JP2000195775A

JP2000195775A - 基板処理装置

Info

Publication number: JP2000195775A
Application number: JP37090698A
Authority: JP
Inventors: Satoshi Yamamoto; 悟史山本
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-12-25
Filing date: 1998-12-25
Publication date: 2000-07-14

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】操作パネルの数を削減する。調整等の作業を効
率化する。【解決手段】複数の処理ユニットに対応した個別制御部
Ｃ１〜Ｃ１４および主制御装置２５は、ネットワーク２
０を介して相互に接続されている。各個別制御部Ｃ１〜
Ｃ１４には、１〜３個のインタフェース部INT1A,INT1B,
INT2,INT3,INT4A,INT4B,INT5,INT6,INT7A,INT7B,INT8,I
NT9A,INT9B,INT11,INT12A,INT12B,INT13,INT14A,INT14
B,INT14Cが接続されている。これらのインタフェース部
のうちの任意のものに操作パネル５０を着脱自在に接続
でき、その状態で、任意の処理ユニットを操作できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
液晶表示装置用ガラス基板およびＰＤＰ（プラズマディ
プレイパネル）用ガラス基板などの各種の被処理基板を
処理するための基板処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造工程で
は、ガラス基板に対して複数の処理工程を順次施すため
の基板処理装置が用いられる。このような基板処理装置
は、複数の処理ユニットを有しており、処理対象の基板
は、処理ユニット間で受け渡されながら、一連の処理を
受けるようになっている。

【０００３】たとえば、基板処理装置は、Ｕ字状の経路
に沿って順に配置された複数の処理ユニットにより構成
される場合がある。この場合、Ｕ字状の経路を構成する
往路と復路にそれぞれ複数の処理ユニットが直列に結合
され、基板処理装置は平面視において長く延びた形状を
呈する。各処理ユニットは、それぞれ、ＣＰＵを有する
個別制御部を有しており、各個別制御部には、各１つの
操作パネルが備えられている。この操作パネルを操作す
ることによって、当該操作パネルに対応している処理ユ
ニットの動作確認や各種の調整作業が行われる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の基板
処理装置では、個別制御部ごとに操作パネルが設けられ
ているため、構成が重複しており、そのためにコスト高
となっていた。そのうえ、処理ユニットごとに操作パネ
ルを設置するスペースが必要であるため、基板処理装置
の小型化が妨げられていた。

【０００５】一方、１枚のガラス基板は、通常、液晶表
示装置用パネルを複数枚取りできる大きさになっている
が、１枚のガラス基板を大きくして一度に作成できるパ
ネル枚数を多くすれば、生産性が著しく向上する。その
ため、近年では、基板処理装置が取り扱うべき基板のサ
イズは、大型化してきている。基板の大型化に伴って、
基板処理装置も大型化することになるのであるが、一方
で、クリーンルーム内の限られたスペース内に基板処理
装置を収容する必要性から、基板処理装置の省スペース
化の要請にも応えなければならない。そこで、処理ユニ
ットのレイアウトの変更などにより、基板処理装置の小
型化が図られている。

【０００６】たとえば、上述のＵ字状の経路に複数の処
理ユニットを配置したレイアウトの基板処理装置におい
て、特定の処理ユニットを、長尺な平面形状の基板処理
装置の一方側の操作面と他方側の操作面との両方に面す
るように配置することが提案されている。この場合に
は、その処理ユニットの調整は、基板処理装置の両面か
ら行う必要がある。ところが、処理ユニットに対応して
設けられた操作パネルが基板処理装置の一方の操作面に
配置されていると、調整作業に不都合が生じる。すなわ
ち、当該処理ユニットの他方の操作面に面している部分
の調整に際しては、調整作業者は、一方の操作面側で操
作パネルを操作し、次いで他方の操作面側に移動して調
整作業をする、という作業を繰り返し行う必要があり、
作業効率が著しく悪化する。

【０００７】この問題は、当該処理ユニットに関して
は、両方の操作面に操作パネルを設けるようにすれば解
決されるであろうが、１つの処理ユニットが２つの操作
パネルを持つことになるから、主としてコスト面から見
て、好ましい解決策とは言えない。そこで、この発明の
目的は、上述の技術的課題を解決し、操作パネルの数を
削減して構成の簡略化およびコストの低減を達成した基
板処理装置を提供することである。

【０００８】また、この発明の他の目的は、調整等の作
業を効率化することができる基板処理装置を提供するこ
とである。

【０００９】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板を処
理するための第１の処理ユニットおよび第２の処理ユニ
ットと、上記第１および第２の処理ユニットにそれぞれ
設けられ、ネットワークを介して相互接続された第１の
個別制御部および第２の個別制御部と、上記第１および
第２の個別制御部との間で、上記第１および第２の処理
ユニットの制御のためのデータ通信を行うことができる
操作パネルを接続することができ、上記操作パネルを上
記第１の個別制御部に接続させるインタフェース部とを
含むことを特徴とする基板処理装置である。

【００１０】なお、「処理ユニット」とは、基板を搬送
するユニット、基板を一時的に待機させておくユニット
（バッファ）、基板に処理液や処理ガスなどの処理流体
を供給するユニット、基板に紫外線等を当てるユニッ
ト、および基板を加熱したり冷却したりするユニットを
含む意義である。この発明によれば、インタフェース部
に操作パネルを接続することにより、第１および第２の
個別制御部のいずれともデータ通信を行うことができ
る。すなわち、インタフェース部に操作パネルを接続す
ることにより、この操作パネルと第１の個別制御部との
間で第１の処理ユニットの制御のためのデータ通信を行
うことができる。そして、第１の個別制御部およびネッ
トワークを介することにより、操作パネルと第２の個別
制御部との間で、第２の処理ユニットの制御のためのデ
ータ通信を行うことができる。

【００１１】これにより、１つの操作パネルを第１およ
び第２の個別制御部で共有することができるので、装置
の構成を簡単にすることができ、の小型化および低コス
ト化を図ることができる。なお、上記インタフェース部
は、第１および第２の個別制御部のそれぞれに設けられ
ていてもよい。この場合に、上記インタフェース部は操
作パネルを着脱自在に装着できるものであることが好ま
しい。

