KR200400962Y1 - 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치 - Google Patents

글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치 Download PDF

Info

Publication number
KR200400962Y1
KR200400962Y1 KR20-2005-0025169U KR20050025169U KR200400962Y1 KR 200400962 Y1 KR200400962 Y1 KR 200400962Y1 KR 20050025169 U KR20050025169 U KR 20050025169U KR 200400962 Y1 KR200400962 Y1 KR 200400962Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bridge
microscope
light source
source lamp
driving
Prior art date
Application number
KR20-2005-0025169U
Other languages
English (en)
Inventor
이민규
이경훈
이동규
Original Assignee
주식회사 디이엔티
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 디이엔티 filed Critical 주식회사 디이엔티
Priority to KR20-2005-0025169U priority Critical patent/KR200400962Y1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR200400962Y1 publication Critical patent/KR200400962Y1/ko
Priority to TW95131401A priority patent/TWI315788B/zh
Priority to CN200610111962XA priority patent/CN1924513B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics

Abstract

본 고안은 마이크로 검사장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마이크로 검사장비의 현미경과 광원램프가 동일한 구동장치에 의해 정반의 상하좌우를 따라 이동되도록 한 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치에 관한 것으로서, 정반의 상면에 글라스패널이 거치되는 스테이지가 고정되고, 상기 정반에 결합되면서 상기 스테이지의 상,하로 각각 이격되어 설치되는 현미경 및 광원램프가 구비되며, 상기 현미경 및 광원램프가 상기 스테이지의 상,하로 동일한 위치로 이동되도록 하는 마이크로 검사장비의 구동장치에 있어서, 상기 정반의 양 측 모서리에 결합되고, 상기 현미경과 광원램프가 상,하로 이격되면서 설치되는 브릿지와; 상기 브릿지가 상기 정반을 따라 상,하로 이동되도록 하는 상하구동부와; 상기 현미경과 광원램프가 상기 브릿지를 따라 좌,우로 이동되도록 하는 좌우구동부;로 구성된다.
이에 따라, 현미경과 광원램프가 동시에 움직여 동일 궤적으로 움직이도록 하기 위한 제어가 더욱 간편하게 이루어질 뿐만 아니라, 작동오차가 사라져 광원램프의 조광능력이 더욱 증대되고, 더욱 정확하고 정밀한 글라스패널의 검사가 가능해 지는 효과를 가지게 된다.

