JP2008270277A - 位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置 - Google Patents
位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008270277A JP2008270277A JP2007107340A JP2007107340A JP2008270277A JP 2008270277 A JP2008270277 A JP 2008270277A JP 2007107340 A JP2007107340 A JP 2007107340A JP 2007107340 A JP2007107340 A JP 2007107340A JP 2008270277 A JP2008270277 A JP 2008270277A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring
- via plug
- detection pattern
- conductor
- misalignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/30—Structural arrangements specially adapted for testing or measuring during manufacture or treatment, or specially adapted for reliability measurements
- H01L22/34—Circuits for electrically characterising or monitoring manufacturing processes, e. g. whole test die, wafers filled with test structures, on-board-devices incorporated on each die, process control monitors or pad structures thereof, devices in scribe line
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
【課題】従来の位置ずれ検出パターンでは、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれを検出することができない。
【解決手段】位置ずれ検出パターン1は、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれの検出に用いられるパターンであって、配線10、ビアプラグ20(第1のビアプラグ)、ビアプラグ30(第2のビアプラグ)、および導体40を備えている。配線10の上面(第1面)および下面(第2面)には、それぞれビアプラグ20およびビアプラグ30が接続されている。配線10と同層には、当該配線10と所定の間隔を空けて導体40が設けられている。
【選択図】図2
【解決手段】位置ずれ検出パターン1は、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれの検出に用いられるパターンであって、配線10、ビアプラグ20(第1のビアプラグ)、ビアプラグ30(第2のビアプラグ)、および導体40を備えている。配線10の上面(第1面)および下面(第2面)には、それぞれビアプラグ20およびビアプラグ30が接続されている。配線10と同層には、当該配線10と所定の間隔を空けて導体40が設けられている。
【選択図】図2
Description
本発明は、位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置に関する。
図12は、特許文献1に記載された位置ずれ検出パターンを示す平面図である。この位置ずれ検出パターン100には、薄膜電極102および薄膜電極104が設けられている。薄膜電極102は、位置ずれの検出対象となるパターンの形成に先立って、基板上に予め形成されている。一方、薄膜電極104は、上記パターンと同時に形成される。各薄膜電極102,104は、一定のピッチで配列されている。ただし、薄膜電極102のピッチと薄膜電極104のピッチとは、相異なる。
かかる構成により、薄膜電極102と薄膜電極104とは、必ずどこかで接触することになる。その接触した位置では、薄膜電極102と薄膜電極104とが電気的に導通した状態にある。したがって、どの薄膜電極102,104が電気的に導通しているかを調べることによって、配線等のパターンの位置ずれを検出することができる。
特開昭62−86741号公報
上述の位置ずれ検出パターン100によれば、配線の絶対的な位置ずれ、すなわち配線の基板に対する位置ずれを検出することができる。しかしながら、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれを検出することはできない。
本発明による位置ずれ検出パターンは、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれの検出に用いられるパターンであって、互いに反対の面である第1面および第2面を有する配線と、上記配線の上記第1面に接続された第1のビアプラグと、上記配線の上記第2面に接続された第2のビアプラグと、上記配線と所定の間隔を空けて、当該配線と同層に設けられた導体と、を備えることを特徴とする。
