KR101113935B1 - 기판 반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 가이드 롤러 보수작업이 손쉽고 신속하게 진행될 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 과제는 불필요한 부품의 낭비없이 가이드 롤러 보수작업이 진행될 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 것이다.

이를 위해 본 발명은 스탠드; 상기 스탠드에 고정설치되며, 체결홀을 구비하는 홀더; 상기 홀더의 체결홀에 수직방향 이동 가능하게 결합되는 롤러축; 그리고, 상기 롤러축의 상단에 결합되어 경사진 상태로 반송되는 기판의 하단 또는 수평 상태로 반송되는 기판의 좌우 양단을 지지하며, 상기 롤러축의 수직방향 이동에 의해 기판과 접촉하는 위치가 변경되는 가이드 롤러를 포함하여 이루어지는 기판 반송장치를 제공한다.

Description

기판 반송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 반송장치에 관한 것으로서, 특히 반송되는 기판을 지지하는 가이드 롤러를 구비하는 기판 반송장치에 관한 것이다.

평판 디스플레이, 반도체 웨이퍼, 포토마스크용 글라스 등에 사용되는 기판은 에칭, 스트립, 린스, 세정, 건조 등의 다양한 제조공정을 거치게 된다. 이러한 제조공정에 있어서 라인간에 기판을 반송하기 위한 기판 반송장치들이 필수적으로 사용되며, 통상적으로는 반송 롤러의 상면에 기판을 위치시키고 반송 롤러를 회전시킴으로써 기판을 수평상태로 반송하는 수평반송방식의 기판 반송장치가 많이 사용되고 있다.

하지만, 최근에는 기판이 대형화 및 박형화됨에 따라 기판을 수평으로 반송할 경우 반송 롤러 사이에서의 기판이 휘어지고 처리액이 기판에 고이게 되어 기판의 판면 전체에 걸쳐서 균일한 처리공정이 진행되지 않는 문제점이 있다. 또한, 기판이 대형화됨에 따라 반송축이 길어지고, 반송축이 받는 하중이 커져 반송축이 휘는 경우가 발생하는 문제점이 있다.

이러한 문제점들을 해결하기 위해 근래 대형 기판의 경우에는 기판을 소정의 경사 각도로 경사지게 하여 반송함으로써 기판상의 처리액을 강제로 흐르게 하여 기판상에 처리액이 고이거나 정체되는 것을 최소화하는 한편, 반송축에 가해지는 하중을 감소시키는 기판 반송장치가 사용되고 있다.

도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 기판 반송장치를 나타내는 도면이다.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(G)을 일정 각도(θ)로 경사지게 하여 반송하는 기판 반송장치의 경우, 기판(G)의 하면은 반송축(11)에 일정 간격으로 설치되는 반송 롤러(10)에 의해 지지되고, 경사진 기판(G)의 하단은 가이드 롤러(20)에 의해 지지된다.

이러한 상태에서 반송축(11)이 모터 등의 구동장치(미도시)에 의해 회전하면, 기판(G)의 하면 접촉점을 통해 반송구동력이 기판(G)에 전달되어 기판(G)이 이송방향으로 이동하게 된다. 이때, 상기 가이드 롤러(20)는 경사진 상태의 기판(G) 하단에 접촉하여 기판(G)의 하중을 지탱함으로써 기판(G)이 안정적으로 이송될 수 있도록 한다. 이러한 상기 가이드 롤러(20)는 스탠드(30)에 고정설치되는 롤러축(21)에 회전 가능하게 설치된다.

한편, 기판 반송이 연속적으로 진행됨에 따라 기판(G)의 하단과 접촉하는 가이드 롤러 부위(S)는 도 2에 도시된 바와 같이 외면이 선형상으로 마모된다. 이와 같이 기판(G)의 하단과 접촉하는 가이드 롤러 부위(S)가 마모되면 기판(G)의 반송불량 및 기판(G) 파손의 원인이 되기 때문에 가이드 롤러(20)는 정기적인 교환 등의 보수가 반드시 필요해진다.

