CN108180830B - 用于基板检测的气管接头及量测系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于基板检测的气管接头，包括中空的管体和光源，所述管体包括相互弯折并连通的第一管体和第二管体，所述第一管体和所述第二管体的自由端分别为用于连接进气管的进气端和供气体排出的出气端，所述光源固定在所述管体内，所述光源发出的光线自所述出气端射出。本发明还公开了一种用于基板检测的量测系统。本发明的气管接头内部具有光源，可以自其出气端射出光线，因此可以减少透明的载台上的照明盲区，降低气管接头本身对照明光源的遮挡对量测精确性的影响。

Description

用于基板检测的气管接头及量测系统
技术领域
本发明涉及显示器检测技术领域，尤其涉及一种用于基板检测的气管接头及量测系统。
背景技术
在FPD(Flat Panel Display，平板显示器)行业中，大量的检测设备使用GlassStage(玻璃载台)作为其承载玻璃基板的平台，如CD(critical dimension，即关键尺寸)测量设备、Total Pitch(总间距，也译作“长寸”)测量设备、维修设备等，其设计目的在于利用Glass Stage的透光特性，在量测过程中提供来自于Stage下方的透射照明，以增加量测图像的对比度和清晰度，得到更加准确和稳定的量测结果。
具体地，量测过程中，透射照明光源通常置于Glass Stage下方，光线穿过GlassStage和玻璃基板后，进入量测显微镜并在CCD(Charge-coupled Device，即电荷耦合元件)处生成量测图像。
但此种设计也存在着缺陷，为了在量测时牢固地固定玻璃基板，以及便于进出片时固定基板位置，Glass Stage上需要配置大量的吸真空和吹气管路，而这些管路接头通常为不透明的树脂或金属材质，当光源移动到其下方以照射玻璃基板时，光线会因接头的遮挡而无法透过Glass Stage，从而形成照明“盲区”，影响量测。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了一种用于基板检测的气管接头及量测系统，可以避免量测过程中气管接头阻挡在基板与光源之间而阻挡照明光线，保证量测结果。
为了实现上述的目的，本发明采用了如下的技术方案：
一种用于基板检测的气管接头，包括中空的管体和光源，所述管体包括相互弯折并连通的第一管体和第二管体，所述第一管体和所述第二管体的自由端分别为用于连接进气管的进气端和供气体排出的出气端，所述光源固定在所述管体内，所述光源发出的光线自所述出气端射出。
作为其中一种实施方式，所述的用于基板检测的气管接头还包括反射镜，所述反射镜设于所述管体内，用于将自所述光源射出的光线朝所述出气端反射出。
作为其中一种实施方式，所述光源为LED光源。
作为其中一种实施方式，所述反射镜的反射面为内凹的弧面或倾斜的平面。
作为其中一种实施方式，所述反射镜设置在所述第一管体和所述第二管体连接形成的角部，且反射面同时朝向所述进气端和出气端，所述光源与所述反射镜正对。
作为其中一种实施方式，所述第一管体和所述第二管体的相交处开设有通孔，所述光源的发光端嵌设于所述通孔内，并朝向所述反射镜的反射面。
作为其中一种实施方式，所述光源包括灯珠、热沉和多片散热鳍片，所述热沉固定在所述灯珠尾部，所述散热鳍片间隔地设置在所述热沉端部；所述灯珠嵌设于所述通孔内，所述散热鳍片延伸至所述管体外。
作为其中一种实施方式，所述的用于基板检测的气管接头还包括密封圈，所述第一管体内表面凸设有一圈阻挡部，所述密封圈弹性贴合于所述第一管体的内壁，并位于所述阻挡部与所述进气端之间。
作为其中一种实施方式，所述的用于基板检测的气管接头还包括用于与进气管弹性接触的一圈弹性簧片，所述弹性簧片固定在所述第一管体内表面，并靠近所述进气端。
本发明的另一目的在于提供一种用于基板检测的量测系统，包括用于放置基板的透明的载台、设于所述载台下方的照明光源、设于所述载台上方并正对所述照明光源的用于生成量测图像的量测装置以及所述的用于基板检测的气管接头，所述第二管体自底部穿设并固定于所述载台内，且所述出气端朝向所述量测装置。
