JP2003086479A - 基板処理システム、基板処理装置管理方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板処理装置の部品の消耗度を効率良く管理
することができる技術を提供する。 【解決手段】 基板処理装置１の部品の消耗度は、タイ
マ１１７によって当該部品の使用時間を計時することに
より、または計数器１１８によって当該部品を使用して
の基板処理枚数を計数することにより計測される。計測
された部品の消耗度は情報蓄積サーバ２の固定ディスク
２４に消耗度情報２４１として蓄積される。消耗度情報
２４１はサポートコンピュータ３から取得され、部品ご
とに消耗度が予め設定された所定値以上となっているか
否かが判定され、所定値以上となっている場合には、警
告発生部３１３が当該部品の交換を促す旨の警告を発す
るとともに、発注信号送信部３１４が部品センター７の
受注サーバ８に当該部品と交換すべき新たな部品につい
ての発注信号を送信する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、液晶
表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光
ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所
定の処理を行う基板処理装置とコンピュータとをネット
ワーク経由にて結合したネットワーク通信技術に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体や液晶ディスプレイなどの製品
は、基板に対して洗浄、レジスト塗布、露光、現像、エ
ッチング、層間絶縁膜の形成、熱処理などの一連の諸処
理を施すことにより製造されている。従来より、これら
の諸処理はレジスト塗布処理ユニットや現像処理ユニッ
ト等を組み込んだ基板処理装置において行われている。
基板処理装置に設けられた搬送ロボットが各処理ユニッ
トに基板を順次搬送することによって該基板に一連の処
理が行われるのである。

【０００３】このような基板処理装置を構成する部品に
は消耗品も含まれている。例えば、基板を洗浄する洗浄
処理ユニットに設けられている洗浄ブラシや基板を光照
射にて急速加熱するランプアニール装置に設けられてい
るランプ類は代表的な消耗品である。また、搬送ロボッ
ト等を駆動するための駆動機構を構成しているベルト、
シリンダー、モータ等も消耗品である。

【０００４】このような消耗品は、使用とともに消耗・
劣化するものであって、消耗の程度が進行すると、使用
不能となるため、定期的に新たな部品を発注して交換す
る必要がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては、部品が消耗してしまってからあるいは壊れて
からその部品を発注して調達するようにしていたため、
部品の到着までに一定の時間を要することとなり、装置
の稼働率が低下するという問題が生じていた。このた
め、基板処理装置内の消耗部品についてはその寿命管理
をしておくのが好ましいのであるが、通常は、１つの基
板処理工場に複数の基板処理装置を配置しており、それ
らの全てにおける消耗部品の管理を行うのは大きな労力
を必要としていた。

【０００６】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
であり、基板処理装置の部品の消耗度を効率良く管理す
ることができる技術を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１の発明は、基板処理装置と、前記基板処理
装置を管理するコンピュータとがネットワークに結合さ
れた基板処理システムにおいて、前記基板処理装置に、
当該基板処理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測
手段を備えさせ、前記消耗度計測手段が計測した消耗度
を蓄積する消耗度情報蓄積手段と、前記消耗度情報蓄積
手段に蓄積された消耗度を、前記ネットワークを介して
前記コンピュータから閲覧可能にする消耗度情報公開手
段と、を備えている。

【０００８】また、請求項２の発明は、請求項１の発明
に係る基板処理システムにおいて、前記消耗度計測手段
に、前記部品の使用時間を消耗度として計測させてい
る。

【０００９】また、請求項３の発明は、請求項１の発明
に係る基板処理システムにおいて、前記消耗度計測手段
に、前記部品を使用しての基板処理枚数を消耗度として
計測させている。

【００１０】また、請求項４の発明は、請求項１から請
求項３のいずれかの発明に係る基板処理システムにおい
て、前記コンピュータに、前記消耗度情報蓄積手段に蓄
積された部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当
該部品の交換を促す旨の警告を発する警告発生手段を備
えている。

【００１１】また、請求項５の発明は、請求項１から請
求項４のいずれかの発明に係る基板処理システムにおい
て、前記ネットワークに、部品の発注を受け付ける受注
サーバが結合し、前記コンピュータに、前記消耗度情報
蓄積手段に蓄積された部品の消耗度が前記所定の値に到
達した時点で、前記受注サーバに当該部品と交換すべき
新たな部品についての発注信号を送信する発注信号送信
手段を備えている。

【００１２】また、請求項６の発明は、複数の基板処理
装置と、前記複数の基板処理装置を管理するコンピュー
タとがネットワークに結合された基板処理システムにお
いて、前記複数の基板処理装置のそれぞれに、当該基板
処理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測手段を備
え、前記複数の基板処理装置のいずれかの部品の消耗度
が所定の値に到達した時点で、当該部品の交換を促す旨
の警告を発する警告発生手段を備えている。

【００１３】また、請求項７の発明は、基板処理装置
と、前記基板処理装置を管理するコンピュータと、前記
基板処理装置の部品の発注を受け付ける受注サーバとが
ネットワークに結合された基板処理システムにおいて、
前記基板処理装置に、当該基板処理装置の部品の消耗度
を計測する消耗度計測手段を備え、前記基板処理装置の
部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、前記受注サ
ーバに当該部品と交換すべき新たな部品についての発注
信号を送信する発注信号送信手段を備えている。

