KR101373798B1 - 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 - Google Patents

평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 중앙이 개방되고 바닥면에 지지되기 위한 복수의 지지부재가 설치되며 하부에는 일정크기의 공간부를 갖는 안착지지프레임과; 상기 안착지지프레임의 하부 공간부로 수납가능하고, 상하로 승강되는 승강지지수단이 설치된 이송지지수단을 포함하여 이루어진 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치를 제공함으로써, 평판표시소자 제조장치의 상부챔버를 하부에 소정의 공간을 갖는 안착지지프레임에 정방향으로 안착지지시킨 상태에서, 상기 안착지지프레임의 하부 공간부로 이송지지수단을 인입시켜 상부챔버에 설치된 각종 장비들을 지지시킨 상태로 유지/보수하거나 또는 착탈시킬 수 있게 되는 바, 상부챔버의 회전에 따른 안전사고가 불식되어 작업자가 안전사고에 대한 불안감 없이 용이하게 유지/보수 작업을 실행할 수 있게 되어 작업능률이 향상됨은 물론 간단한 구성으로서 탑재장치를 제공할 수 있게 되는 바, 평판표시소자 제조장치의 유지/보수 비용이 저감되는 효과가 있다.
평판표시소자, 상부챔버, 탑재장치, 유지, 보수

Description

평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치{Maintenance apparatus for FPD manufacturer}
도 1은 종래 평판표시소자 제조장치의 상부챔버 개폐방식을 개략적으로 도시한 사시도.
도 2는 도 1에서 상부챔버를 들어올리는 관계를 도시한 정면도.
도 3은 종래의 상부챔버 탑재대를 도시한 사시도.
도 4는 종래에 상부챔버 탑재대에 상부챔버가 탑재되는 관계를 도시한 정면도.
도 5는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 구성을 나타낸 사시도.
도 6a 내지 도 6c는 도 5의 작동관계를 순차적으로 나타낸 구성도.
도 7은 본 발명의 제 2실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 구성을 나타낸 사시도.
도 8은 도 7에서 이송지지수단의 구성을 나타낸 단면도.
도 9는 본 발명의 제 3실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 구성을 나타낸 사시도.
도 10은 도 9에서 이송지지수단의 구성을 나타낸 측면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110,310,510 : 안착지지프레임 112,312,512 : 사각 프레임
114,314,514 : 개방부 115,315,515 : 탄성부재
116,316,516 : 공간부 118,318,518 : 지지부재
200,400,600 : 이송지지수단 210,410,610 : 플레이트
212,412,612 : 핀홀 220,620 : 지지부재
230 : 구동부재 240,450,640 : 승강기구
250,460,650 : 리프트 핀 414 : 스크류 너트
420 : 가이더 430 : 슬라이드 부재
470 : 스크류 축 490 : 모터
520 : 가이드 레일 614 : 가이더
630 : 구동부재
본 발명은 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 중량의 상부챔버와 하부챔버로 이루어진 평판표시소자 제조장치에서 상기 상부챔버를 하부챔버로부터 분리한 후, 그 안쪽의 각종 장비를 착탈하여 유지/보수할 수 있도록 한 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자를 제조하기 위한 장치는, 로드락 챔버, 반송챔버 및 공정챔버로 구성된다.
로드락 챔버는 외부로부터 처리되지 않은 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하고, 반송챔버는 기판을 각 챔버들 간에 반송하기 위한 로봇이 구비되어 있어서 처리가 예정된 기판을 로드락 챔버에서 공정챔버로 전달하거나, 처리가 완료된 기판을 공정챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 공정챔버는 진공 중에서 플라즈마를 이용하거나 열 에너지를 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.
이 경우, 공정챔버 내에서는 여러 가지 가스나 플라즈마를 이용하여 많은 수의 공정을 반복하게 됨에 따라 상기 공정챔버 내의 각종 장비들이 손상되거나 오염되어서 그 교체나 보수가 주기적으로 필요한 실정이다.
이에, 공정챔버는 그 내부를 유지/보수할 수 있도록 공정챔버의 상부챔버를 개폐가능하게 구성하는 것이 일반적이며, 이와 같이 상부챔버를 개폐하는 작업은 로드락 챔버나 반송챔버의 유지 및 보수작업에도 필수적으로 요구된다.
평판표시소자 제조장치의 유지/보수 작업에는 평판표시소자 제조장치로부터 분리된 상부챔버를 유지/보수 작업을 진행하는 동안 임시로 개폐 및 탑재시킬 수 있는 장치가 필요하다.
종래의 평판표시소자 제조장치(10)는, 도 1 및 도 2에서와 같이, 각종 장비 (하부전극 조립체 등)(22)가 설치되는 하부챔버(20)와, 각종 장비(상부전극 조립체 등)(32)가 설치되는 상부챔버(30)가 착탈가능하게 설치된 구조로 이루어져 있다.
여기서, 상기 상부챔버(30)는 그 상면 모서리 영역에 각각 연결고리(34)가 구비되며, 상기 연결고리(34)와 클린 룸(clean room) 천정에 마련된 크레인(40)에 서로 와이어(42)를 연결하여 그 상부챔버(30)를 개방 또는 폐쇄시킨 다음 하부챔버(20) 내에 설치되어 있는 각종 장비들을 유지/보수하였다.
또한, 상부챔버(30)를 상기 크레인(40)에 의해 들어올린 후, 도 3에 도시된 바와 같이 챔버 탑재대(50)에 안착시킨 다음 180도 회전시켜서 그 내부의 각종 장비들을 유지/보수하였다.
