KR100509812B1 - 수직형 엘시디 패널 검사장치 - Google Patents

수직형 엘시디 패널 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR100509812B1
KR100509812B1 KR1020050007104A KR20050007104A KR100509812B1 KR 100509812 B1 KR100509812 B1 KR 100509812B1 KR 1020050007104 A KR1020050007104 A KR 1020050007104A KR 20050007104 A KR20050007104 A KR 20050007104A KR 100509812 B1 KR100509812 B1 KR 100509812B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
panel
guide
housing
vertical
plate
Prior art date
Application number
KR1020050007104A
Other languages
English (en)
Inventor
이상용
Original Assignee
(주)솔트론
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)솔트론 filed Critical (주)솔트론
Priority to KR1020050007104A priority Critical patent/KR100509812B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100509812B1 publication Critical patent/KR100509812B1/ko

Links

Classifications

    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E06DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06BFIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B9/00Screening or protective devices for wall or similar openings, with or without operating or securing mechanisms; Closures of similar construction
    • E06B9/24Screens or other constructions affording protection against light, especially against sunshine; Similar screens for privacy or appearance; Slat blinds
    • E06B9/26Lamellar or like blinds, e.g. venetian blinds
    • E06B9/266Devices or accessories for making or mounting lamellar blinds or parts thereof
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B29C66/40General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
    • B29C66/41Joining substantially flat articles ; Making flat seams in tubular or hollow articles
    • B29C66/43Joining a relatively small portion of the surface of said articles
    • B29C66/437Joining plastics plates for making venetian blinds
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E06DOORS, WINDOWS, SHUTTERS, OR ROLLER BLINDS IN GENERAL; LADDERS
    • E06BFIXED OR MOVABLE CLOSURES FOR OPENINGS IN BUILDINGS, VEHICLES, FENCES OR LIKE ENCLOSURES IN GENERAL, e.g. DOORS, WINDOWS, BLINDS, GATES
    • E06B9/00Screening or protective devices for wall or similar openings, with or without operating or securing mechanisms; Closures of similar construction
    • E06B9/24Screens or other constructions affording protection against light, especially against sunshine; Similar screens for privacy or appearance; Slat blinds
    • E06B9/26Lamellar or like blinds, e.g. venetian blinds
    • E06B9/38Other details
    • E06B9/386Details of lamellae

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)

Abstract

본 발명은 수직형 엘시디 패널 검사장치에 관한 것이다.
이는 특히, 상부에 개폐가능한 도어가 설치되며, 후방에 작업용 공간이 형성되는 하우징; 상기 하우징의 상부에서 x,y방향의 이동 및 틸팅이 가능토록 설치되는 패널공급부; 이송수단에 의해 하우징의 측면으로 노출토록 설치되며, 다양한 규격의 워크스테이지조립용 베이스플레이트를 구비하는 패널검사부; 상기 하우징의 내측에서 패널을 수직방향으로 교차이송하도록 설치되는 패널이송부를 포함하는 구성으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이에 따라서, 최소의 설치공간에서 검사작업이 수행되어 공간활용성을 극대화 할수 있게 되는 것이다.

