KR20110095013A - 렌치 볼트 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 렌치 볼트 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 렌치 볼트는 렌치 헤드의 렌치 홈에 고이는 처리액을 자연 배출시키는 적어도 하나의 드레인 포트를 제공한다. 기판 처리 장치는 처리액을 이용하여 기판을 처리한다. 기판 처리 장치는 기판을 처리하는 내부 공간을 제공하는 적어도 하나의 처리 유닛을 구비한다. 기판 처리 장치는 처리 유닛의 내부 공간 및 외부에 다수의 렌치 볼트들이 설치된다. 기판 처리 장치는 내부 공간 및 외부에 각각 설치되는 렌치 볼트들을 동일한 재질로 제공된다. 본 발명에 의하면, 렌치 볼트에 드레인 포트를 제공함으로써, 렌치 볼트의 부식을 억제 및 지연할 수 있으며, 기판 처리 장치의 내부 및 외부에 동일한 재질의 렌치 볼트를 사용함으로써, 설치 작업이 표준화 및 단순화될 수 있다.
Description
본 발명은 렌치 볼트에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로 드레인 포트(drain port)를 갖는 렌치 볼트 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 및 평판 표시 패널 제조용 기판을 처리하는 기판 처리 장치는 다양한 처리액들을 이용하여 일련의 공정 예를 들어, 증착 공정, 도포 공정, 식각 공정 및 세정 공정 등을 처리한다. 이러한 기판 처리 장치는 기판을 처리하는 내부 공간을 제공한다. 기판 처리 장치는 내부 공간에 다양한 유닛들을 설치하기 위하여, 각 유닛들 간을 결합하거나 고정 설치할 수 있는 렌치 볼트를 사용한다. 이는 기판 처리 장치의 내부 공간이 설치 작업을 하기에는 협소하기 때문에, 스패너 등의 공구를 이용하기에 매우 불편해서 스패너보다 소형의 공구인 렌치(wrench)를 이용하기 위해서 이다.
또 기판 처리 장치는 외부에도 다양한 유닛들이 설치되므로, 유닛들을 설치하기 위해 다각형의 볼트나 렌치 볼트를 이용한다. 예를 들어, 기판 처리 장치는 내부 공간에 처리액을 공급하기 위한 다양한 노즐들, 이송 로봇이나, 샤프트, 롤러 등을 구비하는 기판 이송 장치 등이 설치되며, 외부에 기판 처리 장치를 형성하는 프레임이나, 처리액을 공급하기 위한 배관 및, 내부 공간에 설치된 유닛들을 구동하기 위한 각종 유틸리티 등이 설치된다.
즉, 기판 처리 장치는 내부 공간이나 외부에 다양한 유닛들을 설치하기 위해 서로 상이한 볼트류를 사용하게 된다. 따라서 기판 처리 장치는 유닛들을 설치하거나 교체 작업을 위한 유지 보수 시, 다양한 볼트류를 이용하므로 작업 환경이 불편하다.
일반적인 렌치 볼트는 볼트 헤드부와 나사부로 구성되고, 볼트 헤드부에 삼각형, 육각형 및 별형 등의 다각형의 단면을 갖는 렌치 홈이 일정 깊이로 형성되어 있다. 이러한 렌치 볼트는 각종 장치에서, 장치를 구성하는 다양한 유닛들 간에 상호 결합하거나 고정시키는 등 그 사용 범위가 매우 넓다. 일반적으로 렌치 볼트를 사용하기 위하여, 렌치 홈에 맞는 렌치를 이용한다. 렌치는 스패너 등의 공구보다 소형으로 제공되므로, 협소한 공간에서도 렌치 홈에 렌치를 삽입하여 렌치 볼트를 풀거나 조일 수 있다. 그러므로 기판 처리 장치의 내부 공간에 유닛들을 체결하거나 고정시키기 위해 렌치를 사용함으로써, 스패너 등의 공구를 사용하는 것보다 유용하고 편리한다.
