KR102562350B1 - 웨이퍼 반송 장치 - Google Patents
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Abstract
본 개시의 기술적 사상에 의한 일 양태에 따르면, 구동축과, 구동축에 설치되고 구동축의 회전력을 웨이퍼를 이송하는 롤러부로 전달하도록 롤러부와 접촉하는 복수 개의 기어부, 및 복수 개의 기어부 사이에 설치되어 구동축을 고정하는 적어도 하나의 구동축 고정 블록을 포함하되, 구동축 고정 블록은, 구동축을 수용하며 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 포함하는 부싱부를 구비하는, 웨이퍼 반송 장치가 개시된다.
Description
본 개시(disclosure)의 기술적 사상은 웨이퍼 반송 장치에 관한 것이다.
태양 전지를 제조하기 위해서는 웨이퍼(wafer) 또는 기판에 태양광 흡수율 향상을 위한 웨이퍼 표면 처리, 셀 효율 향상을 위한 반사막 형성, 웨이퍼 표면에 전자가 이동하는 경로 형성, 셀의 성능/품질을 검사 및 분류하는 공정 등이 필요하다. 상술한 공정을 수행하기 위해 각각의 공정이 공정 챔버 내에서 진행되며, 각 공정을 수행하기 위해 웨이퍼는 웨이퍼 반송 장치에 의해 각 공정 챔버를 이동한다.
이 때, 웨이퍼를 각각의 공정 수행을 위해 이동시키는 방식은 다양하다. 예컨대, 포크 슬라이더 등의 구성을 포함하는 장치를 이용하여 웨이퍼를 이동시키는 방식이 있다. 또 다른 예시로, 롤러를 이용하여 공정 챔버 내에서 기판을 이동시킬 수도 있다.
이와 같이 웨이퍼에 대해 각 공정을 수행하기 위해 웨이퍼를 이송시키는 웨이퍼 반송 장치는 공정 챔버 내의 폭넓은 온도와 다양한 화학약품에 노출되며,넓은 온도 범위 및 여러 화학약품에 의해 손상되기 쉽다. 또한, 구동 시 발생되는 구동 마찰에 의해 특정 부품들이 마모되는 등 손상의 우려도 있다. 따라서 공정 챔버 내의 다양한 동작 환경에 강인한 웨이퍼 반송 장치가 필요한 실정이다.
본 개시의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제는, 태양 전지 제조 과정에서 각각의 공정을 수행하며 노출되는 폭넓은 온도 조건 및 다양한 화학약품에 강인하며, 구동 마찰에도 높은 내마모성을 가지며, 웨이퍼를 안정적으로 지지할 수 있는 웨이퍼 반송 장치를 제공하는데 있다.
본 개시의 기술적 사상이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제는 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 개시의 기술적 사상에 의한 일 양태(aspect)에 따르면, 구동축; 상기 구동축에 설치되고, 상기 구동축의 회전력을 웨이퍼를 이송하는 롤러부로 전달하도록 상기 롤러부와 접촉하는 복수 개의 기어부; 및 상기 복수 개의 기어부 사이에 설치되어 상기 구동축을 고정하는 적어도 하나의 구동축 고정 블록;을 포함하되, 상기 구동축 고정 블록은, 상기 구동축을 수용하며 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 포함하는 부싱부를 구비하는, 웨이퍼 반송 장치가 개시된다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 부싱부는, 상기 PEEK 수지를 포함하고, 상기 복수의 기어부가 상기 구동축의 길이 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제1 부싱; 및 상기 구동축의 원주 방향의 이동을 제한하는 제2 부싱;을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 부싱부의 외주면은 상기 PEEK 수지를 포함할 수 있고, 상기 부싱부의 내주면, 상기 구동축, 및 상기 구동축 고정 블록의 바디 중 적어도 하나는, 상기 부싱부의 외주면과 상이한 재질을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 부싱부는, 상기 구동축 고정 블록의 바디 또는 상기 복수 개의 기어부와 접촉하며 상기 PEEK 수지를 포함하는 접촉 영역을 구비할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 구동축 고정 블록의 바디의 접촉 영역 또는 상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 복수 개의 기어부의 접촉 영역은, PEEK 수지를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 구동축 고정 블록은, 상기 웨이퍼 반송 장치의 프레임에 고정될 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 웨이퍼 반송 장치는, 상기 구동축 고정 블록의 이동을 제한하는 지지 블록;을 더 포함할 수 있고, 상기 지지 블록은, 지지 블록 바디; 및 상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록 바디를 연결하는 연결부;를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록이 각각 복수 개로 구성될 수 있고, 상기 웨이퍼 반송 장치는, 인접하는 지지 블록들을 연결하는 지지 블록 연결부;를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 지지 블록 바디는, 상기 웨이퍼 반송 장치의 프레임에 고정될 수 있다.
