KR101843195B1 - 기판이송장치 - Google Patents

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윤명재
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Abstract

본 발명의 실시예는, 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 제1방향으로 설치된 다수의 회전축; 다수의 회전축에 설치되며 기판을 이송하도록 회전하는 다수의 회전롤러; 다수의 회전축과 수직 하는 제2방향으로 설치된 다수의 가이드축; 및 기판의 측면과 접촉하여 회전하도록 다수의 가이드축에 설치된 다수의 가이드롤러를 포함하되, 다수의 가이드롤러 중 N개(N은 1 이상 정수)는 외륜에 상기 제2방향으로 형성된 홈을 갖는 기판이송장치를 제공한다.

Description

기판이송장치{Apparatus of Transferring Substrate}
본 발명의 실시예는 기판이송장치에 관한 것이다.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 유기전계발광표시장치(Organic Light Emitting Display: OLED), 액정표시장치(Liquid Crystal Display: LCD) 및 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 표시장치의 사용이 증가하고 있다.
앞서 설명한 바와 같은 표시장치는 기판 상에 형성된 다층의 박막 및 배선이 형성된다. 기판 상에 다층의 박막 및 배선을 형성하기 위해서는 증착, 베이킹, 식각, 세정 및 건조 등의 다양한 제조 공정이 요구된다. 각각의 공정은 주로 공정 챔버 내에서 이루어진다. 각 공정 챔버 사이에는 공정이 진행될 기판을 이송하는 기판이송장치가 설치된다.
기판이송장치에는 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 설치된 다수의 회전축과, 다수의 회전축에 설치되며 기판을 이송하도록 회전하는 다수의 회전롤러와, 다수의 회전축과 수직 하는 방향으로 설치된 다수의 가이드축과, 기판의 측면과 접촉하여 회전하도록 다수의 가이드축에 설치된 다수의 가이드롤러가 포함된다.
가이드롤러는 기판의 측면과 접촉하여 회전하며 기판이 특정 방향으로 이탈하는 것을 방지하는 역할을 한다. 가이드롤러는 기판을 이송하는 과정에서 기판의 측면과 끊임없이 접촉하며 회전을 하므로 기판과의 접촉상태 등에 따라 표면 마모가 발생한다.
그러므로, 기판이송장치를 운용할 때에는 가이드롤러와 기판 간의 접촉상태를 조정해주거나 가이드롤러의 표면 표면 마모도에 따른 교체 등과 같은 관리가 요구되지만 종래에는 정성적인 판단 기준만 있을 뿐 이를 점검할 수 있는 어떠한 장치도 마련되어 있지 않았다. 이 때문에, 종래 기판이송장치는 정확한 관리작업의 시행에 따른 어려움(점검시 시간 로스가 많음)이 있고, 장치 운용시 신뢰성 저하와 더불어 장치의 파손 등이 야기되고 있으므로 이의 개선이 요구된다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 실시예는, 기판과 가이드롤러의 접촉 현황에 대해 사전 감지를 하여 정량화된 적정 사용 기준 값의 제시가 가능하고, 실제 양산 설비라인에서 가이드롤러의 마모 정도에 따른 교체시기를 명확하게 제시하며, 가이드롤러의 수명 사전 예측을 통해 생산 가동률과 수율을 향상(기판 파손 저감)시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는 것이다.
상술한 과제 해결 수단으로 본 발명의 실시예는, 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 제1방향으로 설치된 다수의 회전축; 다수의 회전축에 설치되며 기판을 이송하도록 회전하는 다수의 회전롤러; 다수의 회전축과 수직 하는 제2방향으로 설치된 다수의 가이드축; 및 기판의 측면과 접촉하여 회전하도록 다수의 가이드축에 설치된 다수의 가이드롤러를 포함하되, 다수의 가이드롤러 중 N개(N은 1 이상 정수)는 외륜에 제2방향으로 형성된 홈을 갖는 기판이송장치를 제공한다.
홈은 다수의 가이드롤러와 기판과의 접촉상태, 직진도 및 표면 마모도에 따른 수명 평가 기준으로 사용될 수 있다.
홈은 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 직선으로 컷팅될 수 있다.
