JP3811204B2 - 基板処理装置の制御方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウェハや液晶表示基板などの基板を、予め設定された搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
基板処理装置においては、各処理ユニットに基板を搬送する順序(搬送経路)と各処理ユニットにおける処理条件とを規定する処理レシピに従って、基板が搬送ロボットによって各処理ユニットに搬送され、各処理ユニットにおいてそれぞれ処理が実行される。ところで、処理レシピによっては、最も処理時間が長い処理ユニット(以下、「最長処理時間ユニット」と呼ぶ)の処理時間が、搬送ロボットによる1回の搬送時間(各処理ユニットにある基板を次の処理ユニットにそれぞれ受け渡すために要する合計時間)よりも長い場合がある。このような場合には、搬送ロボットが最長処理時間ユニットに次の基板を搬送する時刻までに待ち時間(以下、「搬送待ち時間」と呼ぶ)が発生する。このため、最長処理時間ユニットにおける処理が律速となって基板処理装置全体の動作速度が制限される。従来は、搬送待ち時間が発生した時には、基板処理装置全体の搬送を停止させていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、基板の処理を途中で停止してしまうと、処理中の基板にプロセス上の悪影響を与えてしまう場合がある。例えば、基板を加熱する処理の進行を停止すると、予定よりも長時間熱処理を行なう結果となり、いわゆるオーバーベーク(過度の熱処理)となってしまう。
【0004】
この発明は、従来技術における上述の課題を解決するためになされたものであり、搬送待ち時間が発生した場合にも、処理中の基板に対するプロセス上の悪影響を防止することができる制御方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段およびその作用・効果】
上述の課題の少なくとも一部を解決するため、第1の発明は、複数の基板を収納するカセットからの基板の搬出と搬入とを行うためのインデクサと、複数の処理ユニットと、各処理ユニットにおいて基板の交換を行う2本のアームを有する搬送ロボットとを備えた基板処理装置を用いて、処理対象の複数の基板を予め設定された処理レシピで規定された同一の搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御方法であって、
前記複数の処理ユニットの中で処理時間が最長である最長処理時間ユニットに基板を渡すための搬送の待ち時間が発生するか否かを前記処理レシピに応じて判断し、
前記搬送待ち時間が発生したときには、前記搬送経路において前記最長処理時間ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記搬送経路を完了するまで処理と搬送とを継続するとともに、前記最長処理時間ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に各処理ユニットの待機位置において該基板を待機状態とすることによって搬送を中止する第1のスキップモードを備え、
前記処理レシピで規定された搬送経路の全パスにおける基板の搬送を前記搬送ロボットが1回実行するのに要する時間を前記搬送ロボットの総搬送時間と定義したとき、
前記搬送待ち時間の発生の有無の判断は、前記最長処理時間ユニット内に基板が搬入されており、かつ、前記最長処理時間ユニットにおける該基板の処理終了までの残処理時間が前記搬送ロボットの総搬送時間よりも長い場合に前記搬送待ち時間が発生したものと判断することによって実行し、
前記第1のスキップモードの実行中は前記インデクサから前記搬送経路への基板の搬出を停止するとともに、次の条件C1とC2のいずれかが満足された場合に前記インデクサからの基板の搬出を再開して前記第1のスキップモードを終了する。
条件C1:(最長処理時間ユニットの残処理時間)≦(インデクサの動作時間)+(インデクサと最長処理時間ユニットとの間のパスの搬送時間の合計)。
条件C2:搬送経路上で最長処理時間ユニットの次の処理ユニットに存在していた基板が搬送経路の最下流の処理ユニットに渡されている。
【0006】
こうすれば、最長処理時間ユニットよりも下流側に位置する基板に対しては処理を完了できるので、少なくともこれらの基板に対するプロセス上の悪影響を防止することができる。
【0007】