본 개시의 기술적 사상에 의한 다른 양태에 따르면, 구동축; 상기 구동축에 설치되고, 상기 구동축의 회전력을 웨이퍼를 이송하는 롤러부로 전달하도록 상기 롤러부와 접촉하는 복수 개의 기어부; 상기 복수 개의 기어부 사이에 설치되어 상기 구동축을 고정하는 적어도 하나의 구동축 고정 블록; 및 상기 구동축 고정 블록의 이동을 제한하는 적어도 하나의 지지 블록;을 포함하되, 상기 지지 블록은, 지지 블록 바디; 및 상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록 바디를 연결하는 연결부;를 포함하는, 웨이퍼 반송 장치가 개시된다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 구동축 고정 블록은, 상기 구동축을 수용하며 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 포함하는 부싱부를 구비할 수 있고, 상기 부싱부는, 상기 PEEK 수지를 포함하고, 상기 복수의 기어부가 상기 구동축의 길이 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제1 부싱; 및 상기 구동축의 원주 방향의 이동을 제한하는 제2 부싱;을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 부싱부의 외주면은 상기 PEEK 수지를 포함할 수 있고, 상기 부싱부의 내주면, 상기 구동축, 및 상기 구동축 고정 블록의 바디 중 적어도 하나는, 상기 부싱의 외주면과 상이한 재질을 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 부싱부는, 상기 구동축 고정 블록의 바디 또는 상기 복수 개의 기어부와 접촉하며 상기 PEEK 수지를 포함하는 접촉 영역을 구비할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 구동축 고정 블록의 바디의 접촉 영역 또는 상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 복수 개의 기어부의 접촉 영역은, PEEK 수지를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록이 각각 복수 개로 구성될 수 있고, 상기 웨이퍼 반송 장치는, 인접하는 지지 블록들을 연결하는 지지 블록 연결부;를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예에 따르면, 상기 지지 블록 바디는, 상기 웨이퍼 반송 장치의 프레임에 고정될 수 있다.
본 개시의 기술적 사상에 따른 웨이퍼 반송 장치는, 구동축 고정 블록에 포함되는 부싱(bushing)의 일부 또는 전부에 폴리에테르에테르케톤 (Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 사용하므로, 태양 전지 제조 과정에서 각종 공정을 수행하며 노출되는 다양한 화학약품 및 폭넓은 온도에 강인하며, 마찰 및 진동에 대해 높은 내구성을 가질 수 있다.
뿐만 아니라, 본 개시의 기술적 사상에 따른 웨이퍼 반송 장치는 구동축 고정 블록을 지지 블록을 이용하여 고정시킴으로써 기어의 유격을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 반송 장치의 안정적인 구동을 구현할 수 있다.
본 개시의 기술적 사상에 따른 실시예들이 얻을 수 있는 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 개시에서 인용되는 도면을 보다 충분히 이해하기 위하여 각 도면의 간단한 설명이 제공된다.
도 1은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 웨이퍼 반송 장치를 A-A' 선에서 바라본 단면도이다.
도 3은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 제1 부싱의 사시도, 평면도 및 정면도이다.
도 4는 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 정면도이다.
도 5는 도 4의 웨이퍼 반송 장치의 평면도이다.
도 6은 본 개시의 다른 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 정면도이다.
도 7은 도 6의 웨이퍼 반송 장치의 평면도이다.
도 1은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 웨이퍼 반송 장치를 A-A' 선에서 바라본 단면도이다.
도 3은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 제1 부싱의 사시도, 평면도 및 정면도이다.
도 4는 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 정면도이다.
도 5는 도 4의 웨이퍼 반송 장치의 평면도이다.
도 6은 본 개시의 다른 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 정면도이다.
도 7은 도 6의 웨이퍼 반송 장치의 평면도이다.
본 개시의 기술적 사상에 따른 예시적인 실시예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 개시의 기술적 사상을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것으로, 아래의 실시예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 개시의 기술적 사상의 범위가 아래의 실시예들로 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시예들은 본 개시를 더욱 충실하고 완전하게 하며 당업자에게 본 발명의 기술적 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것이다.