그러나 기판 처리 장치는 다양한 처리액들을 이용하므로, 내부 공간에 설치된 렌치 볼트의 렌치 홈에 처리액이 고일 수 있으며, 이로 인해 렌치 볼트가 처리액에 의해 빠르게 부식되는 경우가 빈번하다. 뿐만 아니라, 렌치 볼트는 렌치를 이용하여 조임이나 풀음을 반복하는 경우, 렌치 홈이 손상되어 렌치와 정확한 체결이 이루어지지 않게 된다. 그 결과, 렌치 볼트를 풀 수 없게 되는 경우가 빈번하다.
이를 해결하기 위해, 기판 처리 장치는 특수 재질 예를 들어, 타이타늄(titanium), 파라듐(palladium) 재질 등의 렌치 볼트를 사용한다. 그러나 이 특수 재질의 렌치 볼트는 고가이므로, 주로 기판 처리 장치의 내부 공간에서만 사용되며, 기판 처리 장치의 외부에는 일반 재질의 볼트류 예를 들어, 서스(SUS) 재질의 육각 볼트나 렌치 볼트를 사용함으로써, 설치 시, 내부 공간 및 외부에 따라 볼트류를 선택해야 하며, 그로 인해 설치 및 유지 보수 등의 작업이 번거롭고 불편하다.
특히, 렌치 홈에 고인 처리액에 의해 렌치 볼트가 급격하게 부식되는데, 이러한 렌치 볼트의 부식은 그 주변 및 기판 처리 장치의 내부 공간을 오염시킬 수 있으므로, 내부 공간에 설치된 각종 유닛들을 손상시키는 원인이 된다.
본 발명의 목적은 부식 방지를 위한 렌치 볼트를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 렌치 홈에 수용되는 처리액을 자연 배출시키기 위한 렌치 볼트를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 처리액을 이용하여 기판을 처리하고, 복수 개의 렌치 볼트가 설치되는 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 렌치 볼트의 설치 및 조립이 용이한 기판 처리 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적들을 달성하기 위한, 본 발명의 렌치 볼트는 렌치 홈과 연결되는 적어도 하나의 드레인 포트를 제공하는데 그 한 특징이 있다. 이와 같은 렌치 볼트는 설치 장소에서 이용되는 처리액이 수용된 렌치 홈으로부터 드레인 포트를 통해 처리액을 자연 배출시킴으로써, 렌치 볼트의 부식을 방지할 수 있다.
이 특징에 따른 본 발명의 렌치 볼트는, 상부에 렌치가 삽입되는 렌치 홈이 형성되는 볼트 헤드와; 상기 볼트 헤드와 결합되고 외주면에 나사산이 형성되는 볼트 몸체 및; 상기 볼트 헤드의 일측벽에 형성되고, 상기 일측벽과 상기 렌치 홈이 연결되게 관통되는 적어도 하나의 드레인 포트를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면과 수평되게 형성된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면으로부터 상기 볼트 헤드의 외측면으로 하향 경사지게 형성된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 렌치 볼트는 서스(SUS) 재질로 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 복수 개의 렌치 볼트들이 내부 및 외부에 설치되고, 처리액을 이용하여 기판을 처리하는 기판 처리 장치가 제공된다. 이와 같은 본 발명의 기판 처리 장치는 렌치 볼트의 볼트 헤드에 적어도 하나의 드레인 포트를 제공하여, 렌치 홈에 고이는 처리액을 자연 배출시킴으로써, 부식을 억제하고 설치 작업이 용이할 수 있다.
이 특징에 따른 본 발명의 기판 처리 장치는, 처리액을 이용하여 기판을 처리하는 내부 공간을 제공하는 적어도 하나의 처리 유닛 및; 상기 처리 유닛의 상기 내부 공간에 설치되는 복수 개의 렌치 볼트를 포함한다. 여기서 상기 렌치 볼트는; 상부에 렌치가 삽입되는 렌치 홈이 형성되는 볼트 헤드와; 상기 볼트 헤드와 결합되고 외주면에 나사산이 형성되는 볼트 몸체 및; 상기 볼트 헤드의 일측벽에 형성되고, 상기 렌치 홈과 연결되게 관통되어, 상기 렌치 홈에 수용된 상기 처리액을 상기 볼트 헤드의 외부로 배출하는 적어도 하나의 드레인 포트를 포함한다.
