JP4316210B2 - 保守システム，基板処理装置及び遠隔操作装置 - Google Patents
保守システム，基板処理装置及び遠隔操作装置 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は，遠隔地からの基板処理装置の保守システム，基板処理装置及び遠隔操作装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造は，工場内に設置された塗布現像処理装置，露光装置，エッチング装置等で行われる。例えば，塗布現像処理装置には，レジスト塗布ユニット，現像処理ユニット，加熱処理ユニット等の複数の処理ユニットや基板の搬送ユニット等が搭載されており，搬送ユニットによって基板を各処理ユニットに順次搬送し，各処理ユニットにおいて基板に所定の処理を施すことによって，半導体デバイス製造におけるフォトリソグラフィー工程が行われている。
【０００３】
ところで，上記塗布現像処理装置に故障を初めとするトラブルが発生した場合には，塗布現像処理装置の設置されている工場の作業員は，当該トラブルに対処する必要がある。また，作業員は，塗布現像処理装置の定期的なメンテナンスも行う必要がある。
【０００４】
しかし，工場の作業員は，塗布現像処理装置自体を製造した技術者ではないので，通常塗布現像処理装置に関する知識が豊富ではない。このため，塗布現像処理装置にトラブルが発生した場合であっても，工場側にいる作業員ではトラブルに対し適切な対応が採れない場合が多い。このような場合，工場の作業員は，従来から塗布現像処理装置の製造元に当該対処を委託していた。委託を受けた製造元の担当者は，塗布現像処理装置側の作業員に電話，ファクシミリ等で指示を与えたり，塗布現像処理装置のある工場に赴いて自らが対処していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，製造元の担当者が，電話，ファクシミリ等で指示を与える場合，互いに詳細な情報を授受することができないので，適正かつ迅速にトラブルに対処することができなかった。また，製造元の担当者が工場に赴く場合，到着するまでに時間がかかるため，迅速な対応が取れない場合が多かった。さらに，同時に複数箇所でトラブルが発生した場合には，一度に複数人の担当者を派遣せざるをえず，各担当者の対処能力には必ず差があるので，トラブルの対処の質にばらつきが生じることもあった。そこで，これらの問題を解決するために，インターネット，ＬＡＮ（ローカル・エリア・ネットワーク）等の通信ネットワークを用いて，塗布現像処理装置を遠隔地から操作して，塗布現像処理装置のトラブルを解消する遠隔保守システムが提案できる。この遠隔保守システムによれば，製造元の一人の熟練担当者が，トラブルや定期メンテナンスに対し迅速かつ適正に対応できる。
【０００６】
ところで，遠隔地からの操作は，見えないところからの操作である。このため，例えば遠隔地にいる製造元の担当者が，工場内の塗布現像処理装置に作業員が接近していることを知らずに，塗布現像処理装置を駆動させると，その駆動により移動した部材との接触により作業員がけがをすることもあり得る。また，基板処理装置の作業員が何らかの理由で現場を離れるときに，第３者が遠隔操作が行われていることを知らずに当該基板処理装置に近づいた場合にも，第３者が不意の駆動により負傷する可能性がある。したがって，このような遠隔作業の安全性を確保するために何らかの措置を講じる必要がある。
【０００７】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，塗布現像処理装置を初めとする基板処理装置の遠隔保守作業の安全性を十分に確保できるような保守システム，基板処理装置及び遠隔操作装置を提供することをその目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする保守システムが提供される。なお，遠隔地は，基板処理装置の設置された工場の外側に限られず，同じ工場内であってもよい。
【０００９】
この発明によれば，作業員の許可設定がある場合にのみ通信制御装置によって遠隔操作情報が基板処理装置に提供されるので，作業員が認識していない時に，基板処理装置が遠隔操作されることはない。また，保守作業の途中で作業員が何らかの理由で現場から離れる時に，設定を不許可にして遠隔操作を不能にできるので，遠隔操作中の基板処理装置に第３者が接近することがなくなる。したがって，作業員や第３者が遠隔操作中の基板処理装置に接触して負傷することがなくなり，遠隔保守作業の安全性が向上される。また，許可設定を複数段階に分けることができるので，状況に応じて危険のない遠隔操作のみを可能にすることができる。
【００１０】
前記通信制御装置は，遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部を備え，前記許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていてもよい。この発明によれば，遠隔操作装置側からは，遠隔操作の許可設定を行うことができない。したがって，遠隔操作する側が勝手に許可設定に変更し，遠隔操作を行うことがないので，基板処理装置の作業員の意に反して基板処理装置が動き出すことはない。
【００１１】
基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていてもよい。かかる場合，例えば設定値の変更操作のように基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作のみを許可し，基板処理装置の駆動を伴い遠隔操作を不許可にすることができる。こうすることにより，例えば作業員が一時的に現場を離れる場合においても，一部の遠隔操作が継続できるので，保守作業を効率よく行うことができる。
【００１２】
請求項３の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだ基板処理装置側と遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする保守システムが提供される。このセンサにより，例えば作業員からの見えない位置から人が基板処理装置に近づいたことも検出できるので，その人に警告を発したり，遠隔操作を中止することができる。したがって，遠隔操作の安全性が確保される。また，例えば遠隔操作を開始する際に，基板処理装置側と遠隔操作装置側の両方からセンサをＯＮすることができる。さらに，センサのＯＦＦ操作は，遠隔操作装置側からできないので，遠隔操作装置側の人が過ってセンサを切って，基板処理装置に近づく人を検出できなくなることが防止できる。
【００１４】
請求項４の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする保守システムが提供される。この場合，遠隔操作を行っていることを認識している担当作業員は，そのまま基板処理装置に対する保守作業を継続し，他の人が基板処理装置に近づいたことのみを検出できる。この結果，担当作業員は，例えば遠隔操作が行われている最中にも保守作業を行うことができるので，より速く保守作業を終了させることができる。
請求項５の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする保守システムが提供される。通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能であるので，例えば基板処理装置側或いは遠隔操作装置側の機密情報の流出を防止できる。
【００１５】
請求項７の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする基板処理装置が提供される。この基板処理装置によっても，上述したように不意に基板処理装置が動き出すことがなく，作業員の安全性が確保される。
【００１６】
なお，遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていてもよく，この基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，この基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていてもよい。
請求項９の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，この基板処理装置に人が接近したことを検出するセンサを備え，前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだこの基板処理装置側と遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，この基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする，基板処理装置が提供される。
請求項１０の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，この基板処理装置に人が接近したことを検出するセンサを備え，前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする，基板処理装置が提供される。
請求項１１の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする，基板処理装置が提供される。
【００１７】
請求項１３の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。この遠隔操作装置によっても，上述したように作業員の許可があった場合のみ，遠隔操作が行われるので，作業員やその周辺にいる人の安全が確保される。
【００１８】
なお，遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていてもよく，基板処理装置に対する駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置に対する駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていてもよい。
請求項１５の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだ基板処理装置側とこの遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。
請求項１６の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。
請求項１７の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。
請求項１９の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，前記遠隔操作の許可設定を行う許可設定部と，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信の許可設定を行う通信許可設定手段と，を備え，前記許可設定部及び前記通信許可設定手段は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられ，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になり，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられ，基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作には，前記基板処理装置における基板搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のレジスト液吐出ノズル及び現像処理ユニット内の現像液吐出ノズルの位置調整と，前記基板搬送アーム，前記レジスト液吐出ノズル及び現像液吐出ノズルの動作確認と，が含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作には，レジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，レジスト液の吐出圧，基板の回転速度，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，現像液の吐出圧，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，ベーキングユニットにおける基板の加熱温度，加熱時間の設定変更と，が含まれることを特徴とする保守システムが提供される。
