KR20130099843A - 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템 - Google Patents

연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템 Download PDF

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KR20130099843A
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류이치로 미타니
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가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
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Abstract

본 발명은 복수의 연마 종점 검출 장치를 원격 감시하고 또한 원격 조작할 수 있는 원격 감시 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 원격 감시 시스템은 복수의 연마 종점 검출 장치(10)와, 네트워크(1)를 통해 복수의 연마 종점 검출 장치(10)에 접속된 호스트 컴퓨터(20)를 구비한다. 호스트 컴퓨터(20)는 복수의 연마 종점 검출 장치(10)로부터 송신된 연마 종점 검출 데이터를 보존하는 메모리와, 연마 종점 검출 데이터를 표시하는 표시 화면을 갖고, 호스트 컴퓨터(20)는 복수의 연마 종점 검출 장치(10)에서 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치에 새로운 연마 종점 검출 레시피를 송신하여, 그 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치의 연마 종점 검출 레시피를 다시 기록한다.

Description

연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템{REMOTE MONITORING SYSTEM FOR POLISHING ENDPOINT DETECTING DEVICE}
본 발명은 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템에 관한 것으로, 특히 웨이퍼 등의 기판을 연마하는 연마 장치에 탑재되는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템에 관한 것이다.
반도체 디바이스의 제조에는, CMP 장치로 대표되는 연마 장치가 사용된다. 반도체 디바이스의 배선 구조는, 배선 패턴을 따르는 홈이 형성된 절연막 상에 금속막(구리막 등)을 형성하고, 그 후 불필요한 금속막을 연마 장치에 의해 제거함으로써 형성된다. 연마 장치는 연마 테이블 상의 연마 패드에 연마액(슬러리)을 공급하면서, 기판과 연마 패드를 상대 이동시킴으로써 기판의 표면을 연마한다.
연마 장치는 기판의 연마 종점을 검지하는 연마 종점 검출 장치를 구비한다. 이 연마 종점 검출 장치는 막두께를 나타내는 연마 지표값(예컨대, 테이블 토크 전류, 와전류식 막두께 센서의 출력 신호, 광학식 막두께 센서의 출력 신호)에 기초하여 기판의 연마를 감시하여, 금속막이 제거된 시점을 연마 종점이라 결정한다.
반도체 디바이스의 제조 공장에는, 많은(예컨대, 수십대의) 연마 장치가 설치되어 있다. 이들 연마 장치에는, 적어도 1대의 연마 종점 검출 장치가 설치되어 있고, 이들 연마 종점 검출 장치는 네트워크를 통해 오퍼레이션 센터에 접속되어 있다. 어떤 연마 종점 검출 장치에서 연마 종점의 검출 에러가 발생하면, 에러 신호가 오퍼레이션 센터에 송신된다. 작업원은 그 에러 신호를 확인함으로써, 연마 종점 검출 장치에 검출 에러가 발생한 것을 알 수 있다. 검출 에러가 발생하면, 작업원은 그 연마 종점 검출 장치까지 이동하여 연마 종점 검출 장치의 상황을 조사하며, 그리고, 필요하다면 연마 종점 검출 레시피(연마 종점을 검출하기 위한 각종 설정)를 변경한다.
그러나, 연마 장치는 통상 클린룸 내에 설정되어 있어, 작업원이 오퍼레이션 센터에서 클린룸으로 이동하기 위해서는 어느 정도의 시간이 걸린다. 게다가, 클린룸에 입실하려면, 작업원은 전용 작업복으로 갈아입을 필요가 있다. 복수의 연마 종점 검출 장치에서 검출 에러가 발생한 경우에는, 이들 모든 연마 종점 검출 장치에 작업원이 액세스하여, 검출 에러를 해소하기 위한 작업을 할 필요가 있다. 모든 연마 종점 검출 장치의 연마 종점 검출 레시피를 변경하는 경우에도, 마찬가지로 모든 장치에 액세스하여 레시피의 변경 작업을 행하는 것이 필요하다. 이러한 사정 때문에, 다수의 연마 종점 검출 장치를 1개소에서 집중적으로 감시하고 또한 조작하는 것이 요구되고 있다.
