JP4202119B2 - 基板処理システム、基板処理装置、および、基板処理システムの管理方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数台の基板処理装置を有する基板処理システムにおいて基板処理装置を管理する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハなどの基板の処理を行う基板処理システムは、複数台の基板処理装置を備えて構成されており、各基板処理装置は、レジストの塗布や基板の洗浄、熱処理などを行う複数の基板処理ユニットを有している。各基板処理装置においては、各基板処理ユニットに基板を搬送する順序を示す搬送順序情報と、各基板処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報とを規定する処理レシピが用いられる。搬送順序情報には、各基板処理ユニットを識別するために、各基板処理装置の各基板処理ユニットに対して人為的に付された固有のユニット番号が使用されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
ところで、このような基板処理システムにおいては、各基板処理装置間で処理レシピをコピーして利用するものがある。そして、基板処理システムの各基板処理装置間では、基板処理ユニットの台数や配列などの配置状況が異なる場合があるが、このような場合にも処理レシピをコピーすることのできる技術が提案されている（例えば、特許文献２）。
【０００４】
このような技術に関する先行技術文献としては、以下のようなものがある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１３５３９５号公報
【特許文献２】
特開平１１−１３５３９４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したユニット番号は、各基板処理装置に固有のユニット番号であり、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なれば、各基板処理装置間で同一のスペースに異なるユニット番号が付されることとなる。このような状況において、ユニット番号で基板処理装置を管理したのでは、ある基板処理ユニットで異常が発生したときには、各基板処理装置間で異なるユニット番号に基づいてメンテナンスをすべき場所を特定しなければならず、場所の特定に時間を要するとともに、間違いを生じるもととなる。
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合に、基板処理装置をユーザーに分かり易く管理することによって、取り扱いの容易な基板処理システム、基板処理装置、および基板処理システムの管理方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、基板処理ユニットの設置可能スペースが複数箇所に設けられた基板処理装置を複数台有し、前記複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが前記複数台の基板処理装置間で同一である一方、前記複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が前記複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なる基板処理システムであって、前記複数箇所の設置可能スペース相互の識別情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理する管理手段とを備え、前記複数箇所の設置可能スペースに対する前記識別情報の割当てが、前記複数台の基板処理装置について共通のルールでなされていることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記管理手段が、前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置についてのメンテナンスに関する情報を管理することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１に記載の基板処理システムに利用可能な基板処理装置であって、自己の基板処理装置における複数箇所の設置可能スペースに実際に配置されている基板処理ユニットとは無関係に前記複数箇所の設置可能スペースに割り当てられて、前記複数箇所の設置可能スペースを相互に識別する第１の識別情報、を記憶する識別情報記憶手段と、前記識別情報記憶手段に記憶された前記第１の識別情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理する自己装置管理手段とを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項３に記載の基板処理装置であって、前記識別情報記憶手段が、前記第１の識別情報と、自己の基板処理装置において各基板処理ユニットがいずれの設置可能スペースに配置されているかとは無関係に割り当てられ、自己の基板処理装置内の複数の基板処理ユニットを相互に識別する第２の識別情報とを互いに対応させて記憶し、前記自己装置管理手段が、前記識別情報記憶手段に記憶された前記第１と第２の識別情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理することを特徴とする基板処理装置。
【００１２】
また、請求項５の発明は、基板処理ユニットの設置可能スペースが複数箇所に設けられた基板処理装置を複数台有し、前記複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが前記複数台の基板処理装置間で同一である一方、前記複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が前記複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なる基板処理システムの管理方法であって、前記複数台の基板処理装置について共通のルールで付された前記複数箇所の設置可能スペースの識別情報を記憶する第１のステップと、前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理する第２のステップとを備えることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
＜１．基板処理システムの概要＞
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す概念図である。図１に示すように、基板処理システム１は、ホストコンピュータ５００と、複数台の基板処理装置１００，２００と、複数台の露光装置１５０，２５０とを備えて構成される。
【００１５】
ホストコンピュータ５００は、各基板処理装置１００，２００および各露光装置１５０，２５０とは別個に構成され、各基板処理装置１００，２００および各露光装置１５０，２５０と通信経路であるＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）６００で接続されている。したがって、基板処理システム１では、ホストコンピュータ５００、各基板処理装置１００，２００、および各露光装置１５０，２５０は、相互に各種データを送受信し合うことができる。
【００１６】
図２は、基板処理システム１の機能構成を簡単に示すブロック図である。なお、以下では、基板処理装置１００，２００に着目して説明するため、図２には、露光装置１５０，２５０についての記載を省略している。
【００１７】
ホストコンピュータ５００は、コンピュータ本体である情報処理部５１０と、操作部５２０と、出力部である表示部５３０とを備えている。このホストコンピュータ５００は、この基板処理システム１を統括制御するために設けられるものである。
【００１８】
情報処理部５１０は、主にＣＰＵなどで構成される制御部５１１と、各種プログラムやデータを記憶する記憶部５１２と、光ディスク９１やメモリカード９２などの記憶媒体を着装可能な着装部５１３とを備えて構成される。そして、制御部５１１は、記憶部５１２や記憶媒体９１，９２に記憶されるプログラムなどを読み込むことによって、基板処理システム１を統括制御するための機能を実現する。また、記憶部５１２は、基板処理装置１００，２００における基板処理の手順（以下、「処理レシピ」と称する）を示すデータも格納している。
【００１９】
各基板処理装置１００，２００は、それぞれ、制御部ＣＲ１，ＣＲ２を備えており、ホストコンピュータ５００の制御部５１１と制御部ＣＲ１，ＣＲ２との間でＬＡＮ６００を介して各種データを送受信し合う。
【００２０】
＜２．基板処理装置の概要＞
図３および図４は、それぞれ基板処理装置１００および基板処理装置２００の一例を示す斜視図である。なお、基板処理装置１００および基板処理装置２００はほぼ同様な構成をとるため、同様となる部分について同様な符合を付し、重複する説明は省略する。
【００２１】
図３に示す基板処理装置１００および図４に示す基板処理装置２００について以下説明する。
【００２２】
基板処理装置１００，２００は、半導体ウェハ（以下、「基板」と称する）Ｗに一連の処理（本実施例では、塗布処理、現像処理、加熱処理、冷却処理など）を行うための複数の基板処理ユニットを備えている。
【００２３】
図３に示すように、基板処理装置１００には、前面に第１基板処理ユニット領域Ｇ１、第１基板処理ユニット領域Ｇ１に対向する後方側に第２基板処理ユニット領域Ｇ２がそれぞれ設けられている。また、基板処理装置１００の端部（図中左方奥側）には、基板Ｗを多数収納するカセット２０からの基板Ｗの搬出およびカセット２０への基板Ｗの搬入を行うユニットであるインデクサＩＤが設けられている。さらに、第１基板処理ユニット領域Ｇ１と第２基板処理ユニット領域Ｇ２とに挟まれたスペースに、第１基板処理ユニット領域Ｇ１に沿って伸びる搬送領域Ｃが設けられており、この搬送領域Ｃには基板Ｗを搬送するためのユニットである搬送ロボットＴＲが移動自在に配置されている。
【００２４】
また、図４に示すように、基板処理装置２００にも、図３に示す基板処理装置１００と同様に、第１基板処理ユニット領域Ｇ１、第２基板処理ユニット領域Ｇ２、インデクサＩＤ、および搬送ロボットＴＲが設けられている。
【００２５】
この基板処理装置１００，２００では、ともに第１基板処理ユニット領域Ｇ１および第２基板処理ユニット領域Ｇ２に基板Ｗを処理するための複数の基板処理ユニットを設置することができる。具体的には、第１基板処理ユニット領域Ｇ１には、スピンコータおよびスピンデベロッパといった基板処理ユニットを設置可能なスペースが設けられ、第２基板処理ユニット領域Ｇ２には、ホットプレート、クールプレート、および密着強化ユニットといった基板処理ユニットを設置可能なスペースが設けられている。なお、各基板処理ユニットを設置可能なスペースに各基板処理ユニットを設置するか否かはユーザによって任意に選択することができる。
【００２６】
つまり、基板処理装置１００，２００には、それぞれ基板Ｗを処理するため基板処理ユニットを設置することができるスペース（以下、「設置可能スペース」と称する）が複数箇所に設けられており、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間で、複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトがともに同一となっている。言い換えれば、基板処理装置１００，２００は、複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトがともに同一である同様のタイプの基板処理装置（以下、「同タイプの基板処理装置」と称する）となっている。