【００１２】なお、第１の個別制御部に２つ以上のイン
タフェース部が設けられていてもよい。この場合には、
２つ以上のインタフェース部は、基板処理装置の要所に
分散して配置されることが好ましい。また、たとえば、
第１の処理ユニットに対する調整等が基板処理装置の複
数の操作面から行われる場合には、２つ以上の操作面
（好ましくは各操作面）にインタフェース部を設けるこ
とにより、調整等の作業を効率的に行うことができる。

【００１３】請求項２記載の発明は、基板を処理するた
めの複数の処理ユニットと、上記複数の処理ユニットに
それぞれ設けられ、ネットワークを介して相互接続され
た複数の個別制御部と、上記複数の個別制御部のうちの
少なくとも１つに接続され、処理ユニットを制御するた
めのデータ通信のために要所に配置された複数のインタ
フェース部とを含み、上記複数のインタフェース部は、
上記複数の個別制御部のうちの任意の個別制御部との間
で、当該個別制御部に対応する処理ユニットの制御のた
めのデータ通信を行うことができる操作パネルを着脱自
在に装着できるものであることを特徴とする基板処理装
置である。

【００１４】上記インタフェース部は、複数の個別制御
部の一部または全部にそれぞれ設けられていてもよい。
また、１つの個別制御部に複数のインタフェース部が接
続されていてもよい。請求項２記載の発明によれば、複
数のインタフェース部のうちの任意のインタフェース部
に操作パネルを接続すると、この操作パネルからネット
ワークを介して接続された任意の個別制御部との間で通
信し、任意の処理ユニットを制御することができる。こ
れにより、処理ユニットの数に比較して操作パネルの数
を少なくすることができるから、基板処理装置の小型化
および低コスト化を図ることができる。

【００１５】また、調整等の作業を行う際に、作業場所
の近くのインタフェース部を選択して操作パネルを接続
することができるから、調整等の作業を効率的に行うこ
とができる。請求項３記載の発明は、上記操作パネル
は、操作対象の処理ユニットを選択するための処理ユニ
ット選択操作部を含むものであることを特徴とする請求
項１または２に記載の基板処理装置である。

【００１６】この発明によれば、操作パネルにおいて操
作対象の処理ユニットを選択することができるから、任
意の処理ユニットの制御を行うことができる。請求項４
記載の発明は、上記個別制御部は、操作パネルによって
選択された操作対象の処理ユニットが当該個別制御部に
対応した自処理ユニットか否かを判断する手段と、操作
パネルによって選択された操作対象の処理ユニットが、
自処理ユニット以外の他の処理ユニットであるときに
は、当該他の処理ユニットに対応する個別制御部とにネ
ットワークを介して制御データを送信する手段とを含む
ものであることを特徴とする請求項３記載の基板処理装
置である。

【００１７】この構成によれば、ネットワークを介する
処理ユニット間のデータ通信によって、インタフェース
部に直接接続された処理ユニットだけでなく、ネットワ
ークに接続された任意の処理ユニットを制御することが
できる。請求項５記載の発明は、第１操作面と、この第
１操作面とは異なる方向（たとえば、ほぼ正反対の方
向）に対向する第２操作面とを有する基板処理装置であ
って、基板を処理するための処理ユニットと、この処理
ユニットを制御するための制御装置と、この制御装置に
接続されているとともに、上記第１操作面に配置され、
上記処理ユニットの制御のためのデータ通信のための第
１のインタフェース部と、上記制御装置に接続されてい
るとともに、上記第２操作面に配置され、処理ユニット
の制御のためのデータ通信のための第２のインタフェー
ス部とを含み、上記第１および第２のインタフェース部
は、上記制御装置との間で上記処理ユニットの制御のた
めのデータ通信を行うことができる操作パネルを着脱自
在に装着することができるようになっていることを特徴
とする基板処理装置である。

【００１８】この構成によれば、基板処理装置の第１操
作面と第２操作面とにそれぞれ設けられた第１のインタ
フェース部および第２のインタフェース部のうちの適切
なものを選択して操作パネルを装着することができる。
そのようにして、第１および第２のインタフェース部の
いずれかに操作パネルを接続した状態で、操作パネルと
処理ユニットの制御装置との間でデータ通信を行うこと
ができる。したがって、調整等の作業を行う際には、作
業現場に近い方のインタフェース部を選択して操作パネ
ルを装着することによって、作業効率を高めることがで
きる。

【００１９】なお、上記制御装置は、複数の処理ユニッ
トにそれぞれ設けられた複数の個別制御部で構成されて
いてもよく、また、１つの処理ユニットを制御する１つ
の制御装置（個別制御部）であってもよい。請求項６記
載の発明は、上記操作パネルは、処理ユニットの操作に
必要な画面データを記憶した画面データ記憶手段と、操
作者によって操作される操作部と、この操作部の操作に
対応する画面データを上記画面データ記憶手段から読み
出す画面データ読み出し手段と、この画面データ読み出
し手段によって読み出された画面データに相当する画面
を表示する表示手段とを含むものであることを特徴とす
る請求項１ないし５のいずれかに記載の基板処理装置で
ある。

【００２０】この構成によれば、処理ユニットの操作に
必要な画面データを画面データ記憶手段から読み出して
表示手段に画面を表示させ、操作部により必要な操作を
行うことができる。複数の処理ユニットの操作に必要な
画面データを画面データ記憶手段に記憶させておくこと
により、複数の処理ユニットの操作のために、操作パネ
ルを共用できる。

【００２１】請求項７記載の発明は、上記基板処理装置
は、対応する処理ユニットの操作に必要な画面データを
記憶する画面データ記憶手段を有し、上記操作パネル
は、操作者によって操作される操作部と、この操作部の
操作に対応する画面データを上記基板処理装置からダウ
ンロードする手段と、ダウンロードされた画面データに
相当する画面を表示する表示手段とを含むものであるこ
とを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の基
板処理装置である。

