CN101306756B - 基底传送装置和用在该基底传送装置中的基底引导单元 - Google Patents

Abstract

一种基底传送装置，包括多个成排布置的轴和安装在各个所述轴上以随所述轴一起旋转的传送辊。引导单元被设置成这样：当基底通过所述传送辊的旋转而传送时，所述引导单元防止基底在侧向上摇动。所述引导单元包括：内环，它形成有让所述轴插入其中的通孔；外环，它形成有让所述内环插入其中的通孔；以及轴承，它设置在所述内环和所述外环之间，从而允许所述内环和所述外环独立地旋转。所述外环包括在侧向上从所述外环的外周面突出的环形引导件。所述外环的外周面与基底的底部边缘接触从而支撑基底，并且所述引导件的侧面与基底的侧部接触从而防止基底在侧向上运动。所述内环随所述轴一起运动，并且所述外环通过与基底的摩擦力而旋转。

Description

基底传送装置和用在该基底传送装置中的基底引导单元

相关申请的交叉参考 

[0001]本申请要求于2007年5月14日提交的第2007-46602号韩国专利申请的优先权，并在此将该韩国专利申请的全部内容引入作为参考。 

技术领域

本发明涉及在制造基底时用到的装置，更具体地说，涉及基底传送装置和用在该基底传送装置中的引导单元。

背景技术

最近，具有多种功能和更高数据处理速度的数据处理装置迅速发展起来。每个这些数据处理装置包括被设置成用于显示运算信息的显示器。虽然通常将阴极射线管(CRT)用作显示器，但随着最近半导体技术的迅猛发展，平板显示器的使用显著增加。平板显示器具有轻盈和占据空间小的优点。虽然存在很多种平板显示器，但由于液晶显示器(LCD)具有低能耗、体积小和驱动电压低的优点，因此LCD已经被广泛使用。

要进行多项处理来制造这些平板显示器。用于平板显示器的基底由传送装置传送到在其中进行各项处理的室中。在处理室中，在处理期间传送基底。图1描述了传统的传送装置900，图2是图1中示出的基底和侧辊的放大立体图。参照图1和图2，传送单元900包括被布置成彼此平行的可旋转的轴920和设置在轴920上从而随轴920一起旋转的传送辊940。在各轴920之间安装有用于支撑基底S侧面的侧辊960，从而引导基底S的线性传送。轴920和传送辊940的旋转力能使基底S作线性运动，并且基底S的线性运动能使侧辊960旋转。

然而，除非精确设置侧辊960的位置，否则基底S的侧部容易与侧辊960碰撞而损坏基底S。而且，如果运动着的基底S上下摇动，那么在基底S和侧辊960之间沿侧辊960的长度方向容易产生摩擦力，因而损坏基底S。

发明内容

本发明的示例性实施例涉及一种基底传送装置。在一示例性实施例中，所述基底传送装置可以包括：多个成排布置的可旋转的轴；与所述轴固定结合从而随所述轴一起旋转的传送辊；以及引导单元，它被设置成用于引导由所述传送辊传送的基底的线性运动，所述引导单元包括外环，所述外环具有与基底底部边缘接触的外周面和从所述外周面向外突出并用于与基底侧部接触的引导件，其中所述引导单元还包括：内环，它具有让所述轴插入其中的通孔，所述内环与所述轴结合从而随所述轴一起旋转，并且所述内环插入到在所述外环的中心处形成的通孔中；以及轴承，它们布置在所述内环和所述外环之间，从而允许所述内环和所述外环独立地旋转。

在另一示例性实施例中，所述基底传送装置可以包括：多个成排布置的可旋转的轴；多个传送辊，所述传送辊与所述轴固定结合从而随所述轴一起旋转；以及引导单元，它被设置成用于引导由所述传送辊传送的基底的线性运动，并且与所述轴结合，其中所述引导单元包括：内环，它具有让所述轴插入其中的通孔，并且被安装成通过所述轴的旋转而随所述轴一起旋转；外环，它形成有让所述内环插入其中的通孔，所述外环包括与基底底部边缘接触的外周面和从所述外周面向外突出并支撑基底侧部的引导件；以及轴承，它们设置在所述内环和所述外环之间，从而允许所述内环和所述外环独立地旋转。

