JP2007064775A - 液面レベルセンサ - Google Patents

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Abstract

【課題】 細かい間隔で正確に液面レベルを検出することのできる液面レベルセンサを提供する。
【解決手段】 細長状に形成された測定部1の中央部に駆動電極10を設け、端部に駆動電極10と対向するように基準電極11を設けると共に、長手方向に沿って駆動電極10と対向するように複数の測定電極12、12を設け、測定部1は測定電極12から信号を取り出す配線パターン13、13を複数備え、配線パターン13はそれぞれ複数の測定電極12、12が接続されると共に、測定電極12の長手方向位置が接続される各配線パターン13間で互い違いとなるように配置されてなる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、静電容量式の液面レベルセンサに関し、特に所定ピッチで設けられる電極間の静電容量の変化に基づいて液面レベルを検出する液面レベルセンサに関する。
従来から液体のタンクなどにおいて液面高さを検出するために液面レベルセンサが用いられている。液面高さを測定するための方式の一つとして、液内に互いに対向する駆動電極と測定電極を挿入し、電極間の静電容量を測定することによって液面高さを検出するものが知られている。この際、測定電極を高さ方向に所定ピッチで設けることにより、所定間隔で液面高さを検出することができる。このような液面レベルセンサとしては、特許文献1に挙げるようなものがある。
特開平10−30950号公報
所定ピッチで測定電極を設けた場合、水位の変化に対して測定電極を設けた間隔毎に静電容量の出力値が階段状に変化するので、その変化を検出することで液面高さを測定することができる。このため、測定電極のピッチを小さくするほど液面高さを細かく検出することができる。しかし、測定電極のピッチを小さくすると静電容量の階段状の出力パターンが直線状に近くなることで、静電容量の閾値判定が困難になり、どの液面レベルにあるかを判別することが困難になる。特に燃料電池などに適用した場合、液体の誘電率が種々変化し、さらに電池の副生成物である蟻酸によってpH変化や大きな誘電率変化、電極表面への吸着形態の変化などが生じることにより、静電容量の閾値判定が困難になる。
本発明は上記課題を鑑みてなされたものであり、細かい間隔で正確に液面レベルを検出することのできる液面レベルセンサを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明に係る液面レベルセンサは、細長状に形成された測定部の中央部に駆動電極を設け、端部に上記駆動電極と対向するように基準電極を設けると共に、長手方向に沿って上記駆動電極と対向するように複数の測定電極を設けた液面レベルセンサにおいて、
上記測定部は上記測定電極から信号を取り出す配線パターンを複数備え、該配線パターンはそれぞれ複数の上記測定電極が接続されると共に、該測定電極の長手方向位置が接続される各配線パターン間で互い違いとなるように配置されてなることを特徴として構成されている。
また、本発明に係る液面レベルセンサは、上記測定部は薄膜状に形成され、上記駆動電極と基準電極と測定電極及び配線パターンはそれぞれ薄膜状に形成されて上記測定部内に配置されてなることを特徴として構成されている。
さらに、本発明に係る液面レベルセンサは、複数の上記配線パターンは上記測定部の単一層内に並設配置されてなることを特徴として構成されている。
さらにまた、本発明に係る液面レベルセンサは、複数の上記配線パターンは上記測定部の複数層に渡り配置されてなることを特徴として構成されている。
そして、本発明に係る液面レベルセンサは、上記測定電極は上記測定部の単一層内に並設配置され、上記配線パターンは上記測定部において上記測定電極とは異なる層内に配置されると共に、層間を貫通する接続部により上記測定電極と接続されてなることを特徴として構成されている。
本発明に係る液面レベルセンサによれば、測定部は測定電極から信号を取り出す配線パターンを複数備え、配線パターンはそれぞれ複数の測定電極が接続され、測定電極の長手方向位置が接続される各配線パターン間で互い違いとなるように配置されてなることにより、一つの配線パターンに接続される測定電極の長手方向ピッチを大きく取ることができ、一方で複数の配線パターンに接続された測定電極全体としては長手方向ピッチを細かく取ることができるので、細かい間隔でも静電容量の閾値判別を正確に行うことができて、液面レベルを正確に検出することができる。
また、本発明に係る液面レベルセンサによれば、測定部は薄膜状に形成され、駆動電極と基準電極と測定電極及び配線パターンはそれぞれ薄膜状に形成されて測定部内に配置されてなることにより、測定部を薄膜状に構成することができるので、コンパクトな液面レベルセンサとすることができる。
