JPH1140469A - リソグラフィシステム及びその作業管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 作業の手間や作業時間を削減して作業者負荷
の低減する。 【解決手段】 マイクロデバイスを製造するリソグラフ
ィ工程で用いられる複数台の製造装置と、複数台の製造
装置を統括管理する上位コンピュータとを有し、複数台
の製造装置の各々に対する作業者の実行可能な作業を上
位コンピュータが管理する構成とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複数台の露光装置
及び／又はコータ・デベロッパー等を使用するリソグラ
フィ・システムにおける製造装置の各種制御及び各情報
の管理を、上位コンピュータとしてのホストコンピュー
タが自動的に行うシステムに関するものである。特に、
様々な作業者がいる作業現場の中で、各作業者毎に製造
装置に対して実行可能な作業内容をホストコンピュータ
が管理することができるリソグラフィシステム及びその
作業管理方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体デバイスや液晶デバイスの製造工
程には、通常リソグラフィ工程と呼ばれる工程が含まれ
ている。多くの場合、このリソグラフィ工程とは、光学
的なものを意味し、半導体ウエハやガラスプレート上に
感光剤（フォトレジスト）を１μｍ程度の厚みで塗布す
ることから始まり、そのレジスト層に対してマスクパタ
ーンを露光した後に現像することで終了する。一般的
に、このリソグラフィー工程においては、レジストを基
板に塗布する工程と、露光後の基板を現像する工程と
は、専らコータ・デベロッパーと呼ばれる装置で処理さ
れる。また、露光するための装置としては、レジストが
塗布された基板に対してマスクが形成されたパターン
を、精密にアライメントした後に所定の解像力で転写す
る露光装置が使用される。現在のデバイスを量産する製
造ラインでは、複数台の露光装置やコータ・デベロッパ
ーが並行して使用されている。この場合、各露光装置
（及びコータ・デベロッパー）の稼働率、製造ライン全
体における効率等を高める必要があるため、製造ライン
を構成する複数台の露光装置はそれぞれ、各露光装置に
対して上位の関係にあるコンピュータ（例えば、ホスト
コンピュータ等で、以下ホストコンピュータを例に挙げ
て説明する。）によって統括制御されている。ところ
で、このホストコンピュータによって統括制御されてい
る各露光装置に対して作業する作業者には様々な作業者
レベルの者が存在する。この作業者レベルは、作業の役
割・熟練度等によって分類されるレベルであり（詳細
は、後述する。）、一般的に、露光装置の設計者と、露
光装置を使って製品を製造する製造者とで作業レベルは
異なる。この作業レベルの異なる者に対して、露光装置
への実行可能な作業内容を区別する必要がある。これ
は、例えば露光装置を設計する設計者のみが本来実行す
べき装置固有の設定パラメータの変更作業等を、製造者
が誤って作業してしまうことによって露光装置を誤作動
させたり、不良製品を発生させたりすること等を防止す
るためである。従来、作業者レベルの異なる者に対し
て、露光装置への実行可能な作業を区別することは、各
露光装置毎に行われていた。以下に、図２を用いて作業
者レベルの異なる者毎に、露光装置への実行が可能な作
業（以下、適宜実行可能作業と称す。）を区別する従来
の構成を説明する。図２は、ホストコンピュータに統括
制御されている複数台の露光装置のうちの１台を示すも
のである。この露光装置ＥＸＰは、ホストコンピュータ
との送受信や当該露光装置内をローカルに制御する制御
部１００と、ホストコンピュータから受信した情報や作
業者レベルに応じた実行可能作業が記憶されたメモリ１
１０と、作業者の入力端末としての入力部１２０と、作
業者に対して実行可能な作業内容を表示する表示部とし
