KR20070120763A - 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

제1 기판 이송 어셈블리, 제1 기판 이송 어셈블리와 중첩되도록 형성되고 이송된 기판을 크기 별로 정렬하는 정렬 어셈블리, 정렬 어셈블리에 의해 크기 별로 정렬된 기판을 일시적으로 저장하는 버퍼, 및 제1 기판 이송 어셈블리에서 버퍼로 기판을 이송하는 제2 기판 이송 어셈블리를 포함하는 기판 처리 장치가 제공된다.
기판 이송 어셈블리, 버퍼, 정렬 어셈블리, 기판 처리 장치

Description

기판 처리 장치 {Apparatus for substrate treatment}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 따른 기판 처리 장치의 평면도이다.
도 3은 도 1에 따른 기판 처리 장치의 제1 기판 이송 어셈블리의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다.
도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 정렬 어셈블리의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다.
도 5는 도 1의 기판 처리 장치의 제2 기판 이송 어셈블리와 버퍼의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
10: 기판 처리 장치 100: 제1 기판 이송 어셈블리
120: 제1 롤러 130: 제1 샤프트
140: 제1 액튜에이터 200: 정렬 어셈블리
210: 정렬핀 220: 정렬핀 어레이
230: 제1 지지부 240: 제2 지지부
250: 정렬핀 구동부 300: 제2 기판 이송 어셈블리
320: 제2 롤러 330: 제2 샤프트
340: 제2 액튜에이터 400: 버퍼
410: 보관대 450: 제3 기판 이송 어셈블리
470: 제3 샤프트 490: 제3 롤러
500: 기판
본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상류 설비에서의 기판 처리의 정체를 방지하여 처리시간을 단축하는 장치에 관한 것이다.
최근 영상을 표현하는 표시 장치로서 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 유기 EL 표시 장치(Electro Luminescent Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 등 여러 가지 평판 표시 장치(Flat Panel Display)가 개발되어 다양한 분야에서 활용되고 있다. 이 같은 평판 디스플레이(FPD), 반도체 웨이퍼, 액정 표시 장치, 포토마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 공정라인을 거치면서 처리된다. 즉, 감광제 도포(photo resist coating), 노광(expose), 현상(develop), 부식(Etching), 박리(stripping), 세정(cleaning), 건조(dry) 등의 과정을 거치게 된다. 이러한 일련의 기판 처리공정은 통상적으로 기판을 이송시키기 위한 이송시스템과 연계됨으로써 기판의 공급, 처리, 배출의 과정이 하나의 순환 싸이클을 이루게 되며, 이러한 기판 이송시스템과 처리공정은 다양한 액체 등을 이용하여 기판을 처리하는 과정을 거치게 되며 각각의 공정들은 상호 연계되어 있다.
이러한 다양한 공정이 챔버 또는 장치에서 실행되며, 이 같은 각각의 챔버 또는 장치에는 이송롤러, 콘베이어, 승강기 와 같은 기판 이송수단이 구비되어 있어, 기판이 이송 중에 또는 이송된 후 처리된다. 한편, 이와 같은 다양한 기판 공정 챔버 또는 장치 중 필수적으로 구비되어야 하는 것으로서 기판을 세정하기 위한 기판 세정 장치가 있다.
기판 세정을 비롯한 기판 처리에 있어서 상류 설비를 거친 기판이 정체될 수 있다. 이러한 정체로 인하여 시간의 지연 및 손실이 발생할 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판이 정체 되는 경우 기판을 일시적으로 저장할 수 있는 버퍼를 구비한 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는 제1 기판 이송 어셈블리, 제1 기판 이송 어셈블리와 중첩되도록 형성되고 이송된 기판을 크기 별로 정렬하는 정렬 어셈블리, 정렬 어셈블리에 의해 크기 별로 정렬된 기판을 일시적으로 저장하는 버퍼, 및 제1 기판 이송 어셈블리에서 버퍼 로 기판을 이송하는 제2 기판 이송 어셈블리를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명을 보다 구체적으로 설명하기 위하여 본 발명에 따른 일 실시예를 첨부 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 따른 기판 처리 장치의 평면도이다. 도 3은 도 1에 따른 기판 처리 장치의 제1 기판 이송 어셈블리의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다. 도 4는 도 1의 기판 처리 장치의 정렬 어셈블리의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다. 도 5는 도 1의 기판 처리 장치의 제2 기판 이송 어셈블리와 버퍼의 개략적인 구조를 보여주는 사시도이다.