본 발명은 전술한 종래의 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것으로, 복수의 연마 종점 검출 장치를 원격 감시하고 또한 원격 조작할 수 있는 원격 감시 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
전술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 양태는, 기판의 연마 종점을 검출하는 복수의 연마 종점 검출 장치와, 네트워크를 통해 상기 복수의 연마 종점 검출 장치에 접속된 호스트 컴퓨터를 구비하고, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 복수의 연마 종점 검출 장치로부터 송신된 연마 종점 검출 데이터를 보존하는 메모리와, 상기 연마 종점 검출 데이터를 표시하는 표시 화면을 가지며, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 복수의 연마 종점 검출 장치에서 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치에 새로운 연마 종점 검출 레시피를 송신하여, 그 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치의 연마 종점 검출 레시피를 다시 기록하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템이다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 연마 종점 검출 에러가 발생한 연마 종점 검출 장치를 특정할 수 있도록 알람을 상기 표시 화면에 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 연마 종점 검출 레시피를 작성 및 변경하기 위한 연마 종점 검출 레시피 관리툴을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 상기 연마 종점 검출 레시피 관리툴을 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 연마 종점 검출 데이터에는, 상기 기판의 막두께를 나타내는 연마 지표값이 포함되어 있고, 상기 호스트 컴퓨터는 미리 설정된 리플레이 레시피와 상기 연마 지표값을 이용하여, 기판의 연마 종점 검출 시뮬레이션을 실행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 상기 복수의 연마 종점 검출 장치에서 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치에 새로운 연마 종점 검출 레시피를 송신하여, 그 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치의 연마 종점 검출 레시피를 다시 기록하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 상기 연마 종점 검출 데이터를 나타내는 종점 검출 윈도우를 표시하기 위한 표시 화면을 갖는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 각 연마 종점 검출 장치에 표시된 상기 종점 검출 윈도우와 동일한 종점 검출 윈도우를 표시시키는 것이 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 그 표시 화면에 표시되는 상기 종점 검출 윈도우의 구성을 변경할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 다른 연마 종점 검출 장치에 표시된 상기 종점 검출 윈도우와 동일한 종점 검출 윈도우를 자신의 표시 화면에 표시시키는 것이 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 그 표시 화면에 표시되는 다른 연마 종점 검출 장치의 상기 종점 검출 윈도우의 구성을 변경할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각을 원격 조작할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 양태에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 다른 연마 종점 검출 장치를 원격 조작할 수 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 작업원은 연마 종점의 검출 에러가 발생한 연마 종점 검출 장치로 이동하지 않고, 오퍼레이션 센터 등에 설치되는 호스트 컴퓨터로부터 연마 종점의 검출 에러의 원인을 조사하고, 또한 검출 레시피를 수정함으로써, 검출 에러를 해소하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템을 나타내는 모식도이다.
도 2는 연마 장치(CMP 장치)를 나타내는 모식도이다.
도 3은 호스트 컴퓨터의 표시 화면에 표시되는 감시 윈도우를 나타내는 도면이다.
도 4는 연마 종점 검출 장치의 표시 화면에 표시되는 종점 검출 윈도우를 나타내는 도면이다.
도 5는 그래프 윈도우를 나타내는 도면이다.
도 6은 연마 종점 검출 레시피 관리툴을 나타내는 도면이다.
도 7은 연마 종점 검출 레시피 관리툴에 표시되는 트리 구조를 나타내는 도면이다.
