KR101192177B1 - 기판 얼라이너 및 이를 이용한 로드락챔버 - Google Patents

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KR101192177B1
KR101192177B1 KR1020050055656A KR20050055656A KR101192177B1 KR 101192177 B1 KR101192177 B1 KR 101192177B1 KR 1020050055656 A KR1020050055656 A KR 1020050055656A KR 20050055656 A KR20050055656 A KR 20050055656A KR 101192177 B1 KR101192177 B1 KR 101192177B1
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Abstract

본 발명은 로봇(robot)에 의한 로딩(loading) 및 언로딩(unloading)이 가능하도록 쉘프(shelf)로부터 돌출되어 기판을 소정높이로 부양 지지하는 복수개의 센터핀(center pin)을 구비한 기판 얼라이너(aligner) 및 이를 이용한 로드락 챔버(loadlock chamber)에 관한 것이다.
구체적으로 본 발명은 쉘프와; 상기 쉘프로부터 직립된 베이스부 및 상기 베이스부 상에 착탈 가능하게 결합되어 기판을 지지하는 헤드부를 각각 포함하는 복수개의 센터핀과; 상기 쉘프의 측방으로부터 멀거나 가까워지도록 연동되어 상기 센터핀 상에 안착된 상기 기판을 밀어 정위치 정렬시키는 복수개의 얼라인바를 포함하는 기판 얼라이너 그리고 이를 이용한 로드락 챔버를 개시하고 있다.
그 결과 본 발명에 따른 기판 얼라이너는 센터핀의 헤드부 상에 놓여지는 기판에 가해지는 충격을 최소화하고 헤드부 만의 교체를 통해 자원과 비용을 절감시키며 정전기로 인한 탈착 현상을 억제할 수 있다.
아울러 이를 이용한 로드락 챔버를 통해 보다 원활한 평판표시장치의 제조공정을 가능케 한다.

Description

기판 얼라이너 및 이를 이용한 로드락챔버{substrate aligner and loadlock chamber using thereof}
도 1은 일반적인 PECVD 시스템에 대한 블록도.
도 2는 일반적인 기판 얼라이너에 대한 분해사시도.
도 3은 본 발명에 따른 기판 얼라이너에 대한 분해사시도.
도 4는 본 발명에 따른 기판 얼라이너의 센터핀에 대한 일부단면도.
도 5는 본 발명에 따른 기판 얼라이너의 센터핀에 대한 일부 분해사시도.
도 6은 본 발명에 따른 기판 얼라이너를 이용한 로드락 챔버에 대한 개략적인 측면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
102 : 쉘프 104 : 마크핀
110 : 센터핀 120 : 베이스부
122 : 끼움홈 126 : 제 1 스크류공
130 : 헤드부 132 : 끼움구
134 : 제 2 스크류공 136 : 스크류
138 : 연결바 140 : 얼라인수단
142 : 얼라인바
본 발명은 기판 얼라이너(substrate aligner) 및 이를 이용한 로드락 챔버(loadlock chamber)에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 외부에서 로딩(loading)된 기판을 정위치 정렬한 후 언로딩(unloading) 되도록 하는 기판 얼라이너에 있어서, 로봇(robot)에 의한 로딩 및 언로딩이 가능하도록 상기 얼라이너의 쉘프(shelf)로부터 돌출되어 기판을 소정높이로 부양 지지하는 복수개의 센터핀(center pin)을 구비한 기판 얼라이너 그리고 이 같은 얼라이너가 마련된 로드락 챔버에 관한 것이다.
근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 각종 전기적 신호 정보를 시각적으로 표시하는 디스플레이(display) 산업이 급속도로 발전하였고, 이에 부응하여 경량화, 박형화, 저소비전력화의 장점을 지닌 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro luminescence Display device : ELD) 등의 다양한 평판표시장치가 소개되어 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
일반적으로 평판표시장치는 한 쌍의 투명기판 사이로 고유의 형광 또는 편광 물질층을 개재한 후 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 공통적인 필수 구성요소로 갖추고 있으며, 최근에는 특히 이들 평판표시패널에 화상표현 기본단위인 화소(pixel)를 행렬로 배치하고 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)와 같은 스위칭소자로 각각을 개별 제어하는 능동행렬방식(active matrix type)이 동영상 구현능력과 색재현성에서 뛰어나 널리 이용되고 있다.