本发明的示例性实施例涉及一种引导单元，所述引导单元被设置在基底传送装置上从而引导基底的线性运动。在一示例性实施例中，所述引导单元可以包括：外环，它具有形成有通孔的中心，并且包括从其外周面向外延伸的引导件；内环，它插入所述外环的通孔中，所述内环具有形成有通孔的中心；以及设置在所述外环和所述内环之间的多个轴承。

附图说明

图1是传统基底传送装置的立体图。

图2是图1中示出的基底和侧辊的放大立体图。

图3描述了具有本发明基底传送装置的基底处理设备的例子。

图4是本发明示例性实施例的基底传送装置的立体图。

图5是已拆开的图4中所示引导单元的截面图。

图6是已组装的图4中所示引导单元的截面图。

图7是与轴固定结合的图4中所示引导单元的立体图。

图8是图5中示出的楔子的立体图。

图9是图5中示出的帽盖的立体图。

图10和图11分别描述了在楔子完全插入内环的子体中之前的状态和楔子完全插入内环的子体中的状态。

图12描述了本发明引导单元以不同于图4中所示方向的方向与轴结合的状态。

图13和图14分别描述了修改的本发明引导单元的例子。

图15和图16描述了修改的图4中所示基底传送装置的例子。

具体实施方式

下面参照附图对本发明作更加全面的描述，在这些附图中示出了本发明的优选实施例。然而，本发明可以用很多不同的形式实施，而不应当被理解为受此处描述的实施例的限制。相反，提供这些实施例是为了使本发明的公开彻底和完整，并且充分地向本领域技术人员传达本发明的范围。在附图中，为清楚起见扩大了各层和区域的厚度。

虽然本发明的实施例将会指定用于制造液晶显示器板子的矩形玻璃基底，但本发明并不限于此并且可以应用于任何用于传送矩形工件的装置。

图3描述了具有本发明的基底传送装置20的基底处理设备1。参照图3，基底处理设备1包括多个室10、基底传送装置20和化学品喷射部件30。每个室10限定了对基底S进行处理的空间。基底传送装置20使基底S在各室10之间和每个室10的内部作线性运动。化学品喷射部件30安装在室10中，并根据对基底S进行的处理类型而供应诸如清洁溶液或蚀刻溶液等化学品。下面对这些部件作详细描述。

每个室10可以具有大致呈空心长方体的形状。在各个室10的一侧上形成有入口12，在另一侧上形成有出口14。经由入口12将基底S放入室10中，经由出口14将基底S从室10中取出。基底S从这些室10之中的最前端的室运动到这些室10之中的最后端的室。基底S在各个室10内受到预设的处理。例如，可以在这些室10之中的一个室10a内进行清洁处理；可以在位于进行清洁处理的室10a前面的室10b内进行清洁处理；并且可以在位于进行清洁处理的室10a后面的室10c内进 行干燥处理。在进行清洁处理的室10a的情况下，化学品喷射部件30可以包括被设置成用于向基底S的顶面喷射清洁溶液的上喷射部件32和被设置成用于向基底S的底面喷射清洁溶液的下喷射部件34。

基底传送装置20被设置在各个室10内。图4是图3中示出的基底传送装置20的立体图。参照图3和图4，基底传送装置20包括多个传送辊120、多个轴140和引导单元200。轴140线性地布置在每个室10内，并且被设置为从邻近于入口12的位置到邻近于出口14的位置。上述多个传送辊120在轴140的长度方向上与各个轴140固定结合。各轴140借助于驱动部件(图未示)而绕它们的中心轴线旋转，并且传送辊120随轴140一起旋转。

驱动部件可以是包括轮子、传动带和电动机的组件。包括轮子、传动带和电动机的组件在现有技术中是众所周知的，因此不再作更详细的描述。轴140和传送辊120借助于驱动部件而旋转，并且当基底S的底面与传送辊120接触时，基底S就沿轴140作线性运动。每个轴140水平布置着，从而水平地传送基底S。

引导单元200布置在轴140的两端从而引导基底S的线性运动。引导单元200在侧向上支撑基底S的侧部S1，从而防止基底S在基底S的运动方向上左右摇动。在基底S的四个侧部中，上述侧部S1平行于基底S的运动方向。