【００１４】また、請求項８の発明は、基板処理装置の
部品の交換を管理する基板処理装置管理方法において、
基板処理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測工程
と、部品の発注を受け付ける受注サーバに、基板処理装
置の部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部
品と交換すべき新たな部品についての発注信号を送信す
る発注信号送信工程と、を備えている。

【００１５】また、請求項９の発明は、請求項８の発明
に係る基板処理装置管理方法において、基板処理装置の
部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部品の
交換を促す旨の警告を発する警告発生工程をさらに備え
ている。

【００１６】また、請求項１０の発明は、基板に所定の
処理を行う基板処理装置において、当該基板処理装置の
部品の消耗度を計測する消耗度計測手段と、前記消耗度
計測手段が計測した消耗度を装置外部に送出する消耗度
情報送出手段と、を備えている。

【００１７】また、請求項１１の発明は、基板に所定の
処理を行う基板処理装置において、当該基板処理装置の
部品の消耗度を計測する消耗度計測手段と、前記部品の
消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部品と交換す
べき新たな部品についての発注信号を装置外部に送信す
る発注信号送信手段と、を備えている。

【００１８】また、請求項１２の発明は、請求項１１の
発明に係る基板処理装置において、前記部品の消耗度が
所定の値に到達した時点で、当該部品の交換を促す旨の
警告を発する警告発生手段をさらに備えている。

【００１９】また、請求項１３の発明は、基板処理装置
が備えるコンピュータによって実行されることにより、
前記基板処理装置が請求項１０から請求項１２のいずれ
かに記載の基板処理装置として動作するプログラムであ
る。

【００２０】また、請求項１４の発明は、請求項１３に
記載のプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能
な記録媒体である。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態について説明する。

【００２２】＜１．システム全体構成＞まず、本発明に
係る基板処理システム１０全体の概略について説明す
る。図１は、本発明に係る基板処理システム１０の概略
構成を示す図である。図１に示すように基板処理システ
ム１０は、基板処理工場４に備えられた複数の基板処理
装置１および情報蓄積サーバ２と、基板処理装置１のメ
ンテナンスを行う担当者が配置されるサポートセンター
５に備えられたサポートコンピュータ３と、基板処理装
置１の部品を基板処理工場４に供給する部品センター７
に備えられた受注サーバ８とが、ネットワーク６を介し
て接続された構成となっている。

【００２３】基板処理システム１０においては、基板処
理装置１に実装される消耗部品（以降、単に部品と記載
するときは消耗部品を示す）の消耗度を記述した消耗度
情報が情報蓄積サーバ２に蓄積されるようになってお
り、蓄積された消耗度情報はネットワーク６を介してサ
ポートコンピュータ３において閲覧することができるよ
うになっている。また、受注サーバ８は、ネットワーク
６を介して部品の発注を受け付ける。

【００２４】基板処理工場４において、基板処理装置１
と情報蓄積サーバ２はＬＡＮ（Local Area Network）４
１を介して接続されている。ＬＡＮ４１は、ルータやフ
ァイアーウォール等の機能を有する接続装置４２を介し
てインターネットなどの広域ネットワーク６１に接続さ
れている。また、サポートセンター５も、サポートコン
ピュータ３が接続されるＬＡＮ５１を有しており、ＬＡ
Ｎ５１もルータやファイアーウォール等の機能を有する
接続装置５２を介して広域ネットワーク６１に接続され
ている。さらに、部品センター７も、受注サーバ８が接
続されるＬＡＮ７１を有しており、ＬＡＮ７１もルータ
やファイアーウォール等の機能を有する接続装置７２を
介して広域ネットワーク６１に接続されている。これに
より、基板処理装置１、情報蓄積サーバ２と、サポート
コンピュータ３と、受注サーバ８との相互間で各種デー
タ通信が可能となっている。本明細書においてＬＡＮ４
１，５１，７１及び広域ネットワーク６１を総称して単
にネットワーク６とする。

【００２５】なお、図１において、基板処理工場４には
複数の基板処理装置１が備えられているが基板処理装置
１は１台であってもよく、同様にサポートセンター５に
は複数のサポートコンピュータ３が備えられているがサ
ポートコンピュータ３は１台であってもよい。さらに、
部品センター７に配置される受注サーバ８が複数であっ
ても良い。

【００２６】＜２．基板処理装置＞次に、基板処理工場
４に配置された基板処理装置１について説明する。図２
は、基板処理装置１の概略平面図である。この基板処理
装置１は、基板の表裏面に対して洗浄処理を行う装置で
ある。基板処理装置１は、未処理の基板をキャリアから
払い出すとともに処理済の基板を受け取ってキャリアに
収納するインデクサＩＤと、基板を回転させつつその基
板の表面に洗浄ブラシを当接または近接させることによ
って表面洗浄処理を行う表面洗浄処理ユニットＳＳと、
基板を回転させつつその基板の裏面に洗浄ブラシを当接
または近接させることによって裏面洗浄処理を行う裏面
洗浄処理ユニットＳＳＲと、インデクサＩＤおよび各洗
浄処理ユニット間で基板の搬送を行う搬送ロボットＴＲ
とを備えている。また、基板処理装置１は、図示を省略
する表裏面反転ユニットを備えている。