도 8은 리플레이 윈도우를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 관해 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템을 나타내는 모식도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 이 원격 감시 시스템은, 복수의 연마 장치에 각각 구비되어 있는 복수의 연마 종점 검출 장치(10)와, 네트워크(1)를 통해 이들 연마 종점 검출 장치(10)에 접속되는 호스트 컴퓨터(20)를 구비한다. 호스트 컴퓨터(20) 및 모든 연마 종점 검출 장치(10)는, 네트워크(1)를 통해 서로 액세스 가능하게 되어 있다.
연마 종점 검출 장치(10)는 일반적으로 반도체 디바이스 제조 공장의 클린룸 내에 설치되어 있다. 클린룸 내에는 CR 네트워크(2)가 구축되어 있고, 각 연마 종점 검출 장치(10)는 이 CR 네트워크(2)에 접속되어 있다. 호스트 컴퓨터(20)는 클린룸으로부터 떨어진 오퍼레이션 센터 내에 설치되어 있다. 오퍼레이션 센터에는, OC 네트워크(3)가 구축되어 있고, 호스트 컴퓨터(20)는 이 OC 네트워크(3)에 접속되어 있다. CR 네트워크(2)와 OC 네트워크(3)는 인터넷(4)을 통해 접속되어 있다. CR 네트워크(2)와 OC 네트워크(3)는 독립된 네트워크이지만, 이들을 동일한 네트워크로 해도 좋다.
도 2는 연마 종점 검출 장치(10)가 내장되어 있는 연마 장치를 나타내는 모식도이다. 이 연마 장치는 기판을 화학 기계적으로 연마하는 CMP 장치이다. 연마 장치는 도 2에 나타낸 바와 같이, 연마 테이블(30)과, 톱링 샤프트(34)의 하단에 연결된 톱링(35)과, 연마 종점을 검출하는 연마 종점 검출 장치(10)를 구비한다. 톱링 샤프트(34)는 타이밍 벨트 등의 연결 수단을 통해 톱링 회전 모터(41)에 연결되어 회전 구동되도록 되어 있다. 이 톱링 샤프트(34)의 회전에 의해, 톱링(35)이 톱링 샤프트(34)를 중심으로 화살표로 나타내는 방향으로 회전하도록 되어 있다. 연마되는 기판(예컨대 웨이퍼)(W)은 톱링(35)의 하면에 진공 흡착에 의해 유지된다.
연마 테이블(30)은 테이블축(30a)을 통해 그 아래쪽에 배치되는 테이블 회전 모터(40)에 연결되어 있어, 이 테이블 회전 모터(40)에 의해 연마 테이블(30)이 테이블축(30a)을 중심으로 화살표로 나타내는 방향으로 회전하도록 되어 있다. 이 연마 테이블(30)의 상면에는 연마 패드(32)가 접착되어 있고, 연마 패드(32)의 상면(32a)이 기판(W)을 연마하는 연마면을 구성한다. 연마 테이블(30)의 상측에는, 연마면(32a)에 연마액(슬러리)을 공급하기 위한 연마액 공급 기구(38)가 배치되어 있다.
기판(W)은 다음과 같이 연마된다. 톱링(35) 및 연마 테이블(30)은 각각 모터(41, 40)에 의해 회전되고, 연마 패드(32)의 연마면(32a)에는 연마액 공급 기구(38)로부터 연마액이 공급된다. 이 상태에서, 톱링(35)은 기판(W)을 연마면(32a)에 대하여 압박한다. 기판(W)은 연마 패드(32)와의 슬라이딩 접촉에 의한 기계적 작용과 연마액의 화학적 작용에 의해 연마된다.
테이블 회전 모터(40)에는, 모터 전류를 측정하는 테이블 모터 전류 검출부(45)가 접속되어 있다. 또한, 테이블 모터 전류 검출부(45)는 연마 종점 검출 장치(10)에 접속되어 있다. 기판(W)의 연마중에는, 기판(W)의 표면과 연마 패드(32)의 연마면(32a)이 슬라이딩 접촉하기 때문에, 기판(W)과 연마 패드(32) 사이에는 마찰력이 생긴다. 이 마찰력은 저항 토크로서 테이블 회전 모터(40)에 작용한다. 연마 종점 검출 장치(10)는 테이블 모터 전류 검출부(45)에 의해 측정되는 모터 전류(토크 전류)에 기초하여 기판(W)의 연마 종점을 검출한다.
