KR101318172B1 - 기판 이송용 트레이 - Google Patents

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Abstract

기판 이송용 트레이가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이는, 기판이 지면에 대하여 기립된 상태로 장착되는 프레임; 및 프레임의 기판에 대향하는 면에 마련되어 기판을 점착하거나 점착된 기판을 분리시키는 점착 및 분리유닛을 포함한다.

Description

기판 이송용 트레이{Tray for transporting substrate}
본 발명은, 기판 이송용 트레이에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 기판을 수직으로 세워 이송할 수 있는 기판 이송용 트레이에 관한 것이다.
일반적으로 기판이라 함은, 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel), 액정디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display) 및 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes)과 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display), 반도체용 웨이퍼(wafer), 포토 마스크용 글라스(glass) 등을 가리킨다.
평판표시소자(FPD)로서의 기판과, 반도체용 웨이퍼로서의 기판은 상호간 재질적인 면이나, 용도 등에서 차이가 있지만, 기판들에 대한 일련의 처리 공정, 예를 들어 노광, 현상, 에칭, 스트립, 린스, 세정 등의 공정은 실질적으로 매우 흡사하며, 이 공정들이 순차적으로 진행됨으로써 기판이 제조된다. 이하에서는 평판표시소자(FPD) 중에서도 특히, 액정디스플레이를 예로 들어 설명하기로 한다.
액정디스플레이는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전극이 형성되어 있는 두 장의 기판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 투과되는 빛의 양을 조절하는 표시 장치이다.
두 장의 기판에는 전극 이외에도 주사 신호를 전달하는 게이트선과 데이터 신호를 전달하는 데이터선 등 금속배선이 형성된다.
이러한 금속 배선이나 전극은 기판에 증착하여 형성하는데, 이때 스퍼터링(Sputtering)을 실시한다.
스퍼터링은 기판이 올려진 트레이(Tray)를 각각의 챔버로 이송시키면서 감압, 히팅(Heating)을 실시한 후 실시된다.
이때 트레이를 이용한 기판의 이송 시스템으로 구동 롤러 방식 또는 타이밍 벨트 풀리 방식 등이 사용된다.
이러한 트레이를 이용한 기판의 이송은 기판의 처짐 및 휘어짐 방지를 위해 일정한 각도로 기울여서 이송하는 방식이 고려되고 있다. 이러한 방식은 기판의 자중으로 인하여 기판의 중간 부분이 휘어져 나오는 배부름 현상을 어느 정도 방지할 수 있다.
그런데 이와 같이 기판을 기울여서 이송하는 경우 트레이 하부와 구동 롤러 또는 타이밍 벨트의 접지면이 하중방향과 일치하지 못하여, 접지면에서 갈림현상에 의해 파티클(Particle)이 발생하거나, 고속 이송 후 정지 시 슬립(Slip)현상이 발생할 수 있다.
이러한 현상은 기판을 수직으로 세워 이송하는 경우 개선될 수 있으나, 기판을 수직으로 세워 이송하는 경우 유기기판의 자중에 의한 배부름 현상이 더욱 심해지고, 고속이송 시 진동에 의한 기판의 파손 현상도 초래할 수 있다.
특히, 점점 초대면적의 기판으로 개발이 진행되고 이송속도는 더욱 빨라지고 있는 현재 상황에서, 기판의 자중에 의한 배부름 현상 및 진동에 따른 집중응력에 의한 파손 위험은 더욱 커지고 있어 대응책 마련이 요구되는 상황이다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기판 이송 시 파티클 발생이나 슬립 발생을 종래보다 감소시키고, 자중에 따른 휘어짐과 이송 시 진동에 따른 응력집중을 방지할 수 있는 기판 이송용 트레이를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판이 지면에 대하여 기립된 상태로 장착되는 프레임; 및 상기 프레임의 상기 기판에 대향하는 면에 마련되어 상기 기판을 점착하거나 점착된 상기 기판을 분리시키는 점착 및 분리유닛을 포함하는 기판 이송용 트레이가 제공될 수 있다.
상기 프레임은, 상기 기판보다 큰 장방형으로 마련되는 메인 프레임; 및 상기 메인 프레임의 내측에서 상기 메인 프레임을 연결하는 복수의 서브 프레임을 포함할 수 있다.
상기 서브 프레임은, 상기 점착 및 분리유닛에 부압 또는 정압의 공기압을 제공하는 흡배기관을 포함할 수 있다.