【００２７】図３は、表面洗浄処理ユニットＳＳの概略
構成を示す図である。表面洗浄処理ユニットＳＳは、い
わゆるスピンスクラバである。スピンチャック１３は基
板Ｗの裏面を真空吸着することによって、その基板Ｗを
水平姿勢にて保持するいわゆるバキュームチャックであ
る。スピンチャック１３の下面側中央部には、図示を省
略する電動モータのモータ軸１４が垂設されている。当
該電動モータがモータ軸１４を介してスピンチャック１
３を回転させることにより、それに保持された基板Ｗも
回転する。

【００２８】カップ１５は、基板Ｗの周囲に配設され、
回転する基板Ｗから飛散した処理液を受け止めて回収す
る。カップ１５は、図示を省略する昇降機構によって昇
降自在とされている。該昇降機構によってカップ１５が
下降しているときには、カップ１５の上端がスピンチャ
ック１３よりも下に位置する。この状態では、搬送ロボ
ットＴＲがスピンチャック１３に対して基板Ｗを搬入す
ることおよびスピンチャック１３から基板Ｗを搬出する
ことができる。また、カップ１５が上昇しているときに
は、スピンチャック１３によって保持された基板Ｗの周
囲をカップ１５が取り囲み、カップ１５の上端が基板Ｗ
よりも上に位置する。基板Ｗの洗浄処理を行うときに
は、カップ１５を上昇させた状態にて実行する。

【００２９】洗浄ブラシ１１はブラシアーム１２の先端
に取り付けられている。ブラシアーム１２は図外の駆動
機構によって昇降することと、水平面内にて揺動するこ
ととが可能とされている。基板Ｗの表面洗浄処理を行う
ときには、基板Ｗを回転させつつ洗浄ブラシ１１を基板
Ｗの表面に当接または近接させた状態で、ブラシアーム
１２を揺動させることによって、基板Ｗの表面に付着し
たパーティクル等の汚染物質を除去する。なお、裏面洗
浄処理ユニットＳＳＲについても表面洗浄処理ユニット
ＳＳとほぼ同様の構成となっているが、基板Ｗの端縁部
を把持することによって、その基板Ｗを水平姿勢にて保
持するいわゆるメカチャックをスピンチャック１３とし
て採用している。本明細書においては、表面洗浄処理ユ
ニットＳＳおよび裏面洗浄処理ユニットＳＳＲを総称し
て基板に所定の処理を行う処理ユニット１１０とする。

【００３０】図４は、基板処理装置１の制御システムの
構成を示すブロック図である。図４に示すように基板処
理装置１の制御システムは、装置全体を制御するシステ
ム制御部１００と、複数の処理ユニット１１０を個別に
制御するユニット制御部１１５とにより構成されてい
る。

【００３１】システム制御部１００は装置全体を統括的
に制御するものであり、マイクロコンピュータを備えて
構成されている。具体的には、その本体部であるＣＰＵ
１０１、基本プログラムなどを記憶する読み出し専用の
メモリであるＲＯＭ１０２、主として演算の作業領域と
なる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１０３、ソフト
ウェアモジュールなどを記憶しておく固定ディスク等か
らなる記憶部１０４、および、外部装置との間でデータ
通信を行う通信部１０５を備えており、それぞれをバス
ライン１９０によって接続した構成となっている。

【００３２】通信部１０５は、ネットワーク・インター
フェイス（図示省略）を介してネットワーク６に接続さ
れており、これにより基板処理装置１は情報蓄積サーバ
２やサポートコンピュータ３などとの間で各種データの
送受信が可能である。通信部１０５で行われるネットワ
ーク６を介しての通信方式は有線でも無線でもよいが、
本実施形態では有線による通信方式が採用されている。

【００３３】バスライン１９０には、システム制御部１
００および複数の処理ユニット１１０とともに、各種情
報の表示を行う表示部１３０、オペレータからのレシピ
の入力およびコマンドの操作等を受け付ける操作部１４
０、磁気ディスクや光磁気ディスクなどの記録媒体９１
から各種データの読み取りを行う読取装置１５０なども
電気的に接続されている。これにより、システム制御部
１００の制御下において、基板処理装置１の各部間でバ
スライン１９０を介してデータの受け渡しが可能となっ
ている。

【００３４】処理ユニット１１０は、実際に基板に処理
を行う機構部（例えば、基板を回転させる機構、基板に
処理液を吐出する機構、洗浄ブラシ１１を駆動する機構
等）となる基板処理部１１６とともに、ユニット制御部
１１５を備えている。ユニット制御部１１５は、処理ユ
ニット１１０を個別に制御するものであり、具体的には
そのユニット制御部１１５が組み込まれた処理ユニット
１１０の基板処理部１１６の動作制御や動作監視を行
う。つまり、上述したシステム制御部１００は基板処理
装置１の全体における統括的な制御を担い、ユニット制
御部１１５は基板処理部１１６の処理内容に応じた制御
を担うようにその役割を分担している。ユニット制御部
１１５は、システム制御部１００と同様にマイクロコン
ピュータを備えて構成され、具体的には、その本体部で
あるＣＰＵ１１１と、基本プログラムなどを記憶する読
み出し専用のメモリであるＲＯＭ１１２と、演算の作業
領域となる読み書き自在のメモリであるＲＡＭ１１３
と、各種データを記憶しておくバッテリーバックアップ
されたＳＲＡＭなどからなる記憶部１１４とを備えてい
る。