この位置ずれ検出パターンにおいては、配線とそれに接続されたビアプラグとが設けられている。配線とビアプラグとの間に相対的な位置ずれが存在すると、配線または導体とビアプラグとの接触面の面積が変化する。この面積の変化は、上記接触面を含む経路の電気抵抗の変化となって表れる。したがって、当該電気抵抗を測定することにより、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれを検出することができる。
本発明によれば、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれの検出に適した位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置が実現される。
以下、図面を参照しつつ、本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
(第1実施形態)
図1は、本発明による位置ずれ検出パターンの第1実施形態を示す平面図である。また、図2は、図1のII−II線に沿った断面図である。位置ずれ検出パターン1は、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれの検出に用いられるパターンであって、配線10、ビアプラグ20(第1のビアプラグ)、ビアプラグ30(第2のビアプラグ)、および導体40を備えている。これらの配線10、ビアプラグ20、ビアプラグ30および導体40は、例えば銅によって構成される。なお、図1および図2は、上記位置ずれが無いときの様子を示している。
配線10の上面(第1面)および下面(第2面)には、それぞれビアプラグ20およびビアプラグ30が接続されている。上記位置ずれが無いとき、ビアプラグ20,30は、平面視で互いに重なる位置に設けられている。また、このとき、平面視で、配線10の重心は、各ビアプラグ20,30の重心に一致している。本実施形態において配線10の面積は、平面視で各ビアプラグ20,30の面積よりも大きい。
配線10と同層には、当該配線10と所定の間隔を空けて導体40が設けられている。導体40は、図1からわかるように、配線10を包囲している。すなわち、導体40の開口部内に配線10が配置された構成となっている。上記位置ずれが無いとき、配線10と導体40との間隔は一定である。
ビアプラグ20の上面には、配線52が接続されている。また、ビアプラグ30の下面には、配線54が接続されている。これらの配線52,54は、例えば銅によって構成される。なお、図1においては、配線52,54の図示を省略している。
上述の配線10および導体40は、例えば、位置ずれ検出パターン1が設けられた半導体装置においてM2配線(下から2層目の配線)と同層に形成される。その場合、配線10および導体40は、例えばダマシン法により、M2配線と同時に形成される。特にデュアルダマシン法を用いる場合であれば、ビアプラグ30も、これらの配線10、導体40およびM2配線と同時に形成される。配線10は、上記半導体装置に設けられた配線の中で最小面積を有する配線(最小面積配線)であることが好ましい。また、配線10と導体40との間の間隔は、上記半導体装置に設けられた配線間の最小間隔(最小配線間隔)に等しいことが好ましい。
配線52および配線54は、例えば、それぞれ上記半導体装置においてM3配線(下から3層目の配線)およびM1配線(最下層の配線)と同層に形成される。その場合、配線52および配線54は、例えばダマシン法により、それぞれM3配線およびM1配線と同時に形成される。特にデュアルダマシン法を用いる場合であれば、ビアプラグ20も、配線52およびM3配線と同時に形成される。
続いて、本発明による位置ずれ検出方法の一実施形態として、位置ずれ検出パターン1の動作例を説明する。まず、図3(a)および図3(b)を参照しつつ、オープンチェックによる位置ずれ検出方法を説明する。この方法は、図3(a)に示すように、ビアプラグ20とビアプラグ30との間に電圧を印加するステップを含むものである。具体的には、各配線52,54に接続された端子(図示せず)間に電圧を印加する。これにより、配線10とビアプラグ20,30との接触面を含む経路の電気抵抗を測定する。
図3(b)に示すように、配線10とビアプラグ20,30との間に相対的な位置ずれが存在すると、上記接触面の面積が小さくなる。この面積の変化は、上記電気抵抗の変化となって表れる。したがって、当該電気抵抗を測定することにより、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれを電気的に検出することができる。
次に、図4(a)および図4(b)を参照しつつ、ショートチェックによる位置ずれ検出方法を説明する。この方法は、図4(a)に示すように、ビアプラグ20と導体40との間に電圧を印加するステップを含むものである。具体的には、配線52に接続された端子(図示せず)と導体40に接続された端子(図示せず)との間に電圧を印加する。これにより、導体40とビアプラグ20,30との接触面を含む経路の電気抵抗を測定する。
図4(b)に示すように、配線10とビアプラグ20,30との間に相対的な位置ずれが存在すると、上記接触面の面積が大きくなる。この面積の変化は、上記電気抵抗の変化となって表れる。したがって、当該電気抵抗を測定することにより、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれを電気的に検出することができる。
このように、本実施形態によれば、配線とビアプラグとの相対的な位置ずれの検出に適した位置ずれ検出パターン1が実現される。さらに、位置ずれ検出パターン1によれば、ビアプラグ20およびビアプラグ30の双方と配線10との間の位置ずれを検出することが可能である。また、X方向(図1の左右方向)およびY方向(図1の上下方向)の双方について、上記位置ずれを検出することが可能である。これに対して、図12に示した位置ずれ検出パターンでは、薄膜電極102,104の配列方向(図12の上下方向)についてしか、位置ずれを検出することができない。
