JP4707903B2 - 基板処理システムおよび基板処理装置管理方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとをネットワーク経由にて結合したネットワーク通信技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来より、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板処理装置を製造する装置ベンダーは、適宜サポート情報をユーザに提供している。サポート情報とは、装置ベンダーがアフターサービスとしてユーザに提供する装置のサポートに関する情報であり、装置のトラブル情報、ソフトウェアバージョンアップ、改良設計の案内、サービスパーツの供給中止、代替品の通知、使用上の注意、装置の生産中止の案内等である。
【０００４】
通常、装置ベンダーが製造する装置の種類は多岐に渡っているため、全体としてのサポート情報も非常に多数になる。一方、ユーザの工場には特定の数種類の装置のみが設置されている場合が多い。このため従来は、装置ベンダーのサービスマンが多数のサポート情報を吟味し、ユーザごとに使用している装置に必要なサポート情報のみ選別してそれを文書にて渡していた。ユーザはサポート情報を受け取ることによって、必要なサポートを受けることができ、適宜対策を講ずることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、装置ベンダー側で発生するサポート情報は膨大な量であり、これを逐一吟味して、ユーザの使用している装置ごとに選別する作業は非常に手間のかかる作業であった。その結果、ユーザに適切なサポート情報を提供する上での大きな障害が生じていた。
【０００６】
このような問題を解決するために、ユーザごとに、あるいはユーザの工場ごとに使用している装置のデータベースを構築し、そのデータベースを使用してサポート情報のうちから必要なものだけを抽出する方法が考えられる。しかし、半導体製造装置の分野においては、ユーザごとに装置が異なるだけでなく、同種の装置であっても装置構成が異なっていたりするのが一般的であるため、装置ごとに装置構成等のデータをインプットし、さらに適宜それを更新していくこと自体に多大な工数を要することとなっていた。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提供することができる技術を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理工場に配置されてそれぞれが複数種類の処理ユニットを備える複数の基板処理装置と、前記基板処理工場の外部に配置されて前記複数の基板処理装置を管理するコンピュータとがネットワークにて結合された基板処理システムにおいて、前記複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積手段と、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が前記コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されたいずれかの基板処理装置についての前記装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して前記基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断するサポート判断手段と、前記サポート判断手段によって前記基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、前記基板処理工場にサポート内容を通知する通知手段と、を備えている。
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理工場に設け、前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けている。
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理装置に設け、前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けている。
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄積手段、前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けている。
【００１２】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかの発明に係る基板処理システムにおいて、前記コンピュータに前記サポート情報が与えられたときに、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されている装置構成情報を更新する更新手段をさらに備えている。
【００１３】
また、請求項６の発明は、基板処理工場に配置されてそれぞれが複数種類の処理ユニットを備える複数の基板処理装置を管理する基板処理装置管理方法において、前記複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積工程と、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が前記コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、いずれかの基板処理装置についての前記装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して前記基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断する判断工程と、前記基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、前記基板処理工場にサポート内容を通知する通知工程と、を備えている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００１９】
＜１．システム全体構成＞
まず、本発明に係る基板処理システム１０全体の概略について説明する。図１は、本発明に係る基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１および情報蓄積サーバ２と、基板処理装置１のサポートを行う担当者が配置されるサポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続された構成となっている。サポートコンピュータ３は、基板処理工場４に配置された基板処理装置１を管理するコンピュータである。
【００２０】
基板処理システム１０においては、基板処理装置１の装置構成に関する装置構成情報が情報蓄積サーバ２に蓄積されるようになっており、蓄積された装置構成情報はネットワーク６を介してサポートコンピュータ３が取得することができるようになっている。
【００２１】
基板処理工場４において、基板処理装置１と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介してインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続されている。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネットワーク６とする。
【００２２】
なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。
【００２３】
＜２．基板処理装置＞
次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。
【００２４】
図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に制御するユニット制御部１１５とにより構成されている。
【００２５】
システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、ソフトウェアモジュールなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。
【００２６】
通信部１０５は、ネットワーク・インターフェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施形態では有線による通信方式が採用されている。
【００２７】
バスライン１９０には、システム制御部１００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピの入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。
【００２８】
処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えている。
【００２９】
システム制御部１００の記憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用プログラムが記憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこのシステム制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用プログラムが記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこのユニット制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。
