KR200496461Y1 - 기판이송장치 - Google Patents

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KR200496461Y1
KR200496461Y1 KR2020180001611U KR20180001611U KR200496461Y1 KR 200496461 Y1 KR200496461 Y1 KR 200496461Y1 KR 2020180001611 U KR2020180001611 U KR 2020180001611U KR 20180001611 U KR20180001611 U KR 20180001611U KR 200496461 Y1 KR200496461 Y1 KR 200496461Y1
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Abstract

본 고안은 기판이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다각형 형상의 단면 구조를 가지는 구동샤프트를 이용하여 기판을 이송시킬 수 있도록 하는 기판이송장치에 관한 것이다.
본 고안은 구동모터와, 상기 구동모터에 의하여 회전되는 메인기어를 포함하는 구동유닛; 상기 메인기어와 기어 결합되는 구동기어; 상기 구동기어를 관통하면서 배치되어 상기 구동기어와 함께 회전하는 구동샤프트; 상기 구동샤프트를 지지하기 위하여, 상기 구동샤프트상에 배치되는 구동베어링; 상기 구동샤프트와 상기 구동기어 사이에 배치되는 제1 연결부싱; 및 상기 구동샤프트와 상기 구동베어링 사이에 배치되는 제2 연결부싱;을 포함하며, 상기 구동샤프트의 단면은 다각형이고, 상기 제1 연결부싱의 내측면과 상기 제2 연결부싱의 내측면은 상기 구동샤프트의 외측면과 대응되는 다각형상을 가지는 것을 특징으로 하는 기판이송장치를 제공한다.

Description

기판이송장치{APPARATUS FOR TRANSFERRING SUBSTRATE}
본 고안은 기판이송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 다각형 형상의 단면 구조를 가지는 구동샤프트를 이용하여 기판을 이송시킬 수 있도록 하는 기판이송장치에 관한 것이다.
최근에 각광받고 있는 LCD, PDP 등의 디스플레이 제조 과정에서는 작게는 1미터 이내 크게는 2 ~ 3 미터에 이르기까지 다양한 크기의 유리 기판을 각 공정 별로 이동시키게 된다.
이렇게 대형 유리 기판을 이동시키는 과정에서는 면적이 크지만, 두께가 0.7mm 정도로 얇은 기판을 파손시키지 않고 안정적으로 이송시키는 것이 매우 중요하다.
이러한 대형 유리 기판의 이송 과정에는 기판을 수평으로 눕힌 상태에서 각 공정 간 또는 각 공정 중에 이송시키는 기판 이송 장치가 사용된다.
종래의 기판이송장치는 수평 방향으로 나란하게 배치되어 있는 이송샤프트와 그 이송샤프트에 일정한 간격으로 이격되어 구비되는 회전 롤러 및 이 이송샤프트를 구동시키기 구동부로 구성된다.
여기서, 구동부는 이송샤프트에 구동력을 전달하기 위하여 구동샤프트와 구동샤프트에 결합되는 구동기어 및 구동베어링을 포함한다.
종래의 구동샤프트는 원형봉 형상의 샤프트가 사용되었으며, 구동샤프트에 구동기어 및 구동베어링을 결합시키기 위해서는 구동기어 및 구동베어링에는 키(key)가 형성되고, 구동샤프트에는 키(key)가 끼워질 수 있도록 키홈이 형성된다.
종래의 구동샤프트는 형상 및 치수 정밀도를 향상시키기 위해서 별도의 외경 연마공정이 필요로 하였고, 구동샤프트에 구동기어 및 구동베어링을 결합시키기 위한 키홈을 형성해야만 했다. 따라서, 구동샤프트를 제작하기 위한 가공공정 및 가공비용이 상승하는 문제점이 있었다.
또한, 기판이 대형으로 갈수록 원형봉 형상의 구동샤프트를 정밀하게 가공하기가 어려운 문제점이 있었다.
한국공개특허공보 제10-2016-0005852호(2016.01.18 공개공고, 고안의 명칭 : 기판 처리 장치)
본 고안의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 고안은 다각단면을 가진 구동샤프트를 사용하고, 구동샤프트에 구동베어링 및 구동기어를 결합시키기 위한 제1 연결부싱 및 제2 연결부싱이 사용함으로써, 구동샤프트의 가공공정 및 가공비용을 최대한 줄일 수 있도록 하는 기판이송장치를 제공하는데 있다.