적층 구조를 갖는 기판에는, 종류가 상이한 복수의 막이 형성되어 있다. 최상의 막이 연마에 의해 제거되면, 그 아래의 막이 표면에 나타난다. 통상 이들 막은 상이한 경도를 갖고 있기 때문에, 위의 막이 제거되고 아래의 막이 나타나면, 기판(W)과 연마 패드(32) 사이의 마찰력이 변화한다. 이 마찰력의 변화는 테이블 회전 모터(40)에 관한 저항 토크 변화로서 검출할 수 있다. 연마 종점 검출 장치(10)는 테이블 회전 모터(40)에의 전류의 변화에 기초하여, 막이 제거된 것, 즉 연마 종점을 검출한다. 또한, 전류 검출부(45)를 설치하지 않고, 모터(40)에 접속된 모터 드라이버(도시하지 않음)로부터 출력되는 전류를 연마 종점 검출 장치(10)가 감시하도록 해도 좋다.
도 2에 나타내는 연마 종점 검출 장치(10)는 연마 테이블(30)의 토크 전류에 기초하여 연마 종점을 검출하도록 구성되어 있지만, 본 발명은 이 예에 한정되지 않는다. 예컨대, 연마 종점 검출 장치(10)는 기판의 막두께를 검출하는 막두께 센서(예컨대, 와전류 센서나 광학식 센서)를 이용하여, 기판의 연마 종점을 검출하는 것도 가능하다. 이러한 막두께 센서를 이용하여 기판의 연마 종점을 검출하는 구성은 공지의 것을 채택할 수 있다(예컨대, 일본 특허 공개 제2005-203729호 공보 참조).
도 1로 되돌아가, 연마 종점 검출 장치(10)는 CR 네트워크(2)에 의해 서로 접속되어, 각 연마 종점 검출 장치(10)가 보유하는 연마 종점 검출 데이터(기판 연마 정보를 포함)를 공유할 수 있게 되어 있다. 각 연마 종점 검출 장치(10)는 표시 화면(11)을 갖고 있어, 기판의 연마중에 전술한 연마 종점 검출 데이터를 표시 화면(11)에 표시할 수 있게 되어 있다. 연마 종점 검출 데이터는 클린룸 내에 설치되어 있는 모든 연마 종점 검출 장치(10)에 공유되어, 각 연마 종점 검출 장치(10)는 자신의 연마 종점 검출 데이터를 표시할 수 있을 뿐만 아니라, 다른 연마 종점 검출 장치(10)의 연마 종점 검출 데이터도 표시할 수 있게 되어 있다.
또한, 네트워크(1)[CR 네트워크(2), OC 네트워크(3), 인터넷(4)을 포함함]를 통해, 각 연마 종점 검출 장치(10)의 연마 종점 검출 데이터는 호스트 컴퓨터(20)에 송신되어, 모든 연마 종점 검출 장치(10)의 운전 상황이 호스트 컴퓨터(20)에 의해 감시되도록 되어 있다. 호스트 컴퓨터(20)는 표시 화면(21)을 갖고 있어, 기판의 연마중에 각 연마 종점 검출 장치(10)와 동일한 연마 종점 검출 데이터를 표시 화면(21) 상에 표시할 수 있게 되어 있다. 각 연마 종점 검출 장치(10)로부터 얻어진 연마 종점 검출 데이터는 호스트 컴퓨터(20)의 메모리(22)(예컨대, 하드 디스크)에 기억된다.