【００３５】また、処理ユニット１１０には、タイマ１
１７および計数器１１８が設けられている。タイマ１１
７は、処理ユニット１１０の部品、例えば洗浄ブラシ１
１の使用時間（新たな洗浄ブラシ１１に交換してからの
基板処理に使用した時間）を計測する機能を有する。処
理ユニット１１０に複数の部品が設けられている場合に
は、タイマ１１７は部品ごとに使用時間を計測する。計
数器１１８は、処理ユニット１１０の部品を使用しての
基板処理枚数、例えば洗浄ブラシ１１を使用しての基板
処理枚数（新たな洗浄ブラシ１１に交換してからの基板
処理枚数）を計測する機能を有する。処理ユニット１１
０に複数の部品が設けられている場合には、計数器１１
８は部品ごとに基板処理枚数を計測する。

【００３６】システム制御部１００のＲＯＭ１０２や記
憶部１０４には、装置全体にかかわるシステム制御用プ
ログラムが予め記憶されている。システム制御部１００
のＣＰＵ１０１がこのシステム制御用プログラムに従っ
て演算処理を実行することにより、基板処理装置１の全
体としての動作制御やデータ処理が実現されることとな
る。また、ユニット制御部１１５のＲＯＭ１１２や記憶
部１１４には、当該処理ユニット１１０の基板処理部１
１６の処理内容に応じたユニット制御用プログラムが予
め記憶されている。ユニット制御部１１５のＣＰＵ１１
１がこのユニット制御用プログラムに従って演算処理を
実行することにより、基板処理部１１６の動作制御やデ
ータ処理が実現されることとなる。

【００３７】なお、これらのプログラムは、読取装置１
５０を介しての記録媒体９１からの読み出しや、所定の
サーバ記憶装置などからネットワーク６を経由してのダ
ウンロードによって取得及び更新することが可能となっ
ている。プログラムのそれぞれにはバージョンがあり、
プログラムを更新した際にはバージョンを識別する数値
などのバージョン情報が変更される。基板処理装置１で
実行されるプログラムそれぞれのバージョン情報は、シ
ステム制御部１００の記憶部１０４に記憶されている。

【００３８】＜３．情報蓄積サーバ及びサポートコンピ
ュータ＞次に、基板処理工場４に配置された情報蓄積サ
ーバ２、サポートセンター５に配置されたサポートコン
ピュータ３および部品センター７に配置された受注サー
バ８について説明する。情報蓄積サーバ２、サポートコ
ンピュータ３および受注サーバ８は、ハードウェアとし
ての構成は一般的なコンピュータと同様の構成である。
したがって、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ
３および受注サーバ８の基本構成は同様であるため、同
一の概略図面である図５を参照して説明する。情報蓄積
サーバ２、サポートコンピュータ３および受注サーバ８
のそれぞれは図５に示すように、各種演算処理を行うＣ
ＰＵ（情報蓄積サーバ２ではＣＰＵ２１，サポートコン
ピュータ３ではＣＰＵ３１、受注サーバ８ではＣＰＵ８
１以下同様）、基本プログラムを記憶するＲＯＭ（２
２，３２，８２）および各種情報を記憶するＲＡＭ（２
３，３３，８３）をバスラインに接続した構成となって
いる。また、バスラインには、各種情報を記憶する固定
ディスク（２４，３４，８４）、各種情報の表示を行う
ディスプレイ（２５，３５，８５）、操作者からの入力
を受け付けるキーボード（２６ａ，３６ａ，８６ａ）お
よびマウス（２６ｂ，３６ｂ，８６ｂ）、光ディスク、
磁気ディスク、光磁気ディスク等の記録媒体９１から各
種データの読み取りを行う読取装置（２７，３７，８
７）、並びに、ネットワーク６を介して外部装置と通信
を行う通信部（２８，３８，８８）が、適宜、インター
フェイス（Ｉ／Ｆ）を介する等して接続される。

【００３９】情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ
３および受注サーバ８は、読取装置（２７，３７，８
７）を介して記録媒体９１からプログラムを読出し、固
定ディスク（２４，３４，８４）に記憶することができ
る。また、他のサーバー等からネットワーク６を経由し
てダウンロードして固定ディスク（２４，３４，８４）
に記憶することもできる。そして、ＣＰＵ（２１，３
１，８１）が固定ディスク（２４，３４，８４）に記憶
されたプログラムに従って演算処理を実行することによ
り各種動作を行うようになっている。すなわち、このプ
ログラムに従っての演算処理を実行した結果として、情
報蓄積サーバ２は情報蓄積サーバ２としての動作を行
い、サポートコンピュータ３はサポートコンピュータ３
としての動作を行い、受注サーバ８は受注サーバ８とし
ての動作を行うこととなる。