Description

수직형 엘시디 패널 검사장치{A testing device for LCD Panel with a vertical type}
본 발명은 수직형 엘시디 패널 검사장치에 관한 것으로서 보다 상세하게로는, 배면에 작업공간을 갖는 하우징의 내측면 상부에 X,Y,θ방향 및 틸팅이 가능한 패널공급부가 설치되고, 상기 패널공급부로 부터 전달되는 패널을 수직방향으로 교차 이송하도록 패널이송부가 설치되며, 상기 패널이송부의 하부에 이송수단에 의해 하우징의 측면으로 노출토록 설치되면서 다양한 규격의 워크테이블을 수용하는 베이스플레이트를 구비하는 패널검사부가 설치되는 구성으로 최소의 공간에서 엘시디패널의 검사를 수행할수 있도록 하는 수직형 엘시디 패널 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 엘시디(Liquid Crystal Display, LCD) 패널, 유기 EL패널 등의 디스플레이 패널은 여러 단계의 제조 공정을 거쳐 제조되어지는 바, 이때 각 제조 공정, 예컨대, 납땜 등의 조립공정, TFT Glass의 제조, Color Filter 제조 공정, 합작, 액정주입, 불량 요인의 수리공정 등의 공정이 진행될 때 디스플레이 패널의 점등 상태를 테스트하는 소정의 점등 상태 테스트 공정을 진행하여 항상 일정 수준 이상의 점등 상태를 유지하는 양질의 제품만 출하되도록 하고 있다.
종래 기술에 따른 디스플레이 패널의 하나인 엘시디 패널 테스트 과정은 다음과 같다.
작업자가 테스트용 엘시디 패널을 지면에 대해 수평을 이루는 공급부에 공급하면, 공급부가 지면에 대해 경사진 각도(작업자가 테스트부에서 테스트되는 엘시디 패널을 가장 정확하게 볼 수 있는 각도)로 경사지게 회동되고, 이송부는 공급부에 공급된 엘시디 패널을 테스트부로 이동하며, 테스트부에서는 엘시디 패널과 테스트부가 전기적으로 접속되어 전기신호를 송수신함과 아울러, 엘시디 패널의 후광원이 점등되어 엘시디 패널을 통해 외부로 그 빛을 발산하도록 하고, 이 과정에서 작업자가 엘시디 패널을 육안으로 보면서 엘시디 패널의 전체적인 색상, 불량 화소율 등을 확인하여 엘시디 패널의 불량을 판정하게 된다.
그러나, 상기와 같은 패널검사장치는, 패널을 검사하기 위한 각각의 장치가 분리설치되어 연속공정에서의 일관된 검사작업이 힘들게 되는 단점이 있는 것이다.
그리고, 상기 패널검사장치는, 작업자의 작업성을 위하여 수평방향으로 공급부와 검사부를 갖는 하나의 검사장치와 검사부와 공급부를 갖는 다른 하나의 검사장치를 설치하나 이경우 공급부가 최대의 거리를 갖도록 되어 로보트에 의한 스윙시간이 증가되어 작업공간을 필요로 함은 물론 작업시간이 증가되는 단점이 있는 것이다.
또한, 로보트에 의한 작업성을 향상시키기 위하여 공급부를 상호 근접토록 검사장치를 설치하나 이경우 로보트에 의한 스윙은 최소화 되어 상기의 문제점은 해소되나 작업자의 이동량이 증가되어 작업자의 피로도를 상승시키는 단점이 있는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 최소의 설치공간에서 작업이 가능토록 하여 작업공간을 효율적으로 활용할 수 있도록 하며, 후방에 작업용 공간을 설치하여 수리가 손쉽게 이루어 지도록 하고, 워크테이블을 측면으로 배출하도록 하여 교환 및 수리 작업이 용이하게 이루어 지도록 하며, 로보트 및 작업자에 의한 작업부하를 최소화할 수 있도록 하는 수직형 엘시디 패널 검사장치를 제공하는 데 있다.
본 발명은 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 상부 및 측면에 개폐가능한 도어가 각각 설치되는 하우징;
상기 하우징의 내측면 상부에 연결되는 베이스의 상부에 틸팅가능토록 설치되는 프레임을 통하여 지지플레이트가 고정되고, 상기 지지플레이트의 x,y방향에 수직가이드레일과 수평가이드레일이 각각 설치되는 패널공급부;
상기 하우징의 내측에 설치되는 프레임의 상부에 무빙스테이지에 Y축이송이 가능토록 복수의 가이드레일이 각각 설치되고, 상기 무빙스테이지의 상부에 X,Y,θ방향으로 가변되는 워크테이블베이스가 설치되고, 상기 워크테이블베이스의 상부에 워크테이블이 장착되는 패널검사부; 및
상기 하우징의 내측면 정방에 수직방향으로 경사지게 설치되는 복수의 가이드레일에 가이드플레이트가 고정되고, 상기 가이드플레이트는 그 상부에 설치되는 LM가이드를 통하여 다수의 클램프를 구비하는 무빙플레이트가 연결되는 패널이송부를 포함하는 수직형 엘시디 패널 검사장치를 제공한다.
이하, 첨부된 도면에 의거하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도1은 본 발명에 따른 검사장치를 도시한 정면도이고, 도2는 본 발명에 따른 검사장치를 도시한 평면도이며, 도3은 본 발명에 따른 검사장치를 도시한 측면도이고, 도4는 본 발명에 따른 검사장치용 패널공급부를 도시한 사시도이고, 도5는 본 발명에 따른 검사장치용 워크스테이지를 도시한 사시도이며, 도6은 본 발명에 따른 검사장치용 캐리어를 도시한 사시도이고, 도7은 본 발명에 따른 검사장치용 베이스플레이트를 도시한 사시도이다.
도1 내지 도7에 도시한 바와같이 본 발명은 하우징(100)과 그 내측에 설치되는 패널공급부(200)및 패널검사부(300), 패널이송부(400)로서 이루어진다.
상기 하우징(100)의 상부및 측면에 개폐가능한 도어(110)(150)가 각각 설치되고, 후방에 내측으로 함몰되는 작업공간(130)이 일체로 형성된다.
상기 패널공급부(200)는, 하우징(100)의 내측면 상부에 연결되는 베이스(210)의 상부에 틸팅가능토록 설치되는 프레임(230)을 통하여 지지플레이트(250)가 고정되고, 상기 지지플레이트(250)의 x,y방향에 수직가이드레일(244)과 수평가이드레일(242)이 각각 설치되며, 상기 수평 및 수직가이드레일에 패널의 지지하는 다수의 지지바(246)가 설치된다.
