JP5020605B2 - 上位制御装置、下位制御装置、画面の操作権付与方法および画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体 - Google Patents
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Description
まず、本発明の第1実施形態にかかる基板処理システムについて、図1および図2を参照しながら説明する。図1は、基板処理システムの概略図であり、図2は、基板処理システムを構成する各機器の配置図である。
基板処理システム10は、上位PC100、下位PC200a〜200e、TM(Transfer Module)、PM(Process Module)1〜PM4を有している。各機器は、たとえば、Ethernet(登録商標)等のネットワーク300によりそれぞれ接続されている。また、上位PC100は、LAN(Local Area Network)400を経由してホストコンピュータ500に接続されている。
つぎに、PM1〜PM4の内部構成の一例として、エッチング処理を実行するPM2および6層連続有機EL蒸着膜処理を実行するPM4について、図3および図4をそれぞれ参照しながら説明する。
つぎに、6層連続有機EL蒸着膜処理を実行するPM4の内部構成について、その要部斜視図である図4を参照しながら説明する。PM4では、基板G上に有機EL層を含む6層が連続的に蒸着される。
つぎに、PCのハードウエア構成について、図5を参照しながら説明する。なお、下位PC200のハードウエア構成は上位PC100と同様であるためここでは上位PC100のみについて説明する。
つぎに、上位PC100の機能構成について、上位PC100の各機能をブロックにて示した図6を参照しながら説明する。上位PC100は、TM画面データベース150、PM画面データベース155,画面特定部160,操作権判定部165,操作権付与部170,入力部175、通信部180,記憶部185,処理実行制御部190および表示部195により示される各機能を有している。
つぎに、下位PC200の機能構成について、下位PC200の各機能をブロックにて示した図7を参照しながら説明する。下位PC200は、画面データベース205,記憶部210、操作権要求部215、入力部220、通信部225、表示部230および駆動制御部235により示される各機能を有している。
つぎに、以上に説明した各PCの機能を用いた画面の操作権付与動作について、図9、図10に示したフローチャートを参照しながら説明する。なお、初期状態では、各画面群の操作権は、すべて上位PC100に付与されているとする。図9は、下位PC200側にて実行される操作要求割込処理を示したフローチャートであり、図10は、上位PC100側にて実行される操作権付与処理を示したフローチャートである。
入力部220は、操作要求ボタンが押されたことを入力すると、操作権要求部215は、ステップ905にて自己の下位PC200eに操作権があるか否かを判定する。この時点で自己が表示可能な画面群の操作権を有している場合、直ちにステップ995に進んで本割込処理を終了する。一方、この時点で自己が表示可能な画面群の操作権を有していない場合、ステップ910に進み、画面データベース205に記憶されたPM4用の画面群の操作権を要求するための情報(操作権要求情報)を生成し、操作要求割込信号として上位PC100に送信し、ステップ995にて本割込処理を終了する。
上記操作要求割込処理の結果、下位PC200eから操作要求割込信号が送信されると、上位PC100は、これを受けて図10に示したステップ1000から操作権付与処理を開始し、ステップ1005にて、画面特定部160は、操作要求割込信号の操作権要求情報から操作権が要求されている画面群はPM4用の画面群であると特定する。
つぎに、ステップ1305にて、入力部220は、自己に操作権があるか否かを判定する。この時点では、下位PC200eは、自己のディスプレイ200eSDに表示されたPM4用画面の操作権を有するので、ステップ1310に進み、下位PCのディスプレイ200eSD200eに表示されたPM4用画面を用いて入力された情報を受け付ける。つぎに、ステップ1315に進んで、通信部225は、入力された情報を上位PC100に送信し、ステップ1395に進んで本処理を終了する。
一方、下位PC200eから入力情報が送信された場合、上位PC100側にて、図14のステップ1400からプロセス実行制御処理が開始され、ステップ1405にて、操作権判定部165は、自己(上位PC100)に操作権があるか否かを判定する。
上位PC100から制御信号が送信された場合、該当下位PC200側には、図15のステップ1500から駆動制御処理が開始され、ステップ1505にて、駆動制御部235は、上位PC100から制御信号を受信したか否かを判定する。
つぎに、第2実施形態にかかる基板処理システム10について説明する。第2実施形態では、下位PC200に特定の画面群の操作権が付与された場合、上位PC100のディスプレイ100MDに、その特定された画面群を表示しない点で、操作権の有無にかかわらず、上位PC100のディスプレイ100MDに、すべての画面群を表示可能な第1実施形態にかかる基板処理システム10と動作上相違する。よって、この相違点を中心に本実施形態にかかる基板処理システム10について説明する。
たとえば、下位PC200bから操作要求割込信号が送信されると、上位PC100は、これを受けて、図17に示したステップ1700からから操作権付与処理を開始し、ステップ1005〜1025にて第1実施形態と同様に、画面の操作を要求した下位PC200aにPM1用の画面群の操作権を付与する。その後、ステップ1705に進んで、表示部195は、自己(上位PC100)に各画面群の操作権があるか否かを判定する。
100 上位PC
150 TM画面データベース
155 PM画面データベース
160 画面特定部
165 操作権判定部
170 操作権付与部
175,220 入力部
180,225 通信部
185,210 記憶部