상술한 본 고안의 목적을 달성하기 위하여, 본 고안에 따른 기판이송장치는

구동모터와, 상기 구동모터에 의하여 회전되는 메인기어를 포함하는 구동유닛; 상기 메인기어와 기어 결합되는 구동기어; 상기 구동기어를 관통하면서 배치되어 상기 구동기어와 함께 회전하는 구동샤프트; 상기 구동샤프트를 지지하기 위하여, 상기 구동샤프트상에 배치되는 구동베어링; 상기 구동샤프트와 상기 구동기어 사이에 배치되는 제1 연결부싱; 및 상기 구동샤프트와 상기 구동베어링 사이에 배치되는 제2 연결부싱;을 포함하며, 상기 구동샤프트의 단면은 다각형이고, 상기 제1 연결부싱의 내측면과 상기 제2 연결부싱의 내측면은 상기 구동샤프트의 외측면과 대응되는 다각형상을 가지고, 상기 제1 연결부싱은, 제1 연결부싱본체; 상기 제1 연결부싱본체의 외측면으로부터 외측 반경방향을 향해 돌출 형성된 제1 키부; 및 상기 제1 연결부싱본체의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제1 연결부싱본체의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성되어 상기 구동기어의 일측면에 밀착되게 설치되는 제1 이동제한부;를 포함한다.
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본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 구동기어는, 상기 구동기어의 내측면에 오목하게 형성되어 상기 제1 키부가 결합되는 제1 키홈부;를 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 제2 연결부싱은, 제2 연결부싱본체; 및 상기 제2 연결부싱본체의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제2 연결부싱본체의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성되어 상기 구동베어링의 내륜 일측면에 밀착되게 설치되는 제2 이동제한부;를 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 구동기어와 상기 구동베어링 사이에 배치되어, 상기 구동기어와 상기 구동베어링 사이의 간격을 유지시키기 위한 제1 간격유지 파이프;를 더 포함하고, 상기 제1 연결부싱은, 상기 제1 연결부싱본체로부터 상기 제1 간격유지 파이프측을 향해 연장 형성되어 상기 제1 간격유지 파이프의 일측단부가 결합되는 제1 파이프 결합부;를 더 포함하고, 상기 제2 연결부싱은, 상기 제2 연결부싱본체로부터 상기 제1 간격유지 파이프측을 향해 연장 형성되어 상기 제1 간격유지 파이프의 타측단부가 결합되는 제2 파이프 결합부;를 더 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 구동기어와 기어 결합되는 이송기어와, 일측단부가 상기 이송기어에 결합되어 상기 이송기어의 회전에 의해 회전되는 이송샤프트와, 상기 이송샤프트상에 결합되는 이송베어링을 포함하는 이송유닛; 및 상기 이송샤프트와 상기 이송기어의 사이에 배치되는 제3 연결부싱;을 더 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 이송샤프트는, 이송롤러가 배치되는 중공형상의 중심샤프트와, 상기 이송베어링이 배치되고 상기 중심샤프트의 양측단에 결합되는 엔드샤프트를 포함하고, 상기 엔드샤프트는, 상기 엔드샤프트의 직경보다 작은 직경을 가지도록 형성되어 상기 이송기어와 결합되는 이송기어 결합부;를 포함하며, 상기 이송기어 결합부의 단면은 다각형이고, 상기 제3 연결부싱의 내측면은 상기 이송기어 결합부의 외측면과 대응되는 다각형상을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 제3 연결부싱은, 제3 연결부싱본체; 상기 제3 연결부싱본체의 외측면으로부터 외측 반경방향을 향해 돌출 형성된 제2 키부; 및 상기 제3 연결부싱본체의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제3 연결부싱본체의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성되어 상기 이송기어의 일측면에 밀착되게 설치되는 제3 이동제한부;를 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 엔드샤프트는, 상기 엔드샤프트가 결합되는 상기 중심샤프트의 일측단부와 상기 이송베어링 간의 사이간격을 유지하기 위하여, 상기 엔드샤프트의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 돌출 형성된 간격유지부;를 더 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 구동샤프트의 단면폭보다 길이가 큰 단면폭을 가지도록 형성되어 상기 구동샤프트의 일측단부에 결합되는 구동샤프트 엔드캡; 및 상기 이송기어 결합부의 단면폭보다 길이가 큰 단면폭을 가지도록 형성되어 상기 이송기어 결합부의 일측단부에 결합되는 이송샤프트 엔드캡;을 더 포함할 수 있다.
본 고안에 따른 기판이송장치에 있어서, 상기 구동샤프트의 단면은 육각형인 것을 특징으로 한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 고안에 따른 기판이송장치는 다각형의 단면을 가진 구동샤프트를 사용하고, 구동샤프트에 구동베어링 및 구동기어를 결합시키기 위하여 제1 연결부싱 및 제2 연결부싱을 사용함으로써, 구동샤프트의 가공공정 및 가공비용을 최대한 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 고안에 따른 기판이송장치는, 엔드샤프트에 다각형상의 단면을 가진 이송기어 결합부를 형성하고, 엔드샤트에 이송기어를 결합시키기 위하여 제3 연결부싱을 사용함으로써, 이송샤프트의 가공공정 및 가공비용을 최대한 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 고안에 따른 기판이송장치는, 구동기어와 구동베어링 사이에 간격유지 파이프가 설치된 것에 의해, 구동기어 및 구동베어링이 구동샤프트의 축방향으로의 이동을 제한하면서 구동기어와 구동베어링 간의 사이간격을 유지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 구동샤프트에 구동기어 및 구동베어링이 결합된 상태의 단면 일부를 보여주기 위한 사시도이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 구동샤프트의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 제1 연결부싱의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 제2 연결부싱의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 이송샤프트에 이송기어 및 이송베어링이 결합된 단면 일부를 보여주기 위한 사시도이다.