도 1에서 보듯이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)에 있어서 기판(500)은 반도체 웨이퍼이거나 평판 디스플레이(Flat Panel Display)제조에 사 용되는 기판일 수 있다. 평판 디스플레이는 액정 디스플레이(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 진공 형광 디스플레이(Vacuum Fluorescent Display), 전계 방출 디스플레이(Field Emission Display) 등일 수 있다.
도 1에서 보듯이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치(10)는 제1 기판 이송 어셈블리(100), 제1 기판 이송 어셈블리(100) 안에 형성되고 이송된 기판을 크기 별로 정렬하는 정렬 어셈블리(200), 정렬 어셈블리(200)에 의해 크기 별로 정렬된 기판을 일시적으로 저장하는 버퍼(400) 및 제1 기판 이송 어셈블리(100)에서 버퍼(400)로 기판을 이송하는 제2 기판 이송 어셈블리(300)를 포함한다.
도 3을 참조하여 기판 처리 장치(10)의 제1 기판 이송 어셈블리(100)에 대하여 설명한다.
도 3에서 보듯이, 제1 기판 이송 어셈블리(100)는 제1 샤프트(130), 제1 롤러(120), 풀리(미도시), 체인 또는 벨트(미도시), 제1 액튜에이터(140)을 포함한다. 다수의 제1 샤프트(130)는 일정 간격으로 배치되어 회전할 수 있도록 형성된다. 제1 롤러(120)는 각각의 제1 샤프트(130) 상에 일정 간격으로 형성되어 기판(500)을 지지 이송한다. 각각의 제1 샤프트(130)의 양 단부에는 풀리(미도시)가 구비되며, 이들 각각의 풀리는 각각의 제1 샤프트(130)를 연동시키기 위해 체인 또는 벨트(미도시)에 의해 상호 연결되어 있다. 물론 각각의 풀리 중 하나의 풀리에는 회전력을 발생시키기 위해 모터와 같은 제1 액튜에이터(140)가 벨트(미도시)에 의해 연결되어 있다. 제1 샤프트(130)는 원활하고 안정적으로 회전 구동할 수 있도 록 지지 장치(미도시)에 의해 지지될 수 있다.
도 4를 참조하여 기판 처리 장치(10)의 정렬 어셈블리(200)에 대하여 설명한다.
정렬 어셈블리(200)는 기판의 양측면에 나란히 배열된 한쌍의 정렬핀 어레이(220) 및 상기 정렬핀 어레이(220)를 실질적으로 수평으로 구동시키는 정렬핀 구동부(250)를 포함한다.
정렬핀 어레이(220)는 다수의 정렬핀(210)으로 구성되는데, 다수의 정렬핀(210)은 제1 지지부(230)와 제2 지지부(240) 상에 형성된다. 정렬핀 구동부(250)는 실린더 등일 수 있다. 정렬핀 구동부(250)은 제1 지지부(230)와 제2 지지부(240)의 양측에 모두 형성되어 제1 지지부(230)와 제2 지지부(240)를 실질적으로 수평으로 구동시킨다. 그 결과 기판(500)이 제1 기판 이송 장치(100)에 도입되는 경우 정렬핀 구동부(250)에 의해 제1 지지부(230)와 제2 지지부(240)이 이동하여 정렬핀 어레이(220)가 기판의 양 측면에 접촉한다. 그 결과 기판의 크기를 판단하여 기판을 크기 별로 정렬할 수 있게 된다.
도 5를 참조하여 기판 처리 장치(10)의 제2 기판 이송 어셈블리(300)에 대하여 설명한다.
도 5에서 보듯이, 제2 기판 이송 어셈블리(300)는 제2 샤프트(330), 제2 롤러(320), 풀리(미도시), 체인 또는 벨트(미도시), 제2 액튜에이터(340)을 포함한다.