第1の発明において、前記第1のスキップモードの実行中に、前記複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットの異常を通知する警報が発生した時に、前記搬送経路において警報発生ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記第1のスキップモードに従った動作を継続するとともに、前記警報発生ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に待機状態とすることによって搬送を中止する第2のスキップモードを備えることが好ましい。
【0008】
こうすれば、警報発生ユニットよりも下流側に位置する基板に対しては処理を完了できるので、少なくともこれらの基板に対するプロセス上の悪影響を防止することができる。
【0009】
【発明の他の態様】
この発明は、以下のような他の態様も含んでいる。第1の態様は、処理対象の複数の基板を処理レシピで規定された同一の予め設定された搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御装置であって、前記複数の処理ユニットの中で処理時間が最長である最長処理時間ユニットに基板を渡すための搬送の待ち時間が発生するか否かを前記処理レシピに応じて判断する搬送待ち時間発生検出手段と、
前記搬送待ち時間が発生したときには、前記搬送経路において前記最長処理時間ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記搬送経路を完了するまで処理と搬送とを継続するとともに、前記最長処理時間ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に待機状態とすることによって搬送を中止する第1のスキップモード実行手段と、を備える。
【0010】
第2の態様は、第1の態様において、さらに、前記第1のスキップモードの実行中に、前記複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットの異常を通知する警報が発生した時に、前記搬送経路において警報発生ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記第1のスキップモードに従った動作を継続するとともに、前記警報発生ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に待機状態とすることによって搬送を中止する第2のスキップモード実行手段を備える。
【0011】
【発明の実施の形態】
A.第1実施例:
次に、本発明の実施の形態を実施例に基づき説明する。図1は、この発明の実施例を適用する半導体ウェハ処理装置を示す斜視図である。この半導体ウェハ処理装置は、半導体ウェハWに一連の処理(この実施例では塗布処理、現像処理、加熱処理、冷却処理)を行うための複数の処理ユニットを備えたスピンナである。前面に配列された第1の処理ユニット群Aは、塗布処理を行うスピンコータSCと、現像処理を行うスピンデベロッパSDとで構成されている。
【0012】
また、第1の処理ユニット群Aに対向する後方側の位置には、第2の処理ユニット群Bが設けられている。第2の処理ユニット群Bは、各種熱処理を行うホットプレートHP1〜HP3及びクールプレートCP1〜CP3を備えている。
【0013】
さらに、この装置には、第1の処理ユニット群Aと第2の処理ユニット群Bに挟まれた位置に、第1の処理ユニット群Aに沿って延びる搬送領域Cが設けられている。この搬送領域Cには搬送ロボット10が移動自在に配置されている。この搬送ロボット10は、半導体ウェハWをそれぞれ支持するための2本のアームを有する支持部材11(図中ではひとつのアームのみが見えている)を有する移動体12を備えている。この支持部材11を構成する上下2本のアームは、アーム駆動機構(図示省略)によって駆動され、各処理ユニットにおいて半導体ウェハの交換を行なう。すなわち、一方のアームは、処理の終了した半導体ウェハを処理ユニットから受け取り、他方のアームは他の処理ユニットから搬送してきた半導体ウェハをその処理ユニットに載置する。なお、図示を省略しているが、搬送ロボット10の移動体12には3次元の駆動機構が連結されている。この駆動機構は、移動体12を各処理ユニットの前に移動させて、半導体ウェハWの受渡しを可能としている。
【0014】
半導体ウェハ処理装置の端部には、カセット20からの半導体ウェハWの搬出とカセット20への半導体ウェハWの搬入とを行うインデクサINDが設けられている。このインデクサINDに設けられた移載ロボット40は、カセット20から半導体ウェハWを取り出し、搬送ロボット10に送り出したり、逆に一連の処理が施された半導体ウェハWを搬送ロボット10から受け取り、カセット20に戻す作業を行なう。なお、図1には図示が省略されているが、インデクサINDの反対側(図面右側)の端部には、半導体ウェハWを他の処理装置(例えばステッパ等の露光装置)との間で受け渡しするインターフェースユニットが設けられている。実施例の半導体ウェハ処理装置と他の処理装置との間の半導体ウェハWの受渡しは、インターフェースユニットに設けられた移動ロボット(図示省略)と搬送ロボット10とが協働することによって行なわれる。