홈의 형상은 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 다수의 가이드롤러의 외륜의 외주면이 제거된 직사각형 모양을 포함할 수 있다.
다수의 가이드롤러의 평면에는 홈의 위치를 사용자에게 안내하는 안내부가 형성될 수 있다.
다수의 회전축은 다수의 가이드축과 인접하는 영역의 높이가 그 반대 영역의 높이보다 상대적으로 낮은 경사를 이루도록 기울기를 갖고 설치될 수 있다.
홈이 형성된 가이드롤러는 K개(K는 1 이상 정수)의 가이드축마다 설치될 수 있다.
홈의 폭과 깊이는 다수의 가이드롤러를 구성하는 외륜의 둘레와 깊이에 대응하여 가변될 수 있다.
다수의 가이드롤러는 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 좁은 삼각형 모양을 가질 수 있다.
다수의 가이드롤러는 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 넓은 브이(v)형 모양을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예는, 기판과 가이드롤러의 접촉 현황에 대해 사전 감지를 하여 정량화된 적정 사용 기준 값의 제시가 가능하고, 실제 양산 설비라인에서 가이드롤러의 마모 정도에 따른 교체시기를 명확하게 제시하며, 가이드롤러의 수명 사전 예측을 통해 생산 가동률과 수율을 향상(기판 파손 저감)시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도.
도 2는 도 1에 도시된 기판이송장치의 단면도.
도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 기판과 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 5는 본 발명의 제2실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면.
도 7은 본 발명에 따른 가이드롤러의 설치되는 형태를 다양한 방면에서 보여주는 도면.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러가 적용된 하나의 예를 나타낸 도면.
도 9는 비교예 대비 실시예에 따른 가이드롤러의 사용시간 대비 표면 마모도의 인지율을 설명하기 위한 그래프.
이하, 본 발명의 실시를 위한 구체적인 내용을 첨부된 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치의 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 기판이송장치의 단면도이며, 도 3은 도 1 및 도 2에 도시된 기판과 가이드롤러를 나타낸 도면이다.
실시예의 기판이송장치는 표시장치 제작시 사용되거나 기판을 필요로 하는 반도체나 다양한 장치 제작시 사용될 수 있다. 특히, 실시예의 기판이송장치는 표시장치 제작시 사용될 수 있다.
표시장치의 경우 기판 상에 다층의 박막 및 배선을 형성하기 위해 증착, 베이킹, 식각, 세정 및 건조 등의 다양한 제조 공정이 요구된다. 각각의 공정은 주로 공정 챔버 내에서 이루어진다. 각 공정 챔버 사이에는 공정이 진행될 기판을 이송하기 위한 실시예의 기판이송장치가 설치되는데, 이에 대한 설명은 이하에서 더욱 자세히 다룬다.
도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판이송장치에는 다수의 회전축(120), 다수의 회전롤러(130), 다수의 가이드축(140) 및 다수의 가이드롤러(150)가 포함된다.
다수의 회전축(120)은 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 제1방향으로 회전축 지지대(110) 상에 설치된다. 다수의 회전축(120)은 구동부의 회전 방향에 따라 다수의 회전롤러(130)를 회전시켜 로딩된 기판(GLS)을 이송시킨다. 다수의 회전축(120)은 제1방향으로 일정 공간 이격되도록 설치된다.
다수의 회전롤러(130)는 다수의 회전축(120)에 설치되며 다수의 회전축(120)의 회전 방향에 따라 로딩된 기판(GLS)을 이송하도록 회전한다. 다수의 회전롤러(130)는 하나의 회전축(120)에 다수 배치되며 이들은 일정 공간 이격되도록 설치된다.
다수의 가이드축(140)은 다수의 회전축(120)과 수직 하는 제2방향으로 가이드축 지지대(100) 상에 설치된다. 다수의 가이드축(140)은 일정 개수의 회전축(120)을 기준으로 균등하게 설치되거나 회전축(120)마다 설치될 수도 있다. 다수의 가이드축(140)은 다수의 회전축(120)과 달리 회전하지 않고 고정되도록 설치될 수 있다.