图5是引导单元200的分解截面图，图6是已组装的引导单元200的截面图。图7是与各轴固定结合的已组装的引导单元200的立体图。

参照图5～图7，引导单元200包括外环220、内环240、保持架250、轴承260和固定部件270。

外环220可以具有大致呈圆柱的形状，在该圆柱的中心处形成有第一通孔222。将外环220布置成让其中心轴线与轴140的中心轴线在同一直线上。由于外环220具有与传送辊120相同的直径，因此基底S与传送辊120的外周面和外环220的外周面接触。

引导件230沿外环220的径向从外环220的外周面224的中心区域向外环220的外侧延伸。引导件230可以具有大致呈圆环的形状。离 外环220的中心越远，引导件230的厚度变得越小。引导件230与基底S的侧部接触，从而防止基底S在侧向上运动。

引导件230具有倾斜面232，倾斜面232相对于外环220的外周面224以一钝角倾斜。引导件230相对于轴线702是对称的，轴线702垂直于外环220的中心轴线701。当基底S在上下方向或左右方向上摇动时，倾斜面232引导摇动着的基底S从而使其载于外环220的外周面224上。可选择地，引导件230可以具有垂直于外环220的外周面224的表面。

基于引导件230，将外环220的外周面224划分为两个区域，即，第一外周面224a和第二外周面224b。引导件230的倾斜面232包括第一倾斜面232a和第二倾斜面232b。第一倾斜面232a邻近于第一外周面224a，第二倾斜面232b邻近于第二外周面224b。首先，将引导单元200设置成使第一外周面224a面向基底S。因而，第一外周面224a与基底S的底面接触，并且第一倾斜面232a与基底S的侧部S1接触。如果第一外周面224a和第一倾斜面232a由于磨损等原因而变劣，那么可以改变引导单元200的安装方向，从而使第二外周面224b面向基底S。在这种情况下，第二外周面224b与基底S的底面接触从而支撑基底S，并且第二倾斜面232b与基底S的侧部S1接触。图12描述了安装成与图6所示方向相反的引导单元200。

如图所示，引导件230从外环220的外周面224的中心区域向外环220的外侧延伸。然而，在该实施例中，中心区域不仅包括外环220的外周面224的中心，还包括除了用于提供第一外周面224a和第二外周面224b的外环220的外周面224两端以外的区域。

内环240插入外环220的第一通孔222中。内环240可以具有大致呈圆柱的形状，在该圆柱的中心处形成有第二通孔242。轴140插入第二通孔242中。内环240与轴140固定结合，从而由于轴140的旋转力而随轴140一起旋转。例如，可以将轴140强制性地插入内环240中。

内环240包括主体240a和子体240b。在主体240a的中心处形成的第二通孔部分242a被设置成具有与轴140大约相同的直径并且沿轴 140的长度方向具有规则的直径。在子体240b中形成的第二通孔部分242b从在主体240a的中心处形成的第二通孔部分242a延伸，并且被设置成随着远离内环240时其直径增大。也就是说，设置在主体240a中的第二通孔242a具有大致呈圆柱的形状，而设置在子体240b中的第二通孔242b具有大致呈圆锥的形状。在子体240b的外周面上形成有螺纹246。

多个轴承260和一保持架250插入外环220和内环240之间。保持架250可以具有大致呈圆环的形状。沿保持架环250的侧面形成有圆形通孔252。轴承260插入通孔252中，从而可旋转地布置在通孔252中。轴承260从保持架250中部分地向内和向外突出。在内环240的外周面244和外环220的内周面226上分别形成有彼此对应的凹槽248和凹槽228。从保持架250中突出的轴承260的部分区域插入凹槽228和凹槽248中。轴承260沿保持架250的圆周部以环状方式布置着，彼此间隔一定间距。提供了多个环状布置。在该实施例中，描述了两排轴承260。因而，分担了施加到轴承260上的载荷，从而延长轴承260的寿命。

由于使用了轴承260，因此外环220和内环240可以独立地旋转而不受它们的旋转的干扰。也就是说，内环240通过轴140的旋转力而旋转，外环220通过与基底S的摩擦力而旋转。