また、本実施形態においては、配線10の周囲に導体40が設けられている。このため、半導体装置の製造時に、配線10の加工がし易くなる。つまり、導体40は、ダミー導体パターンとしての機能を有している。特に配線10を最小面積配線とする場合、導体40が設けられていないと、当該配線10の形成が困難になってしまう。さらに、導体40は、図4(a)および図4(b)で説明したように、ショートチェックの際に電気抵抗を測定する経路の一部として機能する。
配線10の面積が、各ビアプラグ20,30の面積よりも大きい。これにより、オープンチェックまたはショートチェックにおいて、位置ずれが無いときに測定される電気抵抗が安定する。このため、測定誤差を小さく抑えることができる。
配線10と導体40との間の間隔が最小配線間隔に等しい場合、ショートチェックにおける位置ずれの検出感度を高めることができる。僅かな位置ずれであっても、導体40とビアプラグ20,30との接触が起こるためである。
図5(a)および図5(b)は、それぞれ実施形態の比較例に係る位置ずれ検出パターンを示す平面図および断面図である。下層配線202、上層配線204およびビアプラグ206は、ビアチェーンを構成している。
図6(a)および図6(b)に示すように、例えば下層配線202とビアプラグ206との間に相対的な位置ずれが存在するとき、それらの接触面の面積が小さくなる。よって、当該ビアチェーンの電気抵抗を測定することで、位置ずれの検出が可能である。なお、図6(a)においては、上層配線204の図示を省略している。
しかしながら、この位置ずれ検出パターンにおいては、位置ずれとビアプラグ206の埋込不良とが互いに独立したパラメータになっていないという問題がある。すなわち、上記位置ずれのみならず、ビアプラグ206の形成時の金属埋込不良までもが、ビアチェーンの電気抵抗の変化に寄与してしまう。それゆえ、測定された電気抵抗の値から位置ずれ量を精度良く求めることが困難である。
この点、本実施形態においては、配線10の重心が、各ビアプラグ20,30の重心に一致している。つまり、ビアプラグ20,30が配線10の中央部に接続されている。このため、ビアプラグ20,30が配線10の端部に接続されている場合に比して、ビアプラグ20,30の形成時に金属埋込不良が起こりにくい。よって、測定された電気抵抗の値から位置ずれ量を精度良く求めることができる。
(第2実施形態)
(第2実施形態)
図7は、本発明による位置ずれ検出パターンの第2実施形態を示す断面図である。位置ずれ検出パターン2においては、配線10の面積が、平面視で各ビアプラグ20,30の面積よりも小さい。この場合も、配線10は、最小面積配線であることが好ましい。また、配線10と導体40との間の間隔は、最小配線間隔に等しいことが好ましい。位置ずれ検出パターン2のその他の構成は、位置ずれ検出パターン1と同様である。
本実施形態においても、オープンチェックによる位置ずれ検出を行うときには、図8(a)および図8(b)に示すように、ビアプラグ20とビアプラグ30との間に電圧を印加すればよい。また、ショートチェックによる位置ずれ検出を行うときには、図9(a)および図9(b)に示すように、ビアプラグ20と導体40との間に電圧を印加すればよい。図8(a)および図9(a)は、位置ずれが無いときの様子を示している。一方、図8(b)および図9(b)は、配線10とビアプラグ20,30との間に相対的な位置ずれが存在するときの様子を示している。
本実施形態においては、配線10の面積が各ビアプラグ20,30の面積よりも小さい。これにより、配線10の面積が各ビアプラグ20,30の面積よりも大きい場合に比して、位置ずれが無いときの各ビアプラグ20,30と導体40との間の距離を縮めることができる。よって、ショートチェックにおける位置ずれの検出感度を高めることができる。本実施形態のその他の効果は、第1実施形態と同様である。
(第3実施形態)
(第3実施形態)
図10は、本発明による位置ずれ検出パターンの第3実施形態を示す断面図である。位置ずれ検出パターン3においては、配線10の面積が、平面視で各ビアプラグ20,30の面積に等しい。この場合も、配線10は、最小面積配線であることが好ましい。また、配線10と導体40との間の間隔は、最小配線間隔に等しいことが好ましい。位置ずれ検出パターン3のその他の構成は、位置ずれ検出パターン1と同様である。
本実施形態においても第1および第2実施形態と同様にして、オープンチェックまたはショートチェックによる位置ずれ検出を行うことができる。
本実施形態においては、配線10の面積が各ビアプラグ20,30の面積に等しい。これにより、オープンチェックにおける位置ずれの検出感度を高めることができる。僅かな位置ずれであっても、配線10とビアプラグ20,30との接触面の面積が変化するためである。本実施形態のその他の効果は、第1実施形態と同様である。
図11(a)および図11(b)は、それぞれオープンチェックおよびショートチェックにおいて測定される電気抵抗と位置ずれ量との関係を示すグラフである。縦軸が電気抵抗(Ω)を表し、横軸がX方向またはY方向についての位置ずれ量(nm)を表している。各グラフにおいて、線L1、線L2および線L3は、それぞれ上述した第1、第2および第3実施形態に対応している。これらのグラフは、配線10を最小面積配線とし、配線10と導体40との間隔を最小配線間隔とした場合の結果を示している。ただし、第2実施形態のオープンチェック(図11(a)の線L2)に関しては、配線10と導体40との間隔を最小配線間隔の2倍とした場合の結果を示している。