본 개시에서 제1, 제2 등의 용어가 다양한 부재, 영역, 층들, 부위 및/또는 구성 요소들을 설명하기 위하여 사용되지만, 이들 부재, 부품, 영역, 층들, 부위 및/또는 구성 요소들은 이들 용어에 의해 한정되어서는 안 됨은 자명하다. 이들 용어는 특정 순서나 상하, 또는 우열을 의미하지 않으며, 하나의 부재, 영역, 부위, 또는 구성 요소를 다른 부재, 영역, 부위 또는 구성 요소와 구별하기 위하여만 사용된다. 따라서, 이하 상술할 제1 부재, 영역, 부위 또는 구성 요소는 본 개시의 기술적 사상의 가르침으로부터 벗어나지 않고서도 제2 부재, 영역, 부위 또는 구성 요소를 지칭할 수 있다. 예를 들면, 본 개시의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
달리 정의되지 않는 한, 여기에 사용되는 모든 용어들은 기술 용어와 과학 용어를 포함하여 본 개시의 개념이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 공통적으로 이해하고 있는 바와 동일한 의미를 지닌다. 또한, 통상적으로 사용되는, 사전에 정의된 바와 같은 용어들은 관련되는 기술의 맥락에서 이들이 의미하는 바와 일관되는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 여기에 명시적으로 정의하지 않는 한 과도하게 형식적인 의미로 해석되어서는 아니 될 것이다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들면, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 수행될 수도 있다.
첨부한 도면에 있어서, 예를 들면, 제조 기술 및/또는 공차에 따라, 도시된 형상의 변형들이 예상될 수 있다. 따라서, 본 개시의 기술적 사상에 의한 실시예들은 본 개시에 도시된 영역의 특정 형상에 제한된 것으로 해석되어서는 아니 되며, 예를 들면, 제조 과정에서 초래되는 형상의 변화를 포함하여야 한다. 도면 상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고, 이들에 대한 중복된 설명은 생략한다.
여기에서 사용된 '및/또는' 용어는 언급된 부재들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.
이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 개시의 기술적 사상에 의한 실시예들에 대해 상세히 설명한다.
도 1은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치(100)는 구동부(미도시)의 회전력을 복수 개의 기어부(20)에 전달하는 구동축(10), 구동축(10)에 설치되어 구동축으로부터 웨이퍼를 이송하는 롤러부(도 4 내지 도 7의 50 참조)에 회전력을 전달하는 복수 개의 기어부(20), 복수 개의 기어부(20) 사이에 설치되어 구동축(10)을 고정하는 구동축 고정 블록(30)을 포함한다. 여기서, 구동축 고정 블록(30)은 구동축(10)이 수용(혹은 삽입)되는 공간이 형성된 부싱(bushing)부(31), 부싱부(31)가 결합되는 바디(32)를 포함할 수 있다.
구동축(10)은 다른 구성들을 회전시키기 위해 회전동력을 해당 구성들로 인가하도록 동작하는 축이다. 본 개시의 웨이퍼 반송 장치(100)의 구동축(10)은 구동부(미도시)에 연결되고, 웨이퍼 반송 장치(100)를 동작시키기 위해 구동부의 회전력을 기어부(20)에 전달한다.
기어부(20)는 구동축(10)에 설치되고, 웨이퍼를 이송하는 롤러부와 접촉할 수 있다. 기어부(20)는 구동축의 회전력을 롤러부로 전달함으로써, 롤러부가 웨이퍼를 이송시킬 수 있도록 한다. 여기서, 기어부(20)는 롤러부의 기어와 맞물려 회전하여 구동축의 회전력을 롤러부에 전달하는 기어와, 기어를 구동축에 체결하기 위한 체결부를 포함한다. 기어부(20)의 기어는 두 개 또는 그 이상의 회전축 사이에 회전이나 동력을 전달하기 위해 축에 끼워지는 원판 모양의 회전체로서, 원판 모양의 회전체에 같은 간격의 돌기(기어의 이)를 포함하고, 상기 돌기는 타 기어의 돌기(기어의 이)와 서로 물리면서 회전하여 미끄럼이나 에너지의 손실 없이 동력을 타 축에 전달할 수 있다. 기어부(20)의 체결부는 기어를 구동축(10) 상에 설치하기 위한 볼트, 너트 등의 구성요소를 포함할 수 있다. 롤러부는 기어부(20)에 연결되어 구동축(10)에서 발생한 회전력을 전달받아 웨이퍼를 이송한다. 롤러부는 웨이퍼의 이탈을 방지하기 위한 다수의 롤러를 포함할 수 있다.