【００３０】
なお、これらの制御用プログラムは、読取装置１５０を介しての記録媒体９１からの読み出しや、所定のサーバ記憶装置などからネットワーク６を経由してのダウンロードによって取得及び更新することが可能となっている。
【００３１】
＜３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピュータ＞
次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポートコンピュータ３について説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００３２】
情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からプログラムを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、他のサーバー等からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶されたプログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。すなわち、このプログラムに従っての演算処理を実行した結果として、情報蓄積サーバ２は情報蓄積サーバ２としての動作を行い、サポートコンピュータ３はサポートコンピュータ３としての動作を行うこととなる。
【００３３】
＜４．システムの機能および処理内容＞
以上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３のハードウェア構成について説明したが、次に基板処理システム１０の機能および処理内容について説明する。図５は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。また、図６は、基板処理システム１０における処理手順を示すフローチャートである。なお、図５において、装置構成情報送出部１２５はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部であり、装置構成情報登録部２３１、情報取得部２３２、情報送信部２３３およびサポート内容受信部２３４は情報蓄積サーバ２のＣＰＵ２１が処理プログラムを実行することによってそれぞれ実現される処理部であり、問い合わせ部３１１、情報受信部３１２、判断部３１３およびサポート内容通知部３１４はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が処理プログラムを実行することによってそれぞれ実現される処理部である。
【００３４】
まず、図６のステップＳ１にて、装置構成情報の蓄積が行われる。装置構成情報とは、基板処理装置１の装置構成に関する情報であって、具体的には基板処理装置１の”装置型式”、”製造年月日”、”製造番号”、基板処理装置１に含まれる処理ユニットや部品の種類である”装置構成”、基板処理装置１のシステム制御部１００にインストールされているソフトウェアの”ソフトバージョン”等が該当する。これら装置構成情報は基板処理装置１ごとに存在するものであり、基板処理工場４に配置されている基板処理装置１ごとにユニット制御部１１５の記憶部１１４またはシステム制御部１００の記憶部１０４に保持されている。そして、各ユニット制御部１１５およびシステム制御部１００に保持されている情報はシステム制御部１００が集約し、装置構成情報送出部１２５が基板処理装置１全体としての装置構成情報を通信部１０５からＬＡＮ４１を経由して情報蓄積サーバ２の装置構成情報登録部２３１に送信する。
【００３５】
装置構成情報登録部２３１は、受信した装置構成情報を基板処理装置１ごとに固定ディスク２４に格納する。その結果、固定ディスク２４には基板処理装置１の装置構成に関する装置構成情報が蓄積されることとなる。なお、装置構成情報送出部１２５が装置構成情報を送出して装置構成情報登録部２３１が固定ディスク２４に格納するタイミングとしては、一定間隔ごとに定期的に行うようにしても良いし、後述するサポート情報が提供された時点で、その旨の通知を基板処理装置１および情報蓄積サーバ２に行い、これをトリガーとしても良い。
【００３６】
図７は、固定ディスク２４に格納された装置構成情報の一例を示す図である。同図に示すように、基板処理装置１ごとに装置構成情報が蓄積されてデータベースを構築している。例えば、ある基板処理装置１については装置型式”Ｘ００１”、製造年月日”２０００年６月１０日”、製造番号”ＡＡ００００１”、装置構成”塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤ”、ソフトバージョン”１．０．０．１”という装置構成情報が登録されている。また、別の基板処理装置１については装置型式”Ｙ００１”、製造年月日”１９９９年５月１５日”、製造番号”ＢＢ００００１”、装置構成”洗浄処理ユニットＳＳ”、ソフトバージョン”２．０．０．１”という装置構成情報が登録されている。
【００３７】
次に、図６のステップＳ２に進み、サポート情報の提供が行われる。サポート情報の提供は、サポートセンター５にいる担当者がサポートコンピュータ３にサポート情報を入力するという作業によって行われる。サポートコンピュータ３に入力されたサポート情報は、固定ディスク３４に格納される。既述したように、サポート情報とは、装置ベンダーがアフターサービスとしてユーザに提供する装置のサポートに関する情報であり、装置のトラブル情報、ソフトウェアバージョンアップ、改良設計の案内、サービスパーツの供給中止、代替品の通知、使用上の注意、装置の生産中止の案内等が該当する。
【００３８】
図８は、固定ディスク３４に格納されたサポート情報の一例を示す図である。同図に示すように、固定ディスク３４には文書番号ごとにサポート情報が蓄積されてデータベースを構築している。そして、サポート情報にはサポートを要する構成要素についての記述が含まれている。例えば、「ＳＣユニット改良のご案内」というサポート情報には該サポートを要する構成要素が塗布処理ユニットＳＣである旨の記述が含まれている。なお、図８の構成要素として”ＳＣ”は塗布処理ユニットＳＣ、”ＳＤ”は現像処理ユニットＳＤ、”ＳＳ”は洗浄処理ユニット、”ＨＰ”は加熱処理ユニット、”ＣＰ”は冷却処理ユニット、”ＥＥ”はエッジ露光処理ユニット、”ＩＦ”はインターフェイスユニットをそれぞれ意味し、また”一般”とは構成要素にかかわらずサポートを要することを意味している。
【００３９】
ここでは、サポートセンター５の担当者が「ソフトウェアバージョンアップのご案内（文書番号”Ｄ−０００００８”）」というサポート情報を入力する。このときに、該サポート情報が固定ディスク３４に記録されるとともに、サポート情報の入力を認識した問い合わせ部３１１がネットワーク６を介して各基板処理工場４の情報蓄積サーバ２に装置構成情報の引き渡しを要求する。
【００４０】
そして、ステップＳ３に進み、引き渡し要求を受け取った情報蓄積サーバ２の情報取得部２３２は、固定ディスク２４に格納されている装置構成情報（図７参照）を読み出して情報送信部２３３に渡す。情報送信部２３３は、その装置構成情報をネットワーク６を介してサポートセンター５のサポートコンピュータ３に送信する。装置構成情報を受け取ったサポートコンピュータ３の情報受信部３１２は、それを判断部３１３に渡す。
【００４１】
次に、ステップＳ４，Ｓ５に進み、判断部３１３がサポート情報に基づいて装置構成情報から基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であるか否かを判断する。具体的には、判断部３１３は、装置構成情報に記述された装置構成のうちの少なくとも１つがサポート情報に記述された構成要素に含まれているかを検索し、含まれている場合には基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であるとし、含まれていない場合にはサポート対象でないとする。
【００４２】
本実施形態の基板処理装置１（図２）では、装置構成情報に”ＳＣ”、”ＳＤ”が装置構成として記述されている。つまり、基板処理装置１は、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤを備えている。一方、サポート情報「ソフトウェアバージョンアップのご案内」に記述された構成要素は”ＳＣ”、”ＳＤ”、”ＩＦ”である。すなわち、このサポートを要する構成要素は、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤ、インターフェイスユニットである。従って、装置構成情報に記述された装置構成のうちの少なくとも１つがサポート情報に記述された構成要素に含まれており、判断部３１３は基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であると判断する。
【００４３】
仮に、サポート情報が「新型ランプのご紹介（文書番号”Ｄ−０００００７”）」であったとすると、サポート情報に記述された構成要素が”ＥＥ”であり、該サポートを要する構成要素がエッジ露光ユニットとなる。この場合は、装置構成情報に記述された装置構成のうちの少なくとも１つがサポート情報に記述された構成要素に含まれないため、判断部３１３は基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象でないと判断する。
【００４４】