도 3은 호스트 컴퓨터(20)의 표시 화면(21)에 표시되는 감시 윈도우를 나타내는 도면이다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 감시 윈도우에는, 모든 연마 종점 검출 장치(10)(No.1∼No.n)의 그래프 윈도우(50)가 표시되어 있다. 이 그래프 윈도우(50)는 각 연마 종점 검출 장치(10)에 의해 취득된 테이블 토크 전류[연마 테이블(30)을 설정 회전 속도로 회전시키기 위해 필요한 모터 전류]의 시간 변화를 나타내는 그래프를 표시한다.
연마 종점 검출 장치(10) 중 어느 것에 연마 종점의 검출 에러가 발생하면, 어떤 연마 종점 검출 장치(10)에 검출 에러가 발생했는지를 특정할 수 있도록 감시 윈도우에 알람이 표시된다. 구체적으로는, 검출 에러가 발생한 연마 종점 검출 장치(10)의 그래프 윈도우(50)가 점멸하도록 되어 있다. 따라서, 작업원은 호스트 컴퓨터(20)의 표시 화면(21) 상에서, 어떤 연마 종점 검출 장치(10)에 검출 에러가 발생했는지를 알 수 있다. 연마 종점의 검출 에러의 구체예로는, 어떤 설정 시간 내에 연마 종점이 검출되지 않는 경우나, 어떤 설정 시간보다 전에 연마 종점이 검출되는 경우 등을 들 수 있다.
연마 종점 검출 에러의 알람 방법은 점멸시키는 예에 한정되지 않고, 검출 에러가 발생한 연마 종점 검출 장치(10)의 그래프 윈도우(50)를 다른 색으로 표시하거나, 검출 에러 발생 메시지와 함께 그래프 윈도우(50)를 확대 표시(팝업)해도 좋다. 도 3에 나타내는 감시 윈도우는 각 연마 종점 검출 장치(10)의 표시 화면(11)에도 표시시키는 것이 가능하게 되어 있다.
도 4는 연마 종점 검출 장치(10)의 표시 화면(11)에 표시되는 종점 검출 윈도우를 나타내는 도면이다. 이 종점 검출 윈도우는 테이블 토크 전류의 시간 변화를 나타내는 전술한 그래프 윈도우(50)와, 연마 종점을 검출하기 위한 각종 설정 항목을 표시하는 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)로 구성되어 있다.
도 5는 도 4에 나타내는 그래프 윈도우(50)를 나타내는 도면이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 그래프 윈도우(50)에는, 연마 시간과 함께 변화하는 테이블 토크 전류를 나타내는 실효값 그래프(51)와, 테이블 토크 전류(실효값)의 미분값을 나타내는 미분값 그래프(52)와, 현재 연마되고 있는 기판의 정보를 나타내는 스테이터스 영역(53)이 표시된다. 스테이터스 영역(53)에 표시되는 항목에는, 기판의 로트수, 기판의 번호 등이 포함된다.
도 6은 도 4에 나타내는 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)을 나타내는 도면이다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)의 좌측 영역은 트리 구조가 표시되는 영역이고, 우측 영역은 트리 구조에서 선택된 항목이 상세하게 표시되는 영역이다. 도 7은 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)에 표시되는 트리 구조를 나타내는 도면이다. 트리 구조의 최상 계층은 연마 종점 검출 장치(10)를 선택(특정)하기 위한 계층이고, 그 아래의 계층은 계측 레시피, 이력, 리플레이를 선택하기 위한 계층이다.
계측 레시피는 기판의 연마 방법을 정하는 전체 레시피와, 기판의 연마 종점을 검출하기 위한 연마 종점 검출 레시피로 구성된다. 전체 레시피는 연마 테이블의 회전 속도, 연마 종점 검출 후의 과연마 시간 등의 설정 항목을 포함한다. 연마 종점 검출 레시피는 기판의 연마 종점을 검출하기 위한 여러가지 설정 항목을 포함하며, 연마 종점 검출은 이 연마 종점 검출 레시피에 따라서 실행된다. 구체적으로는, 테이블 토크 전류 또는 그 미분값이 정해진 임계값에 도달한 시점을 연마 종점이라 결정한다. 임계값은 복수개 설정하는 것이 가능하다. 이 경우는, 테이블 토크 전류 또는 그 미분값이 모든 임계값에 도달한 것을 조건으로 하여 연마 종점을 결정할 수 있다.