도 7은 본 고안의 일 실시예에 따른 이송샤프트의 일부 구조를 나타낸 사시도이다.
이하, 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 고안의 바람직한 실시 예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시 예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1은 본 고안의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 구조를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 고안의 일 실시예에 따른 구동샤프트에 구동기어 및 구동베어링이 결합된 상태의 단면 일부를 보여주기 위한 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 고안에 따른 기판이송장치는 프레임(100)과 구동유닛(200) 및 이송유닛(300)을 포함한다.
상기 프레임(100)은 메인프레임(110)과 지지프레임(120)을 포함할 수 있다.
상기 메인프레임(110)은 플레이트 형상으로 형성될 수 있으며, 상기 메인프레임에(110)는 후술하는 상기 구동유닛(200) 및 이송유닛(300)이 설치될 수 있다.
상기 지지프레임(120)은 상기 메인프레임(110)의 양측영역에 각각 설치될 수 있으며, 상기 지지프레임(120)에 후술하는 이송샤프트(310)가 설치되어 지지될 수 있다.
또한, 상기 지지프레임(120) 일측면에는 후술할 구동샤프트(240)가 설치될 수 있다.
상기 지지프레임(120)에는 후술하는 이송베어링(330)을 설치하기 위한 이송베어링 설치부(121)가 마련될 수 있다.
상기 구동유닛(200)은 상기 메인프레임(110)의 일측에 설치되어 상기 이송샤프트(310)를 회전시키기 위한 구동력을 제공한다.
상기 구동유닛(200)은 구동모터(210)와, 메인기어(220)와, 구동기어(230)와, 구동샤프트(240)와, 구동베어링(250)과, 제1 연결부싱(260) 및 제2 연결부싱(270)을 포함할 수 있다.
상기 구동모터(210)는 상기 메인프레임(110)의 하측부위에 설치될 수 있으며, 상기 메인기어(220)와 축 연결되어 상기 메인기어(220)를 회전시킬 수 있다.
상기 구동기어(230)는 후술할 이송기어(320)와 기어 결합되는 구동기어(230)들과, 상기 메인기어(220)와 기어 결합되어 회전되는 메인 구동기어(231)를 포함할 수 있다.
즉, 상기 메인 구동기어(231)는 상기 메인기어(220)와 기어 결합되어 상기 메인기어(220)의 회전에 의해 회전됨으로써 후술하는 구동샤프트(240)가 회전되고, 상기 구동기어(230)들은 상기 이송기어(320)와 기어 결합되어 상기 구동샤프트(240)의 회전에 의해 상기 이송기어(320)를 회전시키게 된다.
한편, 상기 구동기어(230)의 내측면에는 후술할 제1 키부(262)가 결합되는 제1 키홈부(232)가 형성될 수 있다.
이하에서는 도 3을 참조하여 본 고안의 일 실시예에 따른 구동샤프트(240)의 구조에 대해 자세히 설명하기로 한다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 구동샤프트(240)의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 3을 참조하면, 상기 구동샤프트(240)는 상기 구동기어(도 2의 230)를 관통하면서 배치되어 상기 구동기어(230)와 함께 회전된다.
이때, 상기 구동샤프트(240)는 다각형 단면을 가지도록 형성될 수 있으며, 본 고안의 일 실시예에서는 육각형 단면을 가지도록 형성된 것을 제시한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 구동베어링(250)은 상기 구동베어링(250)은 상기 구동샤프트(240)상에 배치되어 상기 구동샤프트(240)를 회전가능하게 지지한다.
한편, 상기 지지프레임(120)의 일측면에는 상기 구동베어링(250)을 설치하기 위한 구동베어링 블록(251)이 마련될 수 있다.
즉, 상기 구동베어링(250)은 상기 구동베어링 블록(251)에 설치되어 상기 지지프레임(120)상에서 상기 구동샤프트(240)가 처지지 않도록 지지하게 된다.
이하에서는 도 4를 참조하여, 본 고안의 일 실시예에 따른 제1 연결부싱(260)의 구조에 대해 자세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 고안의 일 실시예에 따른 제1 연결부싱(260)의 구조를 나타낸 사시도이다.
도 4를 참조하면, 상기 제1 연결부싱(260)은 상기 구동샤프트(240)와 상기 구동기어(230) 사이에 배치되어, 상기 구동샤프트(240)와 상기 구동기어(230)를 연결시킨다.
즉, 상기 제1 연결부싱(260)은 상기 구동샤프트(240)와 상기 구동기어(230)가 함께 회전될 수 있도록 상호간을 연결시킨다.
