KR101422126B1 - 기판처리장치 및 기판이송방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판의 이송거리를 최소화하고 기판의 자중에 의한 이송수단의 변형을 방지하는 기판처리장치 및 기판이송방법에 관한 것으로, 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버; 상기 이송챔버의 측면에 설치되며 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버; 상기 이송챔버에서 상기 기판을 이송시키는 제 1 이송수단; 상기 제 1 이송수단의 상기 기판을 전달받는 이송 프레임; 상기 이송 프레임을 상기 이송챔버에서 상기 공정챔버 내부에 이송시키는 제 2 이송수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
기판처리장치, 이송챔버, 이송 프레임, 롤러

Description

기판처리장치 및 기판이송방법{System for treatmenting substrate and Method for transfering substrate}
본 발명은 기판처리장치 및 기판이송방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판의 이송거리를 최소화하고 기판의 자중에 의한 이송수단의 변형을 방지하는 기판처리장치 및 기판이송방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치 또는 박막 태양전지를 제조하기 위해서는 기판에 특정 물질의 박막을 증착하는 박막증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 패터닝하는 식각공정 등을 거치게 되며, 이들 각 공정은 해당공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 기판처리장치의 내부에서 진행된다. 기판처리장치에서 단시간에 다량의 기판을 처리하기 위해서 다수의 공정챔버와, 기판을 공정챔버로 이송 또는 회송하는 이송챔버와, 기판을 일시 저장하며 이송챔버와 연결되는 로드락챔버를 포함하는 복합형 장치로서 클러스터(cluster)가 많이 사용되고 있다.
도 1은 제 1 종래기술에 따른 클러스터의 개략도이다. 도 1과 같이, 클러스터는 로드락챔버(20), 이송챔버(50) 및 다수의 공정챔버(30)와, 다수의 공정챔버(30)에서 공정을 수행하기 전에 기판(60)을 예열시키기 위한 예열챔버(40)를 포함하며, 로드락챔버(20)는 다수의 기판(60)을 적재하는 기판 저장부(10)에 연결된다. 이송챔버(50)에는 로드락챔버(20), 공정챔버(30) 및 예열챔버(40) 사이에서 기판(60)을 이송하기 위해 이송챔버 로봇(52)이 설치되며, 기판 저장부(10)에는 기판(60)을 이송하기 위해 저장부 로봇(12)이 설치된다. 이때 이송챔버 로봇(52)이나 저장부 로봇(12)은 회전운동 방식이 기판(60)을 이송한다. 공정상 필요에 따라, 예열챔버(40)는 생략될 수 있고, 로드락챔버(20)나 공정챔버(30)의 개수가 달라질 수도 있다.
도 1과 같은 제 1 종래기술의 클러스터는 중앙에 이송챔버(50)를 중심으로 공정챔버(30) 및 예열챔버(40)를 배치하는 구조이며, 이송챔버(50)의 이송챔버 로봇(52)에 의해 로드락 챔버(20)와 공정챔버(30) 또는 예열챔버(40)의 사이에서 기판(60)을 이송한다. 그런데, 이송챔버 로봇(52)을 이용하여 기판(60)을 이송함에 있어, 기판(60)이 대형화하고 무거운 경우에는 이송챔버 로봇(52)의 암을 이송챔버 로봇(52)의 중심으로부터 회전반경까지 최대한 확장하면 기판(60)의 하중으로 인해 암이 처지게 되고, 또한 이송챔버 로봇(52)의 원심력에 의해 기판(60)이 암으로부터 미끄러지져 기판(60)이 파손되는 문제가 있다.
도 2는 제 2 종래기술에 따른 기판처리장치의 개략도이다. 도 2의 종래기술의 제 1 실시예를 개선한 기판처리장치에 관한 것으로, 장방형의 이송챔버와 이송챔버의 주변에 공정 또는 예열챔버를 배치하여, 송챔버 로봇의 암이 처지거나, 기판의 파손을 방지하는 기판처리장치이다.