한 실시예에 있어서, 상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면과 수평되게 형성된다.
다른 실시예에 있어서, 상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면으로부터 상기 볼트 헤드의 외측면으로 하향 경사지게 형성된다.
또 다른 실시예에 있어서, 상기 렌치 볼트는 상기 렌치 홈이 위를 향하도록 설치된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 렌치 볼트는 볼트 헤드의 렌치 홈에 고이는 처리액을 자연 배출시키기 위한 적어도 하나의 드레인 포트를 제공함으로써, 렌치 볼트의 부식을 억제할 수 있다.
또 본 발명의 처리액을 이용하는 기판 처리 장치는 내부 및 외부에 동일한 서스 재질의 렌치 볼트를 사용함으로써, 특수 재질의 사용이 불필요하므로 설치 작업이 표준화 및 단순화될 수 있으며, 유지 보수 등의 작업 환경이 용이하여 관리 및 생산성이 향상될 수 있다.
뿐만 아니라, 기판 처리 장치는 서스 재질의 렌치 볼트의 부식을 억제할 수 있으므로, 유지 보수 및 제조 비용을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 렌치 볼트의 구성을 도시한 사시도;
도 2는 도 1에 도시된 렌치 볼트의 일부가 절단된 구성을 나타내는 사시도;
도 3은 도 1에 도시된 렌치 볼트의 A-A' 단면도;
도 4는 도 3에 도시된 렌치 볼트의 B-B' 단면도;
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 렌치 볼트의 구성을 도시한 단면도;
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 렌치 볼트의 구성을 도시한 단면도;
도 7은 본 발명에 따른 복수 개의 렌치 볼트를 구비하는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;
도 8은 도 7에 도시된 처리 유닛의 액절 노즐의 체결 구성을 도시한 도면;
도 9 및 도 10은 도 7에 도시된 처리 유닛의 노즐 파이프의 체결 구성을 도시한 도면;
도 11은 도 9 및 도 10에 도시된 노즐 파이프의 일부 구성을 도시한 도면;
도 12는 도 7에 도시된 슬릿 노즐의 구성을 도시한 사시도; 그리고
도 13 및 도 14는 도 9에 도시된 기판 이송 장치의 일부 구성을 도시한 도면들이다.
도 2는 도 1에 도시된 렌치 볼트의 일부가 절단된 구성을 나타내는 사시도;
도 3은 도 1에 도시된 렌치 볼트의 A-A' 단면도;
도 4는 도 3에 도시된 렌치 볼트의 B-B' 단면도;
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 렌치 볼트의 구성을 도시한 단면도;
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 렌치 볼트의 구성을 도시한 단면도;
도 7은 본 발명에 따른 복수 개의 렌치 볼트를 구비하는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면;
도 8은 도 7에 도시된 처리 유닛의 액절 노즐의 체결 구성을 도시한 도면;
도 9 및 도 10은 도 7에 도시된 처리 유닛의 노즐 파이프의 체결 구성을 도시한 도면;
도 11은 도 9 및 도 10에 도시된 노즐 파이프의 일부 구성을 도시한 도면;
도 12는 도 7에 도시된 슬릿 노즐의 구성을 도시한 사시도; 그리고
도 13 및 도 14는 도 9에 도시된 기판 이송 장치의 일부 구성을 도시한 도면들이다.