한편, 이 같은 평판표시장치 제조공정에는 기판 표면에 소정물질의 박막을 형성하는 박막증착(deposition)공정, 상기 박막의 선택된 일부를 노출시키는 포토리소그라피(photo lithography)공정, 상기 박막의 노출된 부분을 제거하여 목적하는 형태로 패터닝(patterning) 하는 식각(etching) 공정이 수 차례 반복해서 포함되며, 그 외에도 세정과 절단 등의 수많은 공정이 수반된다.
그리고 이들 평판표시장치의 여러 가지 제조공정은 각 공정 별 고유의 제조장비에서 수행되며, 처리대상물인 기판은 이들 각 제조장비로 전달되는 바, 이 과정 중에 기판 전달에 대한 정확성을 향상시킬 수 있도록 각 제조장비들 사이로는 기판 얼라이너가 적절하게 배치되어 기판을 정위치 정렬시킨다.
구체적인 일례로, 화학기상증착(Chemical Vapour Deposition : CVD) 내지 스퍼터(sputter) 등으로 대표되는 박막증착공정은 통상 진공의 반응환경이 정의된 프로세스 챔버(process chamber) 내에서 진행되는 것이 일반적인데, 도 1에 블록도로 나타낸 것과 같이, 설치면적 축소와 공정효율 향상 등의 효과를 꾀하고자 이들 프로세스 챔버(10)는 동일 수준의 진공 버퍼영역이 정의된 트랜스퍼 챔버(trancer chamber : 20)에 복수개가 연결되고, 여기에는 기판 이송을 위한 로봇(robot : 22) 이 마련된다.
아울러 트랜스퍼 챔버(20)를 매개로 외부의 대기압 환경과 프로세스 챔버(10) 사이에서 기판이 전달 또는 반송되는 과정 중에 버퍼영역을 비롯한 프로세스 챔버(10) 내의 진공환경이 훼손되지 않도록 트랜스퍼 챔버(20)에는 적어도 하나의 로드락 챔버(loadlock chamber : 30)가 연결되고, 이의 내부는 대기압 또는 진공으로 변화조성이 가능하며 기판 얼라이너(50)가 구비된다. 그리고 로드락 챔버(30)와 외부 사이에서의 기판 전달은 별도의 또 다른 로봇에 의해 진행된다.
따라서 로드락 챔버(30) 내의 기판 얼라이너(50)는 로봇(22)에 의한 기판 전달의 중간 거치대 역할과 동시에 각각으로 전달되는 기판을 정위치 정렬하는 것으로, 첨부된 도 2는 일반적인 기판 얼라이너(50)에 대한 분해 사시도이다.
보이는 바와 같이 일반적인 기판 얼라이너(50)는 기판이 안착되는 데크(deck) 역할의 쉘프(shelf : 52)를 제공하며, 여기에는 복수개의 센터핀(56)이 상향 돌출되어 기판을 부양 지지하도록 하고 있다. 아울러 기판 얼라이너(50)에는 센터핀(56) 상에 얹혀진 기판을 정위치 정렬시키기 위한 얼라인수단(60)이 구비되고, 이는 일례로 쉘프(52)의 측방에서 이로부터 멀거나 가까워지도록 상호 연동하면서 기판을 밀어 정위치로 정렬시키는 복수개의 얼라인바(62)를 포함할 수 있다.
이에 셀프(52)의 센터핀(56) 상에 기판이 로딩되면 얼라인바(62)의 상호 연관동작을 통해 정위치로 정렬된 후 언로딩 되는 것으로, 이 과정 중에 센터핀(56)은 기판을 부양 지지하여 셀프(52)와의 사이로 로봇 삽입공간을 제공하는 바, 통상 기판의 부양높이를 조절할 수 있도록 쉘프(56) 상에는 센터핀(56)의 장착위치를 나 타내는 마크핀(70)이 돌출되어 여기에 각각 센터핀(56)이 끼워지게 된다.
그리고 상기 센터핀(56)은 통상 서스스틸과 같은 금속재로 이루어지며 필요에 따라 그 표면은 백금 등으로 코팅된다.