제 2 종래기술에 따른 기판처리장치는 장방형의 이송챔버(70)와, 이송챔버(70)의 장축방향을 따라 이송챔버(70)의 측면에 연결된 다수의 공정챔버(72), 로드락 챔버(74)와, 기판(60)을 적재하는 기판저장부(76)를 구비한다. 그리고, 기판저장부(76)와 로드락챔버(74) 사이에 연결되어 기판(60)을 회전시켜 전달하는 기판수용부(78)를 더욱 구비한다. 이송챔버(70) 내부에는 이송챔버(70)의 장축을 따라 수평이동축(80)과, 수평이동축(80)을 따라 이동하면서 기판(60)을 이송하는 이송챔버 로봇(82)이 설치되어 있고, 기판저장부(76)에는 기판(60)을 기판수용부(76)로 반입하거나, 기판수용부(78)로부터 기판(60)을 반출하기 위해 저장부 로봇(84)이 설치된다.
제 2 종래기술에서는 이송챔버 로봇(82)이 수평이동축(80)을 따라 공정챔버(72)에 기판(60)을 전달한다. 그런데, 제 1 종래기술과 동일하게, 기판(60)의 대형화하고 무거운 경우에는, 이송챔버 로봇(82)에서 공정챔버(72)까지 확장하게 되면, 기판(60)의 하중으로 인해 암이 처지게 되는 문제가 있다.
상기와 같은 종래기술의 문제를 해결하기 위하여, 본 발명은 기판을 이송시키기 위한 이송프레임을 이송수단에 의해 이송하는 것에 의해 기판의 이송거리를 최소화하고 기판의 자중에 의한 이송수단의 변형을 방지하는 기판처리장치 및 기판이송방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 기판처리장치는, 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버; 상기 이송챔버의 측면에 설치되며 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버; 상기 이송챔버에서 상기 기판을 이송시키는 제 1 이송수단; 상기 제 1 이송수단의 상기 기판을 전달받는 이송 프레임; 상기 이송 프레임을 상기 이송챔버에서 상기 공정챔버 내부에 이송시키는 제 2 이송수단;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 제 1 이송수단은 상기 기판이 적치되는 다수의 롤러, 상기 다수의 롤러의 중심을 관통하여 연결하는 롤러 지지봉, 및 상기 롤러 지지봉의 양끝단을 지지하는 동시에 상기 롤러 지지봉의 회전운동을 위한 구동부와 연결되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 제 2 이송수단은 상기 이송챔버의 내부에서, 상기 롤러 지지봉의 사이에서, 상기 이송 프레임을 이송하기 위하여 상 승 및 하강이 가능한 다수의 제 2 롤러와, 상기 공정챔버의 내부에서 상기 이송 프레임을 이송하며 상승 및 하강이 가능한 다수의 제 3 롤러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 제 1 이송수단 상의 상기 기판을 상기 이송 프레임에 전달하기 위하여, 상기 롤러 지지봉 사이에서 상승 및 하강이 가능한 다수의 리프트 핀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 다수의 리프트 핀의 각각에 상기 기판의 위치를 보정하는 위치보정수단이 연결되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 위치보정수단은 상기 다수의 리프트 핀과 별도의 구동부를 가지며, 상기 다수의 리프트 핀의 각각에 연결되는 제 1 암과, 상기 제 1 암에 연결되며 상기 기판과 접촉하여 상기 기판의 위치를 보정시키는 제 2 암으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 다수의 리프트 핀이 상승 높이는 상기 다수의 제 2 롤러보다 더 높은 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 이송 프레임은 동공의 중앙부와 상기 중앙부의 양측에 두 개의 주변부와, 상기 두 개의 주변부를 연결하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 공정챔버는 상기 기판이 안착되는 기판 안치대를 포함하며, 상기 이송 프레임에 의해 상기 기판이 이송되면, 상기 다수의 제 3 롤러가 하강하거나 또는 상기 기판 안치대가 상승하면서 상기 이송 프레 임의 상기 두 개의 주변부 및 상기 연결부는 상기 기판 안치대의 주변영역에 적치되고, 상기 기판은 상기 기판 안치대에서 