【００４０】＜４．システムの機能および処理内容＞以
上、基板処理システム１０およびそれを構成する基板処
理装置１、情報蓄積サーバ２、サポートコンピュータ
３、受注サーバ８のハードウェア構成について説明した
が、次に基板処理システム１０の機能および処理内容に
ついて説明する。図６は、基板処理システム１０の機能
構成を示す機能ブロック図である。また、図７は、基板
処理システム１０における処理手順を示すフローチャー
トである。なお、図６において、消耗度情報登録部２３
１および情報公開部２３６は情報蓄積サーバ２のＣＰＵ
２１が処理プログラムを実行することによってそれぞれ
実現される処理部であり、ＷＥＢブラウザ３１２、警告
発生部３１３および発注信号送信部３１４はサポートコ
ンピュータ３のＣＰＵ３１が処理プログラムを実行する
ことによってそれぞれ実現される処理部である。

【００４１】まず、図７のステップＳ１にて、基板処理
装置１の部品の消耗度の計測が行われる。消耗度の計測
は、処理ユニット１１０ごとに行われる。本実施形態で
は、タイマ１１７が洗浄ブラシ１１等の部品の使用時間
を消耗度として計測する。計測された消耗度はユニット
制御部１１５が処理ユニット１１０単位で集約してシス
テム制御部１００に伝達する。システム制御部１００
は、計測された消耗度を基板処理装置１単位で集約し、
基板処理装置１の部品ごとの消耗度を情報蓄積サーバ２
の消耗度情報登録部２３１に通信部１０５からＬＡＮ４
１を介して送出する。

【００４２】次に、図７のステップＳ２に進み、消耗度
情報登録部２３１が基板処理装置１の部品ごとの消耗度
を固定ディスク２４に登録する。固定ディスク２４内で
は基板処理装置１のそれぞれについての部品ごとの消耗
度が蓄積されて消耗度情報２４１として格納される。

【００４３】図８は、消耗度情報２４１の一例を示す図
である。同図において、「装置」は各基板処理装置１に
付与された識別番号を示し、「部品」は消耗部品の名称
を示し、「使用時間」および「処理枚数」は消耗度を示
す。なお、本実施形態では、消耗度として使用時間を採
用しているため、処理枚数については消耗度情報２４１
に記載していない。図８に示すように、消耗度情報２４
１には、基板処理工場４に配置された基板処理装置１の
それぞれについての部品ごとの消耗度が蓄積されてい
る。例えば、装置番号”８１０１”の基板処理装置１に
ついては、「ブラシ２」の名称が付与された洗浄ブラシ
１１の使用時間が１２時間であることが記録されてい
る。消耗度情報２４１は、一定間隔にてタイマ１１７が
部品の使用時間の計測を行い、その計測結果を逐次消耗
度情報登録部２３１が固定ディスク２４に登録すること
によって構築されるものである。

【００４４】情報蓄積サーバ２の固定ディスク２４に蓄
積されている消耗度情報２４１は、情報公開部２３６に
よってネットワーク６を介して閲覧可能に公開されてい
る。サポートセンター５の担当者はＷＥＢブラウザ３１
２を使用して固定ディスク２４に蓄積されている消耗度
情報２４１を情報公開部２３６から取得してディスプレ
イ３５に表示させることによって、消耗度情報２４１を
閲覧し、基板処理工場４に配置されている基板処理装置
１の部品の消耗度を確認することができる。このように
すれば、サポートセンター５から基板処理装置１の部品
の消耗度を効率良く管理することができる。なお、ＷＥ
Ｂブラウザ３１２を使用しての消耗度情報２４１の取得
は常時行われている。

【００４５】また、ＷＥＢブラウザ３１２が取得した消
耗度情報２４１に基づいて、基板処理装置１の部品の消
耗度が予め設定された所定の値以上となっているか否か
がサポートコンピュータ３のＣＰＵ３１によって判定さ
れる（ステップＳ３）。この判定は、消耗度情報２４１
に登録された部品ごと、つまり複数の基板処理装置１の
部品ごとに行われる。そして、いずれかの部品の消耗度
が予め設定された所定の値以上となっている場合、具体
的には使用時間が所定の値以上となっている場合は、ス
テップＳ４に進み、警告発生部３１３が当該部品の交換
を促す旨の警告を発する。すなわち、固定ディスク２４
に蓄積された部品の消耗度が所定の値に到達した時点
で、当該部品の交換を促す旨の警告を警告発生部３１３
が発するのである。警告の形態としては、例えばディス
プレイ３５に表示する、音を発する等の種々の手法が採
用可能である。

【００４６】基板処理装置１のメンテナンスを行う担当
者は、交換を促す旨の警告によって当該部品の寿命が近
づいていることを認識することができる。

【００４７】また、本実施形態では、いずれかの部品の
消耗度が予め設定された所定の値以上となっている場
合、さらにステップＳ５に進み、発注信号送信部３１４
が新たな部品についての発注信号を受注サーバ８に送信
する。すなわち、固定ディスク２４に蓄積された部品の
消耗度が所定の値に到達した時点で、受注サーバ８に当
該部品と交換すべき新たな部品についての発注信号を送
信するのである。

【００４８】受注サーバ８が発注信号を受信することに
より、部品センター７においては新たな部品を基板処理
工場４に供給する処理が直ちに進められる。なお、ステ
ップＳ４とステップＳ５とはその順番が入れ替わっても
良いし、同時であっても良い。

【００４９】このようにすれば、基板処理装置１の部品
が消耗したり、壊れたりした時点で基板処理工場４には
新たな部品が用意されていることとなるため、直ちに部
品交換を行うことができ、部品交換に伴う基板処理装置
１の停止時間を最小限にすることができ、その結果装置
の稼働効率の大幅な低下を抑制することができる。