本发明的气管接头内部具有光源，可以自其出气端射出光线，因此可以减少透明的载台上的照明盲区，降低气管接头本身对照明光源的遮挡对量测精确性的影响。
附图说明
图1为本发明实施例的量测系统的结构示意图；
图2为本发明实施例的气管接头的内部结构示意图；
图3为本发明实施例的光源的一个剖面结构示意图；
图4为本发明实施例的气管接头的立体结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参阅图1，本发明提供了一种用于基板检测的量测系统，包括用于放置透明的基板P的透明的载台1、设于载台1下方的照明光源2、设于载台1上方并正对照明光源2的用于生成量测图像的量测装置3以及气管接头4。结合图2所示，气管接头4包括中空的管体10和光源20，管体10包括相互弯折并连通的第一管体11和第二管体12，第一管体11和第二管体12的自由端分别为用于连接进气管A的进气端和供气体排出的出气端，光源20固定在管体10内，光源20发出的光线自出气端射出，第二管体12自底部穿设并固定于载台1内，且出气端朝向量测装置3。
优选地，第一管体11和第二管体12相互垂直，透明的载台1内开设有供第二管体12穿设的贯穿孔，第一管体11贴合于载台1下表面，第二管体12的长度与载台1厚度相同，第二管体12嵌设于该贯穿孔内，其端部的出气端端面与载台1上表面平齐并朝向正上方的量测装置3。在对透明的基板P进行检测时，基板P被贴合放置在载台1上，通过进气管A外接抽气装置，可以使得基板P可以很好地被吸附在载台1表面而防止其在检测过程中发生偏移等现象。当基板P固定好后，载台1下方的照明光源2开启，光源20也开启，光源20与照明光源2二者同时朝载台1照射，光源20可以弥补被气管接头4遮挡的部分光线，光线穿过载台1和基板P后，进入量测装置3并在量测装置3的图像捕捉元件内生成量测图像。
具体地，气管接头4内设置有反射镜30，该反射镜30位于管体10内，可以将自光源20射向的光线朝出气端反射出，反射镜30的反射面为内凹的弧面或倾斜的平面，第二管体12的中空部分在反射镜30上的投影落入反射镜30的反射面上，且反射镜30的焦点在第二管体12内，确保照射至反射镜30的光线可以最大限度地被从第二管体12端部反射出。反射镜30设置在第一管体11和第二管体12连接形成的角部，且反射面同时朝向进气端和出气端，光源20选用光线较为汇聚的LED光源，其固定在第一管体11和第二管体12连接形成的拐角部，并与反射镜30正对。
作为其中一种实施方式，第一管体11和第二管体12的相交处开设有通孔，光源20的发光端嵌设于通孔内，并朝向反射镜30的反射面。该光源20与反射镜30都设置在第一管体11和第二管体12相交的部位，一方面可以保证绝大部分光线都被反射后朝向出气端汇聚，另一方面，也可以使得气管接头4具有更小的长度和高度，更节省空间。同时，光源20的端部完全嵌入气管接头4内，可以避免高压空气对光源20的损坏，反射镜30的弧面或倾斜反射面还能作为引导空气自然转向的过渡面。
结合图3所示，光源20包括灯珠21、热沉22和多片散热鳍片23，热沉22固定在灯珠21尾部，散热鳍片23为梯形的片状结构，形状和尺寸都相同的多片散热鳍片23相互平行地间隔地固定在热沉22端部。如图4所示，当灯珠21嵌设于气管接头4的通孔内后，散热鳍片23延伸至管体10外，每片散热鳍片23的两相对端分别抵接在第一管体11和第二管体12的外壁表面，可以作为气管接头4的加强筋，同时也增加了光源20的固定可靠性。
灯珠21包括LED芯片211、透镜212、硅胶213、分别连接LED芯片211的阳极导线214a和阴极导线214b以及外壳215，LED芯片211固定在热沉22表面，外壳215将LED芯片211包围于其中，透镜212封装于外壳215表面，将LED芯片211封装于其中，硅胶213填充于LED芯片211与透镜212之间，阳极导线214a和阴极导线214b分别自LED芯片211引出，经过硅胶213，并穿过外壳215后引出到气管接头4外。外壳215为底面开口的中空结构，热沉22和局部的散热鳍片23由外壳215包围于其中。