判断部３１３によって基板処理装置１がサポート対象であると判断されたときには、ステップＳ５からステップＳ６に進み、サポート内容通知部３１４が基板処理工場４にサポート内容（ここでは、ソフトウェアバージョンアップのご案内の内容）を通知する。サポート内容を受信した基板処理工場４の情報蓄積サーバ２のサポート内容受信部２３４は、そのサポート内容を固定ディスク２４に格納する。これにより基板処理工場４のユーザは、「ソフトウェアバージョンアップのご案内」を知ることができる。
【００４５】
一方、判断部３１３によって基板処理装置１がサポート対象でないと判断されたときには、一連の処理が終了し、基板処理工場４にはサポート内容が通知されない。
【００４６】
このようにすれば、ユーザの基板処理工場４において如何なる装置構成の基板処理装置１を配置していたとしても、その装置構成情報が情報蓄積サーバ２に自動的に蓄積されるとともに、サポートセンター５にてサポート情報が提供されたときには、サポート情報に記述された構成要素および上記装置構成情報に基づいて基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的に判断され、サポート対象である場合のみそのサポート内容が基板処理工場４に送信されることとなる。従って、サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を単にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供することができる。
【００４７】
＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態においては、情報蓄積サーバ２は基板処理工場４内に配置されるようになっていたがこれに限定されるものではなく、ネットワーク６に接続されて基板処理装置１およびサポートコンピュータ３と通信可能になっていればどこに配置されていても良い。
【００４８】
また、上記実施の形態においては、情報蓄積サーバ２に装置構成情報を蓄積するようにしていたが、基板処理工場４に配置された各基板処理装置１自体に装置構成情報を蓄積するようにしても良い。図９は、基板処理装置１に装置構成情報を蓄積するようにした基板処理システムの機能構成を示す機能ブロック図である。同図において、図５と同一の機能を有するものに関しては、同一の符号を付している。また、図９において、装置構成情報登録部１３１、情報取得部１３２、情報送信部１３３およびサポート内容受信部１３４はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部であり、その機能は図５の装置構成情報登録部２３１、情報取得部２３２、情報送信部２３３およびサポート内容受信部２３４と同じである。
【００４９】
図９のようにした場合は、情報蓄積サーバ２にて行っていた装置構成情報の取得およびサポートコンピュータ３への引き渡しを、各基板処理装置１のシステム制御部１００が行うこととなる。このようにしても、上記実施形態と同様に、ユーザの基板処理工場４において如何なる装置構成の基板処理装置１を配置していたとしても、その装置構成情報が基板処理装置１の記憶部１０４に自動的に蓄積されるとともに、サポートセンター５にてサポート情報が提供されたときには、サポート情報に記述された構成要素および上記装置構成情報から基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的に判断され、サポート対象である場合のみそのサポート内容が基板処理工場４に送信されることとなる。従って、サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を単にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供することができる。
【００５０】
また、サポートセンター５のサポートコンピュータ３に基板処理装置１の装置構成情報を蓄積するようにしても良い。図１０は、サポートコンピュータ３に装置構成情報を蓄積するようにした基板処理システムの機能構成を示す機能ブロック図である。同図において、図５と同一の機能を有するものに関しては、同一の符号を付している。また、図９において、サポート内容受信部１３４はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部であり、装置構成情報登録部３３１はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部である。
【００５１】
図１０のようにした場合には、サポートコンピュータ３にサポート情報が与えられたときに問い合わせ部３１１がネットワーク６を介して基板処理工場４の基板処理装置１に装置構成情報の引き渡しを要求する。引き渡し要求を受け取った基板処理装置１の装置構成情報送出部１２５は、その時点（引き渡し要求がなされた時点）での基板処理装置１の装置構成情報をサポートコンピュータ３の装置構成情報登録部３３１に送信する。装置構成情報登録部３３１は、受信した装置構成情報を基板処理装置１ごとに固定ディスク３４に格納する。その結果、サポートコンピュータ３にサポート情報が与えられるごとに、固定ディスク３４に蓄積されている装置構成情報が更新されることとなる。
【００５２】
判断部３１３は、その更新された最新の装置構成情報およびサポート情報に基づいて基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であるか否かを判断する。残余の点については上記と同じである。
【００５３】
このようにしても、上記実施形態と同様に、ユーザの基板処理工場４において如何なる装置構成の基板処理装置１を配置していたとしても、その装置構成情報がサポートコンピュータ３に自動的に蓄積されるとともに、サポートセンター５にてサポート情報が提供されたときには、サポート情報に記述された構成要素および上記装置構成情報から基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的に判断され、サポート対象である場合のみそのサポート内容が基板処理工場４に送信されることとなる。従って、サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を単にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供することができる。さらに、基板処理装置１の改造やソフトバージョンアップ等が行われていたとしても、常に最新の装置構成情報に基づいて、ユーザに必要なサポート内容を提供することができる。
【００５４】
なお、このような装置構成情報の更新機能を図５または図９の基板処理システムにおいて実現するようにしても良い。具体的には、サポートコンピュータ３にサポート情報が与えられて問い合わせ部３１１から装置構成情報の引き渡しを要求されたときに、その時点での基板処理装置１の装置構成情報を装置構成情報登録部２３１または装置構成情報登録部１３１が固定ディスク２４または記憶部１０４にそれぞれ格納するようにすれば良い。そして、情報取得部２３２または情報取得部１３２はその更新された最新の装置構成情報を読み出すこととなる。このようにすれば、常に最新の装置構成情報に基づいて、ユーザに必要なサポート内容を提供することができる。
【００５５】
すなわち、本発明に係る技術内容を集約すると、ユーザが使用している基板処理装置１の装置構成と装置ベンダーが提供すべきサポート情報とを照合して、ユーザに必要なサポート情報のみを自動的に選別し、そのサポート内容のみを当該ユーザに提供するようにしているのである。
【００５６】
さらに、上記実施形態の基板処理装置１は、基板にレジストの塗布処理および現像処理を行うものであったが、これに限定されるものではなく、例えば光照射によって基板を加熱するランプアニール装置や、基板を回転させつつパーティクルを除去する洗浄処理を行う洗浄処理装置や、フッ酸等の処理液中に基板を浸漬して表面処理を行う浸漬処理装置など、基板に所定の処理を行う基板処理装置であればどのようなものであっても本発明に係る技術を適用することが可能である。
【００５７】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１の発明によれば、複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積手段と、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が外部コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、装置構成情報蓄積手段に蓄積されたいずれかの基板処理装置についての装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して当該基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断するサポート判断手段と、サポート判断手段によって基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、基板処理工場にサポート内容を通知する通知手段と、を備えるため、ユーザに必要なサポート情報であるか否かが自動的に選別されることとなり、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提供することができる。
【００５８】
また、請求項２の発明によれば、装置構成情報蓄積手段を基板処理工場に設け、サポート判断手段および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１の発明と同様の効果を確実に得ることができる。