상기 점착 및 분리유닛은, 상기 복수의 서브 프레임이 교차하는 영역에 마련될 수 있다.
상기 점착 및 분리유닛은, 상기 흡배기관과 연통되도록 마련되는 흡배기 유로를 포함하는 점착블럭; 상기 점착블럭에 대하여 슬라이딩 가능하게 결합하며, 상기 흡배기 유로와 연통되도록 마련되는 흡배기홀을 포함하는 푸쉬 플레이트; 상기 흡배기홀을 개폐하도록 상기 푸쉬 플레이트 내측에 결합되는 포핏밸브; 및 상기 푸쉬 플레이트의 외주연에 배치되어 상기 기판이 점착되는 점착패드를 포함할 수 있다.
상기 점착 및 분리유닛은, 상기 점착블럭에 결합되어 상기 푸쉬 플레이트의 슬라이딩 거리를 제한하는 스톱퍼; 및 상기 스톱퍼와 상기 푸쉬 플레이트 사이에 개재되어 상기 푸쉬 플레이트에 복원력을 제공하는 복원 스프링을 더 포함할 수 있다.
상기 포핏밸브는, 상기 포핏밸브에 연결되며 상기 포핏밸브에 의해 상기 흡배기홀이 닫힌 상태가 유지되도록 상기 포핏밸브에 탄성력을 제공하는 밸브 스프링을 포함할 수 있다.
상기 점착패드는, 상기 기판에 점착되는 실리콘계, 아크릴계, 우레탄계 중 어느 하나의 점착수지로 마련되는 점착부를 포함할 수 있다.
상기 흡배기관과 외부와 연통되는 상기 메인 프레임 부분에는 흡배기용 도킹장치와 연결되는 흡배기 포트가 마련될 수 있다.
상기 프레임 상에 설치되어 상기 기판의 가장자리를 따라 상기 기판과 상기 프레임을 결합시키는 클램프를 더 포함할 수 있다.
상기 기판은 지면에 대하여 수직으로 세워져 상기 프레임에 장착되며, 상기 점착 및 분리유닛은 지면에 대하여 수직으로 세워진 상기 기판을 점착하거나 점착된 상기 기판을 분리시키킬 수 있다.
본 발명의 실시예들은, 기판 이송 시 구동 롤러와의 접지면에서 파티클이 발생하거나 슬립현상이 발생하는 것을 종래보다 감소시킬 수 있고, 자중에 따른 휘어짐과 이송 시 진동에 따른 응력집중을 방지할 수 있어 초대면적의 기판도 파손위험 없이 안전하게 운반할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이가 적용되는 스퍼터 장치의 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이의 평면도이다.
도 3은 도 2의 "A"부분을 확대한 점착 및 분리유닛의 평면도이다.
도 4는 기판 이송용 트레이에 기판이 장착된 상태의 측면 단면도이다.
도 5는 기판이 점착 및 분리유닛으로부터 분리되는 상태를 나타낸 점착 및 분리유닛의 확대 단면도이다.
도 6은 흡배기 포트에 결합되는 흡배기용 도킹장치의 단면도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이가 적용되는 스퍼터 장치의 개략적인 구조도이다.
본 실시예의 기판 이송용 트레이(100)는 스퍼터 장치뿐만 아니라 기판(S)의 이송이 필요한 다양한 LCD 공정에 적용될 수 있음은 물론, 플라즈마 디스플레이(PDP, Plasma Display Panel), 유기EL(OLED, Organic Light Emitting Diodes)과 같은 평판표시소자(FPD, Flat Panel Display)의 제조공정에도 적용될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의상 스퍼터 장치를 예로 들어 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하여 스퍼터 장치에 있어서 기판 이송용 트레이(100)의 이송 과정을 간략히 설명한다.
스퍼터링(Sputtering) 공정은 로딩/언로딩 챔버(10), 로드락 챔버(20), 히팅 챔버(30), 공정 챔버(40)를 차례로 거치며 증착 공정이 이루어질 수 있도록, 인라인(In-Line)화된 작업라인으로 마련될 수 있다.
로딩/언로딩 챔버(10)에는 기판 이송용 트레이(100)를 로드락 챔버(20)에 반출입하는 반출입용 지그(11)가 마련되고, 반출입용 지그(11)에 의해 기판(S)이 올려진 기판 이송용 트레이(100)는 로드락 챔버(20)로 이송된다. 로드락 챔버(20)에서는 공정 챔버(40) 수준의 진공압으로 감압이 이루어진다.