てのＣＲＴ１３０とを有している。作業者は、これらの
構成を有する露光装置に対して作業を行う際、まず入力
部１２０に作業者を識別するための情報（以下、作業者
識別情報と称す。）として自分の作業レベルを入力す
る。入力部１２０は、作業者の入力した作業者レベルを
制御部１００に出力する。制御部１００は、入力された
作業者レベルに対応した作業内容をメモリ１１０から読
み出す。つまり、メモリ１１０から読み出されたこの作
業内容が当該作業者の実行可能作業である。そして、制
御部１００は、その読み出した作業内容をＣＲＴ１３０
に表示する。作業者は、ＣＲＴ１３０に表示された作業
内容（実行可能作業）から作業内容を選択して作業を行
う。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
は作業者レベルの異なる者に対する露光装置への実行可
能作業の区別を各露光装置内の制御部で行っていた。そ
して、作業者レベルに対応する実行可能作業について修
正や追加等の変更を行う場合、各露光装置内のメモリに
記憶された実行可能作業を、複数の露光装置で各々独立
して変更していた。そのため、ある一台の露光装置で変
更された実行可能作業を他のすべての露光装置に対して
同様の変更を行なわなければならず、作業量が増加する
という不都合が生じていた。さらに、近年露光装置は高
い処理能力（スループット）や高精度な露光がより一層
要求されており、露光装置の機能も多種多様となってき
ている。従って、その多種多様な機能を有する露光装置
がリソグラフィシステムに加えられていくにしたがっ
て、作業者の作業内容も複雑化し、作業者レベルに対応
する実行可能作業を詳細にかつ頻繁に変更する必要が生
じてきている。このため、作業者レベルに対応した実行
可能作業の変更を、各露光装置毎に独立して変更するこ
とは、作業の手間を一層増加させている。本発明は、半
導体素子などのマイクロデバイスを製造するリソグラフ
ィ工程で用いられる複数の製造装置の稼働率を向上させ
ることができるリソグラフィシステム及びその作業管理
方法を提供することを目的としている。また、本発明は
そのリソグラフィ工程のデバイス製造のスループット、
処理能力及び歩留まりを向上させることができるリソグ
ラフィシステム及びその作業管理方法を提供することを
目的としている。さらに、本発明は、作業者の負荷を低
減できるリソグラフィシステム及びその作業管理方法を
提供することを目的としている。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本願発明は、上記不都合
を解決するために、各露光装置を統括管理する上位のコ
ンピュータが作業者レベルに対応した実行可能作業を管
理することとした。そして、この実行可能作業を変更す
る場合には上位のコンピュータが管理している内容に変
更を加えることとした。これにより、作業者レベルに対
応した実行可能作業を変更する場合でもすべての露光装
置に対して変更を行う作業が不要となる。かかる解決原
理により本発明は以下の構成を有する。

【０００５】第１の発明（請求項１）のリソグラフィシ
ステムは、マイクロデバイスを製造するリソグラフィ工
程で用いられる複数台の製造装置と、複数台の製造装置
を統括管理する上位コンピュータとを有し、複数台の製
造装置の各々に対する作業者の実行可能な作業を上位コ
ンピュータが管理する構成とした。この発明によれば、
装置毎に独立して作業内容を設定や変更をする必要がな
く、各製造装置毎の記憶容量を削減することができると
ともに、作業者における作業の手間や時間を削減するこ
とができる。第２の発明（請求項２）のリソグラフィシ
ステムは、複数台の製造装置が、所定波長域の光を感光
基板に照射して露光装置、及び感光基板に対して感光剤
を塗布及び現像を行うコータ・デベロッパーの少なくと
も一方を含む構成とした。この発明によれば、基板に対
