JP2008532295A - 導電性の試験領域を有する多層プリント回路基板及び中間層のミスアライメントを測定する方法 - Google Patents
導電性の試験領域を有する多層プリント回路基板及び中間層のミスアライメントを測定する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008532295A JP2008532295A JP2007557273A JP2007557273A JP2008532295A JP 2008532295 A JP2008532295 A JP 2008532295A JP 2007557273 A JP2007557273 A JP 2007557273A JP 2007557273 A JP2007557273 A JP 2007557273A JP 2008532295 A JP2008532295 A JP 2008532295A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed circuit
- circuit board
- intermediate layer
- ring structure
- conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 24
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 6
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000007688 edging Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000001568 sexual effect Effects 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/0266—Marks, test patterns or identification means
- H05K1/0268—Marks, test patterns or identification means for electrical inspection or testing
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/46—Manufacturing multilayer circuits
- H05K3/4611—Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
- H05K3/4638—Aligning and fixing the circuit boards before lamination; Detecting or measuring the misalignment after lamination; Aligning external circuit patterns or via connections relative to internal circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
- H05K2201/09—Shape and layout
- H05K2201/09209—Shape and layout details of conductors
- H05K2201/09654—Shape and layout details of conductors covering at least two types of conductors provided for in H05K2201/09218 - H05K2201/095
- H05K2201/09781—Dummy conductors, i.e. not used for normal transport of current; Dummy electrodes of components
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K2203/00—Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
- H05K2203/16—Inspection; Monitoring; Aligning
- H05K2203/166—Alignment or registration; Control of registration
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K3/42—Plated through-holes or plated via connections
- H05K3/429—Plated through-holes specially for multilayer circuits, e.g. having connections to inner circuit layers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Structure Of Printed Boards (AREA)
- Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
と、
実際の例となる値は、
R=90μm
A=65μm
D=200μm
R.1=225μm(9mil)
R.2=250μm(10mil)
R.3=275μm(11mil)
R.4=300μm(12mil)
これから、αは、おおよそ10°となる。
これにより、上述と同じように、ミスアライメント量及び方向の観点から、穴(貫通穴5)に関連して、上方の中間層4の構造のミスアライメント、例えば写真処理の補正量を検出することが可能である。このように、オフセットの総量から切削工程に対して写真工程によるオフセットを単独で測定できる。
Claims (15)
- 中間層の推定されるミスアライメント又は中間層構造のミスアライメントのそれぞれを測定する少なくとも1つの中間層(2)の上に導電性の試験領域(7)を備える多層プリント回路基板(1)であって、上記導電性の試験領域は、列に並べられ、あらゆる大きさの非導電性の領域(8.i)を内側に形成されるリング構造(7.i)で構成され、試験領域の辺りに導通用貫通穴(5)を有し、ミスアライメントが無い又は無視して良い場合には、当該貫通穴(5)は、非導電性の領域の内側で構成され、さらに、ごくわずかなミスアライメントもない場合には、少なくとも1つの貫通穴(5)は、1つの導電性のリング構造(7.i)の辺りに存在し、リング構造(7.i)と導電的に接続しており、リング構造の試験領域(7)は、円周方向に分割されたセグメント(a、b、c、d)で構成され、上記セグメント(a、b、c、d)は、非導電性の分離領域(9)で円周方向にお互いに分離されていることを特徴とする多層プリント回路基板。
- それぞれのリング構造(7.i)は、同じ大きさのセグメント(a、b、c、d)を備えていることを特徴とする、請求項1に記載のプリント回路基板。
- それぞれのリング構造の上記セグメント(a、b、c、d)は、環状のセグメントであることを特徴とする、請求項1又は2に記載のプリント回路基板。
- 一列(3)に並ぶ全ての上記リング構造(7.i)の上記環状のセグメント(a、b、c、d)は、半径方向に同一の幅(D)を有していることを特徴とする、請求項3に記載のプリント回路基板。