190 処理実行制御部
195、230 表示部
100MD、200SD、200aSD〜200eSD ディスプレイ
200、200a〜200e 下位PC
205 画面データベース
215 操作権要求部
235 駆動制御部
300 ネットワーク
400 LAN
500 ホストコンピュータ
Claims (13)
- 基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第1の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第2の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、前記第1の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第2の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに前記第1の下位制御装置および前記第2の下位制御装置を制御する上位制御装置であって、
前記第1の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および前記第2の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ記憶する画面データベースと、
前記第1の下位制御装置または前記第2の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、前記画面データベースに記憶された複数の画面群から前記操作を要求された画面群を特定する画面特定部と、
前記画面特定部により特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定する操作権判定部と、
前記操作権判定部により前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、前記第1の下位制御装置、前記第2の下位制御装置および前記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる制御対象を同時に別々に操作できるように、前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に付与する操作権付与部とを備える上位制御装置。 - 前記操作権判定部は、
前記特定された画面群の操作権が、前記複数の制御装置のうち、前記要求した下位制御装置以外の制御装置に付与されている場合、前記操作権を付与されている制御装置にて実行中の処理が終了した後、前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定する請求項1に記載された上位制御装置。 - 前記操作権判定部は、
前記上位制御装置により操作を要求された画面群の操作権がいずれかの下位制御装置に付与されている場合、前記いずれかの下位制御装置にて実行中の処理が終了した後、前記要求された画面群の操作権を前記上位制御装置に与えると判定する請求項2に記載された上位制御装置。 - 前記操作権判定部は、
前記複数の制御装置から同じ画面群の操作が要求された場合、予め定められた優先順位にしたがって、前記複数の制御装置のうち優先順位が高い制御装置から順に前記要求された画面群の操作権を与えると判定する請求項3に記載された上位制御装置。 - 前記操作権判定部は、
前記操作を要求した制御装置に対して予め操作権の付与を禁止しているか否かを判定し、禁止している場合、前記操作を要求した制御装置に操作権を与えないと判定する請求項1〜4のいずれかに記載された上位制御装置。 - 前記操作権付与部により操作権が前記上位制御装置に付与された場合、前記操作権が付与された上位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報を受け付ける入力部と、
前記操作権付与部により操作権がいずれかの下位制御装置に付与された場合、前記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報を前記操作権が付与された下位制御装置から受信する通信部と、
前記基板処理装置にて実行される複数の基板処理の手順を示したレシピを記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された各レシピに基づき、前記通信部により受信された情報に基づいて実行される所定の処理を、前記入力部により受け付けられた入力情報に基づいて実行される他の所定の処理と並行して実行する処理実行制御部とをさらに備える請求項3〜5のいずれかに記載された上位制御装置。 - 前記上位制御装置の表示部は、
前記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面への入力操作に対応して前記通信部により受信された情報に基づき、前記操作権が付与された下位制御装置の表示部に表示された画面の内容と整合性を保つように、前記上位制御装置の表示部に表示された画面の内容を更新する請求項6に記載された上位制御装置。 - 前記上位制御装置の表示部は、
下位制御装置のいずれかに前記操作権が付与された場合であって、前記上位制御装置の表示部に前記操作権が付与された画面群を表示することが予め禁止されている場合、前記画面群を表示しない請求項6に記載された上位制御装置。 - 前記上位制御装置は、複数の基板処理装置を制御する複数の第1の下位制御装置と接続されるとともに、前記複数の基板処理装置に隣接し、基板を搬送する搬送装置を制御する第2の下位制御装置と接続され、
前記画面データベースは、
前記複数の第1の下位制御装置の表示部に表示される複数の画面群および前記第2の下位制御装置の表示部に表示される画面群を画面群毎に管理し、
前記記憶部は、
前記複数の基板処理装置により実行される複数の基板処理の処理手順をレシピ毎に管理し、
前記操作権付与部は、
前記画面データベースにより管理された画面群毎に画面の操作権を前記複数の制御装置のいずれかに付与することにより、異なる制御装置が異なる制御対象を同時に別々に操作することを許可し、
