되도록 하는 샤프트단(31)이 형성될 수 있다. 제1 베어링(81)은 샤프트(30)의 일단에 형성된 샤프트단(31)에 밀착하여 삽입 고정되고, 제2 베어링(82)은 제1 베어링(81)으로부터 이격되어 샤프트(30)의 일단부의 적절한 위치에 삽입 고정될 수 있다.

지지부재(83)는 지지판(10)의 양단부에 위치되며 제1 베어링(81)과 제2 베어링(82)이 삽입 지지되는 장착홈(83a)을 구비하며, 보다 바람직하게는 상기 장착홈(83a)의 하부 중앙 양측에 베어링의 구동시 발생될 수 있는 파편 또는 부스러기 와 같은 파티클이나 기타 이물질을 배출시키는 배출공(미도시)이 더 형성될 수 있다.

지지부재커버(84)는 제1 및 제2 베어링(81,82)의 상부 및 양측면을 지지하기 위해 지지부재(83)의 상측에 결합된다.

따라서 샤프트(30)의 양단 끝단을 각각 두개의 베어링을 이용하여 지지수단을 구성함으로써, 샤프트(30)의 처짐을 방지할 수 있고 샤프트(30)의 수평을 쉽게 맞출 수 있다.

한 쌍의 풀리(40)는 지지판(10)의 외측에 연장되는 샤프트(30)의 일단에 각각 결합되며, 평벨트 또는 타이밍벨트로 구성된 벨트(50)에 의해 연결되어 구동모터(60)로부터 구동력 발생시 샤프트(30)와 샤프트(30)에 결합된 롤러(20)를 회전시켜 기판(w)의 이송을 가능하게 한다.

여기서, 샤프트(30)의 일단에 각각 결합되는 한 쌍의 풀리(40) 중 구동모터(60)에 직결되는 풀리(40)는 구동풀리이고 벨트(50)에 의해 상기 구동풀리에 연결되는 풀리(40)는 종동풀리이다.

또한, 구동모터(60)는 정회전 또는 역회전이 가능한 전기모터, 유압모터 또는 공압모터로 구현될 수 있고, 또는 속도 및 회전각의 미세 제어가 가능한 서보모터 또는 스테핑모터 등으로 구성될 수 있고, 보다 바람직하게는 기판(w)의 하중에 의해 벨트(50)에 가해지는 장력보다 큰 강한 토크 출력을 가지는 모터로 구현되는 것이 좋다.

기판지지벨트(70)는 한 쌍의 롤러(20)에 기판(w)의 이송방향에 평행한 방향 으로 롤러(20)의 길이에 대해 일정폭을 가지며 일정 간격으로 복수개가 배열되거나, 롤러(20)의 길이에 대응되는 길이를 가지며 단일 배열된다.

또한, 기판지지벨트(70)는 원통형의 형상을 가지는 롤러(20) 상에서 미끄러지지 않도록 삽입되며 보다 바람직하게는 롤러(20)에 형성된 벨트삽입홈(21)에 대응되는 형상을 가지도록 하여 상기 벨트삽입홈(21)에 삽입되어 롤러(20)의 회전시 함께 회전하며, 기판(w)의 하중에 의해 가해지는 장력보다 큰 장력과 강성을 가지는 것이 바람직하다.

여기서, 벨트삽입홈(21)에 삽입된 기판지지벨트(70)와 롤러(20)의 상면은 수평 상태를 가지도록 하여 기판이송장치에 타 이송장치로부터 이송되는 기판(w)이 수평 상태를 가지지 못하는 기판지지벨트(70)와 롤러(20)의 상면에 부딪혀 파손되는 것을 방지할 수 있다.

한편, 지지판(10)에 샤프트(30)를 지지하기 위해 구비되는 샤프트지지수단(80)은, 지지판(10)에 대하여 일정 간격으로 그 위치가 가변되도록 하여, 기판지지벨트(70)가 기판(w)의 하중에 의해 장력을 잃고 늘어지는 경우 샤프트(30)의 설치 위치를 가변시켜 기판지지벨트(70)의 장력을 회복시킬 수 있다.

또한, 지지판(10)의 내측 기판지지벨트(70)의 하부에는 별도의 리미트 스위치 등이 더 구비되어 상기 기판지지벨트(70)가 장력을 잃고 늘어지는 것을 감지하도록 할 수 있다.

