JP3892553B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウェハ、フォトマスク用のガラス基板、液晶表示装置用のガラス基板、光ディスク用の基板等の基板の処理を行なうための基板処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウェハ等の基板の処理を行なうための基板処理システムは、複数台の基板処理装置を互いに接続することによって構成されている。各基板処理装置は、レジストの塗布やウェハの洗浄、熱処理等を行なうための複数の処理ユニットを備えている。各基板処理装置においては、各処理ユニットに半導体ウェハを搬送する順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、とを規定する処理レシピが用いられる。搬送順序情報には、各処理ユニットを識別するために、各装置固有のユニット番号が用いられている。処理レシピは膨大なデータを含んでいるので、複数台の基板処理装置の間において処理レシピをコピーできれば便利である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、各基板処理装置は、処理ユニットの台数や配列に応じた固有のユニット番号を有しているので、処理ユニットの台数や配列が異なる基板処理装置間では、処理レシピをコピーして利用することができないという問題があった。
【0004】
この発明は、従来技術における上述の課題を解決するためになされたものであり、処理ユニットの台数や配列が異なる基板処理装置間においても処理レシピをコピーすることのできる技術を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
上述の課題の少なくとも一部を解決するため、本発明による装置は基板の処理を行なうための基板処理装置であって、
基板を処理するための複数の処理ユニットと、
基板を前記複数の処理ユニットのいくつかに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、を含む処理レシピを記憶するための記憶手段と、
他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピを受け取って前記記憶手段に格納するレシピコピー手段と、を備え、
前記搬送順序情報は、各処理ユニットを識別するための処理ユニット識別情報として、処理ユニット毎に互いに異なる値として各処理ユニットに予め割り当てられているユニット番号と、各処理ユニットにおける処理の種類を示すものとして各処理ユニットに予め割り当てられている処理カテゴリと、を含み、
前記レシピコピー手段は、前記コピー処理レシピの処理ユニット識別情報に含まれている処理カテゴリに応じて、当該基板処理装置内の前記複数の処理ユニットに関する処理カテゴリとユニット番号との組合せに合致するように前記処理ユニット識別情報内のユニット番号を変更するユニット番号変更手段を含むことを特徴とする。
【0006】
ユニット番号と処理カテゴリとの対応関係は、各基板処理装置における処理ユニットの台数や配列に依存する。上記基板処理装置では、処理ユニット識別情報に、ユニット番号の他に処理カテゴリも含まれているので、レシピコピー手段は、コピー先の基板処理装置における各処理ユニットの処理カテゴリに合致するように、処理レシピ内のユニット番号を変更することができる。従って、処理ユニットの台数や配列が異なる基板処理装置間においても、処理レシピをコピーして利用することが容易である。
【0007】
また、前記複数の処理ユニットは、同一の第1の処理カテゴリが割り当てられた複数の第1種の処理ユニットを含んでおり、
前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報の中に前記第1の処理カテゴリが含まれている場合に、前記複数の第1種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第1の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含むようにしてもよい。
【0008】
こうすれば、ユニット番号と処理カテゴリとの組合せをコピー先の基板処理装置の構成に合致させるようにすることができる。
【0009】
あるいは、前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報に含まれる前記第1の処理カテゴリとユニット番号との組合せが当該基板処理装置内における処理カテゴリとユニット番号の組合せと一致しない場合に、前記複数の第1種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第1の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含むようにしてもよい。
【0010】
こうすれば、コピー元の基板処理装置におけるユニット番号と処理カテゴリとの組合せに合わないものだけを、コピー先の基板処理装置に合致するように変更できるので、処理レシピの変更を必要最小限に抑えることができる。