구동축 고정 블록(30)은 구동축(10)이 삽입되어 구동축(10)을 지지하는 부싱부(31)와, 부싱부(31)가 결합되는 바디(32)를 포함할 수 있다.
부싱부(31)는 구동축(10)이 내측에 마련된 중공 홀로 삽입됨에 따라 구동축(10)을 지지할 수 있다. 부싱부(31)는 전부 또는 일부에 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지가 포함될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 일 실시예에서, 부싱부(31) 전체가 PEEK 수지를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 부싱(31)은 그 일부가 PEEK 수지를 포함할 수 있다. 예를 들면, 부싱부(31)의 외주면이 PEEK 수지를 포함할 수 있다. 다른 예를 들면, 부싱부(31)의 내주면은 PEEK 수지를 포함하고, 부싱부(31)의 외주면은 PEEK 수지가 아닌 다른 수지를 포함할 수 있다.
여기서, PEEK 수지는 열가소성을 갖는 고기능 플라스틱 수지이다. PEEK 수지는 준결정성 열가소성 수지로서 높은 온도, 열악한 환경 등에서 높은 물성을 갖는다. PEEK 수지는 화학 및 피로 환경에 매우 강할 뿐만 아니라, 높은 열 안정성을 가진다. 또한, 내화학성 및 내수성에 있어서 PPS보다 높은 온도까지 사용 가능하다. 그리고 내화염성, 연기 및 독성 가스 방출량이 매우 적다는 장점을 가진다.
특히, PEEK 수지는 높은 내화학성을 가진다. 일반 솔벤트에 녹지 않는 준결정성 수지로 광범위한 무기 및 유기 화학물질에 대해 높은 안전성을 보인다. 이에 따라, 태양 전지 제조 과정 중 에칭 공정 등의 화학 처리에 강인성을 지닌다.
또한, PEEK 수지는 높은 윤활성을 가진다. 오일 또는 그리스(grease)의 공급이 없는 상태에서도 자기윤활성이 우수하고 내마모성이 높다.
또한, PEEK 수지는 내열성이 우수하다. 고온에서도 연속으로 사용할 수 있으며, 고온에서 높은 기계적 물성을 유지한다. 또한, 높은 고온내수성을 가져 고온에서 수증기 또는 높은 수압에서도 물성의 변화 없이 사용 가능하다. 그리고 고온에서도 전기절연성 유전율 및 체적고유저항 등 전기적 특성이 우수하다. 뿐만 아니라 1,000M Rad 이상의 x-ray 감마선 방사성 영역에서도 물성의 변화 없이 사용 가능하다.
이와 같은 PEEK 수지로 부싱 부재를 제작할 경우, 사출성형, 압출성형 및 파우더 코팅이 가능하며 대량생산이 가능하다. 또한 일반적인 열가소성 수지 가공 장비를 사용하여 본 개시의 다양한 예시적 실시예에 따른 부싱이 쉽게 가공될 수 있다.
바디(32)는 구동축(10)을 고정, 지지하기 위한 구성으로, 부싱부(31)가 결합될 수 있다. 또한, 바디(32)는 후술되는 지지 블록(40)과 결합될 수 있다.
본 개시의 기술적 사상에 따른 웨이퍼 반송 장치는, 구동축 고정 블록에 포함되는 부싱부(31)의 일부 또는 전부에 폴리에테르에테르케톤 (Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 사용하므로, 태양 전지 제조를 위한 각종 공정의 수행 과정에서 노출되는 다양한 화학약품 및 폭넓은 온도에 강인하며, 마찰 및 진동에 대해 높은 내구성을 가질 수 있다.
도 2는 도 1의 웨이퍼 반송 장치를 A-A' 선에서 바라본 단면도이다. 이하에서는 도 2를 참조하여 구동축 고정 블록(30)의 구성을 더 구체적으로 설명한다.
도 2를 참조하면, 구동축 고정 블록(30)의 바디(32)에는 가이드 홀이 형성되어 있고, 가이드 홀에 부싱부(31)가 삽입되어 구동축(10)을 지지할 수 있다.