연마 종점 검출 레시피의 설정 항목에는, 테이블 토크 전류의 임계값 테이블 토크 전류의 임계값의 수, 테이블 토크 전류의 미분값의 임계값, 테이블 토크 전류의 미분값의 임계값의 수 등이 포함된다. 전체 레시피 및 연마 종점 검출 레시피의 작성, 변경 및 삭제는 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)을 이용하여 행해진다.
이력에는, 과거에 연마한 기판에 관한 연마 종점 검출 데이터가 표시된다. 이 연마 종점 검출 데이터는 각 연마 종점 검출 장치(10)의 메모리(도시하지 않음)에 보존되는 한편, 호스트 컴퓨터(20)의 메모리(22)에도 보존된다. 연마 종점 검출 데이터는 각 기판의 연마중에 취득된 테이블 토크 전류값(막두께 지표값) 및 그 미분값, 연마 종점 검출을 위한 설정 항목(예컨대, 테이블 토크 전류의 임계값), 기판을 연마한 일시, 연마 시간, 검출 에러 로그, 연마 장치의 오퍼레이션 컨트롤러와의 통신 로그 등을 포함하는 각종 데이터 항목으로 구성된다. 따라서, 과거에 연마된 기판의 연마 종점 검출이 어떻게 행해졌는지를 이력으로부터 알 수 있다.
리플레이는 보존된 연마 종점 검출 데이터를 이용하여 연마 종점의 검출을 리플레이 또는 시뮬레이션할 때 사용된다. 리플레이의 설정 항목에는, 리플레이용의 연마 종점 검출 레시피(이하, 리플레이 레시피라고 함) 등이 포함된다. 이 리플레이 레시피를 연마 종점 검출 데이터(테이블 토크 전류값 및/또는 그 미분값)에 적용함으로써, 연마 종점 검출 시뮬레이션을 실행할 수 있다. 예컨대, 테이블 토크 전류값 및/또는 그 미분값의 임계값을 변경하면, 어떠한 연마 종점 검출 결과를 얻을 수 있는지를 예측할 수 있다.
리플레이 레시피를 이용한 연마 종점 검출 시뮬레이션의 결과는 리플레이(시뮬레이션) 윈도우에 표시된다. 도 8은 리플레이 윈도우를 나타내는 도면이다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 리플레이 윈도우는 연마 시간에 따라 변화하는 테이블 토크 전류값을 나타내는 실효값 그래프(71)와, 테이블 토크 전류값의 미분값을 나타내는 미분값 그래프(72)와, 시뮬레이션의 대상이 된 기판 정보 및 리플레이 레시피의 각종 설정 항목을 나타내는 리플레이 레시피 영역(73)과, 연마 종점 검출 시뮬레이션의 결과를 일람 표시하는 결과 표시 영역(74)으로 구성된다.
호스트 컴퓨터(20)는 클린룸 내에 설치되어 있는 연마 종점 검출 장치(10)에 액세스하여, 각 연마 종점 검출 장치(10)를 원격 조작할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 호스트 컴퓨터(20)는 각 연마 종점 검출 장치(10)의 종점 검출 윈도우(도 4 참조)를 표시 화면(21)에 표시하는 것이 가능하게 구성되어 있다. 구체적으로는, 도 3에 나타내는 감시 윈도우에 표시된 복수의 그래프 윈도우(50) 중 어느 것을 클릭하면, 호스트 컴퓨터(20)는 그 그래프 윈도우(50)에 대응하는 연마 종점 검출 장치(10)에 액세스하여, 그 종점 검출 윈도우를 표시 화면(21)에 표시한다. 예컨대, 점멸하고 있는 그래프 윈도우(50)를 클릭함으로써, 검출 에러가 발생한 연마 종점 검출 장치(10)의 보다 상세한 정보를 표시 화면(21)에 표시시킬 수 있다.
호스트 컴퓨터(20)는 각 연마 종점 검출 장치(10)에 표시되는 종점 검출 윈도우와 완전히 동일한 구성의 종점 검출 윈도우를 그 표시 화면(21)에 표시시킬 수 있게 되어 있다. 즉, 호스트 컴퓨터(20)의 표시 화면(21)에 표시되는 종점 검출 윈도우는 선택된 하나의 연마 종점 검출 장치(10)의 표시 화면(11)에 표시된 종점 검출 윈도우와 그 구성[소(小)윈도우의 수, 배치]에 있어서 완전히 동일하다고 할 수 있다. 또한, 호스트 컴퓨터(20)는 필요에 따라서 그 표시 화면(21)에 표시해야 할 종점 검출 윈도우의 구성을 변경할 수 있게 구성되어 있다.
마찬가지로, 각 연마 종점 검출 장치(10)는 다른 연마 종점 검출 장치(10)에 표시되는 종점 검출 윈도우와 완전히 동일한 구성의 종점 검출 윈도우를 그 표시 화면(11) 상에 표시시키는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 각 연마 종점 검출 장치(10)는 필요에 따라서, 그 표시 화면(11)에 표시해야 할 다른 연마 종점 검출 장치(10)의 종점 검출 윈도우의 구성을 변경하는 것이 가능하게 되어 있다.
또한, 호스트 컴퓨터(20)는 연마 종점 검출 장치(10)와 동일한 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)을 갖고 있어, 각 연마 종점 검출 장치(10)에 보존되어 있는 연마 종점 검출 데이터를 이용하여 연마 종점 검출 시뮬레이션을 실행하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 호스트 컴퓨터(20)는 그 표시 화면(21)에 표시되는 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)을 통해, 연마 종점 검출 장치(10)의 연마 종점 검출 레시피를 변경하는 것이 가능하게 되어 있다. 예컨대, 어떤 연마 종점 검출 장치(10)에 있어서, 연마 종점의 검출 에러가 발생했을 때, 호스트 컴퓨터(20)는 그 연마 종점 검출 장치(10)에 설정되어 있는 연마 종점 검출 레시피를 변경함으로써 검출 에러를 해소할 수 있다. 따라서, 작업원은 클린룸 내로 이동할 필요 없이, 단시간에 연마 종점 검출 에러를 해결할 수 있다.
또한, 호스트 컴퓨터(20)는 일부 또는 모든 연마 종점 검출 장치(10)에 액세스하여, 각 연마 종점 검출 장치(10)에 설정되어 있는 연마 종점 검출 레시피를 일제히 변경할 수 있다. 따라서, 연마 종점 검출 장치(10) 1대마다 액세스하여 연마 종점 검출 레시피를 1대씩 변경할 필요 없이, 매우 단시간에 연마 종점 검출 레시피를 다시 기록할 수 있다.
전술한 표시 조작 및 레시피 조작이 각 연마 종점 검출 장치(10)에서도 행해질 수 있도록 구성되어 있다. 즉, 어느 연마 종점 검출 장치(10)라도 다른 연마 종점 검출 장치(10)의 종점 검출 윈도우[그래프 윈도우(50) 및 연마 종점 검출 레시피 관리툴(60)]를 표시시킬 수 있고, 또한, 어느 연마 종점 검출 장치(10)라도 다른 연마 종점 검출 장치(10)의 연마 종점 검출 레시피를 변경할 수 있다. 또, 어느 연마 종점 검출 장치(10)라도 다른 연마 종점 검출 장치(10)를 원격 조작하는 것이 가능하게 되어 있다.