【0015】
図2は、図1の半導体ウェハ処理装置のブロック図である。図2において、コントローラ50は、演算部(CPU)やメインメモリ(RAMおよびROM)を備えた演算処理装置であり、ディスプレイ51およびキーボード52が接続されている。コントローラ50は、予め設定された処理レシピに従って搬送ロボット10や移載ロボット40(インデクサINDのロボット)、および、各処理ユニットSC,SD,HP1〜HP3,CP1〜CP3の動作を制御する。コントローラ50は、さらに、搬送待ち時間の発生を検出する搬送待ち時間発生検出手段や、処理ユニットからの警報の発生を検出する警報検出手段、および、後述する2つのスキップモードを実行するスキップモード実行手段としての機能を有している。
【0016】
なお、コントローラ50による各種の機能を実現するソフトウェアプログラム(アプリケーションプログラム)は、フロッピディスクやCD−ROM等の携帯型記憶媒体(可搬型記憶媒体)からコントローラ50のメインメモリまたは外部記憶装置に転送される。
【0017】
図3は、半導体ウェハ処理装置内における半導体ウェハの搬送経路の一例示す説明図である。この例では、半導体ウェハは、インデクサINDからホットプレートHP1、クールプレートCP1、スピンコータSC、ホットプレートHP2、および、クールプレートCP2の順に搬送されて各処理ユニットで処理を受け、最後にインデクサINDのカセット20内に戻される。図3において、各処理ユニットを示すブロック内に記された符号n〜(n−6)は、それぞれで処理されている半導体ウェハの番号を示している。すなわち、図3の状態では、(n−5)番目のウェハがクールプレートCP2で冷却され、(n−4)番目のウェハがホットプレートHP2で加熱されている。同様に、その後に続く各ウェハもそれぞれの処理ユニットにおいて処理が実行されている。インデクサINDの位置に記載されたn番目のウェハは、カセット20から移載ロボット40によって取出されており、搬送ロボット10に受け渡すための図示しないピン上に待機している状態にある。
【0018】
各処理ユニット間のパス(経路)P1〜P6は、搬送ロボット10によって搬送される動作に対応している。この実施例においては、図3の左端のパスP1から右端のパスP6までの間に存在するウェハを「処理中のウェハ」と呼ぶ。従って、各処理ユニットHP1,CP1,SC,HP2,CP2において処理されているウェハが「処理中のウェハ」である。一方、インデクサINDのピン上に待機しているウェハ(インデクサINDを示すブロック内に記されているウェハ)は「処理中のウェハ」ではない。
【0019】
図3に示す搬送経路は、使用者によって予め設定された処理レシピに登録されている。処理レシピとは、搬送経路と、各処理ユニットにおける処理条件とを規定したデータである。コントローラ50は、この処理レシピに従って搬送ロボット10と移載ロボット40と各処理ユニットとを制御する。すなわち、半導体ウェハ処理装置が正常に動作している場合には、図3に示す搬送経路に従って、ウェハが順次処理されていく。この実施例では、スピンコータSCが最長処理時間ユニットであると仮定する。
【0020】
ここで、各パスにおいてウェハを搬送するために要する時間を8秒と仮定すると、搬送ロボット10がすべてのパスP1〜P6の搬送を1回行なうために要する合計時間(「総搬送時間」と呼ぶ)は48秒となる。処理ユニットHP1,CP1,SC,HP2,CP2の中の最長処理時間ユニットにおける処理時間がこの総搬送時間よりも長い場合には、搬送ロボット10に搬送待ち時間が発生する。
【0021】
図4は、搬送待ち時間発生時の制御動作を示すフローチャートである。ステップS1では、コントローラ50が搬送待ち時間が発生したか否かを判断する。例えば、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCに半導体ウェハが搬入されており、かつ、その処理終了までの時間(「残処理時間」と呼ぶ)が搬送ロボット10の総搬送時間(48秒)よりも長い場合に搬送待ち時間が発生したと判断される。
【0022】
ステップS2では、インデクサINDからの新たなウェハの送り出が禁止される。この結果、インデクサINDから搬送ロボット10に新たなウェハを渡す動作が停止する。
【0023】