轴140插入并穿过内环240的第二通孔242。固定部件270可以包括楔子280和加压部件。

图8是图5中示出的楔子280的立体图。参照图5和图8，在楔子280的中心处形成有第三通孔282，并且轴140(见图4)穿过第三通孔282。楔子280可以具有大致呈圆锥的形状。楔子280具有与内环240的子体240b大约相同的长度，并且插入子体240b的第二通孔242b中。第三通孔282被设置成在楔子280的长度方向上具有相同的尺寸。楔子280可以由弹性材料制成。由于楔子包括纵向上的切口部分，因此楔子具有彼此相对并且彼此隔开的第一段284a和第二段284b。在楔子280的两个面中，小面积的面称为正面285，大面积的面称为背面286。楔子280的背面286被设置成大致为平面。楔子280插在轴140上(见图4)，从而使其正面285面向内环240。

第一段284a和第二段284b之间的距离d₂随着施加到楔子280外侧表面上的压力而增大。如果距离d₂增大，则第三通孔282的直径d₁也增大。如果距离d₂减小，则直径d₁也减小。在没有外部压力的状态下，第三通孔282的直径d₁被设置为大于轴140的直径(见图4)。在从外部施加压力从而使第一段284a和第二段284b相互接触的状态下，楔子280的通孔的直径d₁被设置为等于或稍微小于轴140的直径。

图9是图5中示出的加压部件的立体图。参照图5和图9，加压部件被设置成用于将楔子280向内环240的主体240a推压。加压部件可以包括其中形成有第四通孔294a的帽盖290。第四通孔294a形成在帽盖290的中心处。帽盖290包括本体292和设置在本体292后端的加压壁294，本体292具有让内环240的子体240b插入其中的空间。在本体292的内周面上形成有螺纹293，螺纹293对应于在内环240的子体240b上形成的螺纹246。第四通孔294a在加压壁294的中心处形成，并且轴140(见图4)插入第四通孔294a中。如果帽盖290旋转至与内环240以螺旋方式结合并且向前运动至主体240a，则加压壁294将插入在子体240b的第二通孔242b中的楔子280向主体240a推压。

图10和图11描述了通过固定部件270将引导单元200固定到轴140上的步骤。首先，如图10所示，楔子280插入子体240b的第二通孔242b中，其插入方向为楔子280的正面285面对着内环240的主体240a。帽盖290与内环240以螺旋方式结合，从而使楔子280在子体240b内部向主体240a运动。如图11所示，如果第一段284a和第二段284b之间的距离d₂减小并且楔子运动了预定距离，则第一段284a和第二段284b相互接触。因此，楔子280首先插入子体240b中，此时楔子280的内表面283与轴140有间隔。然而，当楔子向主体240a运动时，楔子280的内表面283与轴140接触。然后，将压力施加到轴140上，从而使轴140与内环240固定结合。

下面描述将引导单元200与轴140组装和结合起来的方法。参照图6，将外环220、内环240、保持架250和轴承260组装起来。将轴承260插入保持架环250的各个通孔252中。将内环240强制性地插入保持架250的内部空间254中，从而使保持架250覆盖内环240。将保持架 250和内环240的组装体强制性地插入外环220的第一通孔222中。将轴140插入包括内环240、保持架250、轴承260和外环220的组装体中，然后插入楔子280和帽盖290中，从而使轴140依次插入内环240的第二通孔242、楔子280的第三通孔282和帽盖290的第四通孔294a中。帽盖290与内环240的子体240b以螺旋方式结合，从而将内环240固定到轴140上。

图12描述了引导单元200以与图6中所示方向相反的方向进行安装的状态。参照图12，与前面描述的类似，内环240、保持架250、轴承260和外环220被组装起来。与前述相反，轴140依次插入帽盖290和楔子280中。然后轴140插入包括内环240、保持架250、轴承260和外环220的组装体中。帽盖290与内环240的子体240b以螺旋方式结合，从而将内环240固定到轴140上。

下面描述本发明的修改的实施例。

图13描述了修改的引导单元200′。参照图13，引导单元200′包括具有不同于前述实施例的结构的内环240′。内环240′包括一个主体240a和两个分别设置在主体240a两侧的子体240b。因此，当引导单元200′以改变的安装方向插入到轴140上时，楔子280和帽盖290更容易与内环240结合。