請求項２０の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になり，前記遠隔操作の許可設定を行う許可設定部，及び前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信の通信許可設定手段は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられ，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられ，基板処理装置に対する駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置に対する駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作には，前記基板処理装置における基板搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のレジスト液吐出ノズル及び現像処理ユニット内の現像液吐出ノズルの位置調整と，前記基板搬送アーム，前記レジスト液吐出ノズル及び現像液吐出ノズルの動作確認と，が含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作には，レジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，レジスト液の吐出圧，基板の回転速度，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，現像液の吐出圧，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，ベーキングユニットにおける基板の加熱温度，加熱時間の設定変更と，が含まれることを特徴とする，遠隔操作装置が提供される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１は，本実施の形態にかかる保守システム１の概略構成図である。この保守システム１は，基板処理装置としての塗布現像処理装置を遠隔地から保守するためのシステムである。保守システム１は，例えばウェハの製造が行われる工場２側に複数の塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎと通信制御装置３を有し，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの製造元であるベンダ４側に遠隔操作装置としてのコンピュータ５を有している。塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎは，工場２内のクリーンルームＲ内に設置されている。
【００２０】
ベンダ４側のコンピュータ５は，インターネット６によって工場２側の通信制御装置３に接続されており，互いに通信可能である。インターネット６とコンピュータ５及びインターネット６と通信制御装置３の間には，それぞれ図示しないファイアーウォールが設けられており，各端末への第３者の進入が防止されている。通信制御装置３は，例えば工場２内で構築されたＬＡＮ７によって，各塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに接続されている。かかる構成によって，コンピュータ５は，インターネット６及び通信制御装置３を介して塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎと通信可能である。
【００２１】
先ず，ベンダ４側のコンピュータ５について説明する。コンピュータ５は，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎを遠隔操作するための装置である。コンピュータ５は，例えば図２に示すように通信部２０，入力部２１，制御部２２及び表示部２３等を有している。
【００２２】
通信部２０は，インターネット６に直接接続されており，この通信部２０によって，コンピュータ５と通信制御装置３との間で各種情報や信号が授受できる。したがって，コンピュータ５は，通信制御装置３側から送信された塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに関するトラブル情報を受信したり，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎを遠隔操作するための遠隔操作情報を通信制御装置３側に送信したりすることができる。なお，上記トラブル情報には，例えばトラブル発生時における塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの各種設定情報及び画像情報，トラブル発生までの各種ログ情報等が含まれる。遠隔操作情報には，例えば塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ内の各種諸元の駆動を伴わない遠隔操作をするための静的遠隔操作情報，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの各種諸元の駆動を伴う遠隔操作をするための動的遠隔操作情報が含まれる。静的遠隔操作情報には，例えば塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの各種諸元の設定を変更する設定変更情報が含まれ，動的遠隔操作情報には，ウェハ処理時に駆動する塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの諸元（駆動諸元）を，実際に動かして調整するための駆動調整情報，保守作業後の動作確認を行うための動作確認情報等が含まれる。
【００２３】
入力部２１には，例えば塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎのトラブルの発生の際に，通信制御装置３に対しトラブル情報の送信を要求する情報要求信号が入力できる。加えて入力部２１には，遠隔操作情報が入力できる。つまりベンダ４側の担当者は，入力部２１に遠隔操作情報を入力することによって，遠隔地にある塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ内の各種諸元の設定を変更したり，駆動諸元を動かして調整することができる。入力部２１には，例えばカーソルキーや数字入力等を備えたキーボードやマウス等のポインティングデバイスが用いられており，キーボードにおいて押下されたキーの押下信号やマウスの位置信号によって前記遠隔操作情報等を入力することができる。
【００２４】
制御部２２は，コンピュータ５全体を制御するものであり，例えば通信制御装置３や入力部２１等からの各種情報，信号に従って，各種プログラムが実行される。なお，制御部２２には，例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）が用いられる。
【００２５】
表示部２３には，例えば受信したトラブル情報が表示できる。表示部２３には，例えばドットマトリクスタイプのカラー液晶表示セル若しくはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）等が用いられる。また，表示部２３は，タッチスクリーンであってもよく，この場合，入力部２１として遠隔操作情報等を直接入力できる。さらに，表示部２３に，各塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの後述する入力・表示装置９３の操作画面が表示されるようにしてもよく，この操作画面を介して前記トラブル情報を表示したり，遠隔操作情報を入力してもよい。
【００２６】
次に，通信制御装置３について説明する。通信制御装置３は，図１に示すように塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎと共に，工場２内のクリーンルームＲ内に設置されている。通信制御装置３は，例えば図３に示すように通信部３０，許可設定部としての入力部３１，記憶部３２及び制御部３３等を有している。例えば通信部３０にはモデム，入力部３１にはタッチスクリーン，記憶部３２にはＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ），制御部３３にはＣＰＵ等が用いられる。
【００２７】
通信部３０は，工場２内のＬＡＮ７とインターネット６に接続されており，この通信部３０によって，通信制御装置３は，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ及びコンピュータ５との間で各種情報，信号等を通信できる。すなわち，コンピュータ５から受け取った情報を塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに送信したり，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎから受け取った情報をコンピュータ５側に送信できる。
【００２８】
入力部３１は，コンピュータ５から受信した遠隔操作情報を塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに送信し，当該遠隔操作情報に基づく遠隔操作を許可するか否かの許可・不許可設定を行うことができる。この許可・不許可設定は，複数段階，例えば２段階に分けられている。第１段階の許可・不許可設定には，静的遠隔操作情報，具体的には，塗布現像処理装置Ｍ１内のレジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，吐出圧，ウェハＷの回転速度，雰囲気温湿度，現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，吐出圧，雰囲気温湿度，ベーキングユニットにおけるウェハＷの加熱温度，加熱時間等の設定を変更するための設定変更情報が含まれる。第２段階の許可・不許可設定には，動的遠隔操作情報，具体的には，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ内の搬送ユニットの搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のノズル等を実際に動かして位置調整するための位置調整情報，調整或いは設定変更した搬送アーム，ノズル等の動作の確認を行う動作確認情報等が含まれる。これらの許可・不許可設定は，例えば図４に示すように作業員が入力部３１のタッチスクリーンにおいて，各段階の設定ボタンＡ，Ｂを押下することによって行うことができる。なお，上述したような複数の内容を有する静的遠隔操作情報は，それら内容に関して一括して許可・不許可の設定ができてもよく，逆にレジスト液の吐出量は，「許可」で，吐出圧は，「不許可」のように個別に許可・不許可設定ができてもよい。また，動的遠隔操作情報についても，静的遠隔操作情報と同様に各内容に関して一括して許可・不許可設定ができてもよく，個別に許可・不許可設定ができてもよい。
【００２９】
記憶部３２には，上記許可・不許可設定を行うためのプログラムを初めとする各種プログラムが格納されている。制御部３３は，記憶部３２に格納されたプログラムを適宜読み出して実行できる。また，通信制御装置３には，図１に示すようにインターネット６を通じたベンダ４側との情報通信そのものを許可・不許可に設定する通信許可設定手段である通信許可・不許可設定ボタンＤが設けられている。したがって，この通信許可設定が許可になっている場合にのみ，通信制御装置３とコンピュータ５との間で双方向の情報通信ができる。
【００３０】
続いて，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの構成について，塗布現像処理装置Ｍ１を例に採って説明する。塗布現像処理装置Ｍ１は，半導体デバイスの製造工程におけるフォトリソグラフィー工程を，ウェハＷを枚葉式に連続処理することによって行うことのできる処理装置である。図５は，塗布現像処理装置Ｍ１の構成の概略を示す斜視図であり，図６は，塗布現像処理装置Ｍ１の構成の概略を示す平面図である。
【００３１】
例えば塗布現像処理装置Ｍ１は，図５に示すように例えば２５枚のウェハＷをカセット単位で外部から塗布現像処理装置Ｍ１に対して搬入出したり，カセットＣに対してウェハＷを搬入出したりするカセットステーション４０と，ウェハＷの処理が枚葉式で行われる各種処理ユニットを複数有する処理ステーション４１と，この処理ステーション４１に隣接して設けられている図示しない露光装置との間でウェハＷの受け渡しを行うインターフェイス部４２とを一体に接続した構成を有している。
【００３２】