돌출된 돌출부에 위치하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 이송챔버는 장방형으로 형성되며, 장축방향으로 상기 공정챔버가 연결되고, 단축방향으로 로드락 챔버가 연결되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 로드락 챔버는 상기 기판을 인입하는 제 1 로드락 챔버와, 상기 제 1 로드락 챔버와 대향하는 위치에서 상기 이송챔버와 연결되며 상기 기판을 반출하는 제 2 로드락 챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 이송챔버와 상기 공정챔버의 사이에 제 1 슬롯밸브, 상기 이송챔버와 상기 제 1 로드락 챔버의 사이에 제 2 슬롯밸브, 상기 이송챔버와 상기 제 2 로드락 챔버의 사이에 제 3 슬롯밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 이송챔버를 독립적인 공간으로 구분하는 제 4 슬롯밸브를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 기판처리장치에 있어서, 상기 공정챔버와 대응되는 상기 이송챔버에 상기 제 1 이송수단의 운동을 감지하는 감지수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 기판처리장치의 기판이송방법은, 진공상 태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버와 상기 이송챔버의 측면에 설치되며 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버를 포함하는 기판처리장치에 있어서, 상기 이송챔버의 연결되어 있는 제 1 로드락 챔버에 기판을 반입하여 상기 이송챔버 내부의 제 1 이송수단 상에 적치하는 단계; 상기 기판을 상기 제 1 이송수단에 의해 운송하여 상기 공정챔버 앞에 위치시키는 단계; 다수의 리프트 핀에 의해 상기 기판을 상승시키고 이송 프레임 상에 상기 기판을 안치시키는 단계; 상기 이송 프레임을 상기 이송챔버 및 상기 공정챔버에 설치되는 제 2 이송수단에 의해 이송하는 단계; 상기 이송 프레임의 상기 기판을 상기 공정챔버 내부의 기판 안치대 상에 안착시키는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치는 다음과 같은 효과가 있다.
본 발명은 기판을 적재한 이송 프레임을 이송챔버 및 공정챔버에서 각각 이송할 수 있는 이송수단을 구비하는 것에 의해 기판의 이송거리를 최소화하고, 기판의 자중에 의해 이송수단이 변형되는 것을 방지한다. 이송챔버에서 기판의 운송에 대한 문제를 해결하는 것에 의해 이송챔버에 연결되는 공정챔버의 수가 제한되지 않는다. 이송챔버를 별개의 독립공간으로 분리함으로써, 진공배기가 용이하다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기 로 한다.
도 3은 본 발명에 따른 기판처리장치의 개략도이고, 도 4는 본 발명에 따른 이송챔버의 상세도이고, 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 이송챔버의 단면도이고, 도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 공정챔버의 상세도이고, 도 9 및 도 10은 본 발명에 공정챔버의 단면도이다.
본 발명에 따른 기판처리장치(110)는 일방향으로 연장된 이송챔버(112), 장축방향을 따라 이송챔버(112)의 측면에 연결된 다수의 공정챔버(114), 및 단축방향의 측면에 연결되는 제 1 및 제 2 로드락 챔버(116a, 116b)를 포함한다. 다수의 공정챔버(114)는 기판(118) 상에 박막을 증착하는 증착공정, 박막을 식각하는 식각공정, 및 기판(118)을 가열하는 예열공정 등을 포함하며, 도 3에는 다수의 공정챔버(114)가 이송챔버(112)의 양측에 동수로 배치되는 것으로 도시되어 있으나, 이는 공간을 효율적으로 활용하기 위한 것이므로 이송챔버(112)의 일측에만 배치되는 것을 배제하는 것은 아니다. 그리고 다수의 공정챔버(114)의 각각과 이송챔버(112)의 사이에 제 1 슬롯밸브(130), 이송챔버(112)와 제 1 로드락 챔버(116a) 사이에 제 2 슬롯밸브(144), 및 이송챔버(112)와 제 2 로드락 챔버(116b) 사이에 제 3 슬롯밸브(146)가 설치된다.