- 4つのセグメント(a、b、c、d)は、それぞれのリング構造(7.i)に含まれていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
- それぞれのリング構造(7.i)において、分離領域(9)は、同一の幅を有していることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
- 一列(3)に並ぶ全ての前記リング構造(7.i)の上記環状のセグメント(a、b、c、d)の間の分離領域(9)は、同一の幅(A)を有していることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
- 導通用貫通穴(5)は、接触領域(6)を構成している1つのプリント回路基板層(4)からリング構造の試験領域(7.i)を備えた中間層(2)に向かって延びていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
- 導通用貫通穴(5)は、リング構造の試験領域(7.i)を備えた中間層(4)から上記貫通穴(5)の間を接触領域(11)である共通で連続した導電性領域を有するもう1つのプリント基板層(2)に向かって延びていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1つに記載のプリント回路基板。
- 導電性の試験領域(7)及び導通用貫通穴を用いて、多層プリント回路基板(1)における中間層(2)又は中間層構造の推定されるミスアライメント測定する方法であって、プリント回路基板(1)の少なくとも1つの中間層(2)は、列を成して並べられ、あらゆる大きさの非導電性の領域(8.i)を内側に形成されるリング構造(7.i)で構成され、ミスアライメントが無い又は無視して良い場合、試験領域の辺りに配置された導通用貫通穴(5)は、内面積(8.i)の辺りに存在し、さらに、ミスアライメントがある場合には、導通用貫通穴(5)は導電性のリング構造(7.i)の辺りに個々に設置され、上記導電性のリング構造(7.i)と接続を形成し、上記貫通穴(5)と上記リング構造(7.i)との間に電圧が印加されると、ミスアライメントに依存して、上記中間層(2)又は中間層構造のそれぞれのミスアライメントの結果から、短絡が特定の2組の貫通穴とリング構造で検出され、リング構造の試験領域(7.i)は、セグメントに構成され、リング構造における試験領域のセグメント(a、b、c、d)のそれぞれは非導電性の分離領域(9)により互いに分離されて構成され、貫通穴(5)と導電的に接続するセグメント(a、b、c、d)に依存して、上記ミスアライメントの大きさに加えて、上記ミスアライメントの角度方向も測定することができる方法。
- 一列に並ぶ試験領域(7)は、円環のセグメント(a、b、c、d)のグループで形成されていることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 4つのセグメント(a、b、c、d)は、それぞれのリング構造(7.i)に含まれていることを特徴とする、請求項10又は11に記載の方法。
- 導通用貫通穴は、別のプリント回路基板層から試験領域のセグメントを備えた中間層に向かって形成されていることを特徴とする、請求項10〜12のいずれか1つに記載の方法。
- 導通用貫通穴(5)が上記プリント回路基板層(4)から形成されると同時に、試験領域のセグメント(a、b、c、d)が当該プリント回路基板層に配置され、共通の連続した導電性領域(11)が塗布されている上記中間層(2)に向かって、上記貫通穴(5)が形成されることを特徴とする、請求項10〜13のいずれか1つに記載の方法。
- 上記試験領域のセグメント(a、b、c、d)は、上記貫通穴(5)が構成された上で、写真平版処理により塗布されることを特徴とする、請求項14に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
AT0034405A AT501513B1 (de) | 2005-03-01 | 2005-03-01 | Mehrlagige leiterplatte mit leitenden testflächen sowie verfahren zum bestimmen eines versatzes einer innenlage |
ATA344/2005 | 2005-03-01 | ||
PCT/AT2006/000078 WO2006091990A1 (de) | 2005-03-01 | 2006-02-23 | Mehrlagige leiterplatte mit leitenden testflächen sowie verfahren zum bestimmen eines versatzes einer innenlage |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008532295A true JP2008532295A (ja) | 2008-08-14 |
JP4979597B2 JP4979597B2 (ja) | 2012-07-18 |
Family
ID=36090933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007557273A Expired - Fee Related JP4979597B2 (ja) | 2005-03-01 | 2006-02-23 | 導電性の試験領域を有する多層プリント回路基板及び中間層のミスアライメントを測定する方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US20080190651A1 (ja) |
JP (1) | JP4979597B2 (ja) |
KR (1) | KR101234145B1 (ja) |
CN (1) | CN101133689B (ja) |
AT (1) | AT501513B1 (ja) |
CA (1) | CA2600257A1 (ja) |
DE (1) | DE112006000497B4 (ja) |
WO (1) | WO2006091990A1 (ja) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8871660B2 (en) * | 2007-02-08 | 2014-10-28 | Sumitomo Bakelite Co., Ltd. | Laminated body, circuit board including laminated body, semiconductor package and process for manufacturing laminated body |
JP4912917B2 (ja) * | 2007-02-22 | 2012-04-11 | 京セラ株式会社 | 回路基板、携帯電子機器及び回路基板の製造方法 |
CN102111961B (zh) * | 2010-12-20 | 2012-11-14 | 胜宏电子(惠阳)有限公司 | 一种检测线路板内外层制程能力的方法 |
CN102072716B (zh) * | 2010-12-21 | 2012-05-23 | 胜宏科技(惠州)有限公司 | 一种多层线路板层间和钻孔偏移检测方法 |
US20120212252A1 (en) * | 2011-02-17 | 2012-08-23 | Aronson Scott H | Printed Circuit Board Registration Testing |
