CN1924513B - 用于玻璃面板的微观检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种微观检测装置，用于检测诸如液晶显示器(LCD)和等离子显示面板(PDP)等平板显示装置中所使用的平面玻璃面板。该微观检测装置包括：工作台，玻璃面板固定于其上；显微镜和光源灯，分别安装在工作台的上方和下方，用于检测玻璃面板的缺陷；以及驱动单元，用于沿X轴和Y轴方向移动显微镜和光源灯。驱动单元包括：桥，显微镜和光源灯安装在该桥的上部和下部，同时显微镜和光源灯彼此间隔开，该桥可移动地连接到沿着构成微观检测装置本体的划线台的相对边形成的划线台固定轨道；前后驱动单元，用于沿顺着前后轴的划线台固定轨道移动该桥；以及左右驱动单元，用于沿着左右轴同时移动显微镜和光源灯。

Description

用于玻璃面板的微观检测装置

技术领域

本发明涉及一种微观检测装置(micro inspection apparatus)，用于检测诸如液晶显示器(LCD)和等离子显示面板(PDP)等平板显示装置中所使用的平面玻璃面板。

背景技术

通常，在诸如LCD和PDP等平板显示装置中所使用的平面玻璃面板，通过检查员用眼睛检查玻璃面板缺陷的宏观检测装置、用于检测玻璃面板的微观检测装置进行检测，同时使用显微镜以及检查员用眼睛对玻璃面板进行第一次检测的宏-微观检测装置放大玻璃面板的各个部分，并使用显微镜精确地检测玻璃面板。

将参照图1至图6描述使用显微镜检测玻璃面板的传统微观检测装置。

图1是示出了传统微观检测装置的实例的透视图，而图2是示出了图1中A部分的放大透视图。

如图所示，固定有玻璃面板(未示出)的工作台(未示出)安装在构成微观检测装置本体的划线台(surface table)100上。在工作台下面安装有光源灯300，用于向玻璃面板发光。在工作台上方安装有显微镜200，其利用光源灯300发出的光检测玻璃面板的缺陷。

显微镜200和光源灯300必须检查整个玻璃面板，该玻璃面板具有很大的面积。为此，将显微镜200和光源灯300构造成，使得显微镜200和光源灯300可以在划线台100上方沿X轴和Y轴方向移动。显微镜200和光源灯300向相同位置移动。

具体地，显微镜200安装在划线台100上方，同时显微镜200与划线台100间隔开。显微镜200连接在桥400的一侧，桥400可沿形成于划线台100相对边的轨道101线性移动。显微镜200安装在桥400上，从而显微镜200可以在垂直于轨道101延伸方向的方向上移动。因此，显微镜200可以在X轴和Y轴方向上移动。

另一方面，光源灯300沿着安装在划线台100上方的轨道301和302移动，从而光源灯300可以在X轴方向和Y轴方向上移动。通过用于控制光源灯300和显微镜200的控制程序，光源灯300和显微镜200移动到相同的位置。

图3至图5示出了固定有玻璃面板600的工作台500。图3是示出了传统微观检测装置中使用的工作台实例的透视图，图4是示意性示出了具有图3中所示的工作台的传统微观检测装置的纵向截面视图，而图5是示出了图4中B部分的放大视图。

如图所示，通孔540垂直地形成在构成工作台500本体的框架510的中央。在通孔540中设置有用于支撑玻璃面板600的多个支撑杆520。每个支撑杆520上安装有用于支撑玻璃面板600的多个支撑螺栓530。支撑螺栓530安装在每个支撑杆520上，从而当每个支撑杆520下垂时，可以通过支撑螺栓530调整每个支撑杆520的顶面高度。

因此，当将玻璃面板600放置在支撑杆520的顶面上时，由于空气压力玻璃面板被吸附到安装在框架510上的吸附板(未示出)上，从而使玻璃面板600固定在工作台500上。

玻璃面板600固定到工作台500上之后，使用显微镜200和光源灯300检测玻璃面板600的缺陷。如图6所示，光源灯300包括：壳体310，其构成光源灯300的本体；开口320，形成在壳体310的上部，使光可以穿过射出；以及发光灯330，安装在壳体310内，用于将光通过开口320发射到玻璃面板600上。