【００２７】
したがって、基板処理装置１００，２００は、それぞれ基板Ｗを処理するための複数の基板処理ユニットを同様な所定のスペースに配置することができるように、骨組みなどの構造が同様なものとなっている。
【００２８】
インデクサＩＤは、カセット２０から基板Ｗを搬出・搬入する移載ロボット４０を備えている。具体的には、この移載ロボット４０は、カセット２０から基板Ｗを取り出し、搬送ロボットＴＲに基板Ｗを受け渡したり、逆に一連の処理が施された基板Ｗを搬送ロボットＴＲから受け取り、カセット２０に戻す作業を行う。
【００２９】
搬送ロボットＴＲは、基板Ｗをそれぞれ支持するための２本のアームを有する把持部１０（図中では１本のアームのみが見えている）を有する移動体１１を備えている。そして、搬送ロボットＴＲは、第１基板処理ユニット領域Ｇ１および第２基板処理ユニット領域Ｇ２に設けられた各基板処理ユニット間において基板Ｗを搬送する。つまり、搬送ロボットＴＲによって、所定の順序で各基板処理ユニットに基板Ｗを搬送していくことによって、一連の処理が行われる。
【００３０】
次に、第１および第２基板処理ユニット領域Ｇ１，Ｇ２について説明する。
【００３１】
図３に示す基板処理装置１００では、第１基板処理ユニット領域Ｇ１は、レジストの塗布処理などを行うスピンコータＳＣと、現像処理を行うスピンデベロッパＳＤとを備えている。図４に示す基板処理装置２００では、第１基板処理ユニット領域Ｇ１は、スピンコータＳＣを備えているが、スピンデベロッパＳＤとは備えていない。つまり、基板処理装置２００では、スピンデベロッパＳＤを設けていない空の設置可能スペース（以下、「空設置可能スペース」と称する）ＥＭが存在する。したがって、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間で、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの配列が異なっている。すなわち、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が一部異なっている。
【００３２】
また、第２基板処理ユニット領域Ｇ２については、図３および図４に示す基板処理装置１００，２００は、ともに各種熱処理を行うホットプレートＨＰ１〜ＨＰ４と、クールプレートＣＰ１，ＣＰ２と、密着強化ユニットＡＨ１，ＡＨ２とを備えている。
【００３３】
なお、図３および図４には図示が省略されているが、インデクサＩＤの反対側（図面右方手前側）の端部には、基板Ｗを露光装置１５０，２５０との間で受け渡しするインターフェイスユニットが設けられている。本実施例の基板処理装置１００，２００と露光装置１５０，２５０との間の基板Ｗの受け渡しは、インターフェイスユニットに設けられた移動ロボット（図示省略）と搬送ロボットＴＲとが協働することによって実施される。
【００３４】
図３および図４において各基板処理ユニットの符合の後にカッコで示されている番号Ｕ１〜Ｕ１２および番号Ｌ１〜Ｌ１２は、それぞれユニット番号（unit number）およびレイアウト番号（layout number）を示している。なお、ここでは、ユニット番号が１，２，３，・・・の場合は、Ｕ１，Ｕ２，Ｕ３，・・・と示し、レイアウト番号が１，２，３，・・・の場合は、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，・・・と示している。これらの番号は、ホストコンピュータ５００および各基板処理装置１００，２００の制御部ＣＲ１，ＣＲ２で各基板処理装置１００，２００を管理するために使用される番号である。これらの番号を用いた各基板処理装置１００，２００の管理については、後程詳述することとし、まず、ここで言うユニット番号とレイアウト番号がどのようなものであるのかについて説明する。
【００３５】
ユニット番号は、一般的に、各基板処理装置ごとに決まったルールに従って付される基板処理ユニットを識別するための情報の一種である。つまり、ユニット番号は、基板処理装置内の複数の基板処理ユニットを相互に識別するための情報である。例えば、基板処理装置を正面から見た場合に、おおよそ左から順に、手前から順に、下から順に、小さな数字から大きな数字となるようにユニット番号が付される。
【００３６】
図５（ａ）および図５（ｂ）は、基板処理装置１００および基板処理装置２００におけるユニット番号（図中では「ユニットＮｏ．」と示す）およびレイアウト番号（図中では「レイアウトＮｏ．」と示す）の付され方について説明する図である。
【００３７】
図５（ａ）に示すように、例えば、図３に示す基板処理装置１００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、スピンデベロッパＳＤ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、ユニット番号Ｕ１〜Ｕ１２がそれぞれ付される。
【００３８】
また、図５（ｂ）に示すように、例えば、図４に示す基板処理装置２００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、ユニット番号Ｕ１〜Ｕ１１がそれぞれ付される。
【００３９】
そして、ここでは、図５に示すように、図３に示す基板処理装置１００と図４示す基板処理装置２００とを比較した場合、スピンデベロッパＳＤがない分だけその後の基板処理ユニットに付されるユニット番号が１つずつずれて、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間では、同一のスペースに異なるユニット番号が付される。つまり、ユニット番号は、各基板処理装置に固有の番号であり、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なれば、各基板処理装置間で同一のスペースに異なるユニット番号が付されることとなる。すなわち、基板処理装置１００，２００では、各基板処理ユニットが、いずれの設置可能スペースに配置されているかとは無関係に、ユニット番号が割当てられる。
【００４０】
一方、レイアウト番号は本発明の特徴部分に関わるものであり、基板処理装置１００，２００における基板処理ユニットの設置可能スペースを相互に識別する情報（第１の識別情報）である。また、基板処理装置１００，２００では、それぞれ複数箇所の設置可能スペースに対して、共通のルールでレイアウト番号が割当てられている。
【００４１】
一方、図５（ａ）に示すように、例えば、図３に示す基板処理装置１００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、スピンデベロッパＳＤ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、レイアウト番号Ｌ１〜Ｌ１２がそれぞれ付される。
【００４２】
また、図５（ｂ）に示すように、図４に示す基板処理装置２００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、空設置可能スペースＥＭ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、レイアウト番号Ｌ１〜Ｌ１２がそれぞれ付される。
【００４３】
すなわち、これらにおいては、それぞれの基板処理ユニットがどのような基板処理ユニットであるかというユニットの種類に拘わらず、それらが実際に設置されている場所が装置内のいずれのスペースであるかによってレイアウト番号が付されているという、レイアウト内の位置を指標とした番号付与ルールが適用されている。言い換えれば、基板処理装置１００，２００では、レイアウト番号が、それぞれ複数箇所の設置可能スペースに実際に配置されている基板処理ユニットとは無関係に複数箇所の設置可能スペースに割当てられている。
【００４４】
そして、ここでは、図５に示すように、図３に示す基板処理装置１００と図４示す基板処理装置２００とを比較した場合、スピンデベロッパＳＤが設けられていない設置可能スペース（空設置可能スペースＥＭ）にもレイアウト番号（Ｌ４）が付されているため、同タイプの基板処理装置である基板処理装置１００，２００には、同一のスペースに同一のレイアウト番号が付される。つまり、レイアウト番号は、複数台の同タイプの基板処理装置１００，２００が存在する場合に、複数の設置可能スペースを共通のルールで識別するための情報として機能する。
【００４５】
また、図３および図４に示すように、基板処理装置１００，２００のインデクサＩＤが設けられている設置可能スペースの前面側に操作部ＯＰ、表示部ＤＰ、およびスピーカＳＰが設けられている。操作部ＯＰは、基板処理装置１００，２００における各種処理の設定などを入力する部位として機能する。表示部ＤＰは、基板処理装置１００，２００における基板処理の流れを示す情報（以下、「処理レシピ」と称する）に関する各種情報を表示したり、各部の異状を示す警告や情報などメンテナンスに関する情報を表示する部位として機能する。スピーカＳＰは、異状の発生などを警告するための警告音や音声などを出力する部位として機能する。
【００４６】
さらに、図３および図４に示すように、基板処理装置１００および基板処理装置２００のインデクサＩＤが設けられている設置可能スペースの下部には、それぞれ制御部ＣＲ１および制御部ＣＲ２が設けられている。
【００４７】
＜３．基板処理装置の機能構成＞
図６および図７は、それぞれ基板処理装置１００および基板処理装置２００の内部構成を示すブロック図である。なお、図６および図７では、同様となる部分については、同様な符合を付して、重複する説明は省略する。また、各基板処理ユニットには、ユニット番号Ｕ１〜Ｕ１２およびレイアウト番号Ｌ１〜Ｌ１２を付している。
【００４８】
図６に示すように、基板処理装置１００は、主に、制御部ＣＲ１、記憶部１３０、表示部ＤＰ、スピーカＳＰ，操作部ＯＰ、着装部１６０、および各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）を備えて構成される。また、図７に示すように、基板処理装置２００は、主に、制御部ＣＲ２、記憶部１３０、表示部ＤＰ、スピーカＳＰ，操作部ＯＰ、着装部１６０、および各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）を備えて構成される。
【００４９】
制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、主にＣＰＵから構成され、記憶部１３０や記憶媒体１９１，１９２内に格納されるプログラムなどが制御部ＣＲ１，ＣＲ２のＣＰＵに読み込まれることによって、制御部ＣＲ１，ＣＲ２における各種制御など各種機能が実現される。そして、制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、それぞれ基板処理装置１００，２００内の各部とデータ交信可能に接続されており、それぞれ基板処理装置１００，２００内の各部を統括制御する。
【００５０】
記憶部１３０は、各種データやプログラムなどを記憶する記憶媒体であり、例えば、ハードディスクなど不揮発性の記憶媒体を備えて構成される。また、記憶部１３０は、基板処理装置１００，２００における処理レシピを示すデータも格納している。
【００５１】
操作部ＯＰは、基板処理装置１００，２００における各種処理の設定などを入力する部位であり、例えば、液晶のタッチパネルや各種ボタンなどを備えて構成される。
【００５２】
表示部ＤＰは、基板処理装置１００，２００における基板処理の流れを示す処理レシピに関する各種情報を表示したり、各部の異状を示す警告や情報などメンテナンスに関する情報を表示する部位であり、例えば、液晶ディスプレイなどを備えて構成される。