상기 챔버 탑재대(50)에 안착지지되는 상부챔버(30)를 180도 회전시켜서 그 내부의 각종 장비(32)들을 유지/보수하는 이유는, 상기 상부챔버(30)가 매우 무거운 중량체이므로 이를 정방향으로 놓고 그 아래에서 작업자가 작업을 할 경우, 혹여 상기 상부챔버 전체나 각종 장비들이 낙하되어 안전사고 등이 발생하거나 또는 각종 장비들이 낙하되어 파손되는 등의 문제를 예방하기 위함이다.
상기 챔버 탑재대(50)의 구조 및 기능을 도 3 내지 도 4에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도시된 바와 같이, 챔버 탑재대(50)의 양측에는 상부챔버(30)의 체결축(36)과 회전가능하게 결합되어 상기 상부챔버(30)를 위치시키게 되는 장치 위치부(52)가 구비된다.
상기 장치 위치부(52)에는 상부챔버(30)의 체결축(36)이 안정적으로 걸쳐질 수 있도록 홈을 가진 체결축 받침대(54)가 구비된다. 이때 상기 체결축 받침대(54)의 하부에는 구동장치(56)가 연결되고, 이 구동장치(56)에 의하여 체결축 받침대(54)가 상하로 운동할 수 있게 된다.
상기 구동장치(56)가 연결되어 구비되는 이유는 체결축 받침대(54)의 높이를 상부챔버(30)의 개폐과정에서 적합하게 조정하기 위함이다.
상기 장치 위치부(52)의 상부에는 이 장치 위치부(52)에 위치된 상부챔버(30)를 회전시키기 위한 회전 구동부(58)가 더 구비된다.
상기 회전 구동부(58)는 전후로 이동할 수 있도록 구비되는 바, 상부챔버(30)를 체결축 받침대(54)에 처음으로 위치시킬 때는 뒤로 물러나 있다가 상부챔버(30)가 체결축 받침대(54)에 완전히 위치된 후에는 다시 앞으로 전진하여 체결축(36)과 맞물리고, 동력을 인가하여 체결축(36)과 맞물린 상태에서 상부챔버(30)를 180도 회전시켜서 뒤집게 된다.
또한, 상기 챔버 탑재대(50)에는 장치 위치부(52)의 하부에 연결되는 지지대(60)가 구비된다. 이 지지대(60)는 장치 위치부(52)와 상부챔버(30)를 지지하는 역할을 하게 되는데, 상기 지지대(60)는 다수 지점에서 바닥면과 접촉하며, 그 상면에는 일정간격마다 다수개의 지지구(62)가 구비되어 상부챔버(30)와 접촉되고 상부챔버(30)를 지지하게 된다.
또한, 지지대(60)의 하면에는 챔버 탑재대(50)를 자유롭게 이동시킬 수 있도록 이동부(64)가 구비되는데, 이러한 이동부(64)는 통상적인 바퀴구조로 되어 있다.
챔버 탑재대(50)가 원하는 위치로 이동된 후에는 움직이지 않도록 그 위치를 고정하여야 하므로, 지지대(60)의 하면에는 이 지지대(60)를 바닥면에 견고하게 고정시키는 고정부(66)가 더 구비되는데, 상기 고정부(66)는 지지대(60)를 이동시키는 동안에는 지지대(60) 하면으로 상승하여 위치되다가 지지대(60)를 원하는 위치로 이동시킨 후에는 하강하여 바닥면과 견고하게 밀착될 수 있는 구조로 이루어져 있다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 챔버 탑재대(50)를 이용하여 상부챔버(30)를 유지/보수하는 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 챔버 탑재대(50)를 원하는 위치로 이동시킨 후, 상기 고정부(66)를 하강시켜 바닥면과 밀착되도록 하여 챔버 탑재대(50)가 바닥면과 밀착되어 고정된 상태를 유지하게 한다.
챔버 탑재대(50)를 원하는 위치로 이동시키고 고정시키는 동안 크레인(40) 등을 이용하여 상부챔버(30)를 하부챔버(20)로부터 분리하여 챔버 탑재대(50) 상측으로 이동시킨다.
그리고, 바닥면에 견고하게 고정된 챔버 탑재대(50)로 상부챔버(30)를 서서히 하강시킨다. 이때 상부챔버(30)에 구비된 체결축(36)과 장치 위치부(52)에 마련된 체결축 받침대(54)가 정확하게 맞물리도록 하고, 상부챔버(30)가 체결축 받침대(54)에 위치되면, 회전 구동부(58)를 전진시켜서 체결축(36)과 맞물리도록 한다.
이와 같이, 회전 구동부(58)가 체결축(36)과 결합되면 회전 구동부(58)를 구동시켜서 상부챔버(30)를 180도 회전시켜 상부챔버(30)의 내부가 상부로 향하게 되 면 회전 구동부(58)를 체결축으로부터 분리한 후 후진시킨다.
그리고, 보다 낮은 위치에서 작업자가 안전하게 작업할 수 있도록 체결축 받침대(54)를 하강시켜서 상부챔버(30)와 지지구(62)가 접촉되도록 한다. 이 경우 지지구(62)는 약간의 신축성을 가지는 소재로 마련되어 상부챔버(30)의 중량에 의하여 약간 수축할 수 있어서 상부챔버(30)에 손상을 주지 않는다.
그러나, 상기와 같이 크레인(40) 등으로 이송된 상부챔버(30)를 안착지지시킨 상태에서 180도 회전시켜서 그 내부의 각종 장비(32)들을 유지/보수하도록 하는 챔버 탑재대(50)의 경우, 중량체인 상부챔버(30)를 180도 회전시키는 작업시 작업자가 부주의하게 되면 안전사고가 발생될 수 있고, 또한 그 작업과정이 작업자로 하여금 심리적 위험을 갖게 함으로써, 안정된 작업이 이루어지지 않는 문제점이 있었다.