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、上記実施形態においてはショートチェックの際にビアプラグ20と導体40との間に電圧を印加する例を示したが、ビアプラグ30と導体40との間に電圧を印加してもよい。
また、上記実施形態においては複数の配線10が設けられた例を示したが、配線10の数は1つであってもよい。
また、本発明による半導体装置においては、位置ずれ検出パターン1,2,3のうち何れか2つが混在していてもよいし、位置ずれ検出パターン1,2,3の全てが混在していてもよい。
1 検出パターン
2 検出パターン
3 検出パターン
10 配線
20 ビアプラグ
30 ビアプラグ
40 導体
52 配線
54 配線
2 検出パターン
3 検出パターン
10 配線
20 ビアプラグ
30 ビアプラグ
40 導体
52 配線
54 配線
Claims (10)
- 配線とビアプラグとの相対的な位置ずれの検出に用いられるパターンであって、
互いに反対の面である第1面および第2面を有する配線と、
前記配線の前記第1面に接続された第1のビアプラグと、
前記配線の前記第2面に接続された第2のビアプラグと、
前記配線と所定の間隔を空けて、当該配線と同層に設けられた導体と、
を備えることを特徴とする位置ずれ検出パターン。 - 請求項1に記載の位置ずれ検出パターンにおいて、
前記位置ずれが無いとき、前記第1および前記第2のビアプラグは、平面視で互いに重なる位置に設けられている位置ずれ検出パターン。 - 請求項1または2に記載の位置ずれ検出パターンにおいて、
前記導体は、前記配線を包囲している位置ずれ検出パターン。 - 請求項1乃至3いずれかに記載の位置ずれ検出パターンにおいて、
前記配線の面積は、前記各ビアプラグの面積よりも小さい位置ずれ検出パターン。 - 請求項1乃至4いずれかに記載の位置ずれ検出パターンにおいて、
前記位置ずれが無いとき、平面視で、前記配線の重心は、前記各ビアプラグの重心に一致する位置ずれ検出パターン。 - 請求項1乃至5いずれかに記載の位置ずれ検出パターンを備えることを特徴とする半導体装置。
- 請求項6に記載の半導体装置において、
前記配線は、当該半導体装置に設けられた配線の中で最小面積を有する半導体装置。 - 請求項6または7に記載の半導体装置において、
前記配線と前記導体との間の前記間隔は、当該半導体装置に設けられた配線間の最小間隔に等しい半導体装置。 - 請求項1乃至5いずれかに記載の位置ずれ検出パターンを用いて前記位置ずれを検出する方法であって、
前記第1のビアプラグと前記第2のビアプラグとの間に電圧を印加するステップを含むことを特徴とする位置ずれ検出方法。 - 請求項1乃至5いずれかに記載の位置ずれ検出パターンを用いて前記位置ずれを検出する方法であって、
前記第1または前記第2のビアプラグと前記導体との間に電圧を印加するステップを含むことを特徴とする位置ずれ検出方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007107340A JP2008270277A (ja) | 2007-04-16 | 2007-04-16 | 位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置 |
US12/078,936 US8102053B2 (en) | 2007-04-16 | 2008-04-08 | Displacement detection pattern for detecting displacement between wiring and via plug, displacement detection method, and semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007107340A JP2008270277A (ja) | 2007-04-16 | 2007-04-16 | 位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008270277A true JP2008270277A (ja) | 2008-11-06 |
Family
ID=39853129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007107340A Pending JP2008270277A (ja) | 2007-04-16 | 2007-04-16 | 位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8102053B2 (ja) |
JP (1) | JP2008270277A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8519389B2 (en) | 2010-07-15 | 2013-08-27 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device, method of manufacturing the same, and method of designing the same |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106684032B (zh) * | 2015-11-05 | 2019-07-02 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 互连结构的形成方法和曝光对准系统 |