【0011】
前記処理ユニット識別情報は、さらに、ユニット番号と処理カテゴリとの特定の組合せについては変更を禁止することを示す変更禁止フラグを含み、
前記ユニット番号変更手段は、他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピの搬送順序情報に前記変更禁止フラグが含まれている場合には、前記特定の組合せの変更を禁止する手段を含むようにしてもよい。
【0012】
こうすれば、特定の処理ユニットに関しては、ユニット番号と処理カテゴリとの組合せを一定に保つことができる。
【0013】
【発明の他の態様】
この発明は、以下のような他の態様も含んでいる。第1の態様は、複数の処理ユニットを備えた基板処理装置を用いて基板の処理を行なうための基板処理方法であって、
(a)基板を前記複数の処理ユニットのいくつかに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、を含む処理レシピを準備する工程と、
(b)コピー元の第1の基板処理装置とコピー先の第2の基板処理装置との間で処理レシピのコピーを行う工程と、を備え、
前記搬送順序情報は、各処理ユニットを識別するための処理ユニット識別情報として、処理ユニット毎に互いに異なる値として各処理ユニットに予め割り当てられているユニット番号と、各処理ユニットにおける処理の種類を示すものとして各処理ユニットに予め割り当てられている処理カテゴリと、を含み、
前記工程(b)は、前記コピー処理レシピの処理ユニット識別情報に含まれている処理カテゴリに応じて、当該基板処理装置内の前記複数の処理ユニットに関する処理カテゴリとユニット番号との組合せに合致するように前記処理ユニット識別情報内のユニット番号を変更する工程を含むことを特徴とする。
【0014】
第2の態様は、コンピュータに上記の発明の各工程または各手段の機能を実現させるコンピュータプログラムを通信経路を介して供給するプログラム供給装置としての態様である。こうした態様では、プログラムをネットワーク上のサーバなどに置き、通信経路を介して、必要なプログラムをコンピュータにダウンロードし、これを実行することで、上記の方法や装置を実現することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
A.装置の構成:
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づき説明する。図1は、この発明の実施例である基板処理システムの構成を示す概念図である。この基板処理システムは、第1のネットワークサブシステム100と、第2のネットワークサブシステム200とを備えている。第1のネットワークサブシステム100は、管理ステーション110と、複数の処理ステーション112,122,132と、複数の露光ステーション114,124,134とを備えている。また、各ステーションは互いに通信経路140を介して接続されてローカルエリアネットワークを構成している。第2のネットワークサブシステム200も同様に、管理ステーション210と、複数の処理ステーション212,222,232と、複数の露光ステーション214,224,234とを備えており、互いに通信経路240を介して接続されてローカルエリアネットワークを構成している。また、2つの管理ステーション110,210は、電話回線150を介して互いに接続されている。
【0016】
2つの管理ステーション110,210は、同じネットワーク・サーバ用オペレーションシステム(例えばWindows NT Server (マイクロソフト社の商標))で動作するコンピュータシステムである。また、各処理ステーションと各露光ステーションは、ネットワーク・ステーション用オペレーションシステム(例えばWindows NT Station(マイクロソフト社の商標))で動作するコンピュータシステムを備えている。
【0017】
図2は、図1に示す各ステーションの機能を示すブロック図である。第1の管理ステーション110は、ネットワーク管理手段300と、通信手段302と、レシピ・アップロード/ダウンロード手段304と、装置ステータス表示手段306と、装置運転情報記録手段308と、装置アプリケーションインストール手段310と、外部記憶装置としての磁気ディスク312と、を備えている。第2の管理ステーション210も同様である。処理ステーション112は、装置間レシピコピー手段400と、外部記憶装置としての磁気ディスク402と、を備えている。他の処理ステーションも同様である。これらの各手段の機能は、CPU等のマイクロプロセッサがコンピュータプログラムを実行することによって実現される。各手段の機能については後述する。
【0018】
