KR20050065478A - 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 - Google Patents

기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20050065478A
KR20050065478A KR1020050044009A KR20050044009A KR20050065478A KR 20050065478 A KR20050065478 A KR 20050065478A KR 1020050044009 A KR1020050044009 A KR 1020050044009A KR 20050044009 A KR20050044009 A KR 20050044009A KR 20050065478 A KR20050065478 A KR 20050065478A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate processing
processing apparatus
information
computer
unit
Prior art date
Application number
KR1020050044009A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100602509B1 (ko
Inventor
토루 키타모토
켄지 카메이
히데카즈 이노우에
테츠야 하마다
Original Assignee
다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2001270699A external-priority patent/JP3962232B2/ja
Priority claimed from JP2001270584A external-priority patent/JP4191399B2/ja
Priority claimed from JP2001271369A external-priority patent/JP2003080155A/ja
Priority claimed from JP2001271599A external-priority patent/JP2003086479A/ja
Application filed by 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 filed Critical 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤
Publication of KR20050065478A publication Critical patent/KR20050065478A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100602509B1 publication Critical patent/KR100602509B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G06Q50/00—Systems or methods specially adapted for specific business sectors, e.g. utilities or tourism
    • G06Q50/04—Manufacturing
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31333—Database to backup and restore factory controllers
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/31—From computer integrated manufacturing till monitoring
    • G05B2219/31379—Master monitors controllers, updates production progress, allocates resources
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/80—Management or planning

Abstract

기판 처리장치 및 정보 축적서버는 네트워크를 통해서 서로 접속되어 있다. 기판 처리장치의 기억부는 설정정보와 제어 프로그램에 따라 기판 처리장치의 동작을 제어하기 위한 설정정보와 제어 프로그램을 저장한다. 기판 처리장치에는, 스케줄에 따라 백업지시명령을 송신하기 위한 스케줄 기능이 설치되어 있다. 이 지시명령에 대응하여, 기판 처리장치는 상술한 기억부에 저장된 특정 정보의 복제물을 생성한 후, 네트워크를 통해서 복제정보를 정보 축적서버로 전달한다. 정보 축적서버는, 수취된 복제정보를 백업 데이터로서 하드 디스크에 저장한다. 또한, 정보 축적서버는 복제정보의 차분데이터만 저장하는 것도 가능하다. 이와 같이, 기판 처리장치의 동작을 제어하기 위한 정보는, 사용자에게 부담을 주는 일 없이 효과적으로 백업될 수 있다.