【００５９】
また、請求項３の発明によれば、装置構成情報蓄積手段を基板処理装置に設け、サポート判断手段および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１の発明と同様の効果を確実に得ることができる。
【００６０】
また、請求項４の発明によれば、装置構成情報蓄積手段、サポート判断手段および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１の発明と同様の効果を確実に得ることができる。
【００６１】
また、請求項５の発明によれば、コンピュータにサポート情報が与えられたときに、装置構成情報蓄積手段に蓄積されている装置構成情報を更新するため、最新の装置構成情報に基づいてユーザに必要なサポート内容を提供することができる。
【００６２】
また、請求項６の発明によれば、複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積し、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が外部コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、いずれかの基板処理装置についての当該装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して当該基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断し、基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、基板処理工場にサポート内容を通知するため、ユーザに必要なサポート情報であるか否かが選別され、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１の基板処理システムの基板処理装置の概略平面図である。
【図３】図２の基板処理装置の制御システムの構成を示すブロック図である。
【図４】情報蓄積サーバおよびサポートコンピュータの基本構成を示す図である。
【図５】図１の基板処理システムの機能構成を示す機能ブロック図である。
【図６】図１の基板処理システムにおける処理手順を示すフローチャートである。
【図７】装置構成情報の一例を示す図である。
【図８】サポート情報の一例を示す図である。
【図９】基板処理システムの機能構成の他の例を示す機能ブロック図である。
【図１０】基板処理システムの機能構成の他の例を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
２ 情報蓄積サーバ
３ サポートコンピュータ
４ 基板処理工場
５ サポートセンター
６ ネットワーク
１０ 基板処理システム
２４，３４ 固定ディスク
９１ 記録媒体
１００ システム制御部
１０４，１１４ 記憶部
１２５ 装置構成情報送出部
１３１，２３１，３３１ 装置構成情報登録部
１３２，２３２ 情報取得部
１３３，２３３ 情報送信部
１３４，２３４ サポート内容受信部
３１１ 問い合わせ部
３１２ 情報受信部
３１３ 判断部
３１４ サポート内容通知部
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとをネットワーク経由にて結合したネットワーク通信技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体や液晶ディスプレイなどの製品は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処理を施すことにより製造されている。従来より、これらの諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニット等を組み込んだ基板処理装置において行われている。基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニットに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処理が行われるのである。
【０００３】
このような基板処理装置を製造する装置ベンダーは、適宜サポート情報をユーザに提供している。サポート情報とは、装置ベンダーがアフターサービスとしてユーザに提供する装置のサポートに関する情報であり、装置のトラブル情報、ソフトウェアバージョンアップ、改良設計の案内、サービスパーツの供給中止、代替品の通知、使用上の注意、装置の生産中止の案内等である。
【０００４】
通常、装置ベンダーが製造する装置の種類は多岐に渡っているため、全体としてのサポート情報も非常に多数になる。一方、ユーザの工場には特定の数種類の装置のみが設置されている場合が多い。このため従来は、装置ベンダーのサービスマンが多数のサポート情報を吟味し、ユーザごとに使用している装置に必要なサポート情報のみ選別してそれを文書にて渡していた。ユーザはサポート情報を受け取ることによって、必要なサポートを受けることができ、適宜対策を講ずることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、装置ベンダー側で発生するサポート情報は膨大な量であり、これを逐一吟味して、ユーザの使用している装置ごとに選別する作業は非常に手間のかかる作業であった。その結果、ユーザに適切なサポート情報を提供する上での大きな障害が生じていた。
【０００６】
このような問題を解決するために、ユーザごとに、あるいはユーザの工場ごとに使用している装置のデータベースを構築し、そのデータベースを使用してサポート情報のうちから必要なものだけを抽出する方法が考えられる。しかし、半導体製造装置の分野においては、ユーザごとに装置が異なるだけでなく、同種の装置であっても装置構成が異なっていたりするのが一般的であるため、装置ごとに装置構成等のデータをインプットし、さらに適宜それを更新していくこと自体に多大な工数を要することとなっていた。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提供することができる技術を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板処理工場に配置されてそれぞれが複数種類の処理ユニットを備える複数の基板処理装置と、前記基板処理工場の外部に配置されて前記複数の基板処理装置を管理するコンピュータとがネットワークにて結合された基板処理システムにおいて、前記複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積手段と、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が前記コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されたいずれかの基板処理装置についての前記装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して前記基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断するサポート判断手段と、前記サポート判断手段によって前記基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、前記基板処理工場にサポート内容を通知する通知手段と、を備えている。
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理工場に設け、前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けている。
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理装置に設け、前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けている。
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項１の発明に係る基板処理システムにおいて、前記装置構成情報蓄積手段、前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けている。
【００１２】
また、請求項５の発明は、請求項１から請求項４のいずれかの発明に係る基板処理システムにおいて、前記コンピュータに前記サポート情報が与えられたときに、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されている装置構成情報を更新する更新手段をさらに備えている。
【００１３】
また、請求項６の発明は、基板処理工場に配置されてそれぞれが複数種類の処理ユニットを備える複数の基板処理装置を管理する基板処理装置管理方法において、前記複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積工程と、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が前記コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、いずれかの基板処理装置についての前記装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して前記基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断する判断工程と、前記基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、前記基板処理工場にサポート内容を通知する通知工程と、を備えている。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