【００２２】この構成による効果は、請求項６の発明の
場合と同様である。ただし、請求項７の発明の場合に
は、操作パネルにおいて画面データ記憶手段を設ける必
要がなく、処理ユニットの操作に必要な画面データは、
基板処理装置からダウンロードすることにより取得でき
る。これにより、操作パネルの構成を簡単にすることが
できる。

【００２３】なお、画面データは、基板処理装置が複数
の処理ユニットを有する場合に、各処理ユニットの個別
制御部の記憶手段に記憶されていてもよい。また、複数
の個別制御部がネットワーク接続されている場合には、
いずれか１つまたは２つ以上の個別制御部に画面データ
を記憶する記憶手段を備えるようにしてもよく、それら
の個別制御部とともにネットワークに接続された主制御
装置に複数の処理ユニットの画面データを一括して記憶
する記憶手段を備えるようにしてもよい。

【００２４】なお、いずれの発明においても、上記処理
ユニットは、搬送機構を含むものであってもよい。この
場合に、上記個別制御部または制御装置は、上記インタ
フェース部を介する操作パネルからの通知に基づき、搬
送機構の動作を制御する機能を有することが好ましい。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板処理装置のレイアウトを示
す平面図である。この基板処理装置は、フォトリソグラ
フィ工程を実施するための装置であり、平面視において
長尺な全体形状を有している。図１では、この長尺な全
体形状を途中で切断し、上下２段に分割して図示してあ
る。

【００２６】この長尺な基板処理装置は、一端にインデ
クサユニット（ＩＮＤ）１を備え、他端に露光機（ＥＸ
Ｐ）１０を備えている。処理対象の基板Ｓは、インデク
サユニット１から露光機１０に向かい、この露光機１０
から再びインデクサ１に戻る、ほぼＵ字状の基板搬送経
路に沿って搬送され、その過程で、各種の処理を受け
る。

【００２７】インデクサユニット１から露光機１０に向
かう往路には、紫外線照射ユニット（ＵＶ）２、ロール
ブラシ洗浄ユニット３、デハイドベークユニット（Ｄ
Ｂ）４、スピンコータユニット（ＳＣ）５、端面洗浄ユ
ニット（ＥＲ）６、プリベークユニット（ＰＢ）７、エ
ッジ露光ユニット（EdgEx）８、およびバッファユニッ
ト（ＢＦ）９の各処理ユニットがこの順に配列されてい
る。

【００２８】また、露光機１０からインデクサユニット
１に向かう復路には、露光後ベークユニット（ＰＥＢ）
１１、現像ユニット１２、空冷ユニット１３およびポス
トベークユニット（PostB）１４の各処理ユニットがこ
の順に配列されている。ただし、デハイドベークユニッ
ト４、プリベークユニット７およびポストベークユニッ
ト１４は、他の処理ユニットよりも上方に立体的に配置
されていて、基板搬送経路の往路および復路にまたがっ
た状態で配置されている。すなわち、この基板処理装置
は、２階建て構造になっていて、デハイドベークユニッ
ト４、プリベークユニット７およびポストベークユニッ
ト１４などの熱処理ユニットは、２階部分に配置されて
いる。

【００２９】また、バッファユニット９も、基板搬送経
路の往路および復路にまたがって配置されている。この
ように、一部の処理ユニットを基板搬送経路の往路およ
び復路にまたがって配置したレイアウトを採用すること
により、基板処理装置の省スペース化が図られている。

【００３０】インデクサユニット１は、複数枚の基板Ｓ
を積層状態で保持することができるカセットＣを複数個
配列して載置することができるカセット載置台１Ａと、
このカセット載置台１Ａに沿って直線往復移動して、任
意のカセットＣに対する基板搬入／搬出動作を行うイン
デクサロボット１Ｂとを備えた処理ユニットである。こ
のインデクサロボット１Ｂは、いずれかのカセットＣか
ら未処理の基板Ｓを搬出して、紫外線照射ユニット２に
投入するとともに、ポストベークユニット１４から一連
の処理を経た処理済みの基板Ｓを受け取って、いずれか
のカセットＣに搬入する。このインデクサユニット１
は、基板処理装置の一方の側面（図１の下方側の面）で
ある第１操作面と、基板処理装置の他方の側面（図１の
上方側の面）である第２操作面（第１操作面とほぼ正反
対の方向の面）とから、調整等を行うことができるよう
になっている。

【００３１】紫外線照射ユニット２は、基板Ｓに紫外線
を照射することにより、基板Ｓの表面の有機物汚染を分
解する働きを有している。この紫外線照射ユニット２
は、上記第１操作面から調整等を行うことができるよう
になっている。ロールブラシ洗浄ユニット３には、適当
な搬送機構（図示せず）によって、紫外線照射ユニット
２での処理を経た基板Ｓが搬入される。このロール洗浄
ユニットは、基板Ｓをローラ搬送機構によってほぼ水平
な姿勢で搬送しながら、その上下面をロールブラシによ
ってブラシ洗浄する処理ユニットである。ブラシ洗浄さ
れた基板Ｓは、姿勢変換部３Ａにおいて９０度水平回転
される。このロールブラシ洗浄ユニット３は、上記第１
操作面から調整等の作業を行うことができるようになっ
ている。

【００３２】デハイドベークユニット４は、上下方向に
多段に積層された複数の熱処理部をそれぞれ有する一対
の熱処理部群４Ａ，４Ｂと、これらの間に配置された搬
送ロボット４Ｃとを有している。熱処理部群４Ａ，４Ｂ
は、基板Ｓを加熱して水分を蒸発させるためのホットプ
レートと、加熱後の基板Ｓを常温に冷却するためのクー
ルプレートとを含む。搬送ロボット４Ｃは、姿勢変換部
３Ａから基板Ｓを受け取り、いずれかの熱処理部に基板
Ｓを搬入したり、異なる熱処理部間で基板Ｓを移動した
り、熱処理部から基板Ｓを取り出して姿勢変換部５Ｄに
受け渡したりする。熱処理部群４Ａは、上記第１操作面
に対面していて、この第１操作面から調整等の作業を行
うことができるようになっている。これに対して、熱処
理部群４Ｂは、上記第２操作面に面していて、この第２
操作面から調整等の作業が行われるようになっている。