【００５３】
スピーカＳＰは、基板処理装置１００，２００における異状の発生などをオペレータなどに警告するための警告音や音声を出力する部位であり、一般的に知られるスピーカなどを備えて構成される。
【００５４】
着装部１６０は、光ディスク１９１やメモリカード１９２などの記憶媒体を着装可能な部位である。
【００５５】
各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）における基板処理については、上述したため、ここでは省略するが、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の制御の下で、各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）の動作が制御される。
【００５６】
また、図示を省略しているが、各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）には、各種モータなどの駆動部分や各種センサなどが備えられている。例えば、クールプレートＣＰ１，ＣＰ２、ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ４、および密着強化ユニットＡＨ１，ＡＨ２には温度計などのセンサが備えられている。また、スピンコータＳＣおよびスピンデベロッパＳＤにはモータの回転数を計測するセンサ、およびレジストや薬液の吐出量を計測するセンサなどが備えられている。さらに、インデクサＩＤには、例えば、移載ロボット４０の駆動角度を検知するエンコーダが備えられるとともに、搬送ロボットＴＲにも搬送ロボットＴＲの駆動角度を検知するエンコーダなどが備えられている。
【００５７】
上述した各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）にそれぞれ備えられた各センサは、制御部ＣＲ１，ＣＲ２に各種計測値などを送信する。そして、制御部ＣＲ１，ＣＲ２では、どのセンサからの計測値などの入力が、どの基板処理ユニットからの入力であるのかについて、レイアウト番号を用いて管理している。
【００５８】
記憶部１３０は、どのセンサがどの基板処理ユニットに設けられているのかについて、すなわち、各センサと各基板処理ユニットとを関連づけたデータベース（以下、「データベースＤＢ１」と称する）を記憶している。そして、データベースＤＢ１では、各基板処理ユニットは基板処理ユニットのカテゴリとレイアウト番号とを用いて表される。つまり、記憶部１３０が、基板処理装置１００，２００の複数の設置可能スペースを識別するために、第１の識別情報としてのレイアウト番号と、各センサとを関連付けたデータベースＤＢ１を記憶している。
【００５９】
なお、ここで、基板処理ユニットのカテゴリは、例えば、インデクサ、ホットプレート、クールプレート、スピンコータ、スピンデベロッパ、密着強化ユニットに対しては、それぞれ、ＩＤ、ＨＰ、ＣＰ、ＳＣ、ＳＤ、ＡＨなどといったものとなる。
【００６０】
また、制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、各基板処理ユニットに設けられた各センサから各種計測値などが入力されると、データベースＤＢ１に基づいて、どのカテゴリの基板処理ユニットおよびどのレイアウト番号が付された基板処理ユニットからの入力であるのかを認識することができる。
【００６１】
また、制御部ＣＲ１，ＣＲ２では、例えば、各センサから入力された各種計測値がどのような値となれば、異状が発生しているのか、さらに、どのような値となれば、どのような種類の異状が発生しているのかを認識することもできる。なお、異状の発生および異状の種類の認識については、例えば、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶される各種プログラムやデータに基づいて動作することによって実現することができる。
【００６２】
そして、制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、基板処理ユニットの異状の発生および異状の種類を認識すると、表示部ＤＰに警告画面を表示させるとともに、異状の発生をオペレータなどに知らせるために、スピーカＳＰから警告音や、異状の状況に合わせた音声などを出力させるように制御する。
【００６３】
例えば、制御部ＣＲ１が、ホットプレートＨＰ１の温度計から入力された温度に基づいて、ホットプレートＨＰ１の温度が設定された温度範囲よりも高いと認識すると、レイアウト番号がＬ６およびカテゴリがＨＰの基板処理ユニットにおいて、過昇温の状態にあることを認識することができる。図８は、このときに表示部ＤＰに表示される異状を知らせるための警告画面を例示する図である。図８に示すように、警告画面には、例えば、上から順に、レイアウト番号の表示ＬＤ、異状が発生したユニットのカテゴリの表示（図中では「ホットプレート（ＨＰ）」）ＵＤ、および異状の内容の表示（図中では「過昇温」）ＴＤが示される。
【００６４】
このように、制御部ＣＲ１，ＣＲ２では、記憶部１３０内のデータベースＤＢ１に基づいて、それぞれ基板処理装置１００，２００を管理する。言い換えれば、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が、記憶部１３０に記憶されるデータベースＤＢ１に記憶される第１の識別情報としてのレイアウト番号に基づいて、それぞれ基板処理装置１００，２００の異状などのメンテナンスに関する情報を管理する手段として機能する。
【００６５】
なお、従来では、上述したユニット番号で基板処理装置を管理している場合には、ある基板処理ユニットで異常が発生したときには、各基板処理装置間で異なるユニット番号に基づいてメンテナンスをすべき場所を特定するため、時間を要するとともに、場所の特定に間違いを生じるもととなっていた。
【００６６】
仮に、本実施形態において、ユニット番号によって場所を特定する場合を想定すると、例えば、ホットプレートＨＰ１で異状が発生した場合、基板処理装置１００では、異状が発生した基板処理ユニットのユニット番号がＵ６となり、基板処理装置２００では、異状が発生した基板処理ユニットのユニット番号がＵ５となる。したがって、各基板処理装置間において、同じ場所に異なるユニット番号に付されることによって、メンテナンスをすべき場所を特定する場合などにおいて、時間を要する結果となる。特に、基板処理装置に設けられる基板処理ユニットが非常に多い場合は、特に混乱を招くとともに、場所の特定に長時間を要するという問題が顕著となる。
【００６７】
しかし、本実施形態では、レイアウト番号で基板処理装置１００，２００の異状などのメンテナンスに関する情報を管理している。そして、同タイプの基板処理装置１００，２００では、同一の設置可能スペースについては、同じレイアウト番号が付される。このため、例えば、ホットプレートＨＰ１で異状が発生したとすると、基板処理装置１００では、異状が発生した基板処理ユニットのレイアウト番号がＬ６となり、基板処理装置２００でも、異状が発生した基板処理ユニットのレイアウト番号がＬ６となる。
【００６８】
そして、例えば、異状に関する情報を示す警告画面が表示部ＤＰに表示され、その警告画面でどのレイアウト番号の基板処理ユニットにおいて異状が発生したのかを示すことによって、オペレータは容易にどの場所で異状が発生したのかを把握することができる。つまり、メンテナンスを要する場所を容易に把握することができる。
【００６９】
また、ユニット番号で基板処理ユニットを特定する方法では、同タイプの基板処理装置であっても、基板処理ユニットの配置状況が異なると、各基板処理装置間で、同一の場所であっても異なるユニット番号が付されることとなるため、基板処理ユニットの配置状況が変わる度に、基板処理装置ごとに設計図面などをつくり直す必要があり大変な労力が必要となる。また、設計図面を確実につくり直さなければ、配線・配管や組立時においても、どのユニット番号の基板処理ユニットがどのスペースに設置される基板処理ユニットであるのかを特定することが困難であったため、配線・配管の接続位置や組立位置を特定することが困難であった。
【００７０】
このような事情に対して、レイアウト番号で基板処理ユニットを設置する設置可能スペースを特定することによって、同タイプの基板処理装置であれば、各基板処理装置間で、同一の場所に異なるレイアウト番号が付されることがないため、基板処理ユニットの配置状況が変わっても、設計図面を大幅に変更する必要性がなくなる。さらに、配線・配管や組立時においても、どの設置可能スペースにどの基板処理ユニットが設置されるのかをレイアウト番号で容易に特定することができるため、配線・配管の接続位置や組立位置を容易に特定することができる。
【００７１】
また、レイアウト番号で基板処理ユニットを設置する設置可能スペースを特定することによって、配線・配管の接続位置をレイアウト番号を含む識別情報などで特定することができるため、配線ケーブルの接続端子や配管継手などに予め決まったレイアウト番号を付することができる。その結果、同タイプの基板処理装置に対しては、同じレイアウト番号を付した配線ケーブルや配管を使用することができるため、予め、大量の配線ケーブルや配管を製造しておいて、在庫を用意しておくこともできる。このように、予め配線ケーブルや配管の在庫を用意しておくことによって、受注時には既に配線ケーブルや配管が出来上がっているため、受注から基板処理装置を納入するまでの期限が短い場合にも容易に対応することが可能となる。
【００７２】
＜４．処理レシピについて＞
図９および図１０は、記憶部５１２および記憶部１３０に記憶される基板処理装置１００，２００に対する処理レシピを示すデータの構造を説明するための図である。そして、処理レシピは、図９に示すフローレシピデータ７０と、図１０に示す処理データライブラリ７１〜７５とを有している。
【００７３】
図１０に示す処理データライブラリ７１〜７５は、基板処理ユニットの各カテゴリ毎の処理条件を示すデータ（ユニット処理データ）を格納している。本実施形態では、基板処理装置１００，２００の５つのカテゴリＳＣ，ＳＤ，ＨＰ，ＣＰ，ＡＨに対応する５つの処理データライブラリ７１〜７５が準備されている。そして、以下では、各処理データライブラリ７１〜７５を、それぞれ「ＳＣライブラリ７１」、「ＳＤライブラリ７２」、「ＨＰライブラリ７３」、「ＣＰライブラリ７４」、および「ＡＨライブラリ７５」と呼ぶことにする。
【００７４】
ＳＣライブラリ７１は、スピンコータＳＣのための９９通りの処理条件（例えば、回転数、処理時間、レジスト吐出量など）を示すデータを有している。ＳＤライブラリ７２は、スピンデベロッパＳＤのための９９通りの処理条件（例えば、回転数、処理時間、薬液吐出量など）を示すデータを有している。ＨＰライブラリ７３とＣＰライブラリ７４とＡＨライブラリ７５は、ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ４とクールプレートＣＰ１，ＣＰ２と密着強化ユニットＡＨ１，ＡＨ２のための９９通りの処理条件（プレート温度、処理条件など）をそれぞれ示すデータを有している。
【００７５】
図９に示すフローレシピデータ７０は、フロー番号（図中では「フローＮｏ．」と示す）と、基板処理ユニットを識別するための情報（以下、「処理ユニット情報」と称する）と、処理データ番号（図中では「処理データＮｏ．」と示す）とを示すデータを有している。フローＮｏ．は、基板処理装置１００，２００内の基板Ｗの搬送の順序を示している。また、処理ユニット情報は、基板Ｗの搬送先の基板処理ユニットのユニット番号と、その基板処理ユニットのカテゴリとを示す情報を含んでいる。
【００７６】