다수의 가이드롤러(150)는 다수의 가이드축(140)에 설치되며 기판(GLS)의 측면과 접촉하여 회전한다. 다수의 가이드롤러(150)는 다수의 가이드축(140)의 회전에 의해 회전하지 않고 기판(GLS)의 이송시 이루어지는 접촉에 의해 회전한다.
실시예의 기판이송장치에 포함된 다수의 회전롤러(130)는 도 2와 같이 다수의 회전축(120)에 고정되는 내부롤러부(131)와 내부롤러부(131)에 결합되는 외부롤러부(135)로 구성될 수 있다. 여기서, 외부롤러부(135)는 탄성을 지니며 내마모성이 높고 접지력이 우수한 천연고무나 수지계열의 재료가 이용될 수 있다.
실시예의 기판이송장치에 포함된 다수의 회전롤러(130) 및 다수의 가이드롤러(150) 중 적어도 하나는 베어링이 포함된 것을 이용할 수 있다.
실시예의 기판이송장치에 포함된 다수의 회전축(120)은 도 2와 같이 다수의 가이드축(140)과 인접하는 영역의 높이가 그 반대 영역의 높이보다 상대적으로 낮은 경사를 이루도록 기울기(r)를 갖고 설치될 수 있다.
이 경우, 기판(GLS)은 자동적으로 다수의 회전축(120)의 일측에 형성된 다수의 가이드축(140) 방향으로 기울어 지게 된다. 그리고, 기판(GLS)은 도 3과 같이 다수의 회전롤러(130)의 회전에 의해 자연스럽게 다수의 가이드롤러(150)와 접촉하는 방식으로 하중이 분포되며 이송된다.
한편, 이와 같은 과정에서 다수의 가이드롤러(150)는 기판(GLS)과의 접촉시 형성되는 마찰로 인하여 표면 마모가 이루어진다.
실시예의 기판이송장치는 기판(GLS)과의 접촉시 마찰로 인하여 다수의 가이드롤러(150)에 형성되는 표면 마모 그리고 기판(GLS)과의 접촉상태 및 기판(GLS)의 직진도 등을 평가할 수 있도록 다수의 가이드롤러(150)에 표식을 형성한다.
표식방법은 다수의 가이드롤러(150)의 표면에 특정 폭으로 선을 긋거나 특정 폭으로 홈을 형성하는 방법이 이용될 수 있다. 여기서, 선을 긋는 방법의 경우 가이드롤러(150)와 구분되도록 일정 표면에 색을 흡수시켜 입히는 방법이 이용될 수 있다. 그러나, 이 방법은 종래에 일반적으로 사용되는 가이드롤러에 적용하기 용이하지 않고, 색을 일정한 깊이로 형성하기 위한 공정상의 비용 증가가 있을 수 있다. 반면, 홈을 형성하는 방법의 경우 종래 사용되는 가이드롤러에 적용하기 용이하고, 선을 긋는 방법 대비 공정이 용이하며 비용 증가의 폭이 낮다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 본 발명의 제2실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면이고, 도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 가이드롤러를 나타낸 도면이다.
도 1 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 가이드롤러(150)는 가이드축이 삽입되는 관통공(151), 관통공(151)을 감싸는 내륜(153) 및 내륜을 감싸는 외륜(155)으로 구성된다.
가이드롤러(150)에 형성된 표식은 외륜(155)에 제2방향으로 형성된 홈(H)이다. 홈(H)은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 길이 즉, 가이드축(140)이 삽입되는 방향에 대응하여 직선으로 컷팅된 구조를 갖는다. 이때, 홈(H)의 형상은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 외주면이 제거된 직사각형 모양을 갖는다.
가이드롤러(150)의 외륜(155)에 형성된 홈(H)을 형성하는 방법은 가이드롤러(150)를 구성하는 재료에 따라 달라질 수 있지만, 레이저장비를 이용한 레이저 조사나 커팅장비를 이용한 물리적 커팅 등이 선택될 수 있다.
