JPWO2003005423A1 - 基板の処理装置 - Google Patents

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Abstract

本発明は,基板の処理装置の立ち上げ作業時のチェックリストの作成を従来より迅速かつ正確に行うことを目的としている。本発明は,基板の処理装置に,処理装置の設定事項に関する設定情報を入力する設定入力部と,処理装置の所定のチェック事項に関するチェックリスト画面を表示する表示部とを備え,チェック事項には,設定事項が含まれており,設定入力部で入力された設定情報は,チェックリスト画面における対応するチェック事項の欄に自動的に表示される。

Description

技術分野
本発明は基板の処理装置に関するものである。
発明の背景
例えば,半導体デバイスの製造プロセスにおけるフォトリソグラフィー工程は,ウェハ表面にレジスト膜を形成するレジスト塗布ユニット,露光後のウェハに対して現像を行う現像処理ユニット,レジスト塗布後,現像処理前後等に熱処理を行う熱処理ユニット等の複数の処理ユニットを備えた塗布現像処理装置で行われる。
この塗布現像処理装置が,ベンダーからウェハ製造メーカーに販売され,当該塗布現像処理装置が,ウェハ製造メーカー側の工場に設置される際には,ベンダー側の作業員により,塗布現像処理装置のいわゆる立ち上げ作業が行われる。この立ち上げ作業は,塗布現像処理装置内の各処理ユニット等を設定,調節し,塗布現像処理装置の稼動を開始できる状態にする作業である。
ところで,前記立ち上げ作業は,予め定められているチェック事項に従って行われ,作業員がその時設定等した各種設定値,調整値等を所定の用紙に記載する,いわゆるチェックリストの作成作業が行われる。この時作成されるいわゆるチェックリストは,作業員の設定,調整漏れを防止し,初期の設定情報等を保存しておくためのものである。
しかしながら,多数のチェック事項を有する塗布現像処理装置においては,前記チェックリストは,数十頁にも及び,これを完成させるためには,多大な時間を要していた。また,作業員のチェックリスト作成作業には,記入漏れや転記ミスを伴い,それを訂正するには,さらに時間がかかっていた。
このように,いわゆるチェックリストの作成に時間がかかると,ウェハ製造メーカー側への塗布現像処理装置の引き渡しが遅れ,ウェハ処理の開始も遅れることになる。
発明の開示
本発明は,かかる点に鑑みてなされたものであり,塗布現像処理装置等の基板の処理装置の立ち上げ作業時におけるチェックリストの作成を迅速かつ正確に行う基板の処理装置を提供することをその目的とする。
本発明は,基板の処理を行う処理装置であって,前記処理装置を稼動させるための各種機器,部材等の諸元を設定するために,前記処理装置の設定事項に関する設定情報を入力する設定入力部と,前記処理装置における所定のチェック事項に関するチェックリスト画面を表示する表示部とを備え,前記チェック事項には,前記設定事項が含まれており,前記設定入力部で入力された設定情報は,前記チェックリスト画面における当該設定情報に対応するチェック事項の欄に自動的に表示される。
本発明の基板の処理装置において,前記設定入力部からでは設定できないチェック事項に関するチェック情報を入力する入力部を備え,前記入力部から入力されたチェック情報は,前記チェックリスト画面における当該チェック情報に対応するチェック事項の欄に表示されてもよい。
本発明の基板の処理装置において,前記チェックリスト画面は,既にチェック済みのチェック事項と未チェックのチェック事項とが識別できるように表示されるようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置において,前記チェックリスト画面には,前記処理装置の設定作業を行った作業員に関する情報が表示されるようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置において,前記チェックリスト画面は,表示されたチェック事項のチェック情報が当該チェック事項の標準チェック情報と異なっている場合に,当該チェック事項が識別できるように表示されるようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置は,前記チェックリスト画面に表示されたチェック事項に関するチェック情報を,前記処理装置のベンダーにインターネットを介して送信するための通信手段を備えていてもよい。
