KR100726698B1

KR100726698B1 - 디스플레이 장치용 글라스패널의 마이크로 검사장비용스테이지

Info

Publication number: KR100726698B1
Application number: KR1020050080873A
Authority: KR
Inventors: 이민규; 이경훈; 이동규
Original assignee: 주식회사 디이엔티
Priority date: 2005-08-31
Filing date: 2005-08-31
Publication date: 2007-06-11
Also published as: CN1924513B; CN1924513A; KR20070025099A

Abstract

본 발명은 마이크로 검사장비용 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 현미경을 이용하여 LCD 및 PDP 등의 평판 디스플레이 장치에 사용되는 글라스패널의 결함을 검출하는 마이크로 검사장비의 스테이지가 글라스패널을 지지하는 지지력이 극대화되면서 원활한 검사가 이루어지도록 한 마이크로검사장비용 스테이지에 관한 것으로서, 프레임의 중앙부에 관통공이 형성되어 상,하로 각각 현미경 및 광원램프가 이격되어 구동되고, 상기 관통공에 다수의 지지바가 고정되어 글라스패널을 지지하면서 현미경에 의해 글라스패널의 결함을 검사하는 마이크로 검사장비의 스테이지에 있어서, 상기 지지바의 상면에 투명 재질로 형성되는 다수의 지지패널이 구비되어 상기 글라스패널을 지지하도록 구성된다.

이에 따라, 글라스패널의 무게가 고르게 분산되어 지지바의 처짐이 최소화되고, 그에 따라 신속하게 정밀한 검사를 수행할 수 있게 되어 검사의 효율이 증대되는 효과를 가지게 된다.

Description

디스플레이 장치용 글라스패널의 마이크로 검사장비용 스테이지{a stage for a micro detecting apparatus for a glass panel of a display}

도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 사시도.

도 2는 도 1의 A부분의 확대도.

도 3은 도 2의 작동상태를 보인 것으로서,

도 3a는 글라스패널의 이동 상태를 보인 요부의 종단면도,

도 3b는 글라스패널의 고정 상태를 보인 요부의 종단면도.

도 4는 본 발명이 적용된 마이크로 검사장비의 개략 종단면도.

도 5는 도 4의 B부분의 확대도.

도 6은 종래 마이크로 검사장비용 스테이지의 일 예를 보인 사시도.

도 7은 도 6의 스테이지가 적용된 마이크로 검사장비의 개략 종단면도.

도 8은 도 7의 C부분의 확대도.

※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 프레임 11 : 관통공

20 : 지지바 21 : 조절나사

30 : 지지패널 31 : 공기분사공

40 : 공기분사노즐

50 : 정반

51 : 현미경 52 : 광원램프

1 : 글라스패널

본 발명은 마이크로 검사장비용 스테이지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 현미경을 이용하여 LCD 및 PDP 등의 평판 디스플레이 장치에 사용되는 글라스패널의 결함을 검출하는 마이크로 검사장비의 스테이지가 글라스패널을 지지하는 지지력이 극대화되면서 원활한 검사가 이루어지도록 한 마이크로검사장비용 스테이지에 관한 것이다.

일반적으로 LCD나 PDP등의 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 평판 형상의 글라스패널을 검사하기 위해서는 검사자의 시력에 의존하여 그 불량을 검출하는 마크로 검사장비와, 현미경을 이용하여 글라스패널의 각 부분을 확대하여 검사하는 마이크로 검사장비 및 육안에 의한 1차적인 검사 후에 현미경을 이용하여 정밀 검사를 동시에 수행하는 MAC-MIC 검사장비 등이 이용되고 있다.

이러한 검사장비 중 특히 마이크로 검사장비에 사용되는 스테이지의 구조를 도 6 내지 도 8을 통해 살펴보면, 스테이지의 몸체를 이루는 프레임(100)의 중앙부에 상,하로 관통되는 관통공(101)을 형성하고, 상기 관통공(101)에 글라스패널(400)을 지지하는 지지바(200)를 다수개 거치하여 글라스패널(400)의 중앙부가 지지되도록 하며, 지지바(200)의 상면에 높이 조절이 가능하게 고정되어 글라스패널(400)을 지지하는 다수의 지지볼트(300)를 구비하여 지지바(200)의 처짐에 따른 높이의 보정이 지지볼트(300)에 의해 이루어지도록 하고 있다.