상기 제1 연결부싱(260)은 제1 연결부싱 본체(261)와, 제1 키부(262)와, 제1 이동제한부(263) 및 제1 파이프 결합부(264)를 포함할 수 있다.
상기 제1 연결부싱 본체(261)의 내측면은 상기 구동샤프트(240)의 외측면과 대응되도록 다각형상을 가지도록 형성되고, 본 실시예에서는 상기 구동샤프트(240)의 단면 형상과 동일하게 육각형 형상을 가지도록 형성된 것이 제시된다.
상기 제1 키부(262)는 상기 제1 연결부싱 본체(261)의 외측면으로부터 외측 반경방향을 향해 돌출 형성되어 상기 구동기어(230)의 내측면에 형성된 제1 키홈부(232)에 결합될 수 있다.
즉, 상기 제1 키부(262)와 상기 제1 키홈부(232)의 결합에 의해 상기 제1 연결부싱 본체(261)와 상기 구동기어(230)가 결합된 상태에서 함께 회전될 수 있다.
상기 제1 이동제한부(263)는 상기 제1 연결부싱 본체(261)의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제1 연결부싱 본체(261)의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성될 수 있다.
이때, 상기 제1 이동제한부(263)는 상기 구동기어(230)의 일측면에 밀착되게 설치되어 후술하는 제1 간격유지 파이프(280)와 함께 상기 구동샤프트(240)상에서 상기 구동기어(230)가 축방향으로 이동되는 것을 제한하게 된다.
상기 제1 파이프 결합부(264)는 상기 제1 연결부싱 본체(261)로부터 상기 제1 간격유지 파이프(280)측을 향해 연장 형성되어 상기 제1 간격유지 파이프(280)의 일측단부가 결합될 수 있다.
이하에서는 도 5를 참조하여, 본 고안의 일 실시예에 따른 제2 연결부싱(270)의 구조에 대해 설명한다.
도 5를 참조하면, 상기 제2 연결부싱(270)은 상기 구동샤프트(240)와 상기 구동베어링(250) 사이에 배치되어, 상기 구동샤프트(240)와 상기 구동베어링(250) 을 연결시킨다. 더욱 자세하게는, 상기 제2 연결부싱(270)은 상기 구동샤프트(240)와 상기 구동베어링(250)의 내륜(250a)을 연결시킨다.
상기 제2 연결부싱(270)은 제2 연결부싱 본체(271)와 제2 이동제한부(272) 및 제2 파이프 결합부(273)를 포함할 수 있다.
상기 제2 연결부싱 본체(271)의 내측면은 상기 구동샤프트(240)의 외측면과 대응되도록 다각형상을 가지도록 형성되고, 본 실시예에서는 상기 구동샤프트(240)의 단면 형상과 동일하게 육각형 형상을 가지도록 형성된 것이 제시된다.
상기 제2 이동제한부(272)는 상기 제2 연결부싱 본체(271)의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제2 연결부싱 본체(271)의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성될 수 있다.
상기 제2 이동제한부(272)는 상기 구동베어링(250)의 내륜 일측면에 밀착되게 설치되어, 후술하는 제1 간격유지 파이프(280)와 함께 상기 구동샤프트(240)상에서 상기 구동기어(230)가 축방향으로 이동되는 것을 제한한다.
상기 제2 파이프 결합부(273)는 상기 제2 연결부싱 본체(271)로부터 상기 제1 간격유지 파이프(280)측을 향해 연장 형성되어 상기 제1 간격유지 파이프(280)의 타측단부가 결합될 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 구동샤프트(240)의 단면이 다각형상으로 형성되고, 상기 제1 연결부싱(260)의 내측면 및 상기 제2 연결부싱(270)의 내측면이 구동샤프트(240)의 외측면과 대응되는 대각형상으로 형성됨에 따라, 상기 구동샤프트(240)에는 별도의 키홈을 형성할 필요가 없게 된다.
또한, 상기 구동샤프트(240)의 외측면이 다각형상으로 형성됨에 따라, 비교적 정밀하지 않아도 되기 때문에 상기 구동샤프트(240)를 연마가공을 할 필요가 없게 된다.
이에 따라, 상기 구동샤프트(240)의 가공공정 및 가공비용을 최대한 줄일 수 있는 이점이 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 구동유닛(200)은 제1 간격유지 파이프(280)를 더 포함한다.
상기 제1 간격유지 파이프(280)는 상기 구동기어(230)와 상기 구동베어링(250) 사이에 배치되어, 상기 구동기어(230)와 상기 구동베어링(250) 사이의 간격을 유지시킨다.
이때, 상기 제1 간격유지 파이프(280)는 일단이 상기 제1 파이프 결합부(264)에 결합되고 타단이 상기 제2 파이프 결합부(273)에 결합됨으로써, 상기 구동기어(230)와 상기 구동베어링(250) 사이의 간격을 유지시킬 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 구동유닛(200)은 구동샤프트 엔드캡(290)을 더 포함할 수 있다.