图14描述了另一种修改的引导单元200″。参照图14，引导单元200″包括具有不同于前述实施例的结构的外环220″。外环220″包括沿着向外侧方向(径向)从其外周面的端部延伸的引导件230。如果引导单元200″中的外环220″的外周面224和倾斜面232变劣，则外环220″或引导单元200″可以用新的替换。

图15描述了修改的基底传送装置20′。虽然前述实施例的引导单元安装在安装有传送辊120的轴140上，但是基底传送装置20′的引导单元200却固定地安装在各个安装有传送辊120的轴140之间的独立轴142上。

图16描述了修改的基底传送装置20″。图2中示出的基底传送装置20传送水平状态的基底S，并且包括安装在轴140两侧的引导单元 200。然而，如图16所示，轴140倾斜着从而传送倾斜状态的基底S。在图16中，附图标记“α”表示轴的倾斜角度。引导单元200安装在轴140的两侧中较低的一侧上。

根据本发明，在传送基底过程中，基底的侧部受到保护而免于损坏。根据本发明的一个实施例，引导单元的安装方向可以改变，从而延长引导单元的寿命。根据本发明的另一个实施例，由于引导单元与安装有传送辊的轴固定结合，因此引导单元容易安装。

虽然结合附图中示出的本发明实施例对本发明进行了描述，但本发明并不受所述实施例的限制。对本领域技术人员显而易见的是，在不脱离本发明的范围和精神的情况下，可以对本发明作各种替换、修改和变化。

Claims (26)

1.一种基底传送装置，包括：

多个成排布置的可旋转的轴；

与所述轴固定结合从而随所述轴一起旋转的传送辊；以及

引导单元，它被设置成用于引导由所述传送辊传送的基底的线性运动，所述引导单元包括外环，所述外环具有与基底底部边缘接触的外周面和从所述外周面向外突出并用于与基底侧部接触的引导件，

其中所述引导单元还包括：

内环，它具有让所述轴插入其中的通孔，所述内环与所述轴结合从而随所述轴一起旋转，并且所述内环插入到在所述外环的中心处形成的通孔中；以及

轴承，它们布置在所述内环和所述外环之间，从而允许所述内环和所述外环独立地旋转。

2.根据权利要求1所述的基底传送装置，其中所述引导单元还包括环形保持架，所述保持架布置在所述内环和所述外环之间并且具有圆周部，在所述圆周部上形成有让所述轴承插入其中的孔。