処理データ番号は、処理データライブラリ７１〜７５の中の一つの処理データを示している。例えば、「ＳＣＬ１」はＳＣライブラリ７１の１番目の処理データを示しており、「ＨＰＬ１」はＨＰライブラリ７３の１番目の処理データを示している。なお、フローレシピデータ７０には、９９種類の異なる処理フローを規定したフローレシピデータを登録することができる。
【００７７】
そして、図９の最上部のフローレシピデータに従って処理を行う場合には、インデクサＩＤ、ホットプレートＨＰ、クールプレートＣＰ、スピンコータＳＣ、ホットプレートＨＰ、クールプレートＣＰ、インデクサＩＤの順に基板Ｗが搬送されて処理される。フロー番号が３（３番目の搬送先ユニット）におけるユニット番号はＵ５であり、これは第１のクールプレートＣＰ１を意味している。また、フロー番号が４におけるユニット番号はＵ３であり、これはスピンコータＳＣを意味している。そして、ユニット番号は、基板処理装置１００，２００ごとの基板処理ユニットに関連付けられており、処理レシピを複数台の基板処理装置１００，２００の間でコピーする際に使用される。
【００７８】
なお、フロー番号と処理ユニット情報は、基板Ｗを複数の基板処理ユニットに順次搬送していく順序を示す搬送順序情報に相当し、また、処理データ番号と処理データライブラリ７１〜７５は、各基板処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報に相当する。
【００７９】
そして、本実施形態では、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の制御の下で、特許文献２に示されるような公知の方法によって、ユニット番号を用いて、複数台の基板処理装置１００，２００の間において、処理レシピのコピー（以下、「レシピコピー」と称する）が行われる。
【００８０】
図１１および図１２は、レシピコピーの前後におけるフローレシピデータの表示について説明する図である。図１１および図１２では、基板処理装置１００で使用される処理レシピを基板処理装置２００にコピーする場合の一例について示している。ここでは、図１１（ａ）および図１２（ａ）が、基板処理装置１００のフローレシピデータを示しており、図１１（ｂ）および図１２（ｂ）が、基板処理装置２００のフローレシピデータを示している。また、図１１ではユニット番号を用いて示した処理ユニット情報を例示しており、図１２ではレイアウト番号を用いて示した処理ユニット情報を例示している。
【００８１】
処理ユニット情報について、図１１（ａ）に示すように、ユニット番号がＵ５以上で示されていたものが、コピー後は、図１１（ｂ）に示すように、ユニット番号が１つ小さく表示されることとなる。具体的には、図１１（ａ）および図１１（ｂ）間では、フロー番号２，３，５，６において、ユニット番号に相違点が生じる。これは、図５にも示したように、基板処理装置１００ではスピンデベロッパＳＤが設置されているが、基板処理装置２００ではスピンデベロッパＳＤが設置されていないため、基板処理装置１００，２００間で、Ｕ４以上のユニット番号については、１つずつ番号がずれるためである。
【００８２】
ここで、仮に、処理ユニット情報にユニット番号を用いた場合は、レシピコピーの際に、図１１（ａ）に示すようなフローレシピデータが基板処理装置１００の表示部ＤＰに表示され、一方、図１１（ｂ）に示すようなフローレシピデータが基板処理装置２００の表示部ＤＰに表示されるとすると、基板処理装置１００，２００間で、処理ユニット情報のユニット番号が異なるため、オペレータは、フローレシピデータが変化したように感じ、混乱を招くこととなる。
【００８３】
これに対して、本実施形態おいては、基板処理装置１００，２００の記憶部１３０に、それぞれ図５（ａ）および図５（ｂ）に示すようなユニット番号（第２の識別情報）とレイアウト番号とを互いに対応させたデータベース（以下、「データベースＤＢ２」と称する）を記憶している。そして、図１２に示すように、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の制御の下で、フローレシピデータを表示部ＤＰに表示する際には、データベースＤＢ２に基づいて、処理ユニット情報をユニット番号からレイアウト番号に変換して表示する。
【００８４】
つまり、基板処理装置１００，２００間におけるレシピコピーは、特許文献２に示されたユニット番号を用いた公知の方法などによって行われる。しかし、基板処理装置１００，２００の表示部ＤＰに表示する際には、フローレシピデータをレイアウト番号を用いて表示する。言い換えれば、基板処理装置１００，２００では、フローレシピデータを含む処理レシピをレイアウト番号に基づいて管理している。
【００８５】
また、ここでは、基板処理装置１００，２００のそれぞれでは、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が、レシピコピーなどの処理レシピに関するデータ管理をユニット番号に基づいて可能とする一方、フローレシピデータなどの処理レシピの表示部ＤＰへの表示をレイアウト番号に基づいて行う。つまり、基板処理装置１００，２００のそれぞれにおいて、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶されたユニット番号とレイアウト番号とに基づいて、自己の基板処理装置を管理する手段としても機能する。
【００８６】
よって、図１２に示すように、同タイプの基板処理装置１００，２００間において、同一の設置可能スペースに設置された基板処理ユニットについては同一のレイアウト番号が付されるため、基板処理ユニットの数が異なるなど配置状況が異なっても、レシピコピー前後において、処理ユニット情報に含まれるレイアウト番号が変化することがない。その結果、オペレータが、フローレシピデータが変化したように感じて、混乱を招くようなこともなくなる。
【００８７】
そして、基板処理装置１００，２００のそれぞれにおいて、レイアウト番号とユニット番号とに基づいて自己の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のユニットの種類に対応させたレシピコピーなどの管理と、スペースに対応させたメンテナンスや処理レシピなどの管理の双方が可能となるため、基板処理装置の取り扱いが容易となる。
【００８８】
以上のように、本実施形態に係る基板処理システム１では、基板処理ユニットを設置可能な複数箇所の設置可能スペースが設けられた複数台の基板処理装置１００，２００を有する。そして、複数台の基板処理装置１００，２００間で、複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが同一である一方、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が一部で異なる。さらに、複数箇所の設置可能スペースを相互に識別するために、複数台の基板処理装置１００．２００について共通のルールで複数箇所の設置可能スペースに対してレイアウト番号を割り当て、そのレイアウト番号に基づいて、基板処理装置１００，２００のメンテナンスや処理レシピに関する情報などの各種管理などを行う。このような構成とすることによって、基板処理装置１００，２００内のスペースに対応させて各種管理などを行うことが可能となるため、各基板処理装置１００，２００間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、レイアウト番号に基づいて、メンテナンスに関する情報や処理レシピに関する情報などの表示が行われるなど、基板処理装置１００，２００がユーザーに分かり易く管理される。その結果、装置のメンテナンスなどを容易に行うことができ、取り扱いの容易な基板処理システム１を提供することができる。
【００８９】
＜５．変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。
【００９０】
◎例えば、上述した実施形態では、基板Ｗに対して直接処理を施す基板処理ユニットを設置する設置可能スペースに対してレイアウト番号を付したが、これに限られるものではなく、薬液を設置するキャビネット（以下、「薬液キャビネット」と称する）など、基板Ｗを直接処理するユニット以外のユニットなどが設置されるスペースにもレイアウト番号を付すことによって、レイアウト番号に基づいて、薬液キャビネットのメンテナンスに関する情報などを管理するようにしても良い。
【００９１】
このような構成とすることによって、従来では、基板処理ユニット、すなわちユニット番号に関連付けられて管理されていた薬液キャビネットなどについても、基板処理装置１００，２００のスペースに対応させて、メンテナンスに関する情報などの管理を行うことができる。その結果、各基板処理装置１００，２００の間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、メンテナンスが必要な薬液キャビネットの場所を分かり易く管理することができる。
【００９２】
◎また、上述した実施形態では、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間において、スピンデベロッパＳＤの有無によって、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が異なったが、これに限られるものではなく、例えば、ホットプレートＨＰ１の有無によって、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が異なるようなものであっても良い。すなわち、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なっているものであれば良い。
【００９３】
◎また、上述した実施形態では、基板処理装置１００，２００の制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶されるデータベースＤＢ１に基づいて、それぞれ基板処理装置１００，２００のメンテナンスに関する情報を管理したが、これに限られるものではなく、例えば、制御部ＣＲ１，ＣＲ２からＬＡＮ６００を介して、各基板処理ユニットのセンサからの各種計測値などをホストコンピュータ５００に送信し、記憶部５１２にデータベースＤＢ１を備えるようにして、ホストコンピュータ５００の制御部５１１が、制御部ＣＲ１，ＣＲ２と同様にして、基板処理装置１００，２００のメンテナンスに関する情報を管理するようにしても良い。そして、このとき、ホストコンピュータ５００の表示部５３０にメンテナンスに関する情報を表示するようにしても良い。
【００９４】
なお、ホストコンピュータ５００は、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の双方からＬＡＮ６００を介して、各センサからの各種計測値などを得ることができるため、基板処理装置１００，２００のうちいずれか一方、または両方ともについて、レイアウト番号に基づいて、メンテナンスに関する情報を管理および表示するようにしても良い。
【００９５】
したがって、複数台の基板処理装置１００，２００を１箇所で一括管理する場合などには、同タイプの基板処理装置であっても各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なると、同一のスペースに異なる番号が付されるユニット番号でメンテナンスに関する情報を管理したのでは、メンテナンスをすべき場所などを特定する際に、特に混乱を招き易い。これに対して、同タイプの基板処理装置１００，２００であれば各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なっても同一のスペースに同一の番号が付されるレイアウト番号でメンテナンスに関する情報を管理すれば、メンテナンスをすべき場所の特定が極めて容易となる。