【００３３】スピンコータユニット５は、基板Ｓを水平
な姿勢で回転させながらその回転中心にレジスト液を滴
下することにより、遠心力を利用して基板Ｓの表面に均
一にレジスト液を塗布するための処理ユニットである。
このスピンコータユニット５は、レジスト塗布処理を行
う処理室５Ａと、この処理室５Ａにレジスト塗布前の基
板Ｓを搬入する搬入ロボット５Ｂと、レジスト塗布後の
基板Ｓを処理室５Ａから搬出する搬出ロボット５Ｃとを
備えている。搬入ロボット５Ｂとデハイドベークユニッ
ト４との間配置された姿勢変換部５Ｄは、基板Ｓを９０
度水平回転させるためのものである。搬入ロボット５Ｂ
は、この姿勢変換部５Ｄで９０度回転させられた後の基
板Ｓを受け取り、処理室５Ａに搬入する。スピンコータ
ユニット５は、上記第１操作面に面していて、この第１
操作面から調整等の作業が行われるようになっている。

【００３４】搬出ロボット５Ｃによって処理室５Ａから
搬出された基板Ｓは、レベリングゾーン５Ｆを経て、端
面洗浄ユニット６に搬入される。端面洗浄ユニット６
は、基板Ｓの端縁付近のレジストを洗浄して除去するた
めの処理部６Ａと、レベリングゾーン５Ｆから基板Ｓを
受け取って処理部６Ａに搬入する搬入ロボット６Ｂと、
処理部６Ａから処理済みの基板Ｓを搬出する搬出ロボッ
ト６Ｃとを有している。端面洗浄ユニット６は、上記第
１操作面に対向しており、この第１操作面から各種の調
整等が行われるようになっている。

【００３５】搬出ロボット６Ｃによって搬出された基板
Ｓは、姿勢変換部６Ｄにおいて、９０度水平回転され
る。プリベークユニット７は、上下方向に多段に積層さ
れた複数の熱処理部をそれぞれ有する一対の熱処理部群
７Ａ，７Ｂと、これらの間に配置された搬送ロボット７
Ｃとを有している。熱処理部群７Ａ，７Ｂは、基板Ｓを
加熱してレジスト液中の溶媒を蒸発させ、レジスト膜を
焼き固めたうえで、基板Ｓを常温にまで冷却させるため
のものである。したがって、熱処理部群７Ａ，７Ｂに
は、水分を蒸発させるためのホットプレートと、加熱後
の基板Ｓを常温に冷却するためのクールプレートとが備
えられている。搬送ロボット７Ｃは、姿勢変換部６Ｄか
ら基板Ｓを受け取り、いずれかの熱処理部に基板Ｓを搬
入したり、異なる熱処理部間で基板Ｓを移動したり、熱
処理部から基板Ｓを取り出して基板受け渡し台７Ｄに受
け渡したりする。熱処理部群７Ａは、上記第１操作面に
対面していて、この第１操作面から調整等の作業を行う
ことができるようになっている。これに対して、熱処理
部群７Ｂは、上記第２操作面に面していて、この第２操
作面から調整等の作業が行われるようになっている。

【００３６】エッジ露光ユニット８は、基板Ｓの縁部に
付着している不要なレジストを除去するための露光処理
を行う処理ユニットである。エッジ露光ユニット８に関
連して、基板受け渡し台７Ｄから基板Ｓを受け取って、
このエッジ露光ユニット８に搬入することができるロボ
ットＴＲが設けられている。このロボットＴＲは、エッ
ジ露光処理後の基板Ｓをエッジ露光ユニット８から取り
出し、バッファユニット９側の基板受け渡し台９Ａに置
く。エッジ露光ユニット８は、第１操作面に面してい
て、この第１操作面側から調整等を行うことができるよ
うになっている。

【００３７】バッファユニット９は、搬送ロボット９Ｂ
と、露光機１０に搬入すべき基板Ｓを一時待機させてお
くための第１バッファカセット９Ｃと、露光機１０から
搬出された基板Ｓを一時待機させておくための第２バッ
ファカセット９Ｄとを備えている。搬送ロボット９Ｂ
は、基板受け渡し台９Ａ、第１および第２バッファカセ
ット９Ｃ，９Ｄおよび露光機１０にアクセスして、基板
Ｓの搬入／搬出を行うことができる。このバッファユニ
ット９は、第１操作面および第２操作面の両方に面して
おり、これらの両操作面から調整等が行われるようにな
っている。

【００３８】露光後の基板Ｓは、基板受け渡し台９Ａを
介し、ロボットＴＲによって基板受け渡し台９Ａから取
り出されて、露光後ベークユニット１１に搬入される。
この露光後ベークユニット１１は、上下方向に多段に積
層された複数の熱処理部からなる熱処理部群を有する。
この露光後ベークユニット１１は、いわゆる化学増幅型
レジストを用いた場合における露光後のベーク処理のた
めのものである。すなわち、上記の熱処理部群には、レ
ジストを焼き締めることにより線幅を細くするために使
用されるホットプレートと、このホットプレートによる
加熱処理後の基板Ｓを常温に冷却するためのクールプレ
ートとが備えられている。この露光後ベークユニット１
１は、上記第２操作面に面していて、この第２操作面か
ら種々の調整等が行われるようになっている。

【００３９】露光後ベークユニット１１からの基板Ｓ
は、現像ユニット１２による処理を受ける。この現像ユ
ニット１２は、たとえば、ローラ搬送機構によって基板
Ｓを水平な姿勢でローラ搬送しながら、基板Ｓの表面に
現像液を供給し、その後、純水でその現像液を洗い流
し、さらに基板Ｓを乾燥させるように構成されている。
この現像ユニット１２は、上記第２操作面に面してい
て、この第２操作面から各種の調整等が行われるように
なっている。