상기 구동샤프트 엔드캡(290)은 상기 구동샤프트(240)의 단면폭보다 길이가 큰 단면폭을 가지도록 형성될 수 있다.
이때, 상기 구동샤프트 엔드캡(290)은 상기 구동샤프트(240)의 일측단부에 나사 등과 같은 별도의 체결부재(미도시)에 의해 결합될 수 있다.
따라서, 상기 구동샤프트 엔드캡(290)은 상기 구동샤프트(240)상의 양단부측에 설치된 상기 구동기어(230)가 상기 구동샤프트(240)로부터 외부로 이탈되는 것을 방지한다.
지금부터는 본 고안의 일 실시예에 따른 상기 구동샤프트(240)에 제1 연결부싱(260)을 통해 상기 구동기어(230)가 설치되고, 상기 제2 연결부싱(270)을 통해 구동베어링(250)이 설치되는 과정을 간략하게 설명하기로 한다.
상기 구동샤프트(240)에 하나의 구동기어(230)를 설치하기 해서는 2개의 제1 연결부싱(260)이 사용된다.
먼저, 상기 구동기어(230)의 일측에 하나의 제1 연결부싱(260)을 결합시키고, 그 타측에 다른 하나의 제1 연결부싱(260)을 결합시킨다.
이때, 각각의 제1 이동제한부(263)가 상기 구동기어(230)의 양측면에 밀착될 수 있도록 각각의 제1 연결부싱 본체(261)를 상기 구동기어(230)의 내측면에 끼우는 것과 동시에 각각의 제1 키(262)를 상기 제1 키홈부(232)에 결합시킨다.
이때, 각각 제1 연결부싱 본체(261)가 상기 구동기어(230)의 내측면에 끼워지게 되면, 각각의 제1 파이프 결합부(264)가 상기 구동기어(230)의 외측으로 노출된 상태가 된다.
다음으로, 상기 구동기어(230)에 결합된 상기 제1 연결부싱(160)을 상기 구동샤프트(240)에 끼운다.
다음으로, 상기 제1 간격유지 파이프(280)를 상기 구동샤프트(240)에 끼운다. 이때, 상기 제1 간격유지 파이프(280)의 일단이 상기 제1 파이프 결합부(264)에 끼워지도록 한다.
다음으로, 상기 구동베어링(250)의 내륜(250a)에 상기 제2 연결부싱 본체(271)를 결합한다.
이때, 상기 제2 이동제한부(272)가 상기 내륜(250a)의 전면과 접촉되고, 상기 제2 파이프 결합부(273)가 상기 구동베어링(250)의 전방측에 배치되도록 상기 제2 연결부싱 본체(271)를 상기 내륜(250a)에 끼운다.
다음으로, 상기 구동베어링(250)의 내륜(250a)에 결합된 상기 제2 연결부싱 본체(271)를 상기 구동샤프트(240)에 끼운다.
이때, 상기 제1 간격유지 파이프(280)의 타단이 상기 제2 연결부싱 본체(271)의 일측단부에 끼워지도록 한다.
상기 제1 간격유지 파이프(280)의 일단이 상기 제1 파이프 결합부(264)에 끼워지고, 그 타단이 상기 제2 연결부싱 본체(271)의 일측단부에 끼워지게 되면, 상기 제1 간격유지 파이프(280)의 일측단부는 상기 제1 이동제한부(263)에 밀착된 상태가 되고, 그 타단은 상기 내륜(250a)의 후면에 밀착된 상태가 된다.
이에 따라, 상기 제1 간격유지 파이프(280)에 의해 상기 구동기어(230)와 상기 구동베어링(250) 간의 사이간격을 유지하면서 상기 구동기어(230) 및 상기 구동베어링(250)이 상기 구동샤프트(240)의 축방향으로 이동되는 것을 제한할 수 있게 된다.
한편, 상기 제2 연결부싱(270)에 형성된 상기 제2 파이프 결합부(273)는 다음으로 상기 구동기어(230)와 상기 구동베어링(250) 사이에 끼워지는 상기 제1 간격유지 파이프(280)의 일단과 결합하게 된다.
이하에서는 도 1, 도 6 및 도 7을 참조하여 본 고안의 일 실시예에 따른 이송유닛(300)에 대해 설명하기로 한다.
도 6은 본 고안의 일 실시예에 따른 이송샤프트(310)에 이송기어(320) 및 이송베어링(330)이 결합된 단면 일부를 보여주기 위한 사시도이고, 도 7은 본 고안의 일 실시예에 따른 이송샤프트(310)의 일부 구조를 나타낸 사시도이다.
도 1, 도 6 및 도 7을 참조하면, 상기 이송유닛(300)은 상기 구동유닛(200)으로부터 전달되는 구동력을 전달받아 상기 기판의 처리를 위해 기판을 일방향으로 이송시킨다.
상기 이송유닛(300)은 이송샤프트(310)와, 이송기어(320)와, 이송베어링(330) 및 제3 연결부싱(340)을 포함할 수 있다.