상기 패널검사부(300)는, Z축모터(315)가 저면에 연결되는 프레임(310)의 상부에 무빙스테이지(330)의 Y축이송이 가능토록 복수의 가이드레일(317)이 각각 설치되고, 상기 무빙스테이지(330)의 상부에 X,Y,θ방향으로 가변되는 워크테이블베이스(370)가 설치되고, 상기 워크테이블베이스(370)의 상부에 워크테이블(미도시)이 장착된다.
그리고, 도 6의 상기 베이스플레이트(350)는, 내부에 소정의 관통홀을 갖는 베이스(351)의 상부면에 사각 형상으로 수평LM가이드(359)및 수직LM가이드(357)가 각각 설치되고, 수평LM가이드(359)에 수직방향의 무빙플레이트(355) 양단이 각각 연결되며, 수직LM가이드(357)에 수평방향의 무빙플레이트(353) 양단이 각각 연결된다.
계속하여, 상기 무빙플레이트(353)(355)는, 그 일단이 베이스(351)의 LM가이드에 이동가능토록 연결되는 링크(353b)(355a)로서 각각 연결되고, 수평방향의 무빙플레이트(353)를 연결하는 베이링(360)은 LM가이드(359)와 직교하는 방향으로 이송가능한 고정플레이트(360a)에 각각 연결된다.
상기 패널이송부(400)는, 하우징(100)의 내측면 정방에 수직방향으로 경사지게 설치되는 복수의 가이드레일(410)에 가이드플레이트(420)가 고정되고, 상기 가이드플레이트(420)는 그 상부에 설치되는 LM가이드(440)를 통하여 다수의 클램프(435)를 구비하는 무빙플레이트(430)가 연결되는 구성으로 이루어 진다.
미설명 도면부호인 500은 육안 검사용 현미경이고, 353a는 베이링이 고정되는 관통공이다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명의 작용을 설명하면 다음과 같다.
도1 내지 도7에서와 같이, 상기 하우징(100)의 상부에 설치되는 도어(110)를 통하여 패널공급부(200) 및 패널이송부(400)의 수리가 용이하게 이루어진다.
또한, 상기 하우지(100)의 후방에는 내측으로 함몰되는 작업공간(130)이 형성되어 운전중 작업자(W)가 상기 작업공간에서 장비를 정비할 수 있게 된다.
더하여, 상기 하우징(100)의 측면 역시 개폐가능한 도어(150)가 설치되어 패널검사부(300)를 측면으로 이송시켜 그 일부를 하우징의 외측에 노출시키도록 함으로써 정비가 손쉽게 이루어진다.
그리고, 로보트에 의해 하우징(100)의 후방에서 패널이 투입되면 상기 패널공급부(200)의 x,y방향 이송 및 틸팅동작에 의해 패널이송부(400)에 패널을 공급하게 된다.
이때, 상기 패널이송부(400)는 복수의 패널이 장착되면서 상, 하부에 소정의 간격을 유지하면서 교차 이송토록 설치 되어 패널검사부(300)에 패널을 순차로 공급하게 된다.
더하여, 상기 패널공급부(200)는, 틸팅되는 프레임(230) 및 x,y방향으로 이동하도록 설치되는 수직가이드레일(244)과 수평가이드레일(242)에 의해 수평상태로 투입되는 패널을 수직방향에 경사지게 설치되는 패널이송부(400)에 용이하게 공급한다.
상기 패널검사부(300)에 패널이 공급되면 워크스테이지에 장착되는 워크테이블을 통하여 거사를 수행한다.
이때, 상기 패널검사부(300)는, 무빙스테이지(330)의 상부에 설치되는 가이드레일(317)을 통하여 Y축이송이 가능토록 되어 하우징(100)의 측면에 설치되는 도어(150)를 개방한 후 상기 패널검사부(300)를 당기면 상기 패널검사부(300)가 외부에 노출되어 정비가 용이하게 된다.
그리고, 도 6의 점등 유니트를 지지하는 베이스플레이트(350)는 가로 및 세로방향의 폭조절이 가능토록 다양한 규격의 점등유니트 장착이 가능토록 된다.
상기 베이스플레이트(350)의 동작은 베이스(351)의 상부면에 사각 형상으로 설치되는 수평LM가이드(359) 및 수직LM가이드(357)에 수직방향의 무빙플레이트(355) 및 수평방향의 무빙플레이트(353) 양단이 각각 연결되어 이동함으로써 다양한 사이즈의 점등 유니트를 커버링하게 된다.
계속하여, 상기 무빙플레이트(353)(355)는, 그 일단이 베이스(351)의 LM가이드에 이동가능토록 연결되는 링크(353b)(355a)로서 각각 연결되어 휨 및 편심이동을 최소화하고, 수평방향의 무빙플레이트(353)를 연결하는 베이링(360)은 LM가이드(359)와 직교하는 방향으로 이송가능한 고정플레이트(360a)에 각각 연결되어 무빙플레이트의 각도 조절이 가능토록 된다.
이상과 같이 본 발명의 검사장치는 하우징의 내측면 수직방향에 패널공급과 패널이송 및 패널검사장치가 설치되어 컴팩트한 구성을 갖도록 되고, 상기와 같은 검사장치를 병렬로 설치할 경우 한사람의 작업자에 의해 작업상태의 감시가 가능토록 되는 것이다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, 최소의 설치공간에서 작업이 가능토록 하여 작업공간을 효율적으로 활용하며, 후방에 작업용 공간을 설치하여 수리가 손쉽게 이루어지고, 워크테이블을 측면으로 배출하도록 하여 교환 및 수리 작업이 용이하게 이루어 지며, 로보트 및 작업자에 의한 작업부하를 최소화하는 효과가 있다.
본 발명은 특정한 실시예에 관련하여 도시하고 설명하였지만, 이하의 특허청구범위에 의해 제공되는 본 발명의 정신이나 분야를 벗어나지 않는 한도내에서 본 발명이 다양하게 개량 및 변화될수 있다는 것을 당업계에서 통상의 지식을 가진자는 용이하게 알 수 있음을 밝혀 두고자 한다.
도1은 본 발명에 따른 검사장치를 도시한 정면도이다.
도2는 본 발명에 따른 검사장치를 도시한 평면도이다.
도3은 본 발명에 따른 검사장치를 도시한 측면도이다.
도4는 본 발명에 따른 검사장치용 패널공급부를 도시한 사시도이다.
도5는 본 발명에 따른 검사장치용 워크스테이지를 도시한 사시도이다.
도6은 본 발명에 따른 검사장치용 캐리어를 도시한 사시도이다.
도7은 본 발명에 따른 검사장치용 베이스플레이트를 도시한 사시도이다.
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100...하우징 130...작업공간
230...프레임 250...지지플레이트
317...가이드레일 350...베이스플레이트
370...워크테이블베이스 435...클램프