Description

기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템{Substrate processing system managing apparatus information of substrate processing apparatus}
본 발명은, 반도체 기판, 액정용 유리기판, 포토마스크용 유리기판 또는 광디스크용 기판(이하, 간단히 기판이라 한다)상에서 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치 및 컴퓨터를 네트워크를 통해서 서로 접속하는 네트워크 통신기술에 관한 것이다.
반도체장치 또는 액정 표시장치 등과 같은 제품은 기판상에서 세정, 레지스트 도포, 노광, 현상, 에칭, 층간절연막의 형성 및 열처리 등과 같은 일련의 처리를 실행하는 것에 의해 제조되고 있다. 일반적으로, 레지스트 도포 처리유닛, 현상처리유닛 등을 내장하는 기판 처리장치가 그러한 처리를 실행한다. 기판 처리장치상에 설치된 반송로봇은, 각각의 처리유닛으로 기판을 연속적으로 반송하는 것에 의해 기판상에 일련의 처리를 실행한다.
이와 같은 기판처리는 자동적으로 제어되고 있고, 기판 처리장치는 자동 제어를 위한 응용 프로그램 데이터, 설정정보 등을 저장한다. 즉, 기판 처리장치는, 설정정보의 내용(contents)에 따라 응용 프로그램을 통해 제어되고 있다.
기판 처리장치에 저장되는 설정정보는, 기판 처리장치에 공통으로 사용되는 기본정보와 기판 처리장치에 대한 고유정보를 포함한다. 기판 처리장치는 본래 디폴트(default)로 설정된 기본정보에 의해 제어 가능하지만, 최적의 제어는 기판 처리장치의 환경설정 또는 제조 에러에 의해 동일한 설정내용이 실행될 수 없다. 그러므로, 기본정보는 제어를 실행하기 위해 보정되어야 하고, 각 기판 처리장치는 고유정보로서 이 보정정보를 축적한다.
그러므로, 고유정보는 모든 사용자 및 모든 기판 처리장치에 고유한 정보이다. 하드웨어 결함과 같은 결함에 의해 발생되어 축적된 정보가 손실된 기판 처리장치를 결함의 발생 이전의 상태로 되돌리기 위해서는, 설정정보를 주기적으로 백업하는 것이 필요하다. 또한, 사용자가 자기결정 방식으로 설정정보를 변경하는 경우에도, 과거의 설정정보는 필요해진다. 또한, 이 경우 과거의 설정정보를 갖는 기판 처리장치를 동작시키기 위해서도, 설정정보를 주기적으로 백업하는 것이 필요하다. 일반적으로, 사용자는 각 기판 처리장치에서 이동형(removal) 디스크 등에 설정정보를 백업한다.
그러나, 기판 처리장치의 설정정보를 이동형 디스크 등에 백업하기 위해 과도하게 시간이 소비되므로, 사용자에게 부담이 된다. 특히, 다수의 기판 처리장치가 배치되는 경우, 백업 동작은 차례로 향상을 기대하는 사용자에게 매우 부담을 주고 있다.
또한, 백업 데이터가 유효하도록 백업처리를 위한 시간 간격을 최소화하는 것이 필요하다. 그러나, 백업처리의 부담이 너무 과중하므로, 주기적인 백업처리를 빈번하게 실행하도록 사용자에게 요구하는 것은 비현실적이다.
기판 처리장치에서 초기단계에 설정된 상술한 기본정보는, 매우 많은 수의 설정항목으로 구성되어 있다. 사용자 또는 지원 스탭은, 우선 기판 처리장치에서 기본정보를 설정함으로써, 기본정보에 따라 기판 처리장치를 동작시킨다. 또, 사용자는 각 기판 처리장치에 대응하는 고유정보도 설정한다. 즉, 사용자는 기본정보에 따라 설정된 기판 처리장치의 동작을 고유정보에 따라 보정하는 것에 의해 최적의 제어를 실행한다.
상술한 바와 같이, 기판 처리장치에서 설정되는 기본정보는 매우 많은 수의 설정항목으로 구성되어 있다. 다수의 항목중 몇개에 관한 설정정보가 틀리면, 기판 처리장치는 계획된 동작을 실행할 수 없다.
복수의 스탭이, 복수의 기판 처리장치가 설치된 공장내에서 기본정보를 상이한 기판 처리장치에 각각 설정하는 경우, 예컨대 기본정보의 설정내용은 인위적인 에러에 의해 기판 처리장치에서 변경될 수 있다. 이 경우, 기판 처리장치에서 동일한 처리를 실행하여도, 동일한 제품이 생산될 수 없다.
또한, 각 기판 처리장치에 설정되는 기본정보가 기판 처리장치의 동작 결과로 생기는 설정에러를 포함하는 것이 입증되는 경우에도, 다수의 설정항목으로부터 틀린 설정내용을 찾는 것은 대단히 어렵다.
또한, 상술한 기판 처리장치를 형성하기 위한 부품으로는 소모품도 포함한다. 예컨대, 기판을 세정하기 위한 세정 처리유닛에 설치된 세정브러쉬 또는 광 조사에 의해 기판을 신속하게 어닐링하기 위한 램프 어닐링장치에 설치된 램프는 전형적인 소모품이다. 또한, 반송로봇 등을 구동하기 위한 구동기구를 형성하는 벨트, 실린더, 모터 등도 소모품이다.
이와 같이 사용됨에 따라 소모되고 품질이 저하된 소모품은, 현저한 소모에 따라 사용할 수 없게 되므로, 소모품을 교환하기 위해 신규 부품을 주기적으로 발주할 필요가 있다.
그러나, 일반적으로, 신규 부품은 소모품이 소비되거나 또는 파손된 후 발주되거나 또는 입수되므로, 신규 부품의 도착시까지 일정한 시간이 필요하게 되어 장치의 작업 효율성을 불리하게 떨어뜨린다. 그러므로, 기판 처리장치에서 소모품의 수명을 관리하는 것이 바람직하지만, 복수의 기판 처리장치가 단일 기판 처리공장내에 배치되어 있어, 모든 기판 처리장치에서 소모품을 관리하기 위해서는 현저한 노동이 필요하게 되고 있다.
또한, 일반적으로, 이와 같은 다수의 기판 처리장치는 반도체장치 등을 제조하는 단일 기판 처리공장내에 배치되며, 다수의 오퍼레이터에 의해 동작되고 있다. 그러므로, 기판 처리장치를 잘 조작하기 위한 방법에 대해서는 경험이 없는 비숙련 오퍼레이터를 적절히 훈련시킬 필요가 있다. 장치의 상세 항목이 변경되는 경우, 신규 조작방법에 대해 숙력된 오퍼레이터에게도 강의하는 것이 필요하다.
일반적으로, 오퍼레이터는 그룹에 대해서 반복적으로 전달되는 장치에 대한 강의를 경청하는 그룹으로 분리되거나 또는 집합적인 설명을 얻기 위해 단일 기판 처리장치 주위로만 모인다.
그러나, 이 경우 동일한 내용에 대한 강의가 반복되거나 또는 모든 오퍼레이터가 충분히 훈련을 받을 수 없게 되어, 기판 처리장치의 사용자 및 벤더(vendor) 양자에게 불리하게 비능률적으로 된다.
본 발명은 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 관리하는 기판 처리장치 관리시스템에 관한 것이다.
본 발명의 하나의 양상에 의하면, 네트워크를 통해서 통신 가능한 기판 처리장치를 관리하는 기판 처리장치 관리시스템은, 기판 처리장치의 동작을 제어하기 위한 제어정보를 저장하는 제1 기억수단과, 제1 기억수단에 저장된 제어정보의 복제정보를 취득하는 복제정보 취득수단과, 복제정보 취득수단에 의해 취득된 복제정보를 네트워크를 통해서 기판 처리장치에 접속된 정보축적 컴퓨터에 포함된 제2 기억수단에서 저장하는 저장수단을 포함한다.
네트워크를 통해 접속된 정보축적 컴퓨터의 기억수단은, 기판 처리장치의 제어정보를 저장하므로, 기록매체에 대한 백업 동작이 필요하지 않다. 이와 같이, 백업 동작에 관한 사용자의 부담이 매우 경감될 수 있다.
본 발명의 다른 양상에 의하면, 기판 처리장치 및 지원 컴퓨터를 네트워크를 통해서 서로 접속하는 기판 처리장치 관리시스템에 있어서, 지원 컴퓨터는 기판 처리장치의 초기화에 필요한 기본정보를 저장하는 제1 기억수단과, 기본정보를 네트워크를 통해서 기판 처리장치로 송신하는 기본정보 송신수단을 포함하고, 기판 처리장치는, 지원 컴퓨터로부터 수취된 기본정보를 저장하는 제2 기억수단을 포함하며, 기판 처리장치의 초기상태는 제2 기억수단에 저장된 기본정보로 설정된다.
초기화는 기판 처리장치의 도입이나 또는 리셋시 정확하고 쉽게 실행될 수 있다.
본 발명의 또 다른 양상에 의하면, 기판 처리장치 및 그 기판 처리장치를 관리하는 컴퓨터가 네트워크를 통해서 접속된 기판 처리장치 관리시스템에 있어서, 기판 처리장치는 기판 처리장치의 부품중 소모성을 측정하는 소모성 측정수단을 포함하고, 기판 처리장치 관리시스템은 소모성 측정수단에 의해 측정된 소모성을 축적하는 소모성 정보 축적수단 및 네트워크를 통해서 컴퓨터로부터 판독 가능한 소모성 정보 축적수단에 축적된 소모성을 나타내는 소모성 정보 공개수단을 포함한다.
기판 처리장치의 부품의 소모성은 효과적으로 관리될 수 있다.
본 발명의 또 다른 양상에 의하면, 복수의 기판 처리장치 및 컴퓨터를 네트워크를 통해서 서로 접속하는 기판 처리장치 관리시스템에 있어서, 컴퓨터는 복수의 기판 처리장치의 동작에 관한 교육정보를 네트워크를 통해서 분배하는 교육정보 분배수단을 포함하고, 복수의 기판 처리장치는 각각 컴퓨터에서 분배된 교육정보를 수취하는 수취수단 및 수취수단에 의해 수취된 교육정보를 표시하는 표시수단을 포함한다.
복수의 기판 처리장치의 조작에 관한 교육정보를 컴퓨터가 네트워크를 통해서 분배하므로, 조작교육이 오퍼레이터에게 효과적으로 주어질 수 있다.
또한, 본 발명은 기판 처리장치를 관리하기 위한 기판 처리장치 관리방법에 관한 것이다.
또한, 본 발명은 네트워크를 통해서 소정의 컴퓨터에 접속된 기판 처리장치에 관한 것이다.
따라서, 본 발명의 목적은, 기판 처리장치에 저장된 정보를 용이하게 백업하면서 사용자에게 걸리는 작업 부담을 경감하는 기술을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 기판 처리장치의 초기 동작을 쉽고 확실하게 설정하면서 사용자 또는 지원 스탭에게 걸리는 작업 부담을 절감하는 네트워크 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 기판 처리장치의 부품중 소모성을 효과적으로 관리할 수 있는 기술을 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 오퍼레이터에게 조작 교육을 효과적으로 할 수 있는 기판 처리시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 상기 및 그 이외의 목적, 특징, 양상 및 장점은 첨부된 도면과 결합되는 다음의 상세한 설명으로부터 보다 명백해질 것이다.
이제, 본 발명의 실시예가 도면을 참조하여 설명된다.
<1. 제1 실시예>
우선, 본 발명의 제1 실시예에 따른 전체 기판 처리시스템(10)의 개요가 설명된다. 도 1은 기판 처리시스템(10)의 구성을 개략적으로 나타낸다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 처리공장(4)내에 포함된 복수의 기판 처리장치(1) 및 정보 축적서버(2)와, 지원센터(5)내에 포함된 지원 컴퓨터(3)는 기판 처리시스템(10)에서 네트워크(6)를 통해 서로 접속되어 있다. 기판 처리장치(1)를 원격 제어하는 원격 관리 스탭은 지원센터(5)에 배치되어 있다.
기판 처리공장(4)에서는, 기판 처리장치(1)와 정보 축적서버(2)가 LAN(local area network)(41)을 통해서 서로 접속되어 있다. LAN(41)은 라우터, 방화벽(firewall) 등의 기능을 가지는 접속장치(42)를 통해서 인터넷과 같은 광대역(wide area) 네트워크(61)에 접속되어 있다. 또한, 지원센터(5)는 지원 컴퓨터(3)에 접속되어 있는 LAN(51)도 가지고, 이 LAN(51)도 라우터, 방화벽 등의 기능을 가지는 접속장치(52)를 통해서 광대역 네트워크(61)에 접속되어 있다. 이와 같이, 기판 처리장치(1), 정보 축적서버(2) 및 지원 컴퓨터(3)는 서로 다양한 종류의 데이터 통신을 행할 수 있다. 명세서 전반에 걸쳐, LAN(41, 51)과 광대역 네트워크(61)는, 포괄적으로 네트워크(6)로서 언급되고 있다.
도 1에 있어서, 기판 처리공장(4)은 복수의 기판 처리장치(1) 대신에 단일 기판 처리장치(1)를 선택적으로 포함하고, 또 지원센터(5)도 복수의 지원 컴퓨터(3) 대신에 단일 지원 컴퓨터(3)를 포함할 수 있다.
이제, 기판 처리공장(4)에 배치된 각각의 기판 처리장치(1)가 설명된다. 도 2는 기판 처리장치(1)의 개략적인 평면도이다. 이 기판 처리장치(1)는, 기판상에서 레지스트 도포처리, 현상처리 및 후속 열처리를 실행한다. 기판 처리장치(1)는, 캐리어로부터 미처리 기판을 인도하고, 처리된 기판을 받아 캐리어에 저장하는 인덱서(ID)와, 기판의 주면상에 포토레지스트를 떨어뜨리면서 회전시키고, 도포하는 도포처리 유닛(소위, 스핀 코터)(SC)과, 노출된 기판으로 현상액을 공급하여 현상처리를 실행하는 현상처리 유닛(소위, 스핀 디벨로퍼)(SD) 및 인덱서(ID)와 각 처리유닛 사이에서 기판을 반송하는 반송로봇(TR)을 포함한다. 열처리 유닛(미도시)은, 팬필터 유닛을 통해 도포처리 유닛(SC)과 현상처리 유닛(SD) 위에 배치되어 있다. 일정한 온도로, 기판을 가열하는 가열유닛(소위, 핫 플레이트)과 가열된 기판을 냉각하는 냉각유닛(소위, 쿨 플레이트)은 열처리 유닛으로서 설치되어 있다. 명세서 전체에 걸쳐, 도포처리 유닛(SC), 현상처리 유닛(SD) 및 열처리 유닛은, 포괄적으로 기판상에서 소정의 처리를 실행하는 처리유닛(110)으로서 언급되고 있다.
도 3은 기판 처리장치(1)용 제어시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 처리장치(1)용 제어시스템은, 전체 기판 처리장치(1)를 제어하는 시스템 제어부(100)와 복수의 처리유닛(110)을 각각 제어하는 유닛제어부(115)로 구성되어 있다.
전체 기판 처리장치(1)를 총괄적으로 제어하는 시스템 제어부(100)는 마이크로 프로세서를 포함한다. 특히, 시스템 제어부(100)는 본체부로서 동작하는 CPU(101)와, 기본 프로그램 등을 저장하는 리드 온리 메모리로서 동작하는 ROM(102)과, 연산 작업영역을 주로 규정하는 랜덤 액세스 메모리로서 동작하는 RAM(103)과, 응용 프로그램 데이터 등을 저장하는 하드 디스크 등으로 구성되는 기억부(104) 및 외부장치와 데이터 통신을 행하는 통신부(105)를 포함하고, 버스 라인(190)에 의해 서로 접속되어 있다.
통신부(105)가 네트워크 인터페이스(미도시)를 통해 네트워크(6)에 접속되어 있으므로, 기판 처리장치(1)는 정보 축적서버(2), 지원 컴퓨터(3) 등에 대해서 다양한 데이터를 송수취 할 수 있다. 통신부(105)는 네트워크(6)를 통해서 유선통신 또는 무선통신을 행할 수 있지만, 본 실시예에서는 유선 통신시스템이 사용되고 있다.
또한, 시스템 제어부(100) 및 복수의 처리유닛(110)과 함께 다양한 정보를 표시하는 표시부(130)와, 오퍼레이터로부터 레시피 입력조작, 명령 조작 등을 받는 조작부(140)와, 자기 디스크 또는 광자기 디스크 등과 같은 기록매체(91)로부터 다양한 데이터를 판독(reading)하는 판독장치(150)도 버스 라인(190)에 전기적으로 접속되어 있다. 이와 같이, 시스템 제어부(100)의 제어하에서 버스 라인(190)을 통해 기판 처리장치(1)의 각 부분 사이에서 데이터가 반송될 수 있다.
각 처리유닛(110)은, 실제로 기판을 처리하는 작업부(예컨대, 기판을 회전시키는 기구, 처리액을 기판으로 배출하는 기구, 기판 등을 가열하는 기구 등)로서 동작하는 기판처리부(116)와 함께 유닛제어부(115)를 포함한다. 처리유닛(110)을 각각 제어하는 유닛제어부(115)는, 이 유닛제어부(115)가 설치된 처리유닛(110)의 기판처리부(116)의 동작을 제어하고 감시한다. 즉, 상술한 시스템 제어부(100)는 전체 기판 처리장치(1)에서 총괄적 제어를 담당하고, 각 유닛제어부(115)는 각 기판처리부(116)의 처리내용에 대응하는 제어를 담당한다. 유닛제어부(115)는 시스템 제어부(100)와 같이 마이크로 프로세서를 포함한다. 특히, 유닛제어부(115)는 본체부로서 동작하는 CPU(111)와, 기본 프로그램 등을 저장하는 리드 온리 메모리로서 동작하는 ROM(112)과, 연산 작업영역을 주로 규정하는 랜덤 액세스 메모리로서 동작하는 RAM(113) 및 다양한 데이터를 저장하기 위해 배터리로 백업된 SRAM으로 구성되는 기억부(114)를 포함한다.
시스템 제어부(100)의 기억부(104)는, 전체 기판 처리장치(1)에 관한 시스템 제어를 위해 응용 프로그램으로서 동작하는 제어 프로그램(152)과, 기판 처리장치(1) 등의 동작을 규정하는 설정정보(151)를 저장한다(도 7). 시스템 제어부(100)의 CPU(101)가 제어 프로그램(152) 및 설정정보(152)에 따라 연산처리를 실행하는 경우, 전체 기판 처리장치(1)에서 동작제어 및 데이터 처리가 실행되게 된다. 유닛제어부(115)의 기억부(114)는, 이 처리유닛(110)의 기판처리부(116)의 처리내용에 대응하는 유닛제어용 응용 프로그램으로서 동작하는 제어 프로그램(153)을 저장한다. 유닛제어부(115)의 CPU(111)가 이 제어 프로그램(153)에 따라 연산처리를 실행하는 경우, 기판처리부(116)에서 동작제어 및 데이터 처리가 실행되게 된다.
이와 같이, 기판 처리장치(1)의 동작을 제어하는 제어정보는 기판 처리장치(1)를 제어하는 제어 프로그램(152, 153)과 기판 처리장치(1)의 동작을 규정하는 설정정보(151)를 포함하고, 기억부(104, 114)는 제어정보를 저장하는 제1 기억수단을 구성한다.
이제, 기판 처리공장(4)에 배치된 정보 축적서버(2)와 지원센터(5)에 배치된 각 지원 컴퓨터(3)가 설명된다. 정보 축적서버(2)와 지원 컴퓨터(3)는 하드웨어 구성이 일반 컴퓨터와 같다. 그러므로, 정보 축적서버(2) 및 지원 컴퓨터(3)의 각 기본 구성은 서로 같고, 도 4를 참조하여 설명된다. 도 4에 도시된 바와 같이, 각각의 정보 축적서버(2) 및 지원 컴퓨터(3)는 CPU(21, 31)(정보 축적서버(2)용 CPU(21)와 지원 컴퓨터(3)용 CPU(31): 이것은 다음의 설명에도 적용한다)와, 기본 프로그램을 저장하는 ROM(22, 32) 및 다양한 정보를 저장하는 RAM(23, 33)을 버스 라인에 접속함으로써 구성된다. 또한, 응용 프로그램과 같은 다양한 정보를 저장하는 하드 디스크(24, 34)와, 다양한 정보를 표시하는 표시장치(25, 35)와, 오퍼레이터로부터 입력 조작을 받는 키보드(26a, 36a) 및 마우스(26ab, 36b)와, 광 디스크, 자기 디스크 또는 광자기 디스크와 같은 기록매체(91)로부터 다양한 데이터를 판독하는 판독장치(27, 37) 및 네트워크(6)를 통해서 외부장치와 통신하는 통신부(28, 38)도 인터페이스(I/F) 등을 통해서 적절히 버스 라인에 접속되어 있다.
각각의 정보 축적서버(2)와 지원 컴퓨터(3)는, 판독장치(27, 37)를 통해 기록매체(91)로부터 데이터를 판독하여, 하드 디스크(24, 34)에 저장할 수 있다. 또한 각각의 정보 축적서버(2) 및 지원 컴퓨터(3)는 네트워크(6)를 통해서 또 다른 서버로부터 데이터를 다운로드하여, 하드 디스크(24,34)에 저장하는 것도 가능하다. CPU(21, 31)는, 다양한 동작을 위해 하드 디스크(24, 34)에 저장된 다양한 프로그램에 따라 연산처리를 실행한다.
기판 처리장치(1)의 동작은, 이전에 기술된 플로우 레시피의 처리수순에 따라 기억부(104, 114)에 저장된 제어 프로그램(152, 153)에 의해 제어된다. 제어 프로그램(152, 153)은 기억부(104)에 저장된 설정정보(151)에 따라 기판 처리장치(1)를 제어한다. 도 5는 기억부(104)에 저장된 설정정보(151)의 전형적인 내용을 나타낸다.