カセットステーション４０では，図６に示すようにカセット載置台４３上の所定の位置に，複数のカセットＣがＸ方向（図６中の上下方向）に一列に載置自在となっている。カセットステーション４０には，ウェハ搬送ユニット４４が搬送路４５に沿ってＸ方向に移動自在に設けられている。ウェハ搬送ユニット４４は，カセットＣに対してウェハＷを搬入出し，処理ステーション４１との間でウェハＷを搬送することができる。ウェハ搬送ユニット４４は，後述するように処理ステーション４１側の第３の処理ユニット群G３に属するエクステンションユニット６３に対してもアクセスできるように構成されている。カセットステーション４０には，図５に示すように塗布現像処理装置Ｍ１の後述するコントロールセクション４６が設けられている。また，塗布現像処理装置Ｍ１の複数箇所には，図示しないＣＣＤカメラを初めとする撮像部材が取り付けられており，塗布現像処理装置Ｍ１内を必要に応じて撮像できるようになっている。
【００３３】
処理ステーション４１には，図５に示すようにその中心部に主搬送ユニット５０が設けられている。主搬送ユニット５０は，ウェハＷを保持し移動自在な基板搬送部材としての搬送アーム５０ａを備え，この搬送アーム５０ａを移動させることによって，ウェハＷを所定の搬送位置まで搬送することができる。主搬送ユニット５０の周辺には，各種処理ユニットが多段に配置された複数の処理ユニット群G1，G2，G3，G4が設けられている。例えば第１及び第２の処理ユニット群G1，G2は，塗布現像処理装置Ｍ１の正面側に配置されている。第１の処理ユニット群Ｇ１には，図７に示すようにウェハＷにレジスト液を塗布するレジスト塗布ユニット５１及びウェハＷを現像処理する現像処理ユニット５２が下から順に２段に設けられている。
【００３４】
レジスト塗布ユニット５１は，例えば処理室内の雰囲気を所定の温度，湿度に保つための温湿度調整装置，ウェハＷを保持し回転させるためのスピンチャック，スピンチャックに保持されたウェハＷにレジスト液を供給するノズル，ノズルを吐出位置に移動させるためのノズルアーム，ノズルからのレジスト液を所定流量，所定圧で吐出させるためのレジスト液供給装置等の各種諸元から構成されている。レジスト塗布処理は，スピンチャックにより回転されたウェハＷにノズルから所定量のレジスト液を吐出し，当該レジスト液をウェハＷ上に拡散させることによって行われる。現像処理ユニット５２の現像処理は，チャックに保持されたウェハＷにノズルから現像液を供給し，所定時間静止現像することによって行われる。第２の処理ユニット群Ｇ２も同様に，レジスト塗布ユニット５３及び現像処理ユニット５４が下から順に設けられている。
【００３５】
一方，処理ステーション４１の第３の処理ユニット群G3は，図６に示すようにカセットステーション４０に隣接して配置されている。第３の処理ユニット群Ｇ３には，例えば図８に示すようにウェハＷを冷却処理するクーリングユニット６０，６１，レジスト液とウェハＷとの定着性を高めるためのアドヒージョンユニット６２，ウェハＷの受け渡しを行うためのエクステンションユニット６３，レジスト液中の溶剤を蒸発させるためのプリベーキングユニット６４，６５が下から順に例えば６段に積み重ねられている。
【００３６】
第４の処理ユニット群G4は，インターフェイス部４２に隣接して配置されている。第４の処理ユニット群Ｇ４には，例えばクーリングユニット７０，載置したウェハＷを自然冷却させるエクステンション・クーリングユニット７１，エクステンションユニット７２，露光後の加熱処理を行うポストエクスポージャーベーキングユニット７３，７４，現像処理後の加熱処理を行うポストベーキングユニット７５，７６が下から順に例えば７段に積み重ねられている。上記プリベーキングユニット６４，６５，ポストエクスポージャーベーキングユニット７３，７４，ポストベーキングユニット７５，７６における加熱処理は，ウェハＷを所定温度に維持された熱板上に載置することによって行われる。
【００３７】
インターフェイス部４２には，図６に示すように例えばウェハ搬送ユニット８０と周辺露光ユニット８１が設けられている。ウェハ搬送ユニット８０は，第４の処理ユニット群G4に属するエクステンション・クーリングユニット７１，エクステンションユニット７２，周辺露光ユニット８１及び図示しない露光装置に対してアクセスして，各々に対してウェハＷを搬送できるように構成されている。
【００３８】
次に，上述したコントロールセクション４６の構成について詳しく説明する。コントロールセクション４６は，例えば図９に示すように通信装置９０，制御装置９１及びデータ蓄積装置９２，入力・表示装置９３等を備えている。
【００３９】
通信装置９０は，例えばＬＡＮ７に接続されており，当該ＬＡＮ７を介して通信制御装置３との間で情報，信号を通信することができる。したがって，後述するデータ蓄積装置９２に蓄積されたログ情報を，通信装置９０を介して通信制御装置３に送信したり，通信制御装置３から受信した遠隔操作情報を制御装置９１に出力できる。
【００４０】
制御装置９１には，塗布現像処理装置Ｍ１全体の処理プロセスに関する設定，各処理ユニットにおける処理レシピに関する設定，搬送ユニットの動作に関する設定等の各種設定を行うことができる。制御装置９１は，当該設定に基づいて塗布現像処理装置Ｍ１全体，各種処理ユニット，搬送ユニットを制御し，所望の塗布現像処理を実行している。制御装置９１は，通信装置９０から出力された遠隔操作情報に基づいて，上記各種設定を変更したり，各ユニット内の各種諸元を実際に動かし調整して，塗布現像処理装置Ｍ１の保守作業を行うことができる。つまり，コンピュータ５から制御装置９１に遠隔操作情報が提供されることによって，コンピュータ５は塗布現像処理装置Ｍ１を遠隔操作できる。
【００４１】
データ蓄積装置９２には，塗布現像処理装置Ｍ１の各種設定情報，運転情報等のログ情報を一時的に格納しておくことができる。入力・表示装置９３は，例えば図５に示すように塗布現像処理装置Ｍ１の側部に設けられている。入力表示装置９３は，例えばタッチスクリーンであり，この入力・表示装置９３には，塗布現像処理装置Ｍ１の各種設定を行ったり，塗布現像処理装置Ｍ１の運転状況等を表示する操作画面が表示されるようになっている。また，必要に応じて上記ＣＣＤカメラで撮像した塗布現像処理装置Ｍ１の映像も表示できる。
【００４２】
ここで，以上のように構成された塗布現像処理装置Ｍ１のウェハ処理時の動作について説明すると，先ずカセットステーション４０のカセットＣから未処理のウェハＷが１枚取り出され，第３の処理ユニット群G3に属するエクステンションユニット６３に搬送される。次いでウェハＷは，主搬送ユニット５０によってアドヒージョンユニット６２に搬入され，アドヒージョン処理が施される。アドヒージョン処理終了後，ウェハＷは，クーリングユニット６０に搬送され，所定温度に冷却された後，レジスト塗布ユニット５１に搬送され，ウェハＷ表面にレジスト膜が形成される。
【００４３】
レジスト膜が形成されたウェハＷは，主搬送ユニット５０によってプリべーキングユニット６４，エクステンション・クーリングユニット７１に順次搬送され，さらにウェハ搬送ユニット８０によって周辺露光ユニット８１，露光装置（図示せず）に順次搬送され，各ユニット等で所定の処理が施される。そして露光処理の終了したウェハＷは，ウェハ搬送ユニット８０によりエクステンションユニット７２に搬送され，その後，主搬送ユニット５０によってポストエクスポージャーベーキングユニット７３，クーリングユニット６１，現像処理ユニット５２，ポストベーキングユニット７５及びクーリングユニット６０に順次搬送され，各ユニットにおいて所定の処理が施される。その後，ウェハＷは，エクステンションユニット６３に搬送され，ウェハ搬送ユニット４４によってカセットＣに戻されて，一連のフォトリソグラフィー工程が終了する。
【００４４】
続いて，以上のようなウェハ処理が行われている塗布現像処理装置Ｍ１において，トラブルが発生した場合の保守システム１の動作について説明する。図１０は，保守システム１の動作のプロトコルフローを示す。
【００４５】
塗布現像処理装置Ｍ１の正常運転時には，工場２側の作業員により，通信制御装置３の第１及び第２の許可・不許可設定が「不許可」に設定されている。それ故，コンピュータ５側から塗布現像処理装置Ｍ１を遠隔操作することはできない。そして，塗布現像処理装置Ｍ１にトラブルが発生した際には，例えば工場２側の作業員からベンダ４側の担当者にそのトラブルの発生が通知される。この通知方法は，電話，ファクシミリ等でもよいが，保守システム１の通信ネットワークを用いてもよい。通信ネットワークを用いてベンダ４側の担当者にトラブルの発生を通知する場合には，工場２側の作業員は，通信許可・不許可設定ボタンＤによって通信許可・不許可の設定を「許可」にする。このようにトラブルの通知の前に，作業員が通信許可の設定を行うことによって，例えばトラブルであってもベンダ４側に知られたくない機密事項を含む情報，例えばトラブルが発生した塗布現像処理装置Ｍ１で行われていた処理工程上での機密事項を含む情報が不用意にベンダ４側に流出することが妨げられる。また，とにかく少しでも迅速にトラブルの発生を知らせたい場合には，トラブル発生時に塗布現像処理装置Ｍ１で発せられた警告アラーム信号が自動的にベンダ４側のコンピュータ５に送信され，トラブル発生の旨をベンダ４側の担当者に通知するようにしてもよい。
【００４６】
トラブルの発生が通知されたベンダ４側の担当者は，先ずトラブルの情報を収集するために塗布現像処理装置Ｍ１側にトラブル情報の情報要求信号を送信する。この送信には，安全のためパスワードが必要となる。送信された情報要求信号は，インターネット６を介して通信制御装置３に送信され，通信制御装置３からＬＡＮ７を介して塗布現像処理装置Ｍ１に送信される。当該情報要求信号を受けた塗布現像処理装置Ｍ１では，通信許可・不許可設定ボタンＤが「許可」に設定されている場合に，例えば入力・表示装置９３の操作画面に表示されている現在の設定情報，運転情報が，通信装置９１からコンピュータ５に向けて送信される。このとき，入力・表示装置９３に表示されている操作画面をそのままコンピュータ５に送信してもよい。また，データ蓄積装置９２に蓄積されているログ情報，つまりトラブル発生までの設定情報，運転情報やＣＣＤカメラで撮像された画像情報等もコンピュータ５に送信される。
【００４７】
このように塗布現像処理装置Ｍ１から送信されたトラブル情報は，ベンダ４側のコンピュータ５で受信され，コンピュータ５の表示部２３に表示される。入力表示装置９３の操作画面がそのまま送信された場合には，表示部２３には，当該操作画面が表示される。ベンダ４側の担当者は，この表示により，例えば塗布現像処理装置Ｍ１の現状を把握し，トラブルの原因を特定して，その対処法を案出できる。トラブルの対処法を案出した担当者は，その対処法を，遠隔操作情報として入力部２１から入力する。例えば主搬送ユニット５０にトラブルが発生し，トラブル原因が搬送アーム５０ａにあると認定された場合，例えば搬送アーム５０ａの停止位置の設定を変更する設定変更情報，搬送アーム５０ａを実際に動かして調整する駆動調整情報，調整後の搬送アーム５０ａの動作を確認させる動作確認情報が入力部２１に入力される。
【００４８】
例えば，ベンダ４側の担当者にトラブルの発生が通知されてから遠隔操作情報が返信されるまでの間に，工場２側の作業員は，通信制御装置３の第１及び第２の許可・不許可設定を，「許可」に変更しておく。この変更は，人が塗布現像処理装置Ｍ１から離れたことを確認した上で行われる。こうすることによって，ベンダ４側のコンピュータ５から送信された遠隔操作情報が塗布現像処理装置Ｍ１に提供され，ベンダ４側から遠隔操作ができるようになる。
【００４９】
入力部２１に入力された遠隔操作情報は，通信部２０からインターネット６を介して工場２側の通信制御装置３に送信される。通信制御装置３では，遠隔操作の許可・不許可設定が総て「許可」になっているので，通信制御装置３は，遠隔操作情報を塗布現像処理装置Ｍ１に送信する。遠隔操作情報を受けた塗布現像処理装置Ｍ１では，当該遠隔操作情報に基づいて，トラブルの修復作業が行われる。例えば搬送アーム５０ａが動かされ停止位置が調整され，搬送アーム５０ａの停止位置の設定が変更される。その後搬送アーム５０ａを作動させ，搬送アーム５０ａの動作が確認される。こうして，トラブルの原因が解消される。その後，作業員によって，遠隔操作の許可・不許可設定が総て「不許可」に変更され，遠隔操作ができなくなる。さらに必要であれば，通信許可・不許可設定も「不許可」に変更してもよい。
【００５０】
この保守システム１では，工場２の作業員によって遠隔操作が「許可」に設定されてから遠隔操作が行われるので，例えば作業員の知らないうちに主搬送ユニット５０の搬送アーム５０ａが駆動し，当該搬送アーム５０ａによって作業員が負傷することを防止できる。
【００５１】