상기 이송샤프트(310)는 기판이 이송되는 방향과 수직한 방향으로 설치되고, 상호 평행하도록 동일한 간격으로 복수개가 배치될 수 있다.
이때, 상기 이송샤프트(310)는 상기 메인프레임(110)의 상면으로부터 일정간격 이격되게 설치되되, 상기 이송샤프트(310)의 양단부가 상기 지지프레임(120)의 양단에 지지된 상태로 설치될 수 있다.
상기 이송샤프트(310)에는 이송샤프트(310)를 부분적으로 둘러싸고, 상기 기판의 하면 일부와 직접적으로 접촉하여 기판을 이송하는 복수의 이송롤러(311)들이 구비될 수 있다.
즉, 상기 이송샤프트(310)가 회전함에 의해 상기 이송롤러(311)들도 회전하게 되고, 상기 이송롤러(311)들의 회전으로 상기 이송롤러(311)와 접촉된 상기 기판의 이송이 이루어진다.
상기 이송샤프트(310)는 상기 이송롤러(311)가 배치되는 중공형상의 중심샤프트(312)와, 후술할 이송베어링(330)이 배치되고 상기 중심샤프트(312)의 양측단에 결합되는 엔드샤프트(313)를 포함할 수 있다.
상기 중심샤프트(312)는 강성을 충분히 유지하면서도 비교적 가벼운 재질로 이루어지는 알루미늄 합금 재질로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 엔드샤프트(313)는 상기 이송베어링(330)에 의하여 상기 지지프레임(120)상에서 회전가능하게 지지된다.
한편, 본 고안의 일 실시예에 따른 상기 엔드샤프트(313)는 중심에서 돌출 형성되어 상기 이송기어(320)와 결합되는 이송기어 결합부(313a)를 포함할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 이송기어 결합부(313a)는 다각형이 단면을 가지도록 형성될 수 있으며, 본 고안의 일 실시예에서는 상기 구동샤프트(240)와 동일하게 육각단면을 가지도록 형성되는 것이 제시된다.
상기 이송기어(320)는 상기 구동기어(230)와 기어 결합되어 상기 구동기어(230)의 회전에 의해 회전될 수 있다.
한편, 상기 이송기어(320)의 내측면에는 후술할 제2 키부(342)가 결합되는 제2 키홈부(321)가 형성될 수 있다.
상기 이송베어링(330)은 상기 지지프레임(120)에 형성된 상기 이송베어링 설치부(121)에 설치되어 상기 이송샤프트(310)를 회전가능하게 지지한다.
상기 제3 연결부싱(340)은 상기 이송샤프트(310)와 상기 이송기어(320)의 사이에 배치되어 상기 이송기어 결합부(313a)와 상기 이송기어(320)를 연결시킨다.
즉, 상기 제3 연결부싱(340)은 상기 이송샤프트(310)와 상기 이송기어(320)가 함께 회전될 수 있도록 상호간을 연결시킨다.
상기 제3 연결부싱(340)은 제3 연결부싱 본체(341)와, 제2 키부(342)와, 제3 이동제한부(343) 및 엔드캡 장착부(344)를 포함할 수 있다.
상기 제3 연결부싱(340)은 앞서 상술한 제1 연결부싱(260)의 구조와 동일하다. 다만, 제3 연결부싱(340)은 후술할 제2 간격유지 파이프(350)의 일단과 결합되지 않기 때문에 제1 파이프 결합부가 필요하지 않게 된다.
따라서, 상기 제1 연결부싱(260)에 형성된 제1 파이프 결합부(264)의 구성은 상기 제3 연결부싱(340)에서는 엔드캡 장착부(344)의 구성으로 대체될 수 있다.
상기 제3 연결부싱 본체(341)의 내측면은 상기 이송기어 결합부(313a)의 외측면과 대응되도록 다각형 형상을 가지도록 형성되고, 본 실시예에서는 상기 이송기어 결합부(313a)의 단면 형상과 동일하게 육각형 형상을 가지도록 형성된 것이 제시된다.
상기 제2 키부(342)는 상기 제3 연결부싱 본체(341)의 외측면으로부터 외측 반경방향을 향해 돌출 형성되어 상기 이송기어(320)에 형성된 제2 키홈부(321)에 결합될 수 있다.
즉, 상기 제2 키부(342)가 상기 제2 키홈부(321)에 결합됨에 따라, 상기 제3 연결부싱 본체(342)와 상기 이송기어(320)가 연결될 수 있게 된다.
상기 제3 이동제한부(343)는 상기 제3 연결부싱 본체(341)의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제3 연결부싱 본체(341)의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성될 수 있다.
이때, 상기 제3 이동제한부(343)는 상기 이송기어(320)의 일측면에 밀착되게 설치되어 후술하는 제2 간격유지 파이프(350)와 함께 상기 이송기어 결합부(313a)상에서 상기 이송기어(320)가 축방향으로 이동되는 것을 제한한다.