이에 따라, 지지바(200)의 상면에 글라스패널(400)을 올려놓은 후에 상,하,좌,우의 위치를 정확히 맞추고 프레임(100)에 설치되어 공기의 압력에 의해 글라스패널(400)을 고정하는 흡착판 등을 이용하여 글라스패널이 고정되도록 하고 있다.

또한, 글라스패널(400)이 스테이지에 고정된 후에는 스테이지의 상,하로 이격되어 구비되면서 동일한 위치로 구동되는 현미경(500) 및 현미경의 상이 선명하고 정확하게 맺히도록 글라스패널(400)에 빛을 조사하는 광원램프(600)를 구비하여 현미경(500)을 이용한 정확한 결함의 검사가 이루어지도록 하고 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 스테이지는 스테이지의 상하로 현미경과 광원램프가 이격되어 설치됨에 따라 광원램프의 원활한 조명을 위해 지지바를 유리 등의 투명한 재질로 형성하였고, 이에 따라 지지바의 강도가 저하되어 지지바 및 글라스패널의 처짐량이 커지는 문제점이 있었다.

이를 위해 상기 지지바의 상면에 처짐 높이를 보정하는 지지볼트를 설치하였으나, 글라스패널의 전체 면을 고르게 지지하기 위해서는 수많은 지지볼트가 필요했을 뿐만 아니라, 각각의 지지볼트의 높이를 보정하는데 많은 시간이 소요되는 문제점이 있었다.

또한, 상기 프레임에 거치되는 만큼의 글라스패널만이 스테이지에 고정됨에 따라 그 고정력에 한계가 있었으며, 이에 따라 검사 도중에 글라스패널이 움직여 정확한 검사가 이루어지지 않는 경우도 있었다.

또한, 상기 지지볼트는 글라스패널의 정확하고 원활한 위치 정렬을 위해 지지바에 고정되는 하부측에 높이 조절이 가능한 로크너트(301)등을 체결하고, 글라스패널의 후면과 접촉되는 상단부에는 볼베어링(302)등을 설치하였는데, 상기 볼베어링은 반복되는 글라스패널의 움직임에 의해 마모되거나 파손되어 견고한 지지가 힘들거나, 정확한 위치정렬이 힘들어지는 문제점이 있었다.

이에, 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 현미경을 이용하여 LCD 및 PDP 등의 평판 디스플레이 장치에 사용되는 글라스패널의 결함을 검출하는 마이크로 검사장비의 스테이지가 글라스패널을 지지하는 지지력이 극대화되면서 원활한 검사가 이루어지도록 한 마이크로검사장비용 스테이지를 제공함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 글라스패널의 무게에 의한 지지바의 처짐이 최소화되면서 지지패널의 평탄도 조절이 간편하게 이루어지도록 함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 공기의 압력에 의해 글라스패널의 전체 면을 고르게 고정하고 공기의 압력에 의해 글라스패널의 위치 조절이 이루어지도록 함에 있다.