して感光剤を塗布、露光そして現像を各々行う製造装置
を含むデバイスの製造ラインにおいても同様に各々の製
造装置毎に独立して作業内容を設定や変更をする必要が
なくなり、作業時間の短縮等を図ることができる。第３
の発明（請求項３）のリソグラフィシステムの作業管理
方法は、マイクロデバイスを製造するリソグラフィ工程
で用いられる複数台の製造装置を統括管理する上位コン
ピュータに対して、複数台の製造装置の１つを操作する
作業者の識別情報を入力し、入力された識別情報に基づ
いて、上位コンピュータが、１つの製造装置に対して作
業者が実行可能な作業を決定し、１つの製造装置に対し
て決定された作業を出力し、１つの製造装置では、出力
された作業のみが作業者によって実行される構成とし
た。この発明によれば、マイクロデバイスを製造するリ
ソグラフィ工程で使用される複数台の製造装置の各々に
おいて、実行可能な作業を作業者毎又はその作業者のレ
ベル毎に上位のコンピュータが統括的に管理するので、
製造装置毎に独立して作業内容を設定や変更をする必要
がなくなり、誤入力等によるリソグラフィシステムの生
産効率や歩留まりの低下の低下を防ぐことができる。第
４の発明（請求項４）のリソグラフィシステムの作業管
理方法は、識別情報は、1つの製造装置に対して出力さ
れ、１つの製造装置は、当該装置の識別情報と入力され
た作業者の識別情報とを上位コンピュータに出力する構
成とした。この発明によれば、複数の製造装置に各々作
業者レベル毎の実行可能作業を登録しておき、各装置の
制御部が作業者レベル毎に実行可能作業を判断する必要
がないので、作業内容の変更と並行してその制御部が各
種の処理（計算等）を実行でき、稼働率の向上を図るこ
とができ、デバイス製造のコスト削減、スループットの
向上が可能となる。第５の発明（請求項５）のリソグラ
フィシステムの作業管理方法は、１つの製造装置が、作
業者によって変更される決定された作業の内容を上位コ
ンピュータに出力し、上位コンピュータは、出力された
内容に基づいて、複数台の製造装置のうち１つの製造装
置と同種の製造装置の作業内容をも変更する構成とし
た。本発明によれば、作業者が複数の製造装置の１つに
対して行った作業内容の変更が、作業者の介在なしに、
その１つの製造装置と同種の他の装置でも同種に実行さ
れるので、作業者の負担の軽減、誤入力の防止、システ
ム全体の稼働率、処理能力、及び歩留まりの向上等を図
ることができる。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図１
を用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態に係る
リソグラフィシステムの全体構成を概略的に表す図であ
る。図１のリソグラフィシステムは、ｎ台の露光装置
（ＥＸＰ１〜ＥＸＰｎ）を有し、各露光装置（ＥＸＰ１
〜ＥＸＰｎ）は、制御部Ｃ１〜Ｃｎ、入力部Ｐ１〜Ｐｎ
及び表示部としてのＣＲＴ１〜ＣＲＴｎとから構成され
ている。また、各露光装置（ＥＸＰ１〜ＥＸＰｎ）の上
位のコンピュータとしてのホストコンピュータＨ-ＣＯ
Ｍは、各露光装置と結合し、各露光装置を統括的に管理
している。ホストコンピュータＨ-ＣＯＭが統括的に管
理しているものとして、例えば露光装置の処理条件や処
理状況或いは、露光装置間でのウエハの移送やレチクル
の移送等がある。さらに、本発明では、各露光装置に対
して作業する作業者の作業者レベルに対応した実行可能
作業をも管理する。ホストコンピュータＨ-ＣＯＭのメ
モリ５０は、これらの管理情報を記憶する。ホストコン
ピュータＨ-ＣＯＭ及びｎ台の露光装置の各々とは、各
々ＲＳ２３２Ｃ回線等の通信機能を備えている。従っ
て、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭは、ｎ台の露光装置
の各制御部Ｃ１〜Ｃｎに対して、例えば所定レチクルを
使った所定ウエハへの露光処理を実行させる指令等をＲ