また，遠隔操作中に作業員が現場を離れる場合には，例えば図２に示したように第１段階の許可・不許可設定，つまり駆動諸元の実際の駆動を伴なわない静的遠隔操作情報の送信を「許可」にし，第２段階の許可・不許可設定，つまり駆動諸元の実際の駆動を伴う動的遠隔操作情報の送信を「不許可」にする。こうすることによって，実際の駆動を伴う遠隔操作ができなくなるので，例えば作業員が見ていない時に，第３者が塗布現像処理装置Ｍ１に近づき，例えば搬送アーム５０ａ等の駆動諸元によって第３者がけがをすることが防止できる。一方，第１段階の許可・不許可設定が「許可」のままであるので，駆動を伴わない例えば設定変更情報が送信できるので，作業員が現場を離れている場合にも，危険性のない遠隔操作を継続することができる。この場合，危険性のない遠隔操作であっても，作業員が現場を離れている間に変更された静的遠隔操作情報の内容を，例えば入力・表示装置９３に表示するようにしてもよい。こうすることによって，作業員が，現場にいない間に変更された事項を容易に把握できる。また，塗布現像処理装置内のユニットの構成を，予め例えば入力・表示装置９３の画面（ステータス画面）で表示させ，このステータス画面において変更のあったユニットのみを判別可能に表示するようにしてもよい。この際，例えば変更のあったユニットのみを色を変えて表示してもよく，またそのユニットのみを点滅表示してもよい。
【００５２】
以上の実施の形態で記載した塗布現像処理装置Ｍ１に，人の接近を検出するセンサを取付け，人が接近した場合に，遠隔操作が不能になるようにしてもよい。図１１は，かかる一例を示すものであり，塗布現像処理装置Ｍ１に，人を検知できる赤外線センサ１００が取り付けられる。赤外線センサ１００は，例えば塗布現像処理装置Ｍ１の周辺領域（図１１の斜線領域）内に人が侵入したことを検知できるように取り付けられる。赤外線センサ１００による検出情報は，例えば塗布現像処理装置Ｍ１の制御装置９１に出力でき，制御装置９１から通信制御装置３に出力できる。通信制御装置３では，この検出情報に基づいて遠隔操作の許可設定を「不許可」に自動的に変更できる。かかる構成により，例えば作業員以外の人が過って塗布現像処理装置Ｍ１に所定距離以上近づいた時に，自動的に遠隔操作ができなくなり，遠隔操作の安全性が確保される。なお，この場合，人の接近の検出により，駆動諸元の移動を伴う遠隔操作，つまり動的遠隔操作のみを不能にしてもよい。また，接近者の検知により，アラームを発生させてもよく，その時稼動している駆動諸元を停止させてもよい。
【００５３】
また，前記赤外線センサ１００の検出開始の操作を工場２側とベンダ４側の両方で行えるようにし，赤外線センサ１００の検出停止の操作を工場２側のみで行えるようにしてもよい。例えば工場２側の塗布現像処理装置Ｍ１には，赤外線線センサ１００のＯＮ・ＯＦＦスイッチが設けられ，ベンダ４側のコンピュータ５には，赤外線センサ１００のＯＮスイッチのみが設けられる。こうすることによって，必要に応じて工場２とベンダ４側から赤外線センサ１００を作動させることができる。また，工場２内の様子を完全に把握できないベンダ４側に，ＯＮスイッチのみを設けるので，ベンダ４側から赤外線センサ１００を勝手にＯＦＦにできなくなる。この結果，工場２側の意に反して赤外線センサ１００がＯＦＦになって遠隔操作が実行されることがなく，塗布現像処理装置Ｍ１の遠隔操作の安全性が向上する。
【００５４】
上記赤外線センサ１００に代えて，所定の作業員以外の人の接近を選択的に検出できるセンサにしてもよい。かかる場合，例えば工場２内の塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの担当作業員に，各塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ別の識別コードを予め付与しておき，当該識別コードを，センサが識別できる形にして作業員に付するようにする。識別コードは，例えば作業員のネイムプレート，作業服等に付すようにしてもよい。そして，例えばセンサが，担当作業員の識別コードを検出した場合，遠隔操作がそのまま継続され，担当作業員以外の者の識別コードを検出した場合，遠隔操作が不能になる。つまり担当作業員が塗布現像処理装置Ｍ１に近づいても，遠隔操作が継続して行われ，担当作業員以外の者が塗布現像処理装置Ｍ１に近づいたときに，遠隔操作が止められる。この結果，遠隔操作をしていることを知らない他の担当作業員が，過て他の塗布現像処理装置に近づいた時に，遠隔操作によって負傷することが防止できる。また，担当作業員が近づいた場合に，逐次遠隔作業が停止することがないので，トラブルの修正作業が迅速に行われる。
【００５５】
以上で記載した実施の形態は，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに関する保守システムであったが，保守システムを構成する基板処理装置は，塗布現像処理装置に限られず，他の基板処理装置，例えば露光装置，エッチング装置等であってもよい。また，本実施の形態は，塗布現像処理装置のみの保守システムであったが，本発明は，複数種類の基板処理装置の保守システムにも適用できる。さらに，基板処理装置は，複数箇所の工場に設置されていてもよい。通信制御装置３は，独立した装置である必要はなく，基板処理装置内に設けられていてもよい。また，基板処理装置内の制御装置が通信制御装置３の機能を果たしてもよい。
【００５６】
ベンダ４側のコンピュータ５も一箇所に設置されている必要はなく，複数箇所に設けられていてもよい。コンピュータ５の設置位置は，ベンダ４側に限られず，工場２内であって基板処理装置から離れた位置，例えばクリーンルームＲの外側であってもよい。
【００５７】
以上の実施の形態では，本発明である保守システム１をトラブルに対処するために用いていたが，トラブル以外の定期メンテナンスに用いてもよい。基板処理装置で処理される基板は，ウェハに限られず，ウェハ以外の基板，例えばＬＣＤ基板，フォトマスク用のマスクレチクル基板であってもよい。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によれば，基板処理装置の遠隔操作において，当該基板処理装置周辺にいる作業員の安全性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる保守システムの概略構成図である。
【図２】コンピュータの構成を示すブロック図である。
【図３】通信制御装置の構成を示すブロック図である。
【図４】通信制御装置の設定画面の一例を示す説明図である。
【図５】保守システムを構成する塗布現像処理装置の概略を示す斜視図である。
【図６】図５の塗布現像処理装置の構成の概略を示す平面図である。
【図７】図５の塗布現像処理装置の正面図である。
【図８】図５の塗布現像処理装置の背面図である。
【図９】コントロールセクションの構成を示すブロック図である。
【図１０】保守システムのプロトコルフローである。
【図１１】赤外線センサを取り付けた場合の塗布現像処理装置の構成の概略を示す平面図である。
【符号の説明】
１ 保守システム
２ 工場
３ 通信制御装置
４ ベンダ
５ コンピュータ
６ インターネット
７ ＬＡＮ
Ｍ１〜Ｍｎ 塗布現像処理装置
Ｗ ウェハ
【発明の属する技術分野】
本発明は，遠隔地からの基板処理装置の保守システム，基板処理装置及び遠隔操作装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体デバイスの製造は，工場内に設置された塗布現像処理装置，露光装置，エッチング装置等で行われる。例えば，塗布現像処理装置には，レジスト塗布ユニット，現像処理ユニット，加熱処理ユニット等の複数の処理ユニットや基板の搬送ユニット等が搭載されており，搬送ユニットによって基板を各処理ユニットに順次搬送し，各処理ユニットにおいて基板に所定の処理を施すことによって，半導体デバイス製造におけるフォトリソグラフィー工程が行われている。
【０００３】
ところで，上記塗布現像処理装置に故障を初めとするトラブルが発生した場合には，塗布現像処理装置の設置されている工場の作業員は，当該トラブルに対処する必要がある。また，作業員は，塗布現像処理装置の定期的なメンテナンスも行う必要がある。
【０００４】
しかし，工場の作業員は，塗布現像処理装置自体を製造した技術者ではないので，通常塗布現像処理装置に関する知識が豊富ではない。このため，塗布現像処理装置にトラブルが発生した場合であっても，工場側にいる作業員ではトラブルに対し適切な対応が採れない場合が多い。このような場合，工場の作業員は，従来から塗布現像処理装置の製造元に当該対処を委託していた。委託を受けた製造元の担当者は，塗布現像処理装置側の作業員に電話，ファクシミリ等で指示を与えたり，塗布現像処理装置のある工場に赴いて自らが対処していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら，製造元の担当者が，電話，ファクシミリ等で指示を与える場合，互いに詳細な情報を授受することができないので，適正かつ迅速にトラブルに対処することができなかった。また，製造元の担当者が工場に赴く場合，到着するまでに時間がかかるため，迅速な対応が取れない場合が多かった。さらに，同時に複数箇所でトラブルが発生した場合には，一度に複数人の担当者を派遣せざるをえず，各担当者の対処能力には必ず差があるので，トラブルの対処の質にばらつきが生じることもあった。そこで，これらの問題を解決するために，インターネット，ＬＡＮ（ローカル・エリア・ネットワーク）等の通信ネットワークを用いて，塗布現像処理装置を遠隔地から操作して，塗布現像処理装置のトラブルを解消する遠隔保守システムが提案できる。この遠隔保守システムによれば，製造元の一人の熟練担当者が，トラブルや定期メンテナンスに対し迅速かつ適正に対応できる。
【０００６】
ところで，遠隔地からの操作は，見えないところからの操作である。このため，例えば遠隔地にいる製造元の担当者が，工場内の塗布現像処理装置に作業員が接近していることを知らずに，塗布現像処理装置を駆動させると，その駆動により移動した部材との接触により作業員がけがをすることもあり得る。また，基板処理装置の作業員が何らかの理由で現場を離れるときに，第３者が遠隔操作が行われていることを知らずに当該基板処理装置に近づいた場合にも，第３者が不意の駆動により負傷する可能性がある。したがって，このような遠隔作業の安全性を確保するために何らかの措置を講じる必要がある。
【０００７】
本発明は，かかる点に鑑みてなされたものであり，塗布現像処理装置を初めとする基板処理装置の遠隔保守作業の安全性を十分に確保できるような保守システム，基板処理装置及び遠隔操作装置を提供することをその目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする保守システムが提供される。なお，遠隔地は，基板処理装置の設置された工場の外側に限られず，同じ工場内であってもよい。
【０００９】
この発明によれば，作業員の許可設定がある場合にのみ通信制御装置によって遠隔操作情報が基板処理装置に提供されるので，作業員が認識していない時に，基板処理装置が遠隔操作されることはない。また，保守作業の途中で作業員が何らかの理由で現場から離れる時に，設定を不許可にして遠隔操作を不能にできるので，遠隔操作中の基板処理装置に第３者が接近することがなくなる。したがって，作業員や第３者が遠隔操作中の基板処理装置に接触して負傷することがなくなり，遠隔保守作業の安全性が向上される。また，許可設定を複数段階に分けることができるので，状況に応じて危険のない遠隔操作のみを可能にすることができる。
【００１０】
前記通信制御装置は，遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部を備え，前記許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていてもよい。この発明によれば，遠隔操作装置側からは，遠隔操作の許可設定を行うことができない。したがって，遠隔操作する側が勝手に許可設定に変更し，遠隔操作を行うことがないので，基板処理装置の作業員の意に反して基板処理装置が動き出すことはない。
【００１１】
基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていてもよい。かかる場合，例えば設定値の変更操作のように基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作のみを許可し，基板処理装置の駆動を伴い遠隔操作を不許可にすることができる。こうすることにより，例えば作業員が一時的に現場を離れる場合においても，一部の遠隔操作が継続できるので，保守作業を効率よく行うことができる。
【００１２】
請求項３の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだ基板処理装置側と遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする保守システムが提供される。このセンサにより，例えば作業員からの見えない位置から人が基板処理装置に近づいたことも検出できるので，その人に警告を発したり，遠隔操作を中止することができる。したがって，遠隔操作の安全性が確保される。また，例えば遠隔操作を開始する際に，基板処理装置側と遠隔操作装置側の両方からセンサをＯＮすることができる。さらに，センサのＯＦＦ操作は，遠隔操作装置側からできないので，遠隔操作装置側の人が過ってセンサを切って，基板処理装置に近づく人を検出できなくなることが防止できる。