Claims (4)

  1. 상부 및 측면에 개폐가능한 도어(110)(150)가 각각 설치되는 하우징(100);
    상기 하우징(100)의 내측면 상부에 연결되는 베이스(210)의 상부에 틸팅가능토록 설치되는 프레임(230)을 통하여 지지플레이트(250)가 고정되고, 상기 지지플레이트(250)의 x,y방향에 수직가이드레일(244)과 수평가이드레일(242)이 각각 설치되는 패널공급부(200);
    상기 하우징(100)의 내측에 설치되는 프레임(310)의 상부에 무빙스테이지(330)에 Y축이송이 가능토록 복수의 가이드레일(317)이 각각 설치되고, 상기 무빙스테이지(330)의 상부에 X,Y,θ방향으로 가변되는 워크테이블베이스(370)가 설치되고, 상기 워크테이블베이스(370)의 상부에 워크테이블이 장착되는 패널검사부(300); 및
    상기 하우징(100)의 내측면 정방에 수직방향으로 경사지게 설치되는 복수의 가이드레일(410)에 가이드플레이트(420)가 고정되고, 상기 가이드플레이트(420)는 그 상부에 설치되는 LM가이드를 통하여 다수의 클램프(435)를 구비하는 무빙플레이트(430)가 연결되는 패널이송부(400)를 포함하는 구성으로 이루어진 수직형 엘시디 패널 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 베이스플레이트(350)는, 내부에 소정의 관통홀을 갖는 베이스(351)의 상부면에 사각 형상으로 수평LM가이드(359) 및 수직LM가이드(357)가 각각 설치되고, 수평LM가이드(359)에 수직방향의 무빙플레이트(355) 양단이 각각 연결되며, 수직LM가이드(357)에 수평방향의 무빙플레이트(353) 양단이 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 수직형 엘시디 패널 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 무빙플레이트(353)(355)는, 그 일단이 베이스(351)의 LM가이드에 이동가능토록 연결되는 링크(353b)(355a)로서 각각 연결되고, 수평방향의 무빙플레이트(353)를 연결하는 베이링(360)은 LM가이드(359)와 직교하는 방향으로 이송가능한 고정플레이트(360a)에 각각 연결되는 것을 특징으로 하는 수직형 엘시디 패널 검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하우징(100)은, 후방에 내측으로 함몰되는 작업공간(130)이 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직형 엘시디 패널 검사장치.
KR1020050007104A 2005-01-26 2005-01-26 수직형 엘시디 패널 검사장치 KR100509812B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050007104A KR100509812B1 (ko) 2005-01-26 2005-01-26 수직형 엘시디 패널 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050007104A KR100509812B1 (ko) 2005-01-26 2005-01-26 수직형 엘시디 패널 검사장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100509812B1 true KR100509812B1 (ko) 2005-08-23