さらに、本発明に係る液面レベルセンサによれば、複数の配線パターンは測定部の単一層内に並設配置されてなることにより、多数の測定電極を配置した測定部を容易に製造することができる。
さらにまた、本発明に係る液面レベルセンサによれば、複数の配線パターンは測定部の複数層に渡り配置されてなることにより、測定電極を多数個配置しても測定部の幅を小さくすることができるので、測定部をコンパクトにすることができると共に、液面が傾斜した場合にも正確に液面レベルを検出することができる。
そして、本発明に係る液面レベルセンサによれば、測定電極は測定部の単一層内に並設配置され、配線パターンは測定部において測定電極とは異なる層内に配置され、層間を貫通する接続部により測定電極と接続されてなることにより、多層フィルムの製造技術により容易に測定部を製造することができる。
本発明の実施形態について図面に沿って詳細に説明する。図1には第1の実施形態における液面レベルセンサの斜視図を示している。この図に示すように、本実施形態の液面レベルセンサは、細長い薄膜状に形成された測定部1をホルダ2に納め、ホルダ2からは端子部3が突出し、検出回路16に接続されてなるものである。ホルダ2は、測定部1の周面のうち一面を外部に露出させ、それ以外の三面を覆っている。また、端子部3は、測定部1からの出力を外部に取り出すものであり、検出回路16は測定部1からの出力に基づいて液面レベルを検出する。
図2には、本実施形態における液面レベルセンサの構成図を示している。薄膜状に形成される測定部1の内部には、薄膜状に形成された電極10、11、12と配線パターン13及び配線パターン13をシールドするシールド部17が納められている。図2に示すように、測定部1の中央部には長手方向略全長に渡る駆動電極10が配置される。また、測定部1の先端部近傍には駆動電極10と対向するように基準電極11が、また測定部1の長手方向に沿って駆動電極10と対向するように複数の測定電極12、12が駆動電極10の両側に配置される。
配線パターン13は、基準電極11及び複数の測定電極12がそれぞれ接続され、各電極からの出力を外部に取り出すものである。基準電極11に対しては一つの配線パターン13aが設けられ、その端部には電極パターン15aが設けられる。測定電極12に対しては、駆動電極10の図中左側に配置された複数の測定電極12、12が接続される一つの配線パターン13bが設けられると共に、駆動電極10の図中右側に配置された複数の測定電極12、12が接続される一つの配線パターン13cが設けられる。
図中左側に設けられる配線パターン13bに接続される測定電極12、12は、長手方向に所定間隔で配置され、図中右側に設けられる配線パターン13cに接続される測定電極12、12は、図中左側の測定電極12、12と同じ所定間隔でかつ互い違いとなるように配置される。すなわち、一つの配線パターン13に接続された複数の測定電極12、12のピッチは一定で、かつ各測定電極12の長手方向位置は全て異なるように配置されている。また、配線パターン13bと配線パターン13cの端部にはそれぞれ電極パターン15b及び電極パターン15cが設けられる。
図中左側に配置される配線パターン13a及び配線パターン13bは、その両面を薄膜状に形成されたシールド部17によって覆われる。また、図中右側に配置される配線パターン13cも、その両面を薄膜状に形成されたシールド部17によって覆われる。また、電極パターン15a、15b、15c及び駆動電極10の端部はそれぞれ検出回路16に接続される。検出回路16は、各電極からの出力を基に液面レベルを検出する。
図3には、測定部1の各電極と配線パターン及びシールド部の配置を表した斜視図を示している。この図に示すように、駆動電極10と基準電極11及び各測定電極12、12は同じ面上に配置され、配線パターン13は基準電極11及び測定電極12とは異なる面上に配置される。そして、基準電極11と配線パターン13a、及び測定電極12と配線パターン13b、13cはそれぞれ接続部14を介して接続されている。また、シールド部17は配線パターン13の両面をそれぞれ覆うように、膜の厚さ方向両側にそれぞれ設けられる。
図4には、液面レベルセンサの水位に対する静電容量の出力パターンを表した図を示している。この図に示すように、実線で示す駆動電極10と電極パターン15b間の静電容量C1と、一点鎖線で示す駆動電極10と電極パターン15c間の静電容量C2は、いずれも複数の液面レベル位置において急激に上昇する階段状の出力パターンを有している。測定電極12が配置された水位において静電容量は急激に上昇する。したがって、各電極パターン15b、15cに接続された各測定電極12の長手方向位置が互い違いとなるように配置されていることに対応して、電極パターン15bからの出力と電極パターン15cからの出力では、静電容量が急激に上昇する水位にずれがある。