【００９６】
◎また、上述した実施形態では、基板処理装置１００，２００の制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶されるデータベースＤＢ２に基づいて、基板処理装置１００，２００の処理レシピに関する情報を管理したが、これに限られるものではなく、例えば、ホストコンピュータ５００の記憶部５１２においてデータベースＤＢ２を記憶し、ホストコンピュータ５００の制御部５１１が、データベースＤＢ２に基づいて、基板処理装置１００，２００の処理レシピのフローレシピデータを表示部５３０に表示するようにしても良い。このとき、ホストコンピュータ５００の制御部５１１が、基板処理装置１００，２００のうちいずれか一方、または両方ともについて、データベースＤＢ２、すなわち、レイアウト番号に基づいて、フローレシピデータを表示部５３０に表示するようにしても良い。
【００９７】
したがって、複数台の基板処理装置を１箇所で一括管理する場合などには、同タイプの基板処理装置であっても各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なると、同一のスペースに異なる番号が付されるユニット番号で処理レシピに関する情報を管理したのでは、処理レシピをコピーする際に、フローレシピデータが変化したとの混乱を招き易い。これに対して、同タイプの基板処理装置１００，２００であれば各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なっても、同一のスペースに同一の番号が付されるレイアウト番号でフローレシピデータを管理および表示すれば、オペレータの混乱を誘発したりすることもない。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１および請求項２の発明では、基板処理ユニットを設置可能な複数箇所のスペースが設けられた基板処理装置を複数台有し、当該複数台の基板処理装置間で、複数箇所のスペースの空間的レイアウトが同一である一方、複数箇所のスペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が少なくとも一部で異なる場合、複数箇所のスペースを相互に識別するために複数台の基板処理装置について共通のルールで複数箇所のスペースに対して割当てられる情報に基づいて、複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のスペースに対応させて各種管理などを行うことが可能となるため、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、基板処理装置をユーザーに分かり易く管理することにより、取り扱いの容易な基板処理システムを提供することができる。
【００９９】
特に、請求項２の発明では、複数箇所のスペースを相互に識別するために、複数台の基板処理装置について共通のルールで複数箇所のスペースに対して割当てられる情報に基づいて、基板処理装置についてのメンテナンスに関する情報を管理することによって、基板処理装置のスペースに対応づけてメンテナンスに関する情報を管理することができるため、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、装置のメンテナンスなどを容易に行うことができる。
【０１００】
また、請求項３および請求項４の発明では、自己の基板処理装置における基板処理ユニットを設置可能な複数箇所のスペースに対して実際に配置される処理ユニットとは無関係に、複数箇所のスペースを相互に識別するために複数箇所のスペースに対して割り当てられる情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のスペースに対応させて各種管理などを行うことが可能となるため、基板処理装置をユーザーに分かり易く管理することにより、基板処理装置の取り扱いを容易とすることができる。
【０１０１】
特に、請求項４の発明では、自己の基板処理装置における基板処理ユニットを設置可能な複数箇所のスペースに対して実際に配置される処理ユニットとは無関係に、複数箇所のスペースを相互に識別するために複数箇所のスペースに対して割り当てられる情報と、自己の基板処理装置における各基板処理ユニットがいずれのスペースに配置されているかとは無関係に、自己の基板処理装置内の複数の基板処理ユニットを相互に識別するために割り当てられる情報とに基づいて、自己の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のユニットの種類に対応させた管理とスペースに対応させた管理の双方が可能となるため、取り扱いが容易な基板処理装置とすることができる。
【０１０２】
また、請求項５の発明では、請求項１と同様な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す概念図である。
【図２】 基板処理システムの機能構成を示すブロック図である。
【図３】 基板処理装置の一例を示す斜視図である。
【図４】 基板処理装置の一例を示す斜視図である。
【図５】 ユニット番号およびレイアウト番号の付され方について説明する図である。
【図６】 基板処理装置の内部構成を示すブロック図である。
【図７】 基板処理装置の内部構成を示すブロック図である。
【図８】 異状を警告する警告画面を例示する図である。
【図９】 フローレシピデータとユニット処理データとを説明するための図である。
【図１０】 フローレシピデータとユニット処理データとを説明するための図である。
【図１１】 レシピコピー後におけるフローレシピの表示について説明する図である。
【図１２】 レシピコピー後におけるフローレシピの表示について説明する図である。
【符号の説明】
１ 基板処理システム
１００，２００ 基板処理装置
１３０，５１２ 記憶部（記憶手段，識別情報記憶手段）
５１１ 制御部（管理手段）
５３０，ＤＰ 表示部
ＣＲ１，ＣＲ２ 制御部（管理手段，自己装置管理手段）
Ｌ１〜Ｌ１２ レイアウト番号（第１の識別情報）
Ｕ１〜Ｕ１２ ユニット番号（第２の識別情報）
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数台の基板処理装置を有する基板処理システムにおいて基板処理装置を管理する技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体ウェハなどの基板の処理を行う基板処理システムは、複数台の基板処理装置を備えて構成されており、各基板処理装置は、レジストの塗布や基板の洗浄、熱処理などを行う複数の基板処理ユニットを有している。各基板処理装置においては、各基板処理ユニットに基板を搬送する順序を示す搬送順序情報と、各基板処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報とを規定する処理レシピが用いられる。搬送順序情報には、各基板処理ユニットを識別するために、各基板処理装置の各基板処理ユニットに対して人為的に付された固有のユニット番号が使用されている（例えば、特許文献１）。
【０００３】
ところで、このような基板処理システムにおいては、各基板処理装置間で処理レシピをコピーして利用するものがある。そして、基板処理システムの各基板処理装置間では、基板処理ユニットの台数や配列などの配置状況が異なる場合があるが、このような場合にも処理レシピをコピーすることのできる技術が提案されている（例えば、特許文献２）。
【０００４】
このような技術に関する先行技術文献としては、以下のようなものがある。
【０００５】
【特許文献１】
特開平１１−１３５３９５号公報
【特許文献２】
特開平１１−１３５３９４号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述したユニット番号は、各基板処理装置に固有のユニット番号であり、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なれば、各基板処理装置間で同一のスペースに異なるユニット番号が付されることとなる。このような状況において、ユニット番号で基板処理装置を管理したのでは、ある基板処理ユニットで異常が発生したときには、各基板処理装置間で異なるユニット番号に基づいてメンテナンスをすべき場所を特定しなければならず、場所の特定に時間を要するとともに、間違いを生じるもととなる。
【０００７】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合に、基板処理装置をユーザーに分かり易く管理することによって、取り扱いの容易な基板処理システム、基板処理装置、および基板処理システムの管理方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上記の課題を解決するために、請求項１の発明は、基板処理ユニットの設置可能スペースが複数箇所に設けられた基板処理装置を複数台有し、前記複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが前記複数台の基板処理装置間で同一である一方、前記複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が前記複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なる基板処理システムであって、前記複数箇所の設置可能スペース相互の識別情報を記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理する管理手段とを備え、前記複数箇所の設置可能スペースに対する前記識別情報の割当てが、前記複数台の基板処理装置について共通のルールでなされていることを特徴とする。
【０００９】
また、請求項２の発明は、請求項１に記載の基板処理システムであって、前記管理手段が、前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置についてのメンテナンスに関する情報を管理することを特徴とする。
【００１０】
また、請求項３の発明は、請求項１に記載の基板処理システムに利用可能な基板処理装置であって、自己の基板処理装置における複数箇所の設置可能スペースに実際に配置されている基板処理ユニットとは無関係に前記複数箇所の設置可能スペースに割り当てられて、前記複数箇所の設置可能スペースを相互に識別する第１の識別情報、を記憶する識別情報記憶手段と、前記識別情報記憶手段に記憶された前記第１の識別情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理する自己装置管理手段とを備えることを特徴とする。
【００１１】
また、請求項４の発明は、請求項３に記載の基板処理装置であって、前記識別情報記憶手段が、前記第１の識別情報と、自己の基板処理装置において各基板処理ユニットがいずれの設置可能スペースに配置されているかとは無関係に割り当てられ、自己の基板処理装置内の複数の基板処理ユニットを相互に識別する第２の識別情報とを互いに対応させて記憶し、前記自己装置管理手段が、前記識別情報記憶手段に記憶された前記第１と第２の識別情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理することを特徴とする基板処理装置。
【００１２】