설정정보(151)는 기판 처리장치(1)의 전체 제어에 관한 설정정보와 각 처리유닛(110)의 제어에 관한 설정정보를 포함하고, 본 실시예에서 시스템 제어부(100)의 기억부(104)는 동일한 것을 포함하는 설정정보(151)를 집합적으로 저장하는 것으로 한다. 선택적으로, 각 유닛제어부(115)의 기억부(114)는 처리유닛(110)마다 설정정보를 저장할 수 있다.
설정정보(151)는, 레시피 데이터(151a), 장치 기본데이터(151b) 및 장치 고유데이터(151c)를 포함하는 데이터이다. 오퍼레이터는, 조작부(140)를 통해서 이들 데이터(151a, 151b, 151c)를 입력 조작하는 것에 의해, 필요에 따라 보정을 통해 갱신한다. 선택적으로, 지원 컴퓨터(3) 또는 정보 축적서버(2)는 원격 제어에 의해 설정정보(151)를 입력 조작할 수 있다.
레시피 데이터(151a)는, 기판 처리장치(1)의 처리수순을 규정하는 데이터이다. 즉, 기판 처리장치(1)의 반송로봇(TR)은, 레시피 데이터(151a)에서 설명된 처리 스케줄에 따라 기판을 목표 처리유닛(110)으로 반송한다.
도 6은 레시피 데이터(151a)에서 설명된 전형적인 플로우 레시피를 나타낸다. 도 6에 있어서, 반송로봇(TR)에 의해 순환방식으로 반송된 각각의 기판은 다음의 순서대로 처리된다.
스텝 1: 핫 플레이트에서 밀착 강화처리;
스텝 2: 쿨 프레이트에서 냉각처리;
스텝 3: 어떤 도포 처리유닛(SC)에서 레지스트 도포처리;
스텝 4: 핫 플레이트에서 프리베이크 처리;
...
이와 같이, 기판 처리장치(1)의 처리수순을 규정하는 정보인 레시피 데이터(151a)는 사용자의 노하우로서 저장된다. 즉, 사용자는 가장 효율적인 처리를 실행할 수 있도록 레시피 데이터(151a)를 작성하고, 레시피 데이터(151a)에 따라 제어되는 기판 처리장치(1)를 제어한다.
장치 기본데이터(151b)는 기판 처리장치(1)에 공통인 설정정보, 즉 기판 처리장치(1)에 대한 디폴트 설정정보이다. 기판 처리장치(1)는, 각 처리유닛(110)에 반송로봇(TR)과 같은 다수의 작업부 및 제어부를 포함하지만, 장치 기본데이터(151b)는 작업부 및 제어부를 구동하기 위한 설정치를 규정한다. 장치 기본데이터(151b)는, 예컨대 로봇 기본데이터, 온도 조절데이터 등과 같은 데이터를 포함한다.
로봇 기본데이터는, 반송로봇(TR)의 동작을 규정한다. 즉, 로봇 기본데이터는 기판을 각 처리유닛(110)으로 반송하는 반송로봇(TR), 인덱서(ID), 열처리 유닛 등의 조작을 위한 설정치(이동거리에 관한 설정치, 암(arm)의 회전 각도를 위한 설정치 등)를 규정한다. 온도 조절데이터는, 기판 처리장치(1)에서 열처리 유닛 등의 온도를 설정한다.
장치 고유데이터(151c)는 복수의 기판 처리장치(1)의 각각에 고유하게 설정된 보정데이터이다. 기판 처리장치(1)는 구성이 서로 동일한 경우, 기본적으로 동일한 설정정보, 즉 장치 기본데이터(151b)로 제어되지만, 실제로 기판 처리장치(1)마다 설정정보가 보정된다. 이것은, 기판 처리장치(1)의 구성이 엄밀한 의미로 흩어져 있고, 기판 처리장치(1)의 설정위치 또는 설정환경 사이의 차이에 의해 환경에 대응하는 조정이 요구되고 있기 때문이다. 즉, 설정정보가 기판 처리장치(1)마다 보정되어, 기판 처리장치(1)가 동일한 처리를 행하는 것에 의해 동일한 처리결과를 가져온다.
장치 고유데이터(151c)는, 예컨대 교습데이터 및 온도조절 보정데이터와 같은 데이터를 포함한다.
교습데이터는, 상술한 로봇 기본데이터를 보정하는 데이터이다. 기판 처리장치(1)가 구성이 서로 동일한 경우, 반송로봇(TR)은 동일한 설정정보에 따라 기본적으로 동일한 동작을 행한다. 그러나, 다수의 부품 및 이동부를 포함하는 반송로봇(TR)은 구성상 미묘한 차이에 의해 조작시 에러를 일으킨다. 그러므로, 반송로봇(TR)의 동작은 최적화되도록 조절되고, 이 조절용 설정정보는 교습데이터로서 저장된다. 반송로봇(TR)의 제어는, 교습데이터로서 로봇 기본데이터를 보정함으로써 최적화 될 수 있다.
온도조절 보정데이터는, 기판 처리장치(1)의 설정위치와 설정환경 사이의 차이에 대응하는 디폴트에 의해 설정된 온도 조절데이터를 보정하기 위한 데이터이다.
이와 같이, 레시피 데이터(151a)는 각 기판 처리장치(1)에 대한 일련의 처리 스텝을 결정하고, 장치 기본데이터(151b)는 디폴트에 의해 설정되며, 기판 처리장치(1)마다의 보정데이터인 장치 고유데이터(151c)는 기판 처리장치(1)의 동작을 제어한다. 사용자의 노하우로서 저장된 레시피 데이터(151a)와 각 기판 처리장치(1)에 고유한 장치 고유데이터(151c)는 매우 중요한 정보이지만, 이들 데이터(151a, 151c)를 다시 저장하는 것은 용이하지 않다. 그러므로, 이들 데이터(151a, 151c)는, 손실을 방지하기 위해 효율적으로 백업되어야 한다.
기판 처리시스템(10) 및 기판 처리장치(1), 정보 축적서버(1) 및 지원 컴퓨터(3)의 하드웨어 구성과 설정정보(151)의 내용이 설명되었지만, 이제 기판 처리시스템(10)의 기능과 처리내용이 설명된다. 도 7은 기판 처리시스템(10)의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다.
도 7에 있어서, 시스템 제어부(100)의 CPU(101)는 유지 보수용 프로그램(154)을 구동하는 것에 의해 처리부로서 로컬 지시부(121), 복제정보 취득부(122) 및 복구처리부(123)를 실행한다. 기억부(104)는 유지 보수용 프로그램(154)을 저장한다.
도 7에 있어서, 정보 축적서버(2)의 CPU(21)는 유지 보수용 프로그램(252)을 구동하는 것에 의해 처리부로서 저장부(221) 및 차분추출부(222)를 실행한다. 하드 디스크(24)는 유지 보수용 프로그램(252)을 저장한다. 지원 컴퓨터(3)의 CPU(31)는 유지 보수용 프로그램(351)을 구동하는 것에 의해 처리부로서 원격지시부(321)를 실행한다. 하드 디스크(34)는 유지 보수용 프로그램(351)을 저장한다.
로컬지시부(121)는, 설정정보(151)와 제어 프로그램(152)에 대한 백업처리의 지시명령을 복제정보 취득부(122)로 송신하는 기능과, 설정정보(151)와 제어 프로그램(152, 153)에 대한 복구 처리의 지시명령을 복구처리부(123)로 송신하는 기능을 갖는다.
로컬지시부(121)는, 제공되는 스케줄 기능에 의해 백업시간을 결정하는 경우 백업처리의 지시명령을 송신한다. 스케줄 기능에 따른 주기적인 백업처리에 부가하여, 사용자는 설정정보(151)와 제어 프로그램(152, 153)에 대한 백업처리를 명시적으로 지시하기 위해, 기판 처리장치(1)의 조작부(140)를 통해서 입력 조작을 실행할 수 있다.
즉, 설정정보(151) 등은 스케줄 기능에 따른 지시에 의해 계획된 방식으로 자동적으로 백업된다. 한편, 사용자는 기판 처리장치(1)의 유지 보수 또는 임시 정지 등과 같이 임의의 시점에서 현재 장치의 상태를 보존하기 위해 백업처리를 지시할 수 있다.
로컬지시부(121)가 백업처리용 지시명령을 내리는 경우, 복제정보 취득부(122)는 시스템 제어부(100)의 기억부(104)에 저장된 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152)과, 유닛제어부(115)의 기억부(114)에 저장된 제어 프로그램(153)의 복제정보를 생성하고, 생성된 복제정보, 즉 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)의 데이터를 LAN(41)을 통해서 정보 축적서버(2)로 송신한다.
백업처리는 설정정보(151)와 제어 프로그램(152, 153)의 모든 데이터 또는 각각의 데이터에 대해서만 실행될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 로컬지시부(121)는 스케줄 관리부(121a)를 포함한다. 스케줄 관리부(121a)는 백업처리용 스케줄을 설정하는 기능부이고, 로컬지시부(121)는 스케줄 관리부(121a)에서 설정된 스케줄에 따라 백업처리용 지시명령을 송신한다. 스케줄 설정은 어떤 정보가 언제 백업되는가를 나타낸다.
예컨대, 제어 프로그램(152, 153)을 매달 백업하면서 설정정보(151)를 매주 백업하도록 백업처리를 스케줄하는 것이 가능하다. 또한, 후술하는 바와 같이, 모든 데이터를 백업할 것인가 또는 차분데이터를 백업할 것인가를 설정하는 것도 가능하다. 예컨대, 차분데이터를 매일 백업하면서 설정정보(151)에 관해서 모든 데이터를 매주 백업하도록 스케줄을 설정하는 것이 가능하다. 사용자는 조작부(140)를 통해 스케줄을 설정할 수 있다. 사용자가 메뉴에 따라 스케줄을 설정할 수 있도록 안내 메뉴를 표시부(130)상에 표시하는 것이 보다 편리하다.
복제정보 취득부(122)로부터 송신된 복제정보는 정보 축적서버(2)의 저장부(221)로 전송되고, 저장부(221)는 제2 기억수단으로서 동작하는 하드 디스크(24)에 복제정보를 저장한다. 도 7은 백업 데이터(251)로서 하드 디스크(24)에 저장된 복제정보를 나타낸다.
차분데이터를 백업하기 위해, 즉 스케줄 관리부(121a)가 차분데이터의 백업 동작을 지정하거나 또는 사용자가 차분데이터에 대한 백업을 명시적으로 지시하는 경우, 복제정보 취득부(122)는 차분데이터의 백업을 표시하는 정보를 복제정보에 추가한 후, 저장부(221)로 송신한다. 저장부(221)가 전체 데이터로서 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)을 하드 디스크(24)에 저장할 수 있지만, 차분데이터를 백업하는 지시정보를 받는 경우, 차분추출부(22)는 백업 대상데이터에서 차분데이터를 추출한 후, 복제정보를 하드 디스크(24)에 저장한다.
즉, 차분추출부(22)는 복제정보 취득부(122)로부터 받은 복제정보와 하드 디스크(24)에 저장된 백업 데이터(251)를 비교한 후, 차분데이터를 추출한다.
로컬지시부(121)의 스케줄 기능에 따라 백업처리를 주기적으로 실행하는 경우, 예컨대 하드 디스크(24)에 저장된 백업 데이터(251)의 양은 항상 전체 데이터를 저장하는 방법으로 현저하게 증가된다. 최신 데이터뿐만 아니라 과거에 백업된 데이터도 백업 데이터(251)로서 필요하게 될 수 있다. 예컨대, 기판 처리장치(1)에 대한 설정정보를 몇주 전의 상태로 되돌리라는 요구를 받을 수 있다. 또한, 시행 착오에 의해 변경된 플로우 레시피를 2달 전의 상태로 되돌리라는 요구도 받을 수 있다.
그러므로, 하드 디스크(24)의 용량이 무한정하지 않으므로, 장기간에 걸쳐 다수의 포인트에서 백업 데이터(251)를 방치하는 것이 효과적이다. 그러므로, 차분추출부(222)는 복제정보와 전술의 백업 데이터(251) 사이에서 차분데이터를 추출한 후, 차분데이터만을 하드 디스크(24)에 저장한다.
이와 같이, 제1 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)은, 기판 처리장치(1)의 동작을 제어하기 위한 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)을 네트워크(6)를 통해서 기판 처리장치(1)에 접속된 정보 축적서버(2)에 백업 데이터(251)로서 주기적으로 저장하므로, 사용자는 복잡한 백업 조작을 실행하지 않을 수 있다.
특히, 기판 처리장치(1)는 사용자의 노하우에 따라 갱신된 레시피 데이터(151a)와, 기판 처리장치(1)를 실제 설정위치에서 작업하면서 조정하는 장치 고유데이터(151c)를 가지므로, 이들 데이터(151a, 151c)를 주기적으로 백업하여 소실을 방지하는 것이 매우 중요하다.
기판 처리장치(1)가 세정실내에 배치되어 있지만, 네트워크(6)를 통해서 접속된 정보 축적서버(2)가 세정실 밖에 배치되어 있는 경우 백업처리에 의해 저장된 데이터는 세정실 밖에서 유지될 수 있다.
본 실시예에서 사용자는 기판 처리장치(1)의 조작부(140)를 통해 백업처리를 수동으로 실행할 수 있지만, 정보 축적서버(2)는 네트워크(6)를 통해서 백업처리용 지시명령을 선택적으로 송신할 수 있다. 이와 같이, 백업처리용 지시명령은, 세정실 밖에서 송신될 수 있다.
정보 축적서버(2)는, 기판 처리공장(4)내에 반드시 배치하는 것은 아니다. 선택적으로, 시스템 관리센터는 전용선을 통해 백업 데이터(251)를 전송하는 기판 처리공장(4)의 부근에 배치할 수 있다.
상술한 처리에 의하면, 정보 축적서버(2)는 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)의 백업 데이터(251)를 주기적으로 또는 임의의 시간에 저장한다.
시스템 제어부(100)에 포함된 복구처리부(123)는 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)을 복구하기 위해 하드 디스크(24)에서 백업 데이터(251)를 가져온다.
설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)은 언제든지 복구될 수 있다. 예컨대, 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)은 하드웨어 결함에 의해 소실될 수 있고, 또는 유지 보수 동작하는 동안 사용자가 잘못하여 모든 데이터를 소실할 수 있다. 이 경우, 이상 복구시간에 데이터가 복구되지만, 사용자는 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)을 과거의 백업 데이터로 되돌리도록 요구할 수 있다.
예컨대, 사용자는 기판 처리장치(1)를 동작시키기 위해 갱신된 레시피 데이터(151a)를 이전의 레시피 데이터(151a)로 되돌리도록 요구할 수 있다. 또한, 새로이 반송로봇(TR)의 동작을 정교하게 제어하고, 교습데이터를 갱신한 사용자는 교습데이터를 이전의 상태로 되돌리도록 요구할 수 있다.
이 경우, 사용자는 기판 처리장치(1)의 조작부(140)를 통해서 복구처리용 지시를 입력한다. 특히, 사용자는 복구되는 데이터, 복구 등의 목적에 관한 정보를 지정함으로써 복구처리를 지시한다. 이와 같이, 로컬지시부(121)는 복구지시명령을 복구처리부(123)로 송신한다. 복구처리부(123)는 정보 축적서버(2)의 하드 디스크(24)에 저장된 백업 데이터(251)를 참조하여, 필요한 정보를 추출하고, 복구처리를 실행한다.
복구처리의 대상으로서 지정된 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)이 전체 데이터로서 예약되는 경우, 복구처리부(123)는 시스템 제어부(100)의 기억부(104) 또는 유닛제어부(115)의 기억부(114)에서 전체 데이터 그것을 추출하여 저장한다.
복구처리의 대상으로서 지정된 설정정보(151) 및 제어 프로그램(152, 153)이 차분데이터로서 예약되는 경우, 복구처리부(123)는 차분데이터의 백업 일자 이전에 백업된 전체 데이터와, 전체 데이터의 백업 일자 및 지정된 일자로부터의 차분데이터를 축적함으로써 얻어진 데이터를 추출한다. 이와 같이, 복구처리부(123)는 차분데이터로서 저장된 백업 데이터(251)에 대해서도 전체 데이터를 복구한다.
제1 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)에서는, 네트워크(6)를 통해서 각 기판 처리장치(1)에 접속된 정보 축적서버(2)가 백업 데이터를 저장하므로, 복구 동작은 복구처리시에도 네트워크(6)를 통해서 용이하게 실행될 수 있다. 이와 같이, 복구 동작은 단시간내에 완료될 수 있으므로, 기판 처리장치(1)의 작업 효율성을 향상한다.
상술한 바와 같이, 시스템 제어부(100)의 로컬지시부(121)는 처리 명령을 송신하는 것에 의해 백업처리를 실행한다. 스케줄 기능에 따라 또는 사용자가 기판 처리장치(1)의 조작부(140)를 통해 지시를 입력하는 경우, 로컬지시부(121)는 백업처리 명령을 송신한다.
제1 실시예에 따른 시스템 구성에서는, 지원센터(5)의 각 지원 컴퓨터(3)가 광대역 네트워크(61)를 통해서 기판 처리장치(1)에 접속되어 있고, 또 지원 컴퓨터(3)로부터 원격 제어에 의해 백업처리를 실행하는 것도 가능하다.
각 기판 처리장치(1)를 원격 제어하는 스탭이 지원센터(5)의 지원 컴퓨터(3)에서 백업처리용 지시를 입력하는 경우, 원격지시부(321)는 네트워크(6)를 통해서 백업처리 명령을 송신한다. 백업처리 명령이 기판 처리장치(1)의 복제정보 취득부(122)로 전송되는 경우, 상기한 처리가 실행된다.
지원센터(5)가 원격 제어에 의해 백업처리를 실행하는 경우, 보다 알맞은 사용자 지원시스템이 제공될 수 있다. 백업 데이터(251)는 지원센터(5)로 전송될 수 있다.
<2. 제2 실시예>
이제, 본 발명의 제2 실시예가 설명된다. 제2 실시예에 의한 기판 처리시스템(10)의 개략적인 전체 구성은 도 1에 도시된 것과 같다. 기판 처리장치(1)의 하드웨어 구성은 도 2 및 도 3을 참조하여 설명된 제1 실시예와 같다. 또한, 정보 축적서버(2) 및 지원 컴퓨터(3)의 각각의 하드웨어 구성은 도 4를 참조하여 설명된 제1 실시예와 같다.
제1 실시예와 같이, 기판 처리장치(1)의 동작은 기억부(104)에 저장된 제어 프로그램(152, 153)과 미리 기술된 플로우 레시피의 처리수순에 따라 제어된다. 제어 프로그램(152, 153)은, 기억부(104)에 저장된 설정정보(151)에 따라 기판 처리장치(1)를 제어한다.
설정정보(151)의 내용은, 도 5에 도시된 제1 실시예와 같다. 그러나, 장치 기본데이터(151b)는 제1 실시예를 참조하여 예시된 것에 추가하여 매우 많은 수의 데이터 종류를 포함한다. 이들 정보는 기판 처리장치(1)마다 초기화 되지만, 다수의 데이터중에서 일부 데이터의 내용이 틀리게 설정되는 경우, 기판 처리장치(1)는 계획된 동작을 실행할 수 없다. 기판 처리장치(1)의 동작을 장치 고유데이터(151c)로 보정하는 것이 가능하지만, 이러한 보정은 매우 복잡하거나 또는 장치 기본데이터(151b)가 기본정보로서 확실하게 설정될 수 없는 경우에는 불가능하다. 그러므로, 기판 처리장치(1)의 도입이나 리셋시에는, 장치 기본데이터(151b)가 정확하게 설정되어야 한다.
도 9는 제2 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 도 9에 있어서, 시스템 제어부(100)의 CPU(101)는 유지 보수용 프로그램(154)을 구동하는 것에 의해 처리부로서 기본데이터 요구부(1121), 버전취득부(1122) 및 기본데이터 등록부(1123)를 실행한다. 기억부(104)는 유지 보수용 프로그램(154)을 저장한다.
도 9에 있어서, 정보 축적서버(2)의 CPU(21)는 유지 보수용 프로그램(252)을 구동하는 것에 의해 처리부로서 기본데이터 요구부(1221)를 실행한다. 하드 디스크(24)는 유지 보수용 프로그램(252)을 저장한다.
도 9에 있어서, 지원 컴퓨터(3)의 CPU(31)는 유지 보수용 프로그램(351)을 구동하는 것에 의해 처리부로서 기본데이터 설정부(1321)를 실행한다. 하드 디스크(34)는 유지 보수용 프로그램(351)을 저장한다.
기본데이터 요구부(1221)는, 장치 기본데이터(151b)에 대한 송신요구를 기판 처리장치(1)에서 지원센터(5)로 송신하는 기능부이다. 사용자는, 기판 처리장치(1)상에 설치된 조작부(140)를 통해서 장치 기본데이터(151b)의 취득을 지시한다. 이 지시의 입력에 대응하여, 기본데이터 요구부(1221)는 지원 컴퓨터(3)의 기본데이터 설정부(1321)에 장치 기본데이터(151b)를 송신하도록 요구한다.
오퍼레이터에 의한 입력조작을 단순화하기 위해, 표시부(130)는 장치 기본데이터(151b)를 취득하기 위한 메뉴를 표시한다. 안내에 따라 입력조작이 가능하게 되는 경우, 오퍼레이터에게 걸리는 부담이 경감될 수 있다. 지원센터(5)가 복수의 지원 컴퓨터(3)를 가지고, 장치 기본데이터(151b)의 송신이 요구된 지원 컴퓨터(3)가 확정되지 않은 경우, 오퍼레이터는 입력조작을 통해 장치 기본데이터(151b)를 송신하기 위한 지원 컴퓨터(3)를 지정한다.
버전취득부(1122)는 전체 기판 처리장치(1)를 제어하는 제어 프로그램(152)의 소프트웨어 버전을 검출하는 기능부이다. 기판 처리장치(1)가 장치 기본데이터(151b)를 송신하도록 지원 컴퓨터(3)에 요구하지만, 장치 기본데이터(151b)의 설정내용은 기판 처리장치(1)를 제어하는 제어 프로그램(152)의 소프트웨어 버전에 따라 변화한다. 그러므로, 기판 처리장치(1)는 제어 프로그램(152)의 소프트웨어 버전을 지원 컴퓨터(3)에 통지하는 것에 의해, 소프트웨어 버전에 대응하는 장치 기본데이터(151b)의 송신을 요구한다.
또한, 정보 축적서버(2)에 포함된 기본데이터 요구부(1221)도 기판 처리장치(1)에 포함된 기본데이터 요구부(1121)와 같은 기능을 기본적으로 포함한다. 오퍼레이터가 정보 축적서버(2)에서 키보드(26a) 또는 마우스(26b)를 통해 기본데이터에 대한 요구지시를 입력하는 경우, 기본데이터 요구부(1221)는 장치 기본데이터(151b)에 대한 송신요구 지시를 송신한다.
그러나, 정보 축적서버(2)가 장치 기본데이터(151b)의 송신을 요구하는 경우, 장치 기본데이터(151b)를 등록한 기판 처리장치(1)를 지정하기 위한 조작이 실행되는 것으로 한다. 이와 같이, 정보 축적서버(2)는 기판 처리공장(4)내에 배치된 전체 기판 처리장치(1)에 관한 장치 기본데이터(151b)의 송신요구를 송신할 수 있다. 기본데이터 요구부(1221)는 LAN(41)을 통해서 소프트웨어 버전의 취득을 기판 처리장치(1)의 버전취득부(1122)에 요구한다. 이와 같이, 기본데이터 요구부(1221)는 소프트웨어 버전을 지정한 후, 장치 기본데이터(151b)의 송신요구를 지원 컴퓨터(3)로 송신한다.
도 10은 지원 컴퓨터(3)의 하드 디스크(34)에 저장된 다양한 버전의 장치 기본데이터(151b)를 나타낸다. 각 장치 기본데이터(151b)의 버전은 기판 처리장치(1)용 제어 프로그램(152)의 소프트웨어 버전에 대응한다.
제2 실시예에 따라 전체 기판 처리장치(1)를 제어하는 제어 프로그램(152)의 소프트웨어 버전에 대응하여 장치 기본데이터(151b)가 관리되지만, 각 처리유닛을 제어하는 제어 프로그램(153)에 대응하는 장치 기본데이터도 관리될 수 있다. 이 경우, 시스템 제어부(100)의 버전취득부(1122)는 유닛제어부(115)의 기억부(114)에 저장된 제어 프로그램(153)의 버전정보도 검출한다.
기본데이터 요구부(1121)(또는 기본데이터 요구부(1221))로부터 장치 기본데이터(151b)에 대한 송신요구 지시를 받는 경우, 지원 컴퓨터(3)의 기본데이터 설정부(1321)는 송신요구 지시의 데이터에 포함된 제어 프로그램(152)의 소프트웨어 버전을 취득하고, 하드 디스크(34)에서 이 소프트웨어 버전에 대응하는 장치 기본데이터(151b)를 추출한다. 기본데이터 설정부(1321)는 추출된 장치 기본데이터(151b)를 기판 처리장치(1)로 송신한다.
기판 처리장치(1)에서는, 기본데이터 등록부(1123)가 지원 컴퓨터(3)에서 송신된 장치 기본데이터(151b)를 받아, 기억부(104)에 저장한다. 이와 같이, 이 기판 처리장치(1)용 제어 프로그램(152)에 대응하여 기판 처리장치(1)가 초기화 된다.
도 10은 버전 1.0의 제어 프로그램(152)이 설치된 기판 처리장치(1A)가 장치 기본데이터(Ver1.0)를 저장하고, 버전 2.0의 제어 프로그램(152)이 설치된 기판 처리장치(1B)가 장치 기본데이터(Ver2.0)를 저장하는 상태를 나타낸다.
이와 같이, 제2 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)은 네트워크를 통해서 기판 처리장치(1)를 제어하는 기본정보인 장치 기본데이터(151b)를 용이하게 취득하여 기판 처리장치(1)에 반영할 수 있으므로, 동일한 소프트웨어 버전에 의해 제어되는 동일한 기판 처리장치(1)에서 안전한 초기화 동작이 실행될 수 있게 된다. 또한, 동일한 소프트웨어 버전에 의해 제어되는 복수의 기판 처리장치(1)상에서 초기화 동작을 실행하는 경우, 기판 처리장치(1)는 서로 동일하게 초기화 된다. 즉, 복수의 기판 처리장치(1)의 초기상태는 서로 동조될 수 있다. 이와 같이, 오퍼레이터가 장치 기본데이터(151b)를 수동으로 복사하는 경우, 기판 처리장치(1) 사이의 설정시 발생되는 분산을 완벽하게 회피하는 것이 가능하다.
장치 기본데이터(151b)가 각 기판 처리장치(1)에 등록된 후, 각 기판 처리장치(1)는 고유의 동조를 실행한다. 각 기판 처리장치(1)는 지원 컴퓨터(3)로부터 받은 장치 기본데이터(151b)와 기판 처리장치(1)마다 생성된 장치 고유데이터(151c)에 따라 최적으로 제어된다.
제2 실시예에서 지원 컴퓨터(3)가 기판 처리장치(1)에 설치된 제어 프로그램(152)의 소프트웨어 버전을 판정하는 것에 의해 적절한 장치 기본데이터(151b)를 송신하지만, 상이한 기판 처리장치(1)가 혼재되어 있는 경우 에도 각 기판 처리장치(1)가 그 타입을 정보로서 지원 컴퓨터(3)에 통지하면, 각 기판 처리장치(1)의 타입에 대응하는 장치 기본데이터(151b)를 송신하는 것이 가능하다.
제2 실시예에서 지원 컴퓨터(3)는 기판 처리장치(1)에 대해 공통으로 설정된 장치 기본데이터(151b)를 관리하지만, 지원 컴퓨터(3)는 장치 고유데이터(151c)를 선택적으로 관리할 수 있다. 장치 고유데이터(151c)는, 상술한 바와 같이, 각 기판 처리장치(1)에 고유한 정보이므로, 장치 고유데이터(151c)는 다른 장치에 직접 이용할 필요가 없지만, 사용자는 어떤 기판 처리장치(1)에 대해서 설정된 장치 고유데이터(151c)를 다른 기판 처리장치(1)에 대한 노하우로서 사용할 수 있다.
제2 실시예에서 시스템 제어부(100)에 포함된 버전취득부(1122)는 제어 프로그램(152)의 소프웨어 버전을 자동적으로 검출하지만, 이 기능부는 필수적인 것은 아니다. 상술한 바와 같이, 사용자가 장치 기본데이터(151b)의 송신요구 지시를 조작부(140)를 통해서 입력하는 경우, 기판 처리장치(1)의 소프트웨어 버전을 지정할 수 있다. 그러나, 인위적인 에러를 회피하기 위해, 버전취득부(1122)가 소프트웨어 버전을 자동적으로 검출하는 것이 보다 바람직하다.
<3. 제3 실시예>
이제, 본 발명의 제3 실시예가 설명된다. 도 11은 제3 실시예에 따라 기판 처리시스템(10A)의 기판을 개략적으로 나타낸다. 도 11에 도시된 바와 같이, 기판 처리시스템(10A)은 기판 처리공장(4)에 포함된 복수의 기판 처리장치(1C) 및 정보 축적서버(2)와, 기판 처리장치(1C)에 대한 지원 스탭이 배치된 지원센터(5)에 포함된 지원 컴퓨터(3) 및 기판 처리장치(1)의 부품을 기판 처리공장(4)으로 공급하는 부품센터(7)에 포함된 수주서버(8)가 네트워크(6)를 통해 서로 접속되는 구성을 갖는다.
기판 처리시스템(10A)에서는, 정보 축적서버(2)가 기판 처리장치(1C)상에 탑재된 소모품의 소모성을 기술하는 소모성 정보를 축적하므로, 지원 컴퓨터(3)는 네트워크(6)를 통해서 저장된 소모성 정보를 판독할 수 있다. 수주서버(8)는 네트워크(6)를 통해서 부품에 대한 발주를 받아들인다.
기판 처리공장(4)에서는, 기판 처리장치(1C) 및 정보 축적서버(2)가 LAN(local area network)(41)을 통해서 서로 접속되어 있다. LAN(41)은 라우터, 방화벽 등의 기능을 가지는 접속장치(42)를 통해서 인터넷과 같은 광대역 네트워크(61)에 접속되어 있다. 또한, 지원센터(5)도 지원 컴퓨터(3)에 접속된 LAN(51)을 갖고 있고, 이 LAN(51)도 라우터, 방화벽 등의 기능을 가지는 접속장치(52)를 통해서 인터넷과 같은 광대역 네트워크(61)에 접속되어 있다. 또한, 부품센터(7)도 수주서버(8)에 접속된 LAN(71)을 갖고 있고, 이 LAN(71)도 라우터, 방화벽 등의 기능을 가지는 접속장치(72)를 통해서 광대역 네트워크(61)에 접속되어 있다. 이와 같이, 기판 처리장치(1C), 정보 축적서버(2), 지원 컴퓨터(3) 및 수주서버(8) 사이에서 다양한 데이터 통신이 가능해진다. 명세서 전반에 걸쳐, LAN(41, 51, 71) 및 광대역 네트워크(61)는 통상적으로 네트워크(6)로서 언급되고 있다.
도 11에 있어서, 복수의 기판 처리장치(1C)를 포함하는 기판 처리공장(4)은, 선택적으로 단일 기판 처리장치(1C)를 포함할 수 있고, 또 복수의 지원 컴퓨터(3)를 포함하는 지원센터(5)도 선택적으로 단일 지원 컴퓨터(3)를 포함할 수 있다. 또한, 부품센터(7)는 선택적으로 복수의 수주서버(8)를 포함할 수 있다.
이제, 기판 처리공장(4)에 배치된 각 기판 처리장치(1C)가 설명된다. 도 12는 기판 처리장치(1C)의 개략적인 평면도이다. 이 기판 처리장치(1C)는 기판의 주면과 이면을 세정한다. 기판 처리장치(1C)는 캐리어로부터 미처리 기판을 인도받고, 처리된 기판을 받아 캐리어에 저장하는 인덱서(ID)와, 기판을 회전시키면서 세정 브러쉬를 기판의 표면에 접촉시키거나 또는 전자를 후자에 접근시켜 표면 세정처리를 실행하는 표면 세정 처리유닛(SS)과, 기판을 회전시키면서 세정 브러쉬를 기판의 이면에 접촉시키거나 또는 전자를 후자에 접근시켜 이면 세정처리를 실행하는 이면 세정 처리유닛(SSR) 및 인덱서(ID)와 각 세정 처리유닛 사이에서 기판을 반송하는 반송로봇(TR)을 포함한다. 또한, 기판 처리장치(1C)는 표면 반전유닛(미도시)도 포함한다.
도 13은 각 표면 세정 처리유닛(SS)의 구성을 개략적으로 나타낸다. 표면 세정 처리유닛(SS)은 소위 스핀 스크러버이다. 스핀 척(13)은, 기판(W)의 이면을 진공 흡인하여 수평으로 유지하는, 소위 진공 척이다. 전동 모터(미도시)의 모터 축(14)은 스핀 척(13)의 하면 중심상에 매달려 있다. 전동 모터는, 모터 축(14)을 통해서 스핀 척(13)을 회전시키는 것에 의해, 스핀 척에 의해 유지된 기판(W)을 회전시킨다.
컵(15)은, 회전되는 기판(W)으로부터 비산되는 처리액을 받아 회수하기 위해 기판(W) 주변에 배치된다. 컵(15)은 호이스트(hoist) 기구(미도시)에 의해 수직으로 이동할 수 있다. 호이스트 기구가 컵(15)을 하방향으로 이동시키는 경우, 컵(15)의 상단은 스핀 척(13)을 지나서 하방향에 위치되어 있다. 이 상태에서, 반송로봇(TR)은 스핀 척(13)에 대해서 기판(W)을 반입 및 반출할 수 있다. 컵(15)이 상방향으로 이동되는 경우, 컵(15)의 상단이 스핀 척(13)을 지나서 상방향에 위치되어 있는 동안 스핀 척(13)에 의해 유지된 기판(W)을 컵(15)에 집어 넣는다. 컵(15)이 상방향으로 이동되는 동안 기판(W)이 세정된다.
세정 브러쉬(11)는 브러쉬 암(12)의 선단에 탑재되어 있다. 브러쉬 암(12)은, 구동기구(미도시)를 통해서 수직으로 이동할 수 있고 수평면으로 요동할 수 있다. 기판(W)상에서 표면 세정처리를 실행하는 경우, 세정 브러쉬(11)를 기판(W)의 표면과 접촉시키거나 또는 전자를 후자에 접근시키고, 기판(W)을 회전시키면서 브러쉬 암(12)이 요동되는 것에 의해, 기판(W)의 표면상에 부착된 파티클 등과 같은 오열물질을 제거한다. 표면 세정 처리유닛(SS)과 거의 같은 구성을 가지는 각 이면 세정 처리유닛(SSR)은, 스핀 척(13)으로서 기판(W)의 에지를 붙잡아 수평적으로 유지하는 소위 기계적인 척을 사용한다. 제3 실시예에서는, 표면 세정 처리유닛(SS)과 이면 세정 처리유닛(SSR)은 통상적으로 기판상에 소정의 처리를 실행하는 처리유닛(110)으로서 언급되고 있다.
도 14는 기판 처리장치(1C)용 제어시스템의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 14에 도시된 바와 같이, 기판 처리장치(1C)용 제어시스템은 전체 기판 처리장치(1C)를 제어하는 시스템 제어부(100)와 복수의 처리유닛(110)을 각각 제어하는 유닛제어부(115)로 구성되어 있다.
전체 기판 처리장치(1C)를 총괄적으로 제어하는 시스템 제어부(100)는 마이크로 컴퓨터를 포함한다. 특히, 시스템 제어부(100)는, 본체부로서 동작하는 CPU(101)와, 기본 프로그램 등을 저장하는 리드 온리 메모리로서 동작하는 ROM(102)과, 연산 작업영역을 주로 규정하는 랜덤 액세스 메모리로서 동작하는 RAM(103)과, 소프트웨어 모듈 등을 저장하는 하드 디스크 등으로 구성되는 기억부(104) 및 외부장치와 데이터 통신을 행하는 통신부(105)를 포함하고, 버스 라인(190)에 의해 서로 접속되어 있다.
통신부(105)는 네트워크 인터페이스(미도시)를 통해서 네트워크(6)에 접속되어 있으므로, 기판 처리장치(1C)는 정보 축적서버(2), 지원 컴퓨터(3) 등에 대해 다양한 데이터를 송수신 할 수 있다. 통신부(105)는 네트워크(6)를 통해서 유선통신 또는 무선통신중 어느 하나를 실행하지만, 본 실시예에서는 유선통신이 사용되고 있다.
시스템 제어부(100) 및 복수의 처리유닛(110)과 함께, 다양한 정보를 표시하는 표시부(130)와, 오퍼레이터로부터 레시피의 입력조작 및 명령조작을 받는 조작부(140)와, 자기 디스크 또는 광자기 디스크 등과 같은 기록매체(91)로부터 다양한 데이터를 판독하는 판독장치(150)도 버스 라인(190)에 전기적으로 접속되어 있다. 이와 같이, 데이터는 시스템 제어부(100)의 제어하에서 버스 라인(190)을 통해 기판 처리장치(1C)의 각 부 사이에서 전송될 수 있다.
각 처리유닛(110)은, 실제로 기판을 처리하는 작업부(예컨대, 기판 회전기구, 기판에 대한 처리액 배출기구, 세정 브러쉬(11) 등의 구동기구)로서 동작하는 기판처리부(116)와 함께 유닛제어부(115)를 포함한다. 처리유닛(110)을 각각 제어하는 유닛제어부(115)는, 이 유닛제어부(115)가 설치된 처리유닛(110)의 기판처리부(116)의 동작을 제어하고 감시한다. 즉, 상술한 시스템 제어부(100)는, 전체 기판 처리장치(1C)에 대한 총괄적 제어를 담당하고, 각 유닛제어부(115)는 각 기판처리부(116)의 처리내용에 대응하는 제어를 담당한다. 유닛제어부(115)는 시스템 제어부(100)와 같이 마이크로 컴퓨터를 포함한다. 특히, 유닛제어부(115)는, 본체부로서 동작하는 CPU(111)와, 기본 프로그램 등을 저장하는 리드 온리 메모리로서 동작하는 ROM(112)과, 연산 작업영역을 규정하는 랜덤 액세스 메모리로서 동작하는 RAM(113)과, 다양한 데이터를 저장하기 위해 배터리에 의해 백업되는 SRAM으로 구성되는 기억부(114)를 포함한다.
각 처리유닛(110)에는 타이머(117) 및 카운터(118)가 더 설치되어 있다. 타이머(117)는, 예컨대 처리유닛(110)의 세정 브러쉬(11)와 같은 부품이 사용 시간(신규 세정 브러쉬(11)로 교환한 후 기판 처리에 사용된 시간)을 측정하는 기능을 가진다. 처리유닛(110)에 복수의 부품이 설치되는 경우, 타이머(117)는 부품마다 사용 시간을 측정한다. 카운터(118)는, 예컨대 처리유닛(110)의 세정 브러쉬(11)와 같은 부품으로 처리된 기판 매수(신규 세정 브러쉬(11)로 교환된 후 처리된 기판 매수)를 계산하는 기능을 가진다. 처리유닛(110)에 복수의 부품이 설치되는 경우, 카운터(118)는 부품마다 처리된 기판 매수를 측정한다.
시스템 제어부(100)의 ROM(102)과 기억부(104)는 전체 기판 처리장치(1C)에 관한 시스템 제어 프로그램을 미리 기억한다. 시스템 제어부(100)의 CPU(101)가 시스템 제어 프로그램에 따라 연산처리를 실행하는 경우, 동작제어 및 데이터 처리가 전체 기판 처리장치(1C)에서 실행되게 된다. 유닛제어부(115)의 ROM(112)과 기억부(114)는 이 처리유닛(110)의 기판처리부(116)의 처리내용에 대응해서 유닛 제어 프로그램을 미리 저장한다. 유닛제어부(115)의 CPU(111)가 유닛 제어 프로그램에 따라 연산처리를 실행하는 경우, 동작제어 및 데이터 처리가 기판처리부(116)에서 실행되게 된다.
이들 프로그램은, 판독장치(150)를 통해서 기록매체(91)로부터 판독하거나 또는 네트워크를 통해서 소정의 서버 메모리 등으로부터 다운로드 하는 것에 의해 취득되어 갱신될 수 있다. 각 프로그램은 버전을 가지고 있고, 버전을 식별하기 위한 수치와 같은 버전정보는 프로그램이 갱신될 때마다 변경된다. 시스템 제어부(100)의 기억부(104)는 기판 처리장치(1C)에서 구동되는 각 프로그램의 버전정보를 저장한다.
이제, 기판 처리공장(4)에 배치된 정보 축적서버(2)와, 지원센터(5)에 배치된 각 지원 컴퓨터(3) 및 부품센터(7)에 배치된 수주서버(8)가 설명된다. 정보 축적서버(2)와, 지원 컴퓨터(3) 및 수주서버(8)는 일반 컴퓨터와 하드웨어 구조가 같다. 그러므로, 정보 축적서버(2)와, 지원 컴퓨터(3) 및 수주서버(8)의 기본 구성은 서로 같고, 도 15를 참조하여 설명된다. 도 15에 도시된 바와 같이, 정보 축적서버(2)와, 지원 컴퓨터(3) 및 수주서버(8)의 각각은 CPU(21, 31, 81)(정보 축적서버(2)용 CPU(21)와, 지원 컴퓨터(3)용 CPU(31) 및 수주서버(8)용 CPU(81): 이것은 다음의 설명에도 사용한다), 기본 프로그램을 저장하는 ROM(22, 32, 82) 및 다양한 정보를 저장하는 RAM(23, 33, 83)을 버스 라인에 접속하는 것에 의해 구성된다. 또한, 다양한 정보를 저장하는 하드 디스크(24, 34, 84)와, 다양한 정보를 표시하는 표시장치(25, 35, 85)와, 오퍼레이터로부터 입력을 받는 키보드(26a, 36a, 86a) 및 마우스(26b, 36b, 86b)와, 광디스크, 자기 디스크 또는 광자기 디스크와 같은 기록매체(91)로부터 다양한 데이터를 판독하는 판독장치(27, 37, 87) 및 네트워크(6)를 통해서 외부장치와 통신하는 통신부(28, 38, 88)도 인터페이스(I/F) 등을 통해서 적절하게 버스 라인에 접속되어 있다.
