JP4938749B2 - 処理流体供給装置及びこれを含む基板処理装置 - Google Patents
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Description
本発明の第2目的は、処理流体ナイフの垂れを防止しうる基板処理装置を提供することにある。
本発明の一実施例によると、前記ロッドは、前記側壁に連結される。
本発明の一実施例によると、前記ロッドは、前記側壁を通じて延長するねじ加工された端部を含み、前記ロッドには前記ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることが可能である。
本発明の一実施例によると、前記ナイフは、前記ロッドが貫通するチューブまたはフックを含むことができる。
本発明の一実施例によると、前記ナイフは、前記ロッドが貫通する複数のチューブまたは複数のフックを含むことができる。
本発明の一実施例によると、前記サポートブラケットには、前記ナイフの延長方向と平行に延長する長孔が形成され、前記ナイフは前記長孔を通じて前記ナイフの端部に締結されるボルトによって前記側壁に装着されることが可能である。
図1を参照すると、本発明の一実施例による基板処理装置10は、ガラス基板のような平板型基板20に対する処理を行うために用いることができる。例えば、エッチング、洗浄、ストリップ、現像、リンスなどのような工程を行うために望ましく用いることができる。
処理液を供給するシャワーナイフを含むことができる。これとは違って、前記処理流体供給部100は、エアーまたは乾燥ガスを供給するためのエアーナイフを含んでもよい。
る。
図5を参照すると、図示したロッドはねじ加工された端部及び前記ねじ加工された端部に対向するヘッドを有することができる。前記ロッドは第1ナイフまたは第2ナイフ及び側璧を通じて配置することができ、前記ねじ加工された端部にナットを締結することによって前記ロッドに張力を印加することができる。
前記処理流体供給装置200は、第1ナイフ210と前記第1ナイフ210を通じて延長する第1ロッド212を含むことができる。
リットノズル214を有することができる。前記第1ナイフ210の上部面上には前記第1ロッド212が通過する第1チューブ216を配置することができ、前記第1チューブ216は、前記第1ナイフ210と平行に延長することができる。
壁202の下部の間には第2ベース208を配置することができる。前記第1ベース206には前記第1ナイフ210の垂れを防止するための第1サポート230を装着することができ、前記第2ベース208には前記第2ナイフ220の垂れを防止するための第2サポート232を装着することができる。
図12を参照すると、示したロッド412は、ねじ加工された端部(412a、412b)を含むことができる。前記ロッド412の一端部412aは前記第1ナイフ310または第2ナイフ320に締結することができ、残りの端部412bは、前記側壁302を通じて延長することができる。
ることなく、本発明を修正または変更できる。
20 基板
30 基板移送部
32 ローラー
100 処理流体供給部
102 側壁
104 サポートブラケット
106 第1ベース
108 第2ベース
110 第1ナイフ
112 第1ロッド
114 第1スリットノズル
116 ボルト
120 第2ナイフ
122 第2ロッド
124 第2スリットノズル
126 ナット
130 第1サポート
132 第2サポート
Claims (7)
- 基板上に処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長する第1ナイフと、
前記第1ナイフの垂れを防止するために、前記第1ナイフを貫通し、前記第1ナイフの延長方向に張力の印加されたロッドと、
前記ナイフの両側端部と連結され、前記第1ナイフを支持する側壁とを含み、
前記ロッドは、前記側壁を通じて延長するねじ加工された端部を含み、同ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることと、
それぞれの側壁は、前記第1ナイフを支持するサポートブラケットを含むことと、
前記サポートブラケットには、前記第1ナイフの延長方向と平行に延長する長孔が形成され、前記第1ナイフは前記長孔を通じて前記第1ナイフの端部に締結されるボルトによって前記側壁に装着されることとを特徴とする処理流体供給装置。 - 前記ロッドは、前記側壁を通じて延長し、ねじ加工された端部と同ねじ加工された端部に対向するヘッド部を含み、前記ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることを特徴とする請求項1に記載の処理流体供給装置。
- 前記側壁の間に配置されるベースと、
前記ベースに装着され、前記第1ナイフの垂れを防止するためのサポートと、を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の処理流体供給装置。 - 前記第1ナイフは、前記ロッドが貫通するチューブまたはフックを含むことを特徴とする請求項1に記載の処理流体供給装置。
- 前記第1ナイフは、前記ロッドが貫通する複数のチューブまたは複数のフックを含むことを特徴とする請求項1に記載の処理流体供給装置。
- 前記第1ナイフと平行に延長する第2ナイフを更に含み、前記基板は、前記第1ナイフと前記第2ナイフとの間に配置されることを特徴とする請求項1に記載の処理流体供給装置。
- 基板を支持する複数のローラーと、
前記基板を移送するために前記ローラーに回転力を提供する駆動部と、
前記基板上に処理流体を供給するための処理流体供給部を含み、
前記処理流体供給部は、
前記基板上に前記処理流体を供給するためのスリットノズルを有し、前記基板の表面に対して平行する方向に延長するナイフと、
前記ナイフの垂れを防止するために前記ナイフを通じて延長して前記ナイフの延長方向に張力の印加されたロッドと、
前記ナイフの両側端部と連結され、前記ナイフを支持する側壁とを含み、
前記ロッドは、前記側壁を通じて延長するねじ加工された端部を含み、同ねじ加工された端部に結合されるナットによって前記ロッドに前記張力が印加されることと、
それぞれの側壁は、前記ナイフを支持するサポートブラケットを含むことと、
前記サポートブラケットには、前記ナイフの延長方向と平行に延長する長孔が形成され、前記ナイフは前記長孔を通じて前記ナイフの端部に締結されるボルトによって前記側壁に装着されることとを特徴とする基板処理装置。
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