【００１９】
＜１．システム全体構成＞
まず、本発明に係る基板処理システム１０全体の概略について説明する。図１は、本発明に係る基板処理システム１０の概略構成を示す図である。図１に示すように基板処理システム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理装置１および情報蓄積サーバ２と、基板処理装置１のサポートを行う担当者が配置されるサポートセンター５に備えられたサポートコンピュータ３とが、ネットワーク６を介して接続された構成となっている。サポートコンピュータ３は、基板処理工場４に配置された基板処理装置１を管理するコンピュータである。
【００２０】
基板処理システム１０においては、基板処理装置１の装置構成に関する装置構成情報が情報蓄積サーバ２に蓄積されるようになっており、蓄積された装置構成情報はネットワーク６を介してサポートコンピュータ３が取得することができるようになっている。
【００２１】
基板処理工場４において、基板処理装置１と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介してインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続されている。また、サポートセンター５も、サポートコンピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡＮ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続されている。これにより、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２及びサポートコンピュータ３との相互間で各種データ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４１，５１及び広域ネットワーク６１を総称して単にネットワーク６とする。
【００２２】
なお、図１において、基板処理工場４には複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５には複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサポートコンピュータ３は１台であってもよい。
【００２３】
＜２．基板処理装置＞
次に、基板処理工場４に配置された基板処理装置１について説明する。図２は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理装置１は、基板にレジスト塗布処理、現像処理およびそれらに付随する熱処理を行う装置である。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基板主面にフォトレジストを滴下してレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ（いわゆるスピンコータ）と、露光後の基板上に現像液を供給することによって現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ（いわゆるスピンデベロッパ）と、インデクサＩＤおよび各処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲとを備えている。また、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤの上方には図示を省略する熱処理ユニットがファンフィルタユニットを挟んで配置されている。熱処理ユニットとしては、基板に加熱処理を行う加熱ユニット（いわゆるホットプレート）および加熱された基板を一定温度にまで冷却する冷却ユニット（いわゆるクールプレート）が設けられている。なお、本明細書においては、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤおよび熱処理ユニットを総称して基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。
【００２４】
図３は、基板処理装置１の制御システムの構成を示すブロック図である。図３に示すように基板処理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に制御するユニット制御部１１５とにより構成されている。
【００２５】
システム制御部１００は装置全体を統括的に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、ソフトウェアモジュールなどを記憶しておく固定ディスク等からなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバスライン１９０によって接続した構成となっている。
【００２６】
通信部１０５は、ネットワーク・インターフェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続されており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、本実施形態では有線による通信方式が採用されている。
【００２７】
バスライン１９０には、システム制御部１００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピの入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども電気的に接続されている。これにより、システム制御部１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバスライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっている。
【００２８】
処理ユニット１１０は、実際に基板に処理を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に処理液を吐出する機構、基板を加熱する機構等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユニット１１０を個別に制御するものであり、具体的にはそのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコンピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部であるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップされたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えている。
【００２９】
システム制御部１００の記憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用プログラムが記憶されている。システム制御部１００のＣＰＵ１０１がこのシステム制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全体としての動作制御やデータ処理が実現されることとなる。また、ユニット制御部１１５の記憶部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１１６の処理内容に応じたユニット制御用プログラムが記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１１がこのユニット制御用プログラムに従って演算処理を実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデータ処理が実現されることとなる。
【００３０】
なお、これらの制御用プログラムは、読取装置１５０を介しての記録媒体９１からの読み出しや、所定のサーバ記憶装置などからネットワーク６を経由してのダウンロードによって取得及び更新することが可能となっている。
【００３１】
＜３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピュータ＞
次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サーバ２およびサポートセンター５に配置されたサポートコンピュータ３について説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３は、ハードウェアとしての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。したがって、情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３の基本構成は同様であるため、同一の概略図面である図４を参照して説明する。情報蓄積サーバ２およびサポートコンピュータ３のそれぞれは図４に示すように、各種演算処理を行うＣＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコンピュータ３ではＣＰＵ３１、以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２２，３２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２３，３３）をバスラインに接続した構成となっている。また、バスラインには、各種情報を記憶する固定ディスク（２４，３４）、各種情報の表示を行うディスプレイ（２５，３５）、操作者からの入力を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ）およびマウス（２６ｂ，３６ｂ）、光ディスク、磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信を行う通信部（２８，３８）が、適宜、インターフェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。