【００４０】空冷ユニット１３は、基板Ｓを搬送するロ
ーラ搬送機構などを備え、基板Ｓを空気冷却する処理ユ
ニットである。この空冷ユニット１３は、第２操作面に
面していて、この第２操作面から各種の調整が行われ
る。空冷ユニット１３とポストベークユニット１４との
間には、基板Ｓを９０度水平回転させる姿勢変換部１３
Ａが設けられている。

【００４１】ポストベークユニット１４は、上下方向に
多段に積層された複数の熱処理部をそれぞれ有する一対
の熱処理部群１４Ａ，１４Ｂと、これらの間に配置され
た搬送ロボット１４Ｃとを有している。熱処理部群１４
Ａ，１４Ｂは、基板Ｓを加熱して現像後のレジストを焼
き固めるためのホットプレートと、この加熱後の基板Ｓ
を常温にまで冷却させるためのクールプレートとを有し
ている。搬送ロボット１４Ｃは、姿勢変換部１３Ａから
基板Ｓを受け取り、いずれかの熱処理部に基板Ｓを搬入
したり、異なる熱処理部間で基板Ｓを移動したり、熱処
理部から基板Ｓを取り出して姿勢変換部１４Ｄに受け渡
したりする。熱処理部群１４Ａは、上記第１操作面に対
面していて、この第１操作面から調整等の作業を行うこ
とができるようになっている。これに対して、熱処理部
群１４Ｂは、上記第２操作面に面していて、この第２操
作面から調整等の作業が行われるようになっている。

【００４２】姿勢変換部１４Ｄは、基板Ｓを９０度水平
回転させるものであり、回転後の基板Ｓは、インデクサ
ロボット１Ｂにより受け取られて、いずれかのカセット
Ｃに収容されることになる。図２は、上記の基板処理装
置の電気的構成を示すブロック図である。インデクサユ
ニット１からポストベークユニット１４までの複数の処
理ユニットは、それぞれ、個別制御部Ｃ１〜Ｃ１４を有
しており、これらは、ネットワーク２０に接続されてい
る。このネットワーク２０には、さらに、主制御装置２
５が接続されている。主制御装置２５は、ネットワーク
２０を介して、個別制御部Ｃ１〜Ｃ１４とデータを授受
することができる。また、このネットワーク２０を利用
することにより、個別制御部Ｃ１〜Ｃ１４は、ネットワ
ーク２０に接続された任意の個別制御部Ｃ１〜Ｃ１４と
データの授受を行うことができるようになっている。

【００４３】個別制御部Ｃ１〜Ｃ１４には、それぞれ１
つまたは２つのインタフェース部ＩＮＴが設けられてい
る。すなわち、インデクサユニット１に対応した個別制
御部Ｃ１には、２つのインタフェース部ＩＮＴ１Ａ，Ｉ
ＮＴ１Ｂが設けられており、これらは、図１に示すよう
に、それぞれ第１操作面および第２操作面に対向する位
置に配置されている。また、紫外線照射ユニット２に対
応した個別制御部Ｃ２には、１つのインタフェース部Ｉ
ＮＴ２が接続されており、このインタフェース部ＩＮＴ
２は、図１に示すように、第１操作面に対向する位置に
配置されている。同様に、ロールブラシ洗浄ユニット３
に対応した個別制御部Ｃ３には、１つのインタフェース
ＩＮＴ３が接続されており、図１に示すように、第１操
作面に対向する位置に配置されている。デハイドベーク
ユニット４に対応した個別制御部Ｃ４には、２つのイン
タフェース部ＩＮＴ４Ａ，ＩＮＴ４Ｂが接続されてお
り、これらは、それぞれ第１操作面および第２操作面に
対向する位置に配置されている。

【００４４】スピンコータユニット５に対応した個別制
御部Ｃ５には、１つのインタフェース部ＩＮＴ５が接続
されていて、これは、第１操作面に対向する位置に配置
されている。端面洗浄ユニット６に対応した個別制御部
Ｃ６には、１つのインタフェース部ＩＮＴ６が接続され
ており、これは、第１操作面に対向する位置に配置され
ている。プリベークユニット７に対応した個別制御部Ｃ
７には、２つのインタフェース部ＩＮＴ７Ａ，ＩＮＴ７
Ｂが接続されており、これらは、それぞれ、第１操作面
および第２操作面に対向して配置されている。エッジ露
光ユニット８の個別制御部Ｃ８には、１つのインタフェ
ース部ＩＮＴ８が接続されており、これは、第１操作面
に対向して配置されている。バッファユニット９の個別
制御部Ｃ９は、２つのインタフェース部ＩＮＴ９Ａ，Ｉ
ＮＴ９Ｂを有していて、これらは、第１操作面および第
２操作面にそれぞれ配置されている。

【００４５】さらに、露光後ベークユニット１１の個別
制御部Ｃ１１には、１つのインタフェース部ＩＮＴ１１
が接続されており、第２操作面に対向する位置に配置さ
れている。現像ユニット１２の個別制御部Ｃ１２には、
２つのインタフェース部ＩＮＴ１２Ａ，ＩＮＴ１２Ｂが
接続されており、これらは現像ユニット１２の搬送方向
上流側端部および下流側端部において、第２操作面に対
向して配置されている。空冷ユニット１３の個別制御部
Ｃ１３は、１つのインタフェース部ＩＮＴ１３を有して
おり、このインタフェース部ＩＮＴ１３は、第２操作面
に対向して配置されている。さらに、ポストベークユニ
ット１４は、３つのインタフェース部ＩＮＴ１４Ａ，Ｉ
ＮＴ１４Ｂ，ＩＮＴ１４Ｃを備えている。これらのう
ち、インタフェース部ＩＮＴ１４Ａは、第１操作面に対
向して配置されており、残る２つのインタフェース部Ｉ
ＮＴ１４Ｂ，ＩＮＴ１４Ｃは、第２操作面側において、
それぞれ、熱処理部群１４Ｂおよび姿勢変換部１４Ｄに
対向する位置に配置されている。