本発明の基板の処理装置は,他の基板の処理装置に関するチェック情報を入手するための通信手段を備えていてもよい。
本発明の基板の処理装置によれば,表示部に,処理装置のチェック事項に関するチェックリスト画面が表示される。処理装置の部材等の諸元を設定するために入力された設定情報は,前記チェックリスト画面の所定の欄に自動的に記入され,表示される。これにより,作業員が前記設定情報を改めて所定用紙のチェックリストに記載する必要が無くなるので,その分チェックリストが迅速に作成される。また,設定入力された設定情報は,そのままチェックリストに記入されるので,従来のような転記ミスが無くなり,チェックリストをより正確に作成できる。さらに,チェックリストが画面として表示されるので,作業員が当該画面を見ながら作業を進めることができ,作業の効率化が図られる。また,ペーパとしての保存が要求される場合には,ハードコピーするなどしてプリントアウトすればよい。なお,前記処理装置の各種機器,部材等の諸元には,例えば基板の処理を行うために処理装置内に設けられている各種ユニット,当該ユニットを構成する部材等が含まれる。また,チェック事項には,前記設定事項の他,調整事項,確認事項等が含まれる。例えば,チェック事項には,各処理の処理温度,処理湿度,処理ユニット内の風速,処理液の吐出量,吐出流量等の各種事項が含まれる。
また,本発明において,前記設定入力部からでは設定できないチェック事項に関するチェック情報を入力する入力部をさらに備え,前記入力部から入力されたチェック情報を,前記チェックリスト画面における当該チェック情報に対応するチェック事項の欄に表示させるようにした場合,表示部の画面上において,全てのチェック事項を記入することができる。なお,前記設定入力部からでは設定できないチェック事項には,例えば作業員の作業によって検査,測定され,その測定値等を記入するチェック事項等が含まれる。例えば,当該チェック事項には,各処理ユニットにおける基板のセンタ位置,処理液吐出ノズルの位置,搬送ユニットの基準位置等が含まれる。
また本発明において,前記チェックリスト画面が,既にチェック済みのチェック事項と未チェックのチェック事項とが識別できるように表示されるようにした場合には,作業員が未チェックの事項を把握し易くなり,作業の効率化が図られ,また,チェック漏れもなくなる。なお,識別表示は,未チェック事項とチェック済み事項とを色分けして表示したり,未設定事項を抽出して表示したりしてもよい。
また上述のチェックリスト画面に表示される前記設定作業を行った作業員に関する情報には,例えば作業員の氏名,社員番号,所属事業所名称等が含まれる。また,チェックリスト画面に,作業員の氏名を記載することによって,チェック済み事項の確認サインとしての機能を持たせるようにしてもよい。すなわち,前記チェックリスト画面の各チェック事項に対して作業員の確認サインを表示するようにしてもよい。
本発明の基板の処理装置において,チェックリスト画面に表示されたチェック事項のチェック情報が標準チェック情報と異なっている場合に,当該チェック事項を識別できるようにした場合,作業員は,チェック情報が標準のものと異なることを確認でき,当該チェック情報の再確認等を行うことができる。なお,標準チェック情報は,例えば同じ仕様の処理装置であって,予め定められた基準となる処理装置のチェック情報であってもよいし,既にチェックが終了し,正常に稼動している処理装置のチェック情報であってもよい。
本発明の基板の処理装置が,前記チェックリスト画面に表示されたチェック事項に関するチェック情報を,前記処理装置のベンダーにインターネットを介して送信するための通信手段をさらに備えた場合には,作業員の行った設定内容や,立ち上げ作業の進捗状況を逐次ベンダーに通知することができる。これにより,専門家であるベンダー側の管理者が,立ち上げ作業を監視し,必要な場合には,作業員に迅速に指示を与えることができる。また,作業終了後に,チェックリスト画面を送信し,ベンダー側がチェックリストとして保存することができる。
