KR20130056664A - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 이송 장치는 복수의 제1 이송 샤프트들, 제1 마그네틱 디스크들, 복수의 제2 이송 샤프트들, 제2 마그네틱 디스크들 및 구동부를 포함한다. 상기 복수의 제1 이송 샤프트들은 일 방향을 따라서 나란하게 배열된다. 상기 제1 마그네틱 디스크들은 상기 제1 이송 샤프트들의 일단에 구비된다. 상기 복수의 제2 이송 샤프트들은 상기 제1 이송 샤프트들과 이격 되어 같은 길이 방향으로 배치된다. 상기 제2 마그네틱 디스크들은 상기 제2 이송 샤프트들의 일단에 구비되고 상기 제1 마그네틱 디스크와 마주하여 상기 제1 마그네틱 디스크와 자력에 의한 커플링을 형성하여 상기 제1 마그네틱 디스크로 회전력을 전달한다. 상기 구동부는 상기 제1 이송 샤프트들을 구동한다.

Description

기판 이송 장치{A SUBSTRATE TRANSPORTATION APPARATUS}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 자력을 이용한 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판 디스플레이 소자는 대면적을 갖는 투명한 유리 재질의 기판을 기초로 하여 제조된다. 그리고 상기 평판 디스플레이 소자의 제조에서는 나란하게 배열되는 이송 샤프트들을 구비하는 이송 장치를 사용하여 상기 유리 재질의 기판을 이송한다. 이는 상기 유리 기판의 재질이 대면적을 갖기 때문이다. 특히, 대면적의 유리 기판을 이송하는 경우 사용되는 디스크도 대형으로 제작된다.
이러한 대형의 디스크를 사용하여 대형 기판을 이송하는 경우 디스크 자체의 하중이 크기 때문에 이로 인한 많은 부작용이 발생한다. 대표적인 것이 상기 대형 디스크의 하중으로 인한 이송 샤프트의 휨 현상이다.
상기 이송 샤프트가 휘어지는 경우 각 이송 샤프트에 대한 휨 정도의균일성을 확보할 수 없고, 상기 대형 기판의 이송 높이가 각각 달라지기 때문에, 기판이 높이가 불안정하다. 또한, 상기 이송 샤프트가 휘어지는 경우 상기 이송 샤프트를 지지하기 위한 구동용 베어링이 과부하로 인하여 깨어지거나 파손되는 경우가 발생한다.
이러한 단점을 보완하기 위하여 대형 디스크를 이용하는 이송 샤프트의 중간에 중간 커플링을 별도로 설치하여 이를 보완하나, 상기 중간 커플링은 수명이 길지 않아 자주 교체하여야 하고, 고가의 재료를 사용하여 형성하기 때문에, 비용이 매우 증가하게 된다.
따라서 본 발명의 실시예들을 통해 해결하고자 하는 과제는 마그네틱 디스크를 이용하여 이송 샤프트의 처짐이 없는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위해 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 복수의 제1 이송 샤프트들, 제1 마그네틱 디스크들, 복수의 제2 이송 샤프트들, 제2 마그네틱 디스크들 및 구동부를 포함한다. 상기 복수의 제1 이송 샤프트들은 일 방향을 따라서 나란하게 배열된다. 상기 제1 마그네틱 디스크들은 상기 제1 이송 샤프트들의 일단에 구비된다. 상기 복수의 제2 이송 샤프트들은 상기 제1 이송 샤프트들과 이격 되어 같은 길이 방향으로 배치된다. 상기 제2 마그네틱 디스크들은 상기 제2 이송 샤프트들의 일단에 구비되고 상기 제1 마그네틱 디스크와 마주하여 상기 제1 마그네틱 디스크와 자력에 의한 커플링을 형성하여 상기 제1 마그네틱 디스크로 회전력을 전달한다. 상기 구동부는 상기 제1 이송 샤프트들을 구동한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1 및 제2 이송 샤프트들은 베어링 디스크를 더 포함할 수 있다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 기판 이송 장치는 이송 샤프트의 중심이 마그네틱 디스크에 의해서 커플링 되기 때문에, 상기 마그네틱 디스크 간의 장력이 발생한다. 상기 마그네틱 디스크에 작용하는 장력은 상기 마그네틱 디스크가 아래로 쳐지는 것을 방지한다. 따라서 대형 디스크를 사용하더라도 이송 샤프트의 휨 현상을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 I-I'를 따라 절단한 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유체 분사 장치에 대하여 상세히 설명한다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 발명의 명확성을 기하기 위해 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 설명하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다. 제 1, 제 2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제 1 구성요소는 제 2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성요소도 제 1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송 장치의 평면도이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 기판 이송 장치(1000)는 복수의 제1 이송 샤프트들(210), 제1 마그네틱 디스크들(110), 복수의 제2 이송 샤프트들(220), 제2 마그네틱 디스크들(120) 및 구동부(500)를 포함한다.