Description

글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치{a driving apparatus for a micro detecting apparatus for a glass panel of a display}
본 고안은 마이크로 검사장비에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 마이크로 검사장비의 현미경과 광원램프가 동일한 구동장치에 의해 정반의 상하좌우를 따라 이동되도록 한 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치에 관한 것이다.
일반적으로 일반적으로 LCD나 PDP등의 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 평판 형상의 글라스패널을 검사하기 위해서는 검사자의 시력에 의존하여 그 불량을 검출하는 마크로 검사장비와, 현미경을 이용하여 글라스패널의 각 부분을 확대하여 검사하는 마이크로 검사장비 및 육안에 의한 1차적인 검사 후에 현미경을 이용하여 정밀 검사를 동시에 수행하는 마크로-마이크로(MAC-MIC) 검사장비 등이 이용되고 있다.
이러한 검사장비 중 특히 현미경을 이용하는 마이크로 검사장비의 작동과정을 도 5 내지 도 6을 통해 살펴보면, 마이크로 검사장비의 몸체를 이루는 정반(100)의 상면에 LCD 및 PDP등의 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 글라스패널(미도시)이 고정되는 스테이지(미도시)가 설치되고, 상기 스테이지의 상,하로 각각 이격되어 구비되면서 동일한 위치로 이동되는 현미경(200) 및 광원램프(300)가 구비되어 광원램프(300)에서 조사된 빛이 글라스패널을 비추면서 그 빛에 의해 현미경(200)을 통해 글라스패널의 결함을 검출하도록 하고 있다.
특히, 상기와 같은 현미경(200) 및 광원램프(300)는 넓은 면적을 갖는 글라스패널 전체를 검사하여야 함에 따라 원활한 위치 이동을 위해 각각 정반(100)의 상부측에서 X,Y축으로 이동되도록 구비된다.
이 중에서 현미경(200)은 정반(100)의 양측 모서리에 형성된 레일(101)을 따라 일측 직선방향으로 이동하면서 정반의 상부측으로 이격되어 설치되는 브릿지(400)를 구비하고, 현미경(200)이 브릿지(400)의 일측면에 결합되어 브릿지(400) 상에서 상기 레일(101)의 수직 방향으로 이동되도록 함으로서, X,Y방향의 이동이 이루어지도록 하고 있다.
또한, 상기 광원램프(300)는 상기 현미경(200)과는 별도로 상기 정반(100)의 상면에 X,Y 이동을 위한 레일(301)(302)을 설치하여 광원램프가 레일을 따라 이동되도록 하며, 광원램프와 현미경이 별도의 제어프로그램에 의해 동조되어 동일한 위치로 이동되도록 하고 있다.
그러나, 상술한 것과 같이 종래의 현미경과 광원램프는 각각 별도의 구동수단에 의해 움직이면서 동일한 위치로 이동함에 따라, 그 제어가 힘든 문제점이 있었고, 반복되는 사용에 따른 작동오차 등이 발생하여 현미경과 광원램프가 정확히 일치하는 위치로 움직이지 못하는 문제점이 있었다.
또한, 상기와 같이 별도의 구동수단을 구비함에 따라, 마이크로 검사장비의 전체의 구성이 복잡해져, 유지 및 보수가 힘든 문제점도 있었다.
이에, 본 고안은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 마이크로 검사장비의 현미경과 광원램프가 동일한 구동장치에 의해 정반의 상하좌우를 따라 이동되도록 함에 있다.
또한, 본 고안의 목적은 간단한 구성으로 현미경과 광원램프가 정반의 상,하 방향으로 동시에 이동되도록 함에 있다.
또한, 본 고안의 목적은 현미경과 광원램프의 사이 공간에 스테이지가 고정된 상태에서 현미경과 광원램프가 브릿지의 좌,우 방향으로 동시에 이동되도록 함에 있다.