【００５０】従って、上記の所定の値としては部品が消
耗して使用不能となる直前の値を要交換値として設定し
ておくのが好ましい。例えば、使用時間１００時間で部
品が使用不能となる場合は、要交換値として９０時間を
設定しておくようにする。このような要交換値は、それ
ぞれの部品についての寿命を実験によって求めておき、
そこから算定するようにしても良いし、上述のようにし
て蓄積した消耗度情報２４１から統計的に求めるように
しても良い。具体的には、消耗度情報２４１には部品ご
との消耗度が記録されており、部品が使用不能となった
時点での消耗度を把握することができる。複数の部品に
ついて使用不能となる消耗度を把握して、それを統計的
に処理することにより部品の寿命を求めることができ、
その寿命に基づいて部品が消耗して使用不能となる直前
の値（要交換値）を決定することができる。

【００５１】＜５．変形例＞以上、本発明の実施の形態
について説明したが、この発明は上記の例に限定される
ものではない。例えば、上記実施の形態においては、情
報蓄積サーバ２は基板処理工場４内に配置されるように
なっていたがこれに限定されるものではなく、ネットワ
ーク６に接続されて基板処理装置１及びサポートコンピ
ュータ３と通信可能になっていればどこに配置されてい
ても良い。

【００５２】また、上記実施形態においては、いずれか
の部品の消耗度が予め設定された所定の値以上となって
いる場合に、警告発生および発注信号送信の双方を行う
ようにしていたが、いずれか一方のみを行うようにして
も良い。警告発生のみを行うようにしたときは、部品の
寿命が近づいていることを認識したサポートセンター５
のサポート担当者が部品センター７に電子メール等で部
品の発注を行うようにすれば、基板処理装置１の部品が
消耗したり、壊れたりした時点で基板処理工場４には新
たな部品が用意されることとなるため、直ちに部品交換
を行うことができ、基板処理装置１の稼働効率の大幅な
低下を抑制することができる。

【００５３】また、警告発生および発注信号送信の双方
ともに行わなくても良い。この場合は、消耗度情報２４
１を監視しているサポートセンター５のサポート担当者
が交換時期を判断して部品センター７に電子メール等で
部品の発注を行うこととなる。

【００５４】また、上記実施形態においては、消耗度情
報２４１を構築し、それに基づいてサポートコンピュー
タ３にて部品の消耗度が予め設定された所定の値（要交
換値）以上となっているか否かを判定していたが、消耗
度情報２４１を構築することなく、基板処理装置１のシ
ステム制御部１００からサポートコンピュータ３に部品
の消耗度を直接送信するようにしても良い。

【００５５】また、上記実施形態では、消耗度として使
用時間を採用するようにしていたが、消耗度として処理
枚数を採用するようにしても良い。消耗度として処理枚
数を採用したときには、計数器１１８が洗浄ブラシ１１
等の部品の処理枚数を消耗度として計測する。計測され
た消耗度についての扱いは上記の使用時間の場合と同じ
である。このようにしても、消耗度として使用時間を採
用した場合と同様の効果を得ることができる。なお、消
耗度として使用時間および処理枚数の双方を採用するよ
うにしても良い。この場合は、使用時間または処理枚数
のいずれか一方が予め設定された所定の値以上となって
いるときに、警告を発生したり新たな部品の発注信号を
送信するようにすれば良い。

【００５６】また、警告発生機能や部品の発注信号送信
機能をサポートコンピュータ３ではなく、基板処理装置
１や情報蓄積サーバ２に持たせるようにしても良い。図
９は、基板処理装置１に警告発生機能および部品の発注
信号送信機能を持たせたときの基板処理システム１０の
機能構成を示す機能ブロック図である。同図において、
図６と同一の機能を有するものに関しては、同一の符号
を付している。また、図９において、発注信号送信部１
０８および警告発生部１０９はシステム制御部１００の
ＣＰＵ１０１が処理プログラムを実行することによって
実現される処理部であり、その役割は図６の発注信号送
信部３１４および警告発生部３１３とそれぞれ同じであ
る。

【００５７】このようにした場合は、タイマ１１７また
は計数器１１８が計測した消耗度が予め設定された所定
の値（要交換値）以上となっているか否かがシステム制
御部１００（厳密にはＣＰＵ１０１）にて判断され、警
告発生部１０９が表示部１３０等から警告を発したり、
発注信号送信部１０８が新たな部品についての発注信号
を通信部１０５からネットワーク６を介して受注サーバ
８に送信する。このようにしても、上記実施形態と同様
の効果を得ることができる。

【００５８】また、上記実施形態では、基板処理装置１
を基板に洗浄処理を行うものとし、その部品である洗浄
ブラシ１１の消耗度を管理するようにしていたが、これ
に限定されるものではなく、例えば光照射によって基板
を加熱するランプアニール装置においてその部品である
ランプの消耗度を管理する場合であっても本発明にかか
る技術を適用することができる。また、例えば、搬送ロ
ボットＴＲを駆動するためのベルト、シリンダー、モー
タ等を消耗部品としてその消耗度を管理する場合であっ
ても本発明にかかる技術を適用することができる。