【００１４】
請求項４の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする保守システムが提供される。この場合，遠隔操作を行っていることを認識している担当作業員は，そのまま基板処理装置に対する保守作業を継続し，他の人が基板処理装置に近づいたことのみを検出できる。この結果，担当作業員は，例えば遠隔操作が行われている最中にも保守作業を行うことができるので，より速く保守作業を終了させることができる。
請求項５の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする保守システムが提供される。通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能であるので，例えば基板処理装置側或いは遠隔操作装置側の機密情報の流出を防止できる。
【００１５】
請求項７の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする基板処理装置が提供される。この基板処理装置によっても，上述したように不意に基板処理装置が動き出すことがなく，作業員の安全性が確保される。
【００１６】
なお，遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていてもよく，この基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，この基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていてもよい。
請求項９の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，この基板処理装置に人が接近したことを検出するセンサを備え，前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだこの基板処理装置側と遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，この基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする，基板処理装置が提供される。
請求項１０の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，この基板処理装置に人が接近したことを検出するセンサを備え，前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする，基板処理装置が提供される。
請求項１１の発明によれば，基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする，基板処理装置が提供される。
【００１７】
請求項１３の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。この遠隔操作装置によっても，上述したように作業員の許可があった場合のみ，遠隔操作が行われるので，作業員やその周辺にいる人の安全が確保される。
【００１８】
なお，遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていてもよく，基板処理装置に対する駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置に対する駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていてもよい。
請求項１５の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだ基板処理装置側とこの遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。
請求項１６の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。
請求項１７の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする遠隔操作装置が提供される。
請求項１９の発明によれば，基板処理装置の保守システムであって，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，前記遠隔操作の許可設定を行う許可設定部と，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信の許可設定を行う通信許可設定手段と，を備え，前記許可設定部及び前記通信許可設定手段は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられ，前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になり，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられ，基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作には，前記基板処理装置における基板搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のレジスト液吐出ノズル及び現像処理ユニット内の現像液吐出ノズルの位置調整と，前記基板搬送アーム，前記レジスト液吐出ノズル及び現像液吐出ノズルの動作確認と，が含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作には，レジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，レジスト液の吐出圧，基板の回転速度，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，現像液の吐出圧，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，ベーキングユニットにおける基板の加熱温度，加熱時間の設定変更と，が含まれることを特徴とする保守システムが提供される。
請求項２０の発明によれば，通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になり，前記遠隔操作の許可設定を行う許可設定部，及び前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信の通信許可設定手段は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられ，遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられ，基板処理装置に対する駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置に対する駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作には，前記基板処理装置における基板搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のレジスト液吐出ノズル及び現像処理ユニット内の現像液吐出ノズルの位置調整と，前記基板搬送アーム，前記レジスト液吐出ノズル及び現像液吐出ノズルの動作確認と，が含まれ，前記基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作には，レジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，レジスト液の吐出圧，基板の回転速度，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，現像液の吐出圧，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，ベーキングユニットにおける基板の加熱温度，加熱時間の設定変更と，が含まれることを特徴とする，遠隔操作装置が提供される。
【００１９】
【発明の実施の形態】
図１は，本実施の形態にかかる保守システム１の概略構成図である。この保守システム１は，基板処理装置としての塗布現像処理装置を遠隔地から保守するためのシステムである。保守システム１は，例えばウェハの製造が行われる工場２側に複数の塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎと通信制御装置３を有し，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの製造元であるベンダ４側に遠隔操作装置としてのコンピュータ５を有している。塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎは，工場２内のクリーンルームＲ内に設置されている。
【００２０】
ベンダ４側のコンピュータ５は，インターネット６によって工場２側の通信制御装置３に接続されており，互いに通信可能である。インターネット６とコンピュータ５及びインターネット６と通信制御装置３の間には，それぞれ図示しないファイアーウォールが設けられており，各端末への第３者の進入が防止されている。通信制御装置３は，例えば工場２内で構築されたＬＡＮ７によって，各塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに接続されている。かかる構成によって，コンピュータ５は，インターネット６及び通信制御装置３を介して塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎと通信可能である。
【００２１】
先ず，ベンダ４側のコンピュータ５について説明する。コンピュータ５は，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎを遠隔操作するための装置である。コンピュータ５は，例えば図２に示すように通信部２０，入力部２１，制御部２２及び表示部２３等を有している。
【００２２】
通信部２０は，インターネット６に直接接続されており，この通信部２０によって，コンピュータ５と通信制御装置３との間で各種情報や信号が授受できる。したがって，コンピュータ５は，通信制御装置３側から送信された塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに関するトラブル情報を受信したり，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎを遠隔操作するための遠隔操作情報を通信制御装置３側に送信したりすることができる。なお，上記トラブル情報には，例えばトラブル発生時における塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの各種設定情報及び画像情報，トラブル発生までの各種ログ情報等が含まれる。遠隔操作情報には，例えば塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ内の各種諸元の駆動を伴わない遠隔操作をするための静的遠隔操作情報，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの各種諸元の駆動を伴う遠隔操作をするための動的遠隔操作情報が含まれる。静的遠隔操作情報には，例えば塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの各種諸元の設定を変更する設定変更情報が含まれ，動的遠隔操作情報には，ウェハ処理時に駆動する塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの諸元（駆動諸元）を，実際に動かして調整するための駆動調整情報，保守作業後の動作確認を行うための動作確認情報等が含まれる。
【００２３】
入力部２１には，例えば塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎのトラブルの発生の際に，通信制御装置３に対しトラブル情報の送信を要求する情報要求信号が入力できる。加えて入力部２１には，遠隔操作情報が入力できる。つまりベンダ４側の担当者は，入力部２１に遠隔操作情報を入力することによって，遠隔地にある塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ内の各種諸元の設定を変更したり，駆動諸元を動かして調整することができる。入力部２１には，例えばカーソルキーや数字入力等を備えたキーボードやマウス等のポインティングデバイスが用いられており，キーボードにおいて押下されたキーの押下信号やマウスの位置信号によって前記遠隔操作情報等を入力することができる。
【００２４】