정보 축적서버(2)와, 지원 컴퓨터(3) 및 수주서버(8)는 각각 판독장치(27, 37, 87)를 통해서 기록매체(91)로부터 프로그램을 판독하여, 하드 디스크(24, 34, 84)에 저장할 수 있다. 또한, 정보 축적서버(2)와, 지원 컴퓨터(3) 및 수주서버(8)는 각각 네트워크(6)를 통해서 다른 서버로부터 프로그램을 다운로드 하여, 하드 디스크(24, 34, 84)에 저장하는 것도 가능하다. CPU(21, 31, 81)는 동작을 실행하기 위해 하드 디스크(24, 34, 84)에 저장된 프로그램에 따라 연산처리를 실행한다. 즉, 프로그램에 따라 연산동작을 실행한 결과, 정보 축적서버(2)는 정보 축적서버(2)로서 동작하고, 지원 컴퓨터(3)는 지원 컴퓨터(3)로서 동작하며, 수주서버(8)는 수주서버(8)로서 동작하게 된다.
기판 처리시스템(10A)과 그것을 구성하는 기판 처리장치(1C), 정보 축적서버(2), 지원 컴퓨터(3) 및 수주서버(8)의 하드웨어 구성이 설명되었지만, 이제 기판 처리시스템(10A)의 기능 및 처리내용이 설명된다. 도 16은 기판 처리시스템(10A)의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 도 17은 기판 처리시스템(10A)에서의 처리수순을 나타내는 플로우 차트이다. 도 16에 있어서, 정보 축적서버(2)의 CPU(21)는 처리 프로그램을 구동하여, 처리부로서 소모성 정보등록부(231)와 정보공개부(236)를 각각 실행하고, 지원 컴퓨터(3)의 CPU(31)는 처리 프로그램을 구동하여, 처리부로서 웹 브라우저(312)와, 경고발생부(313) 및 발주신호 송신부(314)를 각각 실행한다.
도 17의 스텝 S1에서, 기판 처리장치(1C)의 부품의 소모성이 측정된다. 소모성은 처리유닛(110)마다 측정된다. 본 실시예에 의하면, 타이머(117)는 소모성으로서 세정 브러쉬(11)와 같은 부품의 사용 시간을 측정한다. 유닛제어부(115)는 처리유닛(110)마다 측정된 소모성을 수집하고, 시스템 제어부(100)로 송신한다. 시스템 제어부(100)는 기판 처리장치(1C)마다 측정된 소모성을 수집하여, 기판 처리장치(1C)의 각 부품의 소모성을 통신부(105)로부터 LAN(41)을 통해서 정보 축적서버(2)의 소모성 정보등록부(231)로 송신한다.
이후, 도 17의 스텝 S2로 프로세스가 진행하여, 소모성 정보등록부(231)는 기판 처리장치(1C)의 각 부품의 소모성을 하드 디스크(24)에 등록한다. 하드 디스크(24)는, 소모성 정보(241)로서 각 기판 처리장치(1C)의 부품마다 소모성을 누적하여 저장한다.
도 18은, 전형적인 소모성 정보(241)를 나타낸다. 도 18에 있어서, "장치"의 컬럼은 각 기판 처리장치(1C)에 할당된 식별번호를 나타내고, "부품"의 컬럼은 소모품의 명칭을 나타내며, "사용 시간" 및 "기판 처리매수"의 컬럼은 소모성을 나타낸다. 본 실시예는 소모성으로서 사용 시간을 사용하므로, 소모성 정보(241)는 처리된 기판 매수를 기술하지 않는다. 도 18에 도시된 바와 같이, 소모성 정보(241)는 기판 처리공장(4)에 배치된 각각의 기판 처리장치(1C)에 관한 부품마다 소모성을 축적한다. 예컨대, 장치 번호가 "8101"인 기판 처리장치(1C)에 관해서는, 명칭이 "브러쉬 2"인 세정 브러쉬(11)의 사용 시간이 12시간인 것을 소모성 정보는 기록한다. 타이머(117)는 일정한 간격마다 각 부품의 사용 시간을 측정하고, 그 측정 결과를 소모성 정보등록부(231)가 하드 디스크(24)에 연속적으로 등록하는 것에 의해 소모성 정보(241)를 구축한다.
정보공개부(236)는 정보 축적서버(2)의 하드 디스크(24)에 축적된 소모성 정보(241)를 공개하여 네트워크(6)를 통해서 판독 가능하게 한다. 지원센터(5)의 스탭은, 하드 디스크(24)에 축적된 소모성 정보(241)를 웹 브라우저(312)를 통해서 정보공개부(236)로부터 취득하고, 기판 처리공장(4)에 배치된 기판 처리장치(1C)의 각 부품의 소모성을 확인하기 위해 표시장치(35)상에 표시함으로써 소모성 정보(241)를 판독할 수 있다. 이와 같이, 지원센터(5)는 기판 처리장치(1C)의 각 부품의 소모성을 효과적으로 관리할 수 있다. 소모성 정보(241)는, 웹 브라우저(312)를 통해서 정기적으로 취득된다.
지원 컴퓨터(3)의 CPU(31)는, 기판 처리장치(1C)의 부품의 소모성이 웹 브라우저(312)를 통해서 취득된 소모성 정보(241)에 기초하여 미리 설정된 소정의 값을 초과하는지 아니지를 판정한다(스텝 S3). CPU(31)는, 이것을 소모성 정보(241)에 등록된 부품마다, 즉 복수의 기판 처리장치(1C)의 부품마다 판정한다. 어떤 부품의 소모성이 미리 설정된 소정의 값을 초과하는 경우, 즉 사용 시간이 소정의 값을 초과하는 경우, 프로세스가 스텝 S4로 진행하여 경고발생부(313)가 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생한다. 즉, 하드 디스크(24)에 축적된 부품의 소모성이 소정의 값에 도달하는 경우, 경고발생부(313)는 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생한다. 경고는 표시장치(35)상에 표시되거나 또는 예컨대 소리로서 주어질 수 있다.
기판 처리장치(1C)를 유지 보수하는 스탭은, 교환을 재촉하는 경고를 통해서 부품이 한계수명에 근접한 것을 인식할 수 있다.
제3 실시예에서 어떤 부품의 소모성이 미리 설정된 소정의 값을 초과하는 경우, 프로세스는 스텝 S5로 진행하여 발주신호 송신부(314)는 신규 부품의 발주신호를 수주서버(8)로 송신한다. 하드 디스크(24)에 축적된 부품의 소모성이 소정의 값에 도달하는 경우, 이 부품을 교환하기 위해 발주신호 송신부(314)는 신규 부품의 발주신호를 수주서버(8)로 송신한다.
수주서버(8)가 발주신호를 수신하는 경우, 부품 지원센터(7)는 신규 부품을기판 처리공장(4)으로 공급하는 처리를 즉시 진행시킨다. 스텝 S4 및 S5는 순서가 서로 교체되거나 또는 동시에 실행될 수 있다.
제3 실시예에 의하면, 기판 처리장치(1C)의 어떤 부품이 소비되거나 또는 파손되는 경우, 신규 부품이 기판 처리공장에 이미 준비되어 있어야 하므로, 부품이 즉시 교환되고, 또 이 부품의 교환에 따른 기판 처리장치(1C)의 정지시간이 최소화 될 수 있어, 기판 처리장치(1C)에서 작업 효율성의 현저한 감소가 억제될 수 있다.
그러므로, 상술한 소정의 값은, 교환을 요구하는 값으로서 부품이 사용될 수 없는 상태까지 소비되기 바로 직전의 값으로 설정하는 것이 바람직하다. 예컨대, 어떤 부품이 사용 시간 100 시간의 경과 후 사용될 수 없는 경우, 예컨대 90 시간의 주기가 교환을 요구하는 값으로서 설정된다. 각 부품의 수명은 교환을 요구하는값을 계산하여 실험적으로 얻어지거나 또는 교환을 요구하는 값은 상술한 방식으로 축적된 소모성 정보(241)로부터 통계적으로 얻어진다. 특히, 소모성 정보(241)는 부품마다 소모성을 기록하므로, 부품이 사용될 수 없는 경우에도 소모성이 파악될 수 있다. 각 부품의 수명은, 복수의 부품에 대해서 사용될 수 없는 상태로 되는 소모성 레벨을 파악하여 통계적으로 처리하는 것에 의해 얻어질 수 있으므로, 부품이 사용될 수 없는 상태로 사용되기 직전의 값(교환을 요구하는 값)이 수명에 기초해서 결정될 수 있다.
제3 실시예에서 정보 축적서버(2)가 기판 처리공장(4)에 배치되지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 기판 처리장치(1C) 및 지원 컴퓨터(3)와 통신할 수 있는 네트워크(6)와 접속되는 한 어떤 위치에도 배치될 수 있다.
제3 실시예에서 어떤 부품의 소모성이 미리 설정된 소정의 값을 초과하는 경우, 경고 및 발주신호의 송신이 모두 실행되지만, 어느 한쪽만이 실행되는 것도 가능하다. 경고만이 실행되어, 어떤 부품이 그 한계 수명에 근접한 것을 인식한 지원센터(5)의 지원 스탭이 이메일 등으로 부품센터(7)에 신규 부품을 발주하는 경우, 기판 처리장치(1C)의 부품이 소비되거나 파손될 때 신규 부품은 기판 처리공장(4)에 준비되어 있으므로, 부품이 즉시 교환될 수 있고, 기판 처리장치(1C)에서 작업 효율성의 현저한 감소가 억제될 수 있다.
경고나 발주신호의 송신이 실행되지 않을 수 있다. 이 경우, 소모성 정보(241)를 감시하는 지원센터(5)의 지원 스탭이 교환 주기를 결정하여 이메일 등으로 부품센터(7)에 신규 부품을 발주한다.
제3 실시예에서 어떤 부품의 소모성이 미리 설정된 소정의 값(교환을 필요로 하는 값)을 초과하는지 아닌지를 지원 컴퓨터(3)가 판정하도록 소모성 정보(241)가 구축되지만, 기판 처리장치(1C)의 시스템 제어부(100)는 선택적으로 소모성 정보(241)를 구축하지 않고 부품의 소모성을 지원 컴퓨터(3)로 직접 송신한다.
제3 실시예에서 사용 시간이 소모성으로 사용되지만, 처리된 기판 매수가 소모성으로서 선택적으로 사용될 수 있다. 처리된 기판 매수가 소모성으로서 사용되는 경우, 카운터(118)는 소모성으로서 세정 브러쉬(11)와 같은 어떤 부품으로 처리된 기판 매수를 측정한다. 측정된 소모성의 처리는 상술한 사용 시간의 처리와 동일하다. 또한, 이 경우, 소모성으로서 사용 시간을 사용하는 경우와 같은 효과가 달성될 수 있다. 또한, 선택적으로 사용 시간이나 처리된 기판 매수가 소모성으로서 사용될 수 있다. 이 경우, 사용 시간 또는 처리된 기판 매수가 미리 설정된 소정의 값을 초과하는 경우 경고가 주어지거나 또는 신규 부품의 발주신호가 송신될 수 있다.
또한, 지원 컴퓨터(3)가 아니라 기판 처리장치(1C) 또는 정보 축적서버(2)는 신규 부품에 대한 경고기능 및 발주신호 송신기능을 가지고 있다. 도 19는 경고기능 및 부품 발주신호 송신기능을 가지는 기판 처리장치(1C)가 설치된 기판 처리시스템(10A)의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 도 19에 있어서, 도 16에 도시된 것과 동일한 기능을 가지는 요소는 동일한 부호로서 표시된다. 도 19에 있어서, 시스템 제어부(100)의 CPU(101)는 처리 프로그램을 구동하여, 도 16에 도시된 발주신호 송신부(314) 및 경고발생부(313)와 동일한 역할을 가지는 처리부로서 발주신호 송신부(108) 및 경고발생부(109)를 각각 실행한다.
이 경우, 시스템 제어부(100)(엄밀하게는, CPU(101))는 타이머(117) 또는 카운터(118)에 의해 측정된 소모성이 미리 설정된 소정의 값(교환을 필요로 하는 값)을 초과하는지 아닌지를 판정하여, 경고발생부(109)가 표시부(130) 등에서 경고를 발생하거나 또는 발주신호 송신부(108)가 신규 부품의 발주신호를 네트워크(6)를 통해서 통신부(105)로부터 수주서버(8)로 송신한다. 또한, 이 경우에도 제3 실시예와 같은 효과가 달성될 수 있다.
제3 실시예에서 기판 처리장치(1C)는 기판상에서 세정처리를 실행하고, 그것을 구성하는 세정 브러쉬(11)의 소모성이 관리되는 것으로 하였지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 예컨대 본 발명에 의한 기술은 광조사에 의해 기판을 가열하는 램프 어닐링장치를 구성하는 램프의 소모성을 관리하는 경우에도 적용될 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 기술은 소모품으로서 반송로봇(TR)을 구동하기 위한 벨트, 실린더, 모터 등의 소모성을 관리하는 경우에도 적용 가능하다.
<4. 제4 실시예>
이제, 본 발명의 제4 실시예가 설명된다. 제4 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)의 전체 구성은 도 1에 도시된 것과 동일하다. 그러나, 제4 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)에서는, 각 지원 컴퓨터(3)는 각 기판 처리장치(1)의 조작에 관한 교육정보를 네트워크(6)를 통해서 기판 처리장치(1)로 분배하고, 기판 처리장치(1)의 조작에 관한 강의를 전달하는 스탭은 지원센터(5)에 배치되어 있다.
기판 처리장치(1)의 하드웨어 구성은, 도 2 및 도 3을 참조하여 설명된 제1 실시예와 동일하다. 또한, 정보 축적서버(2) 및 지원 컴퓨터(3)의 각각의 하드웨어 구성도 도 4를 참조하여 설명된 제1 실시예와 동일하다.
도 20은 제4 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 도 20에 있어서, 시스템 제어부(100)의 CPU(101)는 제어 프로그램을 구동하는 것에 의해 처리부로서 분배요구부(2108)를 실행하고, 지원 컴퓨터(3)의 CPU(31)는 제어 프로그램을 구동하는 것에 의해 처리부로서 분배부(2315)를 실행한다.
지원센터(5)의 지원 컴퓨터(3)에 포함된 하드 디스크(34)는 교육 프로그램(2341)을 저장한다. 지원 컴퓨터(3)의 CPU(31)는 교육 프로그램(2341)을 판독하여 구동하므로, 분배부(2315)는 기판 처리공장(4)의 각 기판 처리장치(1)의 조작에 관한 교육정보를 네트워크(6)를 통해서 통신부(38)에서 분배할 수 있다. 예컨대, 스트리밍 분배기술이 분배 방식으로서 사용될 수 있다. 통신부(105)는 지원 컴퓨터(3)에서 분배된 교육정보를 받아 표시장치(130)상에 표시한다.
분배 시간에 대해서는, 기판 처리장치(1)로부터 분배요구의 존재/부재에 관계없이 어떤 기판 처리공장(4)에 배치된 복수의 기판 처리장치(1)로 교육정보가 동시에 분배되거나 또는 분배요구가 존재하는 기판 처리장치(1)로만 분배될 수 있다. 특히, 분배요구명령이 조작부(140)에서 입력되는 경우 분배요구부(2108)는 네트워크(6)를 통해서 통신부(105)로부터 지원 컴퓨터(3)로 분배요구를 송신한다. 분배요구를 받은 지원 컴퓨터(3)의 분배부(2315)는 네트워크(6)를 통해서 통신부(38)로부터 기판 처리장치(1)로 교육정보를 분배한다.
기판 처리공장(4)의 다수의 오퍼레이터에게 조작 설명에 대한 강의를 동시에 전달하는 경우, 교육정보는 복수의 기판 처리장치(1)로 동시에 분배될 수 있다. 다수의 오퍼레이터는 각 기판 처리장치(1)를 소그룹에 분산시켜, 표시장치(130)상에 표시된 교육정보를 관찰하는 것에 의해 기판 처리장치(1)의 조작방법을 배울 수 있다.
기판 처리공장(4)의 일부 비숙련 오퍼레이터에게 조작 설명에 대한 강의를 전달하는 경우, 오퍼레이터가 분배요구가 차례대로 나타나는 기판 처리장치(1)에 배치되고, 교육정보는 이 기판 처리장치(1)에만 분배된다. 오퍼레이터는 표시장치(130)상에 표시된 교육정보를 관찰함으로써 기판 처리장치(1)를 조작하는 방법을 배울 수 있다.
어느 경우에도, 장치 벤더는 교육 프로그램(2341)을 간단히 생성하여 지원 컴퓨터(3)에 저장함으로써 조작 설명에 대한 강의를 전달할 수 있고, 사용자는 조작에 대해서 오퍼레이터를 효과적으로 교육하기 위한 소망의 타이밍에서 조작 설명에 관한 강의를 반복적으로 확보할 수 있다.
제4 실시예에서 지원 컴퓨터(3)는 교육 프로그램(2341)를 저장하고, 지원센터(5)는 인터넷을 통해서 기판 처리장치(1)로 교육정보를 분배하지만, 정보 축적서버(2)는 선택적으로 지원 컴퓨터(3)의 역할을 가진다. 도 21은 제4 실시예에 따른 기판 처리시스템(10)의 또 다른 전형적인 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다. 도 21에 있어서, 정보 축적서버(2)의 CPU(21)는 제어 프로그램을 구동하는 것에 의해 처리부로서 분배부(2215)를 실행한다.
정보 축적서버(2)에 포함된 하드 디스크(24)는 교육 프로그램(2241)을 저장한다. 정보 축적서버(2)의 CPU(21)가 이 교육 프로그램(2241)을 판독 및 구동하므로 분배부(2215)는 기판 처리공장(4)의 각 기판 처리장치(1)의 조작에 관한 교육정보를 LAN(41)을 통해서 통신부(28)로부터 분배할 수 있다. 분배의 방식과 타이밍은 상술한 실시예와 같다.
또한, LAN(41)을 통해서 교육정보를 분배하는 경우, 장치 벤더는 교육 프로그램(2241)을 단순히 생성하고 정보 축적서버(2)에 저장함으로써 조작 설명에 대한 강의를 전달 할 수 있고, 사용자는 조작에 대해서 오퍼레이터를 효과적으로 교육하기 위한 소망의 타이밍에서 조작 설명에 관한 강의를 반복적으로 확보할 수 있다.
본 발명에 따른 기술은, 광조사에 의해 기판을 가열하는 램프 어닐링장치와, 기판을 회전시키면서 파티클을 제거하는 세정처리를 실행하는 세정장치 또는 예컨대 기판상에서 소정의 처리를 실행하는 플루오르화 수소산과 같은 처리액에 기판을 담그는 것에 의해 표면처리를 실행하는 침지장치와 같은 어떤 기판 처리장치에 도 적용할 수 있다.
본 발명이 상세하게 도시되고 설명되었지만, 상술한 설명은 모든 양태에서의 실시예이지 그것에 한정되지 않는다. 그러므로, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한 매우 많은 수정 및 변경이 연구될 수 있는 것으로 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 처리시스템의 개략적인 블록도,
도 2는 기판 처리장치의 개략적인 평면도,
도 3은 기판 처리장치용 제어시스템의 구성을 나타내는 블록도,
도 4는 정보 축적서버 또는 지원 컴퓨터의 기본적인 구성을 나타내는 도면,
도 5는 설정정보의 전형적인 내용을 나타내는 도면,
도 6은 레시피(recipe) 데이터의 전형적인 내용을 나타내는 도면,
도 7은 제1 실시예에 따른 기판 처리시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도,
도 8은 제1 실시예에 따른 스케줄 관리부를 포함하는 로컬지시부의 블록도,
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 처리시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도,
도 10은 제2 실시예에 따른 지원 컴퓨터에서 관리된 버전의 장치 기본데이터를 나타내는 도면,
도 11은 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 처리시스템의 구성을 개략적으로 나타내는 도면,
도 12는 제3 실시예에 따른 기판 처리장치의 개략적인 평면도,
도 13은 도 12에 도시된 기판 처리장치의 표면 세정 처리유닛의 구성을 개략적으로 나타내는 도면,
도 14는 제3 실시예에 따른 기판 처리장치용 제어시스템의 구성을 나타내는 블록도,
도 15는 정보 축적서버, 지원 컴퓨터 또는 수주서버의 기본 구성을 나타내는 도면,
도 16은 제3 실시예에 따른 기판 처리시스템의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도,
도 17은 제3 실시예에 따른 기판 처리시스템의 처리수순(precedure)을 나타내는 플로우차트,
도 18은 전형적인 소모성 정보를 나타내는 도면,
도 19는 경고기능과 부품 발주신호 송신기능을 가지는 기판 처리장치가 설치된 제3 실시예에 따른 다른 기판 처리시스템의 기능 구성을 나타내는 기능 블록도,
도 20은 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 처리시스템의 전형적인 기능 구성을 나타내는 기능 블록도,
도 21은 제4 실시예에 따른 기판 처리시스템의 다른 전형적인 기능 구성을 나타내는 기능 블록도이다.

Claims (29)

  1. 기판 처리장치와 지원 컴퓨터를 네트워크를 통해서 서로 접속하는 기판 처리장치 관리시스템에 있어서,
    상기 지원 컴퓨터는,
    a-1) 상기 기판 처리장치의 초기화에 필요한 기본정보를 저장하는 제1 기억수단과,
    a-2) 상기 네트워크를 통해서 상기 기본정보를 상기 기판 처리장치로 송신하는 기본정보 송신수단을 포함하고,
    상기 기판 처리장치는,
    b-1) 상기 지원 컴퓨터에서 수취된 상기 기본정보를 저장하는 제2 기억수단을 포함하며,
    상기 기판 처리장치의 초기상태는, 상기 제2 기억수단에 저장된 상기 기본정보로 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기본정보는, 동일한 유형의 기판 처리장치에 대해서 공통으로 설정된 정보인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 기본정보는, 상기 기판 처리장치를 제어하기 위한 제어 프로그램의 버전으로 변경되는 정보이고,
    상기 기판 처리장치는,
    b-2) 상기 기판 처리장치에 설치된 상기 제어 프로그램의 버전을 상기 지원 컴퓨터로 통지하는 통지수단을 더 포함하며,
    상기 기본정보 송신수단은,
    a-2-1) 상기 기판 처리장치에서 통지된 상기 제어 프로그램의 버전정보에 대응하는 상기 기본정보를 상기 기판 처리장치로 송신하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 기판 처리장치는,
    b-3) 상기 기본정보에 대한 송신요구를 상기 지원 컴퓨터에 지시하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 지원 컴퓨터는,
    a-3) 상기 기본정보의 송신을 상기 기판 처리장치에 지시하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  6. 초기화 정보로서 기억수단에 저장된 기본정보로 제어되는 기판 처리장치에 있어서,
    a) 네트워크를 통해서 상기 기판 처리장치와 접속된 컴퓨터로부터 상기 기본정보를 수취하는 수취수단 및;
    b) 수취된 상기 기본정보를 상기 기억수단에 저장하는 저장수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 기본정보는, 동일한 유형의 기판 처리장치에 대해서 공통으로 설정된 정보인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 기본정보는,상기 기판 처리장치를 제어하기 위한 제어 프로그램의 버전으로 변경되는 정보이고,
    상기 기판 처리장치는,
    c) 상기 기판 처리장치에 설치된 상기 제어 프로그램의 버전을 상기 컴퓨터로 통지하는 통지수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    d) 상기 기본정보에 대한 송신요구를 상기 컴퓨터에 지시하는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  10. 초기화 정보로서 기억수단에 저장된 기본정보로 제어되는 동작을 가지는 기판 처리장치를 관리하는 기판 처리장치 관리방법에 있어서,
    a) 네트워크를 통해서 상기 기판 처리장치와 접속된 컴퓨터로부터 상기 기본정보를 수취하는 스텝 및;
    b) 수취된 상기 기본정보를 상기 기억수단에 저장하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
  11. 기판 처리장치에 포함된 컴퓨터용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 있어서,
    상기 기판 처리장치는, 초기화 정보로서 기억수단에 저장된 기본정보로 제어되고 있고,
    상기 기판처리를 가능하게 하는 상기 컴퓨터에 의한 상기 프로그램의 실행은,
    a) 네트워크를 통해서 상기 기판 처리장치와 접속된 외부 컴퓨터로부터 상기 기본정보를 수취하는 스텝 및;
    b) 수취된 상기 기본정보를 상기 기억수단에 저장하는 스텝을 실행하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
  12. 기판 처리장치와 상기 기판 처리장치를 관리하는 컴퓨터를 가지고, 모두 네트워크에 접속된 기판 처리장치 관리시스템에 있어서,
    상기 기판 처리장치는, 상기 기판 처리장치의 부품중 소모성을 측정하는 소모성 측정수단을 포함하고,
    상기 기판 처리장치 관리시스템은,
    상기 소모성 측정수단에 의해 측정된 상기 소모성을 축적하는 소모성 정보 축적수단 및;
    상기 네트워크를 통해서 상기 컴퓨터에서 판독 가능한 상기 소모성 정보 축적수단에 축적된 상기 소모성을 나타내는 소모성 정보 공개수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 소모성 측정수단은, 상기 소모성으로서 상기 부품의 사용 시간을 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  14. 제 12 항에 있어서,
    상기 소모성 측정수단은, 상기 소모성으로서 상기 부품으로 처리된 기판 매수를 측정하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  15. 제 12 항에 있어서,
    상기 컴퓨터는, 상기 소모성 정보 축적수단에 축적된 상기 부품의 상기 소모성이 소정의 값에 도달할 때 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 경고 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  16. 제 15 항에 있어서,
    부품의 발주를 받아들이는 수주서버는 상기 네트워크에 접속되어 있고,
    상기 컴퓨터는, 상기 소모성 정보 축적수단에 축적된 상기 부품의 상기 소모성이 상술한 소정의 값에 도달할 때 상기 부품을 교환하기 의해 신규 부품의 발주신호를 상기 수주서버로 송신하는 발주신호 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  17. 복수의 기판 처리장치와 상기 복수의 기판 처리장치를 가지고, 모두 네트워크에 접속된 기판 처리장치 관리시스템에 있어서,
    상기 복수의 기판 처리장치의 각각은, 상기 기판 처리장치의 부품의 소모성을 측정하는 소모성 측정수단을 포함하고,
    상기 기판 처리장치 관리시스템은,
    상기 부품의 상기 소모성이 소정의 값에 도달할 때, 상기 복수의 기판 처리장치중 어느 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 경고수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  18. 기판 처리장치, 상기 기판 처리장치를 관리하는 컴퓨터 및 상기 기판 처리장치의 부품에 대한 발주를 받아들이는 수주서버를 가지고, 모두 네트워크를 통해서 접속된 기판 처리장치 관리시스템에 있어서,
    상기 기판 처리장치는, 상기 기판 처리장치의 상기 부품의 소모성을 측정하는 소모성 측정수단을 포함하고,
    상기 기판 처리장치 관리시스템은,
    상기 기판 처리장치의 상기 부품중 상기 소모성이 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품의 발주신호를 상기 수주서버로 송신하는 발주신호 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  19. 기판 처리장치의 부품 교환을 관리하는 기판 처리장치 관리방법에 있어서,
    상기 기판 처리장치의 상기 부품의 소모성을 측정하는 스텝 및;
    상기 기판 처리장치의 상기 부품의 상기 소모성이 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품이 발주신호를 부품의 발주를 받아들이는 상기 수주서버로 송신하는 스텝을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 기판 처리장치의 상기 부품의 상기 소모성이 상기 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 스텝을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리방법.
  21. 기판상에 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,
    상기 기판 처리장치의 부품의 소모성을 측정하는 소모성 측정수단 및;
    상기 소모성 측정수단에 의해 측정된 상기 소모성을 상기 기판 처리장치의 외부로 송신하는 소모성 정보 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  22. 기판상에 소정의 처리를 행하는 기판 처리장치에 있어서,
    상기 기판 처리장치의 부품의 소모성을 측정하는 소모성 측정수단 및;
    상기 부품의 상기 소모성이 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품의 발주신호를 상기 기판 처리장치의 외부로 송신하는 발주신호 송신수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  23. 제 22 항에 있어서,
    상기 부품의 상기 소모성이 상기 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품의 교환을 재촉하는 경고를 발생하는 경고수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  24. 기판 처리장치에 포함된 컴퓨터용 프로그램이 기록된 컴퓨터 판독 가능한 기록매체에 있어서,
    상기 기판처리를 가능하게 하는 상기 컴퓨터에 의한 상기 프로그램의 실행은,
    a) 상기 기판 처리장치의 부품의 소모성을 측정하고,
    b) 상기 부품의 상기 소모성이 소정의 값에 도달할 때, 상기 부품을 교환하기 위한 신규 부품의 발주신호를 송신하는 것을 실행하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독 가능한 기록매체.
  25. 복수의 기판 처리장치와 컴퓨터를 네트워크를 통해서 서로 접속하는 기판 처리장치 관리시스템에 있어서,
    상기 컴퓨터는, 상기 복수의 기판 처리장치의 조작에 관한 교육정보를 상기 네트워크를 통해서 분배하는 교육정보 분배수단을 포함하고,
    상기 복수의 기판 처리장치의 각각은,
    상기 컴퓨터에서 분배된 상기 교육정보를 수취하는 수취수단 및,
    상기 수취수단에 의해 수취된 상기 교육정보를 표시하는 표시수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 복수의 기판 처리장치의 각각은, 상기 교육정보의 분배를 상기 컴퓨터에 요구하는 분배 요구수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  27. 제 25 항에 있어서,
    상기 컴퓨터는, 상기 교육정보를 상기 복수의 기판 처리장치로 동시에 분배 하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  28. 제 25 항에 있어서,
    상기 네크워크는 인터넷인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
  29. 제 28 항에 있어서,
    상기 네트워크는 LAN(local area network)인 것을 특징으로 하는 기판 처리장치 관리시스템.
KR1020050044009A 2001-09-06 2005-05-25 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템 KR100602509B1 (ko)