【００３２】
情報蓄積サーバ２とサポートコンピュータ３は、読取装置（２７，３７）を介して記録媒体９１からプログラムを読出し、固定ディスク（２４，３４）に記憶することができる。また、他のサーバー等からネットワーク６を経由してダウンロードして固定ディスク（２４，３４）に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３１）が固定ディスク（２４，３４）に記憶されたプログラムに従って演算処理を実行することにより各種動作を行うようになっている。すなわち、このプログラムに従っての演算処理を実行した結果として、情報蓄積サーバ２は情報蓄積サーバ２としての動作を行い、サポートコンピュータ３はサポートコンピュータ３としての動作を行うこととなる。
【００３３】
＜４．システムの機能および処理内容＞
以上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ３のハードウェア構成について説明したが、次に基板処理システム１０の機能および処理内容について説明する。図５は、基板処理システム１０の機能構成を示す機能ブロック図である。また、図６は、基板処理システム１０における処理手順を示すフローチャートである。なお、図５において、装置構成情報送出部１２５はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部であり、装置構成情報登録部２３１、情報取得部２３２、情報送信部２３３およびサポート内容受信部２３４は情報蓄積サーバ２のＣＰＵ２１が処理プログラムを実行することによってそれぞれ実現される処理部であり、問い合わせ部３１１、情報受信部３１２、判断部３１３およびサポート内容通知部３１４はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が処理プログラムを実行することによってそれぞれ実現される処理部である。
【００３４】
まず、図６のステップＳ１にて、装置構成情報の蓄積が行われる。装置構成情報とは、基板処理装置１の装置構成に関する情報であって、具体的には基板処理装置１の”装置型式”、”製造年月日”、”製造番号”、基板処理装置１に含まれる処理ユニットや部品の種類である”装置構成”、基板処理装置１のシステム制御部１００にインストールされているソフトウェアの”ソフトバージョン”等が該当する。これら装置構成情報は基板処理装置１ごとに存在するものであり、基板処理工場４に配置されている基板処理装置１ごとにユニット制御部１１５の記憶部１１４またはシステム制御部１００の記憶部１０４に保持されている。そして、各ユニット制御部１１５およびシステム制御部１００に保持されている情報はシステム制御部１００が集約し、装置構成情報送出部１２５が基板処理装置１全体としての装置構成情報を通信部１０５からＬＡＮ４１を経由して情報蓄積サーバ２の装置構成情報登録部２３１に送信する。
【００３５】
装置構成情報登録部２３１は、受信した装置構成情報を基板処理装置１ごとに固定ディスク２４に格納する。その結果、固定ディスク２４には基板処理装置１の装置構成に関する装置構成情報が蓄積されることとなる。なお、装置構成情報送出部１２５が装置構成情報を送出して装置構成情報登録部２３１が固定ディスク２４に格納するタイミングとしては、一定間隔ごとに定期的に行うようにしても良いし、後述するサポート情報が提供された時点で、その旨の通知を基板処理装置１および情報蓄積サーバ２に行い、これをトリガーとしても良い。
【００３６】
図７は、固定ディスク２４に格納された装置構成情報の一例を示す図である。同図に示すように、基板処理装置１ごとに装置構成情報が蓄積されてデータベースを構築している。例えば、ある基板処理装置１については装置型式”Ｘ００１”、製造年月日”２０００年６月１０日”、製造番号”ＡＡ００００１”、装置構成”塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤ”、ソフトバージョン”１．０．０．１”という装置構成情報が登録されている。また、別の基板処理装置１については装置型式”Ｙ００１”、製造年月日”１９９９年５月１５日”、製造番号”ＢＢ００００１”、装置構成”洗浄処理ユニットＳＳ”、ソフトバージョン”２．０．０．１”という装置構成情報が登録されている。
【００３７】
次に、図６のステップＳ２に進み、サポート情報の提供が行われる。サポート情報の提供は、サポートセンター５にいる担当者がサポートコンピュータ３にサポート情報を入力するという作業によって行われる。サポートコンピュータ３に入力されたサポート情報は、固定ディスク３４に格納される。既述したように、サポート情報とは、装置ベンダーがアフターサービスとしてユーザに提供する装置のサポートに関する情報であり、装置のトラブル情報、ソフトウェアバージョンアップ、改良設計の案内、サービスパーツの供給中止、代替品の通知、使用上の注意、装置の生産中止の案内等が該当する。
【００３８】
図８は、固定ディスク３４に格納されたサポート情報の一例を示す図である。同図に示すように、固定ディスク３４には文書番号ごとにサポート情報が蓄積されてデータベースを構築している。そして、サポート情報にはサポートを要する構成要素についての記述が含まれている。例えば、「ＳＣユニット改良のご案内」というサポート情報には該サポートを要する構成要素が塗布処理ユニットＳＣである旨の記述が含まれている。なお、図８の構成要素として”ＳＣ”は塗布処理ユニットＳＣ、”ＳＤ”は現像処理ユニットＳＤ、”ＳＳ”は洗浄処理ユニット、”ＨＰ”は加熱処理ユニット、”ＣＰ”は冷却処理ユニット、”ＥＥ”はエッジ露光処理ユニット、”ＩＦ”はインターフェイスユニットをそれぞれ意味し、また”一般”とは構成要素にかかわらずサポートを要することを意味している。
【００３９】
ここでは、サポートセンター５の担当者が「ソフトウェアバージョンアップのご案内（文書番号”Ｄ−０００００８”）」というサポート情報を入力する。このときに、該サポート情報が固定ディスク３４に記録されるとともに、サポート情報の入力を認識した問い合わせ部３１１がネットワーク６を介して各基板処理工場４の情報蓄積サーバ２に装置構成情報の引き渡しを要求する。
【００４０】
そして、ステップＳ３に進み、引き渡し要求を受け取った情報蓄積サーバ２の情報取得部２３２は、固定ディスク２４に格納されている装置構成情報（図７参照）を読み出して情報送信部２３３に渡す。情報送信部２３３は、その装置構成情報をネットワーク６を介してサポートセンター５のサポートコンピュータ３に送信する。装置構成情報を受け取ったサポートコンピュータ３の情報受信部３１２は、それを判断部３１３に渡す。
【００４１】
次に、ステップＳ４，Ｓ５に進み、判断部３１３がサポート情報に基づいて装置構成情報から基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であるか否かを判断する。具体的には、判断部３１３は、装置構成情報に記述された装置構成のうちの少なくとも１つがサポート情報に記述された構成要素に含まれているかを検索し、含まれている場合には基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であるとし、含まれていない場合にはサポート対象でないとする。
【００４２】
本実施形態の基板処理装置１（図２）では、装置構成情報に”ＳＣ”、”ＳＤ”が装置構成として記述されている。つまり、基板処理装置１は、塗布処理ユニットＳＣおよび現像処理ユニットＳＤを備えている。一方、サポート情報「ソフトウェアバージョンアップのご案内」に記述された構成要素は”ＳＣ”、”ＳＤ”、”ＩＦ”である。すなわち、このサポートを要する構成要素は、塗布処理ユニットＳＣ、現像処理ユニットＳＤ、インターフェイスユニットである。従って、装置構成情報に記述された装置構成のうちの少なくとも１つがサポート情報に記述された構成要素に含まれており、判断部３１３は基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であると判断する。
【００４３】
仮に、サポート情報が「新型ランプのご紹介（文書番号”Ｄ−０００００７”）」であったとすると、サポート情報に記述された構成要素が”ＥＥ”であり、該サポートを要する構成要素がエッジ露光ユニットとなる。この場合は、装置構成情報に記述された装置構成のうちの少なくとも１つがサポート情報に記述された構成要素に含まれないため、判断部３１３は基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象でないと判断する。
【００４４】
判断部３１３によって基板処理装置１がサポート対象であると判断されたときには、ステップＳ５からステップＳ６に進み、サポート内容通知部３１４が基板処理工場４にサポート内容（ここでは、ソフトウェアバージョンアップのご案内の内容）を通知する。サポート内容を受信した基板処理工場４の情報蓄積サーバ２のサポート内容受信部２３４は、そのサポート内容を固定ディスク２４に格納する。これにより基板処理工場４のユーザは、「ソフトウェアバージョンアップのご案内」を知ることができる。