また、請求項５の発明は、基板処理ユニットの設置可能スペースが複数箇所に設けられた基板処理装置を複数台有し、前記複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが前記複数台の基板処理装置間で同一である一方、前記複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が前記複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なる基板処理システムの管理方法であって、前記複数台の基板処理装置について共通のルールで付された前記複数箇所の設置可能スペースの識別情報を記憶する第１のステップと、前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理する第２のステップとを備えることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１４】
＜１．基板処理システムの概要＞
図１は、本発明の実施形態に係る基板処理システム１の構成を示す概念図である。図１に示すように、基板処理システム１は、ホストコンピュータ５００と、複数台の基板処理装置１００，２００と、複数台の露光装置１５０，２５０とを備えて構成される。
【００１５】
ホストコンピュータ５００は、各基板処理装置１００，２００および各露光装置１５０，２５０とは別個に構成され、各基板処理装置１００，２００および各露光装置１５０，２５０と通信経路であるＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）６００で接続されている。したがって、基板処理システム１では、ホストコンピュータ５００、各基板処理装置１００，２００、および各露光装置１５０，２５０は、相互に各種データを送受信し合うことができる。
【００１６】
図２は、基板処理システム１の機能構成を簡単に示すブロック図である。なお、以下では、基板処理装置１００，２００に着目して説明するため、図２には、露光装置１５０，２５０についての記載を省略している。
【００１７】
ホストコンピュータ５００は、コンピュータ本体である情報処理部５１０と、操作部５２０と、出力部である表示部５３０とを備えている。このホストコンピュータ５００は、この基板処理システム１を統括制御するために設けられるものである。
【００１８】
情報処理部５１０は、主にＣＰＵなどで構成される制御部５１１と、各種プログラムやデータを記憶する記憶部５１２と、光ディスク９１やメモリカード９２などの記憶媒体を着装可能な着装部５１３とを備えて構成される。そして、制御部５１１は、記憶部５１２や記憶媒体９１，９２に記憶されるプログラムなどを読み込むことによって、基板処理システム１を統括制御するための機能を実現する。また、記憶部５１２は、基板処理装置１００，２００における基板処理の手順（以下、「処理レシピ」と称する）を示すデータも格納している。
【００１９】
各基板処理装置１００，２００は、それぞれ、制御部ＣＲ１，ＣＲ２を備えており、ホストコンピュータ５００の制御部５１１と制御部ＣＲ１，ＣＲ２との間でＬＡＮ６００を介して各種データを送受信し合う。
【００２０】
＜２．基板処理装置の概要＞
図３および図４は、それぞれ基板処理装置１００および基板処理装置２００の一例を示す斜視図である。なお、基板処理装置１００および基板処理装置２００はほぼ同様な構成をとるため、同様となる部分について同様な符合を付し、重複する説明は省略する。
【００２１】
図３に示す基板処理装置１００および図４に示す基板処理装置２００について以下説明する。
【００２２】
基板処理装置１００，２００は、半導体ウェハ（以下、「基板」と称する）Ｗに一連の処理（本実施例では、塗布処理、現像処理、加熱処理、冷却処理など）を行うための複数の基板処理ユニットを備えている。
【００２３】
図３に示すように、基板処理装置１００には、前面に第１基板処理ユニット領域Ｇ１、第１基板処理ユニット領域Ｇ１に対向する後方側に第２基板処理ユニット領域Ｇ２がそれぞれ設けられている。また、基板処理装置１００の端部（図中左方奥側）には、基板Ｗを多数収納するカセット２０からの基板Ｗの搬出およびカセット２０への基板Ｗの搬入を行うユニットであるインデクサＩＤが設けられている。さらに、第１基板処理ユニット領域Ｇ１と第２基板処理ユニット領域Ｇ２とに挟まれたスペースに、第１基板処理ユニット領域Ｇ１に沿って伸びる搬送領域Ｃが設けられており、この搬送領域Ｃには基板Ｗを搬送するためのユニットである搬送ロボットＴＲが移動自在に配置されている。
【００２４】
また、図４に示すように、基板処理装置２００にも、図３に示す基板処理装置１００と同様に、第１基板処理ユニット領域Ｇ１、第２基板処理ユニット領域Ｇ２、インデクサＩＤ、および搬送ロボットＴＲが設けられている。
【００２５】
この基板処理装置１００，２００では、ともに第１基板処理ユニット領域Ｇ１および第２基板処理ユニット領域Ｇ２に基板Ｗを処理するための複数の基板処理ユニットを設置することができる。具体的には、第１基板処理ユニット領域Ｇ１には、スピンコータおよびスピンデベロッパといった基板処理ユニットを設置可能なスペースが設けられ、第２基板処理ユニット領域Ｇ２には、ホットプレート、クールプレート、および密着強化ユニットといった基板処理ユニットを設置可能なスペースが設けられている。なお、各基板処理ユニットを設置可能なスペースに各基板処理ユニットを設置するか否かはユーザによって任意に選択することができる。
【００２６】
つまり、基板処理装置１００，２００には、それぞれ基板Ｗを処理するため基板処理ユニットを設置することができるスペース（以下、「設置可能スペース」と称する）が複数箇所に設けられており、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間で、複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトがともに同一となっている。言い換えれば、基板処理装置１００，２００は、複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトがともに同一である同様のタイプの基板処理装置（以下、「同タイプの基板処理装置」と称する）となっている。
【００２７】
したがって、基板処理装置１００，２００は、それぞれ基板Ｗを処理するための複数の基板処理ユニットを同様な所定のスペースに配置することができるように、骨組みなどの構造が同様なものとなっている。
【００２８】
インデクサＩＤは、カセット２０から基板Ｗを搬出・搬入する移載ロボット４０を備えている。具体的には、この移載ロボット４０は、カセット２０から基板Ｗを取り出し、搬送ロボットＴＲに基板Ｗを受け渡したり、逆に一連の処理が施された基板Ｗを搬送ロボットＴＲから受け取り、カセット２０に戻す作業を行う。
【００２９】
搬送ロボットＴＲは、基板Ｗをそれぞれ支持するための２本のアームを有する把持部１０（図中では１本のアームのみが見えている）を有する移動体１１を備えている。そして、搬送ロボットＴＲは、第１基板処理ユニット領域Ｇ１および第２基板処理ユニット領域Ｇ２に設けられた各基板処理ユニット間において基板Ｗを搬送する。つまり、搬送ロボットＴＲによって、所定の順序で各基板処理ユニットに基板Ｗを搬送していくことによって、一連の処理が行われる。
【００３０】
次に、第１および第２基板処理ユニット領域Ｇ１，Ｇ２について説明する。
【００３１】
図３に示す基板処理装置１００では、第１基板処理ユニット領域Ｇ１は、レジストの塗布処理などを行うスピンコータＳＣと、現像処理を行うスピンデベロッパＳＤとを備えている。図４に示す基板処理装置２００では、第１基板処理ユニット領域Ｇ１は、スピンコータＳＣを備えているが、スピンデベロッパＳＤとは備えていない。つまり、基板処理装置２００では、スピンデベロッパＳＤを設けていない空の設置可能スペース（以下、「空設置可能スペース」と称する）ＥＭが存在する。したがって、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間で、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの配列が異なっている。すなわち、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が一部異なっている。
【００３２】
また、第２基板処理ユニット領域Ｇ２については、図３および図４に示す基板処理装置１００，２００は、ともに各種熱処理を行うホットプレートＨＰ１〜ＨＰ４と、クールプレートＣＰ１，ＣＰ２と、密着強化ユニットＡＨ１，ＡＨ２とを備えている。
【００３３】
なお、図３および図４には図示が省略されているが、インデクサＩＤの反対側（図面右方手前側）の端部には、基板Ｗを露光装置１５０，２５０との間で受け渡しするインターフェイスユニットが設けられている。本実施例の基板処理装置１００，２００と露光装置１５０，２５０との間の基板Ｗの受け渡しは、インターフェイスユニットに設けられた移動ロボット（図示省略）と搬送ロボットＴＲとが協働することによって実施される。
【００３４】
図３および図４において各基板処理ユニットの符合の後にカッコで示されている番号Ｕ１〜Ｕ１２および番号Ｌ１〜Ｌ１２は、それぞれユニット番号（unit number）およびレイアウト番号（layout number）を示している。なお、ここでは、ユニット番号が１，２，３，・・・の場合は、Ｕ１，Ｕ２，Ｕ３，・・・と示し、レイアウト番号が１，２，３，・・・の場合は、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，・・・と示している。これらの番号は、ホストコンピュータ５００および各基板処理装置１００，２００の制御部ＣＲ１，ＣＲ２で各基板処理装置１００，２００を管理するために使用される番号である。これらの番号を用いた各基板処理装置１００，２００の管理については、後程詳述することとし、まず、ここで言うユニット番号とレイアウト番号がどのようなものであるのかについて説明する。
【００３５】
ユニット番号は、一般的に、各基板処理装置ごとに決まったルールに従って付される基板処理ユニットを識別するための情報の一種である。つまり、ユニット番号は、基板処理装置内の複数の基板処理ユニットを相互に識別するための情報である。例えば、基板処理装置を正面から見た場合に、おおよそ左から順に、手前から順に、下から順に、小さな数字から大きな数字となるようにユニット番号が付される。
【００３６】
図５（ａ）および図５（ｂ）は、基板処理装置１００および基板処理装置２００におけるユニット番号（図中では「ユニットＮｏ．」と示す）およびレイアウト番号（図中では「レイアウトＮｏ．」と示す）の付され方について説明する図である。
【００３７】
図５（ａ）に示すように、例えば、図３に示す基板処理装置１００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、スピンデベロッパＳＤ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、ユニット番号Ｕ１〜Ｕ１２がそれぞれ付される。
【００３８】
また、図５（ｂ）に示すように、例えば、図４に示す基板処理装置２００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、ユニット番号Ｕ１〜Ｕ１１がそれぞれ付される。
【００３９】
そして、ここでは、図５に示すように、図３に示す基板処理装置１００と図４示す基板処理装置２００とを比較した場合、スピンデベロッパＳＤがない分だけその後の基板処理ユニットに付されるユニット番号が１つずつずれて、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間では、同一のスペースに異なるユニット番号が付される。つまり、ユニット番号は、各基板処理装置に固有の番号であり、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なれば、各基板処理装置間で同一のスペースに異なるユニット番号が付されることとなる。すなわち、基板処理装置１００，２００では、各基板処理ユニットが、いずれの設置可能スペースに配置されているかとは無関係に、ユニット番号が割当てられる。