ステップS3では、最長処理時間ユニット(スピンコータSC)より下流側の搬送経路に位置する処理中のウェハについては、処理と搬送とをそのまま継続する。一方、最長処理時間ユニットより上流側の搬送経路に位置する処理中のウェハは、その処理ユニットにおける処理が終了した後に、各処理ユニットにおける待機位置において待機させる。このステップS3の動作を、以下では「第1のスキップモード」と呼ぶ。図3に示す例では、スピンコータSCより下流側の搬送経路に位置する処理中ウェハ((n−5)番目と(n−4)番目のウェハ)の処理と搬送とはそのまま継続されて、インデクサINDまで戻る。一方、スピンコータSCよりも上流側の経路に位置する処理中ウェハ((n−2)番目と(n−1)番目のウェハ)はその処理ユニットでの処理の終了後にその待機位置で待機させる。
【0024】
図5は、搬送待ち時間発生によって第1のスキップモードに移行した場合のウェハの流れを示す説明図である。図5の左端の欄は処理サイクルを示している。ここで、1サイクルとは、各ウェハが1つの処理ユニットで処理されて次の処理ユニットに搬送されるまでの期間を意味している。また、上段のIND,HP1,CP1等は、各処理ユニットを示しており、その下に記された数字はウェハの順番を示している。また、符号「x」はウェハが存在しないことを示している。
【0025】
処理サイクル4で1番目のウェハが最長処理時間ユニットであるスピンコータSCに到達すると、搬送待ち時間が発生する。この結果、第1のスキップモードが実行され、スピンコータSCよりも上流側にある処理ユニットHP1,CP1に存在するウェハは、各処理ユニットでの処理の終了後に待機状態となる。なお、この時点ではスピンコータSCよりも下流側の処理ユニットHP2,CP2には処理中のウェハが存在しない。
【0026】
第1のスキップモード(ステップS3)の実行中にはインデクサINDからのウェハの送り出しは停止されたままである。インデクサINDからのウェハの送り出しは、次のステップS4において、以下に示す条件C1またはC2のいずれかが満足された場合に再開される(ステップS5)。
【0027】
条件C1:(最長処理時間ユニットの残処理時間)≦(インデクサの動作時間)+(インデクサと最長処理時間ユニットとの間のパスの搬送時間の合計)
【0028】
ここで、「インデクサの動作時間」とは、インデクサINDがカセット20からウェハを1枚取り出して搬送ロボット10に渡すために必要な時間を言う。また、「インデクサと最長処理時間ユニットとの間のパスの搬送時間の合計」は、図3の場合には、3つのパスP1〜P3の搬送時間の合計であり、従って24秒である。
【0029】
条件C2:搬送経路上で最長処理時間ユニットの次の処理ユニットに存在していたウェハが最下流の処理ユニットに渡されている。
【0030】
なお、図3の例では、「最長処理時間ユニットの次の処理ユニット」は第2のホットプレートHP2であり、「最下流の処理ユニット」は第2のクールプレートCP2である。
【0031】
上記の第1の条件C1の不等号の右辺は、搬送ロボット10がインデクサINDの位置から最長処理時間ユニットに到達するのに必要な最短時間(「最短到達時間」と呼ぶ)である。従って、第1の条件C1が満足された時、すなわち、最長処理時間ユニットの残処理時間が搬送ロボット10の最短到達時間以下になった時には、正味の搬送待ち時間が無いものと考えることができる。従って、この時にはステップS5においてインデクサINDから新たなウェハの送り出しを再開し、最長処理時間ユニットにおける処理が終了した時に、インデクサINDから搬送ロボット10にウェハを直ちに渡せるようにしておき、無駄な時間が発生するのを防止する。
【0032】
また、第2の条件C2が満足された時には、間もなく最も下流側の処理ユニットからインデクサINDにウェハが戻ってくると期待される。従って、第2の条件C2が満足されたときにも、インデクサINDに戻って来たウェハと新たなウェハとをインデクサINDが直ちに交換できるようにしておくことによって、無駄な時間が発生するのを防止する。
【0033】
図5の処理サイクル4では、スピンコータSCよりも下流側の処理ユニットHP2,SP2にウェハが存在しないので、上記の第2の条件C2が満足される。従って、処理サイクル4ではインデクサINDからのウェハの送り出しは事実上停止されない。
【0034】