制御部２２は，コンピュータ５全体を制御するものであり，例えば通信制御装置３や入力部２１等からの各種情報，信号に従って，各種プログラムが実行される。なお，制御部２２には，例えばＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）が用いられる。
【００２５】
表示部２３には，例えば受信したトラブル情報が表示できる。表示部２３には，例えばドットマトリクスタイプのカラー液晶表示セル若しくはＣＲＴ（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ）等が用いられる。また，表示部２３は，タッチスクリーンであってもよく，この場合，入力部２１として遠隔操作情報等を直接入力できる。さらに，表示部２３に，各塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの後述する入力・表示装置９３の操作画面が表示されるようにしてもよく，この操作画面を介して前記トラブル情報を表示したり，遠隔操作情報を入力してもよい。
【００２６】
次に，通信制御装置３について説明する。通信制御装置３は，図１に示すように塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎと共に，工場２内のクリーンルームＲ内に設置されている。通信制御装置３は，例えば図３に示すように通信部３０，許可設定部としての入力部３１，記憶部３２及び制御部３３等を有している。例えば通信部３０にはモデム，入力部３１にはタッチスクリーン，記憶部３２にはＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ），制御部３３にはＣＰＵ等が用いられる。
【００２７】
通信部３０は，工場２内のＬＡＮ７とインターネット６に接続されており，この通信部３０によって，通信制御装置３は，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ及びコンピュータ５との間で各種情報，信号等を通信できる。すなわち，コンピュータ５から受け取った情報を塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに送信したり，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎから受け取った情報をコンピュータ５側に送信できる。
【００２８】
入力部３１は，コンピュータ５から受信した遠隔操作情報を塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに送信し，当該遠隔操作情報に基づく遠隔操作を許可するか否かの許可・不許可設定を行うことができる。この許可・不許可設定は，複数段階，例えば２段階に分けられている。第１段階の許可・不許可設定には，静的遠隔操作情報，具体的には，塗布現像処理装置Ｍ１内のレジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，吐出圧，ウェハＷの回転速度，雰囲気温湿度，現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，吐出圧，雰囲気温湿度，ベーキングユニットにおけるウェハＷの加熱温度，加熱時間等の設定を変更するための設定変更情報が含まれる。第２段階の許可・不許可設定には，動的遠隔操作情報，具体的には，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ内の搬送ユニットの搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のノズル等を実際に動かして位置調整するための位置調整情報，調整或いは設定変更した搬送アーム，ノズル等の動作の確認を行う動作確認情報等が含まれる。これらの許可・不許可設定は，例えば図４に示すように作業員が入力部３１のタッチスクリーンにおいて，各段階の設定ボタンＡ，Ｂを押下することによって行うことができる。なお，上述したような複数の内容を有する静的遠隔操作情報は，それら内容に関して一括して許可・不許可の設定ができてもよく，逆にレジスト液の吐出量は，「許可」で，吐出圧は，「不許可」のように個別に許可・不許可設定ができてもよい。また，動的遠隔操作情報についても，静的遠隔操作情報と同様に各内容に関して一括して許可・不許可設定ができてもよく，個別に許可・不許可設定ができてもよい。
【００２９】
記憶部３２には，上記許可・不許可設定を行うためのプログラムを初めとする各種プログラムが格納されている。制御部３３は，記憶部３２に格納されたプログラムを適宜読み出して実行できる。また，通信制御装置３には，図１に示すようにインターネット６を通じたベンダ４側との情報通信そのものを許可・不許可に設定する通信許可設定手段である通信許可・不許可設定ボタンＤが設けられている。したがって，この通信許可設定が許可になっている場合にのみ，通信制御装置３とコンピュータ５との間で双方向の情報通信ができる。
【００３０】
続いて，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの構成について，塗布現像処理装置Ｍ１を例に採って説明する。塗布現像処理装置Ｍ１は，半導体デバイスの製造工程におけるフォトリソグラフィー工程を，ウェハＷを枚葉式に連続処理することによって行うことのできる処理装置である。図５は，塗布現像処理装置Ｍ１の構成の概略を示す斜視図であり，図６は，塗布現像処理装置Ｍ１の構成の概略を示す平面図である。
【００３１】
例えば塗布現像処理装置Ｍ１は，図５に示すように例えば２５枚のウェハＷをカセット単位で外部から塗布現像処理装置Ｍ１に対して搬入出したり，カセットＣに対してウェハＷを搬入出したりするカセットステーション４０と，ウェハＷの処理が枚葉式で行われる各種処理ユニットを複数有する処理ステーション４１と，この処理ステーション４１に隣接して設けられている図示しない露光装置との間でウェハＷの受け渡しを行うインターフェイス部４２とを一体に接続した構成を有している。
【００３２】
カセットステーション４０では，図６に示すようにカセット載置台４３上の所定の位置に，複数のカセットＣがＸ方向（図６中の上下方向）に一列に載置自在となっている。カセットステーション４０には，ウェハ搬送ユニット４４が搬送路４５に沿ってＸ方向に移動自在に設けられている。ウェハ搬送ユニット４４は，カセットＣに対してウェハＷを搬入出し，処理ステーション４１との間でウェハＷを搬送することができる。ウェハ搬送ユニット４４は，後述するように処理ステーション４１側の第３の処理ユニット群G３に属するエクステンションユニット６３に対してもアクセスできるように構成されている。カセットステーション４０には，図５に示すように塗布現像処理装置Ｍ１の後述するコントロールセクション４６が設けられている。また，塗布現像処理装置Ｍ１の複数箇所には，図示しないＣＣＤカメラを初めとする撮像部材が取り付けられており，塗布現像処理装置Ｍ１内を必要に応じて撮像できるようになっている。
【００３３】
処理ステーション４１には，図５に示すようにその中心部に主搬送ユニット５０が設けられている。主搬送ユニット５０は，ウェハＷを保持し移動自在な基板搬送部材としての搬送アーム５０ａを備え，この搬送アーム５０ａを移動させることによって，ウェハＷを所定の搬送位置まで搬送することができる。主搬送ユニット５０の周辺には，各種処理ユニットが多段に配置された複数の処理ユニット群G1，G2，G3，G4が設けられている。例えば第１及び第２の処理ユニット群G1，G2は，塗布現像処理装置Ｍ１の正面側に配置されている。第１の処理ユニット群Ｇ１には，図７に示すようにウェハＷにレジスト液を塗布するレジスト塗布ユニット５１及びウェハＷを現像処理する現像処理ユニット５２が下から順に２段に設けられている。
【００３４】
レジスト塗布ユニット５１は，例えば処理室内の雰囲気を所定の温度，湿度に保つための温湿度調整装置，ウェハＷを保持し回転させるためのスピンチャック，スピンチャックに保持されたウェハＷにレジスト液を供給するノズル，ノズルを吐出位置に移動させるためのノズルアーム，ノズルからのレジスト液を所定流量，所定圧で吐出させるためのレジスト液供給装置等の各種諸元から構成されている。レジスト塗布処理は，スピンチャックにより回転されたウェハＷにノズルから所定量のレジスト液を吐出し，当該レジスト液をウェハＷ上に拡散させることによって行われる。現像処理ユニット５２の現像処理は，チャックに保持されたウェハＷにノズルから現像液を供給し，所定時間静止現像することによって行われる。第２の処理ユニット群Ｇ２も同様に，レジスト塗布ユニット５３及び現像処理ユニット５４が下から順に設けられている。
【００３５】
一方，処理ステーション４１の第３の処理ユニット群G3は，図６に示すようにカセットステーション４０に隣接して配置されている。第３の処理ユニット群Ｇ３には，例えば図８に示すようにウェハＷを冷却処理するクーリングユニット６０，６１，レジスト液とウェハＷとの定着性を高めるためのアドヒージョンユニット６２，ウェハＷの受け渡しを行うためのエクステンションユニット６３，レジスト液中の溶剤を蒸発させるためのプリベーキングユニット６４，６５が下から順に例えば６段に積み重ねられている。
【００３６】
第４の処理ユニット群G4は，インターフェイス部４２に隣接して配置されている。第４の処理ユニット群Ｇ４には，例えばクーリングユニット７０，載置したウェハＷを自然冷却させるエクステンション・クーリングユニット７１，エクステンションユニット７２，露光後の加熱処理を行うポストエクスポージャーベーキングユニット７３，７４，現像処理後の加熱処理を行うポストベーキングユニット７５，７６が下から順に例えば７段に積み重ねられている。上記プリベーキングユニット６４，６５，ポストエクスポージャーベーキングユニット７３，７４，ポストベーキングユニット７５，７６における加熱処理は，ウェハＷを所定温度に維持された熱板上に載置することによって行われる。
【００３７】
インターフェイス部４２には，図６に示すように例えばウェハ搬送ユニット８０と周辺露光ユニット８１が設けられている。ウェハ搬送ユニット８０は，第４の処理ユニット群G4に属するエクステンション・クーリングユニット７１，エクステンションユニット７２，周辺露光ユニット８１及び図示しない露光装置に対してアクセスして，各々に対してウェハＷを搬送できるように構成されている。
【００３８】
次に，上述したコントロールセクション４６の構成について詳しく説明する。コントロールセクション４６は，例えば図９に示すように通信装置９０，制御装置９１及びデータ蓄積装置９２，入力・表示装置９３等を備えている。
【００３９】
通信装置９０は，例えばＬＡＮ７に接続されており，当該ＬＡＮ７を介して通信制御装置３との間で情報，信号を通信することができる。したがって，後述するデータ蓄積装置９２に蓄積されたログ情報を，通信装置９０を介して通信制御装置３に送信したり，通信制御装置３から受信した遠隔操作情報を制御装置９１に出力できる。
【００４０】
制御装置９１には，塗布現像処理装置Ｍ１全体の処理プロセスに関する設定，各処理ユニットにおける処理レシピに関する設定，搬送ユニットの動作に関する設定等の各種設定を行うことができる。制御装置９１は，当該設定に基づいて塗布現像処理装置Ｍ１全体，各種処理ユニット，搬送ユニットを制御し，所望の塗布現像処理を実行している。制御装置９１は，通信装置９０から出力された遠隔操作情報に基づいて，上記各種設定を変更したり，各ユニット内の各種諸元を実際に動かし調整して，塗布現像処理装置Ｍ１の保守作業を行うことができる。つまり，コンピュータ５から制御装置９１に遠隔操作情報が提供されることによって，コンピュータ５は塗布現像処理装置Ｍ１を遠隔操作できる。
【００４１】
データ蓄積装置９２には，塗布現像処理装置Ｍ１の各種設定情報，運転情報等のログ情報を一時的に格納しておくことができる。入力・表示装置９３は，例えば図５に示すように塗布現像処理装置Ｍ１の側部に設けられている。入力表示装置９３は，例えばタッチスクリーンであり，この入力・表示装置９３には，塗布現像処理装置Ｍ１の各種設定を行ったり，塗布現像処理装置Ｍ１の運転状況等を表示する操作画面が表示されるようになっている。また，必要に応じて上記ＣＣＤカメラで撮像した塗布現像処理装置Ｍ１の映像も表示できる。
【００４２】
ここで，以上のように構成された塗布現像処理装置Ｍ１のウェハ処理時の動作について説明すると，先ずカセットステーション４０のカセットＣから未処理のウェハＷが１枚取り出され，第３の処理ユニット群G3に属するエクステンションユニット６３に搬送される。次いでウェハＷは，主搬送ユニット５０によってアドヒージョンユニット６２に搬入され，アドヒージョン処理が施される。アドヒージョン処理終了後，ウェハＷは，クーリングユニット６０に搬送され，所定温度に冷却された後，レジスト塗布ユニット５１に搬送され，ウェハＷ表面にレジスト膜が形成される。
【００４３】