【００４６】このように、平面視において長尺な基板処
理装置には、第１操作面および第２操作面の要所に複数
のインタフェース部ＩＮＴが分散して配置されている。
そして、第１操作面および第２操作面の両操作面から調
整等の作業が行われる処理ユニットに関しては、第１操
作面および第２操作面の両方にインタフェース部が設け
られている。

【００４７】図３は、個別制御部Ｃ（個別制御部Ｃ１〜
Ｃ１４の総称）と、この個別制御部Ｃのインタフェース
部ＩＮＴに接続することができる操作パネル５０の電気
的構成を示すブロック図である。インタフェース部ＩＮ
Ｔは、操作パネル５０を着脱自在に装着することができ
るようになっている。つまり、操作パネル５０は、任意
のインタフェース部ＩＮＴに接続することができ、操作
者が必要に応じて持ち歩き、調整等の作業に際して最も
好都合な位置にあるインタフェース部ＩＮＴに接続して
用いることができる。

【００４８】個別制御部Ｃは、ＣＰＵ３１と、ＣＰＵ３
１の動作プログラムを記憶したＲＯＭ３２と、ワークエ
リアなどを提供するＲＡＭ３３と、ネットワーク２０を
介する通信のための通信制御部３４と、インタフェース
部ＩＮＴを介して操作パネル５０とデータを授受するた
めのインタフェース回路３５とを備えている。この構成
により、主としてＣＰＵ３１が動作プログラムを実行す
ることにより実現されるソフトウエア処理によって、当
該個別制御部Ｃに対応する処理ユニットの各部の制御を
行う機能、他の個別制御部Ｃや主制御装置２５とネット
ワーク２０を介して通信を行う機能、操作パネル５０と
必要なデータを授受するための通信機能が実現される。

【００４９】操作パネル５０は、液晶表示パネルなどか
らなる表示部５１と、制御部５２と、表示部５１に表示
すべき画面データなどを記憶したメモリ５３（画面デー
タ記憶手段）と、表示部５１の表示画面上に設けられた
タッチパネルなどからなる操作部５４と、インタフェー
ス部ＩＮＴに着脱自在に装着される接続部５５とを備え
ている。メモリ５３には、当該操作パネル５０により操
作可能な全ての処理ユニットの制御のために必要な画面
データが格納されている。

【００５０】この構成により、操作パネル５０は、接続
部５５および処理ユニットのインタフェース部ＩＮＴを
介して、当該処理ユニットの個別制御部Ｃとの間で、当
該処理処理ユニットまたは他の処理ユニットの制御に関
連するデータを授受するようになっている。図４は、操
作パネル５０の表示部５１における表示画面の一例を示
す図である。この図４には、バッファユニット９のイン
タフェース部ＩＮＴ９ＡまたはＩＮＴ９Ｂに操作パネル
５０を接続し、搬送ロボット（ＭＨＵ）９Ｂの調整のた
めに、この搬送ロボット９Ｂを試験運転させる場合の表
示例が示されている。

【００５１】バッファユニット９の操作のための表示画
面は、複数のページからなり、表示画面右肩部の「前
頁」ボタンまたは「次頁」ボタンを操作（画面に触れて
タッチパネルを操作）することにより、いずれかのペー
ジを選択して表示させることができる。画面中央付近に
は、搬送ロボット９Ｂの基板保持ハンドに基板を吸着さ
せるべきことを指示するための「吸着」ボタン、搬送ロ
ボット９Ｂをリセットするための「コントローラリセッ
ト」ボタン、基板搬送方向に関して上流側（バッファカ
セット９Ｃ）から基板を受け取る１サイクルの動作を選
択するための「サイクル運転上流」ボタン、基板搬送方
向に関して下流側（露光機１０）へ基板を受け渡す１サ
イクルの動作を選択するための「サイクル運転下流」ボ
タン、これらのサイクル運転ボタンにより選択された１
サイクルの動作の実行を指示するための「サイクル運転
実行」ボタン、搬送ロボット９Ｂの原点位置への復帰動
作を選択するための「原点復帰」ボタン、搬送ロボット
９Ｂがハンドに基板Ｓを保持したまま処理部や搬送部に
ハンドを進入させた状態で故障が発生した場合に、その
復旧のためにハンドを引き戻すＸ軸待避動作を選択する
ための「Ｘ軸待避」ボタン、および原点復帰またはＸ軸
待避動作のうち選択された動作の実行を指示するための
「ＭＨＵ動作実行」ボタンが設けられている。また、画
面右側には、搬送ロボット９Ｂが自動運転中であるとき
に点灯表示される「自動」ランプ部と、搬送ロボット９
Ｂが原点位置に復帰して原点位置が確立された状態のと
きに点灯表示される「原点確立」ランプ部とが設けられ
ている。

【００５２】たとえば、調整作業の際には、操作者は、
「サイクル運転上流」ボタンや「サイクル運転下流」ボ
タンを操作し、さらに、「サイクル運転実行」ボタンを
操作する。これにより、搬送ロボット９Ｂは、１枚の基
板を搬送する１サイクルの動作を実行する。このときの
動作が好ましい態様で実行されるように、操作者は、搬
送ロボット９Ｂなどの調整を行うことになる。この場合
に、調整作業を第１操作面から行うか第２操作面から行
うかに応じて、インタフェース部ＩＮＴ９ＡまたはＩＮ
Ｔ９Ｂのいずれかに操作パネル５０を接続しておけば、
調整とサイクル運転とを繰り返し行う際に、良好な作業
効率が得られる。

【００５３】図５は、動作を説明するためのフローチャ
ートである。操作者は、調整作業に最も適した位置のイ
ンタフェース部ＩＮＴに操作パネル５０の接続部５５を
接続する（ステップＳ１）。次いで、操作パネル５０の
操作部５４に設けられた処理ユニット選択操作部を操作
して、操作対象の処理ユニットを選択する（ステップＳ
２）。任意のインタフェース部ＩＮＴに接続された操作
パネル５０は、当該インタフェース部ＩＮＴに直接接続
された処理ユニットはもちろんネットワーク２０に接続
されている任意の処理ユニットの操作を行うことができ
る。ただし、調整等の作業の際には、操作対象の処理ユ
ニットとしては、当該インタフェース部ＩＮＴに直接接
続された処理ユニットか、この処理ユニットに隣接する
処理ユニットが選択されることになるのが普通の使用態
様であろう。