Ｓ２３２Ｃ回線を利用して送信することが可能である。
次に、上記ホストコンピュータＨ-ＣＯＭとｎ台の露光
装置（ＥＸＰ１〜ＥＸＰｎ）とで構成されるリソグラフ
ィシステムにおいて、作業者が自己の作業レベルに応じ
た実行可能作業を行う工程と、作業者レベルに対応した
実行可能作業を変更する処理工程とを以下に説明する。
まず、作業者はホストコンピュータＨ-ＣＯＭの管理下
にあるｎ台の露光装置の１つ（例えば露光装置ＥＸＰ
１）で作業を行うとき、露光装置ＥＸＰ１に備えられた
入力部Ｐ１に対して自己の作業者レベルを入力する。こ
の入力部Ｐ１は、例えばキーボード、タッチパネル、或
いはバーコードリーダのような入力機器から構成され
る。なお、作業者は、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭが
キーボード等の入力機器を備えることにより、ホストコ
ンピュータＨ-ＣＯＭへ直接その作業者レベルを入力す
ることも可能である。ここで、作業者レベルについて説
明する。作業者レベルとは、作業の熟練度若しくは役割
で定められ、作業者の段階的な程度であり、例えばシス
テムエンジニア、プロダクションエンジニア及びサービ
スエンジニア等の作業者レベルに分類される。以下、シ
ステムエンジニア、プロダクションエンジニア及びサー
ビスエンジニアの作業レベルについて説明する。システ
ムエンジニアとは、露光装置のシステムを構築するエン
ジニアであって、いわゆる設計者と呼ばれる者がこの作
業者レベルに対応する。このシステムエンジニアは、実
験、研究、納入前評価のために露光装置を動作させ、例
えば露光装置の露光処理速度（スループット）の計測や
露光装置を覆うチャンバ内の空気揺らぎの測定等の作業
を行う。従って、システムエンジニアは、一般的に露光
装置メーカー側の者である。プロダクションエンジニア
とは、所定の製品を製造するための条件を決定する者で
あって、いわゆる製造者と呼ばれる者がこの作業者レベ
ルに対応する。このプロダクションエンジニアは、オー
トフォーカスセンサ等のキャリブレーション、装置の経
時的な変化に対応した露光処理条件等の補正、及び製品
の歩留まりチェック等の作業を行う。従って、プロダク
ションエンジニアは、一般的に露光装置を購入して製品
を製造するデバイスメーカー側の者である。サービスエ
ンジニアとは、露光装置のメンテナンスを行う者であ
り、メンテナンス専用のプログラムに基づき作業を行
う。このメンテナンスには、例えばウエハやレチクルを
搬送する搬送装置が正常に動作しているか否かを調べた
り、許容の精度内でレチクルとウエハとのアライメント
がされているかをチェックする精度出し等がある。従っ
て、サービスエンジニアは、一般的に露光装置を購入し
たユーザーに対してサポートする露光装置メーカー側の
ものである。さて、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭが統
括管理する露光装置ＥＸＰ１に対して作業を行う作業者
は、自己の作業者レベルを作業者識別情報として入力部
Ｐ１へ入力する。作業者がシステムエンジニアの場合、
入力部Ｐ１はキーボードから作業者レベル「システムエ
ンジニア」が打ち込まれる。入力部Ｐ１は、作業者レベ
ルが作業者から入力されると、作業者識別情報として制
御部Ｃ１に出力する。制御部Ｃ１は、入力部Ｐ１で入力
された作業者レベル「システムエンジニア」を作業者識
別情報としてホストコンピュータＨ-ＣＯＭに出力す
る。さらに制御部Ｃ１は、露光装置ＥＸＰ１を識別する
ための情報（例えば型式、搭載されている機能等）もホ
ストコンピュータＨ-ＣＯＭに出力する。ホストコンピ
ュータＨ-ＣＯＭは、この入力された２つの情報に基づ
いてシステムエンジニアが実行可能な作業のすべてをメ
モリ５０から読み出す。なお、作業者レベルが同一でも
露光装置毎に作業の内容が異なることもあり、ホストコ
ンピュータＨ-ＣＯＭは作業者レベルに対応した実行可