在气管接头4的第一管体11端部，即进气端，第一管体11内表面凸设有一圈环形布置的阻挡部10a，密封圈40弹性贴合于第一管体11的内壁，并位于该阻挡部10a与进气端之间，当进气管A插入第一管体11而与第一管体11连接时，密封圈40被压缩于第一管体11与进气管A之间，可以起到很好的密封作用。为了提高第一管体11与进气管A的连接便利性，第一管体11在靠近进气端的内表面固定有一圈弹性簧片50，当进气管A插入后，弹性簧片50与进气管A弹性卡接，可以限制进气管A的位置，防止其松动或脱出第一管体11。
具体地，弹性簧片50包括用于固定在靠近第一管体11端部的管壁的固定部分51和固定在固定部分51远离第一管体11端部的一端的弹性抵持部分52，弹性抵持部分52末端的翘起部52a相对于固定部分51朝远离管壁和第一管体11端部的方向翘起，固定部分51的端部朝第一管体11中间卷曲形成卷曲部51a，固定部分51与弹性抵持部分52之间还可以连接有缓冲部分53，缓冲部分53可以是由弹片卷曲多次后形成的弹性结构，其分别朝垂直于第一管体11轴线的两相反方向弹性推压固定部分51和弹性抵持部分52。当进气管A表面套设有筒状的快速接头C后，快速接头C与进气管A过盈配合，利用快速接头C外表面的凸起的倒刺C1依次撑开卷曲部51a、缓冲部分53而使进气管A弹性抵接翘起部52a与密封圈40。翘起部52a与缓冲部分53均可以起到卡持进气管A的作用，而卷曲部51a可以起到限制进气管A脱出的作用。
由于本发明的气管接头内部具有光源，可以自其出气端射出光线，因此可以减少透明的载台上的照明盲区，降低气管接头本身对照明光源的遮挡对量测精确性的影响。由于第二管体的端部具有与进气管的快速接头配合的构造，保证了本发明的气管接头具有高效的拆装效率和可靠的气密性。
以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (7)

1.一种用于基板检测的气管接头，其特征在于，包括中空的管体(10)和光源(20)、反射镜(30)，所述管体(10)包括相互弯折并连通的第一管体(11)和第二管体(12)，所述第一管体(11)和所述第二管体(12)的自由端分别为用于连接进气管(A)的进气端和供气体排出的出气端，所述光源(20)固定在所述管体(10)内，所述光源(20)发出的光线自所述出气端射出；所述反射镜(30)设置在所述管体(10)内、所述第一管体(11)和所述第二管体(12)连接形成的角部，且反射面同时朝向所述进气端和出气端，用于将自所述光源(20)射出的光线朝所述出气端反射出；所述第一管体(11)和所述第二管体(12)的相交处开设有通孔，所述光源(20)的发光端嵌设于所述通孔内，并朝向所述反射镜(30)的反射面。
2.根据权利要求1所述的用于基板检测的气管接头，其特征在于，所述光源(20)为LED光源。
3.根据权利要求1所述的用于基板检测的气管接头，其特征在于，所述反射镜(30)的反射面为内凹的弧面或倾斜的平面。
4.根据权利要求1-3任一所述的用于基板检测的气管接头，其特征在于，所述光源(20)包括灯珠(21)、热沉(22)和多片散热鳍片(23)，所述热沉(22)固定在所述灯珠(21)尾部，所述散热鳍片(23)间隔地设置在所述热沉(22)端部；所述灯珠(21)嵌设于所述通孔内，所述散热鳍片(23)延伸至所述管体(10)外。
5.根据权利要求1-3任一所述的用于基板检测的气管接头，其特征在于，还包括密封圈(40)，所述第一管体(11)内表面凸设有一圈阻挡部(10a)，所述密封圈(40)弹性贴合于所述第一管体(11)的内壁，并位于所述阻挡部(10a)与所述进气端之间。
6.根据权利要求1-3任一所述的用于基板检测的气管接头，其特征在于，还包括用于与进气管(A)弹性接触的一圈弹性簧片(50)，所述弹性簧片(50)固定在所述第一管体(11)内表面，并靠近所述进气端。
7.一种用于基板检测的量测系统，其特征在于，包括用于放置基板(P)的透明的载台(1)、设于所述载台(1)下方的照明光源(2)、设于所述载台(1)上方并正对所述照明光源(2)的用于生成量测图像的量测装置(3)以及权利要求1-6任一所述的用于基板检测的气管接头，所述第二管体(12)自底部穿设并固定于所述载台(1)内，且所述出气端朝向所述量测装置(3)。
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