다수의 제2 샤프트(330)는 일정 간격으로 제1 기판 이송 어셈블리(100)의 제 1 샤프트(130) 사이에 형성된다. 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 제2 샤프트(330)의 배치방향과 제1 이송 어셈블리(100)의 제1 샤프트(130)의 배치 방향은 실질적으로 서로 수직이다. 다만 이에 한정되지 않으며 제1 기판 이송 어셈블리(100)에서 제2 기판 이송 어셈블리(300)로 기판(500)이 이송됨으로써 기판(500)이 버퍼(400)으로 이송될 수 있으면 된다.
제2 롤러(320)는 각각의 제2 샤프트(330) 상에 일정 간격으로 형성되어 기판을 지지 이송한다. 제2 롤러(320)는 후술하겠지만 제1 기판 이송 어셈블리(100)의 제1 롤러(120)에 비하여 실질적으로 직경이 크다. 그 결과 수직이송부에 의해 제2 샤프트(330)가 제1 샤프트(130)와 인접하게 배치되는 경우, 제1 기판 이송 어셈블리(100)의 하부에 위치하던 제2 롤러(320)가 제1 샤프트(130) 사이에 돌출되어 배치된다.
각각의 제2 샤프트(330)의 양 단부에는 풀리(미도시)가 구비되며, 이들 각각의 풀리는 각각의 제2 샤프트(330)를 연동시키기 위해 체인 또는 벨트(미도시)에 의해 상호 연결되어 있다. 물론 각각의 풀리 중 하나의 풀리에는 회전력을 발생시키기 위해 모터와 같은 제1 액튜에이터(340)가 벨트(미도시)에 의해 연결되어 있다. 제2 이송 샤프트(330)는 원활하고 안정적으로 회전 구동할 수 있도록 지지 장치(미도시)에 의해 지지될 수 있다.
도 5에서 보듯이 제2 기판 이송 어셈블리(300)는 제2 샤프트(330)를 실질적으로 수직으로 구동시키는 수직 이송부(미도시)를 포함한다. 수직 이송부에 의해 제2 롤러(320)가 형성된 제2 샤프트(330)는 수직으로 구동한다. 수직 이송부는 수 직 실린더 등으로 구성될 수 있으나 이에 제한 되는 것은 아니다.
도 5을 참조하여 기판 처리 장치(10)의 버퍼(400)에 대하여 설명한다.
버퍼(400)란 기판 처리 장치(10)에 있어서 소정의 처리 공정 전, 후 또는 도중에 기판(500)을 이송시켜 일시적으로 기판(500)을 저장하는 일정한 영역을 말한다. 버퍼(400)는 다수의 기판 보관대(410)와 제2 기판 이송 어셈블리(300)로부터 기판 보관대(410)로 기판(500)을 이송하는 제3 기판 이송 어셈블리(450)를 포함할 수 있다.
다수개의 보관대(410)의 각각에 크기가 다른 기판(500)을 일시적으로 저장할 수 있다. 기판 처리 장치(10)에 버퍼(400)를 포함함으로써, 상류 설비를 거친 기판(500)이 정체되는 경우 버퍼(400)에 일시적으로 기판(500)을 보관할 수 있다.
제3 기판 이송 어셈블리(450)은 제2 기판 이송 어셈블리(300)으로부터 버퍼(400)의 보관대(410)로 기판(500)을 이송한다. 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 제2 샤프트(330)가 수직 이동부에 의해 최대로 상승했을 때의 높이와 제3 기판 이송 어셈블리(450)의 제3 샤프트(470)의 높이는 일치할 수 있다. 제3 기판 이송 어셈블리(450)의 제3 롤러(490)의 직경은 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 제2 롤러(320)과 실질적으로 동일할 수 있으나 이에 제한되는 것은 아니다.
이하 도 1 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리 장치의 동작을 설명한다.
상류 설비를 거친 기판(500)이 정체되는 경우 기판 처리 장치(10)의 동작이다. 기판(500)이 제1 기판 이송 어셈블리(100)에 도입되면 정렬 어셈블리(200)의 정렬핀 구동부(250)에 의해 제1 지지부(230)와 제2 지지부(240)가 수평으로 구동하여 정렬핀 어레이(220)가 기판(500)의 양 측면에 접촉한다. 정렬핀 어레이(220)를 구성하는 정렬핀(210)에 의해 기판(500)의 크기를 판단 한 후 기판(500)의 크기에 맞는 버퍼의 보관대(410)를 결정한다.