本発明の基板の処理装置が,他の基板の処理装置に関するチェック情報を入手するための通信手段をさらに備えた場合には,必要に応じて他の処理処理のチェック情報を入手し,当該チェック情報とチェックリスト画面に表示されたチェック情報とを比較し,異なる部分を他の処理装置のチェック情報と合わせたり,再確認したりすることができる。したがって,立ち上げ作業をより正確かつ慎重に行うことができる。
発明を実施するための最良の形態
以下,本発明の好ましい実施の形態について説明する。図1は,本実施の形態にかかる処理装置としての塗布現像処理装置1の構成の概略を示す斜視図であり,図2は,塗布現像処理装置1の平面図である。
例えば塗布現像処理装置1は,図1,図2に示すように例えば25枚のウェハWをカセット単位で外部から塗布現像処理装置1に対して搬入出したり,カセットCに対してウェハWを搬入出したりするカセットステーション2と,ウェハWの処理が枚葉式で行われる各種処理ユニットを複数有する処理ステーション3と,この処理ステーション3に隣接して設けられている図示しない露光処理装置との間でウェハWの受け渡しを行うインターフェイス部4とを一体に接続した構成を有している。
カセットステーション2では,図2に示すようにカセット載置台10上の所定の位置に,複数のカセットCがX方向(図2中の上下方向)に一列に載置自在になっている。また,カセットステーション2には,ウェハ搬送ユニット11が搬送路12に沿ってX方向に移動自在に設けられている。ウェハ搬送ユニット11は,カセットCに対してウェハWを搬入出することができ,さらに,後述する処理ステーション3側の第3の処理ユニット群G3に属するエクステンションユニット53に対してもアクセスし,ウェハWを搬送することができる。また,カセットステーション2には,図1に示すように塗布現像処理装置1の後述するコントロールセクション13が設けられている。
処理ステーション3には,図2に示すようにその中心部に主搬送ユニット20が設けられており,この主搬送ユニット20の周辺には各種処理ユニットが多段に配置された複数の処理ユニット群G1,G2,G3,G4が設けられている。例えば第1及び第2の処理ユニット群G1,G2は,塗布現像処理装置1の正面側に配置され,第1の処理ユニット群G1には,図3に示すようにウェハWにレジスト液を塗布しレジスト膜を形成するレジスト塗布ユニット21及びウェハWを現像処理する現像処理ユニット22が下から順に2段に設けられている。第2の処理ユニット群G2も同様に,レジスト塗布ユニット23及び現像処理ユニット24が下から順に設けられている。
例えば,レジスト塗布ユニット21は,図4に示すようにケーシング21a内に,ウェハWを吸着保持し回転させるためのスピンチャック30,スピンチャック30に保持されたウェハWの外方を取り囲む略筒状のカップ31,ウェハWの上方からレジスト液を吐出するレジスト液吐出ノズル32,ケーシング21a内に清浄な気体を供給する気体供給管33を有する。
レジスト液吐出ノズル32は,レジスト液供給管34に接続されており,レジスト液供給管34には,レジスト液の吐出流量を調節するための調節弁35が設けられている。この調節弁35は,吐出量制御部36により制御されており,レジスト液吐出ノズル32からのレジスト液の吐出量は,所定の吐出量に制御される。
気体供給管33には,気体の供給量を調節するダンパ37が設けられている。ダンパ37は,気体供給制御部38により制御されており,気体供給管33からの供給量が制御される。これにより,カップ31内の風速が制御され,処理時のカップ31内を風速を所定の風速に維持することができる。また,気体供給管33には,気体の温度,湿度を調節する温湿度調節部39が設けられている。これにより,カップ31内に供給される気体の湿度,温度を調節することができ,カップ31内を所定の温度,湿度に維持することができる。なお,吐出量制御部36,気体供給制御部38及び温湿度調節部39は,後述するコントロールセクション13からの設定情報に基づいて各種制御を行う。
一方,処理ステーション3の第3の処理ユニット群G3は,図2に示すようにカセットステーション2に隣接して配置されている。第3の処理ユニット群G3には,例えば図5に示すように,ウェハWを冷却処理するクーリングユニット50,51,レジスト液とウェハWとの定着性を高めるためのアドヒージョンユニット52,ウェハWの受け渡しを行うためのエクステンションユニット53,レジスト液中の溶剤を蒸発させるためのプリベーキングユニット54及び55が下から順に例えば6段に積み重ねられている。