【００４０】
一方、レイアウト番号は本発明の特徴部分に関わるものであり、基板処理装置１００，２００における基板処理ユニットの設置可能スペースを相互に識別する情報（第１の識別情報）である。また、基板処理装置１００，２００では、それぞれ複数箇所の設置可能スペースに対して、共通のルールでレイアウト番号が割当てられている。
【００４１】
一方、図５（ａ）に示すように、例えば、図３に示す基板処理装置１００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、スピンデベロッパＳＤ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、レイアウト番号Ｌ１〜Ｌ１２がそれぞれ付される。
【００４２】
また、図５（ｂ）に示すように、図４に示す基板処理装置２００では、インデクサＩＤ、搬送ロボットＴＲ、スピンコータＳＣ、空設置可能スペースＥＭ、クールプレートＣＰ１、ホットプレートＨＰ１、ホットプレートＨＰ２、クールプレートＣＰ２、ホットプレートＨＰ３、ホットプレートＨＰ４、密着強化ユニットＡＨ１、密着強化ユニットＡＨ２の順に、レイアウト番号Ｌ１〜Ｌ１２がそれぞれ付される。
【００４３】
すなわち、これらにおいては、それぞれの基板処理ユニットがどのような基板処理ユニットであるかというユニットの種類に拘わらず、それらが実際に設置されている場所が装置内のいずれのスペースであるかによってレイアウト番号が付されているという、レイアウト内の位置を指標とした番号付与ルールが適用されている。言い換えれば、基板処理装置１００，２００では、レイアウト番号が、それぞれ複数箇所の設置可能スペースに実際に配置されている基板処理ユニットとは無関係に複数箇所の設置可能スペースに割当てられている。
【００４４】
そして、ここでは、図５に示すように、図３に示す基板処理装置１００と図４示す基板処理装置２００とを比較した場合、スピンデベロッパＳＤが設けられていない設置可能スペース（空設置可能スペースＥＭ）にもレイアウト番号（Ｌ４）が付されているため、同タイプの基板処理装置である基板処理装置１００，２００には、同一のスペースに同一のレイアウト番号が付される。つまり、レイアウト番号は、複数台の同タイプの基板処理装置１００，２００が存在する場合に、複数の設置可能スペースを共通のルールで識別するための情報として機能する。
【００４５】
また、図３および図４に示すように、基板処理装置１００，２００のインデクサＩＤが設けられている設置可能スペースの前面側に操作部ＯＰ、表示部ＤＰ、およびスピーカＳＰが設けられている。操作部ＯＰは、基板処理装置１００，２００における各種処理の設定などを入力する部位として機能する。表示部ＤＰは、基板処理装置１００，２００における基板処理の流れを示す情報（以下、「処理レシピ」と称する）に関する各種情報を表示したり、各部の異状を示す警告や情報などメンテナンスに関する情報を表示する部位として機能する。スピーカＳＰは、異状の発生などを警告するための警告音や音声などを出力する部位として機能する。
【００４６】
さらに、図３および図４に示すように、基板処理装置１００および基板処理装置２００のインデクサＩＤが設けられている設置可能スペースの下部には、それぞれ制御部ＣＲ１および制御部ＣＲ２が設けられている。
【００４７】
＜３．基板処理装置の機能構成＞
図６および図７は、それぞれ基板処理装置１００および基板処理装置２００の内部構成を示すブロック図である。なお、図６および図７では、同様となる部分については、同様な符合を付して、重複する説明は省略する。また、各基板処理ユニットには、ユニット番号Ｕ１〜Ｕ１２およびレイアウト番号Ｌ１〜Ｌ１２を付している。
【００４８】
図６に示すように、基板処理装置１００は、主に、制御部ＣＲ１、記憶部１３０、表示部ＤＰ、スピーカＳＰ，操作部ＯＰ、着装部１６０、および各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）を備えて構成される。また、図７に示すように、基板処理装置２００は、主に、制御部ＣＲ２、記憶部１３０、表示部ＤＰ、スピーカＳＰ，操作部ＯＰ、着装部１６０、および各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）を備えて構成される。
【００４９】
制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、主にＣＰＵから構成され、記憶部１３０や記憶媒体１９１，１９２内に格納されるプログラムなどが制御部ＣＲ１，ＣＲ２のＣＰＵに読み込まれることによって、制御部ＣＲ１，ＣＲ２における各種制御など各種機能が実現される。そして、制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、それぞれ基板処理装置１００，２００内の各部とデータ交信可能に接続されており、それぞれ基板処理装置１００，２００内の各部を統括制御する。
【００５０】
記憶部１３０は、各種データやプログラムなどを記憶する記憶媒体であり、例えば、ハードディスクなど不揮発性の記憶媒体を備えて構成される。また、記憶部１３０は、基板処理装置１００，２００における処理レシピを示すデータも格納している。
【００５１】
操作部ＯＰは、基板処理装置１００，２００における各種処理の設定などを入力する部位であり、例えば、液晶のタッチパネルや各種ボタンなどを備えて構成される。
【００５２】
表示部ＤＰは、基板処理装置１００，２００における基板処理の流れを示す処理レシピに関する各種情報を表示したり、各部の異状を示す警告や情報などメンテナンスに関する情報を表示する部位であり、例えば、液晶ディスプレイなどを備えて構成される。
【００５３】
スピーカＳＰは、基板処理装置１００，２００における異状の発生などをオペレータなどに警告するための警告音や音声を出力する部位であり、一般的に知られるスピーカなどを備えて構成される。
【００５４】
着装部１６０は、光ディスク１９１やメモリカード１９２などの記憶媒体を着装可能な部位である。
【００５５】
各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）における基板処理については、上述したため、ここでは省略するが、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の制御の下で、各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）の動作が制御される。
【００５６】
また、図示を省略しているが、各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）には、各種モータなどの駆動部分や各種センサなどが備えられている。例えば、クールプレートＣＰ１，ＣＰ２、ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ４、および密着強化ユニットＡＨ１，ＡＨ２には温度計などのセンサが備えられている。また、スピンコータＳＣおよびスピンデベロッパＳＤにはモータの回転数を計測するセンサ、およびレジストや薬液の吐出量を計測するセンサなどが備えられている。さらに、インデクサＩＤには、例えば、移載ロボット４０の駆動角度を検知するエンコーダが備えられるとともに、搬送ロボットＴＲにも搬送ロボットＴＲの駆動角度を検知するエンコーダなどが備えられている。
【００５７】
上述した各基板処理ユニット（ＩＤ，ＴＲ，ＳＣ，ＳＤ，ＣＰ１，ＨＰ１，ＨＰ２，ＣＰ２，ＨＰ３，ＨＰ４，ＡＨ１，ＡＨ２）にそれぞれ備えられた各センサは、制御部ＣＲ１，ＣＲ２に各種計測値などを送信する。そして、制御部ＣＲ１，ＣＲ２では、どのセンサからの計測値などの入力が、どの基板処理ユニットからの入力であるのかについて、レイアウト番号を用いて管理している。
【００５８】
記憶部１３０は、どのセンサがどの基板処理ユニットに設けられているのかについて、すなわち、各センサと各基板処理ユニットとを関連づけたデータベース（以下、「データベースＤＢ１」と称する）を記憶している。そして、データベースＤＢ１では、各基板処理ユニットは基板処理ユニットのカテゴリとレイアウト番号とを用いて表される。つまり、記憶部１３０が、基板処理装置１００，２００の複数の設置可能スペースを識別するために、第１の識別情報としてのレイアウト番号と、各センサとを関連付けたデータベースＤＢ１を記憶している。
【００５９】
なお、ここで、基板処理ユニットのカテゴリは、例えば、インデクサ、ホットプレート、クールプレート、スピンコータ、スピンデベロッパ、密着強化ユニットに対しては、それぞれ、ＩＤ、ＨＰ、ＣＰ、ＳＣ、ＳＤ、ＡＨなどといったものとなる。
【００６０】
また、制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、各基板処理ユニットに設けられた各センサから各種計測値などが入力されると、データベースＤＢ１に基づいて、どのカテゴリの基板処理ユニットおよびどのレイアウト番号が付された基板処理ユニットからの入力であるのかを認識することができる。
【００６１】
また、制御部ＣＲ１，ＣＲ２では、例えば、各センサから入力された各種計測値がどのような値となれば、異状が発生しているのか、さらに、どのような値となれば、どのような種類の異状が発生しているのかを認識することもできる。なお、異状の発生および異状の種類の認識については、例えば、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶される各種プログラムやデータに基づいて動作することによって実現することができる。
【００６２】
そして、制御部ＣＲ１，ＣＲ２は、基板処理ユニットの異状の発生および異状の種類を認識すると、表示部ＤＰに警告画面を表示させるとともに、異状の発生をオペレータなどに知らせるために、スピーカＳＰから警告音や、異状の状況に合わせた音声などを出力させるように制御する。
【００６３】
例えば、制御部ＣＲ１が、ホットプレートＨＰ１の温度計から入力された温度に基づいて、ホットプレートＨＰ１の温度が設定された温度範囲よりも高いと認識すると、レイアウト番号がＬ６およびカテゴリがＨＰの基板処理ユニットにおいて、過昇温の状態にあることを認識することができる。図８は、このときに表示部ＤＰに表示される異状を知らせるための警告画面を例示する図である。図８に示すように、警告画面には、例えば、上から順に、レイアウト番号の表示ＬＤ、異状が発生したユニットのカテゴリの表示（図中では「ホットプレート（ＨＰ）」）ＵＤ、および異状の内容の表示（図中では「過昇温」）ＴＤが示される。
【００６４】
このように、制御部ＣＲ１，ＣＲ２では、記憶部１３０内のデータベースＤＢ１に基づいて、それぞれ基板処理装置１００，２００を管理する。言い換えれば、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が、記憶部１３０に記憶されるデータベースＤＢ１に記憶される第１の識別情報としてのレイアウト番号に基づいて、それぞれ基板処理装置１００，２００の異状などのメンテナンスに関する情報を管理する手段として機能する。
【００６５】
なお、従来では、上述したユニット番号で基板処理装置を管理している場合には、ある基板処理ユニットで異常が発生したときには、各基板処理装置間で異なるユニット番号に基づいてメンテナンスをすべき場所を特定するため、時間を要するとともに、場所の特定に間違いを生じるもととなっていた。