제2 기판 이송 어셈블리(300)의 수직 이송부(미도시)의 구동으로 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 제2 샤프트(330)가 수직 방향으로 들어 올려진다. 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 제2 샤프트(330)는 제1 기판 이송 어셈블리(100)의 제1 샤프트(130) 사이에 일정 간격으로 배치되고, 제2 샤프트(330)와 제1 샤프트(130)의 배치 방향은 실질적으로 서로 수직이나 이에 제한되는 것은 아니다. 제2 샤프트(330) 상에 일정 간격으로 형성된 제2 롤러(320) 직경은 상기 제1 기판 어셈블리(100)의 제1 샤프트(130)에 형성된 제1 롤러(120)의 직경보다 실질적으로 크다. 따라서 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 제2 샤프트(330)가 수직구동부에 의해 상승하여 제1 기판 이송 어셈블리(100)의 제1 샤프트(130)와 접촉하게 되더라도, 제2 롤러(320)의 직경이 제1 롤러(120)의 직경보다 실질적으로 크기 때문에 기판(500)은 제1 기판 이송 어셈블리(100)가 아닌 제2 기판 이송 어셈블리(300) 위에 존재하게 된다. 다시 말해 기판(500)은 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 제2 샤프트(330) 상에 형성된 제2 롤러(320) 위에 놓여지게 된다.
그 이후 기판(500)은 버퍼(400)의 제3 기판 이송 어셈블리(450)로 이송된다. 결정된 보관대(410)로 기판(500)은 분류되어 보관된다. 이후 기판(500)의 정체가 해소되면 보관대(410)로부터 기판(500)을 제3 기판 이송 어셈블리(450)로부터 제2 기판 이송 어셈블리(300)로 이송해 온다. 이후 제2 기판 이송 어셈블리(300)의 수직 구동부에 의해 제2 샤프트(330)가 내려가면, 기판(500)은 제1 기판 이송 어셈블리(100) 상에 높여지게 되고, 기판(500)은 이후 공정을 거치게 된다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 기판 처리 장치에 의하면, 기판이 기판 이송 어셈블리를 따라 이송되는 공정에서 상류 설비를 거친 기판이 정체될 경우 기판을 버퍼로 이송하여 일시적으로 보관함으로써 기판의 정체로 인한 시간의 지연과 비용의 손실을 막을 수 있다.

Claims (5)

  1. 제1 기판 이송 어셈블리:
    상기 제1 기판 이송 어셈블리와 중첩되도록 형성되고 이송된 기판을 크기 별로 정렬하는 정렬 어셈블리;
    상기 정렬 어셈블리에 의해 크기 별로 정렬된 상기 기판을 일시적으로 저장하는 버퍼; 및
    상기 제1 기판 이송 어셈블리에서 상기 버퍼로 상기 기판을 이송하는 제2 기판 이송 어셈블리를 포함하는 기판 처리 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 기판 이송 어셈블리는, 일정한 간격으로 배치되어 회전할 수 있도록 형성된 다수의 제1 샤프트와 상기 제1 샤프트 상에 일정 간격으로 형성된 제1 롤러를 포함하고,
    상기 정렬 어셈블리는, 상기 제1 샤프트 사이에 형성되어 기판의 양측면에 나란히 배열된 한쌍의 정렬핀 어레이와 상기 정렬핀 어레이를 수평으로 구동시키는 정렬핀 구동부를 포함하는 기판 처리 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제2 기판 이송 어셈블리는, 상기 제1 샤프트에 대하여 실질적으로 수직 으로 배치된 다수의 제2 샤프트와 상기 제2 샤프트를 수직으로 구동시키는 수직 이송부를 포함하는 기판 처리 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 제2 기판 이송 어셈블리는 상기 제2 샤프트 상에 일정 간격으로 형성된 제2 롤러를 포함하고, 상기 제2 롤러는 상기 제1 기판 이송 어셈블리의 하부에 위치하고, 상기 수직이송부에 의해 상기 제2 샤프트가 상기 제1 샤프트와 인접하게 배치되는 경우 상기 제2 롤러가 상기 제1 샤프트 사이에 돌출되어 배치되는 기판 처리 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 버퍼는 상기 기판이 크기별로 수납되는 다수의 기판 보관대를 포함하는 기판 처리 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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