KR20070113615A - 평판 디스플레이 제조용 장비 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 제조용 장비가 제공된다. 평판 디스플레이 제조용 장비는 기판이 안착되는 석정반, 석정반을 관통하여 기판을 지지하는 진공축이 형성된 다수의 리프트 핀, 다수의 리프트 핀의 하단부에 구비되어 리프트 핀을 고정시키는 리프트 핀 플레이트, 진공축과 연결되며 상기 리프트 핀 플레이트의 내부를 관통하여 형성된 진공 라인, 진공 라인과 연결되어 진공축의 압력을 감지하는 압력 감지부, 리프트 핀 플레이트와 연결되어 리프트 핀 플레이트를 상승 하강시키는 구동부를 포함한다.
리프트 핀, 진공, 미끄러짐 방지

Description

평판 디스플레이 제조용 장비{Apparatus for manufacturing flat panel display}
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 단면도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 설명*
110: 석정반 120: 리프트 핀
122: 진공축 130: 리프트 핀 플레이트
132: 진공라인 140: 구동부
150: 압력 감지부 160: 슬릿 노즐
본 발명은 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 석정반상에서 기판의 미끄러짐 현상을 방지할 수 있는 평판 디스플레이 제조용 장비에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이(Flat Panel Display)는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등을 말한다. 이러한 평판 디스플레이는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching) 및 이온 주입(ion implant) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다.
이처럼 반복되는 제조 공정들 중, 사진 공정은 기판에 포토레지스트를 코팅하는 공정, 포토레지스트 상에 미세 패턴을 형성하는 노광 공정 및 포토레지스트를 현상하는 현상 공정을 순차적으로 수행함으로써 기판 상에 미세 패턴을 형성한다.
이 중, 기판 표면에 포토레지스트를 코팅하는 공정은 석정반 상에 기판을 안착시키고, 포토레지스트를 공급하는 슬릿 노즐이 기판 표면을 일정 속도로 이동하면서 기판 상에 포토레지스트를 도포하게 된다. 이 때, 균일한 도포를 위하여 기판이 석정반 상의 정위치에 위치하는 것이 중요하다.
그리고, 기판은 석정반을 관통하는 리프트 핀에 의해 상하로 이동될 수 있으며, 리프트 핀의 하강시 석정반 상에 기판이 안착된다. 그러나, 리프트 핀의 하강 동작에 의해 기판이 하강될 때 기판과 석정반 사이에 있던 공기가 미처 빠져나가지 못하게 될 수 있다. 이로써, 기판보다 리프트 핀이 먼저 하강되면서 기판이 압축 공기의 마찰 저항을 받게 되어 미끄러짐으로써 석정반의 정위치에 안착하지 못하게 된다. 그러므로 포토레지스트 코팅시 포토레지스트가 석정반에 코팅될 수 있거나, 기판 표면에 균일하게 코팅되지 않을 수 있다. 또는, 기판이 로봇암에 의해 이송될 때 석정반의 정위치에 있지 못하므로 위치 편차가 생겨 주변 설비에 부딪혀 파손될 수 있다.
한편, 리프트 핀의 상단은 돌출된 타원형의 형상이므로 기판의 미끄러짐 현 상이 더욱 발생될 수 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판 이송시 석정반상에서의 기판 미끄러짐을 방지하기 위한 평판 디스플레이 제조용 장비를 제공하는데 있다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비는 기판이 안착되는 석정반, 석정반을 관통하여 기판을 지지하는 진공축이 형성된 다수의 리프트 핀, 다수의 리프트 핀의 하단부에 구비되어 리프트 핀을 고정시키는 리프트 핀 플레이트, 진공축과 연결되며 상기 리프트 핀 플레이트의 내부를 관통하여 형성된 진공 라인, 진공 라인과 연결되어 진공축의 압력을 감지하는 압력 감지부, 리프트 핀 플레이트와 연결되어 리프트 핀 플레이트를 상승 하강시키는 구동부를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 단면도이다.