또한, 본 고안의 목적은 하나의 구동모터 만으로도 현미경과 광원램프가 브릿지의 좌,우 방향으로 원활하게 이동되도록 함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 고안은 정반의 상면에 글라스패널이 거치되는 스테이지가 고정되고, 상기 정반에 결합되면서 상기 스테이지의 상,하로 각각 이격되어 설치되는 현미경 및 광원램프가 구비되며, 상기 현미경 및 광원램프가 상기 스테이지의 상,하로 동일한 위치로 이동되도록 하는 마이크로 검사장비의 구동장치에 있어서, 상기 정반의 양 측 모서리에 결합되고, 상기 현미경과 광원램프가 상,하로 이격되면서 설치되는 브릿지와; 상기 브릿지가 상기 정반을 따라 상,하로 이동되도록 하는 상하구동부와; 상기 현미경과 광원램프가 상기 브릿지를 따라 좌,우로 이동되도록 하는 좌우구동부;로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상하구동부는: 상기 정반의 양측 모서리를 따라 형성되는 정반고정레일과; 상기 브릿지의 양 단이 상기 정반고정레일에 결합되어 이동되도록 하는 브릿지이동가이드와; 상기 브릿지가 상기 정반고정레일을 따라 이동되도록 하는 브릿지구동부;로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 좌우구동부는: 상기 브릿지의 외측면에 브릿지를 따라 형성되는 브릿지고정레일과; 상기 브릿지고정레일에 결합되어 좌,우로 이동되고, 상기 현미경이 장착되는 현미경브래킷과; 상기 브릿지의 하방으로 이격되어 설치되고, 양단이 상기 브릿지의 양 측에 고정되는 보조레일과; 상기 보조레일에 결합되어 좌,우로 이동되고, 상기 광원램프가 장착되는 램프브래킷과; 상기 현미경브래킷 및 램프브래킷이 일체로 상기 브릿지를 따라 좌,우로 이동되도록 하는 브래킷구동부;로 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 브래킷구동부는; 상기 현미경브래킷에 고정되는 제1구동풀리와, 상기 램프브래킷에 고정되는 제2구동풀리와, 상기 제1구동풀리 및 제2구동풀리를 일체로 결합하는 구동축과, 상기 구동축을 회전시키는 풀리구동모터로 구성된 것을 특징으로 한다.
이하, 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참고로 하여 더욱 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 고안의 일 실시예를 보인 사시도이고, 도 2는 도 1의 요부의 확대 사시도이며, 도 3은 도 2의 개략 정면도이고, 도 4는 도 2의 개략 측면도로서, 도시된 바와 같이 본 고안은 LCD나 PDP등의 평판형 디스플레이 장치에 사용되는 글라스패널의 결함을 현미경(20)을 이용하여 정밀 검사하는 마이크로 검사장비에 관한 것으로서, 정반(10)의 양 측 모서리에 브릿지(40)가 이동 가능하게 결합되고, 상기 브릿지(40)에 현미경(20) 및 글라스패널(미도시)을 밝게 비추는 광원램프(30)가 구비되며, 상기 현미경(20) 및 광원램프(30)가 상하구동부(50) 및 좌우구동부(60)에 의해 동시에 동일한 위치로 이동되도록 한 것이다.
상기 정반(10)은 마이크로 검사장비의 몸체를 이루는 것으로서 상면이 평면으로 형성되고, 상면에 글라스패널이 고정되는 스테이지(미도시)를 결합하여 스테이지를 견고히 고정 및 지지하면서 스테이지의 상,하로 현미경(20)과 광원램프(30)가 각각 이동되도록 한다.
상기 브릿지(40)는 양단이 하방을 향하도록 절곡되어 형성되면서 상기 정반(10)의 양 측 모서리에 직선 방향으로 이동 가능하게 결합되고, 일측에 상술한 현미경(20)과 광원램프(30)가 고정되도록 하여 브릿지(40)의 이동에 따라 현미경(20)과 광원램프(30)가 상,하 방향으로 이동되도록 한다.
상기 현미경(20)은 통상의 전자현미경(20) 등으로 형성되어 글라스패널의 상면에서 이동하면서 글라스패널의 결함을 확대하여 검사하도록 한다.
상기 광원램프(30)는 상기 현미경(20)의 하부측에 이격되어 구비되고, 현미경(20)과 함께 동일한 위치로 이동하면서 빛을 발산하여 글라스패널을 비춰 현미경(20)을 이용하여 글라스패널을 검사할 때 글라스패널이 밝고 선명하게 보이도록 한다.
상기 상하구동부(50)는 상술한 브릿지(40)가 정반(10)의 상부측에서 직선 방향의 측방으로 이동되도록 하는 것으로서, 정반(10)의 양 측 모서리를 따라 평행하게 형성되는 정반고정레일(51)과, 브릿지(40)의 양 끝단이 상기 정반고정레일(51)에 결합되어 이동되도록 하는 브릿지이동가이드(52)와, 상기 브릿지(40)가 상기 정반고정레일(51)을 따라 이동되도록 하는 브릿지(40)구동부로 구성된다.
상기 정반고정레일(51)은 정반(10)의 서로 마주보는 측면 모서리에 서로 평행하게 형성되고, 길이 방향을 따라 홈을 형성하여 후술되는 브릿지이동가이드(52)가 삽입되면서 정반고정레일(51)을 따라 이동하도록 함으로써, 브릿지(40)의 상,하 방향 이동이 이루어지도록 한다.
상기 브릿지이동가이드(52)는 상기 브릿지(40)의 양 끝단이 상기 정반고정레일(51)에 삽입되어 브릿지(40)가 정반고정레일(51)과 결합된 상태로 이동되도록 하는 것으로서, 정반고정레일(51)에 삽입되는 통상의 돌기 형상으로 형성되어 브릿지(40)의 이동시에 흔들림을 최소화하고, 정확한 이동이 가능해지도록 한다.
상기 브릿지(40)구동부는 상기 브릿지(40)가 정반고정레일(51)을 따라 상,하 방향으로 이동되도록 하는 구동수단으로서, 통상의 모터 및 벨트구동장치 등의 직선 이동수단으로 구성되어 별도의 제어장치에 의해 브릿지(40)가 사용자가 지정하는 지점으로 정확히 이동되도록 한다.
이에 따라, 브릿지(40)에 현미경(20)과 광원램프(30)가 결합된 상태에서 브릿지(40)만을 이동시키면 현미경(20)과 광원램프(30)는 정확하게 대응된 상태에서 사용자가 원하는 상,하 방향으로 이동하여 글라스패널의 검사를 수행할 수 있게 되는 것이다.
상기 좌우구동부(60)는 상술한 바와 같이 현미경(20)과 광원램프(30)가 동시에 좌,우 방향으로 이동되도록 하는 것으로서, 브릿지(40)의 외측면에 브릿지(40)를 따라 형성되는 브릿지고정레일(61)과, 상기 브릿지고정레일(61)에 결합되어 좌,우로 이동되고 상기 현미경(20)이 장착되는 현미경브래킷(62)과, 상기 브릿지(40)의 하방으로 이격되어 설치되고 양단이 상기 브릿지(40)의 양 측에 고정되는 보조레일(63)과, 상기 보조레일(63)에 결합되어 좌,우로 이동되고 상기 광원램프(30)가 장착되는 램프브래킷(64)과, 상기 현미경브래킷(62) 및 램프브래킷(64)이 일체로 상기 브릿지(40)를 따라 좌,우로 이동되도록 하는 브래킷구동부(65)로 구성된다.
상기 브릿지고정레일(61)은 상기 브릿지(40)의 외측면에 상기 정반고정레일(51)과 직교되는 방향으로 형성되고, 통상의 홈 등으로 형성된 레일 형상으로 구성되어 후술되는 현미경브래킷(62)이 브릿지고정레일(61)에 결합된 상태에서 측방으로 이동되도록 한다.
상기 현미경브래킷(62)은, 일측면에 상술한 현미경(20)이 고정되고, 타측으로는 상기 브릿지고정레일(61)과 대응되는 돌기 등의 결합수단이 형성되어 현미경(20)이 브릿지(40)에 결합된 상태에서 현미경브래킷(62)이 브릿지고정레일(61)을 따라 움직이면서 현미경(20)이 좌,우 방향으로 이동되도록 한다.
상기 보조레일(63)은 상기 브릿지(40)의 하방으로 평행하게 이격되어 정반(10)의 상면에 구비되고, 양 단부가 상기 브릿지(40)의 양 측단에 일체로 결합되어 브릿지(40)의 이동에 따라 정반(10)의 상면에서 이동하면서 후술되는 램프브래킷(64)이 결합되도록 한다.
상기 램프브래킷(64)은 상기 보조레일(63)에 결합되어 브릿지(40)의 하부에서 좌,우로 이동되고, 상면에 상기 현미경(20)과 대응되는 위치로 광원램프(30)가 장착되어 빛이 현미경(20)의 렌즈를 향해 조사되도록 하며, 후술되는 브래킷구동부(65)에 의해 현미경(20)과 함께 좌,우로 이동되면서 현미경(20)이 이동되는 위치로 함께 이동하여 광원램프(30)가 상시 지속적이고 원활한 조광을 수행할 수 있도록 한다.
상기 브래킷구동부(65)는, 상기 현미경브래킷(62) 및 램프브래킷(64)이 정반(10)의 상부측에서 좌,우 방향으로 동시에 이동되도록 하는 것으로서, 상기 현미경브래킷(62)을 이동시키는 제1구동풀리(651)와, 상기 램프브래킷(64)을 이동시키는 제2구동풀리(652)와, 상기 제1구동풀리(651) 및 제2구동풀리(652)를 일체로 결합하는 구동축(653)과, 상기 구동축(653)을 회전시키는 풀리구동모터(654)로 구성된다.
상기 제1구동풀리(651)는 통상의 구동벨트 등과 연결되는 풀리로 구성되고, 상기 브릿지(40)에 고정되어 회전하면서 제1구동풀리(651)에 결합되어 회전하는 벨트가 현미경브래킷(62)에 고정되도록 함으로써, 제1구동풀리(651)의 회전에 의해 벨트가 이동하면서 현미경브래킷(62)이 브릿지고정레일(61)을 따라 좌,우 방향으로 이동되도록 한다.
상기 제2구동풀리(652)는 통상의 구동벨트 등과 연결되는 풀리로 구성되고, 상기 브릿지(40)의 하부측에 고정되어 회전하면서 제2구동풀리(652)에 결합되어 회전하는 벨트가 램프브래킷(64)에 고정되도록 함으로써, 제2구동풀리(652)의 회전에 의해 벨트가 이동하면서 램프브래킷(64)이 보조레일(63)을 따라 좌,우 방향으로 이동되도록 한다.
상기 구동축(653)은 일측 끝단이 상기 현미경브래킷(62)에 고정되는 풀리구동모터(654)에 결합되고, 상기 제1구동풀리(651) 및 제2구동풀리(652)가 상,하 방향으로 동일한 회전축에 일체로 결합되어 회전되도록 하여 하나의 풀리구동모터(654) 만으로도 현미경브래킷(62)과 램프브래킷(64)이 좌,우 방향으로 이동되도록 함으로써, 현미경(20)과 광원램프(30)가 동시에 좌우 방향으로 이동되도록 하기 위한 제어 및 작동이 더욱 간편하게 이루어지도록 한다.
이에 따라, 상기 현미경(20)과 광원램프(30)를 정반(10)의 상,하 방향으로 이동시킬 때에는 상술한 상하구동부(50)만을 이용하여 브릿지(40)가 정반(10)의 상하방향으로 움직이도록 하는 것 만으로도 현미경(20)과 광원램프(30)가 동시에 동일한 위치로 움직이게 되고, 현미경(20)과 광원램프(30)를 좌,우 방향으로 이동시킬 때에는 풀리구동모터(654)를 회전시켜 구동축(653)이 회전되도록 함으로써, 현미경(20)과 광원램프(30)가 동시에 좌우 방향으로 이동하게 되어, 정반(10) 상의 사용자가 원하는 위치에 현미경(20)과 광원램프(30)가 정확히 일치하여 움직이게 되는 것이다.
또한, 현미경(20)과 광원램프(30)가 각각 별도의 구동수단을 이용하지 않고 일체로 연결된 상하구동부(50) 및 좌우구동부(60)에 의해 이동함에 따라, 제어가 더욱 간편해지게 되고, 작동오차가 최소화 되어 광원램프(30)의 빛의 조광 능력이 극대화되고 이에 따라 더욱 정확하고 정밀한 검사가 가능해 지게 되는 것이다.
상술한 바와 같이, 본 고안은 현미경과 광원램프를 고정하는 브릿지와, 브릿지를 이동시키는 상하구동부 및 현미경과 광원램프가 브릿지 상에서 이동되도록 하는 좌우구동부를 구비하여 마이크로 검사장비의 현미경과 광원램프가 동일한 구동장치에 의해 정반의 상하좌우를 따라 이동되도록 함으로서, 현미경과 광원램프가 동시에 움직여 동일 궤적으로 움직이도록 하기 위한 제어가 더욱 간편하게 이루어질 뿐만 아니라, 작동오차가 사라져 광원램프의 조광능력이 더욱 증대되고, 더욱 정확하고 정밀한 글라스패널의 검사가 가능해 지는 효과를 가지게 된다.
또한, 본 고안은 상하구동부를 정반고정레일과 브릿지이동가이드 및 브릿지구동부의 간단한 구성으로 현미경과 광원램프가 정반의 상,하 방향으로 동시에 이동되도록 함으로서, 상하구동부의 제작이 간편할 뿐만 아니라, 브릿지의 양 단이 정반에 고정됨으로써, 결합력이 극대화 되어 현미경과 광원램프가 안정적으로 작동하는 효과를 가지게 된다.
또한, 본 고안은 좌우구동부를 브릿지고정레일과 현미경브래킷과 보조레일과 램브프래킷 및 브래킷구동부로 구성하여 현미경과 광원램프의 사이 공간에 스테이지가 고정된 상태에서 현미경과 광원램프가 브릿지의 좌,우 방향으로 동시에 이동되도록 함으로서, 현미경과 광원램프가 각각 브릿지와 정반에 견고히 결합된 상태에서 이동하여 작동이 더욱 정밀하게 이루어 지는 효과를 가지게 된다.
또한, 본 고안은 브래킷구동부를 제1구동풀리와 제2구동풀리 및 구동축과 풀리구동모터로 구성하여 하나의 구동모터 만으로도 현미경과 광원램프가 브릿지의 좌,우 방향으로 원활하게 이동되도록 함으로서, 현미경과 광원램프의 위치 제어가 더욱 간편하게 이루어 질 뿐만 아니라, 구성이 더욱 간단해져 제작 및 유지 보수가 간편해지는 효과를 가지게 된다.
도 1은 본 고안의 일 실시예를 보인 사시도.
도 2는 도 1의 요부의 확대 사시도.
도 3은 도 2의 개략 정면도.
도 4는 도 2의 개략 측면도.
도 5는 종래 마이크로 검사장비의 일 예를 보인 사시도.
도 6은 도 5의 요부의 확대 사시도.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
10 : 정반 20 : 현미경
30 : 광원램프 40 : 브릿지
50 : 상하구동부
51 : 정반고정레일 52 : 브릿지이동가이드
60 : 좌우구동부
61 : 브릿지고정레일 62 : 현미경브래킷
63 : 보조레일 64 : 램프브래킷
65 : 브래킷구동부
651 : 제1구동풀리 652 : 제2구동풀리
653 : 구동축 654 : 풀리구동모터

Claims (4)

  1. 정반(10)의 상면에 글라스패널이 거치되는 스테이지가 고정되고, 상기 정반(10)에 결합되면서 상기 스테이지의 상,하로 각각 이격되어 설치되는 현미경(20) 및 광원램프(30)가 구비되며, 상기 현미경(20) 및 광원램프(30)가 상기 스테이지의 상,하로 동일한 위치로 이동되도록 하는 마이크로 검사장비의 구동장치에 있어서,
    상기 정반(10)의 양 측 모서리에 결합되고, 상기 현미경(20)과 광원램프(30)가 상,하로 이격되면서 설치되는 브릿지(40)와;
    상기 브릿지(40)가 상기 정반(10)을 따라 상,하로 이동되도록 하는 상하구동부(50)와;
    상기 현미경(20)과 광원램프(30)가 상기 브릿지(40)를 따라 좌,우로 이동되도록 하는 좌우구동부(60);로 구성된 것을 특징으로 하는 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 상하구동부(50)는:
    상기 정반(10)의 양측 모서리를 따라 형성되는 정반고정레일(51)과;
    상기 브릿지(40)의 양 단이 상기 정반고정레일(51)에 결합되어 이동되도록 하는 브릿지이동가이드(52)와;
    상기 브릿지(40)가 상기 정반고정레일(51)을 따라 이동되도록 하는 브릿지(40)구동부;로 구성된 것을 특징으로 하는 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치.
  3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
    상기 좌우구동부(60)는:
    상기 브릿지(40)의 외측면에 브릿지(40)를 따라 형성되는 브릿지고정레일(61)과;
    상기 브릿지고정레일(61)에 결합되어 좌,우로 이동되고, 상기 현미경(20)이 장착되는 현미경브래킷(62)과;
    상기 브릿지(40)의 하방으로 이격되어 설치되고, 양단이 상기 브릿지(40)의 양 측에 고정되는 보조레일(63)과;
    상기 보조레일(63)에 결합되어 좌,우로 이동되고, 상기 광원램프(30)가 장착되는 램프브래킷(64)과;
    상기 현미경브래킷(62) 및 램프브래킷(64)이 일체로 상기 브릿지(40)를 따라 좌,우로 이동되도록 하는 브래킷구동부(65);로 구성된 것을 특징으로 하는 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 브래킷구동부(65)는;
    상기 현미경브래킷(62)을 이동시키는 제1구동풀리(651)와, 상기 램프브래킷(64)을 이동시키는 제2구동풀리(652)와, 상기 제1구동풀리(651) 및 제2구동풀리(652)를 일체로 결합하는 구동축(653)과, 상기 구동축(653)을 회전시키는 풀리구동모터(654)로 구성된 것을 특징으로 하는 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치.
KR20-2005-0025169U 2005-08-31 2005-08-31 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치 KR200400962Y1 (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20-2005-0025169U KR200400962Y1 (ko) 2005-08-31 2005-08-31 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치
TW95131401A TWI315788B (en) 2005-08-31 2006-08-25 Micro inspection apparatus for glass panels
CN200610111962XA CN1924513B (zh) 2005-08-31 2006-08-28 用于玻璃面板的微观检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR20-2005-0025169U KR200400962Y1 (ko) 2005-08-31 2005-08-31 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR200400962Y1 true KR200400962Y1 (ko) 2005-11-09