본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 서술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 구성 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하 첨부된 도 1 내지 도 14를 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 렌치 볼트의 구성을 도시한 도면들이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 렌치 볼트(100)는 볼트 헤드(110)와 볼트 몸체(120) 및, 볼트 헤드(110)에 형성되는 적어도 하나의 드레인 포트(114)를 포함한다. 볼트 헤드(110)는 원기둥 형상으로 구비된다. 물론 볼트 헤드(110)는 외주면이 다각형 형상으로도 구비될 수 있다. 볼트 헤드(110)는 상부면의 일부가 다각형 형상의 단면으로 개방되어 내부에 렌치(미도시됨)가 삽입되도록 형성되는 렌치 홈(112)과, 볼트 헤드(110)의 외측벽이 관통되어 렌치 홈(112)과 연결되는 적어도 하나의 드레인 포트(114)를 포함한다. 볼트 몸체(120)는 원기둥 형상으로 구비되어, 상부가 볼트 헤드(110)의 하부면과 결합된다. 이 때, 볼트 몸체(120)는 볼트 헤드(110)와 동일하거나 보다 작은 직경을 갖는다. 볼트 몸체(120)는 외주면에 나사산이 형성된 나사부(122)가 구비된다.
그리고 드레인 포트(114)는 볼트 헤드(110)의 일측벽에 형성되어, 볼트 헤드(110)의 일측벽과 렌치 홈(112)이 연결되게 관통된다. 이 실시예에서는 2 개의 드레인 포트(114)가 제공된다. 2 개의 드레인 포트(114)들은 상호 마주보게 배치된다. 드레인 포트(114)들은 대체로 렌치 홈(112)의 바닥면(112a)에 근접하게 관통된다. 이 때, 드레인 포트(114)들은 렌치 홈(112)의 내측벽 하단으로부터 볼트 헤드(110)의 외측벽 방향으로 수평되게 관통된다.
이러한 본 발명의 렌치 볼트(100)는 처리액을 이용하여 기판(도 7의 S)을 처리하는 기판 처리 장치(도 7의 200)에 다수가 설치된다. 예를 들어, 기판 처리 장치(200)는 기판(S)을 처리하는 내부 공간을 제공하는 적어도 하나의 처리 유닛(210 ~ 250)을 구비한다. 기판 처리 장치(200)에는 처리 유닛(210 ~ 250)의 내부와 외부 각각에 복수 개의 렌치 볼트(100)가 설치된다. 예를 들어, 렌치 볼트(100)는 렌치 홈(112)이 위를 향하도록 설치될 수 있다. 이 때, 렌치 볼트(100)는 렌치 홈(112)에 수용되는 처리액을 드레인 포트(114)를 통해 볼트 헤드(110)의 외부로 자연 배출한다.
다른 실시예로서 도 5를 참조하면, 이 실시예의 렌치 볼트(100a)는 적어도 하나의 드레인 포트(114a)가 렌치 홈(112)으로부터 볼트 헤드(110)의 외주면으로 하향 경사지게 제공된다. 즉, 드레인 포트(114a)는 렌치 홈(112)의 바닥면(112a)에 근접한 내측벽 하단으로부터 볼트 헤드(110)의 외측면의 하단으로 하향 경사지게 관통된다. 또 다른 실시예로서 도 6을 참조하면, 이 실시예의 렌치 볼트(100b)는 복수 개 예를 들어, 4 개의 드레인 포트(114b)가 제공된다. 각 드레인 포트(114b)들은 상호 균등한 간격을 유지한다. 이러한 실시예들의 경우, 렌치 볼트(100a, 100b)는 도 1의 것(100) 보다 렌치 홈(112)에서 처리액을 더욱 빠르게 배출할 수 있다.
이어서 도 7 내지 도 14를 이용하여 본 발명의 렌치 볼트를 이용하는 기판 처리 장치의 구성에 대하여 상세히 설명한다.
즉, 도 7은 본 발명에 따른 복수 개의 렌치 볼트를 구비하는 기판 처리 장치의 개략적인 구성을 도시한 도면이다.