最長処理時間ユニットでの処理が終了する(図4のステップS6)と、ウエハの搬送が再開されてステップS1に戻る。例えば図5の処理サイクル4が終了すると、1番目のウェハがスピンコータSCからホットプレートHP2に搬送され、スピンコータSCよりも上流側の各処理ユニットに待機していたウェハもそれぞれ次の処理ユニットに搬送される。そして、処理サイクル5において、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCが2番目のウェハの処理を開始すると、搬送待ち時間が発生するので、図4のステップS2,S3が再び実行される。この時点では、スピンコータSCの次の処理ユニット(ホットプレートHP2)に1番目のウェハが存在するので、ステップS3では、この1番目のウェハの処理と搬送とが継続して実行される。この結果、図5の処理サイクル5〜7では第1のスキップモードが実行されて1番目のウェハのみが順次搬送されていく。
【0035】
図5の処理サイクル7において、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCの処理が終了すると、スピンコータSCよりの上流側にあるウェハが次の処理ユニットにそれぞれ搬送される。そして、処理サイクル8において最長処理時間ユニットであるスピンコータSCが3番目のウェハの処理を開始すると、搬送待ち時間が発生するので、図4のステップS2,S3が再度実行される。
【0036】
このように、第1のスキップモードでは、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCにおいて処理が開始されると、スピンコータSCより下流側の経路に存在するウェハについては処理と搬送とが継続され、一方、スピンコータSCより上流側の経路に存在するウェハについては搬送が中止される。従って、最長処理時間ユニットより下流側の経路に存在するウェハについては、オーバベーク等のプロセス上の悪影響を与えること無く処理を完了できる。
【0037】
ところで、図5の例では、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCの処理が終了する前に、スピンコータSCより下流側のウェハの処理と搬送とが完了している。しかし、処理レシピによっては、スピンコータSCより下流側のウェハの処理と搬送とが完了する前に最長処理時間ユニットであるスピンコータSCの処理が終了する場合もある。
【0038】
図5の例のように、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCの処理が終了する前に、スピンコータSCより下流側のウェハの処理と搬送とが完了する場合には、上述の第1の条件C1は不要である。図4のステップS4において、第2の条件のみを用いてウェハの送り出しの再開を判断するようにした場合には、図5の処理サイクル5,6では、左端のインデクサINDに5番目のウェハが待機していない状態となる。
【0039】
一方、スピンコータSCより下流側のウェハの処理と搬送とが完了する前に最長処理時間ユニットであるスピンコータSCの処理が終了する場合には、第2の条件C2は不要である。使用者は、処理レシピに応じて2つの条件C1,C2の一方のみを選択して使用するようにすることも可能である。
【0040】
B.第2実施例:
図6は、本発明の第2実施例における動作を示すフローチャートである。図6のフローチャートは、図4に示す第1実施例のフローチャートのステップS3とステップS4との間にステップS11〜S13を追加したものである。ステップS11にも記されているように、図6の動作は、第1のスキップモードの途中でいずれかの処理ユニットからの警報が発生した場合の動作である。
【0041】
各処理ユニットは、何等かの異常を検出すると警報を発生してコントローラ50に通知する。警報としては、例えば、スピンコータSCにおける薬液量の不足や、ホットプレートHP1,HP2における温度異常等がある。コントローラ50は、ステップS11でこの警報を使用者に知らせるととともに、ステップS12〜S13において、警報発生に応じた制御を実行する。
【0042】
ステップS12における第2のスキップモードの処理では、コントローラ50が、警報を発生した処理ユニット(「警報発生ユニット」と呼ぶ)以降の搬送経路に位置する処理中のウェハについては処理と搬送をそのまま継続する。一方、警報発生ユニットより前の搬送経路に位置する処理中のウェハは、その処理ユニットにおける処理の終了後にその処理ユニットの待機位置において待機させる。
【0043】
なお、警報発生時に処理ユニット間のパスP1〜P6のいずれかに存在していたウェハは、少なくともその次の処理ユニットに渡される。
【0044】
また、基板処理装置や処理レシピによっては、搬送経路上において、互いに同等な複数の処理ユニットが並列に配列されることがある。例えば、図3において、ホットプレートHP1の位置に並列に複数のホットプレートが配置される。このような場合に、並列に配列された互いに同等の複数の処理ユニットの1つが警報を発生した場合には、警報発生ユニットと同等な他の処理ユニットに存在するウェハについても処理が最後まで継続される。