이어서, 기판 이송용 트레이(100)는 히팅 챔버(30)로 이송된다. 히팅 챔버(30)에서는 기판(S)을 스퍼터링을 하기 위한 온도로 높이고, 또한 기판(S)에 존재하는 수분을 제거한다.
이어서, 기판 이송용 트레이(100)는 공정 챔버(40)로 이송된다. 공정 챔버(40)에서는 기판(S)에 금속을 증착한다. 증착 공정이 완료되면 기판 이송용 트레이(100)는 역순으로 이송되고, 로드락 챔버(20) 외부로 기판(S)을 배출한다.
이와 같은 공정이 진행되는 동안 기판 이송용 트레이(100)의 이송은, 각각의 챔버에 배치되고 모터(60)에 의해 구동되는 구동롤러(61)와, 구동롤러(61)와 맞물리도록 기판 이송용 트레이(100) 하부에 마련되는 가이드(114)에 의해 이루어질 수 있다.
전술한 바와 같이 종래에 트레이를 이용한 기판(S)의 이송은 기판(S)의 처짐 및 휘어짐 방지를 위해 일정한 각도로 기울여 이송하는 방식이 사용되었다. 이러한 방식은 트레이 하부와 구동롤러(61)의 접지면이 하중 방향과 일치하지 못하여 접지면에서 파티클이 발행하고, 고속이송 후 정지 시 슬립(Slip)이 발생할 수 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이(100)는 기판(S)을 수직으로 세워 이송하더라도 기판(S)의 처짐 및 휘어짐이 점착 및 분리유닛(120)에 의해 방지될 수 있도록 하여, 이송 시 구동롤러(61)와의 접지면에서 파티클이 발생하거나 슬립현상이 발생하는 것을 종래보다 감소시키고, 기판(S)의 자중에 따른 휘어짐과 이송 시 진동에 따른 응력집중을 방지할 수 있어 초대면적의 기판(S)도 안전하게 운반할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이의 평면도이고, 도 3은 도 2의 "A"부분을 확대한 점착 및 분리유닛의 평면도이며, 도 4는 트레이에 기판이 장착된 상태의 단면도이며, 도 5는 기판이 점착 및 분리유닛으로부터 분리되는 상태를 나타낸 점착 및 분리유닛의 단면도이고, 도 6은 흡배기 포트에 결합되는 흡배기용 도킹장치의 단면도이다.
이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이(100)는, 기판(S)이 지면에 대하여 기립된 상태로 장착되는 프레임(110)과, 프레임(110)에 결합되어 기판(S)을 점착하거나 점착된 기판(S)을 분리시키는 점착 및 분리유닛(120)을 포함한다.
프레임(110)은 장방형의 틀로서 이송되는 기판(S)의 크기보다 조금 더 큰 형태로 마련되는 메인 프레임(111)과, 메인 프레임(111)을 연결하는 서브 프레임(112)을 포함한다.
메인 프레임(111)에는, 장착되는 기판(S)을 고정하기 위한 클램프(113)가 마련된다(도 2 및 도 4 참조). 클램프(113)는 이송하고자 하는 기판(S)이 메인 프레임(111)에 장착되었을 때, 기판(S)의 가장자리를 따라 배치될 수 있도록 복수개로 상호 이격되어 마련된다. 이러한 클램프(113)는 기판(S)을 클램프(113)에 고정할 뿐만 아니라 기판(S)이 메인 프레임(111)의 장착위치에 정확히 위치할 수 있도록 기판(S)을 정렬하는 기능을 겸한다.
서브 프레임(112)은 메인 프레임(111)을 상/하, 좌/우로 서로 연결하는 격자형태로 마련된다. 이러한 서브 프레임(112)은 메인 프레임(111)의 지지력을 보조하는 것이므로 이송되는 기판(S)의 크기, 무게에 따라 배치간격을 달리하여 마련될 수 있다.
본 실시예의 서브 프레임(112)은, 도 2에서 도시된 바와 같이, 가로/세로 각각 3줄씩 연결되도록 배치되어 메인 프레임(111)의 내측으로 9개의 교차영역이 마련된다.
서브 프레임(112)의 내부에는 흡배기관(112a)이 마련된다. 흡배기관(112a)은 별도의 배관을 서브 프레임(112)에 삽입하여 마련하거나 서브 프레임(112) 내부에 직접 형성시키는 방법으로 마련될 수 있다.