하지만, 상술한 일반적인 기판 얼라이너(50)는 공정진행 중 몇 가지 문제점을 나타내는데, 그 원인은 대부분 센터핀(56)에서 찾아볼 수 있다.
이중 하나는 기판 배면에 센터핀(56)과의 마찰로 인한 점 또는 선 형태의 흠집이 나타나는 것으로, 유리등의 기판에 비해 상대적으로 강도가 큰 금속재의 센터핀(56)은 기판과의 마찰로 인해 기판 배면으로 흠집을 발생시킬 수 있고, 특히 기판 얼라이너(50)에서 기판은 센터핀(56) 상에 얹혀진 상태로 얼라인바(62)에 의해 강제로 밀려 강제 이동되므로 선 형태의 스크래치가 나타나기도 한다. 특히 평판표시장치의 전 제조공정 중에 기판은 수 차례에 걸쳐 얼라이너(50)에 의해 정위치 정렬됨을 감안하면 이러한 흠집은 횟수를 거듭할수록 심화된다.
또한 거듭된 기판과의 접촉으로 인해 센터핀(56) 역시 마모가 나타나는데, 이 경우 현재로서는 센터핀(56) 전체를 교체하여야 하므로 자원적인 부분은 물론 비용의 낭비를 초래하는 단점이 있다.
더불어 일반적인 센터핀(56)은 각각의 마크핀(70)이 끼워짐에 따라 자체하중으로 쉘프(52)에 안착된 구성을 나타내는 바, 기판과의 정전기로 인해 함께 들어올려지는 탈착 현상이 나타나며, 이 같은 센터핀(56)의 탈착 시 더 이상의 공정진행이 불가능함은 물론 기판과의 충돌로 인한 파손을 불러일으키는 문제점이 있다.
이에 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 기판을 안정적으로 부양 지지하면서도 기판 배면에 가해지는 손상을 최소한으로 하고, 마모에 따른 교체에 있어서 자원과 비용 효율적인 면을 최대한 절약하며, 아울러 기판과의 정전기로 인한 탈착 현상을 억제할 수 있는 센터핀을 구비한 얼라이너를 제공하는데 그 목적이 있다. 아울러 본 발명은 발명의 또 다른 목적은 상기한 얼라이너가 구비된 로드락 챔버를 제공하는 것으로, 이를 통해 보다 원활한 평판표시장치의 제조공정을 구현하고자 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 쉘프와; 상기 쉘프로부터 직립된 베이스부 및 상기 베이스부 상에 착탈 가능하게 결합되어 기판을 지지하는 헤드부를 각각 포함하는 복수개의 센터핀과; 상기 쉘프의 측방으로부터 멀거나 가까워지도록 연동되어 상기 센터핀 상에 안착된 상기 기판을 밀어 정위치 정렬시키는 복수개의 얼라인바를 포함하는 기판 얼라이너를 제공한다.
이때 상기 베이스부는 금속이고, 상기 헤드부는 피크재질인 것을 특징으로 하고, 상기 기판에 밀착되는 상기 헤드부 상면은 볼록하게 라운딩된 것을 특징으로 한다. 또한 상기 베이스부 상면에 인입 형성된 끼움홈과; 상기 헤드부 하면으로부터 하방 돌출되어 상기 끼움홈에 삽입되는 끼움구를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 상기 베이스부 상단으로부터 상기 끼움홈 내의 상기 끼움구로 측방 삽입 되는 적어도 하나의 스크류를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러 상기 쉘프로부터 상향 돌출된 복수개의 마크핀과; 상기 베이스부 하면으로부터 인입 형성되어 상기 마크핀이 각각 끼워지는 장착홈을 더욱 포함하는 것을 특징으로 하고, 이때 상기 복수개의 센터핀 중 적어도 두 개 씩이 한 조를 이루도록 상기 적어도 두 개 씩의 베이스부 하단을 측방으로 연결하는 복수개의 연결바를 더욱 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명은 상기의 기판 얼라이너를 이용한 로드락 챔버로서, 제 1 및 제 2 환경이 변화조성 되며 상기 기판 얼라이너가 실장되는 내부영역 및 상기 내부영역을 외부의 제 1 및 제 2 환경에 각각 연통시키는 제 1 및 제 2 슬롯게이트를 포함하는 로드락 챔버를 제공한다.