도 1 및 도2를 참조하면, 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비(100)는 석정반(110), 다수의 리프트 핀(120), 리프트 핀 플레이트(130), 구동부(140) 및 압력 감지부(150)를 포함한다.
석정반(110)은 기판(G)이 안착되는 부재이다.
석정반(110)은 돌, 예를 들어 화강암등의 외부의 진동에 민감하지 않은 무거운 재질로 구비된다. 따라서, 외부의 진동에 민감하지 않아 포토레지스트 도포 공정시 기판(G)표면을 더욱 매끈하게 형성할 수 있도록 구비된다. 석정반(110)은 직사각형의 판 형태일 수 있다. 그리고 석정반(110)에는 기판(G)을 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)하기 위해 기판(G)을 승강시키는 다수의 리프트 핀(120)이 석정반(110)을 관통할 수 있도록 리프트 핀(120) 수에 대응하여 관통 홀들이 형성되어 있다.
석정반(110)을 관통하는 리프트 핀(120)은 다수가 형성되어 상부에 지지된 기판(G)을 수평상태에서 석정반(110)에 안착시키거나 이탈시키는 동작을 할 수 있 다. 특히, 본 발명의 일 실시예의 리프트 핀(120)에는 진공축(122)이 형성되어 있어 진공으로 기판(G)을 흡착 고정 시킬 수 있다.
자세히 설명하면, 각 리프트 핀(120)에 형성된 진공축(122)은 리프트 핀(120)의 상하 방향의 길이 방향으로 형성되어, 리프트 핀(120)이 기판(G)과 접촉시 진공압을 제공하는 통로 역할을 한다. 또한, 리프트 핀(120)은 진공축(122)이 형성됨으로써 상단면이 돌출된 형태가 아니므로 기판(G)과 접촉시 접촉 면적이 넓어지므로 안정적일 수 있다. 리프트 핀(120)은 SUS(Stainless Use Steel; 이하 ‘SUS’)재질로 구비될 수 있다.
다수의 리프트 핀(120)의 하단부에는 리프트 핀(120)을 고정시킬 수 있도록 리프트 핀 플레이트(130)가 형성되어 있다. 자세히 설명하면, 리프트 핀 플레이트(130) 내부에는 진공축(122)과 연결되는 진공라인(132)이 리프트 핀 플레이트(130) 내부를 관통하여 형성되어 있다. 진공라인(132)과 진공축(122)을 통해 일정 크기의 진공압을 유지함으로써 리프트 핀(120)이 기판(G)을 흡착할 수 있게 된다.
그리고, 구동부(140)가 리프트 핀 플레이트(130)와 연결되어 리프트 핀 플레이트(130)를 승하강 시킬 수 있다. 따라서, 구동부(140)에 의해 리프트 핀(120)이 상하로 수직 이동하면서 기판(G)을 석정반(110)에 안착 또는 이탈 시킬 수 있다. 이 때, 구동부(140)로는 에어 실린더(air cylinder), 리이드 스크류, 스텝핑 모터(stepping motor) 등이 이용될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 압력 감지부(150)가 리프트 핀 플레이트(130)의 진공라인(132)과 연결되어 진공압을 감지한다. 즉, 압력 감지부(150)는 기판(G)이 정상으로 안착되는 경우의 진공압 수치가 미리 설정된다. 그리고, 기판(G)이 정상으로 안착되지 않으면 기준압 수치에서 벗어난 압력 수치를 감지할 수 있다. 상세히 설명하면, 기판(G)은 리프트 핀(120)에 안착되어 진공축(122)을 통해 진공압에 의해 흡착되는데, 기판(G)이 불량하게 안착되거나, 기판(G)의 파손이 발생되면 진공축(122)을 통하여 진공 손실이 발생된다. 이와 같이 압력 감지부(150)에 미리 설정된 수치의 변화에 따라 압력 이상 발생이 감지되면 압력 이상 발생 신호를 발생시킨다.