도 7을 참조하면, 본 발명의 기판 처리 장치(200)는 다양한 처리액을 이용하여 기판(S)을 처리한다. 기판 처리 장치(200)는 예를 들어, 식각액, 세정액, 순수 등의 처리액을 이용하여 기판(S)의 식각 공정, 세정 공정 및 건조 공정을 처리하거나 스트립(strip) 공정을 처리한다. 여기서 기판 처리 장치(200)는 평판 표시 패널 등을 제조하기 위한 글래스 기판(S)을 처리한다. 물론 기판 처리 장치(200)는 적어도 하나의 챔버를 구비하여 반도체 웨이퍼를 처리하는 장치로 제공될 수 있다.
이 실시예의 기판 처리 장치(200)는 복수 개의 처리 유닛(210 ~ 250)들을 구비한다. 처리 유닛(210 ~ 250)들 중 적어도 하나는 처리액을 이용하여 기판(S)을 처리한다. 예를 들어, 기판 처리 장치(200)는 식각, 세정 및 건조 공정을 순차적으로 처리한다. 처리 유닛(210 ~ 250)들은 이러한 일련의 공정을 순차적으로 처리하기 위하여 나란하게 배치된다. 또 처리 유닛(210 ~ 250)들 각각에는 기판(S)을 이송하기 위한 기판 이송 장치(260)가 제공된다. 기판 이송 장치(260)는 컨베이어 장치로 제공된다. 처리 유닛(210 ~ 250)들은 로딩부(210)와, 제 1 내지 제 3 처리부(220 ~ 240) 및 언로딩부(250)를 포함한다. 여기서 제 1 처리부(220)는 기판(S)의 식각 공정을 처리하고, 제 2 처리부(230)는 세정 공정을, 그리고 제 3 처리부(240)는 건조 공정을 처리한다.
즉, 기판 처리 장치(200)는 로딩부(210)로부터 기판 이송 장치(260)를 통해 기판(S)을 제 1 처리부(220)로 공급한다. 제 1 처리부(220)는 기판(S) 표면으로 처리액(예를 들어, 식각액)을 공급하여 기판(S)을 식각 처리한다.
제 1 처리부(220)는 기판 이송 장치(260)에 로딩된 기판(S)의 표면으로 식각액을 공급하는 적어도 하나의 슬릿 노즐(270)을 포함한다. 제 1 처리부(220)는 기판(S)의 표면으로 식각액을 공급하고, 일정 시간 동안 대기하여 불필요한 막을 제거한 후, 기판(S)을 제 2 처리부(230)로 제공한다.
제 2 처리부(230)는 제 1 처리부(220)와 인접한 위치에 복수 개의 액절 노즐(280, 290)이 상하로 배치되어, 기판(S)의 표면에 잔류하는 식각액을 제거한다. 액절 노즐(280, 290)들은 기판(S)이 공급되는 경로 상의 상부 및 하부에 배치된다. 액절 노즐(280, 290)들 각각은 도 8에 도시된 바와 같이, 기판(S)을 처리하는 내부 공간을 형성하는 제 2 처리부(230)의 하우징(232) 일측벽에 제 1 브래킷(282, 292)을 통해 고정, 설치된다. 그러므로 제 2 처리부(230)는 제 1 브래킷(282, 292)과 하우징(232) 사이, 제 1 브래킷(282, 292)과 각 액절 노즐(280, 290)들 사이에 설치되는 복수 개의 렌치 볼트(100)를 이용하여 액절 노즐(280, 290)들을 고정, 설치한다. 이 렌지 볼트(100)들 각각은 렌치 홈(도 1의 112)에 수용되는 식각액을 드레인 포트(도 1의 114)를 통해 자연 배출시킨다.