이때 상기 내부영역에는 상기 기판 얼라이너가 상하 복층으로 실장되는 것을 특징으로 하고, 상기 제 1, 제 2 환경은 각각 대기압과 진공환경인 것을 특징으로 한다.
이하 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
첨부된 도 3은 본 발명에 따른 기판 얼라이너(100)에 대한 분해 사시도로서, 쉘프(102) 및 이로부터 직립된 복수개의 센터핀(110) 그리고 얼라인수단(140)을 포함한다. 각각을 구체적으로 살펴보면, 먼저 쉘프(102)는 기판이 안착될 수 있는 수평면을 제공한다.
그리고 이로부터 직립된 복수개의 센터핀(110)은 얼라인 대상물인 기판이 쉘 프(102)로부터 부양 지지되도록 하는 부분으로서, 크게 쉘프(110)로부터 직립된 베이스부(120) 및 이의 상부에 착탈 가능하게 결합되는 헤드부(130)를 포함한다. 그 결과 기판은 각 센터핀(110)의 헤드부(130)에 안착된다.
다음으로 얼라인수단(140)은 센터핀(110) 상에 안착된 기판을 정위치로 정렬시키는 역할을 담당하며, 이를 위해 구체적으로는 쉘프(102)의 적어도 서로 대향된 양 측방에서 서로 멀거나 가까워지는 방향으로 개별적 움직임이 가능한 복수의 얼라인바(142)를 포함할 수 있다. 즉, 이들 복수의 얼라인바(142)는 쉘프(102)의 측방에서 이로부터 멀거나 가까워지도록 개별적으로 이동하여 센터핀(110) 상에 안착된 기판을 밀어 이동시키는 것으로, 각각의 얼라인바(142)는 기판 및 쉘프(102)에 대해 수직한 방향으로 배치되는 것이 안정적인 정렬에 유리하며, 비록 도면상에 표시되지는 않았지만 쉘프(102) 하단에 마련된 실린더부재 또는 모터 등의 구동수단을 통해 상기의 움직임이 가능하게 된다.
한편, 이상의 설명 내용 중 본 발명의 가장 핵심적인 부분이라 할 수 있는 센터핀(110)에 대하여 도 4와 도 5를 함께 참조하여 보다 구체적으로 설명한다. 이때 도 4는 본 발명에 따른 센터핀(110) 일부에 대한 단면도이고, 도 5는 이의 일부 분해사시도이다.
보이는 바와 같이 본 발명에 따른 센터핀(110)은 하단의 베이스부(120)와 이의 상부에 착탈 가능하게 결합되는 헤드부(130)로 구분될 수 있고, 이중 베이스부(120)는 일례로 원통형상을 나타내며 헤드부(130)는 볼록하게 라운딩된 대략 반구 형상을 나타낼 수 있다.
이때 특히 베이스부(120) 상면에는 끼움홈(122)이 인입 형성되어 있고 헤드부(130) 하면으로부터는 베이스부(120) 상면의 끼움홈(122)에 삽입되는 끼움구(132)가 하방 돌출되어 있는데, 이중 베이스부(120)는 금속재질, 바람직하게는 소위 서스 스틸라 불리는 스테인리스강 내지는 이의 표면에 백금을 코팅하여 제조될 수 있으며, 헤드부(130)는 합성수지, 바람직하게는 피크(peek)로 이루어질 수 있다. 상기 피크는 폴리에테르에테르케톤(Poly ether ether ketone)으로 알려진 플라스틱으로서, 내열성, 강인성, 내염성, 내약품성 등이 우수한 엔지니어링 플라스틱으로 알려져 있다.
아울러 이들 베이스부(120)와 헤드부(130)의 긴밀한 결합과 필요시 용이한 착탈을 위해 적어도 하나의 스크류(136)가 사용될 수 있고, 이는 베이스부(120) 상단 외측면으로부터 끼움홈(122) 내에 삽입된 헤드부(130)의 끼움구(132)로 측방 삽입될 수 있다. 이에 도 5에 있어서 도면부호 126,134로 표시된 부분은 각각 베이스부(120) 상단 외측면으로부터 관통 삽입된 제 1 스크류공과 헤드부(130)의 끼움구(132) 외측면에 형성된 제 2 스크류공을 나타내고 있다.