これらの各手段の機能を実現するコンピュータプログラムは、フレキシブルディスクやCD−ROM等の、コンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録された形態で提供される。コンピュータは、その記録媒体からコンピュータプログラムを読み取って内部記憶装置または外部記憶装置に転送する。あるいは、通信経路を介してコンピュータにコンピュータプログラムを供給するようにしてもよい。コンピュータプログラムの機能を実現する時には、内部記憶装置に格納されたコンピュータプログラムがコンピュータのマイクロプロセッサによって実行される。また、記録媒体に記録されたコンピュータプログラムをコンピュータが読み取って直接実行するようにしてもよい。
【0019】
この明細書において、コンピュータとは、ハードウェア装置とオペレーションシステムとを含む概念であり、オペレーションシステムの制御の下で動作するハードウェア装置を意味している。また、オペレーションシステムが不要でアプリケーションプログラム単独でハードウェア装置を動作させるような場合には、そのハードウェア装置自体がコンピュータに相当する。ハードウェア装置は、CPU等のマイクロプロセッサと、記録媒体に記録されたコンピュータプログラムを読み取るための手段とを少なくとも備えている。コンピュータプログラムは、このようなコンピュータに、上述の各手段の機能を実現させるプログラムコードを含んでいる。なお、上述の機能の一部は、アプリケーションプログラムでなく、オペレーションシステムによって実現されていても良い。
【0020】
なお、この発明における「記録媒体」としては、フレキシブルディスクやCD−ROM、光磁気ディスク、ICカード、ROMカートリッジ、パンチカード、バーコードなどの符号が印刷された印刷物、コンピュータの内部記憶装置(RAMやROMなどのメモリ)および外部記憶装置等の、コンピュータが読取り可能な種々の媒体を利用できる。
【0021】
図3は、処理ステーションの一例を示す斜視図である。この処理ステーションは、半導体ウェハWに一連の処理(この実施例では塗布処理、現像処理、加熱処理、冷却処理)を行うための複数の処理ユニットを備えている。前面に配列された第1の処理ユニット群Aは、塗布処理を行うスピンコータSCと、現像処理を行うスピンデベロッパSDとで構成されている。
【0022】
また、第1の処理ユニット群Aに対向する後方側の位置には、第2の処理ユニット群Bが設けられている。第2の処理ユニット群Bは、各種熱処理を行うホットプレートHP1〜HP3及びクールプレートCP1〜CP3を備えている。
【0023】
さらに、この装置には、第1の処理ユニット群Aと第2の処理ユニット群Bに挟まれた位置に、第1の処理ユニット群Aに沿って延びる搬送領域Cが設けられている。この搬送領域Cには搬送ロボット10が移動自在に配置されている。この搬送ロボット10は、半導体ウェハWをそれぞれ支持するための2本のアームを有する把持部材11(図中ではひとつのアームのみが見えている)を有する移動体12を備えている。
【0024】
処理ステーションの端部には、カセット20からの半導体ウェハWの搬出とカセット20への半導体ウェハWの搬入とを行うインデクサINDが設けられている。このインデクサINDに設けられた移載ロボット40は、カセット20から半導体ウェハWを取り出し、搬送ロボット10に送り出したり、逆に一連の処理が施された半導体ウェハWを搬送ロボット10から受け取り、カセット20に戻す作業を行なう。なお、図1には図示が省略されているが、インデクサINDの反対側(図面右側)の端部には、半導体ウェハWを露光ステーションとの間で受け渡しするインターフェースユニットが設けられている。実施例の処理ステーションと他の処理装置との間の半導体ウェハWの受渡しは、インターフェースユニットに設けられた移動ロボット(図示省略)と搬送ロボット10とが協働することによって行なわれる。
【0025】
図3において各処理ユニットの符号の後にカッコで示されている番号#0〜#9は、ユニット番号である。各処理ユニットには互いに異なるユニット番号が割り当てられている。なお、インデクサINDはウェハの処理を行わないので、厳密な意味では処理ユニットでは無いので、インデクサINDには必ずしもユニット番号を割り当てなくてもよい。しかし、図3の例のように、インデクサINDにユニット番号を割り当てることも可能である。
【0026】
図3に示す複数の処理ユニットによる処理は、回転式塗布処理(スピンコータSCによる処理)と、回転式現像処理(スピンデベロッパSDによる処理)と、加熱処理(ホットプレートHP1〜HP3による処理)と、冷却処理(クールプレートCP1〜CP3による処理)の4種類に分類される。この明細書では、ウェハに関する同一種類の処理を「処理カテゴリ」または「カテゴリ」と呼ぶ。
【0027】
図4は、図3に示す処理ステーションのブロック図である。図4において、コントローラ50は、演算部(CPU)やメインメモリ(RAMおよびROM)を備えた演算処理装置であり、ディスプレイ51およびキーボード52が接続されている。コントローラ50は、予め設定された処理レシピに従って搬送ロボット10や移載ロボット40(インデクサINDのロボット)、および、各処理ユニットSC,SD,HP1〜HP3,CP1〜CP3の動作を制御する。コントローラ50は、さらに、装置間レシピコピー手段400(図2)としての機能を有している。
【0028】