US10687956B2 (en) | 2014-06-17 | 2020-06-23 | Titan Spine, Inc. | Corpectomy implants with roughened bioactive lateral surfaces |
TWI726940B (zh) | 2015-11-20 | 2021-05-11 | 美商泰坦脊柱股份有限公司 | 積層製造整形外科植入物之方法 |
WO2017087944A1 (en) | 2015-11-20 | 2017-05-26 | Titan Spine, Llc | Processes for additively manufacturing orthopedic implants |
US20190096629A1 (en) * | 2016-05-06 | 2019-03-28 | National University Of Singapore | A corrector structure and a method for correcting aberration of an annular focused charged-particle beam |
US10893605B2 (en) | 2019-05-28 | 2021-01-12 | Seagate Technology Llc | Textured test pads for printed circuit board testing |
CN113513975B (zh) * | 2020-04-10 | 2023-07-07 | 深南电路股份有限公司 | 印刷电路板及孔圆柱度测试方法 |
CN112198417A (zh) * | 2020-09-30 | 2021-01-08 | 生益电子股份有限公司 | 一种过孔制作能力测试板及测试方法 |
KR20220169545A (ko) | 2021-06-21 | 2022-12-28 | 삼성전자주식회사 | 인쇄 회로 기판 및 메모리 모듈 |
CN115602663A (zh) * | 2021-07-09 | 2023-01-13 | 长鑫存储技术有限公司(Cn) | 电学测试结构、半导体结构及电学测试方法 |
US11854915B2 (en) | 2021-07-09 | 2023-12-26 | Changxin Memory Technologies, Inc. | Electrical test structure, semiconductor structure and electrical test method |
CN114980528A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-08-30 | 生益电子股份有限公司 | 一种背钻对准度检测方法 |
CN117320329A (zh) * | 2023-09-26 | 2023-12-29 | 江门全合精密电子有限公司 | 一种多层pcb板内层偏位的测试方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6453499A (en) * | 1986-12-15 | 1989-03-01 | Nec Corp | Multilayer printed wiring board and inspection of same |
JPH1154940A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Fujitsu Ltd | 多層配線基板のスルーホールの位置ずれ検査方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3045433A1 (de) * | 1980-12-02 | 1982-07-01 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Mehrlagen-leiterplatte und verfahren zur ermittlung der ist-position innenliegender anschlussflaechen |
US4918380A (en) * | 1988-07-07 | 1990-04-17 | Paur Tom R | System for measuring misregistration |
JP2890442B2 (ja) * | 1989-02-27 | 1999-05-17 | 日本電気株式会社 | 半導体装置のコンタクトホールの目ずれ検査方法 |
JPH02246194A (ja) * | 1989-03-17 | 1990-10-01 | Fujitsu Ltd | 多層プリント配線板 |
US4898636A (en) * | 1989-05-04 | 1990-02-06 | Rigling Walter S | Multilayer printed wiring registration method and apparatus |
GB2311618A (en) * | 1996-03-27 | 1997-10-01 | Motorola Ltd | Determining layer registration in multi-layer circuit boards |
JPH11145628A (ja) * | 1997-11-05 | 1999-05-28 | Toshiba Corp | 印刷配線基板 |
US6103978A (en) * | 1997-12-18 | 2000-08-15 | Lucent Technologies Inc. | Printed wiring board having inner test-layer for improved test probing |
US6297458B1 (en) * | 1999-04-14 | 2001-10-02 | Dell Usa, L.P. | Printed circuit board and method for evaluating the inner layer hole registration process capability of the printed circuit board manufacturing process |
US6774640B2 (en) * | 2002-08-20 | 2004-08-10 | St Assembly Test Services Pte Ltd. | Test coupon pattern design to control multilayer saw singulated plastic ball grid array substrate mis-registration |
US7619434B1 (en) * | 2004-12-01 | 2009-11-17 | Cardiac Pacemakers, Inc. | System for multiple layer printed circuit board misregistration testing |
-
2005
- 2005-03-01 AT AT0034405A patent/AT501513B1/de not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-02-23 CA CA002600257A patent/CA2600257A1/en not_active Abandoned
- 2006-02-23 KR KR1020077022218A patent/KR101234145B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-02-23 CN CN2006800067344A patent/CN101133689B/zh active Active