能な作業をメモリ５０から読み出す際に、先に入力した
露光装置ＥＸＰ１の識別情報に対応付けられて目盛り５
０に格納された各露光装置毎の前記実行可能な作業を読
み出す。具体例を挙げて説明すると、露光装置ＥＸＰ１
におけるアライメント方式がウエハ上のアライメントマ
ークを投影光学系を介してレチクル上のアライメントマ
ークとともに観察するＴＴＲ（Though The Reticle）方
式のアライメントセンサのみを有し、露光装置ＥＸＰ２
がオフ・アクシス方式のアライメントセンサのみを有す
る場合であって、作業者レベルがシステムエンジニアで
ある作業者が露光装置ＥＸＰ１にてアライメントに関す
る作業を行うとき、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭはシ
ステムエンジニアがＴＴＲセンサのアライメント方式に
おける実行可能作業のみをメモリ５０から読み出す。ア
ライメントに関する作業とは、例えばアライメントマー
クからの検出信号にオフセットを加える等の信号処理等
がある。つまり、メモリ５０は、作業者レベルに応じた
実行可能作業を各露光装置毎に記憶しており、ホストコ
ンピュータＨ-ＣＯＭは、１台の露光装置から入力のあ
った作業者レベルに応じて、その１台の露光装置におけ
る作業者レベルの実行可能作業をメモリ５０から選択的
に読み出す。ホストコンピュータＨ-ＣＯＭは、メモリ
５０から読み出した実行可能作業を露光装置ＥＸＰ１の
制御部Ｐ１に出力する。制御部Ｐ１は、識別情報の入力
を行ったシステムエンジニアの実行可能作業のすべてを
ＣＲＴ１に出力する。ＣＲＴ１は、入力した実行可能作
業を一覧にして表示する。入力部Ｃ１に対して自己の作
業者レベルを入力したシステムエンジニアは、このＣＲ
Ｔ１に表示された実行可能作業を選択することにより、
露光装置に対する作業を実行する。次に作業者レベルに
応じた実行可能作業を、追加や修正等の目的で変更する
処理工程について説明する。前述したように、この作業
者レベルに応じた実行可能作業は、ホストコンピュータ
Ｈ-ＣＯＭのメモリ５０に記憶されている。例えば、シ
ステムエンジニアが自己の作業者レベルに応じた実行可
能作業を変更する場合、このシステムエンジニアはｎ台
のうちの露光装置のうちの一台（例えば、露光装置ＥＸ
Ｐ１）の入力部Ｐ１を用いて、ホストコンピュータＨ-
ＣＯＭのメモリ５０に記憶されている実行可能作業の内
容を変更する。これは、以下の工程で行われる。まず、
入力部Ｐ１は、システムエンジニアに応じた実行可能作
業の内容を変更したい旨の入力があったことを制御部Ｃ
１を介してホストコンピュータＨ-ＣＯＭに出力する。
ホストコンピュータＨ-ＣＯＭは、システムエンジニア
の実行可能作業を、露光装置ＥＸＰ１の識別情報に基づ
いてメモリ５０から読み出し制御部Ｃ１に出力する。制
御部Ｃ１は、ＣＲＴ１に対してホストコンピュータＨ-
ＣＯＭから入力した実行可能作業を出力し、ＣＲＴ１は
この実行可能作業を表示する。システムエンジニアは、
ＣＲＴ１の表示を参照して実行可能作業の変更を入力部
Ｐ１において行う。この変更された実行可能作業は、入
力部Ｐ１から制御部Ｃ１を介してホストコンピュータＨ
-ＣＯＭに出力される。そして、ホストコンピュータＨ-
ＣＯＭは、変更された実行可能作業を入力すると、メモ
リ５０に記憶されている露光装置ＥＸＰ１における実行
可能作業の内容を更新する。なお、この更新に際してホ
ストコンピュータＨ-ＣＯＭは、露光装置ＥＸＰ１にお
けるシステムエンジニアの実行可能作業の更新だけでは
なく、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭが統括管理してい
る他の露光装置における重複作業をも同時に行う。例え
ば、システムエンジニアが露光装置ＥＸＰ１において、
実行可能作業にメンテナンスの一部の作業を追加する変
更を行った場合、他の露光装置ＥＸＰ２〜ＥＸＰｎにつ