【００５４】操作対象の処理ユニットが選択されると、
操作パネル５０の制御部５２は、当該選択された処理ユ
ニットの操作のための画面データをメモリ５３から読み
出し（ステップＳ３：画面データ読み出し手段）、これ
を表示部５１に表示する（ステップＳ４）。その後、操
作者が操作部５４を操作して、何らかの指令（たとえ
ば、搬送ロボット等の負荷を駆動するための指令）を入
力すると（ステップＳ５）、この指令に対応した制御デ
ータが、制御部５２から、接続部５５およびインタフェ
ース部ＩＮＴを介して個別制御部Ｃに与えられる（ステ
ップＳ６）。これにより、個別制御部Ｃでは、インタフ
ェース回路３５を介して当該制御データが受信される
（ステップＳ７）。これに応答して、ＣＰＵ３１は、受
信した制御データを解析し、操作対象処理ユニットが自
己の処理ユニット（自処理ユニット）かどうかを判断す
る（ステップＳ８）。操作対象処理ユニットが自己の処
理ユニットであれば、ＣＰＵ３１は、自己の処理ユニッ
トの対応する負荷（ロボットのモータなど）を駆動する
（ステップＳ９）。

【００５５】操作対象の処理ユニットが自己の処理ユニ
ット以外の他の処理ユニットである場合には（ステップ
Ｓ８のＮＯ）、当該操作対象の処理ユニットに、ネット
ワーク２０を介して制御データを送信する（ステップＳ
１０）。当該他の操作対象処理ユニットに対応した個別
制御部Ｃは、ネットワーク２０を介して当該制御データ
を受信し、これに基づいて、負荷（ロボットのモータな
ど）を駆動することになる。

【００５６】図６は、操作パネル５０から個別制御部Ｃ
に送信される制御データのフォーマットを示す図であ
る。１つのフレームは、ヘッダＳＴＸで始まり、終了符
ＥＴＸで終わる。これらの間に、操作対象の処理ユニッ
トを特定するためのユニット番号、操作内容指令デー
タ、および誤りチェック用データＳＵＭなどが順に含ま
れている。操作内容指令データは、たとえば、８ビット
のデータからなり、各ビットの値により指令内容を表す
ようになっている。第８ビット「７」（最上位ビット）
は、「サイクル運転下流」の指示の有無を表し、第７ビ
ット「６」は、「原点復帰」の指示の有無を表し、第６
ビット「５」は、「コントローラリセット」の指示の有
無を表し、第５ビット「４」は、「Ｘ軸退避」の指示の
有無を表し、第４ビット「３」は、「サイクル運転上
流」の指示の有無を表し、第３ビット「２」は、「吸
着」の指示の有無を表し、第２ビット「１」は、「次
頁」ボタンの操作の有無を表し、第１ビット「０」（最
下位ビット）は、「前頁」ボタンの操作の有無を表す。

【００５７】以上のようにこの実施形態によれば、基板
処理装置の第１操作面および第２操作面の要所に複数の
インタフェース部ＩＮＴが分散して配置されていて、任
意のインタフェース部ＩＮＴに操作パネル５０を着脱自
在に装着できるようになっている。そして、任意のイン
タフェース部ＩＮＴに接続された操作パネル５０から、
任意の処理ユニットの制御が行えるようになっている。
これにより、少なくとも１つの操作パネル５０があれ
ば、必要な操作は全て行うことができるから、操作パネ
ルの数を少なくすることができ、基板処理装置の小型化
および低コスト化が達成される。

【００５８】しかも、第１操作面および第２操作面の両
方に対向する処理ユニットに関しては、第１操作面およ
び第２操作面にそれぞれ対向するインタフェース部が設
けられている。そのため、この処理ユニットに対する調
整等の作業は、第１操作面および第２操作面のいずれか
らでも効率的に行うことができる。次に、この発明の第
２の実施形態について説明する。この第２の実施形態の
説明では、上述の図１、図２および図３を再び参照す
る。

【００５９】上述の第１の実施形態では、操作パネル５
０にメモリ５３を設け、このメモリ５３に複数の処理ユ
ニットのための画面データを記憶しておくようにしてい
る。これに対して、ここで説明する第２の実施形態で
は、個別制御部Ｃに、各処理ユニットのための画面デー
タを記憶しておくメモリ（画面データ記憶手段）が設け
られる。そして、操作パネル５０では、操作部５４によ
って、操作対象の処理ユニットが選択され、これに応答
して、制御部５２は、選択された処理ユニットの個別制
御部Ｃから画面データをダウンロードし、そのダウンロ
ードされた画面データに対応する画面を表示部５１に表
示する。

【００６０】この場合に、インタフェース部ＩＮＴを介
して操作パネル５０が直接接続されている個別制御部Ｃ
は、操作対象の処理ユニットが自己の処理ユニットかど
うかを判断し、自己の処理ユニットであれば、インタフ
ェース部ＩＮＴを介して、画面データを操作パネル５０
に与える。また、操作対象の処理ユニットが自己の処理
ユニットでない場合には、個別制御部Ｃは、当該操作対
象の処理ユニットの個別制御部Ｃにネットワーク２０を
介して通知し、その操作対象の処理ユニットの画面デー
タの送信を依頼する。こうして、操作対象の処理ユニッ
トの画面データは、ネットワーク２０、個別制御部Ｃ、
この個別制御部Ｃに接続されたインタフェース部ＩＮＴ
を介して操作パネル５０にダウンロードされることにな
る。

【００６１】このような構成により、操作パネル５０に
は、画面データ記憶用のメモリを設ける必要がなくなる
ので、操作パネル５０の構成を簡単にすることができ
る。なお、複数の処理ユニットの操作のための画面デー
タを主制御装置２５に一括して記憶させておいてもよ
く、この場合にも、ネットワーク２０および個別制御部
Ｃならびにインタフェース部ＩＮＴを介して、操作パネ
ル５０に操作対象の処理ユニットの画面データをダウン
ロードして利用することができる。