일 실시예에서, 구동축 고정 블록(30)의 부싱부(31)는 제1 부싱(311)과 제2 부싱(312)을 포함할 수 있다. 제1 부싱(311)은 복수의 기어부가 구동축의 길이 방향으로 이동하는 것을 제한하고, 제2 부싱(312)은 구동축의 원주 방향으로의 이동을 제한할 수 있다.
더 상세하게는, 제1 부싱(311)은 구동축(10)을 지지하여 진동을 감소시키며 구동축(10), 기어부(20) 및 구동축 고정 블록(30)의 바디(32)의 변형 또는 마모를 방지하고, 구동축(10)의 밀림을 방지한다. 제2 부싱(312)은 구동축(10)과 제1 부싱(311) 사이에서 구동축(10)을 지지하여 진동을 감소시킨다.
일 실시예에서, 부싱부(31)의 제1 부싱(311)은 PEEK 수지를 포함하고, 제2 부싱(312)은 PEEK 수지와 상이한 소재를 포함할 수 있다. 예를 들면, 제2 부싱(312)은 세라믹, PP(Polypropylene), PVDF(Polyvinylidene fluoride)와 같은 소재를 포함할 수 있다. 그러나 제2 부싱(312)의 소재는 이와 같은 재질로 한정되지 않는다.
도 2에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 반송 장치(100)의 구동축 고정 블록(30)은 바디(32)의 상부, 하부 부분을 스크류(screw) 체결하기 위해 나사선이 형성되어 있는 볼트(33)를 더 포함할 수 있다.
도 3은 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 제1 부싱의 사시도, 평면도 및 정면도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 개시의 일 실시예에 따른 제1부싱(311)은 플랜지형 부싱(flange type bushing)일 수 있다.
일 실시예에서, 제1 부싱(311)의 외주면(315)은 PEEK 수지를 포함할 수 있으며, 이 경우 제1 부싱(311)의 내주면(314)은 제1 부싱(311)의 외주면(315)과 상이한 재질을 포함할 수 있다.
다른 실시예에서, 제1 부싱(311)의 외측에서 구동축 고정 블록(30)의 바디(32) 또는 복수 개의 기어부(20)와 접촉하는 영역은 PEEK 수지를 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 부싱(311)의 양 단부에서 바디(32) 또는 기어부(20)와 접촉하는 영역(313, 314, 315)들 중 적어도 하나는 PEEK 수지를 포함할 수 있다.
한편, 제1 부싱(311)과 접촉하는 바디(32)의 영역 및/또는 제1 부싱(311)과 접촉하는 복수 개의 기어부(20)의 영역도 PEEK 수지를 포함할 수 있다. 구체적으로, 제1 부싱(311)이 PEEK 수지를 포함하지 않는다면, 제1 부싱(311)과 접촉하는 구성들인, 바디(32) 및/또는 복수 개의 기어부(20)의 일부 영역이 PEEK 수지를 포함할 수 있는 것이다.
본 개시의 기술적 사상에 따른 웨이퍼 반송 장치(100)는, 구동축 고정 블록(30)에 포함되는 부싱부(31)의 일부 또는 전부가 폴리에테르에테르케톤 (Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 포함하므로, 태양 전지 제조 과정에서 각종 공정을 수행하며 노출되는 다양한 화학약품 및 폭넓은 온도에 강인하며, 마찰 및 진동에 대해 높은 내구성을 가질 수 있다.
본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치(100)의 구동축 고정 블록(30)은, 웨이퍼 반송 장치(100)의 프레임에 직접 또는 지지 블록(40)을 통해 고정될 수 있다. 또는, 구동축 고정 블록(30)은 이동이 제한되는 웨이퍼 반송 장치(100)의 다른 구성에 연결되어 고정될 수도 있다. 구동축 고정 블록(30)이 고정되므로, 안정적으로 구동축(10)의 이동, 진동을 제한할 수 있고 기어의 유격을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 반송 장치(100)는 안정적으로 구동될 수 있다.
도 4는 본 개시의 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 정면도이고, 도 5는 도 4의 웨이퍼 반송 장치의 평면도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 일 실시예에서, 본 개시의 웨이퍼 반송 장치(100)는, 구동축 고정 블록(30)의 이동을 제한하는 지지 블록(40)을 더 포함할 수 있다. 지지 블록(40)은 지지 블록 바디(41) 및 구동축 고정 블록(30)과 지지 블록 바디(41)를 연결하는 연결부(42)를 포함할 수 있다.