홈(H)이 형성된 가이드롤러(150)는 다수의 가이드롤러(150) 중 N개(N은 1 이상 정수)에 적용된다. 즉, 홈(H)이 형성된 가이드롤러(150)는 K개(K는 1 이상 정수)의 가이드축(140)마다 설치된다. 예컨대, 홈(H)이 형성된 가이드롤러(150)는 모든 가이드롤러(150)에 적용되거나 일부 가이드롤러(150)에 적용될 수 있다.
홈(H)의 폭과 깊이는 가이드롤러(150)를 구성하는 외륜(155)의 둘레와 깊이에 대응하여 가변될 수 있다.
앞서 설명한 바와 같은 구조로 가이드롤러(150)에 형성된 홈(H)은 기판(GLS)과의 접촉상태, 직진도 및 표면 마모도에 따른 수명 평가 기준으로 사용된다. 예컨대, 사용전의 가이드롤러(150)의 홈(H)을 기준으로 일정 시간 사용된 가이드롤러(150)의 홈(H)의 깊이나 폭을 측정하면, 기판(GLS)과의 접촉상태 및 직진도 등에 따른 정량적 및 정성적인 데이터를 산출할 수 있고, 이를 이용하여 가이드축(140)의 위치 등을 교정할 수 있게 된다. 또한, 사용전의 가이드롤러(150)의 홈(H)을 기준으로 일정 시간 사용된 가이드롤러(150)의 홈(H)의 깊이나 폭을 측정하면, 가이드롤러(150)에 대한 사용시간 대비 표면 마모도 데이터를 산출할 수 있고, 이를 이용하여 가이드롤러(150)의 수명과 교체시기를 판단할 수 있게 된다.
한편, 가이드롤러(150)의 평면에는 홈(H)의 위치를 사용자에게 안내하는 안내부(157)가 형성될 수 있다. 가이드롤러(150)의 안내부(157)는 사용자가 홈(H)의 깊이나 폭을 측정할 때, 빠른 위치 찾기를 제공하는 역할을 한다.
도 1 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 가이드롤러(150)는 가이드축이 삽입되는 관통공(151), 관통공(151)을 감싸는 내륜(153) 및 내륜을 감싸는 외륜(155)으로 구성된다.
가이드롤러(150)에 형성된 표식은 외륜(155)에 제2방향으로 형성된 홈(H)이다. 홈(H)은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 길이 즉, 가이드축(140)이 삽입되는 방향에 대응하여 직선으로 컷팅된 구조를 갖는다. 이때, 홈(H)의 형상은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 외주면이 제거된 삼각형 모양을 갖는다.
도 4에 도시된 제1실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측과 내측 폭(w)이 동일하다. 하지만, 도 5에 도시된 제2실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측 폭(w1)이 내측 폭(w2)보다 좁은 형상을 갖는다.
제1실시예의 구조는 홈(H)의 깊이를 측정하는 방식으로 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있는 반면, 제2실시예의 구조는 홈(H)의 폭을 측정하는 방식을 더하여 표면 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있게 된다. 또한, 제2실시예의 구조는 사용시간이 증가할수록 홈(H)의 폭이 넓어지므로 표면 마모도가 어느 정도 진행이 되었는지를 육안으로도 확인할 수 있게 된다.
도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3실시예에 따른 가이드롤러(150)는 가이드축이 삽입되는 관통공(151), 관통공(151)을 감싸는 내륜(153) 및 내륜을 감싸는 외륜(155)으로 구성된다.
가이드롤러(150)에 형성된 표식은 외륜(155)에 제2방향으로 형성된 홈(H)이다. 홈(H)은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 길이 즉, 가이드축(140)이 삽입되는 방향에 대응하여 직선으로 컷팅된 구조를 갖는다. 이때, 홈(H)의 형상은 가이드롤러(150)의 외륜(155)의 외주면이 제거된 브이(V)형 모양을 갖는다.
도 4에 도시된 제1실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측과 내측 폭(w)이 동일하다. 하지만, 도 6에 도시된 제3실시예에 따른 가이드롤러(150)의 경우 홈(H)의 외측 폭(w1)이 내측 폭(w2)보다 넓은 형상을 갖는다.