US10410934B2 (en) * | 2017-12-07 | 2019-09-10 | Micron Technology, Inc. | Apparatuses having an interconnect extending from an upper conductive structure, through a hole in another conductive structure, and to an underlying structure |
CN111584386B (zh) * | 2020-05-29 | 2021-04-09 | 长江存储科技有限责任公司 | 测试结构、测试方法以及半导体结构 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6286741A (ja) | 1985-10-11 | 1987-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | パタ−ンの位置合わせずれ量評価方法 |
KR0136684B1 (en) * | 1993-06-01 | 1998-04-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device and manufacture thereof |
JP2845176B2 (ja) * | 1995-08-10 | 1999-01-13 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
WO1997019468A1 (fr) * | 1995-11-20 | 1997-05-29 | Hitachi, Ltd. | Dispositif de stockage a semi-conducteur, et processus de fabrication de ce dispositif |
TW377495B (en) * | 1996-10-04 | 1999-12-21 | Hitachi Ltd | Method of manufacturing semiconductor memory cells and the same apparatus |
US5935766A (en) * | 1997-08-07 | 1999-08-10 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method of forming a conductive plug in an interlevel dielectric |
US5891799A (en) * | 1997-08-18 | 1999-04-06 | Industrial Technology Research Institute | Method for making stacked and borderless via structures for multilevel metal interconnections on semiconductor substrates |
US6316801B1 (en) * | 1998-03-04 | 2001-11-13 | Nec Corporation | Semiconductor device having capacitive element structure and multilevel interconnection structure and method of fabricating the same |
US5895239A (en) * | 1998-09-14 | 1999-04-20 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Method for fabricating dynamic random access memory (DRAM) by simultaneous formation of tungsten bit lines and tungsten landing plug contacts |
JP4860022B2 (ja) * | 2000-01-25 | 2012-01-25 | エルピーダメモリ株式会社 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
US20020071293A1 (en) * | 2000-07-13 | 2002-06-13 | Eden Richard C. | Power semiconductor switching devices, power converters, integrated circuit assemblies, integrated circuitry, power current switching methods, methods of forming a power semiconductor switching device, power conversion methods, power semiconductor switching device packaging methods, and methods a of forming power transistor |
US6657280B1 (en) * | 2000-11-13 | 2003-12-02 | International Business Machines Corporation | Redundant interconnect high current bipolar device |