【００５９】

【発明の効果】以上、説明したように、請求項１の発明
によれば、基板処理装置が当該基板処理装置の部品の消
耗度を計測する消耗度計測手段を備え、消耗度計測手段
が計測した消耗度を蓄積する消耗度情報蓄積手段と、消
耗度情報蓄積手段に蓄積された消耗度を、ネットワーク
を介してコンピュータから閲覧可能にする消耗度情報公
開手段と、を備えるため、基板処理装置の部品の消耗度
を効率良く管理することができる。

【００６０】また、請求項２の発明によれば、部品の使
用時間を消耗度として計測するため、基板処理装置の部
品の消耗度を効率良く管理することができる。

【００６１】また、請求項３の発明によれば、部品を使
用しての基板処理枚数を消耗度として計測するため、基
板処理装置の部品の消耗度を効率良く管理することがで
きる。

【００６２】また、請求項４の発明によれば、消耗度情
報蓄積手段に蓄積された部品の消耗度が所定の値に到達
した時点で、当該部品の交換を促す旨の警告を発する警
告発生手段を備えるため、寿命の近づいた部品の発生を
確実に認識することができる。

【００６３】また、請求項５の発明によれば、消耗度情
報蓄積手段に蓄積された部品の消耗度が前記所定の値に
到達した時点で、受注サーバに当該部品と交換すべき新
たな部品についての発注信号を送信する発注信号送信手
段を備えるため、寿命の近づいた部品の交換部品を自動
的に発注することができ、部品交換に伴う基板処理装置
の稼働効率低下を防止することができる。

【００６４】また、請求項６の発明によれば、複数の基
板処理装置のそれぞれが当該基板処理装置の部品の消耗
度を計測する消耗度計測手段を備え、複数の基板処理装
置のいずれかの部品の消耗度が所定の値に到達した時点
で、当該部品の交換を促す旨の警告を発する警告発生手
段を備えるため、寿命の近づいた部品の発生を確実に認
識することができる。

【００６５】また、請求項７の発明によれば、基板処理
装置が当該基板処理装置の部品の消耗度を計測する消耗
度計測手段を備え、基板処理装置の部品の消耗度が所定
の値に到達した時点で、受注サーバに当該部品と交換す
べき新たな部品についての発注信号を送信する発注信号
送信手段を備えるため、寿命の近づいた部品の交換部品
を自動的に発注することができ、部品交換に伴う基板処
理装置の稼働効率低下を防止することができる。

【００６６】また、請求項８の発明によれば、基板処理
装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測工程と、部品
の発注を受け付ける受注サーバに、基板処理装置の部品
の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部品と交換
すべき新たな部品についての発注信号を送信する発注信
号送信工程と、を備えるため、部品交換に伴う基板処理
装置の稼働効率低下を防止することができる。

【００６７】また、請求項９の発明によれば、基板処理
装置の部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該
部品の交換を促す旨の警告を発する警告発生工程を備え
るため、寿命の近づいた部品の発生を確実に認識するこ
とができる。

【００６８】また、請求項１０の発明によれば、基板処
理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測手段と、消
耗度計測手段が計測した消耗度を装置外部に送出する消
耗度情報送出手段と、を備えるため、部品の消耗度を装
置外部から把握して基板処理装置の部品の消耗度を効率
良く管理することができる。

【００６９】また、請求項１１の発明によれば、基板処
理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測手段と、部
品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部品と交
換すべき新たな部品についての発注信号を装置外部に送
信する発注信号送信手段と、を備えるため、寿命の近づ
いた部品の交換部品を自動的に発注することができ、部
品交換に伴う基板処理装置の稼働効率低下を防止するこ
とができる。

【００７０】また、請求項１２の発明によれば、部品の
消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部品の交換を
促す旨の警告を発する警告発生手段を備えるため、寿命
の近づいた部品の発生を確実に認識することができる。

【００７１】また、請求項１３の発明によれば、基板処
理装置が備えるコンピュータにプログラムを実行させる
だけで、その基板処理装置を請求項１０から請求項１２
のいずれかに記載の基板処理装置として動作させること
ができる。

【００７２】また、請求項１４の発明によれば、基板処
理装置が備えるコンピュータに記録媒体を読み取らせて
プログラムを実行させるだけで、その基板処理装置を請
求項１０から請求項１２のいずれかに記載の基板処理装
置として動作させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る基板処理システムの概略構成を示
す図である。

【図２】図１の基板処理システムの基板処理装置の概略
平面図である。

【図３】図２の基板処理装置の表面洗浄処理ユニットの
概略構成を示す図である。

【図４】基板処理装置の制御システムの構成を示すブロ
ック図である。

【図５】情報蓄積サーバ、サポートコンピュータおよび
受注サーバの基本構成を示す図である。

【図６】基板処理システムの機能構成を示す機能ブロッ
ク図である。

【図７】基板処理システムにおける処理手順を示すフロ
ーチャートである。

【図８】消耗度情報の一例を示す図である。

【図９】基板処理装置に警告発生機能および部品の発注
信号送信機能を持たせたときの基板処理システムの機能
構成を示す機能ブロック図である。

【符号の説明】

１ 基板処理装置 ２ 情報蓄積サーバ ３ サポートコンピュータ ４ 基板処理工場 ５ サポートセンター ６ ネットワーク ７ 部品センター ８ 受注サーバ １０ 基板処理システム １１ 洗浄ブラシ ９１ 記録媒体 １１７ タイマ １１８ 計数器 ２３６ 情報公開部 ３１３，１０９ 警告発生部 ３１４，１０８ 発注信号送信部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 亀井 謙治 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 井上 秀和 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 (72)発明者 北本 徹 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内 Ｆターム(参考） 2H096 AA24 AA25 AA27 CA12 GA21 HA19 5F031 CA01 CA02 CA05 HA13 HA23 HA48 HA59 MA23 PA06 5F046 AA28 DD06