第4の処理ユニット群G4は,インターフェイス部4に隣接して配置されている。第4の処理ユニット群G4には,例えばクーリングユニット60,載置したウェハWを自然冷却させるエクステンション・クーリングユニット61,エクステンションユニット62,露光後の加熱処理を行うポストエクスポージャーベーキングユニット63及び64,現像処理後の加熱処理を行うポストベーキングユニット65及び66が下から順に例えば7段に積み重ねられている。
インターフェイス部4には,図2に示すように例えばウェハ搬送ユニット70と周辺露光ユニット71が設けられている。ウェハ搬送ユニット70は,第4の処理装置群G4に属するエクステンション・クーリングユニット61,エクステンションユニット62,周辺露光ユニット71及び図示しない露光処理装置に対してアクセスして,各々に対してウェハWを搬送できるように構成されている。
次に,コントロールセクション13の構成について説明する。コントロールセクション13は,塗布現像処理装置1で行われる処理に関する制御を行うためのセクションである。コントロールセクション13は,例えば図6に示すように設定入力部80,主制御部81,記憶部82,表示部83及び入力部としてのマニュアル入力部84とを有する。
設定入力部80は,例えば塗布現像処理装置1全体や各種ユニットに関する設定情報を入力し,設定するためのものである。ここで,各種ユニットとは,上述の主搬送ユニット20,ウェハ搬送ユニット11,70,レジスト塗布ユニット21,23,現像処理ユニット22,24,クーリングユニット50,51,60,アドヒージョンユニット52,エクステンションユニット53,62,プリベーキングユニット54,55,エクステンション・クーリングユニット61,ポストエクスポージャーベーキングユニット63,64,ポストベーキングユニット65,66,周辺露光ユニット71等である。
設定入力部80は,例えば図1に示すようにカセットステーション2の正面側に設けられている。設定入力部80は,例えばポインティングデバイスであるタッチスクリーンで構成され,塗布現像処理装置1を稼動させるための各種設定情報を,画面の所定部分から入力することによって,前記各種ユニット等を設定することができる。また,設定入力部80に入力された設定情報は,後述する表示部83のチェックリスト画面Tにチェック情報として出力される。すなわち,設定入力部80は,後述するチェックリスト画面Tの入力装置としても機能する。
主制御部81は,例えば設定入力部80から入力された設定情報に基づいて,塗布現像処理装置1全体及び各種ユニット等を直接制御したり,各種ユニットの制御部等に設定情報を送信し,当該ユニット等を間接的に制御する。
記憶部82は,例えば複数の記憶領域を有し,設定入力部80から入力される設定情報や主制御部81で実行される所定のプログラム等が格納される。
表示部83は,例えばドットマトリクスタイプのカラー液晶表示セル若しくはCRT(Cathode Ray Tube)等から構成され,図7に示すように塗布現像処理装置1の立ち上げ作業時に作成される所定形式のチェックリスト画面Tを表示する。表示部83は,例えば図1に示すようにカセットステーション2の正面側であって,設定入力部80に隣接して設けられ,作業員が設定情報を入力しながら,チェックリスト画面Tを確認することができる。
チェックリスト画面Tには,例えば予めベンダー等によって定められたチェック事項が羅列されている。チェック事項は,例えば塗布現像処理装置1全体及び各種ユニットに関する設定,調整,確認事項である。また各チェック事項には,当該チェック事項の内容であるチェック情報,チェック日付/時間及び作業員のサインを記載する欄が設けられている。
チェック情報の欄の一部は,設定入力部80及び後述のマニュアル入力部84からの入力情報が表示されるようになっており,設定入力部80及び後述のマニュアル入力部84から入力された入力情報は,当該入力情報に対応したチェック事項の欄の所定部分に自動的に記入され,表示される。
チェック日付/時間の欄には,例えば塗布現像装置1に設けられた図示しない時計機能と同じ日付,時間が表示される。また,作業員のサインの欄には,例えばマニュアル入力部84からの入力情報が表示されるようになっており,マニュアル入力部84から作業員の氏名を記入することができる。また,作業員の氏名を入力する際には,必要に応じて,例えばパスワード,IDコード等を入力させるようにしてもよい。
また,チェックリスト画面Tには,例えば立ち上げ作業が行われた塗布現像処理装置のシリアル番号,全作業員の氏名を表示する欄が設けられており,例えばマニュアル入力部84を用いて入力することができる。
マニュアル入力部84は,例えばカーソールキーや数字入力キー等を備えたキーボード等から構成され,前記設定入力部80によって設定できる設定事項以外のチェック事項についてのチェック情報を,チェックリスト画面Tに入力できる。また,上述のように作業員のサイン欄に記入される作業員の氏名を入力することもできる。マニュアル入力部84は,例えば図1に示すように表示部83に隣接して設けられる。
次に,上述した塗布現像処理装置1の立ち上げ作業時のチェックリスト作成プロセスについて説明する。
先ず,ベンダー側の作業員は,塗布現像処理装置1の識別番号,自己の氏名をマニュアル入力部84から入力し,表示部83のチェックリスト画面Tに記入する。このとき,作業員が複数いる場合には,例えば全員の氏名を記入する。次いで,表示部83に表示されたチェックリスト画面Tの項目に従って,各種設定,調整,確認を行う。例えば,図7に示すようにチェック事項に,レジスト塗布ユニット21のカップ内温湿度設定,カップ内風速設定,レジスト液吐出量設定,レジスト液吐出ノズルの高さ調整,ウェハのセンタ位置調整等が挙がっている場合,作業員は,先ず,設定入力部80において,図8に示すようなレジスト塗布ユニット21に関する設定入力画面Sを開く。設定入力画面Sは,例えばレジスト塗布ユニット21に関する各設定事項に対し,各設定情報を入力する設定情報欄と,設定を確定する確定ボタン等がある。
次いで作業員は,例えば図9に示すようにカップ内温湿度,カップ内風速,レジスト液吐出量の設定情報欄に,ベンダー側で推奨する所定の数値を入力する。そして,確定ボタンを押下すると,例えば主制御部81から温湿度調節部39,気体供給制御部38及び吐出量制御部36に,当該所定の数値等の設定情報が出力され,カップ31内の温湿度,カップ31内の風速,レジスト液の吐出量が設定される。
これと同時に,設定入力画面Sで入力された各数値は,図10に示すように表示部83におけるチェックリスト画面Tの各チェック情報の欄に表示される。このとき,立ち上げ作業の行われた日付,時間が日付/時間欄に表示される。その後,当該チェック事項に関する作業を行った作業員の氏名が,例えばマニュアル入力部84から入力され,作業員サイン欄に記入される。
一方,作業員が,例えばレジスト塗布ユニット21のレジスト液吐出ノズルの位置調整,スピンチャック30上のウェハのセンタ位置調整を行う場合,先ず,作業員がノギス,治具等の測定器具を用いてレジスト液吐出ノズル32の位置やウェハWのセンタ位置を実測する。次いで,当該実測値が許容範囲内のものである場合には,当該実測値をマニュアル入力部84から入力し,チェックリスト画面Tのチェック情報欄に記入する。一方,実測値が許容範囲でない場合には,レジスト液吐出ノズル32の位置等を補正,修正し,再度測定して,当該実測値をマニュアル入力部84から入力する。これにより,当該補正後の実測値がチェックリスト画面Tのチェック情報欄に記入される。このとき,上記設定入力部80からの入力と同様に,日付,時間が自動的に記入される。その後,例えばマニュアル入力部84から当該作業を行った作業員の氏名が入力され,チェックリスト画面Tの作業員のサイン欄に記入される。
このようにして,チェックリスト画面Tのチェック事項に従って,設定入力部80からの入力と,マニュアル入力部84からの入力を順次行っていくことによって,画面上にチェックリストが作成される。
こうして全てのチェック事項が記入されたチェックリスト画面Tは,例えばチェックリスト情報としてコントロールセクション13の記憶部82に保存される。また,必要に応じてプリンタ等の図示しない印刷装置によって出力する。
以上の実施の形態によれば,立ち上げ作業時に作成されるチェックリストを,塗布現像処理装置1の表示部83にチェックリスト画面Tとして表示しておき,設定入力部80で設定された設定値等の設定情報が,そのまま自動的にチェックリスト画面Tに記入されるようにしたので,チェックリストの記入ミスや記入漏れが防止できる。また,作業員が一々設定値等を書き留めておく必要がないので,チェックリストの作成が迅速に行われて,立ち上げ作業に要する時間が短縮される。