이러한 흡배기관(112a)은 후술하는 점착 및 분리유닛(120)으로부터 공기를 흡입하거나 점착 및 분리유닛(120)에 공기를 주입하기 위한 것으로 점착 및 분리유닛(120)이 설치되는 교차영역을 서로 연결하는 형태로 마련되고, 소정 지점에서 메인 프레임(111)까지 연장되어 외부와 연통되도록 마련된다.
흡배기관(112a)이 외부와 연통되는 메인 프레임(111) 부분에는 후술되는 흡배기용 도킹장치(50, 도6 참조)와 연결되는 흡배기 포트(112b)가 마련된다. 흡배기 포트(112b)를 통해서 공기가 흡입되거나 공기가 주입되면 점착 및 분리유닛(120)에 부압 또는 정압의 공기압이 발생한다.
점착 및 분리유닛(120)은 서브 프레임(112)이 교차하는 영역에 마련되어 기판(S)을 점착하는 것으로, 서브 프레임(112)의 교차영역에 결합되는 점착블럭(121)과, 점착블럭(121)의 중앙부에 결합되는 푸쉬 플레이트(122)와, 푸쉬 플레이트(122)의 내측에 결합되는 포핏밸브(125)와, 푸쉬 플레이트(122)를 중심으로 원형으로 배치되는 점착패드(126)를 포함한다.
점착블럭(121)은 서브 프레임(112)의 교차영역에 삽입되며 포핏밸브(125)와 점착패드(126)가 결합되기 위한 베이스 역할을 한다.
점착블럭(121)의 내부에는 흡배기관(112a)과 연통되는 흡배기 유로(121a)가 형성된다. 흡배기 유로(121a)는 점착블럭(121)이 서브 프레임(112)의 교차영역 장착된 상태에서 서브 프레임(112)에 마련된 흡배기관(112a)과 연통된다. 따라서 흡배기 유로(121a)는 점착블럭(121)의 내측에 십자 형태로 형성된다.
점착블럭(121)의 흡배기 유로(121a)를 기준으로 기판(S)이 점착되는 쪽에는 푸쉬 플레이트(122)와 점착패드(126)가 결합한다.
푸쉬 플레이트(122)는 점착 및 분리유닛(120)에 정압의 공기압이 제공되는 경우 점착블럭(121)으로부터 슬라이딩되어 점착된 기판(S)을 밀어낼 수 있도록 점착블럭(121)의 중앙부에 결합한다.
푸쉬 플레이트(122)의 이러한 슬라이딩은 점착블럭(121)에 결합된 스토퍼(123)에 의해 제한되며, 기판(S)을 밀어내도록 슬라이딩 된 후 공기압의 제공이 멈추면 복원 스프링(124)에 의해 원위치로 복원된다.
푸쉬 플레이트(122)의 내측에는 흡배기홀(122a)이 형성된다. 흡배기홀(122a)은 흡배기 유로(121a)와 연통되는 입구측과 점착패드(126) 쪽으로 향하는 출구측으로 구분될 수 있는데, 입구측 흡배기홀(122a)에는 포핏밸브(125)가 결합한다.
포핏밸브(125)는 밸브 스프링(125a)에 연결되며, 밸브 스프링(125a)은 포핏밸브(125)가 입구측 흡배기홀(122a)을 닫고 있는 상태가 유지되도록 탄성력을 제공한다.
한편, 푸쉬 플레이트(122)의 외주연에는 기판(S)을 점착하는 점착패드(126)가 마련된다. 점착패드(126)는 다공성의 수지 재질로 마련되어 흡배기홀(122a)을 통한 진공압이 기판(S)에 전달될 수 있다.
점착패드(126)의 기판(S)과 대면하는 면에는 점착부(126a)가 마련된다. 본 실시예에서 점착부(126a)는 점착패드(126)의 외주연을 따라 원형의 어레이 형태로 배치되나, 점착부(126a)의 배치형태는 이러한 실시예에 한정되는 것은 아니고 기판(S)의 크기, 무게에 따라 다양하게 변형될 수 있다.
점착부(126a)는 기판(S)이 점착된 상태로 이송될 수 있도록 기판(S)에 대한 충분한 점착력이 확보될 수 있는 재질이 선택된다. 이러한 재질로서 현재 널리 사용되고 있는 실리콘고무, 부틸고무, 부타디엔고무 등이 선택되어 사용될 수 있다.
점착부(126a)의 초기 점착력은 흡배기홀(122a)을 통한 진공압에 의해 제공되지만, 이송 과정의 점착력은 점착부(126a)의 고무재질과 기판(S)과의 점착력에 의해 제공된다.