なお、コントローラ50による各種の機能を実現するコンピュータプログラム(アプリケーションプログラム)は、フレキシブルディスクやCD−ROM等の記録媒体からコントローラ50のメインメモリまたは磁気ディスク402(図2)に転送される。
【0029】
B.レシピデータの構成:
図5(a),(b)は、磁気ディスク312,402(図2)に格納されている処理レシピのデータ構造を示す説明図である。処理レシピは、図5(a)に示すフローレシピデータ60と、図5(b)に示す処理データライブラリ61〜64とを含んでいる。処理データライブラリ61〜64は、各処理カテゴリ毎の処理条件を格納している。この例では、図3の処理ステーションにおける4つの処理カテゴリに対応する4つの処理データライブラリ61〜64が準備されている。各処理データライブラリ61〜64を、以下ではそれぞれ、「SCライブラリ61」、「SDライブラリ62」、「HPライブラリ63」、「CPライブラリ64」と呼ぶ。SCライブラリ61は、スピンコータSCのための99通りの処理条件(例えば回転数、処理時間、薬液吐出量等)を格納している。また、SDライブラリ62は、スピンデベロッパSDのための99通りの処理条件(例えば回転数、処理時間等)を格納している。HPライブラリ63とCPライブラリ64は、ホットプレートHP1〜HP3とクールプレートCP1〜CP3のための99通りの処理条件(プレート温度、処理条件等)をそれぞれ格納している。
【0030】
図5(a)に示すフローレシピデータ60は、フローNo.(「フロー番号」とも呼ぶ)と、処理ユニット識別情報と、処理データNo.(「処理データ番号」とも呼ぶ)とを含んでいる。フローNo.は、処理ステーション内のウェハの搬送の順序を示している。処理ユニット情報は、ウェハの搬送先の処理ユニットのユニット番号と、その処理ユニットの処理カテゴリと、変更禁止フラグFとを含んでいる。処理カテゴリの欄の「ID]はインデクサを示し、「SC」は回転式塗布処理(スピンコータによる処理)を、「SD」は回転式現像処理(スピンデベロッパによる処理)を、「HP」は加熱処理(ホットプレートによる処理)を、「CP」は冷却処理(クールプレートによる処理)を、それぞれ意味している。変更禁止フラグFについては後述する。
【0031】
処理データNo.は、処理データライブラリ61〜64の中の1つの処理データを示している。例えば、「SCL1」は、SCライブラリ61の1番目の処理データを示しており、「HPL1」はHPライブラリ63の1番目の処理データを示している。なお、フローレシピデータ60には、99種類の異なる処理フローを規定したフローレシピデータを登録することができる。
【0032】
図5(a)の最上部のフローレシピデータ1に従って処理を行う場合には、ウェハは、インデクサID、スピンコータSC、ホットプレートHP、クールプレートCPの順に搬送されて処理される。フローNo.3(3番目の搬送先ユニット)におけるユニット番号は#7であり、これは第3のホットプレートHP3(図3)を意味している。また、フローNo.4におけるユニット番号は#8であり、これは第3のクールプレートCP3を意味している。このように、ユニット番号は、この処理ステーションの中の1台の処理ユニットに関連付けられているので、この処理ステーション内で処理レシピを使用する限りでは、処理カテゴリは不要である。後述するように、処理カテゴリは、処理レシピが複数の処理ステーションの間でコピーされる時に使用される。
【0033】
なお、フローNo.と処理ユニット識別情報は、ウェハを複数の処理ユニットに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報に相当する。また、処理データNo.とライブラリ61〜64は、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報に相当する。
【0034】
C.各手段の機能:
図6は、処理ステーションの装置間レシピコピー手段400(図2)の処理手順を示すフローチャートである。なお、以下の説明においては処理ステーションを単に「装置」と呼ぶ。装置間レシピコピーとは、2つの処理ステーション(装置A,Bと呼ぶ)の間で処理レシピをコピーする処理である。ステップS1では、装置Aのプロセススタート画面において、使用したい処理レシピを有する装置Bと、そのフローレシピの番号とを指定する。プロセススタート画面とは、その処理ステーションでの処理を開始させるための画面であり、この画面の上で処理レシピの設定を行なうことができる。ステップS1の具体的な手順では、作業者が他の装置Bを指定すると、その装置Bが有する処理レシピの一覧の画面が表示される。そして、作業者は、表示された処理レシピの中から所望のフローレシピの番号を指定する。
【0035】
ステップS2において作業者によって処理レシピのコピーが指示されると、装置Aは、指定された装置Bから処理レシピをコピーする。具体的には、装置Aの装置間レシピコピー手段400が処理レシピの転送を装置Bの装置間レシピコピー手段400に要求し、装置Bの装置間レシピコピー手段400がこれに応じてその処理レシピを磁気ディスクから読出して装置Aに転送する。なお、転送される処理レシピは、図5(a)に示すフローレシピの1つと、このフローレシピにおいて処理データNo.で特定されている処理条件とを含んでいれば良く、各ライブラリ61〜64は転送する必要はない。