하지만, 가이드 롤러(20) 보수 작업은 가이드 롤러(20) 뿐만 아니라 일부 부 품의 교환 및 재설치 등도 동반하기 때문에 작업이 매우 번거로울 뿐만 아니라 보수 기간의 장기화 및 분해과정에서 일부 부품의 분실 등 다양한 문제점을 야기시키고 있다.

물론, 상기 가이드 롤러(20)는 경사 각도(θ)가 0°인 즉, 기판(G)을 수평으로 반송하는 수평반송방식의 기판 반송장치에도 사용될 수 있다. 이 경우, 상기 가이드 롤러(20)는 반송축(11)의 좌우 양측에 각각 설치되어 경사진 기판(G)의 하단이 아닌 수평상태로 반송되는 기판(G)의 좌우 양단을 지지한다. 따라서, 가이드 롤러(20)가 수평반송방식의 기판 반송장치에 사용될 경우에도 기판(G)과의 접촉에 의한 마모가 발생하고, 이에 따른 가이드 롤러(20) 보수작업이 필요하다.

본 발명의 과제는 가이드 롤러 보수작업이 손쉽고 신속하게 진행될 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 과제는 불필요한 부품의 낭비없이 가이드 롤러 보수작업이 진행될 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 것이다.

이를 위해 본 발명은 스탠드; 상기 스탠드에 고정설치되며, 체결홀을 구비하는 홀더; 상기 홀더의 체결홀에 수직방향 이동 가능하게 결합되는 롤러축; 그리고, 상기 롤러축의 상단에 결합되어 경사진 상태로 반송되는 기판의 하단 또는 수평 상태로 반송되는 기판의 좌우 양단을 지지하며, 상기 롤러축의 수직방향 이동에 의해 기판과 접촉하는 위치가 변경되는 가이드 롤러를 포함하여 이루어지는 기판 반송장치를 제공한다.

본 발명에 따른 기판 반송장치는 롤러축을 수직방향 이동시키는 비교적 단순한 작업을 통해 기판과 접촉하는 가이드 롤러의 부위를 변경시킬 수 있어 종래와 같이 가이드 롤러의 보수를 위해 가이드 롤러를 분해하여 재설치하는 등의 복잡한 작업이 필요없어 가이드 롤러 보수작업을 신속하고 안전하게 진행할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명에 따른 기판 반송장치는 기판과의 접촉에 의해 가이드 롤러의 외면이 마모되더라도 가이드 롤러를 새로 교체하지 않고 원 가이드 롤러를 여러번 재사용할 수 있어 불필요한 부품낭비를 방지하여 공정비용을 줄일 수 있는 효과가 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당 업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다.

도 3은 본 발명에 따른 기판 반송장치를 나타내는 도면이다.

도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 반송장치는 크게 반송 롤러(100), 스탠드(stand)(200), 그리고 가이드 롤러(guide roller)(300)를 포함하여 이루어진다.

상기 반송 롤러(100)는 경사진 기판(G)(도 4참조)의 하면에 접촉하며, 회전에 의해 기판(G)을 반송 방향으로 이동시킨다. 이러한 반송 롤러(100)는 일단에 모터 등과 같은 구동장치(미도시)가 결합되는 반송축(110)에 다수개가 결합된다. 비록 도시되지는 않았지만 기판(G)을 경사진 상태로 반송시키기 위해 상기 반송축(110) 역시 일정 각도 경사진 상태를 유지한다.

상기 스탠드(200)는 반송축(110)의 하측에 고정 설치되며, 상기 가이드 롤 러(300)는 상기 스탠드(200)에 일정 간격으로 설치되어 경사진 상태로 이송되는 기판(G)의 하단을 지지한다.

여기서, 상기 가이드 롤러(300)는 상하 높이 조절이 가능하도록 설치된다.

도 4는 본 발명에 따른 가이드 롤러의 설치 구조를 보다 상세히 나타내는 도면이다.