한편, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 변형예는, 구동모터(60)가 한 쌍의 샤프트(30) 일단에 각각 구비되어, 한 쌍의 샤프트(30)에 구동력을 전달하기 위한 구성부인 풀리(40)와 벨트(50)를 생략할 수 있으며, 이 경우 한 쌍의 샤프트(30)에 구비되는 구동모터(60)는 각각 동일한 회전수를 가지도록 제어되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 변형예는, 구동모터(60)가 한 쌍의 샤프트(30) 중 어느 하나의 샤프트(30) 일단에 구비되며, 한 쌍의 샤프트(30) 사이에 연결되는 기판지지벨트(70)를 통하여 한 쌍의 샤프트(30)가 회전되도록 하여, 한 쌍의 샤프트(30)에 구동력을 전달하기 위한 구성부인 풀리(40)와 벨트(50)를 생략할 수도 있다.

상기와 같이 구성된 기판이송장치는, 예를 들면, 다수 또는 복수의 기판을 처리장치로 입장시키기 위해 카세트, 인덱스로봇, 인덱스 로봇 이송로 등이 구비된 인덱스부, 상기 인덱스부의 후방에 배치되어 실제로 기판이 인입되는 입구, 상기 입구로부터 인입되는 기판을 에칭 또는 습윤 처리하는 제1 내지 제4 습윤처리부, 상기 습윤처리부에 후속되어 습윤 처리된 기판을 세정 또는 수세하는 제1 및 제2 수세처리부, 상기 수세처리부에 후속되어 수세 처리된 기판을 건조시키는 건조부, 상기 건조된 기판을 배출시키는 출구 및 상기 배출되는 기판을 후속공정 또는 후속처리라인으로 하역시키는 언로딩부를 포함하는 기판공정처리시스템에 있어서, 상기 인덱스의 입구와 언로딩부의 출구 및 습윤처리부와 수세처리부의 사이 또는 수세처리부와 건조부 사이에서, 즉, 공정처리가 이루어지지 않는 공정챔버들 사이에서 기판을 단순히 이송시키는 경우에 적용되는 것이 바람직하다.

따라서 상술한 바와 같은 본 발명에 의하면, 공정챔버들에 단순히 기판(w)을 이송하는 기판이송장치가 기판 이송 구간의 양단에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 롤러(20)와 상기 롤러(20) 사이에 상기 롤러(20)의 회전에 따라 회전되며 기판을 지지하도록 구비되는 복수개의 벨트(70)로 간단하게 구성됨으로써, 종래와 같이 복수개의 롤러와 상기 롤러를 거치하기 위한 복수개의 샤프트 및 상기 샤프트들에 구동력을 전달하기 위한 복잡한 풀리와 벨트 연결구조를 간략히 하여 제조비용과 유지보수 비용을 절약하고 이를 통하여 기판처리공정의 생산성과 작업성을 향상시킬 수 있다.

이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.

도 1은 종래의 기판이송장치를 나타낸 사시도이다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판이송장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 3은 도 2의 기판이송장치에 대한 측단면도이다.

도 4는 도 2의 기판이송장치에 있어서 샤프트지지수단을 나타낸 사시도이다.

<주요 도면 부호에 관한 간단한 설명>

10 : 지지판 20 : 롤러

30 : 샤프트 40 : 풀리

50 : 벨트 60 : 구동모터

70 : 기판지지벨트 80 : 샤프트지지수단

Claims (5)

1. 기판이송장치에 있어서,

   한 쌍의 지지판의 양단에 회전 가능하게 설치되는 한 쌍의 롤러;

   상기 한 쌍의 롤러를 각각 한 쌍의 지지판 사이에 지지시키는 한 쌍의 샤프트;

   상기 샤프트에 연결되어 구동력을 발생시키는 구동모터; 및

   상기 한 쌍의 롤러에 연결되어 상기 롤러의 회전시 회전되며 기판을 지지하는 기판지지벨트를 포함하되,

   상기 기판지지벨트의 하부에는 상기 기판지지벨트의 처짐을 감지하기 위한 리미트 스위치가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 지지판의 외측에 연장되는 한 쌍의 샤프트의 일단에는 각각 풀리가 구비되고 상기 풀리는 벨트에 의해 연결되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 롤러는 상기 샤프트의 길이에 대해 일정길이를 가지며 일정간격으로 복수개가 배열되며; 상기 기판지지벨트는 상기 롤러의 길이에 대해 일정폭을 가지며 일정 간격으로 복수개가 배열되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 롤러는 상기 샤프트의 길이에 대응되는 길이를 가지며 단일 배열되며; 상기 기판지지벨트는 상기 롤러의 길이에 대응되는 길이를 가지며 단일 배열되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 롤러는 상기 기판지지벨트가 삽입되는 벨트삽입홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.

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