【0036】
ステップS3では、装置Bから転送された処理レシピのフローレシピ中における処理ユニットNo.が、装置Aにおけるユニット構成に合わせて調整される。ステップS3の処理内容については後述する。ステップS4において、作業者が装置Aのプロセススタート画面で1ロット(複数のウェハを含む1つの処理単位)の処理の開始を指示すると、コピーされた処理レシピに応じた処理が実行される。
【0037】
図7は、ステップS3の詳細手順を示すフローチャートである。ステップS11では、コピーされた処理レシピに含まれる処理ユニット識別情報を1つ選択する。前述した図5(a)に示すように、1つの処理ユニット識別情報には、ユニットNo.と、処理カテゴリと、変更禁止フラグFとが含まれている。ステップS12では、変更禁止フラグFが1か否かが判断され、F=1の場合には、ユニットNo.の調整を行わずにステップS11に戻り、次の処理ユニット識別情報が選択される。すなわち、変更禁止フラグFが1に設定されている処理ユニットに関しては、ユニット番号は変更が禁止される。例えば、図5(a)に示すフローレシピ1では、インデクサIDとスピンコータSCに関して変更禁止フラグFが1に設定されているので、これらの処理ユニットのユニット番号は変更されない。変更禁止フラグFは、特定の処理ユニットに対して常に一定のユニット番号を割り当てておきたい場合に使用される。
【0038】
変更禁止フラグFが1でない場合には、次のステップS13において、コピー先の装置Aにおいて、同一の処理カテゴリに属する複数の処理ユニットが存在するか否かが判断される。同一の処理カテゴリに属する複数の処理ユニットが存在する場合には、その中の特定の処理ユニットのユニット番号が割り当てられる(ステップS14)。一方、コピー先の装置Aに同一の処理カテゴリの処理ユニットが1つしか存在しない場合には、その処理ユニットのユニット番号が割り当てられる(ステップS15)。
【0039】
図8は、装置間のレシピコピーの一例を示す説明図である。図8(B−1)はコピー元の装置Bのユニット構成を示し、図8(A−1)はコピー先の装置Aのユニット構成を示している。また、図8(B−1)はコピー前のフローレシピ1の内容を示しており、図8(A−1)は装置Aにコピーされて図7の手順で調整された後のフローレシピ1の内容を示している。コピー元の装置Bは、#0〜#8までの9台のユニットを有しており、ホットプレートHPとクールプレートCPがそれぞれ3台ずつ設けられている。一方、コピー先の装置Aは、#0〜#6までの7台のユニットを有しており、ホットプレートHPとクールプレートCPがそれぞれ2台ずつしか設けられていない。
【0040】
コピー元装置Bからコピー先装置Aにフローレシピ1がコピーされるときには、処理ユニット識別情報の中で、処理カテゴリが加熱処理(HP)である処理ユニットのユニットNo.は、すべて#3(装置Aの第1のホットプレートHP1を示す)に変更される。また、処理カテゴリが冷却処理(CP)である処理ユニットのユニットNo.は、すべて#4(装置Aの第1のクールプレートCP1を示す)に変更される。こうすれば、コピー元の装置Bとコピー先の装置Aとのユニット構成が異なる場合にも、コピー先装置Aのユニット構成に合致した処理レシピになるように、コピーされた処理レシピを調整することができる。なお、図7の処理は、装置間レシピコピー手段400によって自動的に実行される。こうして調整された処理レシピは、必要に応じて作業者によって再度修正することができる。
【0041】
なお、ステップS14における調整の仕方を以下のように変更してもよい。すなわち、処理レシピ内の処理カテゴリとユニット番号との組合せが、コピー先装置Aにおける組合せに合致する場合には、その組合せを変更しないようにしてもよい。例えば、図8の例では、コピー元装置Bのユニット番号#0〜#6のユニットと、コピー先装置Aのユニット番号#0〜#6のユニットとは、処理カテゴリとユニット番号の組合せが互いに等しい。従って、これらのユニットに関しては、処理レシピのコピーの際にもユニット番号を変更しなくてもよい。この場合には、図8(Bー2)の処理レシピの中で、第3のホットプレートHP3と第3のクールプレートCP3を示すユニット番号のみが、コピー先装置Aにおける同一の処理カテゴリの所定の処理ユニットのユニット番号に(例えば#3,#4に)変更される。このような調整方法を採用すれば、ユニット番号の変更を最小限にすることができるという利点がある。
【0042】
以上のようなレシピコピー機能を利用すると、処理ステーション間で処理レシピのコピーを行なえるので、フレキシブルディスク等に処理レシピを格納して処理ステーション間を作業者が持ち運ぶ必要がない。また、処理を実行する処理ステーションから他の処理ステーションに対して処理レシピの転送を要求することができるので、作業者は、処理を実行する処理ステーションにおいて所望の処理レシピを容易に設定することができる。