도 3 내지 도 10과 같이, 이송챔버(112)의 내부는 다수의 공정챔버(114)와 동일한 진공을 유지하고 있으며, 단축방향의 일측에는 공정을 진행하기 위한 기 판(112)을 반입시키는 제 1 로드락 챔버(116a)가 연결되고, 단축방향의 타측에는 공정을 완료한 기판(112)을 반출시키는 제 2 로드락 챔버(116b)가 설치된다. 기판(118)을 이송하기 위한 수단은 제 1 로드락 챔버(116a)로부터 인입된 기판(112)을 이송챔버(112)의 내부에서 이동시키기 위한 제 1 이송수단(120)과 기판(112)을 공정챔버(114)의 내부로 이송시키기 위한 제 2 이송수단(170)으로 구성된다.
다수의 공정챔버(114)의 각각과 대응되는 이송챔버(112)에는 제 1 이송수단(120)에 의해 이송되는 기판(112)을 감지하여 공정챔버(114)의 앞에서 이송을 정지시키는 다수의 감지수단(122)이 설치된다. 제 1 이송수단(120)은 기판(112)이 안치되는 다수의 제 1 롤러(124), 다수의 제 1 롤러(124)의 중심을 관통하여 연결하는 롤러 지지봉(126), 및 롤러 지지봉(126)의 양끝단을 지지하는 동시에 롤러 지지봉(126)의 회전운동을 위한 구동부(도시하지 않음)와 연결되는 지지대(128)를 포함한다.
이송챔버(112)는 롤러 지지봉(126)의 사이에서 제 1 슬롯밸브(130)를 통하여 기판(118)을 공정챔버(114)에 공급하기 위하여, 기판(118)을 상승시키고 공정챔버(114)로부터 공정이 완료된 기판(118)을 공급받아 다수의 제 1 롤러(124) 상에 안착시키는 다수의 리프트 핀(132)과, 다수의 리프트 핀(132)의 각각에 연결되어, 다수의 리프트 핀(132)에 의해 상승된 기판(118)의 위치를 보정하는 위치보정수단(134)을 포함한다. 다수의 리프트 핀(132)에 의해 상승된 기판(118)을 공정챔 버(114)의 내부로 공급하기 위한 이송 프레임(138)을 이송시키기 위한 제 2 이송수단(170)의 다수의 제 2 롤러(142)가 롤러 지지봉(126)의 사이에 위치한다. 도 5는 이송챔버(112)에서 다수의 리프트 핀(132)에 의해 기판(118)이 상승된 상태를 표시한 단면도이다.
다수의 제 2 롤러(142)는 다수의 리프트 핀(132)과 함께 상승하며, 이송 프레임(138)이 다수의 제 2 롤러(142) 상에 위치하면 다수의 리프트 핀(132)이 하강하여 이송 프레임(138) 상에 기판(118)이 안착한다. 도 6은 이송챔버(112)에서 다수의 리프트 핀(132)이 하강하고, 기판(118)이 이송 프레임(138) 상에 안착한 상태를 표시한 단면도이다. 이송 프레임(138) 상에 기판(118)의 원활한 안착을 위하여 다수의 리프트 핀(132)은 다수의 제 2 롤러(142)보다 높게 상승한다. 다수의 리프트 핀(132)의 하부에는 다수의 리프트 핀(132)을 승하강시키기 위한 리프트 핀 구동수단(도시하지 않음)이 설치된다. 다수의 리프트 핀(132)의 각각은 별도로 구동될 수 있지만, 동시에 구동될 수 있다.
