JP5507089B2 - ウエハリング搬送装置 - Google Patents
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Description
1a 内径面
2 粘着シート
3 ウエハ
5、6、7、8 切欠部
11,12 ガイドレール
15,16 切欠部案内体
17 回転ローラ
24b ピストンロッド
30 引っ掛け機構
31 搬送手段
32 フック部
36 制御手段
Claims (6)
- ウエハが貼り付けられた粘着シートを保持しているウエハリングをガイドする一対のガイドレールが、リング供給部と搬送目的位置との間に配設されて、ウエハリングをリング供給部から搬送目的位置まで搬送するウエハリング搬送装置であって、
前記ガイドレールは、ウエハリングの外径面の軸心に関して180°反対の位置に配設される切欠部に対してそれぞれ接触して、ウエハリングをリング供給部から搬送目的位置までの連続搬送を許容する切欠部案内体を有し、かつ、相対向するガイドレールの切欠部案内体が相対的に接近・離間する方向に平行移動が可能であるとともに、ウエハリングのガイドレール間への搬送前においては、ガイドレールの切欠部案内体の間隔寸法がウエハリングの切欠部間寸法よりも大きな間隔とされ、ウエハリングがガイドレール間へ搬送された際に、切欠部案内体が相互に接近してこのウエハリングを切欠部案内体にて挟持するように制御する制御手段を設け、かつ、切欠部案内体は、ウエハリングの搬送方向に沿って所定ピッチで配設される複数の回転ローラを備え、さらに、上下方向の往復動が可能なフック部を有する引っ掛け機構を、そのフック部が上記一対のガイドレール間のセンタである搬送路中心線上に配設させるように配置し、このフック部を下降させることによって、ウエハリングの内径部の一部にこのフック部を係止させた状態で、切欠部案内体にてウエハリングを案内させつつリング供給部から搬送目的位置までフック部を介して引っ張ることを特徴とするウエハリング搬送装置。 - 前記回転ローラが前記ウエハリングの切欠部の切欠面に接触することを特徴とする請求項1に記載のウエハリング搬送装置。
- 前記回転ローラにベルト部材が掛け回され、このベルト部材が前記ウエハリングの切欠部の切欠面に接触することを特徴とする請求項1に記載のウエハリング搬送装置。
- 前記回転ローラがベアリングであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のウエハリング搬送装置。
- 前記リング供給部は、複数のウエハリングが収納されたリング収納用カセットであることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のウエハリング搬送装置。
- 前記搬送目的位置は、ボンディング装置の引き延ばし装置であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のウエハリング搬送装置。
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