이를 위해 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 가이드 롤러(300)는 롤러축(310)의 상부에 회전 가능하게 설치되며, 상기 롤러축(310)은 스탠드(200)에 고정 설치되는 홀더(320)의 체결홀(321)에 수직 방향 이동 가능하게 결합된다. 구체적으로, 상기 가이드 롤러(300)는 볼트(410)와 와셔(420)에 의해 롤러축(310)에 결합되고, 상기 홀더(320)는 하면에 형성된 볼트(450)를 통해 스탠드(200)에 나사 결합된다. 그리고, 상기 롤러축(310) 및 홀더(320)에는 각각 2면 커팅부(460, 470)가 형성된다. 상기 2면 커팅부(460, 470)는 스패너를 이용한 롤러축(310) 및 홀더(320)의 설치를 위해 헝셩된다. 미설명 부호 430은 가이드 롤러의 회전을 위한 내장형 베어링이며, 미설명 부호 440은 너트이다.

이와 같이 상기 롤러축(310)이 스탠드(200)에 고정 설치되는 홀더(320)의 체결홀(321)에 수직방향 이동 가능하게 결합되면 롤러축(310)을 이동시킴으로써 기판(G)과 가이드 롤러(300)의 접촉 부위를 변경시킬 수 있다. 즉, 스패너 등을 이용해 롤러축(310)을 수직 방향 이동시키면 결과적으로 가이드 롤러(300)의 설치 높이가 변화되어 기판(G)은 가이드 롤러(300)의 다른 부위에 접촉하게 된다.

따라서, 가이드 롤러(300)의 외면이 선형상으로 마모되어 보수가 필요한 경 우 롤러축(310)을 수직 방향 이동시키는 간단한 작업만으로 기판(G)이 마모되지 않은 가이드 롤러(300) 부위에 접촉하도록 할 수 있어 가이드 롤러(300)를 재설치하는 것과 같은 효과를 얻을 수 있다.

구체적으로, 상기 롤러축(310)의 수직방향 이동은 상기 롤러축(310)이 홀더(320)의 체결홀(321)에 나사 결합됨으로써 이루어질 수 있다. 상기 나사 결합을 위해 롤러축(310)에는 수나사부(311)가 형성되며, 상기 체결홀(321)에는 암나사부(312)가 형성된다. 따라서, 스패너 등을 이용해 롤러축(310)을 체결홀(321)에 삽입한 상태로 회전시키면 수나사부(311)와 암나사부(312)가 맞물리고 풀리면서 롤러축(310)은 수직 하방 또는 상방으로 자연스럽게 이동하게 된다. 이와 같은 롤러축(310)의 수직 방향 이동이 완료되면 고정 너트(330)를 조임으로써 롤러축(310)은 체결홀(321)에 고정 설치된다.

한편, 상기 롤러축(310)의 수나사부(311)에는 커팅부(340)가 형성된다. 상기 커팅부(340)는 육안으로 확인 가능한 정도로 밀리머신 등으로 가공 형성된다. 이러한 커팅부(340)는 롤러축(310)의 설치 위치를 표시하는 indicator로서의 역할을 한다. 상술한 바와 같이 기판(G)이 가이드 롤러(300)의 어느 부위에 접촉하는지 여부는 롤러축(310)이 체결홀(321)에 어느 정도 깊이까지 나사 결합되는지 여부, 즉 롤러축(310)의 설치 위치에 따라 결정되므로 롤러축(310)의 설치위치를 정확히 확인할 수 있는 indicator로서 커팅부(340)가 필요하다. 구체적으로, 작업자는 고정 너트(330)를 조였을 때 커팅부(340)의 표시면(340a)이 고정 너트(330)의 상측면(330a)과 동일 선상에 위치할 경우 롤러축(310)이 정해진 위치에 정확히 설치되 었다고 판단한다.

이러한 상기 커팅부(340)는 다수개가 형성될 수 있다. 상술한 바와 같이 롤러축(310)의 이동에 의해 기판(G)과 접촉하는 가이드 롤러(300) 부위가 변경되므로 롤러축(310)의 외면이 마모될 때마다 기판(G)과의 접촉부위를 변경시키기 위해 롤러축(310)을 이동시키는 과정이 여러번 반복될 수 있고, 이 경우, 롤러축(310)의 정확한 설치 위치를 표시하는 커팅부(340)도 다수개가 형성될 필요가 있다.

도 5는 본 발명에 따른 롤러축을 보다 상세히 나타내는 도면이다.