いても各々同様に、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭはシ
ステムエンジニアに対応する実行可能な作業の内容に、
メンテナンスの一部の作業を追加する。これにより、上
記変更を行う作業者がすべての露光装置の各々で同様の
変更を行うという手間が省ける。また、各露光装置が独
立して実行可能作業を記憶せず、各露光装置を統括管理
するホストコンピュータＨ-ＣＯＭ側のメモリ５０が作
業者レベル毎、及び露光装置毎の実行可能作業を記憶す
るので、各露光装置における記憶容量を削減することが
できる。ところで、上記実施の形態の説明では、作業者
が露光装置に対して作業を行う際、入力部Ｐに対して入
力する作業者識別情報は作業者レベル（システムエンジ
ニア、プロダクションエンジニア、サービスエンジニア
等）として説明したが、本発明はこれに限るものではな
い。例えば作業者毎、すなわち作業者の名前や作業者個
人が有するＩＤ毎に実行可能作業を特定することもでき
る。これにより、多種多様な機能を有する最先端のデバ
イスを製造する露光装置に対応して、詳細な作業設定を
作業者個人毎に設定及び変更することができ、複数の露
光装置からなるリソグラフィシステムにおいてより複雑
なデバイス製造を可能とすることができる。また、上記
実施の形態における説明では、ホストコンピュータＨ-
ＣＯＭが管理する製造装置を露光装置として説明した
が、本発明はこれに限るものではない。つまり、本発明
のリソグラフィシステムは、複数台のコータ・デベロッ
パーのみで構成されてもよいし、或いは露光装置やコー
タ・デベロッパー以外のリソグラフィ工程で用いられる
種々の装置（例えば、レーザリペア装置又はデバイス検
査装置等）のみで構成されてもよい。さらに、これらの
複数種類の製造装置が混在するシステムであってもよ
い。また、複数台の露光装置からなるリソグラフィシス
テムであっても、すべての露光装置が同一機種である必
要はなく、例えばステップアンドリピート方式の露光装
置（いわゆるステッパ）、ステップアンドスキャン方式
の走査型露光装置（いわゆるスキャニングステッパ）、
セルプロジェクション方式等を採用した電子線露光装
置、イオンビーム露光装置、及びＸ線露光装置の少なく
とも２種類を混用するシステムであってもよい。要する
に、上位コンピュータによって統括管理される複数台の
製造装置は各々任意の装置でよく、これらの各装置を操
作、管理する作業者に対しても同様に、ホストコンピュ
ータＨ-ＣＯＭが作業者毎、又はそのレベル毎に対応す
る実行可能作業を装置単位で集中管理することが可能で
ある。図３は、本発明のリソグラフィシステムにおい
て、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭがｎ台のコータ・デ
ベロッパーＣＤ１〜ＣＤｎを統括管理している様子を表
す図である。なお、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭによ
る各コータ・デベロッパーＣＤ１〜ＣＤｎにおける作業
者レベルに応じた実行可能作業の管理については、前述
のｎ台の露光装置（ＥＸＰ１〜ＥＸＰｎ）に対する管理
と同様であるので詳細説明を省略する。ここで、上記の
実施の形態とは別の形態を以下に説明する。上記実施形
態では、各装置（露光装置或いはコータ・デベロッパ
ー）における作業者レベルに応じた実行可能作業をホス
トコンピュータＨ-ＣＯＭが管理することとした。しか
しながら、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭは、各装置の
処理条件や処理状況等の多くの情報を管理する必要があ
り、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭの記憶容量や処理速
度に大きな負荷がかかる。そこで、図３に示すように各