또 제 2 처리부(230)는 기판(S)의 상부 및 하부 각각에 설치되어 기판(S)을 세정하는 세정액을 공급하는 복수 개의 노즐 파이프(300, 310)를 구비한다. 노즐 파이프(300, 310)들 각각에는 복수 개의 스프레이 노즐(도 10의 302, 312)들이 설치된다. 스프레이 노즐(302, 312)들은 노즐 파이프(300, 310)의 길이 방향으로 균등하게 이격된다. 스프레이 노즐(302, 312)들은 기판(S)을 향해 세정액을 공급한다. 이러한 노즐 파이프(300, 310)들은 세정액을 균일하게 공급하기 위하여, 복수 개가 기판(S)의 상부 및 하부에 배치될 수 있다.
이 때, 노즐 파이프(300, 310)들 각각은 도 9 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 복수 개의 제 2 브래킷(304)들을 이용하여 제 2 처리부(230)의 하우징(232) 상부 또는 하부에 고정, 설치된다. 예를 들어, 제 2 처리부(230)는 하우징(232) 상부에 노즐 파이프(300)를 고정 설치하기 위한 복수 개의 제 1 고정 블럭(234)들이 제공되고, 하우징(232) 하부에 노즐 파이프(310)를 고정 설치하기 위한 복수 개의 제 2 고정 블럭(238)들이 제공된다. 상부의 노즐 파이프(300)는 제 2 브레킷(304)과 복수 개의 렌치 볼트(100)를 이용하여 제 1 고정 블럭(234)들 각각에 고정한다. 또 하부의 노즐 파이프(310)는 제 2 고정 블럭(238)들 각각에 복수 개의 렌치 볼트(100)와 제 2 브레킷(304)을 이용하여 하우징(232) 하부에 고정된다. 이 때, 제 2 브래킷(304)의 양측에는 렌치 볼트(100)가 삽입, 설치되는 삽입홀(306)들이 제공되며, 제 1 및 제 2 고정 블럭(234, 238)들 각각에는 렌치 볼트(100)가 삽입, 고정되는 복수 개의 체결홈(236)들이 제공된다. 특히, 렌치 볼트(100)는 렌치 홈(112)이 위를 향하도록 제 2 고정 블럭(238)에 설치되므로, 렌치 홈(112)에 수용되는 세정액을 드레인 포트(114)를 통해 신속하게 자연 배출시킬 수 있다.
다시 도 7을 참조하면, 제 2 처리부(230)는 세정액에 의해 세정된 기판(S)을 기판 이송 장치(260)를 이용하여 제 3 처리부(240)로 제공한다. 제 3 처리부(240)는 복수 개의 에어 나이프(320, 330)를 이용하여 기판(S)을 건조한다. 제 3 처리부(240)는 기판(S)의 상부 및 하부에 복수 개의 에어 나이프(320, 330)가 설치된다. 에어 나이프(320, 330)들은 기판(S)의 상부 및 하부로 에어를 공급하여 기판(S)을 건조시킨다. 제 3 처리부(240)에서 건조된 기판(S)은 후속 공정을 처리할 수 있도록 기판 이송 장치(260)를 통해 언로딩부(250)로 이송된다.
제 1 처리부(220) 또는 제 3 처리부(240)에 설치되는 슬릿 노즐(270) 또는 에어 나이프(320, 330)는 도 12에 도시된 바와 같이, 복수 개의 몸체(272 ~ 278)들이 상호 결합되어 제작되는데, 몸체(272 ~ 278)들은 복수 개의 렌치 볼트(100)들에 의해 상호 결합된다.
그리고 기판 이송 장치(260)는 도 9 및 도 13에 도시된 바와 같이, 복수 개의 샤프트(262)들과 복수 개의 롤러(264)들을 포함한다. 샤프트(262)들은 복수 개의 롤러(264)들이 삽입 고정된다. 샤프트(262)들은 예를 들어, 모터, 풀리 및 밸트 또는 마그네틱 구동부재 등의 구동 장치에 의해 회전되고, 이를 통해 롤러(264)들을 회전시켜서 기판(S)을 일 방향으로 이송한다. 이러한 롤러(264)들 각각은 적어도 하나의 렌지 볼트(100)에 의해 샤프트(262)에 고정된다. 또 샤프트(262)들은 로딩부(210), 제 1 내지 제 3 처리부(220 ~ 240) 및 언로딩부(250) 각각의 하우징(232) 양측벽에 설치되는 베어링 가이드(340)에 지지, 고정된다.