또한, 본 발명의 목적은 광원램프의 빛이 지지바에 의해 가려져 검사시에 암점이 발생되는 것을 방지하도록 함에 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 프레임의 중앙부에 관통공이 형성되어 상,하로 각각 현미경 및 광원램프가 이격되어 구동되고, 상기 관통공 에 다수의 지지바가 고정되어 글라스패널을 지지하면서 현미경에 의해 글라스패널의 결함을 검사하는 마이크로 검사장비의 스테이지에 있어서, 상기 지지바의 상면에 투명 재질로 형성되는 다수의 지지패널이 구비되어 상기 글라스패널을 지지하도록 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 지지바는 상기 지지패널과 수직으로 배치되는 상,하 방향의 높이가 지지패널과 수평으로 배치되는 두께보다 길게 형성되고, 상기 지지바의 상면에 상기 지지패널을 지지하는 다수의 조절나사가 구비된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 지지패널에 상하로 관통되는 다수의 공기분사공이 형성되고, 상기 공기분사공의 하부측에 공기를 흡입 및 배출하면서 상기 글라스패널이 상기 지지패널에 흡착 및 분리되도록 하는 공기분사노즐이 고정된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 광원램프는 상기 현미경과 동조되어 현미경을 따라 이동하되, 광원램프에서 조사된 빛이 굴절되어 상기 현미경의 렌즈 중심부를 향해 집중되어 조사되도록 구성된 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 일 실시예를 보인 사시도로서, 도시된 바와 같이 본 발명은 LCD패널 및 PDP패널 등의 디스플레이 장치에 사용되는 글라스패널의 결함을 현미경에 의해 정밀하게 검사하는 마이크로 검사장비용 스테이지에 관한 것으로서, 프레임(10)의 중앙부에 관통공(11)이 형성되고, 관통공(11)의 내측에 글라스패널을 지지하는 다수의 지지바(20)가 구비되며, 지지바(20)의 상면에 상기 글라스패널을 지지하는 다수의 지지패널(30)을 구비하여 글라스패널이 더욱 안정적이고 견고하게 고정되도록 한 것이다.

상기 프레임(10)은 마이크로 검사장비용 스테이지의 몸체를 이루는 것으로서, 마이크로 검사장비의 정반의 상면에 고정되도록 하고, 중앙부에 관통공(11)을 형성하여 PDP나 LCD등의 평판형 디스플레이장치에 사용되는 글라스패널이 관통공(11)에 거치되면서 상,하로 각각 현미경과 광원이 이동되도록 하면서 현미경에 의해 글라스패널의 결함을 검출하도록 한다.

상기 지지바(20)는 상기 관통공(11)의 내측에 일정 간격으로 다수개가 고정되어 상기 글라스패널의 중앙부를 지지하는 것으로서, 처짐이 최소화되면서 글라스패널의 무게를 지지하도록 금속재 등으로 형성하는 것이 바람직하고, 일정 간격으로 다수개를 구비하여 글라스패널을 안정적으로 지지하도록 하는 것이 바람직하다.

상기 지지패널(30)은 상술한 글라스패널과 직접 접촉되면서 글라스패널을 지지하는 것으로서, 빛이 투과되는 투명 재질로 형성되고, 상기 지지바(20)의 상면에 거치되면서 상기 관통공(11)의 내측에 다수개가 구비되어 상기 글라스패널의 전체 면을 안정적으로 지지하도록 한다.

이에 따라, 글라스패널이 지지패널(30)에 의해 면접촉에 의해 관통공(11) 상에 지지됨으로써, 더욱 안정적으로 지지될 뿐만 아니라, 글라스패널의 처짐량을 최소화함으로써, 더욱 정확하고 정밀한 검사가 가능해 지게 되는 것이다.

도 2는 도 1의 A부분의 확대도로서, 상술한 지지바(20)는 상기 지지패널(30)과 수직으로 배치되는 상,하 방향의 높이(h)가 지지패널(30)과 수평으로 배치되는 두께(t)보다 길게 형성하여 수직 방향의 하중에 대한 지지력이 극대화되도록 하고, 상기 지지바(20)의 상면에는 지지패널(30)을 지지하는 다수의 조절나사(21)를 구비하여 최소한의 조절로 지지패널(30)의 높이 조절이 용이하게 이루어지도록 한다.

상기 지지바(20)는 금속재 등으로 형성하여 강도가 극대화되도록 하고, 가로 방향의 길이가 높이보다 길게 형성함으로써, 지지바(20) 자체의 자중 및 지지패널(30)과 글라스패널에 의한 처짐을 최소화하여 글라스패널을 안정적으로 지지하도록 한다.