이와 같이 기판(S)이 점착부(126a)에 점착되면, 기판(S)이 기판 이송용 트레이(100)에 수직으로 부착되어도 기판(S)의 중앙부가 점착 및 분리유닛(120)에 의해 지지되므로 기판(S)이 자중에 의해 휘어지는 현상 즉, 배부름 현상이 방지된다.
한편, 점착부(126a)에 제공되는 진공압과 푸쉬 플레이트(122)를 미는 공기압은 에어펌프(미도시)에 연결되는 흡배기용 도킹장치(50, 도 6 참조)에 의해 제공된다. 흡배기용 도킹장치(50)는 흡배기관(112a)이 외부와 연통되는 흡배기 포트(112b)에 연결되어 공기를 흡입하거나 공기를 주입함으로써 점착 및 분리유닛(120)에 부압 또는 정압의 공기압을 제공한다.
이러한 흡배기용 도킹장치(50)는 흡배기 포트(112b)에 접합할 수 있도록 형상맞춤되는 입구를 가진 도킹 샤프트(51)를 구비한다. 도킹 샤프트(51)와 흡배기 포트(112b)가 접합하는 부위에는 실링부재(51a)가 결합되어 공기 흡입 또는 주입시 공기가 누출되는 것이 방지된다.
도킹 샤프트(51)에는 완충 스프링(52)이 결합하며, 완충 스프링(53)은 도킹 샤프트(51)의 외주연에 결합된 스프링 지지부재(53)에 의해 지지된다. 도킹 샤프트(51)를 흡배기 포트(112b)에 접합시킬 때는 스프링 지지부재(54)를 밀어 접합시키는데, 접합하고 있는 동안에 유동이 있어도 완충 스프링(52)에 의해 기판 이송용 트레이(100) 또는 흡배기용 도킹장치(50)에 가해지는 충격이 흡수될 수 있다.
이하에서는 상술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이(100)의 작동에 대하여 설명한다.
기판(S)을 기판 이송용 트레이(100)에 부착시키는 공정은 로딩/언로딩 챔버(10)에서 이루어진다. 로딩/언로딩 챔버(10)에는 기판(S)이 수평상태로 놓여져 인입된다. 반출입용 지그(11)에 의해 기판 이송용 트레이(100)가 기판(S)에 접촉하게 되면, 흡배기 포트(112b)에 흡배기용 도킹장치(50)가 결합한다.
에어펌프의 가동에 의해 흡배기용 도킹장치(50)에 흡입력이 작용하면, 흡배기관(112a)과 흡배기홀(122a)에 진공압이 작용한다. 진공압에 의해 포핏밸브(125)가 밸브 스프링(125a)의 탄성력을 이기고 흡배기 유로(121a) 쪽으로 이동하여 입구측 흡배기홀(122a)이 개방된다.
이어서, 흡배기홀(122a)의 진공압은 점착패드(126)에 작용하며, 진공압에 의해 점착패드(126) 쪽으로 기판(S)이 끌어 당겨지고 점착부(126a)에 기판(S)이 점착된다.
기판(S)이 점착부(126a)에 점착되면 도킹장치가 분리되고, 점착부(126a)의 점착력에 의해 기판(S)이 기판 이송용 트레이(100)에 결합된다. 이때 클램프(113)가 체결됨으로써 기판(S)이 기판 이송용 트레이(100)로부터 분리되는 것이 방지된다.
기판(S)이 장착된 기판 이송용 트레이(100)는 수직으로 세워져 로드락 챔버(20)로 인입된다.
기판 이송용 트레이(100)로부터 기판(S)을 분리하는 과정은 기판(S)을 점착하는 과정과 반대로 진행된다.
기판(S)이 부착된 기판 이송용 트레이(100)가 로드락 챔버(20)로부터 반출되면 기판 이송용 트레이(100)가 반출입용 지그(11)에 의해 수평 상태로 회전한다.
이어서, 클램프(113)가 해제되고 흡배기용 도킹장치(50)가 흡배기 포트(112b)에 연결된다.
흡배기용 도킹장치(50)로부터 공기가 주입되면 공기압에 의해 푸쉬 플레이트(122)는 점착블럭(121)에 대하여 상대적으로 슬라이딩하며 점착패드(126)에 부착된 기판(S)을 밀어낸다(도 5 참조).