베어링 가이드(340)는 복수 개의 샤프트(262)들이 회전되도록 샤프트(262) 양측에 설치된 베어링(266)을 지지, 고정시킨다. 또 베어링 가이드(340)는 각 샤프트(262)의 수평 및 수직 레벨을 조절한다. 이를 위해 베어링 가이드(340)는 기판 처리 장치(200)의 프레임(또는 베이스 플레이트)(미도시됨)에 대해 수평으로 결합하는 복수 개의 제 1 렌치 볼트(도 14의 100')와, 수직으로 결합하는 복수 개의 제 2 렌치 볼트(도 14의 100")를 제공한다. 제 1 및 제 2 렌치 볼트(100', 100")들은 도 1 내지 6에 도시된 렌치 볼트(100, 100a , 100b)들 중 어느 하나로 구비된다. 이러한 제 1 및 제 2 렌치 볼트(100', 100")들 각각은 하나의 샤프트(262)가 베어링 가이드(340)에 장착되어 프레임에 대해 수평 및 수직 위치가 틀어지는 것을 방지하기 위하여, 베어링 가이드(340)를 프레임에 결합 시, 회전량(또는 토크량)를 조절하여 하나의 샤프트(262)에 대한 수평 및 수직 위치를 조절한다.
예를 들어, 베어링 가이드(340)는 도 14에 도시된 바와 같이, 베어링(266)이 안착되는 베어링 고정부(346)의 하단 측면에 배치되어 하나의 샤프트(262)의 수평 방향을 조절하는 제 1 렌치 볼트(100')가 삽입, 결합되는 제 1 체결홈(342)과, 베어링 고정부(346)의 하단 내부에 배치되어 제 2 렌치 볼트(100")가 수직 방향으로 삽입, 결합되는 제 2 체결홈(344)을 제공한다. 그러므로 제 1 및 제 2 체결홈(342, 344)에 제 1 및 제 2 렌치 볼트(100', 100")를 삽입하여 프레임에 베어링 가이드(340)를 체결할 때, 각 렌치 볼트(100', 100")의 회전량(토크량)를 조절하여 각 샤프트(262)의 수평 및 수직 위치를 조절한다.
이상에서, 기판 처리 장치(200)는 처리 유닛(210 ~ 250)의 내부에 제공되는 다양한 장치들 예를 들어, 기판 이송 장치(260), 노즐(270 ~ 330)들을 결합하거나, 고정 설치하기 위하여, 이러한 장치들이 체결되는 부분에 복수 개의 렌치 볼트(100)가 사용되는 것으로 설명하였다. 그러나 기판 처리 장치(200)는 처리 유닛(210 ~ 250)의 외부에도 다양한 장치들 예를 들어, 프레임, 구동 장치 등과 같은 유틸리티(미도시됨) 등을 결합하거나, 고정 설치하기 위하여 본 발명의 렌치 볼트(100)들을 이용하는 것은 자명하므로, 여기서는 이러한 내용의 상세한 설명은 생략하겠다.