구체적으로, 롤러축의 수나사부(311)에는 도 5에 도시된 바와 같이 제1, 2, 3, 4 커팅부(341, 342, 343, 344)가 형성될 수 있다. 상기 제1, 2, 3, 4 커팅부(341, 342, 343, 344)는 가이드 롤러의 보수작업을 위한 롤러축(310)의 이동시 롤러축(310)의 정확한 설치 위치를 각각 표시하며, 일정 간격 예를 들면, 수나사부(311)의 특정 피치 간격으로 형성된다.

이하, 가이드 롤러(300)의 외면이 마모됨에 따라 보수를 위해 롤러축(310)을 이동시켜 기판(G)과 접촉하는 가이드 롤러(300) 부위를 변경시키는 과정을 간략히 설명한다. 여기서, 롤러축(310)의 처음 위치는 제1 커팅부(341)를 통해 정해지고, 제2, 제3, 제4 이동 위치는 제2, 제3, 제4 커팅부(342, 343, 344)를 통해 정해진다고 가정한다. 또한, 제1 커팅부(341)와 제2 커팅부(342)간의 간격은 P1, 제2 커팅부(342)와 제3 커팅부(343)간의 간격은 P2, 제 3커팅부(343)와 제4 커팅부(344)의 간격은 P3라고 가정한다.

먼저, 제1 커팅부(341)를 이용해 롤러축(310)을 처음 위치에 정확히 설치한 후 기판 반송작업이 진행되어 가이드 롤러(300)의 외면이 선형상으로 마모되면, 너트(330)를 풀어 롤러축(310)의 고정을 해제하고, 스패너 등을 이용해 롤러축(310)을 회전시켜 나사 결합을 풀어줌으로써 롤러축(310)을 수직 상방으로 이동시킨다. 이때, 롤러축(310)의 이동 거리는 제2 커팅부(342)를 육안으로 확인하여 결정한다.

도 6은 롤러축의 수직방향 이동에 따라 기판과 가이드 롤러의 접촉 부위가 변경되는 모습을 나타내는 도면이다.

구체적으로, 도 6에 도시된 바와 같이 작업자는 고정 너트(330)를 조였을 때 제2 커팅부(342)의 표시면(342a)이 고정 너트(330)의 상측면(330a)과 동일 선상에 위치할 때 까지 롤러축(310)을 수직 상방으로 이동시킨다. 이와 같이 롤러축(310)의 수직방향 이동이 완료되면 가이드 롤러(300) 역시 수직 상방으로 이동하여 기판(G)이 접촉하는 가이드 롤러(300)의 부위가 변경된다.

즉, 롤러축(310)의 이동이 완료되면 롤러축(310)은 제1 커팅부(341)와 제2 커팅부(342)의 간격 P1 만큼 수직 상방으로 이동한 상태가 되고, 이에 따라 가이드 롤러(300) 역시 P1 만큼 상승하여 기판(G)은 상대적으로 원래 접촉하고 있던 위치보다 P1 만큼 하락한 위치에서 가이드 롤러(300)와 접촉한다.

결국, 상술한 과정이 반복되면 롤러축(310)은 각 커팅부간의 간격만큼 이동된 후 고정되고, 이에 따라 기판(G)과 접촉하는 가이드 롤러(300) 역시 설치 높이가 변경되어 기판(G)은 상대적으로 각각 P1, P2, P3 만큼 하락한 위치에서 가이드 롤러(300)와 접촉한다.

따라서, 이러한 작업을 반복하면 가이드 롤러(300)를 재설치하는 등의 복잡 한 작업을 거치지 않고도 기판(G)이 마모되지 않은 가이드 롤러(300)의 부위에 접촉하도록 할 수 있어 가이드 롤러(300) 보수 작업이 매우 손쉬워 진다. 또한, 하나의 가이드 롤러(300)를 여러번 재사용할 수 있어 불필요한 부품 낭비를 방지할 수 있게 된다.