일 예시로, 지지 블록(40)은 웨이퍼 반송 장치(100)의 프레임에 연결될 수 있다. 구체적으로, 지지 블록(40)의 지지 블록 바디(41)는 구동축 고정 블록(30)과 연결되는 면과 다른 면이 웨이퍼 반송 장치(100)의 프레임과 접합되어 고정될 수 있다.
다른 예시로, 지지 블록(40)은 이동이 제한되는 웨이퍼 반송 장치(100)의 다른 구성에 연결되어 구동축 고정 블록(30)의 이동을 제한할 수도 있다.
이에 따라, 지지 블록(40)은 안정적으로 구동축 고정 블록(30)의 이동을 제한할 수 있다.
도 6은 본 개시의 다른 예시적 실시예에 따른 웨이퍼 반송 장치의 정면도이고, 도 7은 도 6의 웨이퍼 반송 장치의 평면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 일 실시예에서, 웨이퍼 반송 장치(100)는 제1 구동축 고정 블록(30a) 및 제2 구동축 고정 블록(30b)을 포함할 수 있다. 그리고, 웨이퍼 반송 장치(100)는 제1 구동축 고정 블록(30a)의 이동을 제한하는 제1 지지 블록(40a), 제2 구동축 고정 블록(30b)의 이동을 제한하는 제2 지지 블록(40b), 및 제1 지지 블록(40a)과 제2 지지 블록(40b)을 연결하며, 제1 지지 블록(40a)과 제2 지지 블록(40b)과 체결되는 양 단부가 스크류(screw) 형태를 가지는 지지 블록 연결부(43)를 포함할 수 있다.
제1 및 제2 지지 블록들(40a, 40b)은 지지 블록 연결부(43)에 의해 연결되어, 그 위치가 고정될 수 있다. 이에 따라, 제1 및 제2 지지 블록들(40a, 40b)은 연결된 제1 및 제2 구동축 고정 블록(30a, 30b)의 움직임을 최소화할 수 있게 된다.
상술한 본 개시의 기술적 사상에 따른 웨이퍼 반송 장치들에 따르면, 구동축 고정 블록에 포함되는 부싱부(bushing)의 일부 또는 전부에 폴리에테르에테르케톤 (Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 사용하므로, 태양 전지 제조 과정에서 각종 공정을 수행하며 노출되는 다양한 화학약품 및 폭넓은 온도에 강인하며, 마찰 및 진동에 대해 높은 내구성을 가질 수 있다.
뿐만 아니라, 본 개시의 기술적 사상에 따른 웨이퍼 반송 장치는 구동축 고정 블록을 지지 블록을 이용하여 고정시킴으로써 기어의 유격을 감소시킬 수 있다. 이에 따라, 웨이퍼 반송 장치가 안정적으로 구동할 수 있게 된다.
상기한 실시예들의 설명은 본 개시의 더욱 철저한 이해를 위하여 도면을 참조로 예를 든 것들에 불과하므로, 본 개시의 기술적 사상을 한정하는 의미로 해석되어서는 안될 것이다.
또한, 본 개시가 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 개시의 기본적 원리를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화와 변경이 가능함은 명백하다 할 것이다.