【００４５】
一方、判断部３１３によって基板処理装置１がサポート対象でないと判断されたときには、一連の処理が終了し、基板処理工場４にはサポート内容が通知されない。
【００４６】
このようにすれば、ユーザの基板処理工場４において如何なる装置構成の基板処理装置１を配置していたとしても、その装置構成情報が情報蓄積サーバ２に自動的に蓄積されるとともに、サポートセンター５にてサポート情報が提供されたときには、サポート情報に記述された構成要素および上記装置構成情報に基づいて基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的に判断され、サポート対象である場合のみそのサポート内容が基板処理工場４に送信されることとなる。従って、サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を単にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供することができる。
【００４７】
＜５．変形例＞
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記実施の形態においては、情報蓄積サーバ２は基板処理工場４内に配置されるようになっていたがこれに限定されるものではなく、ネットワーク６に接続されて基板処理装置１およびサポートコンピュータ３と通信可能になっていればどこに配置されていても良い。
【００４８】
また、上記実施の形態においては、情報蓄積サーバ２に装置構成情報を蓄積するようにしていたが、基板処理工場４に配置された各基板処理装置１自体に装置構成情報を蓄積するようにしても良い。図９は、基板処理装置１に装置構成情報を蓄積するようにした基板処理システムの機能構成を示す機能ブロック図である。同図において、図５と同一の機能を有するものに関しては、同一の符号を付している。また、図９において、装置構成情報登録部１３１、情報取得部１３２、情報送信部１３３およびサポート内容受信部１３４はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部であり、その機能は図５の装置構成情報登録部２３１、情報取得部２３２、情報送信部２３３およびサポート内容受信部２３４と同じである。
【００４９】
図９のようにした場合は、情報蓄積サーバ２にて行っていた装置構成情報の取得およびサポートコンピュータ３への引き渡しを、各基板処理装置１のシステム制御部１００が行うこととなる。このようにしても、上記実施形態と同様に、ユーザの基板処理工場４において如何なる装置構成の基板処理装置１を配置していたとしても、その装置構成情報が基板処理装置１の記憶部１０４に自動的に蓄積されるとともに、サポートセンター５にてサポート情報が提供されたときには、サポート情報に記述された構成要素および上記装置構成情報から基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的に判断され、サポート対象である場合のみそのサポート内容が基板処理工場４に送信されることとなる。従って、サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を単にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供することができる。
【００５０】
また、サポートセンター５のサポートコンピュータ３に基板処理装置１の装置構成情報を蓄積するようにしても良い。図１０は、サポートコンピュータ３に装置構成情報を蓄積するようにした基板処理システムの機能構成を示す機能ブロック図である。同図において、図５と同一の機能を有するものに関しては、同一の符号を付している。また、図９において、サポート内容受信部１３４はシステム制御部１００のＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部であり、装置構成情報登録部３３１はサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１が処理プログラムを実行することによって実現される処理部である。
【００５１】
図１０のようにした場合には、サポートコンピュータ３にサポート情報が与えられたときに問い合わせ部３１１がネットワーク６を介して基板処理工場４の基板処理装置１に装置構成情報の引き渡しを要求する。引き渡し要求を受け取った基板処理装置１の装置構成情報送出部１２５は、その時点（引き渡し要求がなされた時点）での基板処理装置１の装置構成情報をサポートコンピュータ３の装置構成情報登録部３３１に送信する。装置構成情報登録部３３１は、受信した装置構成情報を基板処理装置１ごとに固定ディスク３４に格納する。その結果、サポートコンピュータ３にサポート情報が与えられるごとに、固定ディスク３４に蓄積されている装置構成情報が更新されることとなる。
【００５２】
判断部３１３は、その更新された最新の装置構成情報およびサポート情報に基づいて基板処理工場４に配置された基板処理装置１がサポート対象であるか否かを判断する。残余の点については上記と同じである。
【００５３】
このようにしても、上記実施形態と同様に、ユーザの基板処理工場４において如何なる装置構成の基板処理装置１を配置していたとしても、その装置構成情報がサポートコンピュータ３に自動的に蓄積されるとともに、サポートセンター５にてサポート情報が提供されたときには、サポート情報に記述された構成要素および上記装置構成情報から基板処理装置１がサポート対象であるか否かが自動的に判断され、サポート対象である場合のみそのサポート内容が基板処理工場４に送信されることとなる。従って、サポートの担当者は、ユーザごとに、あるいは装置ごとに異なる装置構成を逐一吟味する手間を省くことが出来、装置構成を全く意識することなくサポート情報を単にサポートコンピュータ３に入力するだけで、ユーザに必要なサポート内容のみを迅速に効率良く提供することができる。さらに、基板処理装置１の改造やソフトバージョンアップ等が行われていたとしても、常に最新の装置構成情報に基づいて、ユーザに必要なサポート内容を提供することができる。
【００５４】
なお、このような装置構成情報の更新機能を図５または図９の基板処理システムにおいて実現するようにしても良い。具体的には、サポートコンピュータ３にサポート情報が与えられて問い合わせ部３１１から装置構成情報の引き渡しを要求されたときに、その時点での基板処理装置１の装置構成情報を装置構成情報登録部２３１または装置構成情報登録部１３１が固定ディスク２４または記憶部１０４にそれぞれ格納するようにすれば良い。そして、情報取得部２３２または情報取得部１３２はその更新された最新の装置構成情報を読み出すこととなる。このようにすれば、常に最新の装置構成情報に基づいて、ユーザに必要なサポート内容を提供することができる。
【００５５】
すなわち、本発明に係る技術内容を集約すると、ユーザが使用している基板処理装置１の装置構成と装置ベンダーが提供すべきサポート情報とを照合して、ユーザに必要なサポート情報のみを自動的に選別し、そのサポート内容のみを当該ユーザに提供するようにしているのである。
【００５６】
さらに、上記実施形態の基板処理装置１は、基板にレジストの塗布処理および現像処理を行うものであったが、これに限定されるものではなく、例えば光照射によって基板を加熱するランプアニール装置や、基板を回転させつつパーティクルを除去する洗浄処理を行う洗浄処理装置や、フッ酸等の処理液中に基板を浸漬して表面処理を行う浸漬処理装置など、基板に所定の処理を行う基板処理装置であればどのようなものであっても本発明に係る技術を適用することが可能である。
【００５７】
【発明の効果】
以上、説明したように、請求項１の発明によれば、複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積手段と、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が外部コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、装置構成情報蓄積手段に蓄積されたいずれかの基板処理装置についての装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して当該基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断するサポート判断手段と、サポート判断手段によって基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、基板処理工場にサポート内容を通知する通知手段と、を備えるため、ユーザに必要なサポート情報であるか否かが自動的に選別されることとなり、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提供することができる。
【００５８】
また、請求項２の発明によれば、装置構成情報蓄積手段を基板処理工場に設け、サポート判断手段および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１の発明と同様の効果を確実に得ることができる。
【００５９】
また、請求項３の発明によれば、装置構成情報蓄積手段を基板処理装置に設け、サポート判断手段および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１の発明と同様の効果を確実に得ることができる。
【００６０】