レジスト膜が形成されたウェハＷは，主搬送ユニット５０によってプリべーキングユニット６４，エクステンション・クーリングユニット７１に順次搬送され，さらにウェハ搬送ユニット８０によって周辺露光ユニット８１，露光装置（図示せず）に順次搬送され，各ユニット等で所定の処理が施される。そして露光処理の終了したウェハＷは，ウェハ搬送ユニット８０によりエクステンションユニット７２に搬送され，その後，主搬送ユニット５０によってポストエクスポージャーベーキングユニット７３，クーリングユニット６１，現像処理ユニット５２，ポストベーキングユニット７５及びクーリングユニット６０に順次搬送され，各ユニットにおいて所定の処理が施される。その後，ウェハＷは，エクステンションユニット６３に搬送され，ウェハ搬送ユニット４４によってカセットＣに戻されて，一連のフォトリソグラフィー工程が終了する。
【００４４】
続いて，以上のようなウェハ処理が行われている塗布現像処理装置Ｍ１において，トラブルが発生した場合の保守システム１の動作について説明する。図１０は，保守システム１の動作のプロトコルフローを示す。
【００４５】
塗布現像処理装置Ｍ１の正常運転時には，工場２側の作業員により，通信制御装置３の第１及び第２の許可・不許可設定が「不許可」に設定されている。それ故，コンピュータ５側から塗布現像処理装置Ｍ１を遠隔操作することはできない。そして，塗布現像処理装置Ｍ１にトラブルが発生した際には，例えば工場２側の作業員からベンダ４側の担当者にそのトラブルの発生が通知される。この通知方法は，電話，ファクシミリ等でもよいが，保守システム１の通信ネットワークを用いてもよい。通信ネットワークを用いてベンダ４側の担当者にトラブルの発生を通知する場合には，工場２側の作業員は，通信許可・不許可設定ボタンＤによって通信許可・不許可の設定を「許可」にする。このようにトラブルの通知の前に，作業員が通信許可の設定を行うことによって，例えばトラブルであってもベンダ４側に知られたくない機密事項を含む情報，例えばトラブルが発生した塗布現像処理装置Ｍ１で行われていた処理工程上での機密事項を含む情報が不用意にベンダ４側に流出することが妨げられる。また，とにかく少しでも迅速にトラブルの発生を知らせたい場合には，トラブル発生時に塗布現像処理装置Ｍ１で発せられた警告アラーム信号が自動的にベンダ４側のコンピュータ５に送信され，トラブル発生の旨をベンダ４側の担当者に通知するようにしてもよい。
【００４６】
トラブルの発生が通知されたベンダ４側の担当者は，先ずトラブルの情報を収集するために塗布現像処理装置Ｍ１側にトラブル情報の情報要求信号を送信する。この送信には，安全のためパスワードが必要となる。送信された情報要求信号は，インターネット６を介して通信制御装置３に送信され，通信制御装置３からＬＡＮ７を介して塗布現像処理装置Ｍ１に送信される。当該情報要求信号を受けた塗布現像処理装置Ｍ１では，通信許可・不許可設定ボタンＤが「許可」に設定されている場合に，例えば入力・表示装置９３の操作画面に表示されている現在の設定情報，運転情報が，通信装置９１からコンピュータ５に向けて送信される。このとき，入力・表示装置９３に表示されている操作画面をそのままコンピュータ５に送信してもよい。また，データ蓄積装置９２に蓄積されているログ情報，つまりトラブル発生までの設定情報，運転情報やＣＣＤカメラで撮像された画像情報等もコンピュータ５に送信される。
【００４７】
このように塗布現像処理装置Ｍ１から送信されたトラブル情報は，ベンダ４側のコンピュータ５で受信され，コンピュータ５の表示部２３に表示される。入力表示装置９３の操作画面がそのまま送信された場合には，表示部２３には，当該操作画面が表示される。ベンダ４側の担当者は，この表示により，例えば塗布現像処理装置Ｍ１の現状を把握し，トラブルの原因を特定して，その対処法を案出できる。トラブルの対処法を案出した担当者は，その対処法を，遠隔操作情報として入力部２１から入力する。例えば主搬送ユニット５０にトラブルが発生し，トラブル原因が搬送アーム５０ａにあると認定された場合，例えば搬送アーム５０ａの停止位置の設定を変更する設定変更情報，搬送アーム５０ａを実際に動かして調整する駆動調整情報，調整後の搬送アーム５０ａの動作を確認させる動作確認情報が入力部２１に入力される。
【００４８】
例えば，ベンダ４側の担当者にトラブルの発生が通知されてから遠隔操作情報が返信されるまでの間に，工場２側の作業員は，通信制御装置３の第１及び第２の許可・不許可設定を，「許可」に変更しておく。この変更は，人が塗布現像処理装置Ｍ１から離れたことを確認した上で行われる。こうすることによって，ベンダ４側のコンピュータ５から送信された遠隔操作情報が塗布現像処理装置Ｍ１に提供され，ベンダ４側から遠隔操作ができるようになる。
【００４９】
入力部２１に入力された遠隔操作情報は，通信部２０からインターネット６を介して工場２側の通信制御装置３に送信される。通信制御装置３では，遠隔操作の許可・不許可設定が総て「許可」になっているので，通信制御装置３は，遠隔操作情報を塗布現像処理装置Ｍ１に送信する。遠隔操作情報を受けた塗布現像処理装置Ｍ１では，当該遠隔操作情報に基づいて，トラブルの修復作業が行われる。例えば搬送アーム５０ａが動かされ停止位置が調整され，搬送アーム５０ａの停止位置の設定が変更される。その後搬送アーム５０ａを作動させ，搬送アーム５０ａの動作が確認される。こうして，トラブルの原因が解消される。その後，作業員によって，遠隔操作の許可・不許可設定が総て「不許可」に変更され，遠隔操作ができなくなる。さらに必要であれば，通信許可・不許可設定も「不許可」に変更してもよい。
【００５０】
この保守システム１では，工場２の作業員によって遠隔操作が「許可」に設定されてから遠隔操作が行われるので，例えば作業員の知らないうちに主搬送ユニット５０の搬送アーム５０ａが駆動し，当該搬送アーム５０ａによって作業員が負傷することを防止できる。
【００５１】
また，遠隔操作中に作業員が現場を離れる場合には，例えば図２に示したように第１段階の許可・不許可設定，つまり駆動諸元の実際の駆動を伴なわない静的遠隔操作情報の送信を「許可」にし，第２段階の許可・不許可設定，つまり駆動諸元の実際の駆動を伴う動的遠隔操作情報の送信を「不許可」にする。こうすることによって，実際の駆動を伴う遠隔操作ができなくなるので，例えば作業員が見ていない時に，第３者が塗布現像処理装置Ｍ１に近づき，例えば搬送アーム５０ａ等の駆動諸元によって第３者がけがをすることが防止できる。一方，第１段階の許可・不許可設定が「許可」のままであるので，駆動を伴わない例えば設定変更情報が送信できるので，作業員が現場を離れている場合にも，危険性のない遠隔操作を継続することができる。この場合，危険性のない遠隔操作であっても，作業員が現場を離れている間に変更された静的遠隔操作情報の内容を，例えば入力・表示装置９３に表示するようにしてもよい。こうすることによって，作業員が，現場にいない間に変更された事項を容易に把握できる。また，塗布現像処理装置内のユニットの構成を，予め例えば入力・表示装置９３の画面（ステータス画面）で表示させ，このステータス画面において変更のあったユニットのみを判別可能に表示するようにしてもよい。この際，例えば変更のあったユニットのみを色を変えて表示してもよく，またそのユニットのみを点滅表示してもよい。
【００５２】
以上の実施の形態で記載した塗布現像処理装置Ｍ１に，人の接近を検出するセンサを取付け，人が接近した場合に，遠隔操作が不能になるようにしてもよい。図１１は，かかる一例を示すものであり，塗布現像処理装置Ｍ１に，人を検知できる赤外線センサ１００が取り付けられる。赤外線センサ１００は，例えば塗布現像処理装置Ｍ１の周辺領域（図１１の斜線領域）内に人が侵入したことを検知できるように取り付けられる。赤外線センサ１００による検出情報は，例えば塗布現像処理装置Ｍ１の制御装置９１に出力でき，制御装置９１から通信制御装置３に出力できる。通信制御装置３では，この検出情報に基づいて遠隔操作の許可設定を「不許可」に自動的に変更できる。かかる構成により，例えば作業員以外の人が過って塗布現像処理装置Ｍ１に所定距離以上近づいた時に，自動的に遠隔操作ができなくなり，遠隔操作の安全性が確保される。なお，この場合，人の接近の検出により，駆動諸元の移動を伴う遠隔操作，つまり動的遠隔操作のみを不能にしてもよい。また，接近者の検知により，アラームを発生させてもよく，その時稼動している駆動諸元を停止させてもよい。
【００５３】
また，前記赤外線センサ１００の検出開始の操作を工場２側とベンダ４側の両方で行えるようにし，赤外線センサ１００の検出停止の操作を工場２側のみで行えるようにしてもよい。例えば工場２側の塗布現像処理装置Ｍ１には，赤外線線センサ１００のＯＮ・ＯＦＦスイッチが設けられ，ベンダ４側のコンピュータ５には，赤外線センサ１００のＯＮスイッチのみが設けられる。こうすることによって，必要に応じて工場２とベンダ４側から赤外線センサ１００を作動させることができる。また，工場２内の様子を完全に把握できないベンダ４側に，ＯＮスイッチのみを設けるので，ベンダ４側から赤外線センサ１００を勝手にＯＦＦにできなくなる。この結果，工場２側の意に反して赤外線センサ１００がＯＦＦになって遠隔操作が実行されることがなく，塗布現像処理装置Ｍ１の遠隔操作の安全性が向上する。
【００５４】
上記赤外線センサ１００に代えて，所定の作業員以外の人の接近を選択的に検出できるセンサにしてもよい。かかる場合，例えば工場２内の塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎの担当作業員に，各塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎ別の識別コードを予め付与しておき，当該識別コードを，センサが識別できる形にして作業員に付するようにする。識別コードは，例えば作業員のネイムプレート，作業服等に付すようにしてもよい。そして，例えばセンサが，担当作業員の識別コードを検出した場合，遠隔操作がそのまま継続され，担当作業員以外の者の識別コードを検出した場合，遠隔操作が不能になる。つまり担当作業員が塗布現像処理装置Ｍ１に近づいても，遠隔操作が継続して行われ，担当作業員以外の者が塗布現像処理装置Ｍ１に近づいたときに，遠隔操作が止められる。この結果，遠隔操作をしていることを知らない他の担当作業員が，過て他の塗布現像処理装置に近づいた時に，遠隔操作によって負傷することが防止できる。また，担当作業員が近づいた場合に，逐次遠隔作業が停止することがないので，トラブルの修正作業が迅速に行われる。
【００５５】
以上で記載した実施の形態は，塗布現像処理装置Ｍ１〜Ｍｎに関する保守システムであったが，保守システムを構成する基板処理装置は，塗布現像処理装置に限られず，他の基板処理装置，例えば露光装置，エッチング装置等であってもよい。また，本実施の形態は，塗布現像処理装置のみの保守システムであったが，本発明は，複数種類の基板処理装置の保守システムにも適用できる。さらに，基板処理装置は，複数箇所の工場に設置されていてもよい。通信制御装置３は，独立した装置である必要はなく，基板処理装置内に設けられていてもよい。また，基板処理装置内の制御装置が通信制御装置３の機能を果たしてもよい。
【００５６】
ベンダ４側のコンピュータ５も一箇所に設置されている必要はなく，複数箇所に設けられていてもよい。コンピュータ５の設置位置は，ベンダ４側に限られず，工場２内であって基板処理装置から離れた位置，例えばクリーンルームＲの外側であってもよい。
【００５７】
以上の実施の形態では，本発明である保守システム１をトラブルに対処するために用いていたが，トラブル以外の定期メンテナンスに用いてもよい。基板処理装置で処理される基板は，ウェハに限られず，ウェハ以外の基板，例えばＬＣＤ基板，フォトマスク用のマスクレチクル基板であってもよい。
【００５８】
【発明の効果】
本発明によれば，基板処理装置の遠隔操作において，当該基板処理装置周辺にいる作業員の安全性を確保できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態にかかる保守システムの概略構成図である。
【図２】コンピュータの構成を示すブロック図である。
【図３】通信制御装置の構成を示すブロック図である。
【図４】通信制御装置の設定画面の一例を示す説明図である。
【図５】保守システムを構成する塗布現像処理装置の概略を示す斜視図である。
【図６】図５の塗布現像処理装置の構成の概略を示す平面図である。
【図７】図５の塗布現像処理装置の正面図である。
【図８】図５の塗布現像処理装置の背面図である。
【図９】コントロールセクションの構成を示すブロック図である。
【図１０】保守システムのプロトコルフローである。
【図１１】赤外線センサを取り付けた場合の塗布現像処理装置の構成の概略を示す平面図である。
【符号の説明】
１ 保守システム
２ 工場
３ 通信制御装置
４ ベンダ
５ コンピュータ
６ インターネット
７ ＬＡＮ
Ｍ１〜Ｍｎ 塗布現像処理装置
Ｗ ウェハ
Claims (20)