즉, 본 발명에 따른 기판 얼라이너(100)의 센터핀(110)은 쉘프(102)로부터 직립된 베이스부(120) 및 이의 상부에 착탈 가능하게 결합된 헤드부(130)의 두 부분으로 구분되고, 이중 특히 기판이 안착되는 헤드부(130)의 재질로 피크와 같은 플라스틱을 이용함으로써 기판 배면에 가해지는 충격을 최소한으로 하는 바, 로딩 시 또는 기판의 얼라인 시 기판 배면으로 가해질 수 있는 손상을 최대한 줄이고 있다.
아울러 이들 베이스부(120)와 헤드부(130)를 각각 끼움홈(122)과 끼움구(132) 그리고 스크류(136)로 긴밀하게 결합시킴과 동시에 필요에 따라 용이하게 분리 가능토록 하고 있는 바, 기판 지지에 대한 신뢰성을 향상시킴은 물론 헤드부(130)의 마모 시 해당 부분만을 교체할 수 있도록 하여 비용과 자원절약의 효과를 꾀하고 있다.
한편, 이러한 본 발명에 따른 센터핀(110)은 쉘프(102)와 기판 사이의 부양 간격을 조절할 수 있도록 쉘프(102)에 일체로 결합되기보다는 분리가 가능하도록 이루어지는데, 이를 위해 쉘프(102)에는 복수개의 마크핀(104)이 센터핀(110) 보다 낮은 높이로 상향 돌출되어 있고, 여기에 센터핀(110)이 각각 끼워지는 구성을 갖는다.
이때 센터핀(110)이 마크핀(104)에 낱개로 끼워질 경우 착탈 가능성이 있으므로 바람직하게는 복수개의 센터핀(110) 중 적어도 두 개 씩 한 조를 이루도록 베이스부(120) 하단을 연결바(138)로 측방 연결하게 되며, 마크핀(104)이 끼워질 수 있도록 각 센터핀(110)의 베이스부(120) 하면으로부터 창착홈(124)을 인입 형성하거나 또는 도시된 것과는 달리 상기 장착홈이 베이스부(120)에서 이탈된 연결바(138) 적절한 지점으로 관통 형성되는 것도 가능하다.
그 결과 하중이 크게 증가되어 착탈 가능성을 크게 감소시킬 수 있다.
한편, 이상의 설명과 같은 본 발명에 따른 기판 얼라이너(100)는 구체적인 일례로서 로드락 챔버에 실장되는 것이 가능한 바, 도 6은 본 발명에 따른 기판 얼 라이너(100)가 구비된 로드락 챔버(150)에 대한 간략한 측면도이다.
보이는 바와 같이 로드락 챔버(150)에는 외부의 대기압 환경을 향하며 기판(2)이 반출입될 수 있는 제 1 슬롯게이트(152) 그리고 트랜스퍼챔버 등에 연결되어 진공환경을 향하며 기판(2)이 반출입 될 수 있는 제 2 슬롯게이트(154)가 마련되고, 도시되지 않은 펌프 등의 압력조절수단에 의해 그 내부가 진공 또는 대기압 환경으로 조성될 수 있다.
그리고 상기 로드락챔버(150)에는 본 발명에 따른 기판 얼라이너(100)가 실장되어 있다.
이에 로드락챔버(150) 내부로 대기압환경이 조성된 후 제 1 슬롯게이트(152)가 개방되고 제 2 슬롯게이트(154)가 밀폐된 상태에서 외부의 기판(2)이 기판 얼라이너(100)의 센터핀(110)에 로딩되면, 제 1 슬롯게이트(152)가 밀폐된 후 내부가 진공환경으로 변화 조성되어 제 2 슬롯게이트(154)가 개방된다. 아울러 이러한 과정 중에 얼라이너바(142)에 의해 센터핀(110)에 안착된 기판의 정위치 정렬이 이루어지고, 정위치 정렬된 기판은 제 2 슬롯게이트(154)를 통해 트랜스퍼 챔버와 같은 진공영역으로 반출된다.