또한, 상기와 같은 안전사고를 방지하기 위해서 챔버 탑재대(50)의 구성에 안전성 강화를 위한 구성을 많이 추가하게 됨으로써, 장비 자체가 고가일 수밖에 없어 평판표시소자 제조장치의 유지/보수 비용이 많이 소요되는 문제점도 있었다.
또한, 상부챔버(30)를 크레인(40) 등으로 수직 및 수평이동시킨 후, 상기 챔버 탑재대(50)에 안착시킨 상태에서 이를 다시 180도 회전시킨 다음 작업을 수행하게 됨으로써, 평판표시소자 제조장치의 유지/보수에 따른 작업시간이 많이 소요되는 문제점도 있었다.
본 발명은 상기와 같은 제반 문제점들을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 상부챔버를 하부챔버로부터 분리하여 안착시킨 상태에서, 상기 상부챔버를 뒤집지 않고 그 내부의 각종 장비들을 안전하게 착탈시키면서 유지/보수하도록 함으로써, 안전사고의 우려 없이 유지/보수 작업을 보다 용이하게 실행할 수 있도록 한 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 상부챔버를 종래에서와 같이 180도 회전시키지 않아도 되게 함으로써, 안전성 부여를 위한 각종 안전장치의 부가로 인한 고가의 장비를 사용하지 않아도 되어 결국 유지/보수 비용이 낮아지도록 한 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치를 제공하는데 다른 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 중앙이 개방되고 바닥면에 지지되기 위한 복수의 지지부재가 설치되며 하부에는 일정크기의 공간부를 갖는 안착지지프레임과; 상기 안착지지프레임의 하부 공간부로 수납가능하고, 상하로 승강되는 승강지지수단이 설치된 이송지지수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이 경우, 상기 안착지지프레임의 상면에는 일정두께의 탄성부재가 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 안착지지프레임은, 그 중앙이 개방된 프레임으로 이루어지고, 상기 프레임의 저부로부터 일정간격마다 바닥면에 지지되기 위한 지지부재가 설치되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 이송지지수단은, 일정두께의 플레이트와, 상기 플레이트의 저면으로부터 일정간격마다 설치된 지지부재들과, 상기 지지부재들의 단부에 설치되어 바닥면에 대하여 이동이 가능하도록 한 구동부재를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 승강지지수단은, 상기 플레이트에 일정간격마다 형성된 핀홀들과, 상기 핀홀들을 관통하여 승강되는 리프트 핀들과, 상기 리프트 핀들을 승강시키게 되는 승강기구로 이루어지는 것이 바람직한데, 상기 승강기구는, 유압실린더에 의한 승강기구 또는 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 중, 어느 하나인 것을 적용할 수 있다.
한편, 상기 이송지지수단은, 상기 안착지지프레임의 하부 공간부 일측으로부터 일정길이만큼 연장형성된 슬라이드 부재와, 상기 슬라이드 부재에 대하여 직선이동되는 플레이트와, 상기 플레이트를 상기 슬라이드 부재에 대하여 직선이동시키는 이송수단을 포함하여 이루어진 것일 수도 있다.
이 경우, 상기 슬라이드 부재와 플레이트는 LM가이드에 의한 체결로 슬라이드가 이루어지는 것을 적용하는 것이 바람직하고, 또한 상기 이송수단은, 볼 스크류에 의한 직선이동기구 또는 유압실린더에 의한 직선이동기구 또는 리니어 모터에 의한 직선이동기구 또는 컨베이어 벨트에 의한 직선이동 기구 중 어느 하나인 것을 적용할 수 있다.
상기 이송수단을 볼 스크류에 의한 직선이동기구인 것을 적용할 경우에는, 상기 플레이트의 저부에는 동일수직선상에 일정간격마다 복수의 스크류 너트가 설 치되고, 상기 스크류 너트에는 모터의 구동에 따라 정역회전 되는 스크류 축이 체결되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 승강지지수단은, 상기 플레이트에 일정간격마다 형성된 핀홀들과, 상기 핀홀들을 관통하여 승강되는 리프트 핀들과, 상기 리프트 핀들을 승강시키게 되는 승강기구로 이루어지는 것이 바람직한데, 상기 승강기구는, 유압실린더에 의한 승강기구 또는 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 중, 어느 하나인 것을 적용할 수 있다.
한편, 상기 안착지지프레임은, 그 중앙이 개방된 프레임으로 이루어지고, 상기 프레임의 저면으로부터 일정간격마다 바닥면에 지지되기 위한 지지부재가 설치되며, 상기 프레임의 아래쪽에는 양쪽으로 서로 대향되는 가이드 레일이 설치된 것을 적용할 수도 있다.
이 경우, 상기 이송지지수단은, 일정두께로 이루어지고 그 양측면에는 상기 가이드 레일을 따라 슬라이드 되는 가이더가 설치된 플레이트와, 상기 플레이트의 저면으로부터 일정간격마다 설치된 지지부재들과, 상기 지지부재들의 단부에 설치되어 바닥면에 대하여 이동이 가능하도록 한 구동부재를 포함하여 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 승강지지수단은, 상기 플레이트에 일정간격마다 형성된 핀홀들과, 상기 핀홀들을 관통하여 승강되는 리프트 핀들과, 상기 리프트 핀들을 승강시키게 되는 승강기구로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 승강기구는, 유압실린더에 의한 승강기구 또는 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 중, 어느 하나인 것을 적용할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제 1실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 구성을 나타낸 사시도이고, 도 6a 내지 도 6c는 도 5의 작동관계를 순차적으로 나타낸 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제 1실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치(100)는, 중앙이 개방되고 바닥면에 지지되기 위한 복수의 지지부재(118)가 설치되며 하부에는 일정크기의 공간부(116)를 갖는 안착지지프레임(110)과, 상기 안착지지프레임(110)의 하부 공간부(116)로 수납가능하고 상하로 승강되는 승강지지수단이 설치된 이송지지수단(200)을 포함하여 이루어져 있다.