Family

ID=37304239

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050007104A KR100509812B1 (ko) 2005-01-26 2005-01-26 수직형 엘시디 패널 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100509812B1 (ko)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105261319A (zh) * 2015-11-24 2016-01-20 广东威创视讯科技股份有限公司 屏幕检测装置及其检测方法
CN107861276A (zh) * 2017-12-22 2018-03-30 东莞市速美达自动化有限公司 一种液晶屏点亮检测设备
KR101901822B1 (ko) 2018-04-20 2018-09-27 삼승테크(주) 고니오 스테이지
CN110244156A (zh) * 2019-07-24 2019-09-17 赫顶(天津)工业技术有限公司 一种老化测试机

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105261319A (zh) * 2015-11-24 2016-01-20 广东威创视讯科技股份有限公司 屏幕检测装置及其检测方法
CN105261319B (zh) * 2015-11-24 2018-01-23 广东威创视讯科技股份有限公司 屏幕检测装置及其检测方法
CN107861276A (zh) * 2017-12-22 2018-03-30 东莞市速美达自动化有限公司 一种液晶屏点亮检测设备
KR101901822B1 (ko) 2018-04-20 2018-09-27 삼승테크(주) 고니오 스테이지
CN110244156A (zh) * 2019-07-24 2019-09-17 赫顶(天津)工业技术有限公司 一种老化测试机
CN110244156B (zh) * 2019-07-24 2024-04-16 赫顶(天津)工业技术有限公司 一种老化测试机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100509812B1 (ko) 수직형 엘시디 패널 검사장치
CN109297907B (zh) 一种用于矿物样品自动检测装置
KR101155961B1 (ko) 컨베이어가 1축을 대체한 2축 구동 검사장치
CN111065903B (zh) 检查装置
KR100731308B1 (ko) 엘씨디 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치
CN109084709A (zh) 一种自动检测装置
CN107564441B (zh) 一种自动光学检测装置及显示面板的检测系统
KR100665729B1 (ko) 엘시디 패널의 자동 검사장치
KR20040095036A (ko) 기판 검사장치
CN217931444U (zh) 一种用于pcb板的aoi测试设备
KR100810049B1 (ko) 엘씨디 패널 검사장치
CN207502420U (zh) 一种用于盖板玻璃生产的溶解缺陷检查装置
KR20120060348A (ko) 기판 수리 장치
CN210741809U (zh) Micro OLED寿命自动检测机
KR101708488B1 (ko) 오토 프로브 검사 장치
KR20100067258A (ko) 슬라이딩 피씨비 방식의 프로브회로기판의 착탈부를 구비한프로브 유닛
CN213843698U (zh) 液晶屏检测设备
KR101017626B1 (ko) Lcd검사 장비용 얼라인먼트 스테이지
KR101300098B1 (ko) 기판 검사 장치 및 방법
CN109590566B (zh) 在线式激光指引返修设备
KR100665728B1 (ko) 엘시디 검사장치용 패널 이송방법 및 장치
KR20040082352A (ko) 엘시디 검사라인용 검사로봇
KR20060118883A (ko) 패널 검사장치
KR100811544B1 (ko) 평면 디스플레이 검사및 결함제거장치
KR200382994Y1 (ko) 엘시디 검사용 패널이송장치의 무빙플레이트

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120706

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130819

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee