JPH11184903A - システム開発支援装置及び方法並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
システム開発支援装置及び方法並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体Info
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- G—PHYSICS
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- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 工場の新設、運用の変更、メンテナンスが効
率的かつ容易に行えるシステム支援装置を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 システムの開発を支援する装置におい
て、システムの標準的な運用を管理と作業の観点から区
分けしてライブラリ化する第１の手段（Ｍ１）と、ライ
ブラリ化された情報を参照して、システムで実行可能な
所定の複数の機能に対応するプログラムをライブラリ化
する第２の手段（Ｍ４）とを有する。
率的かつ容易に行えるシステム支援装置を提供すること
を目的とする。 【解決手段】 システムの開発を支援する装置におい
て、システムの標準的な運用を管理と作業の観点から区
分けしてライブラリ化する第１の手段（Ｍ１）と、ライ
ブラリ化された情報を参照して、システムで実行可能な
所定の複数の機能に対応するプログラムをライブラリ化
する第２の手段（Ｍ４）とを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置の製造
工場等の複数の装置からなるシステムの新設や変更に関
する技術に関し、より詳細にはシステムの開発設計、変
更、メンテナンス等を効率的に行えるシステム支援装置
に関する。例えば、半導体装置のウェーハプロセス工場
では、酸化装置、エッチング装置、成膜装置等を用い
て、シリコンウェハ上に所定の条件に従い回路パターン
を形成することが行われている。各装置はコンピュータ
制御され、複雑なウェーハプロセスは数百から数千のス
テップからなるプログラムで制御されている。一般に、
半導体産業の特性、すなわち多品種、少量生産や最先端
技術の導入等の要因から、各種装置やプログラム（製造
条件を含む）は頻繁に変更される。
工場等の複数の装置からなるシステムの新設や変更に関
する技術に関し、より詳細にはシステムの開発設計、変
更、メンテナンス等を効率的に行えるシステム支援装置
に関する。例えば、半導体装置のウェーハプロセス工場
では、酸化装置、エッチング装置、成膜装置等を用い
て、シリコンウェハ上に所定の条件に従い回路パターン
を形成することが行われている。各装置はコンピュータ
制御され、複雑なウェーハプロセスは数百から数千のス
テップからなるプログラムで制御されている。一般に、
半導体産業の特性、すなわち多品種、少量生産や最先端
技術の導入等の要因から、各種装置やプログラム（製造
条件を含む）は頻繁に変更される。
【０００２】
【従来の技術】このような事情から、従来の半導体装置
の各製造工場は、それぞれ独自に設計され、運用されて
いる。例えば、新たに工場を建てる場合には、その工場
で生産する品種や量により最適な各種装置を導入し、こ
れらを制御するためのプログラムをカスタマイズする。
この結果、各工場でのプログラムや製造条件は異なり、
各工場の運用はそれぞれ異なるものと言える。
の各製造工場は、それぞれ独自に設計され、運用されて
いる。例えば、新たに工場を建てる場合には、その工場
で生産する品種や量により最適な各種装置を導入し、こ
れらを制御するためのプログラムをカスタマイズする。
この結果、各工場でのプログラムや製造条件は異なり、
各工場の運用はそれぞれ異なるものと言える。
【０００３】
【発明か解決しようとする課題】上記のように、各工場
の運用は、品種毎、工程毎、装置の完成度毎に様々な運
用がなされる。また、各工場で製造される品種構成は各
工場毎に異なり、そのためプロセスや製造条件も異な
る。つまり、各工場での装置レベルでの運用は全て異
り、互換性がないといってもよい。よって、工場の新設
は新たに設計することが必要であり、運用の変更やメン
テナンスも各工場毎のものが要求され、全体としてみる
と非効率である。
の運用は、品種毎、工程毎、装置の完成度毎に様々な運
用がなされる。また、各工場で製造される品種構成は各
工場毎に異なり、そのためプロセスや製造条件も異な
る。つまり、各工場での装置レベルでの運用は全て異
り、互換性がないといってもよい。よって、工場の新設
は新たに設計することが必要であり、運用の変更やメン
テナンスも各工場毎のものが要求され、全体としてみる
と非効率である。
【０００４】従って、本発明は上記従来技術の問題点を
解決し、工場の新設、運用の変更、メンテナンスが効率
的かつ容易に行えるシステム支援装置を提供することを
目的とする。
解決し、工場の新設、運用の変更、メンテナンスが効率
的かつ容易に行えるシステム支援装置を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、システムの開発を支援する装置において、システム
の標準的な運用を管理と作業の観点から区分けしてライ
ブラリ化する第１の手段（実施例のＭ１、ステップＳ１
１、コンピュータ１０に相当する）と、ライブラリ化さ
れた情報を参照して、システムで実行可能な所定の複数
の機能に対応するプログラムをライブラリ化する第２の
手段（実施例のＭ４、ステップＳ１３、コンピュータ１
０に相当する）とを有することを特徴とする。
は、システムの開発を支援する装置において、システム
の標準的な運用を管理と作業の観点から区分けしてライ
ブラリ化する第１の手段（実施例のＭ１、ステップＳ１
１、コンピュータ１０に相当する）と、ライブラリ化さ
れた情報を参照して、システムで実行可能な所定の複数
の機能に対応するプログラムをライブラリ化する第２の
手段（実施例のＭ４、ステップＳ１３、コンピュータ１
０に相当する）とを有することを特徴とする。
【０００６】請求項２に記載の発明は、請求項１の、前
記第１の手段は、管理又は作業の基本単位であるオペレ
ーションユニットでシステムの標準的な運用をライブラ
リ化することを特徴とする。請求項３に記載の発明は、
請求項１又は２記載のシステム開発支援装置が更に、前
記第１の手段でライブラリ化された情報の中から開発し
ようとするシステムの運用に関係する情報を選択し更に
カスタマイズすることで、当該システムの運用を規定す
る工場運用仕様書（Ｍ３）を作成する第３の手段（実施
例のステップＳ１４、コンピュータ１０、３０に相当す
る）を有することを特徴とする。
記第１の手段は、管理又は作業の基本単位であるオペレ
ーションユニットでシステムの標準的な運用をライブラ
リ化することを特徴とする。請求項３に記載の発明は、
請求項１又は２記載のシステム開発支援装置が更に、前
記第１の手段でライブラリ化された情報の中から開発し
ようとするシステムの運用に関係する情報を選択し更に
カスタマイズすることで、当該システムの運用を規定す
る工場運用仕様書（Ｍ３）を作成する第３の手段（実施
例のステップＳ１４、コンピュータ１０、３０に相当す
る）を有することを特徴とする。
【０００７】請求項４に記載の発明は、請求項１又は２
記載のシステム開発支援装置が更に、前記第２の手段で
ライブラリ化された複数の機能の中から開発しようとす
るシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイズ
することで、当該システムに必要な機能を得る第４の手
段（実施例のステップＳ１５、コンピュータ１０、３０
に相当する）を有することを特徴とする。
記載のシステム開発支援装置が更に、前記第２の手段で
ライブラリ化された複数の機能の中から開発しようとす
るシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイズ
することで、当該システムに必要な機能を得る第４の手
段（実施例のステップＳ１５、コンピュータ１０、３０
に相当する）を有することを特徴とする。
【０００８】請求項５に記載の発明は、請求項１又は２
記載のシステム開発支援装置が更に、前記第１の手段で
ライブラリ化された情報の中に開発しようとするシステ
ムの運用に関係する情報が存在しない場合には、当該シ
ステムの運用をライブラリ化に加える第５の手段（ステ
ップＳ２３、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ２９、コンピュータ１
０、３０に相当する）を有することを特徴とする。
記載のシステム開発支援装置が更に、前記第１の手段で
ライブラリ化された情報の中に開発しようとするシステ
ムの運用に関係する情報が存在しない場合には、当該シ
ステムの運用をライブラリ化に加える第５の手段（ステ
ップＳ２３、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ２９、コンピュータ１
０、３０に相当する）を有することを特徴とする。
【０００９】請求項６に記載の発明は、請求項３の記載
において、前記工場運用ライブラリと前記工場運用仕様
書とは共通のフォーマット（図３）を有することを特徴
とする。請求項７に記載の発明は、システムの開発を支
援する方法において、システムの標準的な運用を管理と
作業の観点から区分けしてライブラリ化する第１の工程
（実施例のステップＳ１１）と、ライブラリ化された情
報を参照して、システムで実行可能な所定の複数の機能
に対応するプログラムをライブラリ化する第２の工程
（実施例のステップＳ１３）とを有することを特徴とす
るシステム開発支援方法である。
において、前記工場運用ライブラリと前記工場運用仕様
書とは共通のフォーマット（図３）を有することを特徴
とする。請求項７に記載の発明は、システムの開発を支
援する方法において、システムの標準的な運用を管理と
作業の観点から区分けしてライブラリ化する第１の工程
（実施例のステップＳ１１）と、ライブラリ化された情
報を参照して、システムで実行可能な所定の複数の機能
に対応するプログラムをライブラリ化する第２の工程
（実施例のステップＳ１３）とを有することを特徴とす
るシステム開発支援方法である。
【００１０】請求項８に記載の発明は、請求項７の前記
第１の工程が、管理又は作業の基本単位であるオペレー
ションユニットでシステムの標準的な運用をライブラリ
化することを特徴とする。請求項９に記載の発明は、請
求項７又は８記載のシステム開発支援方法が更に、前記
第１の工程でライブラリ化された情報の中から開発しよ
うとするシステムの運用に関係する情報を選択し更にカ
スタマイズすることで、当該システムの運用を規定する
工場運用仕様書を作成する第３の工程（実施例のステッ
プＳ１４）を有することを特徴とする。
第１の工程が、管理又は作業の基本単位であるオペレー
ションユニットでシステムの標準的な運用をライブラリ
化することを特徴とする。請求項９に記載の発明は、請
求項７又は８記載のシステム開発支援方法が更に、前記
第１の工程でライブラリ化された情報の中から開発しよ
うとするシステムの運用に関係する情報を選択し更にカ
スタマイズすることで、当該システムの運用を規定する
工場運用仕様書を作成する第３の工程（実施例のステッ
プＳ１４）を有することを特徴とする。
【００１１】請求項１０に記載の発明は、請求項７又は
８記載のシステム開発支援方法が更に、前記第２の工程
でライブラリ化された複数の機能の中から開発しようと
するシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイ
ズすることで、当該システムに必要な機能を得る第４の
工程（実施例のステップＳ１５）を有することを特徴と
する。
８記載のシステム開発支援方法が更に、前記第２の工程
でライブラリ化された複数の機能の中から開発しようと
するシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイ
ズすることで、当該システムに必要な機能を得る第４の
工程（実施例のステップＳ１５）を有することを特徴と
する。
【００１２】請求項１１に記載の発明は、請求項７又は
８記載のシステム開発支援方法が更に、前記第１の工程
でライブラリ化された情報の中に開発しようとするシス
テムの運用に関係する情報が存在しない場合には、当該
システムの運用をライブラリに加える第５の工程（実施
例のステップＳ２３、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ２９）を有す
ることを特徴とする。
８記載のシステム開発支援方法が更に、前記第１の工程
でライブラリ化された情報の中に開発しようとするシス
テムの運用に関係する情報が存在しない場合には、当該
システムの運用をライブラリに加える第５の工程（実施
例のステップＳ２３、Ｓ２４、Ｓ２８、Ｓ２９）を有す
ることを特徴とする。
【００１３】請求項１２に記載の発明は、前記工場運用
ライブラリと前記工場運用仕様書とは共通のフォーマッ
トを有することを特徴とする。請求項１３に記載の発明
は、システムの開発を支援するためのコンピュータ読み
取り可能な記録媒体において、システムの標準的な運用
を管理と作業の観点から区分けしてライブラリ化させる
第１の手段（ステップＳ１１）と、ライブラリ化された
情報を参照して、システムで実行可能な所定の複数の機
能に対応するプログラムをライブラリ化させる第２の手
段（ステップＳ１３）とを有することを特徴とするコン
ピュータ読み取り可能な記録媒体（実施例の記憶装置２
０に相当）である。
ライブラリと前記工場運用仕様書とは共通のフォーマッ
トを有することを特徴とする。請求項１３に記載の発明
は、システムの開発を支援するためのコンピュータ読み
取り可能な記録媒体において、システムの標準的な運用
を管理と作業の観点から区分けしてライブラリ化させる
第１の手段（ステップＳ１１）と、ライブラリ化された
情報を参照して、システムで実行可能な所定の複数の機
能に対応するプログラムをライブラリ化させる第２の手
段（ステップＳ１３）とを有することを特徴とするコン
ピュータ読み取り可能な記録媒体（実施例の記憶装置２
０に相当）である。
【００１４】請求項１、７及び１３に記載の発明によれ
ば、運用を管理と作業の観点から記述することは、使用
する装置や条件でプロセスの各工程を記述するのではな
く、各工程で行われる作業とこれに関する管理すべき事
項とを考慮したものである。従って、ライブラリ化が容
易になるとともに、これをベースに容易にカスタマイズ
化が可能になる。また、工場で要求される機能を実現す
るプログラムを予めライブラリ化しておくことで、必要
な機能のみを選択して用いることができ、容易に要求さ
れる機能を提供できる。この結果、各工場の運用を共通
化、標準化することができ、各工場で使用される装置や
機能を共通化することができる。よって、メンテナンス
も容易になる。
ば、運用を管理と作業の観点から記述することは、使用
する装置や条件でプロセスの各工程を記述するのではな
く、各工程で行われる作業とこれに関する管理すべき事
項とを考慮したものである。従って、ライブラリ化が容
易になるとともに、これをベースに容易にカスタマイズ
化が可能になる。また、工場で要求される機能を実現す
るプログラムを予めライブラリ化しておくことで、必要
な機能のみを選択して用いることができ、容易に要求さ
れる機能を提供できる。この結果、各工場の運用を共通
化、標準化することができ、各工場で使用される装置や
機能を共通化することができる。よって、メンテナンス
も容易になる。
【００１５】請求項２及び８に記載の発明によれば、オ
ペレーションユニットという管理又は作業の基本単位で
これらを記述しライブラリ化するので、ライブラリ化が
容易であるとともに、これを任意に組み合わせて（カス
タマイズ）各工場で要求される運用を容易に記述するこ
とができる。請求項３又は９に記載の発明によれば、ラ
イブラリ化された情報の中から開発しようとするシステ
ムの運用に関係する情報を選択し更にカスタマイズする
ので、ある工場内のシステムの運用を規定する工場運用
仕様書を容易かつ効率的に得ることができる。
ペレーションユニットという管理又は作業の基本単位で
これらを記述しライブラリ化するので、ライブラリ化が
容易であるとともに、これを任意に組み合わせて（カス
タマイズ）各工場で要求される運用を容易に記述するこ
とができる。請求項３又は９に記載の発明によれば、ラ
イブラリ化された情報の中から開発しようとするシステ
ムの運用に関係する情報を選択し更にカスタマイズする
ので、ある工場内のシステムの運用を規定する工場運用
仕様書を容易かつ効率的に得ることができる。
【００１６】請求項４又は１０に記載の発明によれば、
ライブラリ化された複数の機能の中から開発しようとす
るシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイズ
するので、当該システムに必要な機能を容易かつ効率的
に得ることができる。請求項５又は１１に記載の発明に
よれば、ライブラリ化されていない運用をライブラリに
追加することで、例えば既存工場の運用をベースに新た
な工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例え
ばバージョンアップ）することが容易かつ効率的にがで
きるようになる。
ライブラリ化された複数の機能の中から開発しようとす
るシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイズ
するので、当該システムに必要な機能を容易かつ効率的
に得ることができる。請求項５又は１１に記載の発明に
よれば、ライブラリ化されていない運用をライブラリに
追加することで、例えば既存工場の運用をベースに新た
な工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例え
ばバージョンアップ）することが容易かつ効率的にがで
きるようになる。
【００１７】請求項６又は１２に記載の発明によれば、
共通のフォーマットを利用することで、カスタマイズ化
が容易となり、例えば既存工場の運用をベースに新たな
工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例えば
バージョンアップ）することが容易かつ効率的にができ
るようになる。
共通のフォーマットを利用することで、カスタマイズ化
が容易となり、例えば既存工場の運用をベースに新たな
工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例えば
バージョンアップ）することが容易かつ効率的にができ
るようになる。
【００１８】
【発明の実施の形態】まず、本発明の原理を説明する。
本発明では、図１に示すように、各工場に共通部分をラ
イブラリ化し、これを用いて各工場向けのカスタマイズ
を行う。共通部分のライブラリ化のために、第１に、複
数の工場の共通的な運用を管理と作業の観点から所定の
フォーマットに従い記述し、データベースに蓄積する。
これを工場運用ライブラリＭ１という。第２に、各装置
毎の運用を記述する装置別運用仕様書Ｍ２を作成し、必
要部分をデータベース化する。第３に、工場運用ライブ
ラリと装置別運用仕様書を用いて、工場運用ライブラリ
Ｍ１に規定された共通的な運用をベースに、機能毎の仕
様を規定する機能仕様書Ｍ３を作成し、データベースに
格納しておく。機能毎の仕様とは、例えば進捗状況の管
理や歩留り管理のように、工場の運用を管理する機能を
記述したものである。また、機能仕様書Ｍ３に記述され
た機能を実現するためのプログラム（機能コンポーネン
ト）を予め作成し、記憶装置にライブラリとして格納し
ておく。このプログラムをライブラリ化したものを機能
コンポーネントライブラリＭ４という。
本発明では、図１に示すように、各工場に共通部分をラ
イブラリ化し、これを用いて各工場向けのカスタマイズ
を行う。共通部分のライブラリ化のために、第１に、複
数の工場の共通的な運用を管理と作業の観点から所定の
フォーマットに従い記述し、データベースに蓄積する。
これを工場運用ライブラリＭ１という。第２に、各装置
毎の運用を記述する装置別運用仕様書Ｍ２を作成し、必
要部分をデータベース化する。第３に、工場運用ライブ
ラリと装置別運用仕様書を用いて、工場運用ライブラリ
Ｍ１に規定された共通的な運用をベースに、機能毎の仕
様を規定する機能仕様書Ｍ３を作成し、データベースに
格納しておく。機能毎の仕様とは、例えば進捗状況の管
理や歩留り管理のように、工場の運用を管理する機能を
記述したものである。また、機能仕様書Ｍ３に記述され
た機能を実現するためのプログラム（機能コンポーネン
ト）を予め作成し、記憶装置にライブラリとして格納し
ておく。このプログラムをライブラリ化したものを機能
コンポーネントライブラリＭ４という。
【００１９】次に、上記工場運用ライブラリＭ１、装置
別運用仕様書Ｍ２、機能コンポーネントライブラリＭ４
をカスタマイズして、各工場向けの運用を規定する仕様
書等を作成する。具体的には、工場運用ライブラリＭ１
から必要な情報を抽出して作成される工場運用仕様書Ｍ
５を作成する。この工場運用仕様書Ｍ５は、当該装置の
運用に関する情報を規定するもので、管理と作業の観点
から記述されている。次に、この工場運用仕様書Ｍ５に
従い、機能コンポーネントライブラリＭ４から必要な機
能コンポーネント（プログラム）を抽出し、工場システ
ム計画書Ｍ６を作成する。これにより、当該工場で必要
な機能を実現するコンポーネント、即ちプログラムが特
定される。また、工場運用仕様書Ｍ５及び装置別運用仕
様書Ｍ２を用いて、実作業の手順を示す作業指導書Ｍ７
を作成する。更に、工場システム計画書Ｍ６に従い、実
際にプログラム（機能コンポーネント）をダウンロード
し、所期の動作を確認するためのテストを行うためのシ
ステム動作テスト仕様書Ｍ８を作成する。
別運用仕様書Ｍ２、機能コンポーネントライブラリＭ４
をカスタマイズして、各工場向けの運用を規定する仕様
書等を作成する。具体的には、工場運用ライブラリＭ１
から必要な情報を抽出して作成される工場運用仕様書Ｍ
５を作成する。この工場運用仕様書Ｍ５は、当該装置の
運用に関する情報を規定するもので、管理と作業の観点
から記述されている。次に、この工場運用仕様書Ｍ５に
従い、機能コンポーネントライブラリＭ４から必要な機
能コンポーネント（プログラム）を抽出し、工場システ
ム計画書Ｍ６を作成する。これにより、当該工場で必要
な機能を実現するコンポーネント、即ちプログラムが特
定される。また、工場運用仕様書Ｍ５及び装置別運用仕
様書Ｍ２を用いて、実作業の手順を示す作業指導書Ｍ７
を作成する。更に、工場システム計画書Ｍ６に従い、実
際にプログラム（機能コンポーネント）をダウンロード
し、所期の動作を確認するためのテストを行うためのシ
ステム動作テスト仕様書Ｍ８を作成する。
【００２０】そして、カスタマイズされた装置を作業指
導書Ｍ７に従い動作させテストを行い、実際の運用に入
る。このように、各工場に共通部分をライブラリとして
データベースに格納しておく（少なくとも工場運用ライ
ブラリＭ１と機能コンポーネントライブラリＭ４）こと
で、異なる運用を標準化することができ、例えば工場を
新設する場合には、ライブラリから運用に関する情報
（後述するオペレーションユニット）の中からその工場
で希望する運用に関する情報を選択しカスタマイズする
ことで、容易にかつ効率的にシステムを構築し、立ち上
げることができる。
導書Ｍ７に従い動作させテストを行い、実際の運用に入
る。このように、各工場に共通部分をライブラリとして
データベースに格納しておく（少なくとも工場運用ライ
ブラリＭ１と機能コンポーネントライブラリＭ４）こと
で、異なる運用を標準化することができ、例えば工場を
新設する場合には、ライブラリから運用に関する情報
（後述するオペレーションユニット）の中からその工場
で希望する運用に関する情報を選択しカスタマイズする
ことで、容易にかつ効率的にシステムを構築し、立ち上
げることができる。
【００２１】なお、カスタマイズにかかる上記Ｍ５〜Ｍ
８はデータベース化しても良いし、ドキュメントであっ
ても良いし、部分的にデータベース化しても良い。次
に、図１についてより詳細に説明する。まず、工場運用
ライブラリＭ１について説明する。前述したように、工
場運用ライブラリＭ１は、所定のフォーマットに従い工
場の運用を管理と作業で記述したものである。管理と作
業で運用を記述することは、使用する装置や条件でプロ
セスの各工程を記述するのではなく、各工程で行われる
作業とこれに関する管理すべき事項とを考慮したもので
ある。従って、ライブラリ化が容易になるとともに、こ
れをベースに容易にカスタマイズ化が可能になる。
８はデータベース化しても良いし、ドキュメントであっ
ても良いし、部分的にデータベース化しても良い。次
に、図１についてより詳細に説明する。まず、工場運用
ライブラリＭ１について説明する。前述したように、工
場運用ライブラリＭ１は、所定のフォーマットに従い工
場の運用を管理と作業で記述したものである。管理と作
業で運用を記述することは、使用する装置や条件でプロ
セスの各工程を記述するのではなく、各工程で行われる
作業とこれに関する管理すべき事項とを考慮したもので
ある。従って、ライブラリ化が容易になるとともに、こ
れをベースに容易にカスタマイズ化が可能になる。
【００２２】図２は、工場運用ライブラリＭ１の構成を
示す図である。図２では、半導体装置のウェーハプロセ
ス工場の管理に関する項目の一例及び作業に関する項目
の一例が図示されている。また、各管理項目は、図２に
示す４つの項目で記述される。４つの項目とは、属性、
ＩＤ、構成からなる基本事項と、仕様と、現状の把握と
履歴である。また、作業項目は少なくとも、作業要素及
び作業の流れに関する情報を有する。
示す図である。図２では、半導体装置のウェーハプロセ
ス工場の管理に関する項目の一例及び作業に関する項目
の一例が図示されている。また、各管理項目は、図２に
示す４つの項目で記述される。４つの項目とは、属性、
ＩＤ、構成からなる基本事項と、仕様と、現状の把握と
履歴である。また、作業項目は少なくとも、作業要素及
び作業の流れに関する情報を有する。
【００２３】上記管理と作業を、図３に示す所定のフォ
ーマットに従い整理し、ライブラリ化（データベース
化）する。図３に示すように、管理と作業をライブラリ
の大項目と位置付け、管理項目及び作業項目を中項目と
位置付ける。そして、各管理項目を小項目と位置付けた
基本事項、仕様、現状の把握、及び履歴で記述する。ま
た、各作業項目を図示するような小項目で記述する。
ーマットに従い整理し、ライブラリ化（データベース
化）する。図３に示すように、管理と作業をライブラリ
の大項目と位置付け、管理項目及び作業項目を中項目と
位置付ける。そして、各管理項目を小項目と位置付けた
基本事項、仕様、現状の把握、及び履歴で記述する。ま
た、各作業項目を図示するような小項目で記述する。
【００２４】次に、上記工場運用ライブラリＭ１をより
詳細に説明するために、図４〜図１０を参照して、レチ
クルの管理のライブラリを説明する。小項目は、オペレ
ーションユニットという単位で記述される。オペレーシ
ョンユニットは管理や作業を構成する事項の基本単位で
あり、各オペレーションユニットにはユニット番号が付
与されている。例えば、図４に示す基本項目のうちの
「属性」は、レチクルに関する基本的事項を示すもの
で、倍率、サイズ等のオペレーションユニットで記述さ
れる。倍率に付与されたＡ００００１がユニット番号で
ある。ＩＤは個々のレチクルを特定するもので、その取
り扱いに関する事項も含み、図４に示す例では２つのオ
ペレーションユニットからなる。構成はレチクル管理の
基本的取り決めを規定するもので、図４に示す例では、
レチクルケース、レチクル本体、ペリクルを一体として
扱うことを規定する１つのオペレーションユニットから
なる。
詳細に説明するために、図４〜図１０を参照して、レチ
クルの管理のライブラリを説明する。小項目は、オペレ
ーションユニットという単位で記述される。オペレーシ
ョンユニットは管理や作業を構成する事項の基本単位で
あり、各オペレーションユニットにはユニット番号が付
与されている。例えば、図４に示す基本項目のうちの
「属性」は、レチクルに関する基本的事項を示すもの
で、倍率、サイズ等のオペレーションユニットで記述さ
れる。倍率に付与されたＡ００００１がユニット番号で
ある。ＩＤは個々のレチクルを特定するもので、その取
り扱いに関する事項も含み、図４に示す例では２つのオ
ペレーションユニットからなる。構成はレチクル管理の
基本的取り決めを規定するもので、図４に示す例では、
レチクルケース、レチクル本体、ペリクルを一体として
扱うことを規定する１つのオペレーションユニットから
なる。
【００２５】小項目のうちの「仕様」は、レチクルの品
質に関する事項を含め、レチクルの仕様に関する事項を
記述する。小項目のうちの「現状の把握」は、レチクル
の所在、状態、数量に関する項目で記述される。レチク
ルの所在については、図５に示すようなオペレーション
ユニットで管理する。状態については、例えば図５に示
すレチクルの状態遷移図＃１、図７に示す状態遷移図＃
２、図８に示す状態遷移図＃３を用意し、それぞれの状
態及び状態が遷移するトリガー及び遷移後の状態に関す
る事項を記述する。なお、図５に示す状態遷移図＃１の
各状態及び状態遷移表を図６に示し、図７に示す状態遷
移図＃２の各状態及び状態遷移表をそれぞれ図７及び図
８に示し、図８に示す状態遷移図＃３の各状態及び状態
遷移表をそれぞれ図９及び図１０に示す。なお、図５〜
図１０の内容はこれらから明らかなので、ここでの説明
は省略する。
質に関する事項を含め、レチクルの仕様に関する事項を
記述する。小項目のうちの「現状の把握」は、レチクル
の所在、状態、数量に関する項目で記述される。レチク
ルの所在については、図５に示すようなオペレーション
ユニットで管理する。状態については、例えば図５に示
すレチクルの状態遷移図＃１、図７に示す状態遷移図＃
２、図８に示す状態遷移図＃３を用意し、それぞれの状
態及び状態が遷移するトリガー及び遷移後の状態に関す
る事項を記述する。なお、図５に示す状態遷移図＃１の
各状態及び状態遷移表を図６に示し、図７に示す状態遷
移図＃２の各状態及び状態遷移表をそれぞれ図７及び図
８に示し、図８に示す状態遷移図＃３の各状態及び状態
遷移表をそれぞれ図９及び図１０に示す。なお、図５〜
図１０の内容はこれらから明らかなので、ここでの説明
は省略する。
【００２６】小項目のうちの「履歴」はレチクルの処理
の経過を示すもので、図１０の例では３つのオペレーシ
ョンユニットが規定されている。以上のようにして、図
３に示すロットの管理等のその他の管理項目も、基本事
項、仕様、現状の把握及び履歴で記述する。また、図３
の例では作業に関し、作業要素、作業の流れ、作業単
位、作業の選択の中項目が規定されている。例えば、作
業要素はウェーハプロセスに関係する作業の対象となる
装置、材料等を規定するもので、これらの要素を小項目
として記述する。図３の例では、ウェーハ、ロット、容
器、装置、レチクル、間接材料、システム端末の小項目
が規定されている。作業の流れは、工場内の一連の作業
をまとめてパターン化して意味付けしたもので、図３の
例では、製品処理作業、付帯作業、異常処理作業が規定
されている。
の経過を示すもので、図１０の例では３つのオペレーシ
ョンユニットが規定されている。以上のようにして、図
３に示すロットの管理等のその他の管理項目も、基本事
項、仕様、現状の把握及び履歴で記述する。また、図３
の例では作業に関し、作業要素、作業の流れ、作業単
位、作業の選択の中項目が規定されている。例えば、作
業要素はウェーハプロセスに関係する作業の対象となる
装置、材料等を規定するもので、これらの要素を小項目
として記述する。図３の例では、ウェーハ、ロット、容
器、装置、レチクル、間接材料、システム端末の小項目
が規定されている。作業の流れは、工場内の一連の作業
をまとめてパターン化して意味付けしたもので、図３の
例では、製品処理作業、付帯作業、異常処理作業が規定
されている。
【００２７】このように、運用及び作業に関する事項を
大項目、中項目、小項目に階層化し、オペレーションユ
ニットで記述することで、工場の基本的な管理や作業を
規定して、データベース化する。これにより、オペレー
ションユニットの組み合わせで様々な運用を規定するこ
とができるようになる。次に、装置別運用仕様書Ｍ２に
ついて説明する。前述したように、装置別運用仕様書Ｍ
２は工場の各装置の運用に関する事項を規定するもの
で、装置概要、運用上の前提条件、作業仕様及びデータ
仕様を記述する。装置別運用仕様書Ｍ２の一例として、
成膜装置の運用仕様書を図１１〜図１３に示す。
大項目、中項目、小項目に階層化し、オペレーションユ
ニットで記述することで、工場の基本的な管理や作業を
規定して、データベース化する。これにより、オペレー
ションユニットの組み合わせで様々な運用を規定するこ
とができるようになる。次に、装置別運用仕様書Ｍ２に
ついて説明する。前述したように、装置別運用仕様書Ｍ
２は工場の各装置の運用に関する事項を規定するもの
で、装置概要、運用上の前提条件、作業仕様及びデータ
仕様を記述する。装置別運用仕様書Ｍ２の一例として、
成膜装置の運用仕様書を図１１〜図１３に示す。
【００２８】図１１は、成膜装置の装置概要及び運用上
の前提条件を一例示す。図１２は、成膜装置の作業仕様
のうちのロット処理開始作業を示す。図１３は、成膜装
置に関するデータ仕様を示す。このような装置別運用仕
様書Ｍ２を複数の成膜装置毎、また他の装置毎に作成し
ライブラリ化（データベース化）する。なお、装置別運
用仕様書Ｍ２は全ての項目をライブラリ化しても良い
し、前述した機能仕様書Ｍ３の作成に直接関係する部
分、例えばデータ仕様のみをライブラリ化しても良い。
の前提条件を一例示す。図１２は、成膜装置の作業仕様
のうちのロット処理開始作業を示す。図１３は、成膜装
置に関するデータ仕様を示す。このような装置別運用仕
様書Ｍ２を複数の成膜装置毎、また他の装置毎に作成し
ライブラリ化（データベース化）する。なお、装置別運
用仕様書Ｍ２は全ての項目をライブラリ化しても良い
し、前述した機能仕様書Ｍ３の作成に直接関係する部
分、例えばデータ仕様のみをライブラリ化しても良い。
【００２９】次に、機能仕様書Ｍ３について説明する。
機能仕様書Ｍ３は、工場の運用に必要な種々の管理機能
を記述したものである。この管理機能とは、進捗管理、
スケジュール管理、歩留り管理、製造仕様（スペック）
管理、レチクル製造・所在管理等、工場の運用を的確に
把握し適切な制御を実現するために必要な機能である。
各機能毎に規定された機能仕様書Ｍ３は、管理すべきデ
ータと、オペレータからの要求に対する出力情報を規定
するメッセージインターフェースとを有する。また、管
理すべきデータは前述の基本事項（図３）と状態や履歴
に関する事項とに大別できる。
機能仕様書Ｍ３は、工場の運用に必要な種々の管理機能
を記述したものである。この管理機能とは、進捗管理、
スケジュール管理、歩留り管理、製造仕様（スペック）
管理、レチクル製造・所在管理等、工場の運用を的確に
把握し適切な制御を実現するために必要な機能である。
各機能毎に規定された機能仕様書Ｍ３は、管理すべきデ
ータと、オペレータからの要求に対する出力情報を規定
するメッセージインターフェースとを有する。また、管
理すべきデータは前述の基本事項（図３）と状態や履歴
に関する事項とに大別できる。
【００３０】図１４に、機能仕様書の一例として製造仕
様（スペック）の機能仕様書の一例を示す。図１４に示
すように、スペック（ＳＰＣ）管理の項目や処理履歴管
理の項目等が管理データとして規定されている。また、
メッセージインターフェースは、オペレータの要求に応
じて出力すべき事項を規定するものである。図１４に示
すメッセージインターフェースは、入力情報としてロッ
トＩＤが指定されると、対応するアクションとして、指
定されたロットＩＤの測定結果を検索し、検索した管理
データを出力情報として出力することを規定している。
また、用途として、対応する作業要素、すなわちロット
ＩＤの測定結果に関係する作業要素も出力する。図１４
の例では、あるエッチング（ＡＡエッチング）の規格値
が０．５６μｍで管理値（許容値）が±０．００５μｍ
であり、あるロット（ＦＥＤ００００５６７８）の測定
値が０．５６１μｍであったこと（処理履歴管理）を示
している。この場合、入力情報として上記ロットＩＤが
指定されると、処理履歴管理に保持されているデータが
出力情報として出力される。なお、管理は使用する装置
の仕様と密接な関係があるため、その作成には装置別運
用仕様書Ｍ２を参考にする。
様（スペック）の機能仕様書の一例を示す。図１４に示
すように、スペック（ＳＰＣ）管理の項目や処理履歴管
理の項目等が管理データとして規定されている。また、
メッセージインターフェースは、オペレータの要求に応
じて出力すべき事項を規定するものである。図１４に示
すメッセージインターフェースは、入力情報としてロッ
トＩＤが指定されると、対応するアクションとして、指
定されたロットＩＤの測定結果を検索し、検索した管理
データを出力情報として出力することを規定している。
また、用途として、対応する作業要素、すなわちロット
ＩＤの測定結果に関係する作業要素も出力する。図１４
の例では、あるエッチング（ＡＡエッチング）の規格値
が０．５６μｍで管理値（許容値）が±０．００５μｍ
であり、あるロット（ＦＥＤ００００５６７８）の測定
値が０．５６１μｍであったこと（処理履歴管理）を示
している。この場合、入力情報として上記ロットＩＤが
指定されると、処理履歴管理に保持されているデータが
出力情報として出力される。なお、管理は使用する装置
の仕様と密接な関係があるため、その作成には装置別運
用仕様書Ｍ２を参考にする。
【００３１】次に、このようにな機能仕様書Ｍ３から実
際に仕様に規定された管理機能を実現するためのプログ
ラムを作成する。このプログラムが前述の機能コンポー
ネントＭ４である。例えば、スペックの機能仕様書Ｍ３
に従うプログラムは、ロット毎にエッチング量を測定し
て記憶しておき、ロットＩＤの入力を判別すると対応す
る測定結果を出力する処理を記述する。
際に仕様に規定された管理機能を実現するためのプログ
ラムを作成する。このプログラムが前述の機能コンポー
ネントＭ４である。例えば、スペックの機能仕様書Ｍ３
に従うプログラムは、ロット毎にエッチング量を測定し
て記憶しておき、ロットＩＤの入力を判別すると対応す
る測定結果を出力する処理を記述する。
【００３２】以上が工場の共通項目のライブラリ化であ
る。次に、工場運用仕様書Ｍ５について説明する。工場
運用仕様書Ｍ５は、上記データベース化されたライブラ
リを用いて各工場毎に作成される。工場運用仕様書Ｍ５
は、図３に示す工場運用ライブラリＭ１のフォーマット
と同一フォーマットを有する。工場運用仕様書は、前述
した工場運用ライブラリＭ１から必要なオペレーション
ユニットを選択することで作成されるもので、管理と作
業のオペレーションユニットからなる。
る。次に、工場運用仕様書Ｍ５について説明する。工場
運用仕様書Ｍ５は、上記データベース化されたライブラ
リを用いて各工場毎に作成される。工場運用仕様書Ｍ５
は、図３に示す工場運用ライブラリＭ１のフォーマット
と同一フォーマットを有する。工場運用仕様書は、前述
した工場運用ライブラリＭ１から必要なオペレーション
ユニットを選択することで作成されるもので、管理と作
業のオペレーションユニットからなる。
【００３３】図１５〜図１８は、前述したレチクルの工
場運用ライブラリＭ１から作成されたレチクルに関する
工場運用仕様書Ｍ５の一例である。図４〜図１０から当
該工場の運用を記述するオペレーションユニットを選択
することで、図１５〜図１８に示す工場運用仕様書Ｍ５
のレチクルに関する運用規定を作成する。例えば、図１
５に示す当該工場のレチクルレチクル管理の基本項目の
属性は、倍率やサイズ等の８つのオペレーションユニッ
トで記述されている。このようにして作成した工場運用
仕様書Ｍ５を、後述するように、当該工場のデータベー
スに蓄積しておく。
場運用ライブラリＭ１から作成されたレチクルに関する
工場運用仕様書Ｍ５の一例である。図４〜図１０から当
該工場の運用を記述するオペレーションユニットを選択
することで、図１５〜図１８に示す工場運用仕様書Ｍ５
のレチクルに関する運用規定を作成する。例えば、図１
５に示す当該工場のレチクルレチクル管理の基本項目の
属性は、倍率やサイズ等の８つのオペレーションユニッ
トで記述されている。このようにして作成した工場運用
仕様書Ｍ５を、後述するように、当該工場のデータベー
スに蓄積しておく。
【００３４】次に、工場運用仕様書Ｍ５に従い、工場シ
ステム計画書Ｍ６を作成する。この作業は、工場運用仕
様書Ｍ５に従い、機能コンポーネントライブラリＭ４か
ら必要な機能コンポーネント（プログラム）を抽出し、
工場システム計画書Ｍ６を作成する。これにより、当該
工場で必要な管理機能を実現するコンポーネント、即ち
プログラムが特定される。また、工場運用仕様書Ｍ５及
び装置別運用仕様書Ｍ２を用いて、実作業の手順を示す
作業指導書Ｍ７を作成する。例えば、図１２に示す成膜
装置の装置別運用仕様書Ｍ２の作業仕様は装置毎に異な
るので、オペレータに手順を示しておく必要がある。当
該工場が図１２に示す装置別運用仕様書Ｍ２の成膜装置
を使用するのであれば、作業指導書Ｍ７にこの手順を記
述しておく。更に、工場システム計画書Ｍ６に従い、実
際にプログラム（機能コンポーネント）をダウンロード
し、所期の動作を確認するためのテストを行うためのシ
ステム動作テスト仕様書Ｍ８を作成する。
ステム計画書Ｍ６を作成する。この作業は、工場運用仕
様書Ｍ５に従い、機能コンポーネントライブラリＭ４か
ら必要な機能コンポーネント（プログラム）を抽出し、
工場システム計画書Ｍ６を作成する。これにより、当該
工場で必要な管理機能を実現するコンポーネント、即ち
プログラムが特定される。また、工場運用仕様書Ｍ５及
び装置別運用仕様書Ｍ２を用いて、実作業の手順を示す
作業指導書Ｍ７を作成する。例えば、図１２に示す成膜
装置の装置別運用仕様書Ｍ２の作業仕様は装置毎に異な
るので、オペレータに手順を示しておく必要がある。当
該工場が図１２に示す装置別運用仕様書Ｍ２の成膜装置
を使用するのであれば、作業指導書Ｍ７にこの手順を記
述しておく。更に、工場システム計画書Ｍ６に従い、実
際にプログラム（機能コンポーネント）をダウンロード
し、所期の動作を確認するためのテストを行うためのシ
ステム動作テスト仕様書Ｍ８を作成する。
【００３５】なお、工場システム計画書Ｍ６、作業指導
書Ｍ７及びシステム動作テスト仕様書Ｍ８を当該工場で
データベース化しても良いし、ドキュメントであっても
良いし、その両方であっても良い。最後に、作業指導書
Ｍ７及びシステム動作テスト仕様書Ｍ８を用い、後述す
るように当該工場の各装置を立ち上げ、機能コンポーネ
ント（プログラム）をロードし、システム全体の動作テ
ストを行った後、運用に入る。
書Ｍ７及びシステム動作テスト仕様書Ｍ８を当該工場で
データベース化しても良いし、ドキュメントであっても
良いし、その両方であっても良い。最後に、作業指導書
Ｍ７及びシステム動作テスト仕様書Ｍ８を用い、後述す
るように当該工場の各装置を立ち上げ、機能コンポーネ
ント（プログラム）をロードし、システム全体の動作テ
ストを行った後、運用に入る。
【００３６】上記工場運用ライブラリＭ１から少なくと
も工場運用仕様書Ｍ５までの作成は、コンピュータシス
テム（以下では、ホストコンピュータシステムとも言
う）を用いて行われる。図１９は、このコンピュータシ
ステムの一例を示すブロック図である。図示するコンピ
ュータシステムは、ＣＰＵを具備するホストコンピュー
タ１０、複数の端末（例えば、ワークステーションやパ
ーソナルコンピュータ）１２、ハードディスク装置のよ
うな大容量の外部記憶装置１４、ネットワークと通信す
るための通信制御装置１６及びこれらを相互に接続する
共通バス１８とを具備する。
も工場運用仕様書Ｍ５までの作成は、コンピュータシス
テム（以下では、ホストコンピュータシステムとも言
う）を用いて行われる。図１９は、このコンピュータシ
ステムの一例を示すブロック図である。図示するコンピ
ュータシステムは、ＣＰＵを具備するホストコンピュー
タ１０、複数の端末（例えば、ワークステーションやパ
ーソナルコンピュータ）１２、ハードディスク装置のよ
うな大容量の外部記憶装置１４、ネットワークと通信す
るための通信制御装置１６及びこれらを相互に接続する
共通バス１８とを具備する。
【００３７】ホストコンピュータ１０は、図２０に示す
動作フローチャートに従い動作する。このフローチャー
トは、図１９に示すハードディスク装置等の記録媒体で
ある記憶装置２０に記憶されている。ホストコンピュー
タ１０は、図２０に示す動作フローチャートに従い工場
運用ライブラリＭ１等の作成を統括的に制御するが、以
下に説明する個々のステップは端末１２で行われる。
動作フローチャートに従い動作する。このフローチャー
トは、図１９に示すハードディスク装置等の記録媒体で
ある記憶装置２０に記憶されている。ホストコンピュー
タ１０は、図２０に示す動作フローチャートに従い工場
運用ライブラリＭ１等の作成を統括的に制御するが、以
下に説明する個々のステップは端末１２で行われる。
【００３８】まず、図２０のステップＳ１０で、既存の
各工場の運用を調査してデータを集める。この運用につ
いては、管理と作業の観点からデータを収集する。ま
た、どのような装置が使用されているのかのデータも収
集する。次にステップ１１で、前述した工場運用ライブ
ラリＭ１を作成する。この作成は、図３に示すフォーマ
ットに従い、例えば対話形式でオペレータに操作をガイ
ドし、入力されたデータをそのフォーマットに従い例え
ば外部記憶装置１４に蓄積していく。このような手順に
従うライブラリ化（データベース化）自体は種々のもの
が知られているので、適当なものを用いれば良い。次
に、ステップＳ１２で、装置別運用仕様書Ｍ２を作成
し、外部記憶装置１４に蓄積する。前述したように、装
置毎の運用仕様全部をデータベース化しても良いし、必
要に応じて一部、例えば前述した図１３に示すデータ仕
様に関する部分のみをデータベース化しても良い。次
に、機能仕様書Ｍ３及び機能コンポーネントライブラリ
Ｍ４を作成し、データベース化する。機能コンポーネン
トライブラリＭ４は、既存の各工場で使用されている前
述した管理機能を実現するソフトウェア（プログラム）
のうち、機能仕様書Ｍ３で規定された部分、即ち、各工
場での管理機能の内の共通部分であり、更にこれをベー
スに種々の変更や追加を加えたものであっても良い。な
お、その他、各工場で使用されている管理機能そのもの
のプログラムを更にライブラリ化しても良い。
各工場の運用を調査してデータを集める。この運用につ
いては、管理と作業の観点からデータを収集する。ま
た、どのような装置が使用されているのかのデータも収
集する。次にステップ１１で、前述した工場運用ライブ
ラリＭ１を作成する。この作成は、図３に示すフォーマ
ットに従い、例えば対話形式でオペレータに操作をガイ
ドし、入力されたデータをそのフォーマットに従い例え
ば外部記憶装置１４に蓄積していく。このような手順に
従うライブラリ化（データベース化）自体は種々のもの
が知られているので、適当なものを用いれば良い。次
に、ステップＳ１２で、装置別運用仕様書Ｍ２を作成
し、外部記憶装置１４に蓄積する。前述したように、装
置毎の運用仕様全部をデータベース化しても良いし、必
要に応じて一部、例えば前述した図１３に示すデータ仕
様に関する部分のみをデータベース化しても良い。次
に、機能仕様書Ｍ３及び機能コンポーネントライブラリ
Ｍ４を作成し、データベース化する。機能コンポーネン
トライブラリＭ４は、既存の各工場で使用されている前
述した管理機能を実現するソフトウェア（プログラム）
のうち、機能仕様書Ｍ３で規定された部分、即ち、各工
場での管理機能の内の共通部分であり、更にこれをベー
スに種々の変更や追加を加えたものであっても良い。な
お、その他、各工場で使用されている管理機能そのもの
のプログラムを更にライブラリ化しても良い。
【００３９】以上のステップＳ１０からステップＳ１３
までが、各工場の運用の共通部分のライブラリ化であ
る。次に、ステップＳ１４からステップＳ１８までは、
各工場向けのカスタマイズの作業である。ステップＳ１
４とＳ１５は計画立案工程とであり、ステップＳ１６と
Ｓ１７からなるシステム開発工程である。
までが、各工場の運用の共通部分のライブラリ化であ
る。次に、ステップＳ１４からステップＳ１８までは、
各工場向けのカスタマイズの作業である。ステップＳ１
４とＳ１５は計画立案工程とであり、ステップＳ１６と
Ｓ１７からなるシステム開発工程である。
【００４０】まず、ステップＳ１４で、工場運用仕様書
Ｍ５を作成し、外部記憶装置１４に蓄積する。前述した
ように、工場運用ライブラリＭ１と同一のフォーマット
を有する工場運用仕様書Ｍ５は工場運用ライブラリＭ１
内のオペレーションユニットを、当該工場の運用に従っ
て選択する、すなわち工場運用ライブラリＭ１をカスタ
マイズすることで構成される。この作業は例えば、端末
１２で行われ、端末１２の画面に工場運用ライブラリＭ
１を表示させ、必要なオペレーションユニットをマウス
でクリックする。次に、ステップＳ１５で工場システム
計画書Ｍ６の作成を行う。端末１２の画面上に工場運用
仕様書Ｍ５及び機能使用書Ｍ３を画面上に表示しなが
ら、必要な事項を入力していくことでシステム計画書Ｍ
６を作成する。なお、これらの画面表示を参考に、オペ
レータがペーパーにシステム計画書を作成していくこと
でも良い。
Ｍ５を作成し、外部記憶装置１４に蓄積する。前述した
ように、工場運用ライブラリＭ１と同一のフォーマット
を有する工場運用仕様書Ｍ５は工場運用ライブラリＭ１
内のオペレーションユニットを、当該工場の運用に従っ
て選択する、すなわち工場運用ライブラリＭ１をカスタ
マイズすることで構成される。この作業は例えば、端末
１２で行われ、端末１２の画面に工場運用ライブラリＭ
１を表示させ、必要なオペレーションユニットをマウス
でクリックする。次に、ステップＳ１５で工場システム
計画書Ｍ６の作成を行う。端末１２の画面上に工場運用
仕様書Ｍ５及び機能使用書Ｍ３を画面上に表示しなが
ら、必要な事項を入力していくことでシステム計画書Ｍ
６を作成する。なお、これらの画面表示を参考に、オペ
レータがペーパーにシステム計画書を作成していくこと
でも良い。
【００４１】上記と同様にして、ステップＳ１６で作業
指導書Ｍ６を作成する。端末１２の画面上には、装置別
運用仕様書Ｍ２や工場運用仕様書Ｍ５が表示される。更
に、ステップＳ１７でシステム動作テスト仕様書Ｍ８を
作成する。工場システム計画書Ｍ６がデータベース化さ
れていれば、この情報を端末１２の画面に表示しながら
作成作業を行う。
指導書Ｍ６を作成する。端末１２の画面上には、装置別
運用仕様書Ｍ２や工場運用仕様書Ｍ５が表示される。更
に、ステップＳ１７でシステム動作テスト仕様書Ｍ８を
作成する。工場システム計画書Ｍ６がデータベース化さ
れていれば、この情報を端末１２の画面に表示しながら
作成作業を行う。
【００４２】なお、ステップＳ１４からＳ１８までの処
理を各工場で行うようにしても良い。この場合には、ス
テップＳ１０からＳ１４までの処理を制御するプログラ
ムを図１９に示す記憶装置２０に格納しておき、ステッ
プＳ１５〜Ｓ１８までの処理を制御するプログラムを各
工場内のコンピュータの記憶装置に格納しておく。そし
て、図１９に示すホストコンピュータシステムと各工場
のコンピュータシステムとをネットワークで接続するこ
とで、各工場毎にステップＳ１４〜Ｓ１８の処理を行え
る。
理を各工場で行うようにしても良い。この場合には、ス
テップＳ１０からＳ１４までの処理を制御するプログラ
ムを図１９に示す記憶装置２０に格納しておき、ステッ
プＳ１５〜Ｓ１８までの処理を制御するプログラムを各
工場内のコンピュータの記憶装置に格納しておく。そし
て、図１９に示すホストコンピュータシステムと各工場
のコンピュータシステムとをネットワークで接続するこ
とで、各工場毎にステップＳ１４〜Ｓ１８の処理を行え
る。
【００４３】次に、こうようにしてカスタマイズされた
工場運用仕様書Ｍ５等を用いて運用される工場内のコン
ピュータシステムシステムについて、図２１を参照して
説明する。各工場に設けられるコンピュータシステム
は、ＣＰＵを具備するコンピュータ３０、これに接続さ
れる記憶装置４０、複数の端末３２、外部記憶装置３
４、２つの通信制御装置３６及び４２、及びバス３８か
ら構成される。通信制御装置３６は、工場内に配置され
た酸化装置、エッチング装置、成膜装置等との通信を制
御する。通信制御装置４２は、図１９に示すホストコン
ピュータシステムとの通信を制御する。記憶装置４０は
コンピュータ３０が動作するに必要なプログラムやデー
タを格納する。例えば、図２０のステップＳ１４〜Ｓ１
８を有するプログラムを記憶する。コンピュータ３０
は、このコンピュータシステムを統括的に制御する。外
部記憶装置３４は、管理項目のデータベースや機能コン
ポーネント等を記憶する。
工場運用仕様書Ｍ５等を用いて運用される工場内のコン
ピュータシステムシステムについて、図２１を参照して
説明する。各工場に設けられるコンピュータシステム
は、ＣＰＵを具備するコンピュータ３０、これに接続さ
れる記憶装置４０、複数の端末３２、外部記憶装置３
４、２つの通信制御装置３６及び４２、及びバス３８か
ら構成される。通信制御装置３６は、工場内に配置され
た酸化装置、エッチング装置、成膜装置等との通信を制
御する。通信制御装置４２は、図１９に示すホストコン
ピュータシステムとの通信を制御する。記憶装置４０は
コンピュータ３０が動作するに必要なプログラムやデー
タを格納する。例えば、図２０のステップＳ１４〜Ｓ１
８を有するプログラムを記憶する。コンピュータ３０
は、このコンピュータシステムを統括的に制御する。外
部記憶装置３４は、管理項目のデータベースや機能コン
ポーネント等を記憶する。
【００４４】図２１に示すコンピュータシステムの機能
を中心にみた場合の構成を図２２に示す。図２２に示す
各部は主として、図２１に示すコンピュータ３０で実現
される機能である。コンピュータ３０で実現されるマネ
ージャとして、図２２には３つのマネージャ、即ち装置
マネージャ５０、データマネージャ５２及びアラームマ
ネージャ５４を有する。これらは相互に通信可能（デー
タのやり取り等）である。装置マネージャ５０は、装置
全体及び成膜装置等の製造装置を制御する。データマネ
ージャ５２は、機能コンポーネント等のあるソフトウェ
ア（プログラム）から通信される情報を整理し、その情
報を必要とする他のソフトウェア（プログラム）へ振り
分ける。
を中心にみた場合の構成を図２２に示す。図２２に示す
各部は主として、図２１に示すコンピュータ３０で実現
される機能である。コンピュータ３０で実現されるマネ
ージャとして、図２２には３つのマネージャ、即ち装置
マネージャ５０、データマネージャ５２及びアラームマ
ネージャ５４を有する。これらは相互に通信可能（デー
タのやり取り等）である。装置マネージャ５０は、装置
全体及び成膜装置等の製造装置を制御する。データマネ
ージャ５２は、機能コンポーネント等のあるソフトウェ
ア（プログラム）から通信される情報を整理し、その情
報を必要とする他のソフトウェア（プログラム）へ振り
分ける。
【００４５】装置マネージャ５０は、コンピュータ３０
とは別のコントローラ５８、６０を介して酸化装置、エ
ッチング装置、成膜装置等の製造装置＃１、＃２、＃３
を制御し、またサーバ６２及びコントローラ６４を介し
てウェハのストッカ６６を制御する。データマネージャ
５２は、機能コンポーネントを管理し、実行する。図２
２の例では、この機能コンポーネントとして、歩留り管
理機能６８及びスペック管理機能７０が用いられてい
る。また、データマネージャ５２の管理下に、サーバ７
２を介して複数（図２２では４つ）のデータベースＤＢ
１〜ＤＢ４が設けられている。これらのデータベースは
レチクル、ロット、ウェーハ等の管理項目毎に設けられ
るもので、歩留り管理機能６８やスペック管理機能７０
等の機能コンポーネントからの指令を受けてデータマネ
ージャ５２の制御の下にデータの書き込み、読み出しが
行われる。更に、機能コンポーネント７６として、進捗
管理機能７６が設けられている。進捗管理機能７６は、
サーバ７４を介して各マネージャ５０、５２、５４に接
続される。ルールサーバ５６は図２１の通信制御装置３
６の機能を含むもので、ホストコンピュータシステムや
図２１に示す端末を各マネージャ５０、５２、５４に接
続し、情報のやり取りの手順を整理している。また、ア
ラームマネージャ５４は各種アラームの検出及びオペレ
ータへの通知を行う。
とは別のコントローラ５８、６０を介して酸化装置、エ
ッチング装置、成膜装置等の製造装置＃１、＃２、＃３
を制御し、またサーバ６２及びコントローラ６４を介し
てウェハのストッカ６６を制御する。データマネージャ
５２は、機能コンポーネントを管理し、実行する。図２
２の例では、この機能コンポーネントとして、歩留り管
理機能６８及びスペック管理機能７０が用いられてい
る。また、データマネージャ５２の管理下に、サーバ７
２を介して複数（図２２では４つ）のデータベースＤＢ
１〜ＤＢ４が設けられている。これらのデータベースは
レチクル、ロット、ウェーハ等の管理項目毎に設けられ
るもので、歩留り管理機能６８やスペック管理機能７０
等の機能コンポーネントからの指令を受けてデータマネ
ージャ５２の制御の下にデータの書き込み、読み出しが
行われる。更に、機能コンポーネント７６として、進捗
管理機能７６が設けられている。進捗管理機能７６は、
サーバ７４を介して各マネージャ５０、５２、５４に接
続される。ルールサーバ５６は図２１の通信制御装置３
６の機能を含むもので、ホストコンピュータシステムや
図２１に示す端末を各マネージャ５０、５２、５４に接
続し、情報のやり取りの手順を整理している。また、ア
ラームマネージャ５４は各種アラームの検出及びオペレ
ータへの通知を行う。
【００４６】図２３は、図２２に示すコントローラ５８
及び６０とこれらに制御される装置＃１〜＃３を示す図
である。コントローラ５８はインタフェース（図２３の
例ではＲＳ−２３２Ｃ）を介して酸化装置＃１を制御す
る。コントローラ５８はＣＰＵとこれを動作させるソフ
トウェア（プログラム）を具備する。またコントローラ
６０はインタフェース（図２３の例ではイーサネット）
を介して、エッチング装置＃２及び成膜装置＃３を有す
る。コントローラ５８と６０は、イーサネットを介して
図２２に示す装置マネージャ５０に接続されている。
及び６０とこれらに制御される装置＃１〜＃３を示す図
である。コントローラ５８はインタフェース（図２３の
例ではＲＳ−２３２Ｃ）を介して酸化装置＃１を制御す
る。コントローラ５８はＣＰＵとこれを動作させるソフ
トウェア（プログラム）を具備する。またコントローラ
６０はインタフェース（図２３の例ではイーサネット）
を介して、エッチング装置＃２及び成膜装置＃３を有す
る。コントローラ５８と６０は、イーサネットを介して
図２２に示す装置マネージャ５０に接続されている。
【００４７】次に、図２１〜２３の工場内のシステム
が、前述したライブラリを用いてどのようにカスタマイ
ズし運用まで至る処理について説明する。なお、以下の
例では、図２０に示すステップＳ１４からステップＳ１
８までの処理を工場側で行うものとする。まず、図２１
に示す端末３２のうちいずれかを用いて、ホストコンピ
ュータシステムの外部記憶装置１４（図１９）に蓄積さ
れている工場運用ライブラリＭ１を読み出し、図２１に
示す外部記憶装置３４に格納する。この処理は、図１９
に示す通信制御装置１６及び図２１に示す通信制御装置
４２を介して行われる。端末３２は、コンピュータ３０
の管理の基に、工場運用ライブラリＭ１から必要なオペ
レーションを読み出し、カスタマイズしていく。この処
理の途中では、記憶装置４０を作業領域として使用し、
カスタマイズが終了した時点でこれを外部記憶装置３４
に転送する。このようにして転送されたものが、前述し
た工場運用ライブラリＭ５になる。
が、前述したライブラリを用いてどのようにカスタマイ
ズし運用まで至る処理について説明する。なお、以下の
例では、図２０に示すステップＳ１４からステップＳ１
８までの処理を工場側で行うものとする。まず、図２１
に示す端末３２のうちいずれかを用いて、ホストコンピ
ュータシステムの外部記憶装置１４（図１９）に蓄積さ
れている工場運用ライブラリＭ１を読み出し、図２１に
示す外部記憶装置３４に格納する。この処理は、図１９
に示す通信制御装置１６及び図２１に示す通信制御装置
４２を介して行われる。端末３２は、コンピュータ３０
の管理の基に、工場運用ライブラリＭ１から必要なオペ
レーションを読み出し、カスタマイズしていく。この処
理の途中では、記憶装置４０を作業領域として使用し、
カスタマイズが終了した時点でこれを外部記憶装置３４
に転送する。このようにして転送されたものが、前述し
た工場運用ライブラリＭ５になる。
【００４８】また、端末３２からホストコンピュータシ
ステムの外部記憶装置３４にアクセスして、ここから機
能コンポーネントライブラリＭ４を参照し、前述したよ
うにして工場システム計画書Ｍ６を作成し、外部記憶装
置３４に格納する。更に、端末３２から、ホストコンピ
ュータシステムの外部記憶装置１４に格納された装置別
運用仕様書Ｍ２及び外部記憶装置３４に格納された工場
運用仕様書を読み出し、これを参照して作業指導書Ｍ７
を作成し、外部記憶装置３４に格納する。更に、工場シ
ステム計画書Ｍ６を参照して、システム動作テスト仕様
書Ｍ８を作成し、外部記憶装置３４に格納する。
ステムの外部記憶装置３４にアクセスして、ここから機
能コンポーネントライブラリＭ４を参照し、前述したよ
うにして工場システム計画書Ｍ６を作成し、外部記憶装
置３４に格納する。更に、端末３２から、ホストコンピ
ュータシステムの外部記憶装置１４に格納された装置別
運用仕様書Ｍ２及び外部記憶装置３４に格納された工場
運用仕様書を読み出し、これを参照して作業指導書Ｍ７
を作成し、外部記憶装置３４に格納する。更に、工場シ
ステム計画書Ｍ６を参照して、システム動作テスト仕様
書Ｍ８を作成し、外部記憶装置３４に格納する。
【００４９】いま、図２３に示す酸化装置＃１、エッチ
ング装置＃２及び成膜装置＃３のそれぞれの装置別運用
仕様書Ｍ２に変更がない場合には、図２３に示すコント
ローラ５８と６０のソフトウェアをそのまま立ち上げ
る。また、カスタマイズする必要がある場合には、端末
３２からコントローラ５８、６０経由でプログラムをカ
スタマイズする（例えば、装置固有のパラメータの設
定）。この時に例えば作業指導書Ｍ７を参照する。な
お、ある装置が新規のものでり、対応する装置別運用仕
様書Ｍ２がない場合の処理については後述する。
ング装置＃２及び成膜装置＃３のそれぞれの装置別運用
仕様書Ｍ２に変更がない場合には、図２３に示すコント
ローラ５８と６０のソフトウェアをそのまま立ち上げ
る。また、カスタマイズする必要がある場合には、端末
３２からコントローラ５８、６０経由でプログラムをカ
スタマイズする（例えば、装置固有のパラメータの設
定）。この時に例えば作業指導書Ｍ７を参照する。な
お、ある装置が新規のものでり、対応する装置別運用仕
様書Ｍ２がない場合の処理については後述する。
【００５０】また、工場システム計画書Ｍ６及びシステ
ム動作テスト仕様書Ｍ８を参照し、端末３２から当該工
場に必要な機能コンポーネント（プログラム）をホスト
コンピュータシステムの外部記憶装置１４に格納された
機能コンポーネントライブラリＭ４を読み出し、図２１
に示す外部記憶装置３４に格納する。この機能コンポー
ネントが図３０に示すコンピュータ３０で実行されるこ
とにより、図２２に示す歩留り管理機能６８、スペック
管理機能７０及び進捗管理機能７６が実現される。その
後、所定のテストを行い、運用に入る。なお、前述した
ように、これらの管理機能は図１３を参照して説明した
メッセージインタフェースを有する。従って、端末３２
から例えば図１３に示す入力情報としてロッドＩＤが入
力されると、これがルールサーバ５６、データマネージ
ャ５２を介してスペック管理機能７０に伝わり、スペッ
ク管理機能７０はデータマネージャ５２及びサーバ７２
を介して必要なデータを入手し、ルールサーバ５６を介
してこの端末に出力情報を出力する。
ム動作テスト仕様書Ｍ８を参照し、端末３２から当該工
場に必要な機能コンポーネント（プログラム）をホスト
コンピュータシステムの外部記憶装置１４に格納された
機能コンポーネントライブラリＭ４を読み出し、図２１
に示す外部記憶装置３４に格納する。この機能コンポー
ネントが図３０に示すコンピュータ３０で実行されるこ
とにより、図２２に示す歩留り管理機能６８、スペック
管理機能７０及び進捗管理機能７６が実現される。その
後、所定のテストを行い、運用に入る。なお、前述した
ように、これらの管理機能は図１３を参照して説明した
メッセージインタフェースを有する。従って、端末３２
から例えば図１３に示す入力情報としてロッドＩＤが入
力されると、これがルールサーバ５６、データマネージ
ャ５２を介してスペック管理機能７０に伝わり、スペッ
ク管理機能７０はデータマネージャ５２及びサーバ７２
を介して必要なデータを入手し、ルールサーバ５６を介
してこの端末に出力情報を出力する。
【００５１】このように、工場の運用に係る共通部分を
共通化し、それを各工場向けにカスタマイズすること
で、容易かつ効率的に工場を新設することができる。例
えば、このカスタマイズにより新規工場の立ち上げのみ
ならず、既存工場のシステムに新たな運用を容易に定義
することができる。以上の説明は、既に蓄積されている
工場運用ライブラリＭ１、装置別運用仕様書Ｍ２、機能
仕様書Ｍ３、機能コンポーネントライブラリＭ４をカス
タマイズするものであったが、ある工場が新規な装置等
を導入して、これに対応する工場運用ライブラリＭ１や
装置別運用仕様書Ｍ２がライブラリ化されていない場合
について説明する。
共通化し、それを各工場向けにカスタマイズすること
で、容易かつ効率的に工場を新設することができる。例
えば、このカスタマイズにより新規工場の立ち上げのみ
ならず、既存工場のシステムに新たな運用を容易に定義
することができる。以上の説明は、既に蓄積されている
工場運用ライブラリＭ１、装置別運用仕様書Ｍ２、機能
仕様書Ｍ３、機能コンポーネントライブラリＭ４をカス
タマイズするものであったが、ある工場が新規な装置等
を導入して、これに対応する工場運用ライブラリＭ１や
装置別運用仕様書Ｍ２がライブラリ化されていない場合
について説明する。
【００５２】図２４は、上記の場合に前述したホストコ
ンピュータシステムで実行される手順を示すフローチャ
ートである。このフローチャートは図１９に示す記憶装
置２０に記憶され、端末１２からの要求に従いホストコ
ンピュータ１０で実行される。まず、ステップＳ２０で
新工場で使用する装置や生産する品種を決定し、ステッ
プＳ２１で外部記憶装置１４にアクセスして装置別運用
仕様書Ｍ２を検索する。ステップＳ２０で決定した装置
に該当する装置別運用仕様書Ｍ２があるかどうかをステ
ップＳ２２で判断する。ＹＥＳの場合にはステップＳ２
３に進み、ＮＯの場合には図２５に示すステップＳ２７
を実行する。ステップＳ２７では前述したようにして装
置別運用仕様書Ｍ２を作成して、外部記憶装置１４に格
納する。そしてステップＳ２３に進む。ステップＳ２３
で、外部記憶装置１４にアクセスして工場運用ライブラ
リＭ１を検索する。そして、ステップＳ２４で、ステッ
プＳ２０で決定した運用に該当する運用があるかどうか
を判断する。ＹＥＳの場合にはステップＳ２５に進み、
ＮＯの場合には図２６に示すステップＳ２８に進む。ス
テップＳ２８で新規運用を作成し、これを用いてステッ
プＳ２９で工場運用ライブラリＭ１を改訂し、外部記憶
装置１４に格納する。そして、ステップＳ２５に進む。
ステップＳ２５では、外部記憶装置１４に格納されてい
る機能コンポーネントライブラリＭ４を検索し、ステッ
プＳ２６でステップＳ２０で決定した機能コンポーネン
トが存在しているかどうかを判断する。ＹＥＳの場合に
は処理を終了し、ＮＯの場合には図２７に示すステップ
Ｓ３０に進む。ステップＳ３０では、要求されている新
たな機能の機能仕様書Ｍ３を作成し、ステップＳ３１で
これに従う機能コンポーネントライブラリＭ４を作成
し、外部記憶装置１４に格納する。
ンピュータシステムで実行される手順を示すフローチャ
ートである。このフローチャートは図１９に示す記憶装
置２０に記憶され、端末１２からの要求に従いホストコ
ンピュータ１０で実行される。まず、ステップＳ２０で
新工場で使用する装置や生産する品種を決定し、ステッ
プＳ２１で外部記憶装置１４にアクセスして装置別運用
仕様書Ｍ２を検索する。ステップＳ２０で決定した装置
に該当する装置別運用仕様書Ｍ２があるかどうかをステ
ップＳ２２で判断する。ＹＥＳの場合にはステップＳ２
３に進み、ＮＯの場合には図２５に示すステップＳ２７
を実行する。ステップＳ２７では前述したようにして装
置別運用仕様書Ｍ２を作成して、外部記憶装置１４に格
納する。そしてステップＳ２３に進む。ステップＳ２３
で、外部記憶装置１４にアクセスして工場運用ライブラ
リＭ１を検索する。そして、ステップＳ２４で、ステッ
プＳ２０で決定した運用に該当する運用があるかどうか
を判断する。ＹＥＳの場合にはステップＳ２５に進み、
ＮＯの場合には図２６に示すステップＳ２８に進む。ス
テップＳ２８で新規運用を作成し、これを用いてステッ
プＳ２９で工場運用ライブラリＭ１を改訂し、外部記憶
装置１４に格納する。そして、ステップＳ２５に進む。
ステップＳ２５では、外部記憶装置１４に格納されてい
る機能コンポーネントライブラリＭ４を検索し、ステッ
プＳ２６でステップＳ２０で決定した機能コンポーネン
トが存在しているかどうかを判断する。ＹＥＳの場合に
は処理を終了し、ＮＯの場合には図２７に示すステップ
Ｓ３０に進む。ステップＳ３０では、要求されている新
たな機能の機能仕様書Ｍ３を作成し、ステップＳ３１で
これに従う機能コンポーネントライブラリＭ４を作成
し、外部記憶装置１４に格納する。
【００５３】以上の処理により、新工場に必要な情報が
ライブラリ化されたので、図２０を参照して前述したよ
うにして、新工場向けカスタマイズを行う。なお、図２
４に示す検索の順番はこれに限定されず、任意の順番と
することができる。また、図２４では一連の手順として
示されているが、ステップＳ２１、Ｓ２３、Ｓ２５をそ
れぞれ独立したものとしても良い。
ライブラリ化されたので、図２０を参照して前述したよ
うにして、新工場向けカスタマイズを行う。なお、図２
４に示す検索の順番はこれに限定されず、任意の順番と
することができる。また、図２４では一連の手順として
示されているが、ステップＳ２１、Ｓ２３、Ｓ２５をそ
れぞれ独立したものとしても良い。
【００５４】このように、新たに工場を建設する場合の
みならず、既存工場をリニューアルする場合でもこれら
の運用に関する要求を効率的に処理し共通化しカスタマ
イズすることで、容易に効率良くシステム設計や立ち上
げを行うことができるようになる。
みならず、既存工場をリニューアルする場合でもこれら
の運用に関する要求を効率的に処理し共通化しカスタマ
イズすることで、容易に効率良くシステム設計や立ち上
げを行うことができるようになる。
【００５５】
【発明の効果】請求項１、７及び１３に記載の発明によ
れば、運用を管理と作業の観点から記述することは、使
用する装置や条件でプロセスの各工程を記述するのでは
なく、各工程で行われる作業とこれに関する管理すべき
事項とを考慮したものである。従って、ライブラリ化が
容易になるとともに、これをベースに容易にカスタマイ
ズ化が可能になる。また、工場で要求される機能を実現
するプログラムを予めライブラリ化しておくことで、必
要な機能のみを選択して用いることができ、容易に要求
される機能を提供できる。この結果、各工場の運用を共
通化、標準化することができ、各工場で使用される装置
や機能を共通化することができる。よって、メンテナン
スも容易になる。
れば、運用を管理と作業の観点から記述することは、使
用する装置や条件でプロセスの各工程を記述するのでは
なく、各工程で行われる作業とこれに関する管理すべき
事項とを考慮したものである。従って、ライブラリ化が
容易になるとともに、これをベースに容易にカスタマイ
ズ化が可能になる。また、工場で要求される機能を実現
するプログラムを予めライブラリ化しておくことで、必
要な機能のみを選択して用いることができ、容易に要求
される機能を提供できる。この結果、各工場の運用を共
通化、標準化することができ、各工場で使用される装置
や機能を共通化することができる。よって、メンテナン
スも容易になる。
【００５６】請求項２及び８に記載の発明によれば、オ
ペレーションユニットという管理又は作業の基本単位で
これらを記述しライブラリ化するので、ライブラリ化が
容易であるとともに、これを任意に組み合わせて（カス
タマイズ）各工場で要求される運用を容易に記述するこ
とができる。請求項３又は９に記載の発明によれば、ラ
イブラリ化された情報の中から開発しようとするシステ
ムの運用に関係する情報を選択し更にカスタマイズする
ので、ある工場内のシステムの運用を規定する工場運用
仕様書を容易かつ効率的に得ることができる。
ペレーションユニットという管理又は作業の基本単位で
これらを記述しライブラリ化するので、ライブラリ化が
容易であるとともに、これを任意に組み合わせて（カス
タマイズ）各工場で要求される運用を容易に記述するこ
とができる。請求項３又は９に記載の発明によれば、ラ
イブラリ化された情報の中から開発しようとするシステ
ムの運用に関係する情報を選択し更にカスタマイズする
ので、ある工場内のシステムの運用を規定する工場運用
仕様書を容易かつ効率的に得ることができる。
【００５７】請求項４又は１０に記載の発明によれば、
ライブラリ化された複数の機能の中から開発しようとす
るシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイズ
するので、当該システムに必要な機能を容易かつ効率的
に得ることができる。請求項５又は１１に記載の発明に
よれば、ライブラリ化されていない運用をライブラリに
追加することで、例えば既存工場の運用をベースに新た
な工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例え
ばバージョンアップ）することが容易かつ効率的にがで
きるようになる。
ライブラリ化された複数の機能の中から開発しようとす
るシステムに要求される機能を選択し更にカスタマイズ
するので、当該システムに必要な機能を容易かつ効率的
に得ることができる。請求項５又は１１に記載の発明に
よれば、ライブラリ化されていない運用をライブラリに
追加することで、例えば既存工場の運用をベースに新た
な工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例え
ばバージョンアップ）することが容易かつ効率的にがで
きるようになる。
【００５８】請求項６又は１２に記載の発明によれば、
共通のフォーマットを利用することで、カスタマイズ化
が容易となり、例えば既存工場の運用をベースに新たな
工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例えば
バージョンアップ）することが容易かつ効率的にができ
るようになる。
共通のフォーマットを利用することで、カスタマイズ化
が容易となり、例えば既存工場の運用をベースに新たな
工場を構築することや、既存工場の運用を変更（例えば
バージョンアップ）することが容易かつ効率的にができ
るようになる。
【図１】本発明の原理を示す図である。
【図２】本発明で使用される工場運用ライブラリの構成
を示す図である。
を示す図である。
【図３】工場運用ライブラリ及び工場運用仕様書のフォ
ーマットを示す図である。
ーマットを示す図である。
【図４】工場運用ライブラリの一例（その１）を示す図
である。
である。
【図５】工場運用ライブラリの一例（その２）を示す図
である。
である。
【図６】工場運用ライブラリの一例（その３）を示す図
である。
である。
【図７】工場運用ライブラリの一例（その４）を示す図
である。
である。
【図８】工場運用ライブラリの一例（その５）を示す図
である。
である。
【図９】工場運用ライブラリの一例（その６）を示す図
である。
である。
【図１０】工場運用ライブラリの一例（その７）を示す
図である。
図である。
【図１１】装置別運用仕様書の一例（その１）を示す図
である。
である。
【図１２】装置別運用仕様書の一例（その２）を示す図
である。
である。
【図１３】装置別運用仕様書の一例（その３）を示す図
である。
である。
【図１４】機能仕様書の一例を示す図である。
【図１５】工場運用仕様書の一例（その１）を示す図で
ある。
ある。
【図１６】工場運用仕様書の一例（その２）を示す図で
ある。
ある。
【図１７】工場運用仕様書の一例（その３）を示す図で
ある。
ある。
【図１８】工場運用仕様書の一例（その４）を示す図で
ある。
ある。
【図１９】本発明を実施するために使用するホストコン
ピュータシステムの一構成例を示すブロック図である。
ピュータシステムの一構成例を示すブロック図である。
【図２０】図１９に示すホストコンピュータシステムで
実施可能な共通化及びカスタマイズ化のフローチャート
を示す図である。
実施可能な共通化及びカスタマイズ化のフローチャート
を示す図である。
【図２１】各工場に設けられるコンピュータシステムの
一構成例を示すブロック図である。
一構成例を示すブロック図である。
【図２２】図２１に示すコンピュータシステムの機能を
中心にその構成を示すブロック図である。
中心にその構成を示すブロック図である。
【図２３】図２１に示すコンピュータシステムの一部を
詳細に示すブロック図である。
詳細に示すブロック図である。
【図２４】ライブラリ化されていない情報をライブラリ
化するための手順を示すフローチャートである。
化するための手順を示すフローチャートである。
【図２５】図２４に示すフローチャートから呼び出され
る処理（その１）を示す図である。
る処理（その１）を示す図である。
【図２６】図２４に示すフローチャートから呼び出され
る処理を示す図（その２）である。
る処理を示す図（その２）である。
【図２７】図２４に示すフローチャートから呼び出され
る処理を示す図（その３）である。
る処理を示す図（その３）である。