検出回路16においては、以下のようにして液面レベルを検出する。まず、駆動電極10と基準電極11間の静電容量C0を測定する。次に、駆動電極10と電極パターン15b間の静電容量C1と、駆動電極10と電極パターン15c間の静電容量C2とを測定し、C1とC2のいずれか大きい方の静電容量値をC0で割った値Nを算出する。この算出値Nは測定部1の下側から数えて何番目の測定電極12まで液体に浸漬しているかを示すものである。したがって、液面レベルは測定部1の下側から数えてN番目の測定電極12よりも上であってN+1番目の測定電極12よりも下にあることを検出することができる。
図1に示すように測定部1には駆動電極10の左右に合わせて測定電極12が10個、それぞれ異なる長手方向位置となるように配置されているので、測定部1の長さ分の深さに対して10段階で液面レベルを検出することができる。また、測定電極12は駆動電極10の左右で互い違いに配置されていることで、一つの配線パターン13に接続される測定電極12のピッチを広く取る一方で、左右合わせた測定電極12の長手方向ピッチは狭くすることができ、細かい間隔で正確に液面レベルを検出することができる。
次に、液面レベルセンサの第2の実施形態について説明する。図5には本実施形態における液面レベルセンサの測定部1の構成図を、図6には測定部1の分解図を、それぞれ示している。図5に示すように、本実施形態においても測定部1は細長状に形成され、これに駆動電極10と基準電極11、測定電極12及びシールド部17が納められている。一方、図6に示すように、本実施形態においては、第1の実施形態よりもさらに細かいピッチで測定電極12を配置しており、複数の層にそれぞれ配線パターン13を形成している。
測定部1は複数の層を積層して構成されており、図6(a)〜図6(f)に各層の平面図を示している。図6(a)には測定電極層20の平面図を示しており、測定電極層20には中央部に長手方向略全長に渡る駆動電極10が配置され、先端部には基準電極11が配置されると共に、長手方向に沿って複数の測定電極12、12が駆動電極10の左右に同じ長手方向ピッチでかつ互い違いとなるように配置される。また、測定電極層20には、左右の側部にそれぞれシールド部17、17が配置される。
図6(b)には第1の配線パターン層21aの平面図を示している。第1の配線パターン層21aには、基準電極11に対する配線パターン13aと、駆動電極10の図中左側に配置された測定電極12が3つおきに接続された配線パターン13bと、駆動電極10の図中右側に配置された測定電極12が3つおきに接続された配線パターン13cとが設けられている。また、配線パターン13aと基準電極11は、層間を貫通する接続部14を介して接続され、同様に配線パターン13b、13cと各測定電極12も、層間を貫通する接続部14を介して接続される。
図6(c)には第2の配線パターン層21bの平面図を、図6(d)には第3の配線パターン層21cの平面図を、それぞれ示しており、これらは第1の配線パターン層21aと同様に駆動電極10の図中左側に配置された測定電極12が3つおきに接続された配線パターン13d、13fと、駆動電極10の図中右側に配置された測定電極12が3つおきに接続された配線パターン13e、13gとが設けられており、これらは層間を貫通する接続部14を介して各測定電極12に接続される。
各配線パターン層21に配置された2つの配線パターン13は、互い違いに配置された測定電極12にそれぞれ接続される。また、一つの配線パターン13は他の配線パターン層21の配線パターン13に対しても接続される測定電極12が互い違いとなるように配置されている。したがって、一つの配線パターン13に接続される測定電極12のピッチを大きく取ることができる一方、複数の配線パターン13により全体としては測定電極12のピッチを小さくすることができるので、細かい間隔で正確に液面レベルを検出することができる。
図6(e)には絶縁層22の平面図を、図6(f)にはシールド層23の平面図を、それぞれ示している。シールド層23には左右の側部にそれぞれシールド部17、17が設けられており、絶縁層22により配線パターン13と絶縁がなされる。
図7には、測定部1の分解断面図を示している。この図に示すように、測定電極層20と各配線パターン層21には、下面側に電極等が配置されており、配線パターン13と測定電極12を接続する接続部14は層間を貫通するように形成されている。また、シールド部17はシールド層23の上面に設けられており、絶縁層22によって配線パターン13と絶縁されている。
このような測定部1を有した液面レベルセンサの液面レベル検出については、第1の実施形態と同様であって、まず基準電極11と駆動電極10間の静電容量を測定し、次に各配線パターン13毎の駆動電極10との間の静電容量を測定し、静電容量の大きいもののうち最も上側の位置に測定電極12のある配線パターン13からの出力値を、基準電極11と駆動電極10間の静電容量で割った値Nを算出する。これにより、下側からN番目の測定電極12とN+1番目の測定電極12の間に液面があることが検出される。