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板処理装置と、前記基板処理装置を管
   理するコンピュータとがネットワークに結合された基板
   処理システムであって、 前記基板処理装置は、当該基板処理装置の部品の消耗度
   を計測する消耗度計測手段を備え、 前記消耗度計測手段が計測した消耗度を蓄積する消耗度
   情報蓄積手段と、 前記消耗度情報蓄積手段に蓄積された消耗度を、前記ネ
   ットワークを介して前記コンピュータから閲覧可能にす
   る消耗度情報公開手段と、を備えることを特徴とする基
   板処理システム。
2. 【請求項２】 請求項１記載の基板処理システムにおい
   て、 前記消耗度計測手段は、前記部品の使用時間を消耗度と
   して計測することを特徴とする基板処理システム。
3. 【請求項３】 請求項１記載の基板処理システムにおい
   て、 前記消耗度計測手段は、前記部品を使用しての基板処理
   枚数を消耗度として計測することを特徴とする基板処理
   システム。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３のいずれかに記載
   の基板処理システムにおいて、 前記コンピュータは、 前記消耗度情報蓄積手段に蓄積された部品の消耗度が所
   定の値に到達した時点で、当該部品の交換を促す旨の警
   告を発する警告発生手段を備えることを特徴とする基板
   処理システム。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４のいずれかに記載
   の基板処理システムにおいて、 前記ネットワークには、部品の発注を受け付ける受注サ
   ーバが結合され、 前記コンピュータは、 前記消耗度情報蓄積手段に蓄積された部品の消耗度が前
   記所定の値に到達した時点で、前記受注サーバに当該部
   品と交換すべき新たな部品についての発注信号を送信す
   る発注信号送信手段を備えることを特徴とする基板処理
   システム。
6. 【請求項６】 複数の基板処理装置と、前記複数の基板
   処理装置を管理するコンピュータとがネットワークに結
   合された基板処理システムであって、 前記複数の基板処理装置のそれぞれは、当該基板処理装
   置の部品の消耗度を計測する消耗度計測手段を備え、 前記複数の基板処理装置のいずれかの部品の消耗度が所
   定の値に到達した時点で、当該部品の交換を促す旨の警
   告を発する警告発生手段を備えることを特徴とする基板
   処理システム。
7. 【請求項７】 基板処理装置と、前記基板処理装置を管
   理するコンピュータと、前記基板処理装置の部品の発注
   を受け付ける受注サーバとがネットワークに結合された
   基板処理システムであって、 前記基板処理装置は、当該基板処理装置の部品の消耗度
   を計測する消耗度計測手段を備え、 前記基板処理装置の部品の消耗度が所定の値に到達した
   時点で、前記受注サーバに当該部品と交換すべき新たな
   部品についての発注信号を送信する発注信号送信手段を
   備えることを特徴とする基板処理システム。
8. 【請求項８】 基板処理装置の部品の交換を管理する基
   板処理装置管理方法であって、 基板処理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測工程
   と、 部品の発注を受け付ける受注サーバに、基板処理装置の
   部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部品と
   交換すべき新たな部品についての発注信号を送信する発
   注信号送信工程と、を備えることを特徴とする基板処理
   装置管理方法。
9. 【請求項９】 請求項８記載の基板処理装置管理方法に
   おいて、 基板処理装置の部品の消耗度が所定の値に到達した時点
   で、当該部品の交換を促す旨の警告を発する警告発生工
   程をさらに備えることを特徴とする基板処理装置管理方
   法。
10. 【請求項１０】 基板に所定の処理を行う基板処理装置
    であって、 当該基板処理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測
    手段と、 前記消耗度計測手段が計測した消耗度を装置外部に送出
    する消耗度情報送出手段と、を備えることを特徴とする
    基板処理装置。
11. 【請求項１１】 基板に所定の処理を行う基板処理装置
    であって、 当該基板処理装置の部品の消耗度を計測する消耗度計測
    手段と、 前記部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部
    品と交換すべき新たな部品についての発注信号を装置外
    部に送信する発注信号送信手段と、を備えることを特徴
    とする基板処理装置。
12. 【請求項１２】 請求項１１記載の基板処理装置におい
    て、 前記部品の消耗度が所定の値に到達した時点で、当該部
    品の交換を促す旨の警告を発する警告発生手段をさらに
    備えることを特徴とする基板処理装置。
13. 【請求項１３】 基板処理装置が備えるコンピュータに
    よって実行されることにより、前記基板処理装置が請求
    項１０から請求項１２のいずれかに記載の基板処理装置
    として動作することを特徴とするプログラム。
14. 【請求項１４】 請求項１３に記載のプログラムを記録
    してあることを特徴とするコンピュータ読み取り可能な
    記録媒体。