그리고 상기 진공영역에서 해당 기판에 대한 공정이 완료된 후 로드락챔버(150) 내부로 진공 환경이 조성된 후 제 2 슬롯게이트(154)가 개방되고 제 1 슬롯게이트(152)가 밀폐된 상태에서 제 2 슬롯게이트를 통해서 진공영역으로부터 기판이 들어와 기판 얼라이너(100)의 센터핀(110) 상에 로딩되면 제 2 슬롯게이트(154)가 밀폐된 후 내부가 대기압 환경으로 변화 조성되어 제 1 슬롯게이트(152)가 개방 된다. 이에 따라 로드락 챔버(150) 내에서 기판 얼라이너(100)의 센터핀(110)에 안착된 기판(2)은 대기압 환경의 외부로 언로딩 된다.
이때 로드락챔버(150) 내에 실장된 본 발명에 따른 기판 얼라이너(110)는 기판의 중간 거치대의 역할과 함께 각각의 기판(2)을 정위치 정렬시키는 것으로, 필요에 따라 기판 얼라이너(110)가 상하 복층으로 설치되는 것도 가능함은 당업자에게는 자명한 사실일 것이다.
이상의 설명과 같은 본 발명에 따른 기판 얼라이너는 기판을 부양 지지하는 센터핀을 각각 쉘프에 결합되는 베이스부와 기판에 밀착되는 헤드부로 구분한 후 이중 헤드부의 재질을 피크와 같은 합성수지로 구성하는 바, 기판을 안정적으로 부양 지지하면서도 기판 배면에 가해지는 손상을 최소한으로 하는 잇점이 있다.
아울러 헤드부의 마모시 해당 부분만을 교체할 수 잇어 자원과 비용 효율적인 면을 최대한 절약하며, 아울러 이들 복수개의 센터핀 중 두 개씩을 연결하여 하중이 증가됨에 따라 기판과의 정전기로 인한 탈착 현상을 억제할 수 있다.
이에 안정적인 기판 얼라인이 가능하다.
아울러 본 발명은 상기한 기판 얼라이너가 구비된 로드락 챔버를 제공하는바, 이를 통해서 보다 원할한 공정진행을 가능케 한다.

Claims (9)

  1. 쉘프와;
    상기 쉘프로부터 직립된 베이스부 및 상기 베이스부 상에 착탈 가능하게 결합되어 기판을 지지하는 비금속재질의 헤드부를 각각 포함하는 복수개의 센터핀과;
    상기 복수개의 센터핀 중 적어도 두 개 씩이 한 조를 이루도록, 적어도 두 개 씩의 상기 베이스부 하단을 측방 연결하는 복수개의 연결바와;
    상기 쉘프의 측방으로부터 멀거나 가까워지도록 연동되어 상기 센터핀 상에 안착된 상기 기판을 밀어 정위치 정렬시키는 복수개의 얼라인바
    를 포함하는 기판 얼라이너.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스부는 금속이고, 상기 헤드부는 피크재질인 기판 얼라이너.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 기판에 밀착되는 상기 헤드부 상면은 볼록하게 라운딩된 기판 얼라이너.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 베이스부 상면에 인입 형성된 끼움홈과;
    상기 헤드부 하면으로부터 하방 돌출되어 상기 끼움홈에 삽입되는 끼움구
    를 더욱 포함하는 기판 얼라이너.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 베이스부 상단 외측면으로부터 상기 끼움홈 내의 상기 끼움구로 측방 삽입되는 적어도 하나의 스크류를 더욱 포함하는 기판 얼라이너.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 쉘프로부터 상향 돌출된 복수개의 마크핀과;
    상기 베이스부 하면으로부터 인입 형성되거나 또는 상기 베이스부에서 이탈된 상기 연결바에 관통되어 상기 마크핀이 각각 끼워지는 복수개의 장착홈
    을 더욱 포함하는 기판 얼라이너.
  7. 제 1항 내지 제 6항 중 어느 하나의 선택된 항의 기재에 따른 기판 얼라이너 를 이용한 로드락 챔버로서,
    제 1 및 제 2 환경이 변화조성 되며 상기 기판 얼라이너가 실장되는 내부영역 및 상기 내부영역을 외부의 제 1 및 제 2 환경에 각각 연통시키는 제 1 및 제 2 슬롯게이트를 포함하는 로드락 챔버.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 내부영역에는 상기 기판 얼라이너가 상하 복층으로 실장되는 로드락 챔버.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 환경은 각각 대기압과 진공환경인 로드락 챔버.
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