한편, 상기 롤러축(310)의 하부는 체결홀(321)의 하부에 끼워맞춤방식으로 결합된다.(도 4참조) 이를 위해 상기 롤러축(310) 및 체결홀(321)의 하부는 정해진 끼워맞춤 공차를 가지도록 가공된다. 상기 끼워맞춤 공차는 H7f6에 상당하는 아주 작은 틈(clearance)(C)을 유지하는 규격을 적용한다. 이와 같이 롤러축(310)의 하부가 체결홀(321)의 하부에 끼워맞춤방식으로 결합되면 홀더(320)에 대한 롤러축(310)의 동심도가 안정적으로 유지될 수 있다.

그리고, 상기 홀더(320)에는 체결홀(321)의 하부와 연통되는 드레인 포트(drain port)(350)가 형성된다. 상기 드레인 포트(350)는 경사진 기판(G)에 도포된 처리액이 흘러내려 롤러축(310)을 거쳐 체결홀(321)로 유입될 때 처리액을 외부로 배출시키는 역할을 한다. 또한, 상기 드레인 포트(350)는 체결홀(321) 내부를 대기압으로 유지시켜 롤러축(310)의 수직방향 이동시 발생하는 부압(負壓) 을 방지하는 역할을 한다. 좀더 상세히 설명하면, 홀더(320)에 체결홀(321)의 하부와 연통되는 드레인 포트(350)를 형성하면 드레인 포트(350)를 통해 외부 공기가 체결홀(321) 내부로 유입되어 체결홀(321) 내부가 대기압 상태를 유지하므로 체결홀(321)의 하부에 끼워맞춤방식으로 결합된 롤러축(310)을 수직 상방으로 강제 이동시킬 때 발생하는 부압을 방지할 수 있게 된다. 물론, 반대로 롤러축(310)이 수 직 하방으로 이동하며 체결홀(321)의 하부에 끼워맞춤방식으로 결합될 경우에는 상기 드레인 포트(350)는 체결홀(321) 내부의 공기를 외부로 배출시켜 체결홀(321) 내부에서 압축에 의한 양압(陽壓)이 발생하는 것을 방지하는 역할을 한다.

도 7은 본 발명에 따른 가이드 롤러의 다른 설치 구조를 나타내는 도면이며, 도 8은 도 7에 도시된 롤러축을 보다 상세히 나타내는 도면이다.

한편, 롤러축(310)의 수직방향 이동은 상술한 바와 같은 나사 결합을 통해서 뿐만 아니라 다양한 형태로 이루어질 수 있으며, 예를 들어 도 7에 도시된 바와 같이, 파이프 피팅(pipe fitting) 방식에 사용되는 관통 접합수단을 이용해 이루어질 수 있다.

상기 관통 접합수단은 체결홀(321)에 나사 결합되는 관통 커넥터(510)와, 상기 관통 커넥터(510)의 상부에 나사 결합되는 너트(520), 그리고 상기 관통 커넥터(510)와 너트(520) 사이에 설치되어 너트(520)가 조여짐에 따라 관통 커넥터(510)에 삽입된 롤러축(310)을 가압하는 패럴(farrule)(530)로 구성된다. 상기 관통 커넥터(510)의 하부와 체결홀(321)의 내부에는 나사 결합을 위한 나사부(511,322)가 각각 형성되며, 상기 관통 커넥터(510)의 상부에는 너트(520)와의 결합을 위한 나사부(512)가 형성된다. 따라서, 관통 접합수단을 이용할 경우 앞선 실시예와 달리 롤러축(310)에 별도의 나사부를 형성할 필요가 없다.

이러한 구조에서 롤러축(310)의 설치는 스패너 등을 이용해 롤러축(310)을 관통 커넥터(510)에 필요한 길이만큼 삽입한 후 너트(520)를 조여 롤러축(310)이 패럴(530)에 의해 가압되도록 하면 완료된다. 또한, 상기 롤러축(310)의 수직방향 이동은 너트(520)를 풀어 패럴(530)을 느슨하게 한 후 롤러축(310)을 필요한 길이만큼 잡아 당기거나 밀어 넣은 후 다시 너트(520)를 조이면 완료된다. 이때, 상기 롤러축(310)에는 커팅부(340)가 형성되어 롤러축(310)의 정확한 설치 위치를 확인할 수 있음은 이미 설명한 바와 같다.