- 2006-02-23 US US11/883,949 patent/US20080190651A1/en not_active Abandoned
- 2006-02-23 DE DE112006000497.2T patent/DE112006000497B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2006-02-23 WO PCT/AT2006/000078 patent/WO2006091990A1/de not_active Application Discontinuation
- 2006-02-23 JP JP2007557273A patent/JP4979597B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-11-08 US US13/291,674 patent/US20120125666A1/en not_active Abandoned
-
2013
- 2013-10-07 US US14/047,219 patent/US20140034368A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6453499A (en) * | 1986-12-15 | 1989-03-01 | Nec Corp | Multilayer printed wiring board and inspection of same |
JPH1154940A (ja) * | 1997-08-05 | 1999-02-26 | Fujitsu Ltd | 多層配線基板のスルーホールの位置ずれ検査方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101234145B1 (ko) | 2013-02-18 |
WO2006091990A1 (de) | 2006-09-08 |
KR20070112826A (ko) | 2007-11-27 |
US20080190651A1 (en) | 2008-08-14 |
JP4979597B2 (ja) | 2012-07-18 |
DE112006000497A5 (de) | 2008-01-17 |
DE112006000497B4 (de) | 2015-07-16 |
CN101133689A (zh) | 2008-02-27 |
CN101133689B (zh) | 2010-04-21 |
CA2600257A1 (en) | 2006-09-08 |
US20120125666A1 (en) | 2012-05-24 |
AT501513A1 (de) | 2006-09-15 |
AT501513B1 (de) | 2007-06-15 |
US20140034368A1 (en) | 2014-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4979597B2 (ja) | 導電性の試験領域を有する多層プリント回路基板及び中間層のミスアライメントを測定する方法 | |
CN101697001B (zh) | 一种检测多层印制电路板层间位置偏移的方法 | |
JP5064062B2 (ja) | 多層配線基板の検査方法 | |
ITVI20100159A1 (it) | Struttura di rilevamento dell'allineamento di una sonda atta a testare circuiti integrati | |
JP5237383B2 (ja) | 内部応力を測定するためのロゼット歪ゲージ | |
JP5019909B2 (ja) | 多層配線基板の検査方法 | |
CN116017842A (zh) | 一种多层电路板及电路板内层对位检测方法 | |
US11594249B2 (en) | Process coupons used in manufacturing flexures | |
JP2008218921A (ja) | 位置ずれ量の測定用パターンおよび測定方法、ならびに半導体装置 | |
JP2007335550A (ja) | 半導体装置 | |
JP2001144253A (ja) | 半導体装置のチェックパターン | |
JP2008270277A (ja) | 位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置 | |
KR20080004988A (ko) | 인쇄회로기판 | |
JP4679274B2 (ja) | プローブの製造方法 | |
JP5894718B2 (ja) | 接触子、検査治具、及び接触子の製造方法 | |
KR20120076266A (ko) | 프로브 카드용 세라믹 기판 및 그 제조방법 | |
US20200251391A1 (en) | Novel test structure and evaluation method for semiconductor photo overlay | |
JP2010127852A (ja) | プローブピン、および、それを備えるテストヘッド | |
JPH1154940A (ja) | 多層配線基板のスルーホールの位置ずれ検査方法 | |
JP4229110B2 (ja) | コンタクトの合わせズレ検出方法 | |
JP5500554B2 (ja) | 多層プリント配線板 | |
CN112927726B (zh) | 在制造挠曲件时使用的工艺试件 | |
JPS601572A (ja) | 多層印刷配線板の試験方法 | |
KR100816192B1 (ko) | 정렬 마크를 가지는 반도체 장치 | |
JP2002158413A (ja) | 印刷配線板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110329 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110629 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110706 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110728 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110804 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20110829 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20110905 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120321 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120417 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150427 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4979597 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |