KR100602509B1 - 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (29)
- 기판에 일련의 처리를 행하는 기판 처리장치 및 상기 기판 처리장치를 관리하는 지원컴퓨터가 네트워크를 통하여 접속된 기판처리장치 관리시스템으로서,여기에서, 상기 지원 컴퓨터는,a-1) 상기 기판 처리장치의 초기설정에 필요한 초기설정정보인 기판처리장치의 기판 처리유닛 및 제어부의 동작의 설정값을 규정한 기본정보를 저장하는 제1 기억수단과,a-2) 상기 기본정보를 상기 네트워크를 통해서 상기 기판 처리장치로 송신하는 기본정보 송신수단을 포함하고,상기 기판처리장치는,b-1) 상기 지원 컴퓨터에서 수신한 상기 기본정보를 저장하는 제2 기억수단을 포함하며,상기 기판 처리장치는, 상기 제2 기억수단에 저장된 기본정보에 의하여 초기상태가 정비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 1 항에 있어서,상기 기본정보는, 동일한 유형의 기판 처리장치에 대해서 공통으로 설정된 정보인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 기본정보는, 상기 기판 처리장치를 제어하기 위한 제어 프로그램의 버전으로 변경되는 정보이고,상기 기판 처리장치는,b-2) 상기 기판 처리장치에 설치된 상기 제어 프로그램의 버전을 상기 지원 컴퓨터로 통지하는 통지수단을 더 포함하며,상기 기본정보 송신수단은,a-2-1) 상기 기판 처리장치에서 통지된 상기 제어 프로그램의 버전정보에 대응하는 상기 기본정보를 상기 기판 처리장치로 송신하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 3 항에 있어서,상기 기판 처리장치는,b-3) 상기 기본정보에 대한 송신요구를 상기 지원 컴퓨터에 지시하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 4 항에 있어서,상기 지원 컴퓨터는,a-3) 상기 기본정보의 송신을 상기 기판 처리장치에 지시하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 기판에 일련의 처리를 행하는 기판 처리장치로서,기판에 상기 일련의 처리를 실행하기 위한 기판 처리유닛과,상기 기판 처리장치를 제어하기 위한 제어부와,상기 기판 처리유닛과 제어부의 동작의 설정값을 규정한 초기설정정보인 기본정보를 저장하는 기억수단과,네트워크를 통해서 상기 기판 처리장치와 접속된 컴퓨터로부터 상기 기본정보를 수취하는 수취수단; 및,수취된 상기 기본정보를 상기 기억수단에 저장하는 저장수단을 포함하는 기판 처리장치로서,상기 기판 처리장치는 상기 저장수단에 의하여 상기 기억수단에 저장된 기본정보에 의하여 초기상태가 정비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 기본정보는, 동일한 유형의 기판 처리장치에 대해서 공통으로 설정된 정보인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 7 항에 있어서,상기 기본정보는,상기 기판 처리장치를 제어하기 위한 제어 프로그램의 버전으로 변경되는 정보이고,상기 기판 처리장치는,c) 상기 기판 처리장치에 설치된 상기 제어 프로그램의 버전을 상기 컴퓨터로 통지하는 통지수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 8 항에 있어서,d) 상기 기본정보에 대한 송신요구를 상기 컴퓨터에 지시하는 수단을 더 포 함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기억수단에 저장된 기본정보를 초기설정정보로서 초기상태가 정비되는 기판 처리장치를 관리하는 기판 처리장치 관리방법에 있어서,상기 기본정보는 기판 처리장치의 기판 처리유닛과 제어부의 동작의 설정값을 규정한 초기설정정보이고,a) 네트워크를 통해서 상기 기판 처리장치와 접속된 컴퓨터로부터 상기 기본정보를 수취하는 스텝 및;b) 수취된 상기 기본정보를 상기 기억수단에 저장하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
- 컴퓨터 판독 가능한 기록매체로서, 기억수단에 저장된 기본정보를 초기설정정보로서 초기상태가 정비되는 기판처리장치가 구비된 컴퓨터에 의하여 실행되는 것에 의하여, 상기 기판처리장치가,a) 네트워크를 통해서 상기 기판 처리장치와 접속된 외부 컴퓨터로부터 기판처리장치의 기판 처리유닛 및 제어부의 동작의 설정값을 규정한 초기설정정보인 상기 기본정보를 수취하는 스텝 및;b) 수취된 상기 기본정보를 상기 기억수단에 저장하는 스텝을 실행하는 프로그램이 기록되어 있는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
- 기판에 일련의 처리를 행하는 기판 처리장치 및 상기 기판 처리장치를 관리하는 지원컴퓨터가 네트워크를 통하여 접속된 기판처리장치 관리시스템으로서,상기 기판 처리장치는, 상기 기판 처리장치의 부품중 소모도를 측정하는 소모도 측정수단을 포함하고,상기 기판 처리장치 관리시스템은,상기 소모도 측정수단에 의해 측정된 상기 소모도를 축적하는 소모도 정보 축적수단 및;상기 소모도 정보 축적수단에 축적된 소모도를 상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에서 판독이 가능케 하는 소모도 정보 공개수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 12 항에 있어서,상기 소모도 측정수단은, 상기 소모도으로서 상기 부품의 사용 시간을 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 12 항에 있어서,상기 소모도 측정수단은, 상기 소모도으로서 상기 부품으로 처리된 기판 매수를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 12 항에 있어서,상기 컴퓨터는, 상기 소모도 정보 축적수단에 축적된 상기 부품의 상기 소모도가 소정의 값에 도달할 때 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 경고 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 15 항에 있어서,부품의 발주를 받아들이는 수주서버는 상기 네트워크에 접속되어 있고,상기 컴퓨터는, 상기 소모도 정보 축적수단에 축적된 상기 부품의 상기 소모도가 상술한 소정의 값에 도달할 때 상기 부품을 교환하기 의해 신규 부품의 발주신호를 상기 수주서버로 송신하는 발주신호 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 각각이 기판에 일련의 처리를 행하는 복수의 기판 처리장치 및 상기 복수의 기판 처리장치를 관리하는 지원컴퓨터가 네트워크를 통하여 접속된 기판처리장치 관리시스템으로서,상기 복수의 기판 처리장치의 각각은, 상기 기판 처리장치의 부품의 소모도를 측정하는 소모도 측정수단을 포함하고,상기 기판 처리장치 관리시스템은,상기 부품의 상기 소모도가 소정의 값에 도달할 때, 상기 복수의 기판 처리장치중 어느 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 경고수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 기판에 일련의 처리를 행하는 기판 처리장치와, 상기 기판 처리장치를 관리하는 컴퓨터와, 상기 기판처리장치의 부품의 발주를 받아들이는 수주서버를 네트워크를 통하여 접속한 기판처리장치 관리시스템으로서,상기 기판 처리장치는, 상기 기판 처리장치의 상기 부품의 소모도를 측정하는 소모도 측정수단을 포함하고,상기 기판 처리장치 관리시스템은,상기 기판 처리장치의 상기 부품중 상기 소모도가 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품의 발주신호를 상기 수주서버로 송신하는 발주신호 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 기판 처리장치의 부품 교환을 관리하는 기판 처리장치 관리방법에 있어서,상기 기판 처리장치의 상기 부품의 소모도를 측정하는 스텝 및;상기 기판 처리장치의 상기 부품의 상기 소모도가 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품이 발주신호를 부품의 발주를 받아들이는 상기 수주서버로 송신하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
- 제 19 항에 있어서,상기 기판 처리장치의 상기 부품의 상기 소모도가 상기 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
- 기판상에 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,상기 기판 처리장치의 부품의 소모도를 측정하는 소모도 측정수단 및;상기 소모도 측정수단에 의해 측정된 상기 소모도를 상기 기판 처리장치의 외부로 송신하는 소모도 정보 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판상에 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,상기 기판 처리장치의 부품의 소모도를 측정하는 소모도 측정수단 및;상기 부품의 상기 소모도가 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품의 발주신호를 상기 기판 처리장치의 외부로 송신하는 발주신호 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제 22 항에 있어서,상기 부품의 상기 소모도가 상기 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 경고수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판 처리장치에 포함된 컴퓨터용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 있어서,상기 기판처리를 가능하게 하는 상기 컴퓨터에 의한 상기 프로그램의 실행은,a) 상기 기판 처리장치의 부품의 소모도를 측정하고,b) 상기 부품의 상기 소모도가 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품의 발주신호를 송신하는 것을 실행하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
- 각각이 기판에 일련의 처리를 행하는 복수의 기판 처리장치 및 상기 복수의 기판 처리장치를 관리하는 지원컴퓨터가 네트워크를 통하여 접속된 기판처리장치 관리시스템으로서,여기에서 상기 컴퓨터는, 상기 복수의 기판 처리장치의 조작에 관한 교육정보를 상기 네트워크를 통해서 분배하는 교육정보 분배수단을 포함하고,상기 복수의 기판 처리장치의 각각은,상기 컴퓨터에서 분배된 상기 교육정보를 수취하는 수취수단 및,상기 수취수단에 의해 수취된 상기 교육정보를 표시하는 표시수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 25 항에 있어서,상기 복수의 기판 처리장치의 각각은, 상기 교육정보의 분배를 상기 컴퓨터에 요구하는 분배 요구수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리 시스템.
- 제 25 항에 있어서,상기 컴퓨터는, 상기 교육정보를 상기 복수의 기판 처리장치로 동시에 분배 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 25 항에 있어서,상기 네크워크는 인터넷인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
- 제 28 항에 있어서,상기 네트워크는 LAN(local area network)인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4097485B2 (ja) * | 2002-08-28 | 2008-06-11 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 酸化還元酵素と基質との反応中間体を捕捉する方法 |
GB2411493B (en) * | 2004-02-27 | 2006-10-11 | Motorola Inc | Method of backing-up data in a data processing system |
US20050228836A1 (en) * | 2004-04-08 | 2005-10-13 | Bacastow Steven V | Apparatus and method for backing up computer files |
CN1702849A (zh) * | 2004-05-26 | 2005-11-30 | 松下电器产业株式会社 | 温度异常检测方法及半导体制造装置 |
US7464862B2 (en) | 2004-06-15 | 2008-12-16 | Quickvault, Inc. | Apparatus & method for POS processing |
JP5008280B2 (ja) * | 2004-11-10 | 2012-08-22 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP5154007B2 (ja) * | 2004-12-06 | 2013-02-27 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP4794232B2 (ja) * | 2004-12-06 | 2011-10-19 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
JP4926433B2 (ja) * | 2004-12-06 | 2012-05-09 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置および基板処理方法 |
US20070143529A1 (en) * | 2005-04-28 | 2007-06-21 | Bacastow Steven V | Apparatus and method for PC security and access control |
JP4849825B2 (ja) * | 2005-05-18 | 2012-01-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置、位置合わせ方法、制御プログラムおよびコンピュータ記憶媒体 |
JP4761907B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-08-31 | 株式会社Sokudo | 基板処理装置 |
US7546171B2 (en) * | 2005-12-30 | 2009-06-09 | Honeywell International Inc. | Method, apparatus and system for recovery of a controller with known-compatible configuration and run-time data |
KR100926117B1 (ko) * | 2005-12-30 | 2009-11-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법 |
CN101025741A (zh) * | 2006-02-17 | 2007-08-29 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 数据库的备份系统及方法 |
JP5091413B2 (ja) * | 2006-03-08 | 2012-12-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板処理装置の制御方法 |
US20080005426A1 (en) * | 2006-05-31 | 2008-01-03 | Bacastow Steven V | Apparatus and method for securing portable USB storage devices |
US8011013B2 (en) | 2006-07-19 | 2011-08-30 | Quickvault, Inc. | Method for securing and controlling USB ports |
JP5020605B2 (ja) * | 2006-11-16 | 2012-09-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 上位制御装置、下位制御装置、画面の操作権付与方法および画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体 |
DE502007000122D1 (de) * | 2007-01-17 | 2008-10-30 | Siemens Ag | Verfahren zur Speicherung und Reproduktion eines Zustands in einem Automatisierungsgerät |
US7813828B2 (en) * | 2007-04-02 | 2010-10-12 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Substrate processing system and group management system |
JP5461778B2 (ja) * | 2007-04-02 | 2014-04-02 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法 |
US8086688B1 (en) | 2008-05-16 | 2011-12-27 | Quick Vault, Inc. | Method and system for mobile data security |
US8173931B2 (en) * | 2008-06-13 | 2012-05-08 | Electro Scientific Industries, Inc. | Automatic recipe management for laser processing a work piece |
US8155923B2 (en) * | 2009-06-08 | 2012-04-10 | General Electric Company | System, remote device, and method for validating operation of a wind turbine |
JP2011040546A (ja) * | 2009-08-10 | 2011-02-24 | Canon Inc | 露光装置、システム、更新方法及びデバイス製造方法 |
US8655472B2 (en) * | 2010-01-12 | 2014-02-18 | Ebara Corporation | Scheduler, substrate processing apparatus, and method of transferring substrates in substrate processing apparatus |
JP2012043041A (ja) * | 2010-08-13 | 2012-03-01 | Disco Abrasive Syst Ltd | 遠隔操作システム |
TWI526789B (zh) | 2011-04-22 | 2016-03-21 | 瑪波微影Ip公司 | 用於微影蝕刻機器群聚的網路架構和協定 |
US20130079913A1 (en) * | 2011-09-28 | 2013-03-28 | Globalfoundries Inc. | Methods and systems for semiconductor fabrication with local processing management |
CN103389625A (zh) * | 2013-07-11 | 2013-11-13 | 浙江大学 | 一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法 |
JP6310260B2 (ja) | 2014-01-20 | 2018-04-11 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置 |
EP3192020A4 (en) | 2014-09-12 | 2018-02-14 | Quickvault Inc. | Method and system for forensic data tracking |
JP6956578B2 (ja) | 2017-09-19 | 2021-11-02 | 株式会社荏原製作所 | ブレークイン装置及びブレークインシステム |
JP6653722B2 (ja) * | 2018-03-14 | 2020-02-26 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置 |
JP6960873B2 (ja) * | 2018-03-16 | 2021-11-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造システム及びサーバ装置 |
Family Cites Families (60)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62133719A (ja) | 1985-12-06 | 1987-06-16 | Canon Inc | 半導体製造装置 |
JPH0718559B2 (ja) | 1988-11-12 | 1995-03-06 | 株式会社オーノ | 電熱チューブマット |
US5495417A (en) * | 1990-08-14 | 1996-02-27 | Kabushiki Kaisha Toshiba | System for automatically producing different semiconductor products in different quantities through a plurality of processes along a production line |
US5379438A (en) * | 1990-12-14 | 1995-01-03 | Xerox Corporation | Transferring a processing unit's data between substrates in a parallel processor |
JPH0536128A (ja) * | 1990-12-20 | 1993-02-12 | Hitachi Ltd | 高密度情報記録媒体及びそれを用いた記録装置 |
KR100307616B1 (ko) * | 1994-01-31 | 2001-12-15 | 김징완 | 산업공정감시제어시스템 |
US5787000A (en) * | 1994-05-27 | 1998-07-28 | Lilly Software Associates, Inc. | Method and apparatus for scheduling work orders in a manufacturing process |
US5594529A (en) | 1994-11-30 | 1997-01-14 | Exedy Corporation | Imaging device with stock supervision means |
US7069451B1 (en) * | 1995-02-13 | 2006-06-27 | Intertrust Technologies Corp. | Systems and methods for secure transaction management and electronic rights protection |
US5742829A (en) * | 1995-03-10 | 1998-04-21 | Microsoft Corporation | Automatic software installation on heterogeneous networked client computer systems |
US5758067A (en) * | 1995-04-21 | 1998-05-26 | Hewlett-Packard Co. | Automated tape backup system and method |
US5591299A (en) * | 1995-04-28 | 1997-01-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | System for providing integrated monitoring, control and diagnostics functions for semiconductor spray process tools |
US6873738B2 (en) * | 1995-10-02 | 2005-03-29 | Sony Corporation | Hierarchical image processor for encoding or decoding, and memory on the same chip |
JP2986146B2 (ja) | 1995-11-02 | 1999-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置のレシピ運用システム |
JP3892493B2 (ja) * | 1995-11-29 | 2007-03-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理システム |
TWI249760B (en) * | 1996-07-31 | 2006-02-21 | Canon Kk | Remote maintenance system |
JPH10242092A (ja) | 1997-02-25 | 1998-09-11 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
US5950198A (en) * | 1997-03-24 | 1999-09-07 | Novell, Inc. | Processes and apparatuses for generating file correspondency through replication and synchronization between target and source computers |
JPH10270535A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-10-09 | Nikon Corp | 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法 |
JPH10274919A (ja) | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Hitachi Software Eng Co Ltd | 教育支援システム |
US6000830A (en) * | 1997-04-18 | 1999-12-14 | Tokyo Electron Limited | System for applying recipe of semiconductor manufacturing apparatus |
US5814365A (en) * | 1997-08-15 | 1998-09-29 | Micro C Technologies, Inc. | Reactor and method of processing a semiconductor substate |
TW459266B (en) * | 1997-08-27 | 2001-10-11 | Tokyo Electron Ltd | Substrate processing method |
JP3892553B2 (ja) * | 1997-10-29 | 2007-03-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JPH11194928A (ja) * | 1997-12-29 | 1999-07-21 | Tokyo Electron Ltd | 制御装置 |
KR19990058399A (ko) | 1997-12-30 | 1999-07-15 | 윤종용 | 산업용 감시/제어 시스템의 데이터 관리방법 |
US6098637A (en) * | 1998-03-03 | 2000-08-08 | Applied Materials, Inc. | In situ cleaning of the surface inside a vacuum processing chamber |
JPH11344920A (ja) | 1998-06-02 | 1999-12-14 | Kyasuto:Kk | 教育システム及び、そのプログラム媒体及び、その装置 |
JP2000021740A (ja) | 1998-06-29 | 2000-01-21 | Nikon Corp | 露光装置及びその操作支援方法 |
JP2000031030A (ja) | 1998-07-08 | 2000-01-28 | Canon Inc | 露光装置、データ管理方法およびデバイス製造方法 |
JP3349455B2 (ja) * | 1998-09-30 | 2002-11-25 | 宮崎沖電気株式会社 | 半導体製造装置のための管理方法および管理システム |
US6314502B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-11-06 | Ricoh Co., Ltd. | Method and apparatus for opportunistic queue processing |
US6978297B1 (en) * | 1998-11-12 | 2005-12-20 | Ricoh, Co., Ltd. | System and method of managing queues by maintaining metadata files having attributes corresponding to capture of electronic document and using the metadata files to selectively lock the electronic document |
JP2000195775A (ja) | 1998-12-25 | 2000-07-14 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
US6223137B1 (en) * | 1999-03-25 | 2001-04-24 | The University Of Tennessee Research Corporation | Method for marking, tracking, and managing hospital instruments |
US6556949B1 (en) * | 1999-05-18 | 2003-04-29 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
US6408220B1 (en) * | 1999-06-01 | 2002-06-18 | Applied Materials, Inc. | Semiconductor processing techniques |
US6415193B1 (en) * | 1999-07-08 | 2002-07-02 | Fabcentric, Inc. | Recipe editor for editing and creating process recipes with parameter-level semiconductor-manufacturing equipment |
US6721045B1 (en) * | 1999-09-07 | 2004-04-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus to provide embedded substrate process monitoring through consolidation of multiple process inspection techniques |
US7012684B1 (en) * | 1999-09-07 | 2006-03-14 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus to provide for automated process verification and hierarchical substrate examination |
EP1255294A4 (en) * | 2000-01-17 | 2009-01-21 | Ebara Corp | SEMI-SLIDE TRANSPORT CONTROL APPARATUS AND METHOD OF TRANSPORTING SEMICONDUCTED DISCS |
US6952656B1 (en) * | 2000-04-28 | 2005-10-04 | Applied Materials, Inc. | Wafer fabrication data acquisition and management systems |
AU2001263377B2 (en) * | 2000-05-19 | 2005-03-17 | Vir2Us, Inc. | A computer with switchable components |
JP2002057100A (ja) * | 2000-05-31 | 2002-02-22 | Canon Inc | 露光装置、コートデベロップ装置、デバイス製造システム、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法 |
EP1168174A1 (en) * | 2000-06-19 | 2002-01-02 | Hewlett-Packard Company, A Delaware Corporation | Automatic backup/recovery process |
US6567718B1 (en) * | 2000-07-28 | 2003-05-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for monitoring consumable performance |
KR20020011507A (ko) * | 2000-08-02 | 2002-02-09 | 서평원 | 웹 브라우저 기반 네트워크 관리 시스템 |
KR20000072763A (ko) | 2000-09-25 | 2000-12-05 | 강승식 | 전자부품자동조립장비에서 소요자재 예측을 통한 실시간자재공급 자동요청 방법 |
US20020072893A1 (en) * | 2000-10-12 | 2002-06-13 | Alex Wilson | System, method and article of manufacture for using a microprocessor emulation in a hardware application with non time-critical functions |
US6625703B2 (en) * | 2000-11-02 | 2003-09-23 | International Business Machines Corporation | Verifying primary and backup copies of vital information for a processing system employing a pseudo-fixed reference identifier |
KR100453698B1 (ko) * | 2000-11-13 | 2004-10-20 | (주)쓰리뷰 | 생산공정 모니터링 장치를 이용한 자재수급 시스템제공방법 및 장치 |
US7080144B2 (en) * | 2000-12-22 | 2006-07-18 | Bell South Intellectual Property Corp. | System enabling access to obtain real-time information from a cell site when an emergency event occurs at the site |
US6990380B2 (en) * | 2000-12-27 | 2006-01-24 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and information storage apparatus and method |
US6718464B2 (en) * | 2001-01-23 | 2004-04-06 | International Business Machines Corporation | Method and system for customizing a client computer system configuration for a current user using BIOS settings downloaded from a server |
US6567714B2 (en) * | 2001-01-26 | 2003-05-20 | Dell Products L.P. | Method and system for manufacturing a computer system with the assistance of a wireless information network |
US6795798B2 (en) * | 2001-03-01 | 2004-09-21 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Remote analysis of process control plant data |
US8458689B2 (en) * | 2001-03-30 | 2013-06-04 | Roderick A. Barman | Method and apparatus for reprogramming engine controllers |
US6931552B2 (en) * | 2001-05-02 | 2005-08-16 | James B. Pritchard | Apparatus and method for protecting a computer system against computer viruses and unauthorized access |
TWI244603B (en) * | 2001-07-05 | 2005-12-01 | Dainippon Screen Mfg | Substrate processing system for managing device information of substrate processing device |
JP4071461B2 (ja) * | 2001-07-05 | 2008-04-02 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体 |
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