호스트 컴퓨터(20) 및 모든 연마 종점 검출 장치(10)는 각각의 연마 종점 검출 장치(10)에 보존되어 있는 연마 종점 검출 데이터를 공유하고 있어, 그 데이터를 표시 화면에 표시시킬 수 있다. 본 실시형태에 따른 원격 감시 시스템에 의하면, 클린룸 내에 설치되어 있는 복수의 연마 종점 검출 장치(10)로부터 연마 정보를 취득하고, 또한 이들 연마 종점 검출 장치(10)를 원격 조작할 수 있다.
전술한 실시형태는 본 발명이 속하는 기술분야에서의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 실시할 수 있는 것을 목적으로 하여 기재된 것이다. 상기 실시형태의 여러가지 변형예는 당업자라면 당연히 이룰 수 있는 것이며, 본 발명의 기술적 사상은 다른 실시형태에도 적용할 수 있는 것이다. 따라서, 본 발명은 기재된 실시형태에 한정되지 않고, 특허청구범위에 의해 정의되는 기술적 사상에 따른 가장 넓은 범위로 해석되는 것이다.

Claims (13)

  1. 기판의 연마 종점을 검출하는 복수의 연마 종점 검출 장치와,
    네트워크를 통해 상기 복수의 연마 종점 검출 장치에 접속된 호스트 컴퓨터
    를 구비하고,
    상기 호스트 컴퓨터는 상기 복수의 연마 종점 검출 장치로부터 송신된 연마 종점 검출 데이터를 보존하는 메모리와, 상기 연마 종점 검출 데이터를 표시하는 표시 화면을 가지며,
    상기 호스트 컴퓨터는 상기 복수의 연마 종점 검출 장치에서 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치에 새로운 연마 종점 검출 레시피를 송신하여, 그 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치의 연마 종점 검출 레시피를 다시 기록하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 연마 종점 검출 에러가 발생한 연마 종점 검출 장치를 특정할 수 있도록 알람을 상기 표시 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 연마 종점 검출 레시피를 작성 및 변경하기 위한 연마 종점 검출 레시피 관리툴을 구비하는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 상기 연마 종점 검출 레시피 관리툴을 구비하는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  5. 제1항에 있어서, 상기 연마 종점 검출 데이터에는, 상기 기판의 막두께를 나타내는 연마 지표값이 포함되어 있고,
    상기 호스트 컴퓨터는 미리 설정된 리플레이 레시피와 상기 연마 지표값을 이용하여, 기판의 연마 종점 검출 시뮬레이션을 실행하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  6. 제1항에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 상기 복수의 연마 종점 검출 장치에서 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치에 새로운 연마 종점 검출 레시피를 송신하여, 그 선택된 적어도 하나의 연마 종점 검출 장치의 연마 종점 검출 레시피를 다시 기록하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  7. 제1항에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 상기 연마 종점 검출 데이터를 나타내는 종점 검출 윈도우를 표시하기 위한 표시 화면을 갖는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 각 연마 종점 검출 장치에 표시된 상기 종점 검출 윈도우와 동일한 종점 검출 윈도우를 표시시키는 것이 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 그 표시 화면에 표시되는 상기 종점 검출 윈도우의 구성을 변경할 수 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  10. 제7항에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 다른 연마 종점 검출 장치에 표시된 상기 종점 검출 윈도우와 동일한 종점 검출 윈도우를 자신의 표시 화면에 표시시키는 것이 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  11. 제10항에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 그 표시 화면에 표시되는 다른 연마 종점 검출 장치의 상기 종점 검출 윈도우의 구성을 변경할 수 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  12. 제1항에 있어서, 상기 호스트 컴퓨터는 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각을 원격 조작할 수 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
  13. 제1항에 있어서, 상기 복수의 연마 종점 검출 장치의 각각은 다른 연마 종점 검출 장치를 원격 조작할 수 있는 것을 특징으로 하는 연마 종점 검출 장치의 원격 감시 시스템.
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