US6734477B2 (en) * | 2001-08-08 | 2004-05-11 | Agilent Technologies, Inc. | Fabricating an embedded ferroelectric memory cell |
JP3590034B2 (ja) * | 2002-04-26 | 2004-11-17 | Necエレクトロニクス株式会社 | 半導体容量素子及びその製造方法 |
JP4037711B2 (ja) * | 2002-07-26 | 2008-01-23 | 株式会社東芝 | 層間絶縁膜内に形成されたキャパシタを有する半導体装置 |
JP2004288950A (ja) * | 2003-03-24 | 2004-10-14 | Renesas Technology Corp | 配線構造 |
US7220600B2 (en) * | 2004-12-17 | 2007-05-22 | Texas Instruments Incorporated | Ferroelectric capacitor stack etch cleaning methods |
KR100713301B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-05-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 다중 병렬 구조의 에프피지에이 구조 및 그 형성 방법 |
-
2007
- 2007-04-16 JP JP2007107340A patent/JP2008270277A/ja active Pending
-
2008
- 2008-04-08 US US12/078,936 patent/US8102053B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8519389B2 (en) | 2010-07-15 | 2013-08-27 | Renesas Electronics Corporation | Semiconductor device, method of manufacturing the same, and method of designing the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8102053B2 (en) | 2012-01-24 |
US20080252306A1 (en) | 2008-10-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4901602B2 (ja) | プリント基板の製造方法及びプリント基板 | |
US6690187B2 (en) | Apparatus for testing reliability of interconnection in integrated circuit | |
US20100007035A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP2008270277A (ja) | 位置ずれ検出パターン、位置ずれ検出方法および半導体装置 | |
JP2008218921A (ja) | 位置ずれ量の測定用パターンおよび測定方法、ならびに半導体装置 | |
WO2012003705A1 (zh) | 三维集成电路结构以及检测芯片结构对齐的方法 | |
JP4746609B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
KR20090098278A (ko) | 반도체 메모리 소자의 테스트 패턴 | |
JP2008016573A (ja) | 半導体素子およびその製造方法 | |
US11678434B2 (en) | Method and circuit for controlling quality of metallization of a multilayer printed circuit board | |
US20150262896A1 (en) | Evaluation element and wafer | |
US8278765B2 (en) | Test-key for checking interconnect | |
KR100979356B1 (ko) | 반도체소자의 중첩마크 및 그 형성방법 | |
JP2001291754A (ja) | 導電性プラグ抵抗測定用パターンを有する半導体素子およびプロセス評価方法 | |
JP2012109402A (ja) | 半導体装置、半導体装置の製造方法、及び半導体装置の検査方法 | |
KR100816192B1 (ko) | 정렬 마크를 가지는 반도체 장치 | |
JP4641430B2 (ja) | 半導体装置 | |
KR20100090951A (ko) | 회로 단락 감지를 위한 테스트 구조 | |
JPH0621180A (ja) | プリント配線板のソルダーレジスト層の位置ずれ検査方法 | |
JP5012530B2 (ja) | 半導体装置及び半導体基板、並びにモニタ装置の検査方法 | |
JP5389073B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2013038271A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2006351885A (ja) | 配線基板 | |
JP2006060249A (ja) | コンタクトの合わせズレ検出方法 | |
JP2006222317A (ja) | 損傷検出装置、電子素子、及び素子集合体 |