KR101375778B1 - 기판용 챔버의 리프팅 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판용 챔버 리프팅 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 또는 PDP 기판을 생산하는 과정에서 기판을 공급받아 수용액이 저장된 챔버에서 함침시켜 코팅작업을 수행한 후 다음 공정으로 이송하기 위해 배출하는 과정에서 기판의 높이를 조절하면서 구동되는 과정에서 분진이나 이물질 등이 전혀 발생하지 않고 공정이 정상적으로 이루어지도록 하는 기판용 챔버의 리프팅 장치에 관한 것이다.
이러한 본 발명은 챔버의 내부에서 양쪽에 설치한 설치공(21)이 서로 다른 방향으로 개방되어 있으며 상측으로 돌출축(22)이 형성되고 하측의 내경에 하우징 나사공(23)을 형성한 고정대(20)와;
상기 하우징 나사공(23)에 결합하는 하우징 나사축(14)을 형성하며 내경으로 유리관 삽입공(12)을 형성하는 리프트 하우징(10)과;
상기 유리관 삽입공(12)에 결합한 분진방지용 유리관(40)과;
상기 분진방지용 유리관(40)을 관통하며 하측으로 연결 나사축(33)이 형성되어 밀대(34)에 연결되고 상측의 피크 연결축(31)에 피크(32)를 결합한 리프트 핀(30)으로 이루어짐을 특징으로 하는 것이다.

Description

기판용 챔버의 리프팅 장치{The lifting of the Chamber device for substrate}

본 발명은 기판용 챔버 리프팅 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD 또는 PDP 기판을 생산하는 과정에서 기판을 공급받아 수용액이 저장된 챔버에서 함침시켜 코팅작업을 수행한 후 다음 공정으로 이송하기 위해 배출하는 과정에서 기판의 높이를 조절하면서 구동되는 과정에서 분진이나 이물질 등이 전혀 발생하지 않고 공정이 정상적으로 이루어지도록 하는 기판용 챔버의 리프팅 장치에 관한 것이다.

기판을 다양한 제품에 적용되며, 예를 들어 LCD(액정표시장치), PDP(플라즈마 표시장치)와 같은 평판 디스플레이 장치에 적용된다.

상기와 같은 장치에 채용되는 기판은 다양한 반도체 공정을 거쳐서 최종 제품으로 생산되는데, 각각의 반도체 공정을 수행할 수 있도록 반송 로울러에 의해 이송된다.

상기와 같이 반송 로울러에 의해 각 공정을 수행하는 위치에 이송한 후에는 별도의 공정을 수행하기 위한 장비에 공급되고, 공급된 기판은 상승 또는 하강 등 다양한 이동수단에 의해 이송하면서 반도체 공정을 거치게 되는 것이다.

이와 같은 다양한 반도체 공정 중, 기판을 공급받아 하강시켜 수용액에 함침시키는 과정에서 코팅을 수행한 후 다음 고정으로 이송하기 위해 상승시켜 배출되도록 하는 과정을 거치게 된다.

그러나 수용액에 담겨진 상태에서 기판을 상측에 두고 상승 및 하강을 반복하는 과정에서 금속재질로 이루어진 리프트 핀과 하우징 등의 부픔들 간에 마찰이 발생하면서 상기 마찰에 의해 금속 분진이 발생하게 되고, 이 금속 분진은 수용액을 오염시켜 결과적으로 기판의 코팅 불량을 유발시키는 원인이 되므로 불량의 결과를 제공하는 단점이 발생하게 된다.

그리고 리프트 하수징의 내부에서 이송하는 리프트 핀의 분진 등이 발생하는 상황을 확인하거나 매우 약한 유리관의 파손 여부를 확인할 수 없는 결점이 발생하게 되었다.

또한, 리프트 하우징을 수리하거나 교환하는 경우에는 리프트 하우징과 고정대로 이루어진 리프트장치가 모두 설치대에 고정볼트를 통하여 고정되어 있으므로 수리 또는 교환하려는 리프트장치 하나를 분리하지 않고 설치대 전체를 분리해야만 하므로 장비의 관리 및 수리가 매우 복잡하고 어려운 결점이 발생하게 되었다.

따라서 이러한 종래의 결점을 해소하기 위하여 안출된 본 발명의 해결과제는, 챔버의 내부인 리프트 하우징의 내경에서 리프트 핀이 기판을 상승 및 하강시킬 때 마찰하는 부분에 유리관을 설치하여 리프트 핀의 이송에 의한 마찰로 금속 분진의 발생을 방지하고, 리프트 하우징의 몸체에 투명창을 설치하여 외부에서 내경의 분진방지 유리관의 파손여부를 확인하여 불량을 방지할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 다른 해결과제는, 리프트장치를 챔버의 설치대에 독립되게 설치 및 분리할 수 있으므로 독립되게 수리 및 교환을 가능하게 하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 챔버의 내부에서 양쪽에 설치한 설치공이 서로 다른 방향으로 개방되어 있으며 상측으로 돌출축이 형성되고 하측의 내경에 하우징 나사공을 형성한 고정대와;

상기 하우징 나사공에 결합하는 하우징 나사축을 형성하며 내경으로 유리관 삽입공을 형성하는 리프트 하우징과;

상기 유리관 삽입공에 결합한 분진방지용 유리관과;

상기 분진방지용 유리관을 관통하며 하측으로 연결 나사축이 형성되어 밀대에 연결되고 상측의 피크 연결축에 피크를 결합한 리프트 핀으로 이루어짐을 특징으로 하는 것이다.

본 발명의 상기 리프트 하우징은 상측의 하우징 나사축이 하우징 나사공에 결합되어 분리 되도록 하고, 내경의 분진방지용 유리관 하측에 링이 설치되며, 외경 하측으로 조임면을 형성하는 것과;

상기 리프트 하우징은 외경의 전면으로 투시창을 설치하여 분진방지용 유리관의 파손 여부를 확인할 수 있도록 하는 것과;

상기 고정대는 양쪽에 설치한 설치공이 서로 다른 방향으로 개방되어 독립되게 설치대에서 분리되도록 형성하며 상측으로 돌출축이 형성되어 리프트 핀이 관통하고 하측의 내경에 하우징 나사공을 형성하여 하우징 나사축이 결합되도록 하는 것이다.

본 발명은 리프트 하우징의 내경에서 리프트 핀이 기판을 상승 및 하강시킬 때 마찰하는 부분에 유리관을 설치하여 리프트 핀의 이송에 의한 마찰이 유리관의 내경에서 이루어지도록 함으로써 금속 분진의 발생을 방지하도록 하는 효과와, 리프트 하우징의 몸체에 투명창을 설치하여 외부에서 내경의 분진방지 유리관의 파손여부와 분진의 발생 여부를 확인하여 불량을 방지할 수 있도록 하는 효과를 제공하는 것이다.

본 발명은 리프트장치를 설치대에 독립되게 설치한 후 고정볼트만 분리하는 경우 간편하게 리프트장치를 독립되게 분리할 수 있으므로 필요한 위치의 리프트장치만 간편하게 수리 및 교환을 통해 생산의 차질을 방지하고, 신속한 조치를 가능하게 하는 효과를 제공하는 것이다.

도 1 은 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 설치상태 정면도
도 2 는 본 발명의 분리상태를 나타낸 사시도
도 3 은 본 발명의 설치상태를 나타낸 정면도
도 4 는 본 발명의 설치상태를 나타낸 평면도
도 5 는 본 발명의 설치상태를 나타낸 단면도
도 6 은 본 발명의 작동상태를 나타낸 단면도

이하에서 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부시킨 도면에 따라서 상세하게 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예를 나타낸 설치상태 정면도를 나타낸 것으로, LCD 또는 PDP 기판(50)을 생산하는 과정에서 오븐챔버의 내부에 기판(50)을 공급받아 일정한 간격에서 설치대(60)에 고정볼트(61)로 설치한 리프트장치(10)를 설치하여 지지하며, 소정의 높이로 왕복 이송시켜 수용액에 함침하여 코팅한 후 다음 공정으로 이송하기 위해 상승시킨 후 배출하는 과정에서 사용하는 것이다.

도 2는 본 발명의 분리상태를 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명의 설치상태를 나타낸 정면도, 도 4는 본 발명의 설치상태를 나타낸 평면도, 도 5는 본 발명의 설치상태를 나타낸 단면도, 도 6 은 본 발명의 작동상태를 나타낸 단면도를 나타낸 것이다.

리프트장치(10)는 챔버의 내부에 설치한 고정대(20)의 양쪽으로 설치공(21)을 형성하되; 서로 다른 방향으로 개방되어 회전에 의해 고정볼트(61)에서 분리되도록 하며, 중앙에는 돌출축(22)이 설치되어 리프트 핀(30)이 관통되어 노출되도록 하고, 하측의 내경으로 하우징 나사공(23)이 형성되도록 하는 것이다.