次に、液面レベルセンサの第3の実施形態について説明する。図8には本実施形態における液面レベルセンサの測定部1の構成図を、図9には測定部1の分解図を、それぞれ示している。第2の実施形態の測定部1では、複数の配線パターン層21に渡って配線パターン13を設けているが、本実施形態では単一の配線パターン層に全ての配線パターン13を並設配置している。
図9(a)には、測定電極層20の平面図を示している。この図に示すように、測定電極層20には複数の測定電極12、12からなる電極の列が6列配置されている。それぞれの電極の列は、所定ピッチで複数の測定電極12、12が配列されており、かつ各列間では測定電極12が互い違いとなるように配置されている。すなわち、全ての測定電極12がそれぞれ異なる長手方向位置に配置されている。
また、駆動電極10は3つ設けられており、測定部1の先端部に設けられる基準電極11と、全ての測定電極12は、いずれも駆動電極10と対向するように配置されている。さらに、測定電極層20には配線パターン層21において配線パターン13が配置される領域にシールド部17が配置されている。
図9(b)には、配線パターン層21の平面図を示している。この図に示すように、配線パターン13は、測定電極層20に配置された測定電極12にそれぞれ対応するように配置され、層間を貫通する接続部14を介して測定電極12と接続する。
図9(c)には絶縁層22の平面図を、図9(d)にはシールド層23の平面図を、それぞれ示している。シールド層23には測定電極層20のシールド部17に対応してシールド部17が設けられており、絶縁層22によって配線パターン13と絶縁されている。
図10には、測定部1の分解断面図を示している。この図に示すように、測定電極層20と配線パターン層21には、下面側に電極等が配置されており、配線パターン13と測定電極12を接続する接続部14は層間を貫通するように形成されている。また、シールド部17はシールド層23の上面に設けられており、絶縁層22によって配線パターン13と絶縁されている。なお、液面レベルの検出については、第2の実施形態と同様である。
測定部1の幅は、配線パターン層21が多層構造からなる第2の実施形態の方が狭くできる。液面を検出するタンク等が傾斜することで生じる誤差は、測定部1の幅が小さいほど小さくすることができるので、タンク等が傾斜する可能性がある場合、またタンク等の寸法に制約がある場合には、第2の実施形態の液面レベルセンサを用いる方がよい。ただし、これらの制約がない場合には、第3の実施形態の液面レベルセンサを用いることもできる。
これまで本発明の実施形態について説明したが、本発明の適用はこれら実施形態に限られるものではなく、その技術的思想の範囲内において様々に適用されうるものである。例えば、測定電極12の数やピッチについては、適宜様々に設定することができるし、駆動電極と測定電極の役割は相互に交換することもできる。
第1の実施形態における液面レベルセンサの斜視図である。 第1の実施形態における液面レベルセンサの構成図である。 測定部の電極と配線パターン及びシールド部の配置を示した斜視図である。 図2の液面レベルセンサの水位に対する静電容量の出力パターンを示した図である。 第2の実施形態における液面レベルセンサの測定部の構成図である。 測定部の分解図である。 測定部の分解断面図である。 第3の実施形態における液面レベルセンサの構成図である。 測定部の液面レベルセンサの分解図である。 測定部の分解断面図である。
符号の説明
1 測定部
2 ホルダ
3 端子部
10 駆動電極
11 基準電極
12 測定電極
13 配線パターン
14 接続部
15 電極パターン
16 検出回路
17 シールド部
20 測定電極層
21 配線パターン層
22 絶縁層
23 シールド層

Claims (5)

  1. 細長状に形成された測定部の中央部に駆動電極を設け、端部に上記駆動電極と対向するように基準電極を設けると共に、長手方向に沿って上記駆動電極と対向するように複数の測定電極を設けた液面レベルセンサにおいて、
    上記測定部は上記測定電極から信号を取り出す配線パターンを複数備え、該配線パターンはそれぞれ複数の上記測定電極が接続されると共に、該測定電極の長手方向位置が接続される各配線パターン間で互い違いとなるように配置されてなることを特徴とする液面レベルセンサ。
  2. 上記測定部は薄膜状に形成され、上記駆動電極と基準電極と測定電極及び配線パターンはそれぞれ薄膜状に形成されて上記測定部内に配置されてなることを特徴とする請求項1記載の液面レベルセンサ。
  3. 複数の上記配線パターンは上記測定部の単一層内に並設配置されてなることを特徴とする請求項2記載の液面レベルセンサ。