또한, 상기 지지바(20)의 상면에는 상기 지지패널(30)의 높이가 가변되면서 지지되도록 하는 통상의 조절나사(21)를 구비하여 조절나사(21)의 회전에 따라 지지패널(30)의 높이가 조절되도록 함으로써, 지지바(20)의 미세한 처짐에 따른 높이의 보정이 간편하게 이루어지도록 한다.

상기 지지패널(30)은 중앙부에 공기분사공(31)을 형성하고, 공기분사공(31)의 하부측에 공기를 흡입 및 배출하는 공기분사노즐(40)을 구비하여 지지패널(30)의 상면에 거치되는 글라스패널이 공기의 압력에 의해 지지패널(30)에 흡착되거나 분리된 상태에서 위치의 이동이 가능하도록 함으로써, 글라스패널의 전체 면이 고르게 고정되도록 할 뿐만 아니라, 글라스패널이 이동할 때 기계적인 작동부를 최소화하여 반복적인 이동에 의한 작동 오차가 최소화되도록 한다.

도 3은 도 2의 작동상태를 보인 것으로서, 도 3a는 글라스패널의 이동 상태를 보인 요부의 종단면도이고, 도 3b는 글라스패널의 고정 상태를 보인 요부의 종단면도로서, 상술한 바와 같이 지지패널(30)에 공기분사공(31)을 형성하고, 공기분사공(31)의 하부측에 공기이동관(41)과 연결된 공기분사노즐(40)을 구비함에 따라, 공기분사노즐(40)을 통해 공기를 공기분사공(31) 측으로 분사하면 공기의 압력에 의해 글라스패널(1)이 지지패널(30)의 상부측으로 분리되어 공간이 형성되고, 이 상태에서 기계적인 마찰이 없이도 작은 힘으로 글라스패널(1)을 좌우로 이동시키는 것이 가능해 지게 되는 것이다.

또한, 공기분사노즐(40)을 통해 공기를 흡입시키면 지지패널(30)과 글라스패널(1)의 사이 공간의 공기가 빠져나가면서 글라스패널(1)이 지지패널(30)에 흡착되어 글라스패널(1)의 움직임이 견고히 고정되게 되는 것이다.

뿐만 아니라, 관통공(11)의 전체 면적에 골고루 분포된 지지패널(30)에 각각 다수의 공기분사노즐(40)을 부착함으로써, 글라스패널(1)의 전체 부분을 고르게 흡착시킬 수 있게 되고, 작은 공기의 압력으로도 글라스패널(1)을 견고하게 고정시킬 수 있게 되는 것이다.

도 4는 본 발명이 적용된 마이크로 검사장비의 개략 종단면도이고, 도 5는 도 3의 B부분의 확대도로서, 상술한 바와 같이 구성된 마이크로 검사장비용 스테이지는 정반(50)의 상부측에 고정하고, 스테이지의 상,하로 각각 동일한 위치로 구동되어 이동하는 현미경(51)과 광원램프(52)를 구비하여 광원램프(52)의 빛이 스테이지의 상면에 고정되는 글라스패널(1)에 조사되면서 현미경(51)을 통해 해당 부분의 글라스패널(1)을 확대하여 검사하도록 한다.

더불어, 상기 광원램프(52)는 조사된 빛이 굴절되어 글라스패널(1)을 향해 경사지게 모여 집중되도록 함으로써, 지지바(20)에 의해 빛이 가려지더라도 경사지게 조사된 빛이 확산되면서 지지바(20)의 바로 상부측에 위치한 글라스패널(1)에 암점이 발생하는 것을 방지하여 더욱 정밀하고 정확한 검사가 가능해 지도록 하는 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 본 발명은 지지바의 상면에 글라스패널을 지지하는 다수의 지지패널을 구비하여 현미경을 이용하여 LCD 및 PDP 등의 평판 디스플레이 장치에 사용되는 글라스패널의 결함을 검출하는 마이크로 검사장비의 스테이지가 글라스패널을 지지하는 지지력이 극대화되면서 원활한 검사가 이루어지도록 한 마이크로검사장비용 스테이지를 제공함으로서, 글라스패널의 무게가 고르게 분산되어 지지바의 처짐이 최소화되고, 그에 따라 신속하게 정밀한 검사를 수행할 수 있게 되어 검사의 효율이 증대되는 효과를 가지게 된다.