为了实现来自光源灯300的均匀光照射，通孔540垂直形成在工作台500的中央，用于支撑玻璃面板600的支撑杆520设置在通孔540内，由于支撑杆520下垂而用来校正支撑杆520高度的支撑螺栓530，安装在支撑杆上，如上所述。支撑杆520由透明玻璃材料制成，从而光源灯300发出的光均匀地照射在玻璃面板600上。

然而，在传统的微观检测装置中，显微镜和光源灯通过单独的驱动单元来驱动，从而显微镜和光源灯可以向相同的位置移动。因此，难以控制显微镜和光源灯。此外，当反复使用传统微观检测装置时，可能发生操作错误，结果使得很难将显微镜和光源灯精确地移动到相同位置。

而且，由于显微镜和光源灯通过单独的驱动单元来移动，传统微观检测装置的结构很复杂，因此，很难维护和修理传统的微观检测装置。

此外，支撑杆由诸如玻璃等透明材料制成，以实现从光源灯发出的均匀光照射。结果，降低了支撑杆的强度，并因此，增加了支撑杆的数量和玻璃面板的下垂量。为了解决该问题，用于校正支撑杆高度的支撑螺栓安装在传统微观检测装置的支撑杆上。然而，需要大量的支撑螺栓，以均匀支撑玻璃面板的整个表面。而且，需要花费太多时间来校正各个支撑螺栓的高度。

而且，玻璃面板仅固定到工作台的框架上，结果使得固定力是有限的。从而，在检测过程中玻璃面板可能移动，因此，不可能精确地检测玻璃面板。

而且，每个支撑螺栓通过锁紧螺母531连接到相应的支撑杆上，而球轴承532安装到每个支撑螺栓的上端，在上端每个支撑螺栓均与玻璃面板的后表面相接触，如图5所示，以实现玻璃面板的精确平稳定位。然而，球轴承由于与玻璃面板的反复接触而容易磨损或断裂。结果，很难可靠地支撑玻璃面板进而实现玻璃面板的精确定位。

此外，支撑螺栓由金属制成。因此，当支撑螺栓设置在光源灯与显微镜之间时，光源灯发出的光被挡住，结果在玻璃面板上产生暗点，因此，不可能进行精确的缺陷检测。

发明内容

因此，考虑到上述问题，提出了本发明，本发明的目的在于提供一种微观检测装置，其中，用于检测玻璃面板缺陷的显微镜和光源灯通过相同的驱动单元可以沿前后轴和左右轴同时移动。

本发明的另一目的在于提供一种微观检测装置，其能够使玻璃面板上产生的暗点降至最少。

本发明的另一目的在于提供一种微观检测装置，其能够使支撑玻璃面板的工作台的支撑力达到最大。

本发明的又一目的在于提供一种微观检测装置，其能够将由于玻璃面板的重量引起的支撑杆的下垂降至最小，并且容易控制玻璃面板的平面度。

根据本发明的一个方面，上述和其它目的可以通过提供一种微观检测装置来实现，用于检测平板显示装置中所使用的玻璃面板。该微观检测装置包括：工作台，玻璃面板固定在其上；显微镜和光源灯，分别安装在工作台的上方和下方，用于检测玻璃面板的缺陷；以及驱动单元，用于沿X轴和Y轴方向移动显微镜和光源灯。其中，驱动单元包括：桥，显微镜和光源灯安装在其上部和下部，同时显微镜和光源灯彼此间隔开，该桥可移动地连接至划线台固定轨道，划线台固定轨道沿构成微观检测装置本体的划线台的相对边而形成；前后驱动单元，用于沿顺着前后轴的划线台固定轨道移动桥；以及左右驱动单元，用于沿左右轴同时移动显微镜和光源灯。

根据本发明的另一方面，提供了一种微观检测装置，用于检测平板显示装置中所使用的玻璃面板。该微观检测装置包括：工作台，玻璃面板固定在其上；显微镜和光源灯，分别安装在工作台的上方和下方，用于检测玻璃面板的缺陷；以及驱动单元，用于沿X轴和Y轴方向移动显微镜和光源灯。其中，光源灯包括：壳体，具有形成于其上部的开口和其中所限定的空间；发光灯，安装在壳体的一个侧，用于水平地发光；反射件，用于将发光灯发出的光向开口反射；以及聚光件，用于将反射件反射的光聚焦在玻璃面板上。