위치보정수단(134)은 도 4 내지 도 6과 같이, 다수의 리프트 핀(132)의 각각에 연결되는 제 1 암(152)과 제 1 암(152)에 연결되며 기판(118)과 접촉하여 기판(118)의 위치를 보정시키는 제 2 암(154)으로 구성되며, 공정진행 전에 기판(118)이 보정되는 위치를 세팅시킨다. 기판(118)의 위치보정을 위하여 필요하면 또 다른 암을 연결하여 사용할 수 있다. 다수의 리프트 핀(132)이 상승하여 기 판(118)을 지지한 상태에서, 리프트 핀(132)에 연결된 부분을 축으로 제 1 암(152)이 상부로 올라가고, 제 1 암(152)에 지지되고 있는 제 2 암(154)이 기판(118)의 각각의 변에 물리적 힘을 가하여 위치를 보정한다. 위치보정수단(134)은 기판(118)의 각변에 대응되는 수로 구성하며, 필요에 따라 적게 설치하거나 많게 설치할 수 있다.
공정챔버(114)는 도 7 내지 도 10과 같이, 기판(118)이 안착되며 승하강이 가능한 기판 안치대(136), 기판 안치대(136)의 상부에서 기판(118)을 이송챔버(112)로부터 인입 또는 이송챔버(112)로 반출하기 위한 이송 프레임(138), 및 기판 안치대(136)의 측면에서 이송 프레임(138)이 이동하기 위한 제 2 구동수단(170)의 다수의 제 3 롤러(140)를 포함한다. 이송 프레임(138)은 이송챔버(112)에서 기판(118)을 상승시킨 다수의 리프트 핀(132)과 공정챔버(114)의 기판 안치대(136)와 접촉하지 않도록 하기 위하여, 중앙부는 동공이고, 기판(118)의 양단부를 지지하는 주변부(138a)와 두 개의 주변부(138a)를 연결하는 연결부(138b)로 구성된다. 연결부(138b)와 대향하는 개구(172)는 이송챔버(112)를 향한다.
기판 안치대(136)는 이송 프레임(138)의 중앙부와 대응되며 돌출부(148)가 설치되며, 기판(118)이 기판 안치대(136)에 안치되면, 이송 프레임(138)의 주변부(138a)와 연결부(138b)는 기판 안치대(136)의 단부에 위치된다. 다수의 제 3 롤러(140)는 기판(118)을 이송시킬 때, 이송 프레임(138)을 이동시키기 위하여 기판 안치대(136)의 표면보다 높게 상승하고, 이동이 완료되면 기판 안치대(136)의 표면 이하로 하강한다. 도 7 및 도 9는 공정챔버(114)에서, 다수의 제 3 롤러(140)가 하강하기 전에 기판(118)이 적치된 이송 프레임(138)이 기판 안치대(136) 상에 위치한 상태의 사시도 및 단면도이고, 도 8 및 도 10은 공정챔버(114)에서, 다수의 제 3 롤러(140)이 서서히 하강하면서, 이송 프레임(138)의 주변부(138a) 및 연결부(138b)가 기판 안치대(136) 상에 적치된 상태의 사시도 및 단면도이다. 이송 프레임(138)이 슬롯밸브(138)를 통하여 공정챔버(114)와 이송챔버(112)를 원활하게 이동하기 위하여 다수의 제 2 및 제 3 롤러(142, 140)의 상승 높이는 동일하다.
공정챔버(114)에서, 다수의 제 3 롤러(140)가 다수의 제 2 롤러(142)의 상승높이에 고정되고, 기판 안치대(136)이 상승 및 하강할 수 있다. 기판(118)을 적치한 이송 프레임(138)이 공정챔버(114) 내부로 반입되면, 기판 안치대(136)이 상승하면서, 기판 안치대(136)의 주변부와 돌출부(148) 상에 각각 이송 프레임(138)과 기판(118)이 안치되고, 더욱 기판 안치대(136)가 상승하여 다수의 제 3 롤러(140)를 이송 프레임(138)과 분리시킨다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송챔버의 개략도이다. 다수의 공정챔버(114) 각각의 경계영역과 이송챔버(112)에 다수의 제 4 슬롯밸브(150)를 설치할 수 있다. 다수의 중간 슬롯밸브(150)를 설치하는 것에 의해 이송챔버(112)를 다수의 독립적인 진공공간을 형성할 수 있다.