제1실시예의 구조는 홈(H)의 깊이를 측정하는 방식으로 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있는 반면, 제3실시예의 구조는 홈(H)의 폭을 측정하는 방식을 더하여 표면 마모도 등의 판단 기준을 마련할 수 있게 된다. 또한, 제3실시예의 구조는 사용시간이 증가할수록 홈(H)의 폭이 좁아지므로 표면 마모도가 어느 정도 진행이 되었는지를 육안으로도 확인할 수 있게 된다.
도 7은 본 발명에 따른 가이드롤러의 설치되는 형태를 다양한 방면에서 보여주는 도면이다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 가이드롤러(150)는 축(141), 축 지지바(142), 고정핀(143) 및 고정바(144)를 포함하는 가이드축(140)에 의해 고정되는 구조를 가질 수 있으나 이에 한정되지 않는다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러가 적용된 하나의 예를 나타낸 도면이다.
도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러는 기판(GLS)을 이송하는 기판이송장치(120, 130, 140, 150)에 포함된 가이드롤러(150)는 물론 기판(GLS)을 얼라인하는 기판얼라인장치(160, 170, 180)에 포함된 가이드롤러(160)에도 적용될 수 있다. 기판얼라인장치(160, 170, 180)는 로딩된 기판(GLS)을 얼라인하고 기판(GLS)을 기판이송장치(120, 130, 140, 150) 방향으로 다운시킨 후, 회전롤러(130) 상에 안착시키는 역할을 한다.
앞서 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 가이드롤러는 기판이송장치뿐만 아니라 다양한 분야에서 사용될 수 있다.
도 9는 비교예 대비 실시예에 따른 가이드롤러의 사용시간 대비 표면 마모도의 인지율을 설명하기 위한 그래프이다.
도 9의 비교예는 아무런 표식이 없는 가이드롤러를 이용한 기판이송장치에 대한 사용시간 대비 표면 마모도를 나타낸다. 도 9의 그래프를 통해 알 수 있듯이, 아무런 표식이 없는 가이드롤러를 사용하면 마모시작구간부터 수명도달 및 파손까지 가이드롤러의 표면에 마모가 어느 정도로 일어나는지 사용자가 알 수 없는 미인지 구간이 된다.
반면, 도 9의 실시예는 표식이 형성된 가이드롤러를 이용한 기판이송장치에 대한 사용시간 대비 표면 마모도를 나타낸다. 도 9의 실시예의 그래프를 통해 알 수 있듯이, 표식이 형성된 가이드롤러를 사용하면 마모시작구간부터 수명도달 및 파손까지 가이드롤러의 표면에 마모가 어느 정도로 일어나는지 사용자가 알 수 있는 인지 구간이 된다.
즉, 비교예는 가이드롤러에 아무런 표식이 없기 때문에 직접적인 인지가 불가능한 어려움이 있는 반면, 실시예는 가이드롤러에 표식이 있기 때문에 직접적인 인지가 가능한 이점이 있다.
이상 본 발명은 기판과 가이드롤러의 접촉 현황에 대해 사전 감지를 하여 정량화된 적정 사용 기준 값의 제시가 가능하고, 실제 양산 설비라인에서 가이드롤러의 마모 정도에 따른 교체시기를 명확하게 제시하며, 가이드롤러의 수명 사전 예측을 통해 생산 가동률과 수율을 향상(기판 파손 저감)시킬 수 있는 기판이송장치를 제공하는 효과가 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 상술한 본 발명의 기술적 구성은 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자가 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 한다. 아울러, 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어진다. 또한, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
120: 다수의 회전축 130: 다수의 회전롤러
140: 다수의 가이드축 150: 다수의 가이드롤러
GLS: 기판 151: 관통공
151: 관통공 153: 내륜
155: 외륜 H: 홈
157: 안내부

Claims (10)

  1. 구동부의 회전 방향에 따라 회전하도록 제1방향으로 설치된 다수의 회전축;
    상기 다수의 회전축에 설치되며 기판을 이송하도록 회전하는 다수의 회전롤러;
    상기 다수의 회전축과 수직 하는 제2방향으로 설치된 다수의 가이드축; 및
    상기 기판의 측면과 접촉하여 회전하도록 상기 다수의 가이드축에 설치된 다수의 가이드롤러를 포함하되,
    상기 다수의 가이드롤러 중 N개(N은 1 이상 정수)는 외륜에 상기 제2방향으로 형성된 홈을 갖는 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 홈은
    상기 다수의 가이드롤러와 상기 기판과의 접촉상태, 직진도 및 표면 마모도에 따른 수명 평가 기준으로 사용되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 홈은
    상기 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 직선으로 컷팅된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 홈의 형상은