Applications Claiming Priority (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001270699A JP3962232B2 (ja) 2001-09-06 2001-09-06 基板処理装置管理システム、基板処理装置、基板処理装置管理方法、プログラム、および、記録媒体
JPJP-P-2001-00270584 2001-09-06
JP2001270584A JP4191399B2 (ja) 2001-09-06 2001-09-06 基板処理装置管理システム
JPJP-P-2001-00270699 2001-09-06
JPJP-P-2001-00271599 2001-09-07
JP2001271369A JP2003080155A (ja) 2001-09-07 2001-09-07 基板処理システム
JPJP-P-2001-00271369 2001-09-07
JP2001271599A JP2003086479A (ja) 2001-09-07 2001-09-07 基板処理システム、基板処理装置管理方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2002-0052523A Division KR100526694B1 (ko) 2001-09-06 2002-09-02 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20050065478A true KR20050065478A (ko) 2005-06-29
KR100602509B1 KR100602509B1 (ko) 2006-07-19

Family

ID=27482537

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2002-0052523A KR100526694B1 (ko) 2001-09-06 2002-09-02 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템
KR1020050044009A KR100602509B1 (ko) 2001-09-06 2005-05-25 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-2002-0052523A KR100526694B1 (ko) 2001-09-06 2002-09-02 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템

Country Status (4)

Country Link
US (3) US7280883B2 (ko)
KR (2) KR100526694B1 (ko)
CN (1) CN100385609C (ko)
TW (1) TWI224354B (ko)