물론, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 롤러축(310)의 외면에는 다수개의 커팅부(340) 즉, 제1, 제2, 제3, 제4 커팅부(341, 342, 343, 344)가 형성될 수 있다. 상기 커팅부(340)는 이미 설명한 도 5의 커팅부(340)와 동일하며, 다만 롤러축(310)에 별도의 나사부가 형성되지 않기 때문에 상기 커팅부들(340)은 도 5의 커팅부와 달리 매끈한 롤러축(310)의 외면에 형성된다는 점에서 차이를 가진다.

한편, 상술한 다양한 형태의 가이드 롤러(300) 설치 구조는 기판(G)을 수평상태로 반송시키는 수평반송방식의 기판 반송장치에도 동일하게 적용될 수 있다. 이 경우, 상기 가이드 롤러(300)는 반송축(110)의 좌우 양측에 각각 설치되어 수평상태로 반송되는 기판(G)의 좌우 양단을 지지한다.

구체적으로, 상기 가이드 롤러(300)의 설치를 위해 상기 스탠드(200)는 반송축(110)의 좌우 양측에 각각 설치되고, 상기 가이드 롤러(300)는 상기 스탠드(200)에 일정 간격으로 설치되어 수평상태로 이송되는 기판(G)의 양단을 지지한다. 이와 같이 상기 가이드 롤러(300)가 기판(G)의 좌우 양단을 지지하면 기판(G)이 이송도중 정해진 위치를 벗어나는 것이 방지되어 기판의 정확하고 안정적인 수평방향 반송이 가능해진다.

이러한 수평반송방식의 기판 반송장치에 설치되는 가이드 롤러 설치 구조는 기판(G)의 좌우 양단을 지지할 수 있도록 가이드 롤러(300)가 반송축(110)의 좌우 양측에 각각 설치된다는 점을 제외하고 상술한 가이드 롤러 설치 구조와 동일하므로 이하, 자세한 설명은 생략한다.

도 1 및 도 2는 종래 기술에 따른 기판 반송장치를 나타내는 도면이다.

도 3은 본 발명에 따른 기판 반송장치를 나타내는 도면이다.

도 4는 본 발명에 따른 가이드 롤러의 설치 구조를 보다 상세히 나타내는 도면이다.

도 5는 본 발명에 따른 롤러축을 보다 상세히 나타내는 도면이다.

도 6은 롤러축의 수직방향 이동에 따라 기판과 가이드 롤러의 접촉 부위가 변경되는 모습을 나타내는 도면이다.

도 7은 본 발명에 따른 가이드 롤러의 다른 설치 구조를 나타내는 도면이다.

도 8은 도 7에 도시된 롤러축을 보다 상세히 나타내는 도면이다.

Claims (7)

1. 기판 반송 장치에 있어서,

   스탠드;

   상기 스탠드에 고정설치되며, 내주면에 암나사부가 형성된 체결홀을 구비하는 홀더;

   상기 홀더의 상기 체결홀에 수직방향 이동 가능하게 결합하되 외주면에 수나사부가 형성되어 나사결합되는 롤러축;

   상기 롤러축의 상단에 결합되어 경사진 상태로 반송되는 기판의 하단 또는 수평 상태로 반송되는 기판의 좌우 양단을 지지하며, 상기 롤러축의 수직방향 이동에 의해 기판과 접촉하는 위치가 변경되는 가이드 롤러; 및

   상기 홀더의 상단에 형성되어 상기 롤러축의 수직 방향 이동이 완료되면 조여서 상기 롤러축을 상기 체결홀에 고정하는 고정너트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
2. 삭제
3. 제 1항에 있어서,

   상기 롤러축의 수나사부에는 롤러축의 설치 위치를 표시하는 적어도 하나의 커팅부가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
4. 제1 항에 있어서,

   상기 롤러축의 동심도 유지를 위해 상기 롤러축의 하부는 체결홀 하부에 끼워맞춤방식으로 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
5. 제1 항에 있어서,

   상기 홀더에는 체결홀의 하부와 연통되는 드레인 포트가 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
6. 삭제
7. 삭제

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