따라서 본 발명의 기판 처리 장치(200)는 기판을 처리하는 처리 유닛(210 ~ 250)들 내부 공간에 다양한 장치를 고정하거나 결합하기 위한 복수 개의 렌치 볼트(100)들이 설치된다. 또 기판 처리 장치(200)는 처리 유닛(210 ~ 250)의 외부에도 복수 개의 렌치 볼트(100)들이 설치된다. 이러한 렌치 볼트(100)들은 동일한 재질로 구비되므로, 특수 재질 예를 들어, 타이타늄(titanium), 파라듐(palladium) 재질 등의 렌치 볼트의 사용이 불필요하다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 다양한 실시예에서는, 렌치 볼트를 구비하는 기판 처리 장치를 평판 표시 패널을 제조하기 위한 장치를 이용하여 설명하였다. 그러나, 다른 실시예로, 처리액을 이용하여 반도체 웨이퍼를 처리하는 기판 처리 장치에도 렌치 볼트를 적용함은 자명하다. 이 경우, 기판 처리 장치는 처리액을 공급하여 반도체 웨이퍼를 처리하는 챔버 내부에 설치되는 다양한 장치들 예를 들어, 기판을 지지하는 플레이트나, 기판을 이송하는 이송 로봇, 처리액을 공급하는 노즐 등을 결합하기 위한 챔버 내외부의 어떠한 위치에서도 본 발명의 렌치 볼트를 이용하여 결합, 고정 등의 설치가 가능하다.
이상에서, 본 발명에 따른 렌치 볼트 및 이를 구비하는 기판 처리 장치의 구성 및 작용을 상세한 설명과 도면에 따라 도시하였지만, 이는 실시예를 들어 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다.
100, 100a, 100b, 100', 100" : 렌치 볼트
110 : 렌치 헤드
112 : 렌치 홈
114, 114a, 114b : 드레인 포트
120 : 렌치 몸체
122 : 나사부
200 : 기판 처리 장치
110 : 렌치 헤드
112 : 렌치 홈
114, 114a, 114b : 드레인 포트
120 : 렌치 몸체
122 : 나사부
200 : 기판 처리 장치
Claims (8)
- 렌치 볼트에 있어서:
상부에 렌치가 삽입되는 렌치 홈이 형성되는 볼트 헤드와;
상기 볼트 헤드와 결합되고 외주면에 나사산이 형성되는 볼트 몸체 및;
상기 볼트 헤드의 일측벽에 형성되고, 상기 일측벽과 상기 렌치 홈이 연결되게 관통되는 적어도 하나의 드레인 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 렌치 볼트. - 제 1 항에 있어서,
상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면과 수평되게 형성되는 것을 특징으로 하는 렌치 볼트. - 제 1 항에 있어서,
상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면으로부터 상기 볼트 헤드의 외측면으로 하향 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 렌치 볼트. - 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 렌치 볼트는 서스(SUS) 재질로 제공되는 것을 특징으로 하는 렌치 볼트. - 기판 처리 장치에 있어서,
처리액을 이용하여 기판을 처리하는 내부 공간을 제공하는 적어도 하나의 처리 유닛 및;
상기 처리 유닛의 상기 내부 공간에 설치되는 복수 개의 렌치 볼트를 포함하되;
상기 렌치 볼트는;
상부에 렌치가 삽입되는 렌치 홈이 형성된 볼트 헤드와;
상기 볼트 헤드와 결합되고 외주면에 나사산이 형성되는 볼트 몸체 및;
상기 볼트 헤드의 일측벽에 형성되고, 상기 렌치 홈과 연결되게 관통되어, 상기 렌치 홈에 수용된 상기 처리액을 상기 볼트 헤드의 외부로 배출하는 적어도 하나의 드레인 포트를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면과 수평되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 제 5 항에 있어서,
상기 드레인 포트는 상기 렌치 홈의 바닥면으로부터 상기 볼트 헤드의 외측면으로 하향 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치. - 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 렌치 볼트는 상기 렌치 홈이 위를 향하도록 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020100014797A KR20110095013A (ko) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | 렌치 볼트 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020100014797A KR20110095013A (ko) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | 렌치 볼트 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20110095013A true KR20110095013A (ko) | 2011-08-24 |
Family
ID=44930928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020100014797A KR20110095013A (ko) | 2010-02-18 | 2010-02-18 | 렌치 볼트 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20110095013A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105805145A (zh) * | 2016-05-31 | 2016-07-27 | 常州市耐斯工控工程有限公司 | 防水紧固件垫圈 |
-
2010
- 2010-02-18 KR KR1020100014797A patent/KR20110095013A/ko not_active Application Discontinuation
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