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4097485B2 (ja) * 2002-08-28 2008-06-11 独立行政法人科学技術振興機構 酸化還元酵素と基質との反応中間体を捕捉する方法
GB2411493B (en) * 2004-02-27 2006-10-11 Motorola Inc Method of backing-up data in a data processing system
WO2005101231A1 (en) * 2004-04-08 2005-10-27 Quick Vault, Llc Apparatus and method for backing up computer files
CN1702849A (zh) * 2004-05-26 2005-11-30 松下电器产业株式会社 温度异常检测方法及半导体制造装置
US7464862B2 (en) 2004-06-15 2008-12-16 Quickvault, Inc. Apparatus & method for POS processing
JP5008280B2 (ja) * 2004-11-10 2012-08-22 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ 基板処理装置および基板処理方法
JP5154007B2 (ja) * 2004-12-06 2013-02-27 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ 基板処理装置
JP4926433B2 (ja) * 2004-12-06 2012-05-09 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ 基板処理装置および基板処理方法
JP4794232B2 (ja) * 2004-12-06 2011-10-19 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ 基板処理装置
US20070143529A1 (en) * 2005-04-28 2007-06-21 Bacastow Steven V Apparatus and method for PC security and access control
JP4849825B2 (ja) * 2005-05-18 2012-01-11 東京エレクトロン株式会社 処理装置、位置合わせ方法、制御プログラムおよびコンピュータ記憶媒体
JP4761907B2 (ja) * 2005-09-28 2011-08-31 株式会社Ｓｏｋｕｄｏ 基板処理装置
US7546171B2 (en) * 2005-12-30 2009-06-09 Honeywell International Inc. Method, apparatus and system for recovery of a controller with known-compatible configuration and run-time data
KR100926117B1 (ko) * 2005-12-30 2009-11-11 엘지디스플레이 주식회사 가상 리뷰를 이용한 검사 시스템 및 그 방법
CN101025741A (zh) * 2006-02-17 2007-08-29 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 数据库的备份系统及方法
JP5091413B2 (ja) * 2006-03-08 2012-12-05 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置および基板処理装置の制御方法
US20080005426A1 (en) * 2006-05-31 2008-01-03 Bacastow Steven V Apparatus and method for securing portable USB storage devices
US8011013B2 (en) 2006-07-19 2011-08-30 Quickvault, Inc. Method for securing and controlling USB ports
JP5020605B2 (ja) * 2006-11-16 2012-09-05 東京エレクトロン株式会社 上位制御装置、下位制御装置、画面の操作権付与方法および画面の操作権付与プログラムを記憶した記憶媒体
ATE408859T1 (de) * 2007-01-17 2008-10-15 Siemens Ag Verfahren zur speicherung und reproduktion eines zustands in einem automatisierungsgerät
US7813828B2 (en) * 2007-04-02 2010-10-12 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing system and group management system
JP5461778B2 (ja) * 2007-04-02 2014-04-02 株式会社日立国際電気 基板処理システム、群管理システム、構成管理プログラム、接続管理プログラム、端末プログラム及び各ハードウェアの接続管理方法
US8086688B1 (en) 2008-05-16 2011-12-27 Quick Vault, Inc. Method and system for mobile data security
US8173931B2 (en) * 2008-06-13 2012-05-08 Electro Scientific Industries, Inc. Automatic recipe management for laser processing a work piece
US8155923B2 (en) * 2009-06-08 2012-04-10 General Electric Company System, remote device, and method for validating operation of a wind turbine
JP2011040546A (ja) * 2009-08-10 2011-02-24 Canon Inc 露光装置、システム、更新方法及びデバイス製造方法
US8655472B2 (en) * 2010-01-12 2014-02-18 Ebara Corporation Scheduler, substrate processing apparatus, and method of transferring substrates in substrate processing apparatus
JP2012043041A (ja) * 2010-08-13 2012-03-01 Disco Abrasive Syst Ltd 遠隔操作システム
KR102072200B1 (ko) 2011-04-22 2020-01-31 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 리소그래피 머신들의 클러스터를 위한 네트워크 아키텍처 및 프로토콜
US20130079913A1 (en) * 2011-09-28 2013-03-28 Globalfoundries Inc. Methods and systems for semiconductor fabrication with local processing management
CN103389625A (zh) * 2013-07-11 2013-11-13 浙江大学 一种应用于浸没式光刻机中浸液液体传送系统的通讯方法
JP6310260B2 (ja) 2014-01-20 2018-04-11 株式会社荏原製作所 基板処理装置内の複数の処理ユニットを調整するための調整装置、および該調整装置を備えた基板処理装置
WO2016040942A1 (en) 2014-09-12 2016-03-17 Quickvault, Inc. Method and system for forensic data tracking
JP6956578B2 (ja) 2017-09-19 2021-11-02 株式会社荏原製作所 ブレークイン装置及びブレークインシステム
JP6653722B2 (ja) * 2018-03-14 2020-02-26 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ 基板処理装置
JP6960873B2 (ja) * 2018-03-16 2021-11-05 東京エレクトロン株式会社 半導体製造システム及びサーバ装置

Family Cites Families (60)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62133719A (ja) 1985-12-06 1987-06-16 Canon Inc 半導体製造装置
JPH0718559B2 (ja) 1988-11-12 1995-03-06 株式会社オーノ 電熱チューブマット
US5495417A (en) * 1990-08-14 1996-02-27 Kabushiki Kaisha Toshiba System for automatically producing different semiconductor products in different quantities through a plurality of processes along a production line
US5379438A (en) * 1990-12-14 1995-01-03 Xerox Corporation Transferring a processing unit's data between substrates in a parallel processor
JPH0536128A (ja) * 1990-12-20 1993-02-12 Hitachi Ltd 高密度情報記録媒体及びそれを用いた記録装置
KR100307616B1 (ko) * 1994-01-31 2001-12-15 김징완 산업공정감시제어시스템
US5787000A (en) * 1994-05-27 1998-07-28 Lilly Software Associates, Inc. Method and apparatus for scheduling work orders in a manufacturing process
US5594529A (en) * 1994-11-30 1997-01-14 Exedy Corporation Imaging device with stock supervision means
US7069451B1 (en) * 1995-02-13 2006-06-27 Intertrust Technologies Corp. Systems and methods for secure transaction management and electronic rights protection
US5742829A (en) * 1995-03-10 1998-04-21 Microsoft Corporation Automatic software installation on heterogeneous networked client computer systems
US5758067A (en) * 1995-04-21 1998-05-26 Hewlett-Packard Co. Automated tape backup system and method
US5591299A (en) * 1995-04-28 1997-01-07 Advanced Micro Devices, Inc. System for providing integrated monitoring, control and diagnostics functions for semiconductor spray process tools
US6873738B2 (en) * 1995-10-02 2005-03-29 Sony Corporation Hierarchical image processor for encoding or decoding, and memory on the same chip
JP2986146B2 (ja) 1995-11-02 1999-12-06 東京エレクトロン株式会社 半導体製造装置のレシピ運用システム
JP3892493B2 (ja) * 1995-11-29 2007-03-14 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理システム
TWI249760B (en) * 1996-07-31 2006-02-21 Canon Kk Remote maintenance system
JPH10242092A (ja) 1997-02-25 1998-09-11 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板洗浄装置
US5950198A (en) * 1997-03-24 1999-09-07 Novell, Inc. Processes and apparatuses for generating file correspondency through replication and synchronization between target and source computers
JPH10270535A (ja) * 1997-03-25 1998-10-09 Nikon Corp 移動ステージ装置、及び該ステージ装置を用いた回路デバイス製造方法
JPH10274919A (ja) 1997-03-31 1998-10-13 Hitachi Software Eng Co Ltd 教育支援システム
US6000830A (en) * 1997-04-18 1999-12-14 Tokyo Electron Limited System for applying recipe of semiconductor manufacturing apparatus
US5814365A (en) * 1997-08-15 1998-09-29 Micro C Technologies, Inc. Reactor and method of processing a semiconductor substate
TW459266B (en) * 1997-08-27 2001-10-11 Tokyo Electron Ltd Substrate processing method
JP3892553B2 (ja) * 1997-10-29 2007-03-14 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理装置
JPH11194928A (ja) * 1997-12-29 1999-07-21 Tokyo Electron Ltd 制御装置
KR19990058399A (ko) 1997-12-30 1999-07-15 윤종용 산업용 감시/제어 시스템의 데이터 관리방법
US6098637A (en) * 1998-03-03 2000-08-08 Applied Materials, Inc. In situ cleaning of the surface inside a vacuum processing chamber
JPH11344920A (ja) 1998-06-02 1999-12-14 Kyasuto:Kk 教育システム及び、そのプログラム媒体及び、その装置
JP2000021740A (ja) 1998-06-29 2000-01-21 Nikon Corp 露光装置及びその操作支援方法
JP2000031030A (ja) 1998-07-08 2000-01-28 Canon Inc 露光装置、データ管理方法およびデバイス製造方法
JP3349455B2 (ja) * 1998-09-30 2002-11-25 宮崎沖電気株式会社 半導体製造装置のための管理方法および管理システム
US6978297B1 (en) * 1998-11-12 2005-12-20 Ricoh, Co., Ltd. System and method of managing queues by maintaining metadata files having attributes corresponding to capture of electronic document and using the metadata files to selectively lock the electronic document
US6314502B1 (en) * 1998-11-12 2001-11-06 Ricoh Co., Ltd. Method and apparatus for opportunistic queue processing
JP2000195775A (ja) 1998-12-25 2000-07-14 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理装置
US6223137B1 (en) * 1999-03-25 2001-04-24 The University Of Tennessee Research Corporation Method for marking, tracking, and managing hospital instruments
US6556949B1 (en) * 1999-05-18 2003-04-29 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
US6408220B1 (en) * 1999-06-01 2002-06-18 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
US6415193B1 (en) * 1999-07-08 2002-07-02 Fabcentric, Inc. Recipe editor for editing and creating process recipes with parameter-level semiconductor-manufacturing equipment
US7012684B1 (en) * 1999-09-07 2006-03-14 Applied Materials, Inc. Method and apparatus to provide for automated process verification and hierarchical substrate examination
US6721045B1 (en) * 1999-09-07 2004-04-13 Applied Materials, Inc. Method and apparatus to provide embedded substrate process monitoring through consolidation of multiple process inspection techniques
WO2001054187A1 (fr) * 2000-01-17 2001-07-26 Ebara Corporation Appareil de commande de transfert de tranches et procede de transfert de tranches
US6952656B1 (en) * 2000-04-28 2005-10-04 Applied Materials, Inc. Wafer fabrication data acquisition and management systems
EP1290558A1 (en) * 2000-05-19 2003-03-12 Self Repairing Computers, Inc. A computer with switchable components
JP2002057100A (ja) * 2000-05-31 2002-02-22 Canon Inc 露光装置、コートデベロップ装置、デバイス製造システム、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法
EP1168174A1 (en) * 2000-06-19 2002-01-02 Hewlett-Packard Company, A Delaware Corporation Automatic backup/recovery process
US6567718B1 (en) * 2000-07-28 2003-05-20 Advanced Micro Devices, Inc. Method and apparatus for monitoring consumable performance
KR20020011507A (ko) * 2000-08-02 2002-02-09 서평원 웹 브라우저 기반 네트워크 관리 시스템
KR20000072763A (ko) 2000-09-25 2000-12-05 강승식 전자부품자동조립장비에서 소요자재 예측을 통한 실시간자재공급 자동요청 방법
US20020072893A1 (en) * 2000-10-12 2002-06-13 Alex Wilson System, method and article of manufacture for using a microprocessor emulation in a hardware application with non time-critical functions
US6625703B2 (en) * 2000-11-02 2003-09-23 International Business Machines Corporation Verifying primary and backup copies of vital information for a processing system employing a pseudo-fixed reference identifier
KR100453698B1 (ko) * 2000-11-13 2004-10-20 (주)쓰리뷰 생산공정 모니터링 장치를 이용한 자재수급 시스템제공방법 및 장치
US7080144B2 (en) * 2000-12-22 2006-07-18 Bell South Intellectual Property Corp. System enabling access to obtain real-time information from a cell site when an emergency event occurs at the site
US6990380B2 (en) * 2000-12-27 2006-01-24 Tokyo Electron Limited Substrate processing apparatus and information storage apparatus and method
US6718464B2 (en) * 2001-01-23 2004-04-06 International Business Machines Corporation Method and system for customizing a client computer system configuration for a current user using BIOS settings downloaded from a server
US6567714B2 (en) * 2001-01-26 2003-05-20 Dell Products L.P. Method and system for manufacturing a computer system with the assistance of a wireless information network
US6795798B2 (en) * 2001-03-01 2004-09-21 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Remote analysis of process control plant data
US8458689B2 (en) * 2001-03-30 2013-06-04 Roderick A. Barman Method and apparatus for reprogramming engine controllers
US6931552B2 (en) * 2001-05-02 2005-08-16 James B. Pritchard Apparatus and method for protecting a computer system against computer viruses and unauthorized access
TWI244603B (en) * 2001-07-05 2005-12-01 Dainippon Screen Mfg Substrate processing system for managing device information of substrate processing device
JP4071461B2 (ja) * 2001-07-05 2008-04-02 大日本スクリーン製造株式会社 基板処理システム、基板処理装置、プログラム及び記録媒体

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030022030A (ko) 2003-03-15
US20070294058A1 (en) 2007-12-20
US7280883B2 (en) 2007-10-09
KR100526694B1 (ko) 2005-11-08
TWI224354B (en) 2004-11-21
US20030046034A1 (en) 2003-03-06
US7698107B2 (en) 2010-04-13
CN100385609C (zh) 2008-04-30
US20070293974A1 (en) 2007-12-20
CN1404102A (zh) 2003-03-19
KR100602509B1 (ko) 2006-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100602509B1 (ko) 기판 처리장치의 장치정보를 관리하는 기판 처리시스템
US6185474B1 (en) Exposure unit, exposure system and device manufacturing method
CN101000465B (zh) 漂洗处理方法及显影处理装置
CN100444313C (zh) 一种涂敷显影处理装置
JP2004246859A (ja) 基板実装ライン用プログラム提供方法
KR20130128004A (ko) 제판 소모재의 원격 관리방법
JP2004087795A (ja) 基板処理装置および基板処理システム
US6963789B2 (en) Substrate processing apparatus control system and substrate processing apparatus
JP2003086479A (ja) 基板処理システム、基板処理装置管理方法、基板処理装置、プログラム及び記録媒体
US9619186B2 (en) Cloud-based printing fluid subscription messages
TW201234151A (en) Production management system and production management method
CN109478054B (zh) 基板生产管理装置及基板生产管理方法
WO2020184078A1 (ja) 基板を研磨するための研磨装置を制御するための制御システム、および研磨方法
JP4172553B2 (ja) 基板処理装置および基板処理方法
JP4191399B2 (ja) 基板処理装置管理システム
JP4690205B2 (ja) 実装システム
JP3592861B2 (ja) 基板処理装置
JP3880814B2 (ja) 基板処理システムおよび基板処理装置管理方法
JP4414116B2 (ja) 基板清掃装置および基板清掃方法
JP3753957B2 (ja) 管理システム
JP2015156105A (ja) 制御方法および基板処理装置
JP2003005826A (ja) 管理システム及び管理方法
JPH11135394A (ja) 基板処理装置
JPH09181143A (ja) 基板処理装置
JP2000133577A (ja) 露光システム

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130621

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140630

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150619

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160617

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170616

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180619

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190619

Year of fee payment: 14