3.根据权利要求2所述的基底传送装置，其中所述轴承被设置为从所述保持架向内和向外突出，

并且在所述内环和所述外环上分别形成有凹槽，从所述保持架环中突出的所述轴承部分地插入所述凹槽中。

4.根据权利要求2所述的基底传送装置，其中所述轴承被布置得形成多个环状排列。

5.根据权利要求1所述的基底传送装置，其中所述引导单元还包括被设置成用于将所述内环固定在所述轴上的固定部件。

6.根据权利要求5所述的基底传送装置，其中所述内环包括：

在长度方向上形成有通孔的主体，所述主体的通孔的直径与所述轴的直径相同；以及

形成有通孔的子体，所述子体的通孔的直径随着远离所述主体而增大，所述子体从所述主体延伸，

所述固定部件包括楔子，所述楔子具有与所述子体的通孔相同的形状，并且具有在其长度方向上被切开从而形成彼此面对的第一段和第二段的侧部，

当所述楔子从所述子体内部向所述主体运动时，所述第一段和所述第二段之间的距离减小。

7.根据权利要求6所述的基底传送装置，其中所述楔子含有弹性材料。

8.根据权利要求6所述的基底传送装置，其中所述楔子具有圆锥形状。

9.根据权利要求6所述的基底传送装置，其中所述固定部件还包括帽盖，所述帽盖被设置成用于将所述楔子从所述子体内部向所述主体推压。

10.根据权利要求9所述的基底传送装置，其中在所述子体的外周面上形成有螺纹，

在所述帽盖的中心处形成有通孔，并且所述轴插入所述帽盖的通孔中，

在所述帽盖的内周面上形成有与所述子体的螺纹相对应的螺纹。

11.根据权利要求10所述的基底传送装置，其中所述子体被设置在所述主体的两侧。

12.根据权利要求1所述的基底传送装置，其中所述引导件包括倾斜面，所述倾斜面被设置为与所述外环的外周面成一钝角。

13.根据权利要求1所述的基底传送装置，其中所述引导件从所述外环的外周面的中心部分处突出。

14.根据权利要求12所述的基底传送装置，其中所述倾斜面被设置在所述引导件的两侧。

15.一种基底传送装置，包括：

多个成排布置的可旋转的轴；

多个传送辊，所述传送辊与所述轴固定结合从而随所述轴一起旋转；以及

引导单元，它被设置成用于引导由所述传送辊传送的基底的线性运动，并且与所述轴结合，

其中所述引导单元包括：

内环，它具有让所述轴插入其中的通孔，并且被安装成通过所述轴的旋转而随所述轴一起旋转；

外环，它形成有让所述内环插入其中的通孔，所述外环包括与基底底部边缘接触的外周面和从所述外周面向外突出并支撑基底侧部的引导件；以及

轴承，它们设置在所述内环和所述外环之间，从而允许所述内环和所述外环独立地旋转。

16.根据权利要求15所述的基底传送装置，其中所述内环包括：

在长度方向上形成有通孔的主体，所述主体的通孔的直径与所述轴的直径相同；以及

形成有通孔的子体，所述子体的通孔的直径随着远离所述主体而增大，所述子体从所述主体延伸，

所述引导单元包括楔子，所述楔子的中心处形成有让所述轴插入其中的通孔，所述楔子的侧部在其长度方向上被切开从而形成彼此面对的第一段和第二段，所述楔子插入所述子体的通孔中从而将所述轴固定在所述内环上，

并且当所述楔子从所述子体内部向所述主体运动时，所述第一段和所述第二段之间的距离减小。

17.根据权利要求16所述的基底传送装置，其中所述引导单元还包括：

帽盖，它被设置成用于将所述楔子从所述子体内部向所述主体推压，在所述帽盖的中心处形成有让所述轴插入其中的通孔，

在所述子体的外周面上形成有螺纹，

并且在所述帽盖的内周面上形成有与所述子体的螺纹相对应的螺纹。

18.一种引导单元，所述引导单元被设置在基底传送装置上从而引导基底的线性运动，所述引导单元包括：

外环，它具有形成有通孔的中心，并且包括从其外周面向外延伸的引导件；

内环，它插入所述外环的通孔中，所述内环具有形成有通孔的中心；以及

设置在所述内环和所述外环之间的多个轴承。

19.根据权利要求18所述的引导单元，还包括：

布置在所述内环和所述外环之间的保持架，

其中在所述保持架的外周面上形成有孔，并且所述轴承插入所述孔中。

20.根据权利要求19所述的引导单元，其中所述轴承被布置在所述保持架环上，从而形成多个环状排列。

21.根据权利要求19所述的引导单元，其中在所述内环和所述外环上形成有多个凹槽，并且所述轴承部分地插入所述凹槽中。

22.根据权利要求19所述的引导单元，其中所述引导件从所述外环的中心区域突出。

23.根据权利要求19所述的引导单元，其中所述引导件为环形形状。

24.根据权利要求19所述的引导单元，其中所述内环包括：

在长度方向上形成有通孔的主体，所述主体的通孔的直径与用于传送基底的轴的直径相同；以及

形成有通孔的子体，所述子体的通孔的直径随着远离所述主体而增大，所述子体从所述主体延伸，

所述引导单元包括楔子，所述楔子插入所述子体的通孔中，并且具有在其长度方向上被切开从而形成彼此面对的第一段和第二段的侧部，

当所述楔子从所述子体内部向所述主体运动时，所述第一段和所述第二段之间的距离减小。

25.根据权利要求24所述的引导单元，还包括：

帽盖，它被设置成用于将所述楔子从所述子体内部向所述主体推压。

26.根据权利要求25所述的引导单元，其中在所述子体的外周面上形成有螺纹，

在所述帽盖的中心处形成有让所述轴插入其中的通孔，

并且在所述帽盖的内周面上形成有与所述子体的螺纹相对应的螺纹。

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