상기 안착지지프레임(110)은, 상부챔버(30)가 안착지지되기 위하여 대략 사각 프레임(112)으로 이루어지되, 그 중앙은 개방부(114)로 이루어지며, 각 모서리에는 바닥면에 지지되기 위한 일정길이의 지지부재(118)가 설치되어 있다.
상기 지지부재(118)들 사이 즉, 사각 프레임(112)의 아래쪽에는 일정크기의 공간부(116)가 형성되는데, 상기 각 지지부재(118)들의 사이를 통해 후술되는 이송지지수단(200)이 수납가능하게 된다.
즉, 상기 이송지지수단(200)은 안착지지프레임(110)의 각 지지부재(118)들 사이를 통과하여 상기 공간부(116)로 수납이 가능한 정도의 크기로 형성된다.
상기 안착지지프레임(110)의 사각 프레임(112) 상면에는 일정두께의 탄성부재(115)가 설치되어 있는데, 상기 탄성부재(115)는 고무재를 적용하는 것이 바람직하며, 이는 사각 프레임(112)과, 이 사각 프레임(112) 상면에 안착지지되는 상부챔버(30)와의 마찰에 따른 손상을 예방하기 위함이다.
한편, 상기 안착지지프레임(110)의 공간부(116)에 대하여 수납되는 이송지지수단(200)은, 상부챔버(30)의 내부에 설치되는 각종 장비(32)들이 안착지지되기 위한 플레이트(210)와, 상기 플레이트(210)에 대하여 돌출되면서 승강되는 승강지지수단과, 상기 플레이트(210)의 저부에 일정길이만큼 설치되어서 바닥면에 대하여 지지되는 지지부재(220)와, 상기 지지부재(220)의 단부에 설치되어서 바닥면에 대하여 이동이 가능하도록 하는 구동부재(230)로 이루어져 있다.
상기 플레이트(210)에는 각 모서리 영역에 핀홀(212)들이 설치되어 있고, 상기 승강지지수단은 상기 핀홀(212)들을 관통하여 승강되는 리프트 핀(250)들과, 상기 리프트 핀(250)들을 승강시키기 위한 승강기구(240)로 이루어져 있다.
여기서, 상기 리프트 핀(250)들을 승강시키는 승강기구(240)는 유압실린더에 승강이 이루어지는 것으로 도시하였으나, 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 등, 통상적인 승강기구를 적용할 수 있는 바, 그 구체적인 구성에 한정을 두지 않는다.
한편, 상기 승강지지수단을 지지하기 위한 받침대(260)가 상기 각 지지부재(220)들 사이에 설치되어 있는데, 상기 받침대(260)는 바닥면에 대하여 이격된 상태로 설치되어 있다.
상기 받침대(260)는 유압실린더를 지지하고, 상기 유압실린더로 유압을 공급하는 탱크의 기능을 가지게 되며, 다른 승강기구가 적용될 경우에는 그에 따른 구성품들을 지지하는 기능으로 쓰일 수 있을 것이다.
상기와 같이 제 1실시 예에 따라 구성된 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치(100)의 작동관계를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 클린 룸에서 크레인(40)을 이용하여 상부챔버(30)를 하부챔버로부터 분리시켜 들어올린 후, 수평이동시켜서 안착지지프레임(110)의 상부에 위치시킨 다음, 서서히 하강시킨다.
상기 상부챔버(30)의 저면이 안착지지프레임(110)의 사각 프레임(112) 면에 닿게 되면 크레인(40)에 연결된 와이어(42)들을 상부챔버(30)의 연결고리(34)로부터 분리시킨다.
이때, 상기 상부챔버(30)는 안착지지프레임(110)의 사각 프레임(112) 상면에 형성된 탄성부재(115)와 밀착되는 바, 자중에 따른 마찰력에 의해 손상이 일어나지 않게 된다.
상기와 같이 안착지지프레임(110)의 사각 프레임(112) 상면에 상부챔버(30)가 안착지지된 상태에서 도 6a에서와 같이, 이송지지수단(200)을 상기 안착지지프레임(110)의 공간부(116)로 인입시킨다.
즉, 상기 이송지지수단(200)의 지지부재(220)들 단부에 설치된 구동부재(230)를 이용하여 바닥면에 굴리면서 안착지지프레임(110)의 공간부(116)로 인입 시키되, 상기 이송지지수단의 플레이트(210)가 상부챔버(30)의 각종 장비(예컨대, 상부전극 조립체)(32)와 동일수직선상에 위치되도록 한 후, 상기 구동부재(230)가 구동되지 않게 고정되게 한다.
상기 구동부재(230)를 고정시키는 방법은 여러 방법이 있을 수 있는데, 예컨대 구동부재(230) 자체에 브레이크 수단을 구비하여 구동이 이루어지지 않도록 할 수도 있고, 상기 승강지지수단을 받치고 있는 받침대(260)의 일측에 바닥면에 대하여 마찰지지되는 지지수단을 구비하여 구동이 이루어지지 않도록 할 수도 있는 바, 그 구동방지수단에 한정은 두지 않는다.
다음에, 상기 승강지지수단의 승강기구(240)를 작동시켜서 리프트 핀(250)들이 승강되도록 하여 도 6b에서와 같이 상기 리프트 핀(250)들의 단부가 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 지지하도록 한다.
이 상태에서 상기 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 유지/보수하거나 필요에 따라서는 분리시키면 된다.
이와 같이, 상기 승강지지수단의 리프트 핀(250)들에 의해 상부챔버(30)의 각종 장비(32)가 지지된 상태를 이루는 바, 낙하에 대한 우려가 없어 안전사고에 대한 불안감 없이 작업이 이루어질 수 있게 된다.
상기 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 분리시켜서 교체하고자 할 경우에는, 상기 각종 장비(32)를 지지하고 있는 승강지지수단의 리프트 핀(250)들을 승강기구(240)를 이용하여 하강시켜서 도 6c에서와 같이 플레이트(210)에 각종 장비가 안착되게 한 후, 안착지지프레임(110)의 공간부(116)부터 이송지지수단(200)을 밖으 로 빼내면 된다.
이와 같은 순서로 상부챔버(30)의 각종 장비(32)들을 탈거시킨 상태로 유지/보수하여 다시 장착시키거나 또는 새 장비를 장착시키고자 할 경우에는, 상기한 순서의 역순으로 하여 장착시키면 된다.
한편, 도 7은 본 발명의 제 2실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 구성을 나타낸 사시도이고, 도 8은 도 7에서 이송지지수단의 구성을 나타낸 단면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제 2실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치(300)도 앞선 제 1실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치와 마찬가지로 중앙이 개방되고 바닥면에 지지되기 위한 복수의 지지부재(318)가 설치되며 하부에는 일정크기의 공간부(316)을 갖는 안착지지프레임(310)과, 상기 안착지지프레임(310)의 하부 공간부(316)로 수납가능하고 상하로 승강되는 승강지지수단이 설치된 이송지지수단(400)을 포함하여 이루어져 있다.
상기 안착지지프레임(310)은, 상부챔버(30)가 안착지지되기 위하여 대략 사각 프레임(312)으로 이루어지되, 그 중앙은 개방부(314)로 이루어지며, 각 모서리에는 바닥면에 지지되기 위한 일정길이의 지지부재(318)가 설치되어 있다.
상기 지지부재(318)들 사이 즉, 사각 프레임(312)의 아래쪽에는 일정크기의 공간부(316)가 형성되는데, 사각 프레임(312)의 개방부(314)와, 상기 각 지지부재(318)들의 사이를 통해 상기 공간부(316)로 후술되는 이송지지수단(400)이 수납가능하게 된다.
그런데, 본 제 2실시 예에서는 상기 이송지지수단(400)의 구성이 제 1실시 예와는 다른 구성으로 이루어진 것이며, 그 구성을 설명하면 다음과 같다.
상기 이송지지수단(400)은, 상기 안착지지프레임(310)의 하부 일측으로부터 일정길이만큼 연장형성된 슬라이드 부재(430)와, 상기 슬라이드 부재(430)에 대하여 직선이동되는 플레이트(410)와, 상기 플레이트(410)를 슬라이드 부재(430)에 대하여 직선이동 시키게 되는 이송수단으로 이루어져 있다.
여기서 상기 슬라이드 부재(430)는 양쪽으로 설치되고, 상기 플레이트(410)의 양쪽에는 상기 슬라이드 부재(430)를 따라 이탈이 이루어지지 않게 슬라이드 되도록 하는 가이더(420)가 설치되어 있다.
즉, 상기 슬라이드 부재(430)와 플레이트(410)의 가이더(420)는, LM가이드에 의한 체결로 슬라이드가 이루어진 것으로 도시하였으나, 상기 슬라이드 부재(430)를 레일로 구성하고, 상기 가이더(420) 대신 구동바퀴를 설치하여 슬라이드가 이루어지도록 할 수도 있을 것이다.
또한, 상기 플레이트(410)에는 각 모서리 영역에 핀홀(412)들이 설치되어 있고, 상기 승강지지수단은 상기 핀홀(412)들을 관통하여 승강되는 리프트 핀(460)들과, 상기 리프트 핀(460)들을 승강시키기 위한 승강기구(450)로 이루어져 있다.
여기서, 상기 리프트 핀(460)들을 승강시키는 승강기구(450)는 유압실린더에 승강이 이루어지는 것으로 도시하였으나, 볼 스크류에 의한 승강기구(450) 또는 리니어 모터(490)에 의한 승강기구(450) 등, 통상적인 승강기구(450)를 적용할 수 있는 바, 그 구체적인 구성에 한정을 두지 않는다.
한편, 상기 승강지지수단을 지지하기 위한 받침대(480)가 상기 각 지지부재들 사이에 설치되어 있는데, 상기 받침대(480)는 바닥면에 대하여 이격된 상태로 설치되어 있다.
상기 받침대(480)는 유압실린더를 지지하고, 이 유압실린더로 유압을 공급하는 탱크의 기능을 가지게 되며, 다른 승강기구가 적용될 경우에는 그에 따른 구성품들을 지지하는 기능으로 쓰일 수 있을 것이다.
그리고, 상기 플레이트(410)의 저부에는 암나사공을 갖는 스크류 너트(414)가 동일선상으로 일정간격을 두고 복수개 설치되어 있으며, 상기 스크류 너트(414)의 암나사공에는 상기 슬라이드 부재(430)의 일측에 설치되는 모터(490)의 구동에 의해 회전되는 스크류 축(470)이 체결되어 있다.
따라서, 상기 모터(490)가 구동되면 스크류 축(470)이 회전하게 되게 되는 바, 이 스크류 축(470)과 체결된 스크류 너트(414)에 의해 플레이트(410) 전체가 직선이동을 하게 된다.
여기서, 상기 플레이트(410)를 직선이동시키는 이송수단을 일정길이의 스크류 축(470)과, 스크류 너트(414)에 의한 볼 스크류에 의한 것으로 도시하여 설명하였으나, 통상적인 직선이동기구, 즉 유압실린더에 의한 직선이동기구나, 리니어 모터를 이용한 직선이동기구 또는 컨베이어에 의한 직선이동기구 등을 적용할 수도 있는 바, 그 구체적인 구성에 한정은 두지 않는다.
상기와 같이 본 발명의 제 2실시 예에 따라 구성된 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치의 작동관계를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 클린 룸에서 크레인(40)을 이용하여 상부챔버(30)를 하부챔버로부터 분리시켜 들어올린 후, 수평이동시켜서 안착지지프레임(310)의 상부에 위치시킨 다음에 서서히 하강시킨다.
상기 상부챔버(30)의 저면이 안착지지프레임(310)의 사각 프레임(312) 면에 닿게 되면 크레인에 연결된 와이어(42)들을 상부챔버(30)의 연결고리(34)로부터 분리시킨다.
이때, 상기 상부챔버(30)는 안착지지프레임(310)의 사각 프레임(312) 상면에 형성된 탄성부재(315)와 밀착되는 바, 자중에 따른 마찰력에 의해 손상이 일어나지 않게 된다.
상기와 같이 안착지지프레임(310)의 사각 프레임(312) 상면에 상부챔버(30)가 안착지지된 상태에서 이송지지수단(400)을 상기 안착지지프레임(310)의 공간부(316)로 인입시킨다.
즉, 상기 이송지지수단(400)의 이송수단인 모터(490)에 구동신호를 입력하면, 상기 모터(490)의 구동에 의해 스크류 축(470)이 회전하게 되고, 이에 따라 상기 스크류 축(470)과 체결된 스크류 너트(414)에 의해 플레이트(410)가 슬라이드 부재(430)를 따라 직선이동을 하게 된다.
다시 말해서, 상기 플레이트(410)가 스크류 축(470)과 스크류 너트(414)의 볼 스크류 방식에 의한 체결로 그 양측에 설치된 가이더(420)가 슬라이드 부재(430)를 따라 직선이동을 하게 되는 것이다.
이와 같이 플레이트(410)를 직선이동시켜서 상기 안착지지프레임(310)의 공 간부(316)로 인입시키되, 상기 이송지지수단(400)의 플레이트(410)가 상부챔버(30)의 각종 장비(예컨대, 상부전극 조립체)(32)와 동일수직선상에 위치되도록 한 후, 상기 모터(490)의 구동을 멈춘다.
다음에, 상기 승강지지수단의 승강기구(450)를 작동시켜서 리프트 핀(460)들이 승강되도록 하여 상기 리프트 핀(460)들의 단부가 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 지지하도록 한다.
이 상태에서 상기 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 유지/보수하거나 필요에 따라서는 분리시키면 된다.
이와 같이, 상기 승강지지수단의 리프트 핀(460)들에 의해 상부챔버(30)의 각종 장비(32)가 지지된 상태를 이루는 바, 낙하에 대한 우려가 없어 안전사고에 대한 불안감 없이 유지/보수 작업이 이루어질 수 있게 된다.
상기 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 분리시켜서 교체하고자 할 경우에는, 상기 각종 장비(32)를 지지하고 있는 승강지지수단의 리프트 핀(460)들을 하강시켜서 플레이트(410)에 각종 장비(32)가 안착되게 한 후, 안착지지프레임(310)의 공간부(316)로부터 이송지지수단(400)을 밖으로 빼내면 된다.
즉, 상기 모터(490)에 역구동 신호를 입력하여 상기 플레이트(410)가 안착지지프레임(310)의 공간부(316)에서 빠져나오도록 하고, 이어서 상부챔버(30)의 각종 장비(32)들을 탈거시킨 상태로 유지/보수한 후, 유지/보수된 각종 장비(32)들을 다시 장착시키거나 또는 새 장비를 장착시키고자 할 경우에는, 상기한 순서의 역순으로 하여 장착시키면 된다.
또한, 도 9는 본 발명의 제 3실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치 구성을 나타낸 사시도이고, 도 10은 도 9의 측면도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 제 3실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치(500)도 앞선 실시 예들에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치와 마찬가지로 중앙이 개방되고 바닥면에 지지되기 위한 복수의 지지부재(518)가 설치되며 하부에는 일정크기의 공간부(516)을 갖는 안착지지프레임(510)과, 상기 안착지지프레임(510)의 하부 공간부(516)로 수납가능하고 상하로 승강되는 승강지지수단이 설치된 이송지지수단(600)을 포함하여 이루어져 있다.
상기 안착지지프레임(510)은, 상부챔버(30)가 안착지지되기 위하여 대략 사각 프레임(512)으로 이루어지되, 그 중앙은 개방부(514)로 이루어지며, 각 모서리에는 바닥면에 지지되기 위한 일정길이의 지지부재(518)가 설치되어 있다.
상기 지지부재(518)들 사이 즉, 사각 프레임(512)의 아래쪽에는 일정크기의 공간부(516)가 형성되는데, 사각 프레임(512)의 개방부(514)와, 상기 각 지지부재(518)들의 사이를 통해 상기 공간부(516)로 후술되는 이송지지수단(600)이 수납가능하게 된다.
상기와 같이 이송지지수단(600)이 안착지지프레임(510)의 공간부(516)로 수납이 가능하도록 지지부재(518)의 상부 내측에는 서로 대향되게 가이드 레일(520)이 설치되어 있다.