根据本发明的另一方面，提供了一种微观检测装置，用于检测平板显示装置中所使用的玻璃面板。该微观检测装置包括：工作台，玻璃面板固定于其上；显微镜和光源灯，分别安装在工作台的上方和下方，用于检测玻璃面板的缺陷；以及驱动单元，用于沿X轴和Y轴方向移动显微镜和光源灯。其中，光源灯包括：壳体，具有形成于其上部的开口和其中所限定的空间；发光灯，安装在该空间内，用于朝向开口发射光；以及聚光件，用于将发光灯发出的光聚焦在玻璃面板上。

根据本发明的又一方面，提供了一种微观检测装置，用于检测平板显示装置中所使用的玻璃面板。该微观检测装置包括：工作台，玻璃面板固定于其上；显微镜和光源灯，分别安装在工作台的上方和下方，用于检测玻璃面板的缺陷；以及驱动单元，用于沿X轴和Y轴方向移动显微镜和光源灯。其中，工作台包括：框架，构成工作台的本体；通孔，形成于框架的中央；多个支撑杆，设置在通孔内；以及多个支撑面板，设置在支撑杆上，用于支撑玻璃面板，支撑面板由透明材料制成。

附图说明

通过下面结合附图的详细描述，将会更清楚地理解本发明的上述和其它目的、特征和其它优点，附图中：

图1是示出了传统微观检测装置的实例的透视图；

图2是示出了图1中A部分的放大透视图；

图3是示出了传统微观检测装置中使用的工作台实例的透视图；

图4是示意性示出了具有图3所示工作台的传统微观检测装置的纵向截面视图；

图5是示出了图4中B部分的放大视图；

图6是示出了使用传统微观检测装置检测缺陷的方法的视图；

图7是示出了根据本发明优选实施例的微观检测装置的透视图；

图8是示出了图7中C部分的放大透视图；

图9是图8的示意性前视图；

图10是图8的示意性侧视图；

图11是示出了根据本发明的优选实施例的光源灯的透视图，其在微观检测装置中使用；

图12是示意性示出了具有图11所示光源灯的微观检测装置的纵向截面视图；

图13是示意性示出了具有根据本发明另一优选实施例的光源灯的微观检测装置的纵向截面视图；

图14是示出了根据本发明优选实施例的工作台的透视图，其在微观检测装置中使用；

图15是示出了图14中D部分的放大视图；以及

图16a和图16b示出了图15中所示工作台的操作，其中

图16a是示出了被移动的玻璃面板的纵向截面视图，以及

图16b是示出了被保持的玻璃面板的纵向截面视图。

具体实施方式

现在，参照附图详细描述本发明的优选实施例。

图7是示出了根据本发明优选实施例的微观检测装置的透视图，图8是示出了图7中C部分的放大透视图，图9是图8的示意性前视图，而图10是图8的示意性侧视图。

如图所示，本发明提供了一种微观检测装置，使用显微镜20精确检测诸如液晶显示器(LCD)和等离子显示面板(PHP)等平板显示装置中所使用的玻璃面板的缺陷。划线台10的对边端部可移动地连接有桥40。桥40上安装有显微镜20和向玻璃面板(未示出)发出光的光源灯30。显微镜20和光源灯30通过前后驱动单元50和左右驱动单元60同时移动到相同位置。

划线台10构成微观检测装置的本体。划线台10的顶面是平的。玻璃面板连接至划线台10的顶面。划线台10用于可靠地固定和支撑固定有玻璃面板的工作台(未示出)。

桥40构造成使得桥40的相对端部向下弯曲。桥40连接到划线台10的对边端部，从而桥40可以线性地移动。显微镜20和光源灯30固定到桥40的一侧。因此，显微镜20和光源灯30可以随着桥40的移动而沿前后轴向移动。

显微镜20是普通的电子显微镜。显微镜20在放大玻璃面板的同时，在玻璃面板上方移动以检测玻璃面板的缺陷。

光源灯30设置在显微镜20的下方，同时与显微镜20间隔开。光源灯30发出光，同时光源灯30与显微镜20一起移动到相同位置，从而光可以照射在玻璃面板上。因此，当用显微镜20检测玻璃面板时，可以明亮清楚地看到玻璃面板。