装置の上位のコンピュータとして、ホストコンピュータ
Ｈ-ＣＯＭとは別系のコントローラ１５０を設ける。そ
して、このコントローラ１５０は、上述したホストコン
ピュータＨ-ＣＯＭが管理していた、各装置における作
業者の作業者レベルに応じた実行可能作業を統括管理す
る。これにより、ホストコンピュータＨ-ＣＯＭの記憶
容量や処理速度の負荷を軽減させることができる。

【０００７】

【発明の効果】以上のように、本発明は作業者レベル若
しくは作業者毎に実行可能な作業を区別する必要がある
リソグラフィシステムにおいて、ホストコンピュータ等
の上位コンピュータが各製造装置における作業者レベル
等に応じた実行可能作業を管理するため、作業者が各々
の製造装置毎に独立してこの実行可能作業を設定、変更
を行う必要がなくなり、作業の手間や時間を大幅に短縮
することができる。また、複雑な作業内容であって、そ
の内容を頻繁に変更する必要がある露光装置では、作業
時間等の短縮を図れるという作業者の負担軽減だけでな
く、誤入力等によるリソグラフィシステムの生産効率や
歩留まりの低下を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のリソグラフィシステムの概略構成図
である。

【図２】 ホストコンピュータに統括制御されている複
数台の露光装置のうちの１台を示すものである。

【図３】 コータ・デベロッパー及び上位コンピュータ
としてのコントローラを含んだリソグラフィシステムの
概略構成図である。

【符号の説明】

５０ メモリ １００ 制御部 １１０ メモリ １２０ 入力部 １３０ ＣＲＴ １５０ コントローラ ＥＸＰ 露光装置 ＣＤ コータ・デベロッパー Ｈ−ＣＯＭ ホストコンピュータ Ｐ 入力部 Ｃ 制御部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マイクロデバイスを製造するリソグラフ
   ィ工程で用いられる複数台の製造装置と、前記複数台の
   製造装置を統括管理する上位コンピュータとを有し、前
   記複数台の製造装置の各々に対する作業者の実行可能な
   作業を前記上位コンピュータが管理することを特徴とす
   るリソグラフィシステム。
2. 【請求項２】 前記複数台の製造装置は、所定波長域の
   光を感光基板に照射して露光装置、及び感光基板に対し
   て感光剤を塗布及び現像を行うコータ・デベロッパーの
   少なくとも一方を含むことを特徴とする請求項１記載の
   リソグラフィシステム。
3. 【請求項３】 マイクロデバイスを製造するリソグラフ
   ィ工程で用いられる複数台の製造装置を統括管理する上
   位コンピュータに対して、前記複数台の製造装置の１つ
   を操作する作業者の識別情報を入力し、前記入力された
   識別情報に基づいて、前記上位コンピュータが、前記１
   つの製造装置に対して前記作業者が実行可能な作業を決
   定し、前記１つの製造装置に対して前記決定された作業
   を出力し、前記１つの製造装置では、前記出力された作
   業のみが前記作業者によって実行されることを特徴とす
   るリソグラフィシステムの作業管理方法。
4. 【請求項４】 前記識別情報は、前記1つの製造装置に
   対して出力され、前記１つの製造装置は、当該装置の識
   別情報と前記入力された前記作業者の識別情報とを前記
   上位コンピュータに出力することを特徴とする請求項３
   に記載のリソグラフィシステムの管理方法。
5. 【請求項５】 前記１つの製造装置は、前記作業者によ
   って変更される前記決定された作業の内容を前記上位コ
   ンピュータに出力し、前記上位コンピュータは、前記出
   力された内容に基づいて、前記複数台の製造装置のうち
   前記１つの製造装置と同種の製造装置の作業内容をも変
   更することを特徴とする請求項３に記載のリソグラフィ
   システムの管理方法。