    상기 다수의 가이드롤러의 외륜의 길이에 대응하여 상기 다수의 가이드롤러의 외륜의 외주면이 제거된 직사각형 모양을 포함하는 기판이송장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 가이드롤러의 평면에는 상기 홈의 위치를 사용자에게 안내하는 안내부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 회전축은
    상기 다수의 가이드축과 인접하는 영역의 높이가 그 반대 영역의 높이보다 상대적으로 낮은 경사를 이루도록 기울기를 갖고 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 홈이 형성된 가이드롤러는
    K개(K는 1 이상 정수)의 가이드축마다 설치된 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 홈의 폭과 깊이는
    상기 다수의 가이드롤러를 구성하는 외륜의 둘레와 깊이에 대응하여 가변되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 가이드롤러는
    상기 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 좁은 삼각형 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 다수의 가이드롤러는
    상기 홈의 외측 폭이 내측 폭보다 넓은 브이(v)형 모양을 갖는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200056922A (ko) * 2018-11-15 2020-05-25 웨이하이 디엠에스 주식회사 기판 이송장치

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060078538A (ko) * 2004-12-31 2006-07-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반송 롤러
KR20070056725A (ko) * 2005-11-30 2007-06-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 스핀 드라이어의 기판 정렬기
KR20080021941A (ko) * 2006-09-05 2008-03-10 주식회사 케이씨텍 기판이송장치
KR20080047747A (ko) * 2006-11-27 2008-05-30 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR20080082137A (ko) * 2007-03-07 2008-09-11 엘지디스플레이 주식회사 기판 반송장치 및 기판처리방법
JP2009130011A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Atel Corp 基板位置決め装置
JP2010024042A (ja) * 2008-07-24 2010-02-04 Shibaura Mechatronics Corp 基板の搬送装置及び処理装置
KR20100054545A (ko) * 2008-11-14 2010-05-25 세메스 주식회사 평판 반송 장치용 얼라이너
JP4623443B2 (ja) * 2007-04-27 2011-02-02 日本エアーテック株式会社 浮上搬送装置における被搬送物制動装置
KR20110056024A (ko) * 2009-11-20 2011-05-26 세메스 주식회사 기판 이송 장치

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20060078538A (ko) * 2004-12-31 2006-07-05 엘지.필립스 엘시디 주식회사 반송 롤러
KR20070056725A (ko) * 2005-11-30 2007-06-04 엘지.필립스 엘시디 주식회사 스핀 드라이어의 기판 정렬기
KR20080021941A (ko) * 2006-09-05 2008-03-10 주식회사 케이씨텍 기판이송장치
KR20080047747A (ko) * 2006-11-27 2008-05-30 세메스 주식회사 기판 이송 장치
KR20080082137A (ko) * 2007-03-07 2008-09-11 엘지디스플레이 주식회사 기판 반송장치 및 기판처리방법
JP4623443B2 (ja) * 2007-04-27 2011-02-02 日本エアーテック株式会社 浮上搬送装置における被搬送物制動装置
JP2009130011A (ja) * 2007-11-21 2009-06-11 Atel Corp 基板位置決め装置
JP2010024042A (ja) * 2008-07-24 2010-02-04 Shibaura Mechatronics Corp 基板の搬送装置及び処理装置
KR20100054545A (ko) * 2008-11-14 2010-05-25 세메스 주식회사 평판 반송 장치용 얼라이너
KR20110056024A (ko) * 2009-11-20 2011-05-26 세메스 주식회사 기판 이송 장치

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200056922A (ko) * 2018-11-15 2020-05-25 웨이하이 디엠에스 주식회사 기판 이송장치
KR102244455B1 (ko) * 2018-11-15 2021-04-23 웨이하이 디엠에스 주식회사 기판 이송장치

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