여기서, 상기 기판 이송 장치(1000)는 평판 디스플레이 장치를 제조하기 위한 유리 재질의 대면적 기판을 이송하기 위하여 바람직하게 사용할 수 있다. 이에, 상기 기판 이송 장치(1000)는 액정 디스플레이 장치(LCD)로 제조하기 위한 유리 기판, 플라즈마 디스플레이 장치(PDP)를 제조하기 위한 유리 기판 등을 이송하는데 사용한다. 또한, 상기 기판 이송 장치(1000)는 공정이 직접적으로 수행되는 공간, 즉 식각 공정, 세정 공정, 건조 공정 등을 수행하기 위한 공정 챔버 내에 설치되어도 무방하고, 상기 공정 챔버 사이에 위치하는 이송 챔버 내에 설치되어도 무방하다.
상기 복수의 제1 이송 샤프트들(210)은 일 방향(D1)을 따라서 나란하게 배열된다. 상기 복수의 제2 이송 샤프트들(220)은 상기 제1 이송 샤프트들(210)과 이격 되어 같은 길이 방향(D1)으로 배치된다. 상기 제1 이송 샤프트들(210) 및 제2 이송 샤프트들(220)은 기판이 이송되는 방향과 수직으로 배치되어 서로 회전운동을 통하여 상기 기판을 이송한다. 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)들은 공정 챔버, 이송 챔버 등과 같은 작업 공간에 배열될 수 있다. 이때, 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)들은 기판의 이송 경로를 기준으로 상기 작업 공간 내부로 기판이 유입되는 유입구와 인접한 위치로부터 상기 작업 공간 외부로 기판이 유출되는 유출구 와 인접한 위치까지 배열되게 구비된다. 그러므로 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)들은 상기 기판의 이송에 영향을 끼치지 않는 범위 내에서 다수개가 서로 나란하게 배열될 수 있다.
상기 제1 마그네틱 디스크들(110)은 상기 제1 이송 샤프트들(110)의 일단에 구비된다. 상기 제2 마그네틱 디스크들(120)은 상기 제2 이송 샤프트들(220)의 일단에 구비되고 상기 제1 마그네틱 디스크(110)와 마주하여 상기 제1 마그네틱 디스크(110)와 자력에 의한 커플링을 형성하여 상기 제1 마그네틱 디스크(110)로 회전력을 전달한다.
상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크들(110, 120)은 직접 기판의 하면에 접촉한다. 상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크들(110, 120)은 일정한 폭을 가지는 디스크 형상으로 제작되며, 대형 기판을 이송할 수 있도록 대형 사이즈로 제작 된다. 상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크들(110, 120)은 기판의 하면에 직접 접촉하여 기판에 회전력을 전달하고 기판을 원하는 방향으로 이송한다.
상기 제1 마그네틱 디스크(110)는 상기 제1 이송 샤프트(210)들의 일단에 구비된다. 즉, 본 실시예에서 하나의 제1 이송 샤프트(210)에는 하나의 제1 마그네틱 디스크(110)가 구비된다. 마찬가지로, 상기 제2 마그네틱 디스크(120)는 상기 제2 이송 샤프트들(220)의 일단에 구비되며, 하나의 제2 이송 샤프트(220)에는 하나의 제2 마그네틱 디스크(120)가 구비된다.
상기 제1 마그네틱 디스크(110)는 회전력을 전달하기 위하여 상기 제2 마그네틱 디스크(120)와 자력에 의해 커플링을 형성한다. 이를 위해, 제1 마그네틱 디스크(110)는 원주를 따라서 배열된 복수의 마그네틱(115)을 포함한다. 마찬가지로, 제2 마그네틱 디스크(120)는 원주를 따라서 배열된 복수의 마그네틱(123)을 포함한다 상기 제1 마그네틱 디스크(110)에 포함된 복수의 마그네틱(115)의 배열은 상기 제2 마그네틱 디스크(120)에 포함된 마그네틱(125)의 배열과 정반대로 형성되어, 상기 제1 마그네틱 디스크(110)와 제2 마그네틱 디스크(120)가 서로 인력이 작용할 수 있도록 한다.
상기 제1 마그네틱 디스크(110) 및 제2 마그네틱 디스크(120)는 지지부(400) 내의 중심에서 서로 마주보도록 배치된다. 상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크(110, 120)가 상기 지지부(400)의 중심에서 만나는 것은 상기 중심 부에서 상기 제1 및 제2 이송 샤프트들(210, 220)의 쳐짐이 가장 크게 발생하기 때문이다.
상기 구동부(500)는 제1 이송 샤프트(210) 또는 제2 이송 샤프트(220)와 연결될 수 있다. 도면에서는 제2 이송 샤프트(220)와 연결되었지만, 제1 이송 샤프트(210)와 연결될 수 있으며, 필요한 경우 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220) 양쪽에 연결될 수 있다. 상기 구동부(500)는 상기 제1 또는 제2 이송 샤프트(210, 220)에 회전력을 전달한다. 상기 구동부(500)는 회전력을 발생하기 위하여 주로 모터 등을 포함할 수 있다. 상기 구동부(500)가 제공하는 회전력은 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)들의 개수에 따라 그 크기를 달리하는 것이 바람직하다. 즉, 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)들의 개수가 적을 경우에는 다소 작은 크기의 회전력을 제공하는 구동부(500)로 구비하고, 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)들 의 개수가 많은 경우에는 다소 큰 크기의 회전력을 제공하는 구동부(500)를 구비하는 것이다.