また,マニュアル入力部84を備えたので,設定入力部80の設定事項でないチェック事項に関しては,作業員がマニュアルで設定,調整,確認等した後,当該設定値等をマニュアル入力部84からチェックリスト画面Tに記入できる。
かかる実施の形態で記載したチェックリスト画面Tにおいて,既にチェック済みのチェック事項とそうでないチェック事項とを識別して表示するようにしてもよい。例えば,図11に示すようにチェック済みのチェック事項と未チェックの事項とを色分け表示する。かかる場合,未チェック事項が一見して分かるので,チェック漏れが防止される。なお,チェック事項の識別は,他の方法,例えば明度,点滅によって識別するようにしてもよい。また,未チェック事項のみを抽出して表示するようにしてもよい。
以上の実施の形態では,マニュアル入力部84を単独で設けたが,表示部83に入力機能を設けて,一体化させてもよい。この場合,例えば表示部83は,ポインティングデバイスであるタッチスクリーン等で構成され,設定入力部80から入力されないチェック事項や作業員のサインを表示部83のチェックリスト画面Tに直接入力することができる。
また,前記実施の形態では,設定入力部80と表示部83とが別々に設けられていたが,双方の機能を有する機器を用いて設定入力とチェックリスト画面の表示を一箇所で行ってもよい。例えば,タッチスクリーンになっている設定入力部80にチェックリスト画面Tを表示できるようにする。そして,このチェックリスト画面Tと設定入力画面Sとを切り替え可能にする。これにより,設定入力とチェックリストの表示を一箇所で行うことができる。なお,設定入力部80は,タッチスクリーンであるため,前記マニュアル入力部84で行われるマニュアル入力を行うこともできる。
さらに,以上の実施の形態で記載したチェックリスト画面Tに表示されたチェック情報を,インターネットを介してベンダー側に送信できるようにしてもよい。
図12は,チェックリスト画面Tに表示されたチェック情報をベンダー側に送信するための通信システム100の構成概略図である。工場101側には,同一仕様の複数の塗布現像処理装置M1〜Mnと,それらの塗布現像処理装置M1〜Mnを一括管理するAGC(Advanced Group Computer)102が設けられている。AGC102と塗布現像処理装置M1〜Mnとは,LAN103で接続されている。例えば塗布現像処理装置M1のコントロールセクション104には,図13に示すようにAGC102と情報を通信するために通信手段としての通信部105が設けられている。また,AGC102にも,図示しない通信部が設けられている。
一方,ベンダー106側には,ホストコンピュータ107が設けられている。ホストコンピュータ107には,図示しない通信部が設けられている。ホストコンピュータ107とAGC102とは,インターネット108を介して接続されており,互いに通信することができる。かかる構成により,塗布現像処理装置M1における表示部83のチェック情報を,AGC102を介してインターネット108を通じてベンダー106側のホストコンピュータ107に送信できる。そして,例えば塗布現像処理装置M1の立ち上げ作業時に,チェックリスト画面Tに表示されたチェック情報を,所定時間毎にベンダー106側に送信するようにする。これにより,当該チェック情報を受け取った専門家であるベンダー106側の管理者は,当該チェック情報に基づいて工場101側にいる作業員に指示等を与え,当該立ち上げ作業を指揮監督することができる。また,ベンダー106が,チェック情報をチェックリストとして入手し,ベンダー106でデータとして保存しておくことができる。さらに,工場101側で保存されたチェック情報を必要に応じていつでも入手することができる。
かかる実施の形態において,塗布現像処理装置M1が,既に立ち上げ作業の終了している他の塗布現像処理装置,例えば塗布現像処理装置M2のチェック情報を入手し,当該チェック情報を標準チェック情報として,チェックリスト画面Tのチェック情報と比較検討するようにしてよい。例えば,通信部105が,塗布現像処理装置M2のチェック情報をLAN103を介して入手し,例えば記憶部82に格納する。そして,所定のプログラムによって塗布現像処理装置M2のチェック情報とチェックリスト画面Tに表示されているチェック情報とを比較し,相異する事項については,識別表示する。作業員は,当該相異する事項については,例えば再度設定,確認等を行うようにする。こうすることにより,設定,調整ミス等が抑制され,立ち上げ作業がより正確に行われる。