前后驱动单元50使桥40在划线台10上方线性移动。前后驱动单元50包括：划线台固定轨道51，沿划线台10的对边端部形成，且彼此平行地布置；桥移动导向装置52，连接至划线台固定轨道51，用于引导桥40沿划线台固定轨道51的移动；以及桥驱动装置(未示出)，用于沿着划线台固定轨道51移动桥40。

划线台固定轨道51沿划线台10的对边端部延伸，且彼此平行布置。与桥移动导向装置52相接合的凹槽，沿划线台固定轨道51的长度方向形成在划线台固定轨道51上。从而，桥40沿着划线台固定轨道51移动，因此，桥沿着前后轴移动。

当桥40的相对端部连接至划线台固定轨道51时，桥移动导向装置52用来引导桥40。以突出的形状形成桥移动导向装置52，其与形成在划线台固定轨道51上的凹槽相接合，在桥40移动过程中将桥的摇动降至最小，从而桥40可以精确地沿划线台固定轨道51移动。

桥驱动装置使桥40沿顺着前后轴的划线台固定轨道51移动。桥驱动装置通常包括电动机和传送带。通过另外的控制单元控制桥驱动装置，从而桥40可以精确地移动到使用者指定的位置。

因此，当显微镜20和光源灯30连接至桥40上而仅移动桥40时，显微镜20和光源灯30沿着前后轴同时移动，以进行玻璃面板的检测。

左右驱动单元60用来沿着左右轴向同时移动显微镜20和光源灯30。左右驱动单元60包括：桥固定轨道61，沿桥40的长度方向形成于桥40的外侧；显微镜支架62，显微镜20安装在其上，且其沿顺着左右轴的桥固定轨道61移动；辅助轨道63，安装在桥40的下方同时与桥40间隔开，从而辅助轨道63的相对端部固定到桥40的相对侧面；灯支架64，光源灯30安装在其上，并连接至辅助轨道63，从而灯支架64可以沿左右轴移动；以及支架驱动装置65，用于沿顺着左右轴的桥40同时移动显微镜支架62和灯支架64。

桥固定轨道61在与划线台固定轨道51的延伸方向相垂直的方向上沿着桥40的外侧延伸。从而，当显微镜支架62连接至桥固定轨道61时，显微镜支架62可以沿左右轴移动。

显微镜20固定到显微镜支架62的一侧，而与桥固定轨道61相对应的结合件，例如突起，形成在显微镜支架62的另一侧。当显微镜支架62沿着桥固定轨道61移动，而显微镜20固定到显微镜支架62上时，显微镜20可以沿着左右轴移动。

辅助轨道63设置在划线台10的顶面上，且与桥40平行布置。辅助轨道63的相对端部一体地连接至桥40的相对侧面。从而，当灯支架64连接到辅助轨道63上时，灯支架64可以沿左右轴移动。

当灯支架64连接到辅助轨道63上时，灯支架64沿顺着左右轴的辅助轨道63移动。向着显微镜20的透镜发出光的光源灯30安装在灯支架64上。通过支架驱动装置65，光源灯30与显微镜20一起沿着左右轴移动。

支架驱动装置65用来在划线台10上方沿左右轴同时移动显微镜支架62和灯支架64。支架驱动装置65包括：第一驱动滑轮(皮带轮)651，用于移动显微镜支架62；第二驱动滑轮(皮带轮)652，用于移动灯支架64；驱动轴653，第一驱动滑轮651和第二驱动滑轮652连接到其上；以及滑轮(皮带轮)驱动电动机654，用于旋转驱动轴653。

第一驱动滑轮651是与普通传动皮带相连接的滑轮。显微镜支架62固定到传送带上，而传送带以这样的方式连接到桥40的上部预定区域和第一驱动滑轮651，从而可以移动传送带。当第一驱动滑轮651旋转时，传送带移动，从而固定到传送带上的显微镜支架62沿顺着左右轴的桥固定轨道61移动。

第二驱动滑轮652是与普通传动皮带相连接的滑轮。灯支架64固定到传送带上，而传送带以这样的方式连接到桥40下部预定区域和第二驱动滑轮652，从而可以移动传送带。当第二驱动滑轮652旋转时，传送带可移动，从而固定到传送带上的灯支架64沿顺着左右轴的辅助轨道63移动。