상기 엔드캡 결합부는(344)는 상기 제3 연결부싱 본체(341)로부터 상기 제2 간격유지 파이프(350)측을 향해 연장 형성되어 후술하는 이송샤프트 엔드캡(360)이 장착될 수 있다.
본 고안의 일 실시예에 따른 이송유닛(300)은 제2 간격유지 파이프(350)를 더 포함할 수 있다.
상기 제2 간격유지 파이프(350)는 상기 이송기어(320)와 상기 이송베어링(330) 사이에 배치되어, 상기 이송기어(320)와 상기 이송베어링(330) 사이의 간격을 유지시킨다.
이때, 상기 제2 간격유지 파이프(350)는 일단이 상기 이송기어의 일측면과 접촉되고, 타단이 상기 이송베어링 내륜(330a)의 일측면에 접촉되도록 설치되어, 상기 이송기어(320)와 상기 이송베어링(330) 간의 사이간격을 유지시키게 된다.
한편, 본 고안의 일 실시예에 따른 엔드샤프트(313)는 상기 엔드샤프트(313)의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 돌출 형성된 간격유지부(313b)를 더 포함할 수 있다.
상기 간격유지부(313b)는 상기 엔드샤프트(313)가 결합되는 상기 중심샤프트(312)의 일측단부와 상기 이송베어링(330) 간의 사이간격을 유지할 수 있도록 한다.
본 고안의 일 실시예에 따른 이송유닛(300)은 이송샤프트 엔드캡(360)을 더 포함할 수 있다.
상기 이송샤프트 엔드캡(360)은 상기 엔드캡 장착부(344)에 장착되되, 상기 이송기어 결합부(313a)의 단면폭보다 길이가 큰 단면폭을 가지도록 형성되어 상기 이송기어 결합부(313a)의 일측단부에 나사 등과 같은 별도의 체결부재(미도시)에 의해 결합될 수 있다.
따라서, 상기 이송샤프트 엔드캡(360)은 상기 이송기어 결합부(313a)의 일측단부에 설치된 상기 이송기어(320)가 상기 이송기어 결합부(313a)로부터 외부로 이탈되는 것을 방지한다.
지금부터는 본 고안의 일 실시예에 상기 엔드샤프트(313)에 상기 이송베어링(330)이 설치되고, 상기 이송기어 결합부(313a)에 상기 제3 연결부싱(340)을 통해 상기 이송기어(320)가 설치되는 과정을 간략하게 설명하기로 한다.
먼저, 상기 이송베어링 내륜(330a)의 일측면이 상기 간격유지부(313b)에 밀착되도록 상기 엔드샤프트(313)에 상기 이송베어링(330)을 끼운다.
다음으로, 상기 제2 간격유지 파이프(350)의 일측면이 상기 이송베어링 내륜(330a)의 타측면에 밀착되도록 상기 제2 간격유지 파이프(350)를 상기 엔드샤프트(313)에 끼운다.
한편, 상기 이송기어 결합부(313a)에 하나의 이송기어(320)가 설치되도록 하기 위해서는 2개의 제3 연결부싱(340)이 사용된다. 상기 이송기어 결합부(313a)와 하나의 이송기어(320)가 설치되는 과정은 앞서 상술한 2개의 제1 연결부싱(260)을 상기 구동기어(230)에 설치되는 과정과 동일하여 상세한 설명은 생략한다.
다음으로, 상기 제2 간격유지 파이프(350)의 타측면이 상기 이송기어(320)의 일측면과 밀착되도록 상기 이송기어(320)가 결합된 각각의 제3 연결부싱(340)을 상기 이송기어 결합부(313a)에 끼운다.
이상 상술한 바와 같은 과정을 통해 상기 엔드샤프트(313)에 상기 이송베어링(330)이 설치되고, 상기 이송기어 결합부(313a)에 각각의 제3 연결부싱(340)을 매개로 상기 이송기어(320)가 설치된다. 이에 따라, 상기 제2 간격유지 파이프(350)에 의해 상기 이송기어(320)와 상기 이송베어링(330) 간의 사이간격을 유지하면서 상기 이송기어(320) 및 상기 이송베어링(330)이 상기 이송샤프트(310)의 축방향으로 이동되는 것을 제한할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.
