JP4229110B2 - コンタクトの合わせズレ検出方法 - Google Patents
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(1)光学的にしか合わせズレ量を測定できない。
といった問題があった。
〔1〕コンタクトを有する半導体装置における前記コンタクトの合わせズレを電気的に検出するコンタクトの合わせズレ検出方法において、前記半導体装置は、第1の層に設けられた第1導電性部材と、前記第1の層上に位置する第2の層に設けられた第1検出導電性部材と、前記第2の層に前記第1検出導電性部材と第1所定区間離れて設けられ、前記第1導電性部材と抵抗値が異なる第2検出導電性部材と、前記第1導電性部材と接続される複数の第1検出コンタクトであって、前記複数の第1検出コンタクトの各々の少なくとも一部は前記第1検出導電性部材と前記第2検出導電性部材との間に設けられた前記複数の第1検出コンタクトと、前記第2の層上に位置する第3の層に設けられ、前記複数の第1検出コンタクトを介して第1導電性部材とそれぞれ電気的に接続される複数の第2導電性部材とを備えており、前記複数の第2導電性部材の間の抵抗値を測定することでコンタクトの合わせズレを電気的に検出することを特徴とする。
23,24 レイヤー(層)〔第2のレイヤー〕
31 コンタクト
41 引出電極
51,52 異なるレイヤー(層)
Claims (8)
- コンタクトを有する半導体装置における前記コンタクトの合わせズレを電気的に検出するコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記半導体装置は、第1の層に設けられた第1導電性部材と、
前記第1の層上に位置する第2の層に設けられた第1検出導電性部材と、
前記第2の層に前記第1検出導電性部材と第1所定区間離れて設けられ、前記第1導電性部材と抵抗値が異なる第2検出導電性部材と、
前記第1導電性部材と接続される複数の第1検出コンタクトであって、前記複数の第1検出コンタクトの各々の少なくとも一部は前記第1検出導電性部材と前記第2検出導電性部材との間に設けられた前記複数の第1検出コンタクトと、
前記第2の層上に位置する第3の層に設けられ、前記複数の第1検出コンタクトを介して第1導電性部材とそれぞれ電気的に接続される複数の第2導電性部材とを備えており、
前記複数の第2導電性部材の間の抵抗値を測定することでコンタクトの合わせズレを電気的に検出することを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。 - コンタクトを有する半導体装置における前記コンタクトの合わせズレを電気的に検出するコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記半導体装置は、第1の層に設けられた第1導電性部材と、
前記第1の層上に位置する第2の層に設けられた第1検出導電性部材と、
前記第2の層に前記第1検出導電性部材と第1所定区間離れて設けられ、前記第1導電性部材と抵抗値が異なる第2検出導電性部材と、
前記第1導電性部材と接続される第1検出コンタクトであって、前記第1検出コンタクトの少なくとも一部は前記第1検出導電性部材と前記第2検出導電性部材との間に設けられた前記第1検出コンタクトと、
前記第2の層上に位置する第3の層に設けられ、前記第1検出コンタクトを介して前記第1導電性部材と電気的に接続される第2導電性部材と、
前記第1の層に設けられ、前記第1導電性部材と電気的に接続された第3導電性部材と、
前記第2の層に設けられた第3検出導電性部材と、
前記第2の層に前記第3検出導電性部材と前記第1区間とは異なる第2所定区間離れて設けられ、前記第3検出導電性部材と抵抗値が異なる第4検出導電性部材と、
前記第2導電性部材と接続される第2検出コンタクトであって、前記第2検出コンタクトの少なくとも一部は前記第3検出導電性部材と前記第4検出導電性部材との間に設けられた前記第2検出コンタクトと、
前記第3の層に設けられ、前記第2検出コンタクトを介して前記第2導電性部材と電気的に接続される第4導電性部材とを備えており、
前記第2導電性部材と前記第4導電性部材との間の抵抗値を測定することでコンタクトの合わせズレを電気的に検出することを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。 - 請求項2記載のコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記第1検出導電性部材から前記第2検出導電性部材への方向と前記第3検出導電性部材から前記第4検出導電性部材への方向は、直交していることを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。 - 請求項1記載のコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記半導体装置は、さらに、
前記第1の層と前記第2の層との間に設けられ、前記第3の層とは異なる第4の層に設けられた第5検出導電性部材と、
前記第4の層に前記第5検出導電性部材と第3所定区間離れて設けられ、前記第5検出導電性部材と抵抗値が異なる第6検出導電性部材とを備えており、
前記複数の第1検出コンタクトの各々の少なくとも一部は、さらに、前記第5検出導電性部材と前記第6検出導電性部材との間に設けられており、
前記複数の第1導電性部材の間の抵抗値を測定することでコンタクトの合わせズレを電気的に検出することを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載のコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記第1検出コンタクトは、前記第1検出導電性部材から前記第2検出導電性部材への方向に沿って互いに離間して配置される複数のコンタクト群によりなることを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。 - 請求項2または3のいずれか1項に記載のコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記第2検出コンタクトは、前記第3検出導電性部材から前記第4検出導電性部材への方向に沿って互いに離間して配置される複数のコンタクト群によりなることを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。 - 請求項1から6いずれか1項に記載のコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記第1及び第2検出導電性部材の有する抵抗値は、前記第1導電性部材の有する抵抗値に比べて小さいことを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。 - 請求項2、3または6のいずれか1項に記載のコンタクトの合わせズレ検出方法において、
前記第3及び第4検出導電性部材の有する抵抗値は、前記第2導電性部材の有する抵抗値に比べて小さいことを特徴とするコンタクトの合わせズレ検出方法。
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