상기 이송지지수단(600)은, 상부챔버(30)의 내부에 설치되는 각종 장비(32)들이 안착지지되기 위한 것으로서, 그 양측면에는 상기 안착지지프레임(510)의 가 이드 레일(520)을 따라 슬라이드 되는 가이더(614)가 형성된 플레이트(610)와, 상기 플레이트(610)에 대하여 돌출되면서 승강되는 승강지지수단과, 상기 플레이트(610)의 저부에 일정길이만큼 설치되어서 바닥면에 대하여 지지되는 지지부재(620)와, 상기 지지부재(620)의 단부에 설치되어서 바닥면에 대하여 이동이 가능하도록 하는 구동부재(630)로 이루어져 있다.
상기 구동부재(630)는 플레이트(610)의 선단 양쪽에만 설치되어서 이송지지수단(600)이 안착지지프레임(510)으로부터 수납될 때, 바닥면에 대하여 지지되도록 함은 물론 원활한 슬라이드가 이루어지도록 하는 기능을 담당하게 되며, 필요에 따라서는 플레이트(610)의 선단과 후단에 각각 양쪽으로 설치될 수도 있다.
상기 플레이트(610)에는 각 모서리 영역에 핀홀(612)들이 설치되어 있고, 상기 승강지지수단은 상기 핀홀(612)들을 관통하여 승강되는 리프트 핀(650)들과, 상기 리프트 핀(650)들을 승강시키기 위한 승강기구(640)로 이루어져 있다.
여기서, 상기 리프트 핀(650)들을 승강시키는 승강기구(640)는 유압실린더에 승강이 이루어지는 것으로 도시하였으나, 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 등, 통상적인 승강기구를 적용할 수 있는 바, 그 구체적인 구성에 한정을 두지 않는다.
한편, 상기 승강지지수단을 지지하기 위한 받침대(660)가 상기 각 지지부재(620)들 사이에 설치되어 있는데, 상기 받침대(660)는 바닥면에 대하여 이격된 상태로 설치되어 있다.
상기 받침대(660)는 유압실린더를 지지하고, 상기 유압실린더로 유압을 공급 하는 탱크의 기능을 가지게 되며, 다른 승강기구가 적용될 경우에는 그에 따른 구성품들을 지지하는 기능으로 쓰일 수 있을 것이다.
상기와 같이 제 3실시 예에 따라 구성된 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치(500)의 작동관계를 설명하면 다음과 같다.
먼저, 클린 룸에서 크레인(40)을 이용하여 상부챔버(30)를 하부챔버로부터 분리시켜 들어올린 후, 수평이동시켜서 안착지지프레임(510)의 상부에 위치시킨 다음에 서서히 하강시킨다.
상기 상부챔버(30)의 저면이 안착지지프레임(510)의 사각 프레임(512) 면에 닿게 되면 크레인에 연결된 와이어(42)들을 상부챔버(30)의 연결고리(34)로부터 분리시킨다.
이때, 상기 상부챔버(30)는 안착지지프레임(510)의 사각 프레임(512) 상면에 형성된 탄성부재(515)와 밀착되는 바, 자중에 따른 마찰력에 의해 손상이 일어나지 않게 된다.
상기와 같이 안착지지프레임(510)의 사각 프레임(512) 상면에 상부챔버(30)가 안착지지된 상태에서 이송지지수단(600)은 상기 안착지지프레임(510)의 공간부(516)에 위치되도록 한다.
이와 같이 상기 이송지지수단(600)의 플레이트(610)가 상부챔버(30)의 각종 장비(예컨대, 상부전극 조립체)(32)와 동일수직선상에 위치되도록 한 후, 상기 승강지지수단의 승강기구(650)를 작동시켜서 리프트 핀(650)들이 승강되도록 하여 상기 리프트 핀(650)들의 단부가 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 지지하도록 한다.
이 상태에서 상기 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 유지/보수하거나 필요에 따라서는 분리시키면 된다.
이와 같이, 상기 승강지지수단의 리프트 핀(650)들에 의해 상부챔버(30)의 각종 장비(32)가 지지된 상태를 이루는 바, 낙하에 대한 우려가 없어 안전사고에 대한 불안감 없이 유지/보수 작업이 이루어질 수 있게 된다.
상기 상부챔버(30)의 각종 장비(32)를 분리시켜서 교체하고자 할 경우에는, 상기 각종 장비(32)를 지지하고 있는 승강지지수단의 리프트 핀(650)들을 하강시켜서 플레이트(610)에 각종 장비(32)가 안착되게 한 후, 안착지지프레임(510)의 공간부(516)로부터 이송지지수단(600)을 밖으로 빼내면 된다.
즉, 상기 이송지지수단(600)을 작업자가 수동으로 밀게 되면, 플레이트(610)의 양측면에 형성된 가이더(614)가 안착지지프레임(510)의 양쪽에 대향되게 형성된 가이드 레일(520)을 따라 수평이동되면서 바깥으로 빠져나오게 된다.
이때, 상기 이송지지수단(600)의 선단 양쪽에 설치된 구동부재(630)는 중량의 이송지지수단(600)을 바닥면에 지지시킴은 물론 수평이동에 따른 안내기능을 담당하게 되며, 상기 이송지지수단(600)의 후단쪽은 가이더(614)가 가이드 레일(520)에 개재된 상태를 이루는 바, 지지된 상태를 유지하게 됨으로써, 이송지지수단(600)이 안착지지프레임(510)에 대하여 수납됨에 있어서 아무런 문제는 발생되지 않는다.
이와 같이, 안착지지프레임(510)의 공간부에 대하여 이송지지수단이 빠져나오게 되면, 상부챔버(30)의 각종 장비(32)들을 탈거시킨 상태로 유지/보수한 후, 유지/보수된 각종 장비(32)들을 다시 장착시키거나 또는 새 장비를 장착시키고자 할 경우에는, 상기한 순서의 역순으로 하여 장착시키면 된다.