また,標準チェック情報として,他のチェック情報,例えば正常に既に稼動している塗布現像処理装置のチェック情報,他の工場の塗布現像処理装置のチェック情報,予めベンダーが作成した理想チェック情報等であってもよい。なお,他の工場の塗布現像処理装置のチェック情報を入手する場合,例えばインターネット108を介してホストコンピュータ107が他の工場のチェック情報を入手し,塗布現像処理装置M1に送信するようにしてもよい。
以上で記載した実施の形態は,塗布現像処理装置に関するものであったが,本発明は,他の処理装置,例えば露光装置,エッチング装置,検査装置等にも応用される。また,本発明は,ウェハの処理装置に適用されたが,ウェハ以外の基板,例えばLCD基板,フォトマスク用のマスクレチクル基板等の処理装置においても適用できる。
産業上の利用可能性
半導体デバイスの製造を行う塗布現像処理装置において,作業員などが立ち上げ作業時のチェックリストを作成する際に有用である。
【図面の簡単な説明】
図1は,実施の形態にかかる塗布現像処理装置の概略を示す斜視図である。
図2は,塗布現像処理装置の構成の概略を示す平面図である。
図3は,図2の塗布現像処理装置の正面図である。
図4は,レジスト塗布ユニットの構成の概略を示す縦断面の説明図である。
図5は,図2の塗布現像処理装置の背面図である。
図6は,コントロールセクションの構成を示すブロック図である。
図7は,チェックリスト画面の例を示す説明図である。
図8は,設定入力画面の例を示す説明図である。
図9は,数値が入力された設定入力画面の例を示す説明図である。
図10は,チェック情報が入力されたチェックリスト画面の例を示す説明図である。
図11は,チェック済みのチェック事項を識別表示する場合のチェックリスト画面の例を示す説明図である。
図12は,チェック情報をベンダーに送信するための送信システムの概略構成図である。
図13は,通信部を設けたコントロールセクションの構成を示すブロック図である。

Claims (7)

  1. 基板の処理を行う処理装置であって,
    前記処理装置を稼動させるための各種機器,部材等の諸元を設定するために,前記処理装置の設定事項に関する設定情報を入力する設定入力部と,
    前記処理装置における所定のチェック事項に関するチェックリスト画面を表示する表示部とを備え,
    前記チェック事項には,前記設定事項が含まれており,
    前記設定入力部で入力された設定情報は,前記チェックリスト画面における当該設定情報に対応するチェック事項の欄に自動的に表示されることを特徴とする,
    基板の処理装置。
  2. クレーム1の基板の処理装置において,
    前記設定入力部からでは設定できないチェック事項に関するチェック情報を入力する入力部を備え,
    前記入力部から入力されたチェック情報は,前記チェックリスト画面における当該チェック情報に対応するチェック事項の欄に表示される。
  3. クレーム1の基板の処理装置において,
    前記チェックリスト画面は,既にチェック済みのチェック事項と未チェックのチェック事項とが識別できるように表示される。
  4. クレーム1の基板の処理装置において,
    前記チェックリスト画面には,前記処理装置のチェック作業を行った作業員に関する情報が表示される。
  5. クレーム1の基板の処理装置において,
    前記チェックリスト画面は,表示されたチェック事項のチェック情報が,標準チェック情報と異なっている場合に,当該チェック事項が識別できるように表示される。
  6. クレーム1の基板の処理装置において,
    前記チェックリスト画面に表示されたチェック事項に関するチェック情報を,前記処理装置のベンダーにインターネットを介して送信するための通信手段を備える。
  7. クレーム1の基板の処理装置において,
    他の基板の処理装置に関するチェック情報を入手するための通信手段を備える。
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