Ｍ１ 工場運用ライブラリ Ｍ２ 装置別運用仕様書 Ｍ３ 機能仕様書 Ｍ４ 機能コンポーネントライブラリ Ｍ５ 工場運用仕様書 Ｍ６ 工場システム計画書 Ｍ７ 作業指導書 Ｍ８ システム動作テスト仕様書 １０ ホストコンピュータ １２ 端末 １４ 外部記憶装置 １６ 通信制御装置 １８ バス ２０ 記憶装置 ３０ コンピュータ ３２ 端末 ３４ 外部記憶装置 ３６ 通信制御装置 ３８ バス ４０ 記憶装置 ４２ 通信制御装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 前沢 広明 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 儀賀 愛博 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 林 未実子 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 河野 聡 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 村田 昌之 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 泉川 文恵 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 竹下 公哉 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内 (72)発明者 勝木 修太郎 神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番 １号 富士通株式会社内
Claims (13)
- 【請求項１】 システムの開発を支援する装置におい
て、 システムの標準的な運用を管理と作業の観点から区分け
してライブラリ化する第１の手段と、 ライブラリ化された情報を参照して、システムで実行可
能な所定の複数の機能に対応するプログラムをライブラ
リ化する第２の手段とを有することを特徴とするシステ
ム開発支援装置。 - 【請求項２】 前記第１の手段は、管理又は作業の基本
単位であるオペレーションユニットでシステムの標準的
な運用をライブラリ化することを特徴とする請求項１記
載のシステム開発支援装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載のシステム開発支援
装置は更に、前記第１の手段でライブラリ化された情報
の中から開発しようとするシステムの運用に関係する情
報を選択し更にカスタマイズすることで、当該システム
の運用を規定する工場運用仕様書を作成する第３の手段
を有することを特徴とするシステム開発支援装置。 - 【請求項４】 請求項１又は２記載のシステム開発支援
装置は更に、前記第２の手段でライブラリ化された複数
の機能の中から開発しようとするシステムに要求される
機能を選択し更にカスタマイズすることで、当該システ
ムに必要な機能を得る第４の手段を有することを特徴と
するシステム開発支援装置。 - 【請求項５】 請求項１又は２記載のシステム開発支援
装置は更に、前記第１の手段でライブラリ化された情報
の中に開発しようとするシステムの運用に関係する情報
が存在しない場合には、当該システムの運用をライブラ
リ化に加える第５の手段を有することを特徴とするシス
テム開発支援装置。 - 【請求項６】 前記工場運用ライブラリと前記工場運用
仕様書とは共通のフォーマットを有することを特徴とす
る請求項３記載のシステム開発支援装置。 - 【請求項７】 システムの開発を支援する方法におい
て、 システムの標準的な運用を管理と作業の観点から区分け
してライブラリ化する第１の工程と、 ライブラリ化された情報を参照して、システムで実行可
能な所定の複数の機能に対応するプログラムをライブラ
リ化する第２の工程とを有することを特徴とするシステ
ム開発支援方法。 - 【請求項８】 前記第１の工程は、管理又は作業の基本
単位であるオペレーションユニットでシステムの標準的
な運用をライブラリ化することを特徴とする請求項７記
載のシステム開発支援方法。 - 【請求項９】 請求項７又は８記載のシステム開発支援
方法は更に、前記第１の工程でライブラリ化された情報
の中から開発しようとするシステムの運用に関係する情
報を選択し更にカスタマイズすることで、当該システム
の運用を規定する工場運用仕様書を作成する第３の工程
を有することを特徴とするシステム開発支援方法。 - 【請求項１０】 請求項７又は８記載のシステム開発支
援方法は更に、前記第２の工程でライブラリ化された複
数の機能の中から開発しようとするシステムに要求され
る機能を選択し更にカスタマイズすることで、当該シス
テムに必要な機能を得る第４の工程を有することを特徴
とするシステム開発支援方法。 - 【請求項１１】 請求項７又は８記載のシステム開発支
援方法は更に、前記第１の工程でライブラリ化された情
報の中に開発しようとするシステムの運用に関係する情
報が存在しない場合には、当該システムの運用をライブ
ラリに加える第５の工程を有することを特徴とするシス
テム開発支援方法。 - 【請求項１２】 前記工場運用ライブラリと前記工場運
用仕様書とは共通のフォーマットを有することを特徴と
する請求項９記載のシステム開発支援方法。 - 【請求項１３】 システムの開発を支援するためのコン
ピュータ読み取り可能な記録媒体において、 システムの標準的な運用を管理と作業の観点から区分け
してライブラリ化させる第１の手段と、 ライブラリ化された情報を参照して、システムで実行可
能な所定の複数の機能に対応するプログラムをライブラ
リ化させる第２の手段とを有することを特徴とするコン
ピュータ読み取り可能な記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35167397A JPH11184903A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | システム開発支援装置及び方法並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
| US09/141,014 US6370440B2 (en) | 1997-12-19 | 1998-08-27 | Device and method for supporting system development and computer-readable medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35167397A JPH11184903A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | システム開発支援装置及び方法並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11184903A true JPH11184903A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18418853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35167397A Pending JPH11184903A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | システム開発支援装置及び方法並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6370440B2 (ja) |
| JP (1) | JPH11184903A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2001259151A1 (en) * | 2000-04-25 | 2001-11-07 | Pri Automation, Inc. | Reticle management system |
| JPWO2003005423A1 (ja) * | 2001-07-04 | 2004-10-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板の処理装置 |
| US6871113B1 (en) * | 2002-11-26 | 2005-03-22 | Advanced Micro Devices, Inc. | Real time dispatcher application program interface |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5357440A (en) * | 1991-02-26 | 1994-10-18 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for aiding system design |
| JP2828526B2 (ja) * | 1991-06-20 | 1998-11-25 | 三菱電機株式会社 | 生産ラインの制御情報自動生成方式 |
| US5671415A (en) * | 1992-12-07 | 1997-09-23 | The Dow Chemical Company | System and method for facilitating software development |
| US5638539A (en) * | 1994-02-28 | 1997-06-10 | International Business Machines Corporation | Tool for defining complex systems |
| US5500802A (en) * | 1994-05-31 | 1996-03-19 | Morris; James M. | System and method for creating configurators using templates |
| US5812394A (en) * | 1995-07-21 | 1998-09-22 | Control Systems International | Object-oriented computer program, system, and method for developing control schemes for facilities |
| US6185469B1 (en) * | 1997-05-28 | 2001-02-06 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Method and apparatus for testing and controlling a flexible manufacturing system |
-
1997
- 1997-12-19 JP JP35167397A patent/JPH11184903A/ja active Pending
-
1998
- 1998-08-27 US US09/141,014 patent/US6370440B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6370440B2 (en) | 2002-04-09 |
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