상기 하우징 나사공(23)에 나사식으로 결합하는 하우징 나사축(14)이 형성되고, 하우징 나사축(14)의 하측으로 더 큰 구경을 갖는 단턱(15)을 형성하며, 내경에는 유리관 삽입공(12)이 형성되어 있어 분진방지용 유리관(40)이 결합되도록 하고, 하측에는 조임면(13)이 형성되어 있는 리프트 하우징(11)을 설치한다.

상기 리프트 하우징(11)의 전면 한 방향에는 외부에서 내경의 분진방지용 유리관(40)의 파손 여부를 확인할 수 있는 투시창(18)을 설치하는 것이다.

상기 리프트 하우징(11)의 내경 유리관 삽입공(12)에는 분진방지용 유리관(40)을 삽입하여 리프트 핀(30)을 관통시키며 하측에는 링(41)이 설치되어 있는 것이다.

상기 리프트 핀(30)은 하측에 연결 나사축(33)이 형성되어 밀대(34)에 연결되며, 상측 단부에는 피트 연결축(31)이 형성되어 피크(32)를 나사식으로 결합하여 기판(50)의 하측을 지지하도록 설치하는 것이다.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 기판 리프팅 장치는, 챔버의 내부에 설치한 설치대(60)에 상측에 리프트장치(10)를 결합함에 있어서, 설치공(21)을 통하여 고정볼트(61)로 설치하고, 리프트 핀(30)의 연결 나사축(33)에는 밀대(34)를 결합하는 것이며, 상기 리프트장치(10)를 일정한 간격에 다수 개 설치하여 기판(50)을 올려놓을 수 있도록 설치하는 것이다.

이와 같이 리프트장치(10)를 설치한 상태에서 리프트 핀(30)이 상승된 상태를 제공하게 되고, 기판(50)을 생산하는 과정에서 로울러에 의하여 피크(32)의 상측으로 기판(50)이 공급되면 밀대(34)에 연결한 구동장치(미도시)를 통하여 리프트장치(10)가 하강하면서 연결 나사축(33)으로 연결한 리프트 핀(30)이 하강하며 기판(50)을 하강시켜 수용액에 기판(50)을 함침시키게 되고, 함침되는 기판(50)은 수용액을 통하여 코팅작업을 수행하게 된다.

코팅작업이 종료되면 밀대(34)가 상승하여 리프트 핀(30)을 상승시켜 기판(50)이 수용액으로부터 분리되어 다음 공정으로 배출되도록 하는 작업을 연속해서 수행하는 것이다.

상기와 같이 리프트 핀(30)이 상승과 하강을 반복해서 수행하게 되면서 리프트 핀(30)은 리프트 하우징(11)의 유리관 삽입공(12)에 분리방지용 유리관(40)이 삽입되어 있는 상태를 제공하여 리프트 핀(30)이 분리방지용 유리관(40)의 내경에서 상승과 하강을 반복해서 수행하게 되므로 발생하는 마찰에 의한 금속 분진의 발생을 방지하여 수용액이 오염되는 것과, 이로 인하여 기판(50)의 코팅불량을 방지할 수 있는 것이다.

이와 같은 기판(50)의 코팅작업을 반복해서 수행함에 따라서 리프트장치(10)를 교환하거나 수리를 요하게 되는 경우, 종래에는 설치대(60)를 모두 분리하여 교환 및 수리를 진행하게 되므로 코팅작업을 정지해야 하는 단점이 발생하게 되지만, 본 발명에서는 고정볼트(61)를 풀어 고정대(20)를 개방된 방향과 반대 방향으로 회전시키게 되면 설치공(21)이 고정볼트(61)에서 분리되면서 리프트장치(10) 하나만을 쉽게 분리할 수 있게 되므로 원하는 리프트장치(10)를 분리하여 교환 및 수리를 신속하고 편리하게 진행할 수 있는 것이다.

그리고 리프트 하우징(11)은 몸체에 투시창(18)을 설치하여 내부를 육안으로 확인할 수 있으므로 리프트 핀(30)이 연속해서 상승과 하강을 반복하며 발생하는 마찰과 충격으로 인하여 분진방지용 유리관(40)의 파손 여부를 육안으로 쉽게 확인할 수 있게 되므로 코팅에 의한 불량 발생을 방지할 수 있는 효과와, 분진방지용 유리관(40)이 파손되는 경우 해당 리프트장치(10)를 고정볼트(61)의 해제로 풀어 신속하게 교환할 수 있는 것이다.