100: 프레임 110: 메인프레임
120: 지지프레임 121: 이송베어링 설치부
200: 구동유닛 210: 구동모터
220: 메인기어 230: 구동기어
231: 메인 구동기어 232: 제1 키홈부
240: 구동샤프트 250: 구동베어링
251: 구동베어링 블록 260: 제1 연결부싱
261: 제1 연결부싱본체 262: 제1 키부
263: 제1 이동제한부 264: 제1 파이프 결합부
270: 제2 연결부싱 271: 제2 연결부싱본체
272: 제2 이동제한부 273: 제2 파이프 결합부
280: 제1 간격유지 파이프 290: 구동샤프트 엔드캡
300: 이송유닛 310: 이송샤프트
311: 이송롤러 312: 중심샤프트
313: 엔드샤프트 313a: 이송기어 결합부
313b: 간격유지부 320: 이송기어
321: 제2 키홈부 330: 이송베어링
340: 제3 연결부싱 341: 제3 연결부싱본체
342: 제2 키부 343: 제3 이동제한부
344: 제3 파이프 결합부 350: 제2 간격유지 파이프
360: 이송샤프트 엔드캡

Claims (11)

  1. 구동모터와, 상기 구동모터에 의하여 회전되는 메인기어를 포함하는 구동유닛;
    상기 메인기어와 기어 결합되는 구동기어;
    상기 구동기어를 관통하면서 배치되어 상기 구동기어와 함께 회전하는 구동샤프트;
    상기 구동샤프트를 지지하기 위하여, 상기 구동샤프트상에 배치되는 구동베어링;
    상기 구동샤프트와 상기 구동기어 사이에 배치되는 제1 연결부싱; 및
    상기 구동샤프트와 상기 구동베어링 사이에 배치되는 제2 연결부싱;을 포함하며,
    상기 구동샤프트의 단면은 다각형이고, 상기 제1 연결부싱의 내측면과 상기 제2 연결부싱의 내측면은 상기 구동샤프트의 외측면과 대응되는 다각형상을 가지고,
    상기 제1 연결부싱은,
    제1 연결부싱본체;
    상기 제1 연결부싱본체의 외측면으로부터 외측 반경방향을 향해 돌출 형성된 제1 키부; 및
    상기 제1 연결부싱본체의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제1 연결부싱본체의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성되어 상기 구동기어의 일측면에 밀착되게 설치되는 제1 이동제한부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 구동기어는,
    상기 구동기어의 내측면에 오목하게 형성되어 상기 제1 키부가 결합되는 제1 키홈부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2 연결부싱은,
    제2 연결부싱본체; 및
    상기 제2 연결부싱본체의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제2 연결부싱본체의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성되어 상기 구동베어링의 내륜 일측면에 밀착되게 설치되는 제2 이동제한부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 구동기어와 상기 구동베어링 사이에 배치되어, 상기 구동기어와 상기 구동베어링 사이의 간격을 유지시키기 위한 제1 간격유지 파이프;를 더 포함하고,
    상기 제1 연결부싱은,
    상기 제1 연결부싱본체로부터 상기 제1 간격유지 파이프측을 향해 연장 형성되어 상기 제1 간격유지 파이프의 일측단부가 결합되는 제1 파이프 결합부;를 더 포함하고,
    상기 제2 연결부싱은,
    상기 제2 연결부싱본체로부터 상기 제1 간격유지 파이프측을 향해 연장 형성되어 상기 제1 간격유지 파이프의 타측단부가 결합되는 제2 파이프 결합부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동기어와 기어 결합되는 이송기어와, 일측단부가 상기 이송기어에 결합되어 상기 이송기어의 회전에 의해 회전되는 이송샤프트와, 상기 이송샤프트상에 결합되는 이송베어링을 포함하는 이송유닛; 및
    상기 이송샤프트와 상기 이송기어의 사이에 배치되는 제3 연결부싱;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 이송샤프트는,
    이송롤러가 배치되는 중공형상의 중심샤프트와, 상기 이송베어링이 배치되고 상기 중심샤프트의 양측단에 결합되는 엔드샤프트를 포함하고,
    상기 엔드샤프트는,
    상기 엔드샤프트의 직경보다 작은 직경을 가지도록 형성되어 상기 이송기어와 결합되는 이송기어 결합부;를 포함하며,
    상기 이송기어 결합부의 단면은 다각형이고, 상기 제3 연결부싱의 내측면은 상기 이송기어 결합부의 외측면과 대응되는 다각형상을 가지는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제3 연결부싱은,
    제3 연결부싱본체;
    상기 제3 연결부싱본체의 외측면으로부터 외측 반경방향을 향해 돌출 형성된 제2 키부; 및
    상기 제3 연결부싱본체의 일측단부로부터 원주방향을 따라 돌출 형성되되, 상기 제3 연결부싱본체의 직경보다 큰 직경을 가지도록 형성되어 상기 이송기어의 일측면에 밀착되게 설치되는 제3 이동제한부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  9. 제7항에 있어서,
    상기 엔드샤프트는,
    상기 엔드샤프트가 결합되는 상기 중심샤프트의 일측단부와 상기 이송베어링 간의 사이간격을 유지하기 위하여, 상기 엔드샤프트의 외주면으로부터 외측 반경방향으로 돌출 형성된 간격유지부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 구동샤프트의 단면폭보다 길이가 큰 단면폭을 가지도록 형성되어 상기 구동샤프트의 일측단부에 결합되는 구동샤프트 엔드캡; 및
    상기 이송기어 결합부의 단면폭보다 길이가 큰 단면폭을 가지도록 형성되어 상기 이송기어 결합부의 일측단부에 결합되는 이송샤프트 엔드캡;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  11. 제1항, 제3항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동샤프트의 단면은 육각형인 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
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