도 12는 기판이 이송되는 과정을 도시한 순서도이다. 도 3 내지 도 10 및 도 12를 참조하여 기판이 이송되는 과정을 설명하면 다음과 같다.
S01 단계와 같이, 기판(118)이 상압상태의 제 1 로드락 챔버(116a)에 반입되고, 제 1 로드락 챔버(116a)의 도어를 닫고, 제 1 로드락 챔버(116a)를 진공배기하여, 이송챔버(112)와 동일한 진공수준을 유지시킨다. S02 단계와 같이, 제 1 로드락 챔버(116a)와 이송챔버(112) 사이의 제 2 슬롯밸브(144)를 열고, 기판(118)을 이송챔버(112) 내부의 제 1 이송수단(120) 상에 위치시키고, 제 1 이송수단(120)이 구동하여 기판(118)을 원하는 공정챔버(114)의 앞에 위치시킨다. 제 1 이송수단(120)에 의해 이동되는 기판(118)을 감지수단(122)이 감지하여 정지시킨다. 기판(118)이 감지하는 위치는 중앙제어장치(도시하지 않음)에 의해 조절된다.
S03 단계와 같이, 제 1 이송수단(120)의 운동이 정지하면, 다수의 제 1 롤러(124) 사이의 다수의 리프트 핀(132)이 상승하여, 기판(118)을 들어 올리고, 다수의 리프트 핀(132)의 각각에 설치되어 있는 위치보정수단(134)이 동작하여 기판(118)을 정위치시키고, 위치보정수단(134)는 기판(118)의 하부로 하강하고, 다수의 제 1 롤러(124) 사이의 다수의 제 2 롤러(142)가 상승한다. 동시에, 공정챔버(114)에서 기판 안치대(136)의 양측에 위치하는 다수의 제 3 롤러(140)가 상승하여, 이송 프레임(138)을 지지한다.
S04 단계와 같이, 기판(118)이 정위치한 상태에서, 공정챔버(114)의 제 1 슬롯밸브(130)가 열리고, 공정챔버(114)로부터 이송 프레임(138)이 다수의 제 2 및 제 3 롤러(142, 140)에 의해 구동되어 제 1 슬롯밸브(130)를 통과한 후, 기판(118)의 하부에 위치한다. 기판(118)의 하부에 이송 프레임(138)이 위치하면 다수의 리프트 핀(132)은 하강하여, 기판(118)을 이송 프레임(138) 상에 안착시킨다. S05 단계와 같이, 이송챔버(112)의 내부에서 이송 프레임(138) 상에 안착된 기판(118)을 다수의 제 2 및 제 2 롤러(142, 140)의 구동에 의해 공정챔버(114)의 내부로 반입하여, 기판 안치대(136) 상에 위치시킨다.
SO6 단계와 같이, 공정챔버(114)의 내부에서 이송 프레임(138)에 의해 지지되고 있는 기판(118)을 기판 안치대(136) 상에 안착시키기 위하여, 다수의 제 3 롤러(142)를 서서히 하강시킨다. 다수의 제 3 롤러(142)의 하강과 함께 이송 프레임(138)의 주변부(138a)가 기판 안치대(136)과 접촉하면서 기판(118)은 기판 안치대(136)의 돌출부(148) 상에 안착된다. S07 단계와 같이, 제 1 슬롯밸브(130)를 닫고, 공정챔버(114)의 내부에서 기판을 처리하는 공정을 진행한 후, S07 단계와 같이, S02 내지 S06 단계의 역순으로 기판(118)을 이송챔버(112) 내부의 이송수단(120) 상에 위치시키고, 다른 공정을 진행하거나, 제 2 로드락 챔버(116b)를 통하여 이송챔버(112)의 외부로 기판(118)을 반출시킨다.
도 1은 제 1 종래기술에 따른 클러스터의 개략도
도 2는 제 2 종래기술에 따른 기판처리장치의 개략도
도 3은 본 발명에 따른 기판처리장치의 개략도
도 4는 본 발명에 따른 이송챔버의 상세도
도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 이송챔버의 단면도
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 공정챔버의 상세도
도 9 및 도 10은 본 발명에 공정챔버의 단면도
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 이송챔버의 개략도
도 12는 기판이 이송되는 과정을 도시한 순서도

Claims (15)

  1. 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버;
    상기 이송챔버의 측면에 설치되며 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버;
    상기 이송챔버에서 상기 기판을 이송시키는 제 1 이송수단;
    상기 제 1 이송 수단 사이에 위치하며 상기 제 1 이송수단 상의 상기 기판을 상승시키기 위한 리프트 핀;
    상기 리프트 핀에 일단이 연결되고 타단이 상기 기판의 일면과 접촉하여 상기 기판의 위치를 보정하기 위한 위치보정수단;
    상기 리프트 핀 상의 기판을 상기 공정챔버 내부로 이송시키기 위한 제 2 이송수단
    을 포함하고,
    상기 위치보정수단은, 상기 리프트 핀에 연결되는 제 1 암과, 상기 제 1 암에 연결되며 상기 기판과 접촉하여 상기 기판의 위치를 보정시키는 제 2 암으로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 리프트 핀 상의 기판을 전달받고 상기 제 2 이송수단에 의해 상기 이송챔버에서 상기 공정챔버로 이송되는 이송 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 이송수단은 상기 기판이 적치되는 다수의 제 1 롤러, 상기 다수의 제 1 롤러의 중심을 관통하여 연결하는 롤러 지지봉, 및 상기 롤러 지지봉의 양끝단을 지지하는 동시에 상기 롤러 지지봉의 회전운동을 위한 구동부와 연결되는 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 이송수단은 상기 제 1 이송수단 사이에 위치하며 상승 및 하강이 가능한 다수의 제 2 롤러와, 상기 공정챔버 내부에 위치하며 상기 기판을 상기 이송챔버와 상기 공정챔버 사이에서 이송시키고 상승 및 하강이 가능한 다수의 제 3 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 위치보정수단은 상기 리프트 핀과 별도의 구동부를 가지는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 리프트 핀이 상승 높이는 상기 다수의 제 2 롤러보다 더 높은 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 진공상태에서 기판의 이송공간을 제공하는 이송챔버와 상기 이송챔버의 측면에 설치되며 진공상태에서 기판을 처리하는 공정챔버를 포함하는 기판처리장치에 있어서,
    상기 이송챔버의 연결되어 있는 제 1 로드락 챔버에 기판을 반입하여 상기 이송챔버 내부의 제 1 이송수단 상에 적치하는 단계;
    상기 기판을 상기 제 1 이송수단에 의해 운송하여 상기 공정챔버 앞에 위치시키는 단계;
    상기 제 1 이송 수단 사이에 위치하는 리프트 핀이 상승하여 상기 기판을 상승시키는 단계;
    상기 상승된 기판의 적어도 일측에 위치하고 상기 리프트 핀에 일단이 연결되는 위치보정수단의 타단이 상기 기판의 적어도 일측면과 접촉하여 상기 기판의 위치를 보정하는 단계;
    상기 기판의 위치 보정 단계 이후에 상기 기판을 상기 공정챔버로 이송시키는 단계
    를 포함하고,
    상기 위치보정수단은, 상기 리프트 핀에 연결되는 제 1 암과, 상기 제 1 암에 연결되며 상기 기판과 접촉하여 상기 기판의 위치를 보정시키는 제 2 암으로 구성되는 기판처리장치의 기판이송방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기판을 상기 공정챔버로 이송시키는 단계는,
    이송 프레임 상에 상기 기판을 안치시키는 단계;
    상기 이송 프레임을 상기 이송챔버 및 상기 공정챔버에 설치되는 제 2 이송수단에 의해 상기 공정챔버로 이송하는 단계;
    상기 이송 프레임의 상기 기판을 상기 공정챔버 내부의 기판 안치대 상에 안착시키는 단계
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치의 기판이송방법.
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