본 실시예에 따른 기판 이송 장치(1000)의 상기 제1 및 제2 이송 샤프트들(210, 220)은 베어링 디스크들(310, 320)를 더 포함할 수 있다. 상기 베어링 디스크들(310, 320)은 상기 제1 및 제2 이송 샤프트들(210, 220)을 지지하는 지지부(400) 또는 외부 챔버들에 의해 지지하도록 한다. 상기 베어링 디스크들(310, 320)는 다양한 재질을 포함할 수 있다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 이송 장치를 I-I'를 따라 절단한 단면도이다.
도 2를 참조하면, 제1 마그네틱 디스크(110)는 제2 마그네틱 디스크(120)와 마그네틱 커플링을 형성한다. 상기 제1 마그네틱 디스크(110)는 복수개의 마그네틱(115a, 115b)을 포함하며, 상기 제2 마그네틱 디스크(120)에 포함된 복수의 마그네틱(125a, 125b)와 서로 반대의 극성을 갖는다. 예를 들어, 서로 대응되는 위치에 상기 제1 마그네틱 디스크(110)의 제1 마그네틱(115a)가 N극의 성질을 가지고 있는 경우 이와 대응되는 위치에 존재하는 상기 제2 마그네틱 디스크(120)의 제2 마그네틱(125a)는 S극의 성질을 가질 수 있다. 이러한 대응되는 마그네틱의 배열로 인하여 상기 제1 마그네틱 디스크(110) 및 제2 마그네틱 디스크(120)는 서로 자기적으로 연결된다. 상기 마그네틱들(115a, 115b, 125a, 125b)들은 상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크들(110, 120) 내에 삽입할 수 있는 다양한 종류의 마그네틱을 사용할 수 있다.
상기 제1 마그네틱 디스크(110) 및 제2 마그네틱 디스크(120)는 서로 당기는 자력을 발생한다. 따라서 상기 제1 마그네틱 디스크(110) 및 제2 마그네틱 디스크(120)는 일정한 간격이 이격 되어야 한다. 상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크(110, 120)가 서로 인력에 의해 끌리는 경우에는 이와 동시에 상??향으로 상승하는 힘도 작용한다. 이것은 상기 마그네틱 디스크(110, 120)와 기계적으로 연결된 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)들이 상기 베어링 디스크들(310, 320)이 위치하는 지점에서 고정되기 때문이다. 따라서, 상기 제1 마그네틱 디스크(110) 및 제2 마그네틱 디스크(120)의 중량으로 인하여 상기 제1 및 제2 이송 샤프트(210, 220)가 아래로 쳐지는 경우 이를 보정할 수 있는 힘이 상방향으로 작용된다.
상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크들(110, 120)의 인력으로 인하여 상기 제1 및 제2 이송 샤프트들(210, 220)의 처짐 현상을 방지하는 상방향의 힘이 작용하기 때문에, 상기 제1 및 제2 마그네틱 디스크들(110, 120)은 높은 중량을 가지는 크기로 제작될 수 있다.
특히 대형 기판의 경우에 이를 이송하기 위해 대형 디스크들의 적용이 필요한데, 이러한 마그네틱 결합으로 인해 하방으로 처지는 현상들을 미연에 방지할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 기판 이송 장치는 이송 샤프트의 중심이 마그네틱 디스크에 의해서 커플링 되기 때문에, 상기 마그네틱 디스크 간의 장력이 발생한다. 상기 마그네틱 디스크에 작용하는 장력은 상기 마그네틱 디스크가 아래로 쳐지는 것을 방지한다. 따라서 대형 디스크를 사용하더라도 이송 샤프트의 휨 현상을 방지할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000 : 기판 이송 장치
110 : 제1 마그네틱 디스크 120 : 제2 마그네틱 디스크
210 : 제1 이송 샤프트 220 : 제2 이송 샤프트
310 , 320 : 베어링 디스크
400 : 지지부 500 : 구동부

Claims (2)

  1. 일 방향을 따라서 나란하게 배열되는 복수의 제1 이송 샤프트들;
    상기 제1 이송 샤프트들의 일단에 구비되는 제1 마그네틱 디스크;
    상기 제1 이송 샤프트들과 이격 되어 같은 길이 방향으로 배치되는 복수의 제2 이송 샤프트들;
    상기 제2 이송 샤프트들의 일단에 구비되고 상기 제1 마그네틱 디스크와 마주하여 상기 제1 마그네틱 디스크와 자력에 의한 커플링을 형성하여 상기 제1 마그네틱 디스크로 회전력을 전달하는 제2 마그네틱 디스크; 및
    상기 제1 이송 샤프트들을 구동하는 구동부를 포함하는 기판 이송 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 이송 샤프트들은 베어링 디스크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
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