连接有第一驱动滑轮651和第二驱动滑轮652的驱动轴653的一侧端部，连接到滑轮驱动电动机654上。因此，仅利用滑轮驱动电动机654就可以沿着左右轴移动显微镜支架62和灯支架64，从而可以很容易、很方便地实现沿着左右轴同时移动显微镜20和光源灯30的控制和操作。

因此，当要沿着划线台10的前后轴移动显微镜20和光源灯30时，仅利用前后驱动单元50就可以沿着划线台10的前后轴移动桥40，从而显微镜20和光源灯30可以同时移动到相同的位置。

另一方面，当要沿着左右轴移动显微镜20和光源灯30时，驱动轴653通过滑轮驱动电动机654旋转，从而显微镜20和光源灯30可以沿着左右轴同时移动。通过这种方式，显微镜20和光源灯30可以精确地移动到划线台10上使用者期望的位置。

如上所述，显微镜20和光源灯30通过彼此一体连接的前后驱动单元50和左右驱动单元60移动，而不使用分开的驱动单元。结果是，可以更容易、更方便地实现显微镜20和光源灯30的控制，并可以把操作错误的发生降至最少。因此，使光源灯30的发光能力达到最大，从而可以实行更准确、更精确的检测。

图11是示出了根据本发明优选实施例的光源灯的透视图，其在微观检测装置中使用，而图12是示意性示出了具有图11所示光源灯的微观检测装置的纵向截面视图。

如图所示，发光灯33和用于将发光灯33发出的光聚焦在玻璃面板1上的聚光件32安装在壳体31内。因此，可以将由于固定有玻璃面板1的工作台70的对应部件引起的在光源灯30内产生的暗点降至最少。

壳体31构成光源灯30的本体。壳体31具有限定在其中的空间。在壳体31的上部形成有对应于显微镜20的开口311。因此，从发光灯33发出的光经过空间312，然后经过开口311照射在固定于显微镜20与光源灯30之间的玻璃面板1上。

发光灯33固定在壳体31内部。发光灯33是普通的发光元件，例如是高亮度发光二极管(LED)或灯，当电力作用于发光元件时，其发出光。

聚光件32用来以倾斜方式聚集发光灯33所发出的光。聚光件32包括用于折射光以聚集光的普通凸透镜321。因此，可以防止光被固定有玻璃面板1的工作台70的支撑杆520和支撑螺栓530阻挡，从而可以避免通过显微镜20检测玻璃面板1时由于产生暗点而引起的不精确检测。

此外，聚光件32固定在开口311内，以防止不必要的杂质进入壳体31内，从而光的发射不会受到杂质的干扰。

如上所述，与显微镜20一起移动的光源灯30所发出的光通过聚光件32以倾斜形式聚焦在玻璃面板1上。因此，可以防止光被由不透明材料制成的且位于显微镜20与光源灯30之间的支撑杆520和支撑螺栓530阻挡，进而防止产生暗点。此外，光聚焦在一点上，因此，可以通过明亮清晰的图像进行缺陷检测。

此外，如图13所述，发光灯33安装在壳体31的一侧，从而光可以从发光灯33水平发出，而反射件34固定在壳体31内部，其可以将发光灯33水平发出的光反射到开口311。反射件34包括普通反射板341，例如镜子。因此，光源灯30的总高度可以进一步减小，从而即使发光灯33到工作台70底部的移动距离不充分时，光源灯30也可以容易地安装和移动。

图14是示出了根据本发明优选实施例的工作台的透视图，其在微观检测装置中使用。通孔72形成在构成工作台70本体的框架71的中央。在通孔72内部设置有用于支撑玻璃面板的多个支撑杆73。在支撑杆73上设置有用于支撑玻璃面板的多个支撑面板74。因此，可以更稳定可靠地固定玻璃面板。

框架71构成微观检测装置中所使用的工作台的本体。框架71固定到微观检测装置的划线台的顶面上。通孔72形成在框架71的中央。因此，当诸如PDP和LCD等平板显示装置中所使用的玻璃面板设置在通孔72中时，显微镜和光源灯沿着玻璃面板的前后轴移动，以检测玻璃面板的缺陷。

支撑杆73以较大数量固定在通孔72内，从而支撑杆73以规则间隔排列，以支撑玻璃面板。优选地，支撑杆73由金属制成，从而当支撑杆73的下垂降至最小时，支撑杆73可以支撑玻璃面板。

支撑面板74直接与玻璃面板接触，以支撑玻璃面板。支撑面板74由传输光的透明材料制成。支撑面板74以较大数量设置在支撑杆73上，用于稳定地支撑玻璃面板的整个表面。

如上所述，通过玻璃面板与支撑面板74之间的表面接触，玻璃面板被支撑在通孔上方，因此，可以稳定地支撑玻璃面板，并使玻璃面板的下垂降至最小。从而可以进行更准确、更精确的检测。

图15是示出了图14中D部分的放大视图。每个支撑杆73构造成，使得每个支撑杆73的高度大于每个支撑杆73的厚度。因此，抵抗垂直载荷的支撑力可以达到最大。在每个支撑杆73上安装有多个调节螺钉731，当调节相应的支撑面板74的高度时，调节螺钉731用于支撑相应的支撑面板74。

换句话说，支撑杆73由金属制成，而且将支撑杆73构造成，使得支撑杆73的纵向长度大于支撑杆73的高度。因此，由支撑杆73、支撑面板74、和玻璃面板的重量引起的支撑杆的下垂可以降至最小，从而可以稳定地支撑玻璃面板。

而且，调节螺钉731安装在支撑杆73上，从而支撑面板74的高度可以通过调节螺钉731的转动来调节。因此，可以容易方便地校正由于支撑杆73的微小下垂引起的高度变化。

此外，在每个支撑面板74的中部形成有空气注入孔751，用于吸入和排出空气的空气注入喷嘴75连接到空气注入孔751的下端。因此，可以利用大气压力将设置在支撑面板74上的玻璃面板吸附到支撑面板74上，或从支撑面板74上分离玻璃面板，从而可以移动玻璃面板。因此，可以均匀地固定玻璃面板的整个表面。而且，在玻璃面板移动过程中，可以将机械动作部件的移动降至最小，从而将机械动作部件的反复移动引起的操作错误降至最小。

图16a和图16b示出了图15中所示工作台的操作。具体地，图16a是示出了被移动的玻璃面板的纵向截面视图，而图16b是示出了被保持的玻璃面板的纵向截面视图。

如图所示，空气注入孔751形成在支撑面板74内，而连接至空气供给管752的空气注入喷嘴75连接到空气注入孔751的下端。因此，当空气通过空气注入喷嘴75注入到空气注入孔751内时，玻璃面板1由于大气压力与支撑面板74分离，从而在玻璃面板1与支撑面板74之间形成一空间。在这种状态下，用很小的力就可以沿着左右轴移动玻璃面板1，而没有机械摩擦。

另一方面，当通过空气注入喷嘴75抽吸空气时，空气被从支撑面板74与玻璃面板1之间的空间排出。因此，玻璃面板1被吸附到支撑面板74上，从而玻璃面板1被可靠地固定到支撑面板74上。

当多个空气注入喷嘴75安装到其中均匀分布有空气注入孔751的支撑面板74上时，可以均匀地吸附玻璃面板1的整个表面，从而使用较小的大气压力就可以可靠地固定玻璃面板。

从上面的描述很显然，通过固定显微镜和光源灯的桥、移动桥的前后驱动单元、以及沿着桥移动显微镜和光源灯的左右驱动单元，显微镜和光源灯可以沿划线台的前后轴和左右轴同时移动。因此，本发明具有如下效果，可以容易方便地控制显微镜和光源灯的移动，而且可以对玻璃面板进行更准确、更精确的检测，而不会有操作错误。

而且，利用凸透镜将从发光灯所发出的光聚焦在显微镜上，以使暗点的发生降至最少。因此，本发明具有如下效果，即解决了传统检测装置中由于诸如安装在工作台上的支撑杆等部件引起的在玻璃面板上产生暗点而不能进行精确检测的问题。

而且，用于支撑玻璃面板的支撑面板设置在支撑杆上。因此，本发明具有使支撑玻璃面板的力达到最大的效果。此外，玻璃面板的重量得以均匀分布。因此，本发明具有使支撑杆的下垂降至最小的效果，从而进行快速、精确检测。

而且，在支撑面板内形成有空气注入孔，且空气注入喷嘴连接到相应的空气注入孔的下端。结果，可以利用大气压力均匀地固定玻璃面板的整个表面。因此，本发明具有将玻璃面板稳定可靠地固定到工作台上的效果。此外，在玻璃面板移动过程中不发生机械接触。因此，本发明具有将由于反复移动造成的操作错误降至最小的效果。

尽管为了说明目的，已经公开了本发明的优选实施例，但本领域技术人员应该认识到，在不背离权利要求所公开的本发明范围和精神的情况下，可以对本发明进行修改、改进、等同替换。

Claims (8)

1.一种微观检测装置，用于检测平板显示装置中所使用的玻璃面板，所述微观检测装置包括：工作台，所述玻璃面板固定在其上；显微镜和光源灯，分别安装在所述工作台的上方和下方，用于检测所述玻璃面板的缺陷；以及驱动单元，用于沿X轴和Y轴方向移动所述显微镜和所述光源灯，其中，所述驱动单元包括：

桥，所述显微镜和所述光源灯安装在其上部和下部，同时所述显微镜和所述光源灯彼此间隔开，所述桥可移动地连接至划线台固定轨道，所述划线台固定轨道沿构成所述微观检测装置本体的划线台的相对边而形成；

前后驱动单元，用于沿顺着前后轴的所述划线台固定轨道移动所述桥；以及

左右驱动单元，用于沿左右轴同时移动所述显微镜和所述光源灯，

其中，所述光源灯包括：

壳体，具有形成于其上部的开口和其中所限定的空间；

发光灯，安装在所述空间内，用于向所述开口发射光；以及

聚光件，用于将所述发光灯发出的光聚焦在所述玻璃面板上，

其中，所述工作台包括：

框架，构成所述工作台的本体；

通孔，形成于所述框架的中央；

多个支撑杆，设置在所述通孔内；以及

多个支撑面板，设置在所述支撑杆上，用于支撑所述玻璃面板，所述支撑面板由透明材料制成。

2.根据权利要求1所述的微观检测装置，其中，所述左右驱动单元包括：

桥固定轨道，形成于所述桥的外侧，从而所述桥固定轨道沿着所述桥延伸；

显微镜支架，所述显微镜安装于其上，所述显微镜支架可移动地连接至所述桥固定轨道；

辅助轨道，具有固定到所述桥的对边下端的相对端部；

灯支架，所述光源灯安装于其上，所述灯支架可移动地连接至所述辅助轨道；以及

支架驱动装置，用于沿顺着左右轴的所述桥同时移动所述显微镜支架和所述灯支架。

3.根据权利要求2所述的微观检测装置，其中，所述支架驱动装置包括：

第一驱动滑轮，用于移动所述显微镜支架；

第二驱动滑轮，用于移动所述灯支架；

驱动轴，所述第一驱动滑轮和所述第二驱动滑轮连接到其上；以及

滑轮驱动电动机，用于旋转所述驱动轴。

4.根据权利要求1所述的微观检测装置，其中，

所述发光灯安装在所述空间的一侧，从而光可以从所述发光灯水平地发射，以及

所述光源灯还包括反射件，安装在所述空间内，用于将所述发光灯发出的光向所述开口反射。

5.根据权利要求4所述的微观检测装置，其中，所述反射件包括反射板，固定在所述壳体内部，使得所述反射板是倾斜的。

6.根据权利要求4或5所述的微观检测装置，其中，所述聚光件包括固定到所述开口内部的凸透镜。

7.根据权利要求1所述的微观检测装置，其中，

所述支撑杆构造成，使得所述支撑杆的高度大于所述支撑杆的厚度，以及

所述工作台还包括多个调节螺钉，安装在所述支撑杆上，用于支撑所述支撑面板。

8.根据权利要求7所述的微观检测装置，其中，所述工作台还包括：

多个空气注入孔，穿过所述支撑面板垂直地形成；以及

空气注入喷嘴，连接到所述空气注入孔的下端，用于吸入和排出空气，从而所述玻璃面板可以吸附到所述支撑面板上和从所述支撑面板上分离。

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