Family

ID=43701973

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20-2005-0025169U KR200400962Y1 (ko) 2005-08-31 2005-08-31 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR200400962Y1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101470591B1 (ko) * 2008-08-04 2014-12-11 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR101798501B1 (ko) * 2015-08-05 2017-11-16 주식회사 싸이토젠 세포 배양장치
CN107941820A (zh) * 2017-12-21 2018-04-20 苏州精濑光电有限公司 一种面板缺陷检查装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101470591B1 (ko) * 2008-08-04 2014-12-11 주식회사 탑 엔지니어링 어레이 테스트 장치
KR101798501B1 (ko) * 2015-08-05 2017-11-16 주식회사 싸이토젠 세포 배양장치
CN107941820A (zh) * 2017-12-21 2018-04-20 苏州精濑光电有限公司 一种面板缺陷检查装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104516132B (zh) 一种测试治具
KR100827342B1 (ko) 좌표 검출 장치 및 피검체 검사 장치
CN100578301C (zh) 测试治具及应用该测试治具的点灯测试机台
KR20020019376A (ko) 기판검사장치
CN105589229B (zh) 液晶屏自动点灯治具
JP4700365B2 (ja) 基板検査装置
CN108375582A (zh) 自动光学检测设备
CN107941820A (zh) 一种面板缺陷检查装置
KR200400962Y1 (ko) 글라스패널의 마이크로 검사장비용 광원램프의 구동장치
CN1288435C (zh) 基片检查装置
KR100690210B1 (ko) 모니터 패널용 글라스의 복합 표면검사 시스템
CN206387743U (zh) 玻璃基板微观检查机
KR100856727B1 (ko) 평판 디스플레이용 글라스 육안 검사장치
KR101300098B1 (ko) 기판 검사 장치 및 방법
TWI391649B (zh) 面板缺陷之點燈測試機台及面板缺陷之點燈測試方法
CN100422709C (zh) 玻璃衬底检查装置
KR100762393B1 (ko) 평판디스플레이 패널용 검사/수정시스템
KR100950014B1 (ko) 평판 패널 지지유닛 및 이를 갖는 평판 패널 검사 스테이지
CN210347851U (zh) 共用式两段fpc假压检测治具
KR20050004434A (ko) 기판 검사장치용 멀티 스테이지
KR20060038702A (ko) 기판 외관 검사 장치
KR20090078520A (ko) 기판 지지기구 및 이를 구비한 기판 검사장치
KR100776732B1 (ko) 평판 디스플레이용 매크로 검사장치
CN101995680B (zh) Lcd检测设备的校准台
JP2008082705A (ja) 透過照明ステージおよび基板検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
REGI Registration of establishment
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20121102

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131031

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20141103

Year of fee payment: 10