그리고 분진방지용 유리관(40)을 교환하는 경우, 고정대(20)의 설치공(21)에서 고정볼트(61)로부터 분리한 후 조임면(13)에서 공구를 통하여 하우징 나사공(23)에 결합되어 있는 하우징 나사축(14)을 분리하여 내경의 분진방지용 유리관(40)을 교환할 수 있게 되고, 분진방지용 유리관(40)을 교환한 후에는 하우징 나사공(23)에 하우징 나사축(14)을 나사식으로 결합함으로써 신속하게 교환할 수 있으며, 하측의 단턱(15)이 하우징 나사축(14)의 결합상태(높이)를 제공하여 정확한 높이에서 결합이 이루어지도록 하는 것이다.

또한, 고정대(20)는 설치공(21)의 개방부분에 고정볼트(61)를 위치시킨 후 고정대(20)를 회전시켜 설치공(21)에 고정볼트(61)가 위치하도록 함으로써 고정대(20)의 설치공(21)에 고정볼트(61)를 신속하게 결합 및 분리할 수 있게 되는 것이다.

상기 피크(32)는 피크 연결축(31)에 나사식으로 결합하는 것이며, 소정의 쿠션이 제공되어 기판(50)을 지지하며 보호하고 안전하게 코팅이 이루어진 후 다음 과정으로 공급되도록 하는 것이다.

본 발명은 LCD 또는 PDP 기판을 생산하는 다양한 제조과정에서 수용액에 함침시켜 코팅을 수행하는 과정을 제공하는 리프트장치를 설치하되; 조립 및 분리가 간편하여 수리 및 교환이 편리하고 리프트 하우징의 내경에 분진방지용 유리관을 설치하여 리프트 핀의 상승과 하강에 따른 내경에서 마찰로 인한 금속 분진의 발생을 방지하며, 마찰에 의한 분진방지용 유리관의 파손을 확인할 수 있도록 하는 매우 유용한 발명인 것이다.

10 : 리프트장치 11 : 리프트 하우징
12 : 유리관 삽입공 13 : 조임면
14 : 하우징 나사축 15 : 단턱
18 : 투시창 20 : 고정대
21 : 설치공 22 : 돌출축
23 : 하우징 나사공 30 : 리프트 핀
31 : 피크 연결축 32 : 피크
33 : 연결 나사축 34 : 밀대
40 : 분진방지용 유리관 41 : 링
50 : 기판 60 : 설치대
61 : 고정볼트

Claims (4)

1. 챔버의 내부에서 양쪽에 설치한 설치공(21)이 서로 다른 방향으로 개방되어 있으며 상측으로 돌출축(22)이 형성되고 하측의 내경에 하우징 나사공(23)을 형성한 고정대(20)와;
   상기 하우징 나사공(23)에 결합하는 하우징 나사축(14)을 형성하며 내경으로 유리관 삽입공(12)을 형성하는 리프트 하우징(10)과;
   상기 유리관 삽입공(12)에 결합한 분진방지용 유리관(40)과;
   상기 분진방지용 유리관(40)을 관통하며 하측으로 연결 나사축(33)이 형성되어 밀대(34)에 연결되고 상측의 피크 연결축(31)에 피크(32)를 결합한 리프트 핀(30)으로 이루어짐을 특징으로 하는 기판용 챔버의 리프팅 장치.
   
2. 제 1항에 있어서,
   상기 리프트 하우징(10)은 상측의 하우징 나사축(14)이 하우징 나사공(23)에 결합과 분리가 가능하도록 하고, 내경의 분진방지용 유리관(40) 하측에 링(41)이 설치되며, 외경 하측으로 조임면(13)을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판용 챔버의 리프팅 장치.
   
3. 제 1항에 있어서,
   상기 리프트 하우징(10)은 외경의 전면으로 투시창(18)을 설치하여 분진방지용 유리관(40)의 파손 여부를 확인할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 기판용 챔버의 리프팅 장치.
   
4. 제 1항에 있어서,
   상기 고정대(20)는 양쪽에 설치한 설치공(21)이 서로 다른 방향으로 개방되어 독립되게 설치대(60)에서 분리되도록 형성하며 상측으로 돌출축(22)이 형성되어 리프트 핀(30)이 관통하고 하측의 내경에 하우징 나사공(23)을 형성하여 하우징 나사축(14)이 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 기판용 챔버의 리프팅 장치.

Images