100: 웨이퍼 반송 장치
10: 구동축
20: 기어부
30: 구동축 고정 블록
31: 부싱부
32: 바디
311: 제1 부싱
312: 제2 부싱
33: 볼트
40: 지지 블록
41: 지지 블록 바디
42: 연결부
43: 지지 블록 연결부
10: 구동축
20: 기어부
30: 구동축 고정 블록
31: 부싱부
32: 바디
311: 제1 부싱
312: 제2 부싱
33: 볼트
40: 지지 블록
41: 지지 블록 바디
42: 연결부
43: 지지 블록 연결부
Claims (16)
- 구동축;
상기 구동축에 설치되고, 상기 구동축의 회전력을 웨이퍼를 이송하는 롤러부로 전달하도록 상기 롤러부와 접촉하는 복수 개의 기어부; 및
상기 복수 개의 기어부 사이에 설치되어 상기 구동축을 고정하는 적어도 하나의 구동축 고정 블록;
을 포함하되,
상기 구동축 고정 블록은, 상기 구동축을 수용하며 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 포함하는 부싱부를 구비하고,
상기 부싱부는,
상기 PEEK 수지를 포함하고, 상기 복수의 기어부가 상기 구동축의 길이 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제1 부싱; 및
상기 구동축과 상기 제1 부싱 사이에 상기 구동축을 지지하고, 상기 구동축의 원주 방향의 이동을 제한하는 제2 부싱;
을 포함하고,
상기 제2 부싱은 세라믹, PP(Polypropylene) 및 PVDF(Polyvinylidene fluoride) 중 적어도 하나를 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 삭제
- 제1 항에 있어서,
상기 부싱부의 외주면은 상기 PEEK 수지를 포함하고,
상기 부싱부의 내주면, 상기 구동축, 및 상기 구동축 고정 블록의 바디 중 적어도 하나는, 상기 부싱부의 외주면과 상이한 재질을 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제1 항에 있어서,
상기 부싱부는, 상기 구동축 고정 블록의 바디 또는 상기 복수 개의 기어부와 접촉하며 상기 PEEK 수지를 포함하는 접촉 영역을 구비하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제1 항에 있어서,
상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 구동축 고정 블록의 바디의 접촉 영역 또는 상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 복수 개의 기어부의 접촉 영역은, PEEK 수지를 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제1 항에 있어서,
상기 구동축 고정 블록은, 상기 웨이퍼 반송 장치의 프레임에 고정되는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제1 항에 있어서,
상기 구동축 고정 블록의 이동을 제한하는 지지 블록;을 더 포함하고,
상기 지지 블록은,
지지 블록 바디; 및
상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록 바디를 연결하는 연결부;를 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제7 항에 있어서,
상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록이 각각 복수 개로 구성되고,
인접하는 지지 블록들을 연결하는 지지 블록 연결부;
를 더 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제7 항에 있어서,
상기 지지 블록 바디는, 상기 웨이퍼 반송 장치의 프레임에 고정되는, 웨이퍼 반송 장치.
- 구동축;
상기 구동축에 설치되고, 상기 구동축의 회전력을 웨이퍼를 이송하는 롤러부로 전달하도록 상기 롤러부와 접촉하는 복수 개의 기어부;
상기 복수 개의 기어부 사이에 설치되어 상기 구동축을 고정하는 적어도 하나의 구동축 고정 블록; 및
상기 구동축 고정 블록의 이동을 제한하는 적어도 하나의 지지 블록;
을 포함하되,
상기 지지 블록은,
지지 블록 바디; 및
상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록 바디를 연결하는 연결부;를 포함하고,
상기 구동축 고정 블록은, 상기 구동축을 수용하며 폴리에테르에테르케톤(Polyether Ether Ketone, PEEK) 수지를 포함하는 부싱부를 구비하고,
상기 부싱부는,
상기 PEEK 수지를 포함하고, 상기 복수의 기어부가 상기 구동축의 길이 방향으로 이동하는 것을 제한하는 제1 부싱; 및
상기 구동축과 상기 제1 부싱 사이에 상기 구동축을 지지하고, 상기 구동축의 원주 방향의 이동을 제한하는 제2 부싱;
을 포함하고,
상기 제2 부싱은 세라믹, PP(Polypropylene) 및 PVDF(Polyvinylidene fluoride) 중 적어도 하나를 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 삭제
- 제10 항에 있어서,
상기 부싱부의 외주면은 상기 PEEK 수지를 포함하고,
상기 부싱부의 내주면, 상기 구동축, 및 상기 구동축 고정 블록의 바디 중 적어도 하나는, 상기 부싱의 외주면과 상이한 재질을 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제10 항에 있어서,
상기 부싱부는, 상기 구동축 고정 블록의 바디 또는 상기 복수 개의 기어부와 접촉하며 상기 PEEK 수지를 포함하는 접촉 영역을 구비하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제10 항에 있어서,
상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 구동축 고정 블록의 바디의 접촉 영역 또는 상기 부싱부의 외측과 접촉하는 상기 복수 개의 기어부의 접촉 영역은, PEEK 수지를 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제10 항에 있어서,
상기 구동축 고정 블록과 상기 지지 블록이 각각 복수 개로 구성되고,
인접하는 지지 블록들을 연결하는 지지 블록 연결부;
를 더 포함하는, 웨이퍼 반송 장치.
- 제10 항에 있어서,
상기 지지 블록 바디는, 상기 웨이퍼 반송 장치의 프레임에 고정되는, 웨이퍼 반송 장치.
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