前記処理実行制御部は、
前記記憶部により管理された各レシピに基づき、前記複数の基板処理装置にて実行される複数の基板処理を並行して排他的に制御する請求項6〜8のいずれかに記載された上位制御装置。 - 前記複数の第1の下位制御装置は、
前記複数の基板処理装置が配設された室内であって、前記複数の基板処理装置の近傍に配置され、
前記第2の下位制御装置は、前記複数の基板処理装置が配設された室内と同一室内であって、前記複数の基板処理装置に隣接して配設された前記搬送装置の近傍に配置され、
前記上位制御装置は、
前記室内から隔離された室外に配置され、各下位制御装置と情報を送受信することにより、前記複数の基板処理装置にて実行される複数の基板処理および前記搬送装置にて実行される搬送処理を制御するとともに、前記各下位制御装置の表示部に表示可能な画面群の操作権の付与を制御する請求項9に記載された上位制御装置。 - 画面の操作権を制御する上位制御装置にネットワークを介して接続され、基板処理装置を操作するための画面群または搬送装置を操作するための画面群のいずれかを表示可能な表示部を備える下位制御装置であって、
前記下位制御装置の表示部に表示可能な画面群を記憶する画面データベースと、
前記画面データベースに記憶された画面群の操作権を要求するための情報を生成する操作権要求部と、
前記操作権要求部により生成された操作権要求情報を前記上位制御装置に送信することにより画面の操作を要求し、送信された操作権要求情報に応じて、前記操作を要求された画面群の操作権が前記上位制御装置により前記下位制御装置に付与された場合、前記操作権を付与された下位制御装置の表示画面を用いて入力された情報を前記上位制御装置に送信する通信部とを備えることにより、前記操作権を付与された下位制御装置から送信された情報に基づいて実行される所定の処理を、前記上位制御装置の表示部に表示された画面を用いて入力された情報に基づいて実行される他の所定の処理と並行して前記上位制御装置に実行させる下位制御装置。 - 基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第1の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第2の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、前記第1の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第2の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに前記第1の下位制御装置および前記第2の下位制御装置を制御する上位制御装置を用いて画面の操作権を付与する方法であって、
前記第1の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および前記第2の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ画面データベースに記憶し、
前記第1の下位制御装置または前記第2の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、前記画面データベースに記憶された複数の画面群から前記操作を要求された画面群を特定し、
前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定し、
前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、前記第1の下位制御装置、前記第2の下位制御装置および前記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる制御対象を同時に別々に操作できるように、前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に付与する画面の操作権付与方法。 - 基板処理装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第1の下位制御装置と、搬送装置を操作するための画面群を表示可能な表示部を有する第2の下位制御装置と、にネットワークを介して接続され、前記第1の下位制御装置の表示部に表示される画面群と第2の下位制御装置の表示部に表示される画面群とを表示可能な表示部を備えるとともに前記第1の下位制御装置および前記第2の下位制御装置を制御する上位制御装置を用いて画面の操作権を付与する処理をコンピュータに実行させるための画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体であって、
前記第1の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群および前記第2の下位制御装置の表示部に表示可能な画面群をそれぞれ画面データベースに記憶する処理と、
前記第1の下位制御装置または前記第2の下位制御装置のいずれかから送信された画面の操作要求に応じて、前記画面データベースに記憶された複数の画面群から前記操作を要求された画面群を特定する処理と、
前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えるか否かを判定する処理と、
前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に与えると判定された場合、前記第1の下位制御装置、前記第2の下位制御装置および前記上位制御装置からなる複数の制御装置のうち、異なる制御装置が異なる制御対象を同時に別々に操作できるように、前記特定された画面群の操作権を前記要求した下位制御装置に付与する処理とをコンピュータに実行させる画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体。
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