また、請求項４の発明によれば、装置構成情報蓄積手段、サポート判断手段および通知手段をコンピュータに設けており、請求項１の発明と同様の効果を確実に得ることができる。
【００６１】
また、請求項５の発明によれば、コンピュータにサポート情報が与えられたときに、装置構成情報蓄積手段に蓄積されている装置構成情報を更新するため、最新の装置構成情報に基づいてユーザに必要なサポート内容を提供することができる。
【００６２】
また、請求項６の発明によれば、複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積し、サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が外部コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、いずれかの基板処理装置についての当該装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して当該基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断し、基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、基板処理工場にサポート内容を通知するため、ユーザに必要なサポート情報であるか否かが選別され、ユーザに必要なサポート内容を迅速に効率良く提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
【図２】図１の基板処理システムの基板処理装置の概略平面図である。
【図３】図２の基板処理装置の制御システムの構成を示すブロック図である。
【図４】情報蓄積サーバおよびサポートコンピュータの基本構成を示す図である。
【図５】図１の基板処理システムの機能構成を示す機能ブロック図である。
【図６】図１の基板処理システムにおける処理手順を示すフローチャートである。
【図７】装置構成情報の一例を示す図である。
【図８】サポート情報の一例を示す図である。
【図９】基板処理システムの機能構成の他の例を示す機能ブロック図である。
【図１０】基板処理システムの機能構成の他の例を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
１ 基板処理装置
２ 情報蓄積サーバ
３ サポートコンピュータ
４ 基板処理工場
５ サポートセンター
６ ネットワーク
１０ 基板処理システム
２４，３４ 固定ディスク
９１ 記録媒体
１００ システム制御部
１０４，１１４ 記憶部
１２５ 装置構成情報送出部
１３１，２３１，３３１ 装置構成情報登録部
１３２，２３２ 情報取得部
１３３，２３３ 情報送信部
１３４，２３４ サポート内容受信部
３１１ 問い合わせ部
３１２ 情報受信部
３１３ 判断部
３１４ サポート内容通知部
Claims (6)
- 基板処理工場に配置されてそれぞれが複数種類の処理ユニットを備える複数の基板処理装置と、前記基板処理工場の外部に配置されて前記複数の基板処理装置を管理するコンピュータとがネットワークにて結合された基板処理システムであって、
前記複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積手段と、
サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が前記コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されたいずれかの基板処理装置についての前記装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して前記基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断するサポート判断手段と、
前記サポート判断手段によって前記基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、前記基板処理工場にサポート内容を通知する通知手段と、
を備えることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１記載の基板処理システムにおいて、
前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理工場に設け、
前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１記載の基板処理システムにおいて、
前記装置構成情報蓄積手段を前記基板処理装置に設け、
前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１記載の基板処理システムにおいて、
前記装置構成情報蓄積手段、前記サポート判断手段および前記通知手段を前記コンピュータに設けることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板処理システムにおいて、
前記コンピュータに前記サポート情報が与えられたときに、前記装置構成情報蓄積手段に蓄積されている装置構成情報を更新する更新手段をさらに備えることを特徴とする基板処理システム。 - 基板処理工場に配置されてそれぞれが複数種類の処理ユニットを備える複数の基板処理装置を前記基板処理工場の外部に配置されたコンピュータから管理する基板処理装置管理方法であって、
前記複数の基板処理装置に含まれる処理ユニットの種類に関する情報を含む装置構成情報を基板処理装置ごとに蓄積する装置構成情報蓄積工程と、
サポートを要する処理ユニットの種類を記述したサポート情報が前記コンピュータに入力されたときに、当該サポート情報に基づいて、いずれかの基板処理装置についての前記装置構成情報に記述された処理ユニットの種類のうち少なくとも１つが前記サポート情報に記述された処理ユニットの種類に含まれているかを検索して前記基板処理装置がサポート対象であるか否かを判断する判断工程と、
前記基板処理装置がサポート対象であると判断されたときに、前記基板処理工場にサポート内容を通知する通知工程と、
を備えることを特徴とする基板処理装置管理方法。
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1097966A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-04-14 | Canon Inc | 産業用機器の遠隔保守システム及びこれを利用した生産方法 |
| JPH1115520A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-22 | Canon Inc | 産業用機器の遠隔保守システム |
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| JPH11224852A (ja) * | 1991-04-02 | 1999-08-17 | Nikon Corp | リソグラフィシステムおよびこれを利用した半導体デバイス製造方法、 露光方法 |
| JP2000252179A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-14 | Hitachi Ltd | 半導体製造プロセス安定化支援システム |
| WO2001001456A1 (en) * | 1999-06-28 | 2001-01-04 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing platform architecture having processing module isolation capabilities |
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Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11224852A (ja) * | 1991-04-02 | 1999-08-17 | Nikon Corp | リソグラフィシステムおよびこれを利用した半導体デバイス製造方法、 露光方法 |
| JPH1097966A (ja) * | 1996-07-31 | 1998-04-14 | Canon Inc | 産業用機器の遠隔保守システム及びこれを利用した生産方法 |
| JPH1115520A (ja) * | 1997-06-24 | 1999-01-22 | Canon Inc | 産業用機器の遠隔保守システム |
| JPH1140469A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-12 | Nikon Corp | リソグラフィシステム及びその作業管理方法 |
| JP2000252179A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-14 | Hitachi Ltd | 半導体製造プロセス安定化支援システム |
| WO2001001456A1 (en) * | 1999-06-28 | 2001-01-04 | Lam Research Corporation | Semiconductor processing platform architecture having processing module isolation capabilities |
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