또한, 본 발명은 지지바의 상면에 지지패널을 지지하는 다수의 조절나사를 구비하여 글라스패널의 무게에 의한 지지바의 처짐이 최소화되면서 지지패널의 평탄도 조절이 간편하게 이루어지도록 함으로서, 적은 수의 조절나사를 조절하는 것 만으로도 간편하게 지지패널의 높이를 맞출 수 있을 뿐만 아니라, 지지바의 높이를 두께보다 길게 형성하여 스테이지의 하부에 결합되는 광원램프의 조사 능력이 극대화 될 뿐만 아니라, 지지바의 지지력 또한 더욱 증대되어 글라스패널을 안정적으로 지지하는 효과를 가지게 된다.

또한, 본 발명은 지지글라스에 공기분사공을 형성하고, 공기분사공의 하부측에 공기분사노즐을 결합하여 공기의 압력에 의해 글라스패널의 전체 면을 고르게 고정하고 공기의 압력에 의해 글라스패널의 위치 조절이 이루어지도록 함으로서, 글라스패널이 안정적이고 견고히 스테이지에 고정되어 검사 작업이 더욱 빠르고 정확하게 이루어 질 뿐만 아니라, 글라스패널의 위치 조절 시에는 기계적인 접촉부가 없어져 반복적인 글라스패널의 검사 작업에도 글라스패널의 미세한 위치 조절이 정확하게 이루어지는 효과를 가지게 된다.

또한, 본 발명은 광원램프에 볼록렌즈를 구비하여 광원램프의 빛이 지지바에 의해 가려져 검사시에 암점이 발생되는 것을 방지하도록 함으로서, 글라스패널의 전체를 정확하고 정밀하게 검사하여 글라스패널의 불량률이 더욱 줄어드는 효과를 가지게 된다.

Claims

프레임(10)의 중앙부에 관통공(11)이 형성되어 상,하로 각각 현미경(51) 및 광원램프(52)가 이격되어 구동되고, 상기 관통공(11)에 다수의 지지바(20)가 고정되어 글라스패널(1)을 지지하면서 현미경(51)에 의해 글라스패널(1)의 결함을 검사하는 마이크로 검사장비의 스테이지에 있어서,

상기 지지바(20)의 상면에 투명 재질로 형성되는 다수의 지지패널(30)이 구비되어 상기 글라스패널(1)을 지지하도록 구성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치용 글라스패널의 마이크로 검사장비의 스테이지.
제 1항에 있어서,

상기 지지바(20)는 상기 지지패널(30)과 수직으로 배치되는 상,하 방향의 높이(h)가 지지패널(30)과 수평으로 배치되는 두께(t)보다 길게 형성되고, 상기 지지바(20)의 상면에 상기 지지패널(30)을 지지하는 다수의 조절나사(21)가 구비된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치용 글라스패널의 마이크로 검사장비의 스테이지.
제 2항에 있어서,

상기 지지패널(30)에 상하로 관통되는 다수의 공기분사공(31)이 형성되고, 상기 공기분사공(31)의 하부측에 공기를 흡입 및 배출하면서 상기 글라스패널(1)이 상기 지지패널(30)에 흡착 및 분리되도록 하는 공기분사노즐(40)이 고정된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치용 글라스패널의 마이크로 검사장비의 스테이지.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 광원램프(52)는 상기 현미경(51)과 동조되어 현미경(51)을 따라 이동하되, 광원램프(52)에서 조사된 빛이 굴절되어 상기 현미경(51)의 렌즈 중심부를 향해 집중되어 조사되도록 구성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 장치용 글라스패널의 마이크로 검사장비의 스테이지.