【0043】
なお、処理ユニット識別情報にユニット番号と処理カテゴリとを含むようにすれば、フレキシブルディスク等の携帯型記録媒体を用いて処理レシピを装置間でコピーする場合にも、コピー先の装置に合わせた処理レシピを容易に得ることができる。
【0044】
図2の管理ステーション110,210の各種の手段の機能については、本出願人より公開された特開平9ー153441号公報に記載されているので、ここではその説明を省略する。
【0045】
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例である基板処理システムの構成を示す概念図。
【図2】図1に示す各ステーションの機能を示すブロック図。
【図3】処理ステーションの一例を示す斜視図。
【図4】処理ステーションのブロック図。
【図5】フローレシピデータ60とユニット処理データ62との構成を示す説明図。
【図6】装置間レシピコピー手段400の処理手順を示すフローチャート。
【図7】ステップS3の詳細手順を示すフローチャート。
【図8】装置間のレシピコピーの一例を示す説明図。
【符号の説明】
10…搬送ロボット
11…把持部材
12…移動体
20…カセット
40…移載ロボット
50…コントローラ
51…ディスプレイ
52…キーボード
60…フローレシピデータ
61〜64…処理データライブラリ
100,200…ネットワークサブシステム
110,210…管理ステーション
112,122,132…処理ステーション
114,124,134…露光ステーション
140…通信経路
150…電話回線
212,222,232…処理ステーション
214,224,234…露光ステーション
240…通信経路
300…ネットワーク管理手段
302…通信手段
304…レシピ・アップロード/ダウンロード手段
306…装置ステータス表示手段
308…装置運転情報記録手段
310…装置アプリケーションインストール手段
312…磁気ディスク
400…装置間レシピコピー手段
402…磁気ディスク
412…磁気ディスク
Claims (4)
- 基板の処理を行なうための基板処理装置であって、
基板を処理するための複数の処理ユニットと、
基板を前記複数の処理ユニットのいくつかに順次搬送してゆく順序を示す搬送順序情報と、各処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報と、を含む処理レシピを記憶するための記憶手段と、
他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピを受け取って前記記憶手段に格納するレシピコピー手段と、を備え、
前記搬送順序情報は、各処理ユニットを識別するための処理ユニット識別情報として、処理ユニット毎に互いに異なる値として各処理ユニットに予め割り当てられているユニット番号と、各処理ユニットにおける処理の種類を示すものとして各処理ユニットに予め割り当てられている処理カテゴリと、を含み、
前記レシピコピー手段は、前記コピー処理レシピの処理ユニット識別情報に含まれている処理カテゴリに応じて、当該基板処理装置内の前記複数の処理ユニットに関する処理カテゴリとユニット番号との組合せに合致するように前記処理ユニット識別情報内のユニット番号を変更するユニット番号変更手段を含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理ユニットは、同一の第1の処理カテゴリが割り当てられた複数の第1種の処理ユニットを含んでおり、
前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報の中に前記第1の処理カテゴリが含まれている場合に、前記複数の第1種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第1の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含む、基板処理装置。 - 請求項1記載の基板処理装置であって、
前記複数の処理ユニットは、同一の第1の処理カテゴリが割り当てられた複数の第1種の処理ユニットを含んでおり、
前記ユニット番号変更手段は、前記コピー処理レシピの前記処理ユニット識別情報に含まれる前記第1の処理カテゴリとユニット番号との組合せが当該基板処理装置内における処理カテゴリとユニット番号の組合せと一致しない場合に、前記複数の第1種の処理ユニットの中の所定の処理ユニットのユニット番号を前記第1の処理カテゴリに対応するユニット番号として割り当てる手段を含む、基板処理装置。 - 請求項2または3記載の基板処理装置であって、
前記処理ユニット識別情報は、さらに、ユニット番号と処理カテゴリとの特定の組合せについては変更を禁止することを示す変更禁止フラグを含み、
前記ユニット番号変更手段は、他の基板処理装置からコピーされたコピー処理レシピの搬送順序情報に前記変更禁止フラグが含まれている場合には、前記特定の組合せの変更を禁止する手段を含む、基板処理装置。
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