- 基板処理装置の保守システムであって，
通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，
基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，
前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，
遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする，保守システム。 - 基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていることを特徴とする，請求項１に記載の保守システム。
- 基板処理装置の保守システムであって，
通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，
基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，
前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，
前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，
前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだ基板処理装置側と遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする，保守システム。 - 基板処理装置の保守システムであって，
通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，
基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，
前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，
前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，
前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする，保守システム。 - 基板処理装置の保守システムであって，
通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，
基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，を備え，
前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，
前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする，保守システム。 - 前記通信制御装置は，遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部を備え，
前記許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていることを特徴とする，請求項１〜５のいずれかに記載の保守システム。 - 基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，
遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，
遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする，基板処理装置。 - この基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，この基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていることを特徴とする，請求項７に記載の基板処理装置。
- 基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，
遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，
この基板処理装置に人が接近したことを検出するセンサを備え，
前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだこの基板処理装置側と遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，この基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする，基板処理装置。 - 基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，
遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，
この基板処理装置に人が接近したことを検出するセンサを備え，
前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする，基板処理装置。 - 基板処理を行うための基板搬送部材を初めとする各種諸元と，
遠隔地にある遠隔操作装置から通信ネットワークを通じて送信された遠隔操作情報が，遠隔操作に対する基板処理装置の作業員による許可設定がある場合にのみ提供され，当該提供された遠隔操作情報に基づいて前記各種諸元を制御する制御部と，を備え，
前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする，基板処理装置。 - 遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていることを特徴とする，請求項７〜１１のいずれかに記載の基板処理装置。
- 通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，
前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，
遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられていることを特徴とする，遠隔操作装置。 - 基板処理装置に対する駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置に対する駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれていることを特徴とする，請求項１３に記載の遠隔操作装置。
- 通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，
前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，
前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，
前記センサの検出開始の操作は，通信ネットワークを挟んだ基板処理装置側とこの遠隔操作装置側で行うことができ，前記センサの検出停止の操作は，基板処理装置側のみで行うことができることを特徴とする，遠隔操作装置。 - 通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，
前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，
前記基板処理装置側には，人が基板処理装置に接近したことを検出するセンサが設けられ，
前記センサは，予め定められた作業員以外の人の接近を選択的に検出できることを特徴とする，遠隔操作装置。 - 通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，
前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，
前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になることを特徴とする，遠隔操作装置。 - 遠隔操作の前記許可設定を行う許可設定部は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられていることを特徴とする，請求項１３〜１７のいずれかに記載の遠隔操作装置。
- 基板処理装置の保守システムであって，
通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，基板処理装置に遠隔操作情報を提供することによって，遠隔地から基板処理装置を操作する遠隔操作装置と，
基板処理装置側に送信された前記遠隔操作情報を受信し，当該遠隔操作情報を前記基板処理装置に提供する通信制御装置と，
前記遠隔操作の許可設定を行う許可設定部と，
前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信の許可設定を行う通信許可設定手段と，を備え，
前記許可設定部及び前記通信許可設定手段は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられ，
前記通信制御装置は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ前記遠隔操作情報を基板処理装置に提供し，
前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になり，
遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられ，
基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれ，
前記基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作には，
前記基板処理装置における基板搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のレジスト液吐出ノズル及び現像処理ユニット内の現像液吐出ノズルの位置調整と，
前記基板搬送アーム，前記レジスト液吐出ノズル及び現像液吐出ノズルの動作確認と，が含まれ，
前記基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作には，
レジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，レジスト液の吐出圧，基板の回転速度，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，
現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，現像液の吐出圧，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，
ベーキングユニットにおける基板の加熱温度，加熱時間の設定変更と，が含まれることを特徴とする，保守システム。 - 通信ネットワークを通じて基板処理装置側に遠隔操作情報を送信し，当該遠隔操作情報を基板処理装置に提供することによって，基板処理装置を遠隔操作することができ，
前記基板処理装置側に送信された遠隔操作情報は，遠隔操作に対する基板処理装置側の作業員の許可設定がある場合にのみ基板処理装置に提供され，
前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信は，通信許可の設定がある場合にのみ可能になり，
前記遠隔操作の許可設定を行う許可設定部，及び前記通信ネットワークを通じて行われる情報通信の通信許可設定手段は，前記通信ネットワークの基板処理装置側にのみ設けられ，
遠隔操作の前記許可設定は，複数の段階に分けられ，
基板処理装置に対する駆動を伴う遠隔操作の許可設定と，基板処理装置に対する駆動を伴わない遠隔操作の許可設定は，別の段階に含まれ，
前記基板処理装置の駆動を伴う遠隔操作には，
前記基板処理装置における基板搬送アーム，レジスト塗布ユニット内のレジスト液吐出ノズル及び現像処理ユニット内の現像液吐出ノズルの位置調整と，
前記基板搬送アーム，前記レジスト液吐出ノズル及び現像液吐出ノズルの動作確認と，が含まれ，
前記基板処理装置の駆動を伴わない遠隔操作には，
レジスト塗布ユニットにおけるレジスト液の吐出量，レジスト液の吐出圧，基板の回転速度，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，
現像処理ユニットにおける現像液の吐出量，現像液の吐出圧，雰囲気温度及び雰囲気湿度の設定変更と，
ベーキングユニットにおける基板の加熱温度，加熱時間の設定変更と，が含まれることを特徴とする，遠隔操作装置。
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