【００６２】この発明の２つの実施形態について説明し
たが、この発明は他の形態でも実施することができる。
たとえば、上述の実施形態では、全ての個別制御部Ｃに
１〜３個のインタフェース部ＩＮＴが接続されている構
成について説明したが、１つまたは２つ以上の個別制御
部Ｃには、インタフェース部が設けられていなくてもよ
い。この場合でも、いずれかのインタフェース部ＩＮＴ
に操作パネル５０を接続すれば、ネットワーク２０を介
して、インタフェース部のない処理ユニットに対する操
作を行うことができる。

【００６３】また、上記の実施形態では、Ｕ字状の基板
搬送経路に沿って基板が搬送される基板処理装置を例に
採ったが、たとえば、一方端に基板を供給するローダが
配置され、他方端に処理済みの基板を収容するアンロー
ダされ、これらの間に複数の処理ユニットが配置され
て、一直線状の基板搬送経路に沿って基板を搬送しつつ
処理する構成の基板処理装置に対しても、この発明の適
用が可能である。

【００６４】その他、特許請求の範囲に記載された技術
的事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る基板処理装置のレ
イアウトを示す平面図である。

【図２】上記の基板処理装置の電気的構成を示すブロッ
ク図である。

【図３】個別制御部と、この個別制御部のインタフェー
ス部に接続することができる操作パネルの電気的構成を
示すブロック図である。

【図４】操作パネルの表示部における表示画面の一例を
示す図である。

【図５】動作を説明するためのフローチャートである。

【図６】操作パネルから個別制御部に送信される制御デ
ータのフォーマットを示す図である。

【符号の説明】

１インデクサユニット２紫外線照射ユニット３ロールブラシ洗浄ユニット４デハイドベークユニット５スピンコータユニット６端面洗浄ユニット７プリベークユニット８エッジ露光ユニット９バッファユニット１０露光機１１露光後ベークユニット１２現像ユニット１３空冷ユニット１４ポストベークユニット２０ネットワーク２５主制御装置Ｃ１〜Ｃ１４個別制御部 INT1A,INT1B,INT2,INT3,INT4A,INT4B,INT5,INT6,INT7A,
INT7B,INT8,INT9A,INT9B,INT11,INT12A,INT12B,INT13,I
NT14A,INT14B,INT14C インタフェース部Ｃ個別制御部３１ＣＰＵ３４通信制御部３５インタフェース回路ＩＮＴインタフェース部５０操作パネル５１表示部５２制御部５３メモリ５４操作部５５接続部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を処理するための第１の処理ユニット
および第２の処理ユニットと、上記第１および第２の処理ユニットにそれぞれ設けら
れ、ネットワークを介して相互接続された第１の個別制
御部および第２の個別制御部と、上記第１および第２の個別制御部との間で、上記第１お
よび第２の処理ユニットの制御のためのデータ通信を行
うことができる操作パネルを接続することができ、上記
操作パネルを上記第１の個別制御部に接続させるインタ
フェース部とを含むことを特徴とする基板処理装置。
【請求項２】基板を処理するための複数の処理ユニット
と、上記複数の処理ユニットにそれぞれ設けられ、ネットワ
ークを介して相互接続された複数の個別制御部と、上記複数の個別制御部のうちの少なくとも１つに接続さ
れ、処理ユニットを制御するためのデータ通信のために
要所に配置された複数のインタフェース部とを含み、上記複数のインタフェース部は、上記複数の個別制御部
のうちの任意の個別制御部との間で、当該個別制御部に
対応する処理ユニットの制御のためのデータ通信を行う
ことができる操作パネルを着脱自在に装着できるもので
あることを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】上記操作パネルは、操作対象の処理ユニッ
トを選択するための処理ユニット選択操作部を含むもの
であることを特徴とする請求項１または２に記載の基板
処理装置。
【請求項４】上記個別制御部は、操作パネルによって選択された操作対象の処理ユニット
が当該個別制御部に対応した自処理ユニットか否かを判
断する手段と、操作パネルによって選択された操作対象の処理ユニット
が、自処理ユニット以外の他の処理ユニットであるとき
には、当該他の処理ユニットに対応する個別制御部とに
ネットワークを介して制御データを送信する手段とを含
むものであることを特徴とする請求項３記載の基板処理
装置。
【請求項５】第１操作面と、この第１操作面とは異なる
方向に対向する第２操作面とを有する基板処理装置であ
って、基板を処理するための処理ユニットと、この処理ユニットを制御するための制御装置と、この制御装置に接続されているとともに、上記第１操作
面に配置され、上記処理ユニットの制御のためのデータ
通信のための第１のインタフェース部と、上記制御装置に接続されているとともに、上記第２操作
面に配置され、処理ユニットの制御のためのデータ通信
のための第２のインタフェース部とを含み、上記第１および第２のインタフェース部は、上記制御装
置との間で上記処理ユニットの制御のためのデータ通信
を行うことができる操作パネルを着脱自在に装着するこ
とができるようになっていることを特徴とする基板処理
装置。
【請求項６】上記操作パネルは、処理ユニットの操作に必要な画面データを記憶した画面
データ記憶手段と、操作者によって操作される操作部と、この操作部の操作に対応する画面データを上記画面デー
タ記憶手段から読み出す画面データ読み出し手段と、この画面データ読み出し手段によって読み出された画面
データに相当する画面を表示する表示手段とを含むもの
であることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに
記載の基板処理装置。
【請求項７】上記基板処理装置は、対応する処理ユニッ
トの操作に必要な画面データを記憶する画面データ記憶
手段を有し、上記操作パネルは、操作者によって操作される操作部と、この操作部の操作に対応する画面データを上記基板処理
装置からダウンロードする手段と、ダウンロードされた画面データに相当する画面を表示す
る表示手段とを含むものであることを特徴とする請求項
１ないし５のいずれかに記載の基板処理装置。