  4. 複数の上記配線パターンは上記測定部の複数層に渡り配置されてなることを特徴とする請求項2記載の液面レベルセンサ。
  5. 上記測定電極は上記測定部の単一層内に並設配置され、上記配線パターンは上記測定部において上記測定電極とは異なる層内に配置されると共に、層間を貫通する接続部により上記測定電極と接続されてなることを特徴とする請求項3または4記載の液面レベルセンサ。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009300003A (ja) * 2008-06-13 2009-12-24 Mitsubishi Electric Corp 空気調和機、ドレン水検出方法
JP2011031175A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Casio Computer Co Ltd 塗布装置
JP2013190379A (ja) * 2012-03-15 2013-09-26 Yazaki Corp 液面レベル検出装置
JP2014059961A (ja) * 2012-09-14 2014-04-03 Nippon Soken Inc 電流測定装置
JP2015536469A (ja) * 2013-08-28 2015-12-21 マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲーMicro−Epsilon Messtechnik Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung & Compagnie Kommanditgesellschaft センサ素子および同センサ素子を備えた静電容量センサ
CN107532937A (zh) * 2015-04-08 2018-01-02 全耐塑料高级创新研究公司 用于测量液体液位的设备
CN111293337A (zh) * 2018-12-06 2020-06-16 中国科学院大连化学物理研究所 带液位检测的装置

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5838408B2 (ja) * 2011-10-27 2016-01-06 株式会社生方製作所 静電容量式液面センサー
KR20130099300A (ko) * 2012-02-29 2013-09-06 (주)유민에쓰티 정전용량형 수위감지센서
KR102325231B1 (ko) * 2020-05-14 2021-11-11 주식회사 이도 수위 센서

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3771100B2 (ja) * 2000-01-19 2006-04-26 アルプス電気株式会社 静電容量検出型センサおよびジャイロスコープならびに入力装置

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009300003A (ja) * 2008-06-13 2009-12-24 Mitsubishi Electric Corp 空気調和機、ドレン水検出方法
JP2011031175A (ja) * 2009-07-31 2011-02-17 Casio Computer Co Ltd 塗布装置
JP2013190379A (ja) * 2012-03-15 2013-09-26 Yazaki Corp 液面レベル検出装置
JP2014059961A (ja) * 2012-09-14 2014-04-03 Nippon Soken Inc 電流測定装置
JP2015536469A (ja) * 2013-08-28 2015-12-21 マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲーMicro−Epsilon Messtechnik Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung & Compagnie Kommanditgesellschaft センサ素子および同センサ素子を備えた静電容量センサ
CN107532937A (zh) * 2015-04-08 2018-01-02 全耐塑料高级创新研究公司 用于测量液体液位的设备
CN111293337A (zh) * 2018-12-06 2020-06-16 中国科学院大连化学物理研究所 带液位检测的装置
CN111293337B (zh) * 2018-12-06 2020-12-25 中国科学院大连化学物理研究所 带液位检测的装置

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