기판(S)이 점착패드(126)로부터 분리되면 흡배기용 도킹장치(50)가 흡배기 포트(112b)로부터 분리된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송용 트레이(100)는 이송하고자 하는 기판(S)을 원하는 각도, 즉, 본 실시예에서와 같이 수직으로 세워 이송할 수 있어 구동롤러(61)와 접지면이 균일하게 되어 파티클 발생을 줄일 수 있을 뿐만 아니라 고른 마찰력으로 고속이송 후 정지 시 슬립되는 현상이 방지된다.
또한, 기판 이송용 트레이(100)를 수직으로 세워 이송할 때 발생할 수 있는 기판(S)의 자중에 의한 휘어짐도 서브 프레임(112)에 부착된 점착 및 분리유닛(120)에 의해 기판(S) 중앙부를 지지함으로써 방지될 수 있다.
또한, 기판(S)이 수직으로 유지되므로 스퍼터 장치의 타겟이 부착된 캐소드 및 주변장치도 지면에 대하여 수직으로 장착이 가능하며, 상당한 무게의 캐소드의 무게중심 안정화에 따라 스퍼터 장치의 기구적인 구성도 용이하게 된다.
이상에서 설명한 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정 예 또는 변형 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100 : 기판 이송용 트레이 110 : 프레임
111 : 메인 프레임 112 : 서브 프레임
112a : 흡배기관 113 : 클램프
120 : 점착 및 분리유닛 121 : 점착블럭
121a : 흡배기유로 122 : 푸쉬 플레이트
122a : 흡배기홀 123 : 스톱퍼
124 : 복원 스프링 125 : 포핏밸브
125a : 밸브 스프링 126 : 점착패드
126a : 점착부

Claims (11)

  1. 기판이 지면에 대하여 기립된 상태로 장착되는 프레임; 및
    상기 프레임의 상기 기판에 대향하는 면에 마련되어 상기 기판을 점착하거나 점착된 상기 기판을 분리시키는 점착 및 분리유닛을 포함하며,
    상기 프레임은,
    상기 기판보다 큰 장방형으로 마련되는 메인 프레임; 및
    상기 메인 프레임의 내측에서 상기 메인 프레임을 연결하는 복수의 서브 프레임을 포함하며,
    상기 복수의 서브 프레임은, 상기 점착 및 분리유닛에 부압 또는 정압의 공기압을 제공하는 흡배기관을 포함하며,
    상기 점착 및 분리유닛은,
    상기 흡배기관과 연통되도록 마련되는 흡배기 유로를 포함하는 점착블럭;
    상기 점착블럭에 대하여 슬라이딩 가능하게 결합하며, 상기 흡배기 유로와 연통되도록 마련되는 흡배기홀을 포함하는 푸쉬 플레이트;
    상기 흡배기홀을 개폐하도록 상기 푸쉬 플레이트 내측에 결합되는 포핏밸브; 및
    상기 푸쉬 플레이트의 외주연에 배치되어 상기 기판이 점착되는 점착패드를 포함하는 기판 이송용 트레이.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 점착 및 분리유닛은, 상기 복수의 서브 프레임이 교차하는 영역에 마련되는 기판 이송용 트레이.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 점착 및 분리유닛은,
    상기 점착블럭에 결합되어 상기 푸쉬 플레이트의 슬라이딩 거리를 제한하는 스톱퍼; 및
    상기 스톱퍼와 상기 푸쉬 플레이트 사이에 개재되어 상기 푸쉬 플레이트에 복원력을 제공하는 복원 스프링을 더 포함하는 기판 이송용 트레이.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 포핏밸브는, 상기 포핏밸브에 연결되며 상기 포핏밸브에 의해 상기 흡배기홀이 닫힌 상태가 유지되도록 상기 포핏밸브에 탄성력을 제공하는 밸브 스프링을 포함하는 기판 이송용 트레이.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 점착패드는, 상기 기판에 점착되는 실리콘계, 아크릴계, 우레탄계 중 어느 하나의 점착수지로 마련되는 점착부를 포함하는 기판 이송용 트레이.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 흡배기관과 외부와 연통되는 상기 메인 프레임 부분에는 흡배기용 도킹장치와 연결되는 흡배기 포트가 마련되는 기판 이송용 트레이.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 프레임 상에 설치되어 상기 기판의 가장자리를 따라 상기 기판과 상기 프레임을 결합시키는 클램프를 더 포함하는 기판 이송용 트레이.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 지면에 대하여 수직으로 세워져 상기 프레임에 장착되며, 상기 점착 및 분리유닛은 지면에 대하여 수직으로 세워진 상기 기판을 점착하거나 점착된 상기 기판을 분리시키는 기판 이송용 트레이.
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