또한, 압력 감지부(150)는 기판(G)의 불량 안착시 발생되는 압력의 이상을 감지하게 되면 리프트 핀(120)의 동작을 즉시 중단 시킬 수 있다. 따라서, 기판(G)의 이탈 및 파손을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 압력 감지부(150)로써 기판(G)의 파손 유무를 감지 할 수 있음으로 별도의 기판 파손을 감지하는 센서가 불필요하게 된다.
석정반(110) 상부에 슬릿 노즐(160)이 설치되어 기판(G)상에 포토레지스트를 도포한다. 슬릿 노즐(160)이 석정반(110)에 안착된 기판(G)을 따라 이동하게 되면 기판(G) 표면에 포토레지스트가 코팅된다.
도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 디스플레이 제조용 장비의 동작에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 석정반(110)을 관통하고, 진공축(122)이 형성된 리프트 핀(120)이 구동부(140)에 의해 상승을 하여 기판(G)을 지지한다. 그리고, 이어서 기판(G)을 석 정반(110)에 안착시키기 위하여 리프트 핀(120)은 구동부(140)에 의해 하강동작을 한다. 이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공라인(132)에 연결된 진공축(122)을 통해 리프트 핀(120)은 진공으로 기판(G)을 흡착 고정시켜 안정적으로 하강할 수 있다. 이후, 석정반(110)에 안착된 기판(G) 표면을 따라 슬릿 노즐(160)이 이동하면서 포토레지스트를 코팅한다.
만약, 기판(G)이 불량하게 안착되면 진공압의 손실이 발생되어 진공라인(132)과 연결된 압력 감지부(150)에 압력 이상이 감지된다. 압력 이상을 감지한 압력 감지부(150)는 압력 이상 발생 신호를 발생시키고 리프트 핀(120)의 동작을 중단시킨다. 즉, 평판 디스플레이 제조용 장비의 압력 이상 발생시 자동적으로 리프트 핀(120)의 기판(G) 이송동작을 중단시킴으로써 기판(G)이 미끄러져 파손되는 것을 방지할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지로 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
상기한 바와 같이 본 발명의 평판 디스플레이 제조용 장비에 따르면 다음과 같은 효과가 하나 혹은 그 이상 있다.
첫째, 기판을 석정반 상에 안착시킬 때 리프트 핀에 진공축이 형성됨으로써 기판이 공기 마찰 저항에 의해 미끄러지는 것을 방지할 수 있다.
둘째, 기판이 미끄러지는 것을 방지함으로써 석정반의 정위치에 안착시킬 수 있다.
셋째, 석정반의 정위치에 기판이 안착됨으로써 공정의 수율이 향상될 수 있다.
넷째, 기판 파손 시 압력 손실이 발생되면 진공라인과 연결된 압력 감지부에 이상이 발생하며 이를 통해 기판 파손여부를 확인할 수 있다.

Claims (3)

  1. 기판이 안착되는 석정반;
    상기 석정반을 관통하여 상기 기판을 지지하는 진공축이 형성된 다수의 리프트 핀;
    상기 다수의 리프트 핀의 하단부에 구비되어 상기 리프트 핀을 고정시키는 리프트 핀 플레이트;
    상기 진공축과 연결되며 상기 리프트 핀 플레이트의 내부를 관통하여 형성된 진공 라인;
    상기 진공 라인과 연결되어 상기 진공축의 압력을 감지하는 압력 감지부; 및
    상기 리프트 핀 플레이트와 연결되어 상기 리프트 핀 플레이트를 상승 하강시키는 구동부를 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 리프트 핀은 상하 길이 방향으로 진공축이 형성되어 상기 기판을 흡착시키며 지지하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 압력 감지부는 상기 기판의 불량 안착시 발생되는 압력 이상을 감지하여 상기 리프트 핀의 동작을 중단시키는 것을 더 포함하는 평판 디스플레이 제조용 장비.
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