【0045】
図7は、第2実施例において、第1のスキップモードの途中で警報発生によって第2のスキップモードに移行した場合の動作内容を示す説明図である。図7(A)の例は、図5の処理サイクル5において、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCよりも下流側にある処理ユニット(クールプレートCP2)が警報を発生した場合の例である。このように、警報発生ユニットが最長処理時間ユニットよりも下流側に有る場合には、警報発生ユニットよりも上流側に存在するウェハが第2のスキップモードで待機状態となる。
【0046】
図7(B)の例は、最長処理時間ユニットであるスピンコータSCよりも上流側にある処理ユニット(クールプレートCP1)が警報を発生した場合の例である。このように、警報発生ユニットが最長処理時間ユニットよりも上流側に有る場合には、警報発生ユニットよりも上流側に存在するウェハ(図7(B)の例ではホットプレートHP1にある4番目のウェハ)が第2のスキップモードで待機状態となる。また、警報発生ユニット以降であって、かつ、最長処理時間ユニットよりも上流側にあるウェハ(図7(B)の例ではクールプレートCP1にある3番目のウェハ)は第1のスキップモードで待機状態となる。さらに、警報発生ユニットと最長処理時間ユニットの両方から見て下流側にあるウェハに対しては第1のスキップモードが適用されるので、処理と搬送とが継続される。
【0047】
このように、第1のスキップモードの途中で警報が発生すると、第1のスキップモードと第2のスキップモードとが多重に実行される。なお、上述の説明からも解るように、第2のスキップモードは第1のスキップモードに優先する。図6のステップS13において警報が解除されると、第2のスキップモードで中断した状態から処理が継続される。
【0048】
上述の第2実施例では、第1のスキップモードの途中で警報が発生した時に、第2のスキップモードを実行することによって、警報発生ユニット以降の経路に存在するウェハの処理と搬送とを継続するようにした。従って、警報発生ユニット以降の経路に存在するウェハについては、オーバベーク等のプロセス上の悪影響を与えること無く処理を完了することができる。
【0049】
なお、この発明は上記の実施例や実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能である。り、例えば次のような変形も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を適用する半導体ウェハ処理装置を示す斜視図。
【図2】半導体ウェハ処理装置のブロック図。
【図3】半導体ウェハ処理装置内における半導体ウェハWの搬送経路を示す説明図。
【図4】本発明の第1実施例における動作を示すフローチャート。
【図5】警報発生によってスキップモードに移行した場合のウェハの流れを示す説明図。
【図6】本発明の第2実施例における動作を示すフローチャート。
【図7】第2実施例における多重スキップモードの動作内容を示す説明図。
【符号の説明】
10…搬送ロボット
11…支持部材
12…移動体
20…カセット
40…移載ロボット
50…コントローラ
51…ディスプレイ
52…キーボード
CP1〜CP3…クールプレート
HP1〜HP3…ホットプレート
IND…インデクサ
SC…スピンコータ(回転式薬液塗布装置)
SD…スピンデベロッパ(回転式薬液現像装置9
Claims (4)
- 複数の基板を収納するカセットからの基板の搬出と搬入とを行うためのインデクサと、複数の処理ユニットと、各処理ユニットにおいて基板の交換を行う2本のアームを有する搬送ロボットとを備えた基板処理装置を用いて、処理対象の複数の基板を予め設定された処理レシピで規定された同一の搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御方法であって、
前記複数の処理ユニットの中で処理時間が最長である最長処理時間ユニットに基板を渡すための搬送の待ち時間が発生するか否かを前記処理レシピに応じて判断し、
前記搬送待ち時間が発生したときには、前記搬送経路において前記最長処理時間ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記搬送経路を完了するまで処理と搬送とを継続するとともに、前記最長処理時間ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に各処理ユニットの待機位置において該基板を待機状態とすることによって搬送を中止する第1のスキップモードを備え、
前記処理レシピで規定された搬送経路の全パスにおける基板の搬送を前記搬送ロボットが1回実行するのに要する時間を前記搬送ロボットの総搬送時間と定義したとき、
前記搬送待ち時間の発生の有無の判断は、前記最長処理時間ユニット内に基板が搬入されており、かつ、前記最長処理時間ユニットにおける該基板の処理終了までの残処理時間が前記搬送ロボットの総搬送時間よりも長い場合に前記搬送待ち時間が発生したものと判断することによって実行し、
前記第1のスキップモードの実行中は前記インデクサから前記搬送経路への基板の搬出を停止するとともに、次の条件C1とC2のいずれかが満足された場合に前記インデクサからの基板の搬出を再開して前記第1のスキップモードを終了する、基板処理装置の制御方法。
条件C1:(最長処理時間ユニットの残処理時間)≦(インデクサの動作時間)+(インデクサと最長処理時間ユニットとの間のパスの搬送時間の合計)。
条件C2:搬送経路上で最長処理時間ユニットの次の処理ユニットに存在していた基板が搬送経路の最下流の処理ユニットに渡されている。 - 請求項1記載の基板処理装置の制御方法であって、
前記第1のスキップモードの実行中に、前記複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットの異常を通知する警報が発生した時に、前記搬送経路において警報発生ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記第1のスキップモードに従った動作を継続するとともに、前記警報発生ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に各処理ユニットの待機位置において該基板を待機状態とすることによって搬送を中止する第2のスキップモードを備える、
基板処理装置の制御方法。 - 処理対象の複数の基板を処理レシピで規定された同一の予め設定された搬送経路に従って複数の処理ユニットに順次搬送しつつ処理する基板処理装置の制御装置であって、
複数の基板を収納するカセットからの基板の搬出と搬入とを行うためのインデクサと、
複数の処理ユニットと、
各処理ユニットにおいて基板の交換を行う2本のアームを有する搬送ロボットと、
前記複数の処理ユニットの中で処理時間が最長である最長処理時間ユニットに基板を渡すための搬送の待ち時間が発生するか否かを前記処理レシピに応じて判断する搬送待ち時間発生検出手段と、
前記搬送待ち時間が発生したときには、前記搬送経路において前記最長処理時間ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記搬送経路を完了するまで処理と搬送とを継続するとともに、前記最長処理時間ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に各処理ユニットの待機位置において該基板を待機状態とすることによって搬送を中止する第1のスキップモード実行手段と、を備え、
前記処理レシピで規定された搬送経路の全パスにおける基板の搬送を前記搬送ロボット が1回実行するのに要する時間を前記搬送ロボットの総搬送時間と定義したとき、
前記搬送待ち時間発生検出手段は、前記最長処理時間ユニット内に基板が搬入されており、かつ、前記最長処理時間ユニットにおける該基板の処理終了までの残処理時間が前記搬送ロボットの総搬送時間よりも長い場合に前記搬送待ち時間が発生したものと判断し、
前記第1のスキップモード実行手段は、前記第1のスキップモードの実行中は前記インデクサから前記搬送経路への基板の搬出を停止するとともに、次の条件C1とC2のいずれかが満足された場合に前記インデクサからの基板の搬出を再開して前記第1のスキップモードを終了する、基板処理装置の制御装置。
条件C1:(最長処理時間ユニットの残処理時間)≦(インデクサの動作時間)+(インデクサと最長処理時間ユニットとの間のパスの搬送時間の合計)。
条件C2:搬送経路上で最長処理時間ユニットの次の処理ユニットに存在していた基板が搬送経路の最下流の処理ユニットに渡されている。 - 請求項3記載の基板処理装置の制御装置であって、さらに、
前記第1のスキップモードの実行中に、前記複数の処理ユニットの中のいずれかの処理ユニットの異常を通知する警報が発生した時に、前記搬送経路において警報発生ユニットより下流側に位置する基板に対しては前記第1のスキップモードに従った動作を継続するとともに、前記警報発生ユニットより上流側に位置する基板については各処理ユニットでの処理の終了後に各処理ユニットの待機位置において該基板を待機状態とすることによって搬送を中止する第2のスキップモード実行手段を備える、基板処理装置の制御装置。
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