참고로, 상기 이송지지수단(600)을 수동이 아닌 자동으로 수납되게 구성할 수도 있다.
도시하지는 않았지만, 예컨대 앞선 제 2실시 예에서와 같이, 상기 플레이트(610)의 저부에 암나사공을 갖는 스크류 너트를 동일선상으로 일정간격마다 복수개 설치하고, 상기 스크류 너트의 암나사공에는 모터의 구동에 의해 회전되는 스크류 축을 체결한 후, 상기 모터의 구동으로 스크류 축을 회전시켜서 이 스크류 축이 체결된 스크류 너트에 의해 플레이트 전체가 직선이동을 하게 할 수도 있을 것이다.
이 경우에도 통상적인 직선이동기구, 즉 유압실린더에 의한 직선이동기구나, 리니어 모터를 이용한 직선이동기구 또는 컨베이어에 의한 직선이동기구 등을 적용할 수도 있음은 물론이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치에 의하면, 상부챔버의 내부에 설치되는 각종 장비(상부전극 조립체 등)를 유지/보수 하거나 또는 착탈하기 위하여 상기 상부챔버를 하부챔버로부터 분리시키고 이를 탑재대에 안착지지시킨 상태에서 180도 회전시킨 후 작업을 하지 않아도 되는 바, 그 작업시간이 단축되는 효과가 있다.
즉, 상부챔버를 하부에 소정의 공간을 갖는 안착지지프레임에 정방향으로 안착지지시킨 상태에서, 상기 안착지지프레임의 하부 공간부로 별도의 이송지지수단을 인입시켜 상부챔버에 설치된 각종 장비들을 지지시킨 상태로 유지/보수하거나 또는 착탈시킬 수 있게 됨으로써, 상부챔버의 회전에 따른 안전사고가 불식되는 바, 작업자가 안전사고에 대한 불안감 없이 용이하게 유지/보수 작업을 실행할 수 있게 되어 작업능률이 향상되는 효과가 있다.
또한, 상부챔버를 180도 회전시키지 않아도 됨으로써, 그에 따른 안전성 부여을 위한 각종 구성을 적용하지 않고도, 간단한 구성으로서 탑재장치를 제공할 수 있게 되는 바, 평판표시소자 제조장치의 유지/보수 비용이 저감되는 효과도 있다.

Claims (16)

  1. 중앙이 개방되고 바닥면에 지지되기 위한 복수의 지지부재가 설치되며 하부에는 일정크기의 공간부를 갖되, 그 상면에는 일정두께의 탄성부재가 설치된 안착지지프레임과;
    상기 안착지지프레임의 하부 공간부로 수납가능하고, 상하로 승강되는 승강지지수단이 설치된 이송지지수단으로 이루어지며,
    상기 이송지지수단은, 일정두께의 플레이트를 포함하고,
    상기 승강지지수단은, 상기 플레이트에 일정간격마다 형성된 핀홀들과, 상기 핀홀들을 관통하여 승강되는 리프트 핀들과, 상기 리프트 핀들을 승강시키게 되는 승강기구를 포함하는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 안착지지프레임은, 그 중앙이 개방된 프레임으로 이루어지고, 상기 프레임의 저부로부터 일정간격마다 바닥면에 지지되기 위한 지지부재가 설치된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 이송지지수단은, 상기 플레이트의 저면으로부터 일정간격마다 설치된 지지부재들과, 상기 지지부재들의 단부에 설치되어 바닥면에 대하여 이동이 가능하도록 한 구동부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  5. 삭제
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 승강기구는, 유압실린더에 의한 승강기구 또는 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 중, 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 이송지지수단은, 상기 안착지지프레임의 하부 공간부 일측으로부터 일정길이만큼 연장형성된 슬라이드 부재와,
    상기 슬라이드 부재에 대하여 직선이동되는 플레이트와,
    상기 플레이트를 상기 슬라이드 부재에 대하여 직선이동시키는 이송수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 슬라이드 부재와 플레이트는 LM가이드에 의한 체결로 슬라이드가 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 이송수단은, 볼 스크류에 의한 직선이동기구 또는 유압실린더에 의한 직선이동기구 또는 리니어 모터에 의한 직선이동기구 또는 컨베이어 벨트에 의한 직선이동 기구 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  10. 제 7항 또는 제 9항에 있어서,
    상기 플레이트의 저부에는 동일수직선상에 일정간격마다 복수의 스크류 너트가 설치되고, 상기 스크류 너트에는 모터의 구동에 따라 정역회전 되는 스크류 축이 체결된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  11. 삭제
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 승강기구는, 유압실린더에 의한 승강기구 또는 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 중, 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 안착지지프레임은, 그 중앙이 개방된 프레임으로 이루어지고, 상기 프레임의 저면으로부터 일정간격마다 바닥면에 지지되기 위한 지지부재가 설치되며, 상기 프레임의 아래쪽에는 양쪽으로 서로 대향되는 가이드 레일이 설치된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 이송지지수단은, 일정두께로 이루어지고 그 양측면에는 상기 가이드 레일을 따라 슬라이드 되는 가이더가 설치된 플레이트와, 상기 플레이트의 저면으로부터 일정간격마다 설치된 지지부재들과, 상기 지지부재들의 단부에 설치되어 바닥면에 대하여 이동이 가능하도록 한 구동부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
  15. 삭제
  16. 제 14항에 있어서,
    상기 승강기구는, 유압실린더에 의한 승강기구 또는 볼 스크류에 의한 승강기구 또는 리니어 모터에 의한 승강기구 중, 어느 하나인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치의 유지/보수용 탑재장치.
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