【００６６】
仮に、本実施形態において、ユニット番号によって場所を特定する場合を想定すると、例えば、ホットプレートＨＰ１で異状が発生した場合、基板処理装置１００では、異状が発生した基板処理ユニットのユニット番号がＵ６となり、基板処理装置２００では、異状が発生した基板処理ユニットのユニット番号がＵ５となる。したがって、各基板処理装置間において、同じ場所に異なるユニット番号に付されることによって、メンテナンスをすべき場所を特定する場合などにおいて、時間を要する結果となる。特に、基板処理装置に設けられる基板処理ユニットが非常に多い場合は、特に混乱を招くとともに、場所の特定に長時間を要するという問題が顕著となる。
【００６７】
しかし、本実施形態では、レイアウト番号で基板処理装置１００，２００の異状などのメンテナンスに関する情報を管理している。そして、同タイプの基板処理装置１００，２００では、同一の設置可能スペースについては、同じレイアウト番号が付される。このため、例えば、ホットプレートＨＰ１で異状が発生したとすると、基板処理装置１００では、異状が発生した基板処理ユニットのレイアウト番号がＬ６となり、基板処理装置２００でも、異状が発生した基板処理ユニットのレイアウト番号がＬ６となる。
【００６８】
そして、例えば、異状に関する情報を示す警告画面が表示部ＤＰに表示され、その警告画面でどのレイアウト番号の基板処理ユニットにおいて異状が発生したのかを示すことによって、オペレータは容易にどの場所で異状が発生したのかを把握することができる。つまり、メンテナンスを要する場所を容易に把握することができる。
【００６９】
また、ユニット番号で基板処理ユニットを特定する方法では、同タイプの基板処理装置であっても、基板処理ユニットの配置状況が異なると、各基板処理装置間で、同一の場所であっても異なるユニット番号が付されることとなるため、基板処理ユニットの配置状況が変わる度に、基板処理装置ごとに設計図面などをつくり直す必要があり大変な労力が必要となる。また、設計図面を確実につくり直さなければ、配線・配管や組立時においても、どのユニット番号の基板処理ユニットがどのスペースに設置される基板処理ユニットであるのかを特定することが困難であったため、配線・配管の接続位置や組立位置を特定することが困難であった。
【００７０】
このような事情に対して、レイアウト番号で基板処理ユニットを設置する設置可能スペースを特定することによって、同タイプの基板処理装置であれば、各基板処理装置間で、同一の場所に異なるレイアウト番号が付されることがないため、基板処理ユニットの配置状況が変わっても、設計図面を大幅に変更する必要性がなくなる。さらに、配線・配管や組立時においても、どの設置可能スペースにどの基板処理ユニットが設置されるのかをレイアウト番号で容易に特定することができるため、配線・配管の接続位置や組立位置を容易に特定することができる。
【００７１】
また、レイアウト番号で基板処理ユニットを設置する設置可能スペースを特定することによって、配線・配管の接続位置をレイアウト番号を含む識別情報などで特定することができるため、配線ケーブルの接続端子や配管継手などに予め決まったレイアウト番号を付することができる。その結果、同タイプの基板処理装置に対しては、同じレイアウト番号を付した配線ケーブルや配管を使用することができるため、予め、大量の配線ケーブルや配管を製造しておいて、在庫を用意しておくこともできる。このように、予め配線ケーブルや配管の在庫を用意しておくことによって、受注時には既に配線ケーブルや配管が出来上がっているため、受注から基板処理装置を納入するまでの期限が短い場合にも容易に対応することが可能となる。
【００７２】
＜４．処理レシピについて＞
図９および図１０は、記憶部５１２および記憶部１３０に記憶される基板処理装置１００，２００に対する処理レシピを示すデータの構造を説明するための図である。そして、処理レシピは、図９に示すフローレシピデータ７０と、図１０に示す処理データライブラリ７１〜７５とを有している。
【００７３】
図１０に示す処理データライブラリ７１〜７５は、基板処理ユニットの各カテゴリ毎の処理条件を示すデータ（ユニット処理データ）を格納している。本実施形態では、基板処理装置１００，２００の５つのカテゴリＳＣ，ＳＤ，ＨＰ，ＣＰ，ＡＨに対応する５つの処理データライブラリ７１〜７５が準備されている。そして、以下では、各処理データライブラリ７１〜７５を、それぞれ「ＳＣライブラリ７１」、「ＳＤライブラリ７２」、「ＨＰライブラリ７３」、「ＣＰライブラリ７４」、および「ＡＨライブラリ７５」と呼ぶことにする。
【００７４】
ＳＣライブラリ７１は、スピンコータＳＣのための９９通りの処理条件（例えば、回転数、処理時間、レジスト吐出量など）を示すデータを有している。ＳＤライブラリ７２は、スピンデベロッパＳＤのための９９通りの処理条件（例えば、回転数、処理時間、薬液吐出量など）を示すデータを有している。ＨＰライブラリ７３とＣＰライブラリ７４とＡＨライブラリ７５は、ホットプレートＨＰ１〜ＨＰ４とクールプレートＣＰ１，ＣＰ２と密着強化ユニットＡＨ１，ＡＨ２のための９９通りの処理条件（プレート温度、処理条件など）をそれぞれ示すデータを有している。
【００７５】
図９に示すフローレシピデータ７０は、フロー番号（図中では「フローＮｏ．」と示す）と、基板処理ユニットを識別するための情報（以下、「処理ユニット情報」と称する）と、処理データ番号（図中では「処理データＮｏ．」と示す）とを示すデータを有している。フローＮｏ．は、基板処理装置１００，２００内の基板Ｗの搬送の順序を示している。また、処理ユニット情報は、基板Ｗの搬送先の基板処理ユニットのユニット番号と、その基板処理ユニットのカテゴリとを示す情報を含んでいる。
【００７６】
処理データ番号は、処理データライブラリ７１〜７５の中の一つの処理データを示している。例えば、「ＳＣＬ１」はＳＣライブラリ７１の１番目の処理データを示しており、「ＨＰＬ１」はＨＰライブラリ７３の１番目の処理データを示している。なお、フローレシピデータ７０には、９９種類の異なる処理フローを規定したフローレシピデータを登録することができる。
【００７７】
そして、図９の最上部のフローレシピデータに従って処理を行う場合には、インデクサＩＤ、ホットプレートＨＰ、クールプレートＣＰ、スピンコータＳＣ、ホットプレートＨＰ、クールプレートＣＰ、インデクサＩＤの順に基板Ｗが搬送されて処理される。フロー番号が３（３番目の搬送先ユニット）におけるユニット番号はＵ５であり、これは第１のクールプレートＣＰ１を意味している。また、フロー番号が４におけるユニット番号はＵ３であり、これはスピンコータＳＣを意味している。そして、ユニット番号は、基板処理装置１００，２００ごとの基板処理ユニットに関連付けられており、処理レシピを複数台の基板処理装置１００，２００の間でコピーする際に使用される。
【００７８】
なお、フロー番号と処理ユニット情報は、基板Ｗを複数の基板処理ユニットに順次搬送していく順序を示す搬送順序情報に相当し、また、処理データ番号と処理データライブラリ７１〜７５は、各基板処理ユニットにおける処理条件を示す処理条件情報に相当する。
【００７９】
そして、本実施形態では、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の制御の下で、特許文献２に示されるような公知の方法によって、ユニット番号を用いて、複数台の基板処理装置１００，２００の間において、処理レシピのコピー（以下、「レシピコピー」と称する）が行われる。
【００８０】
図１１および図１２は、レシピコピーの前後におけるフローレシピデータの表示について説明する図である。図１１および図１２では、基板処理装置１００で使用される処理レシピを基板処理装置２００にコピーする場合の一例について示している。ここでは、図１１（ａ）および図１２（ａ）が、基板処理装置１００のフローレシピデータを示しており、図１１（ｂ）および図１２（ｂ）が、基板処理装置２００のフローレシピデータを示している。また、図１１ではユニット番号を用いて示した処理ユニット情報を例示しており、図１２ではレイアウト番号を用いて示した処理ユニット情報を例示している。
【００８１】
処理ユニット情報について、図１１（ａ）に示すように、ユニット番号がＵ５以上で示されていたものが、コピー後は、図１１（ｂ）に示すように、ユニット番号が１つ小さく表示されることとなる。具体的には、図１１（ａ）および図１１（ｂ）間では、フロー番号２，３，５，６において、ユニット番号に相違点が生じる。これは、図５にも示したように、基板処理装置１００ではスピンデベロッパＳＤが設置されているが、基板処理装置２００ではスピンデベロッパＳＤが設置されていないため、基板処理装置１００，２００間で、Ｕ４以上のユニット番号については、１つずつ番号がずれるためである。
【００８２】
ここで、仮に、処理ユニット情報にユニット番号を用いた場合は、レシピコピーの際に、図１１（ａ）に示すようなフローレシピデータが基板処理装置１００の表示部ＤＰに表示され、一方、図１１（ｂ）に示すようなフローレシピデータが基板処理装置２００の表示部ＤＰに表示されるとすると、基板処理装置１００，２００間で、処理ユニット情報のユニット番号が異なるため、オペレータは、フローレシピデータが変化したように感じ、混乱を招くこととなる。
【００８３】
これに対して、本実施形態おいては、基板処理装置１００，２００の記憶部１３０に、それぞれ図５（ａ）および図５（ｂ）に示すようなユニット番号（第２の識別情報）とレイアウト番号とを互いに対応させたデータベース（以下、「データベースＤＢ２」と称する）を記憶している。そして、図１２に示すように、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の制御の下で、フローレシピデータを表示部ＤＰに表示する際には、データベースＤＢ２に基づいて、処理ユニット情報をユニット番号からレイアウト番号に変換して表示する。
【００８４】
つまり、基板処理装置１００，２００間におけるレシピコピーは、特許文献２に示されたユニット番号を用いた公知の方法などによって行われる。しかし、基板処理装置１００，２００の表示部ＤＰに表示する際には、フローレシピデータをレイアウト番号を用いて表示する。言い換えれば、基板処理装置１００，２００では、フローレシピデータを含む処理レシピをレイアウト番号に基づいて管理している。
【００８５】
また、ここでは、基板処理装置１００，２００のそれぞれでは、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が、レシピコピーなどの処理レシピに関するデータ管理をユニット番号に基づいて可能とする一方、フローレシピデータなどの処理レシピの表示部ＤＰへの表示をレイアウト番号に基づいて行う。つまり、基板処理装置１００，２００のそれぞれにおいて、制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶されたユニット番号とレイアウト番号とに基づいて、自己の基板処理装置を管理する手段としても機能する。
【００８６】
よって、図１２に示すように、同タイプの基板処理装置１００，２００間において、同一の設置可能スペースに設置された基板処理ユニットについては同一のレイアウト番号が付されるため、基板処理ユニットの数が異なるなど配置状況が異なっても、レシピコピー前後において、処理ユニット情報に含まれるレイアウト番号が変化することがない。その結果、オペレータが、フローレシピデータが変化したように感じて、混乱を招くようなこともなくなる。
【００８７】
そして、基板処理装置１００，２００のそれぞれにおいて、レイアウト番号とユニット番号とに基づいて自己の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のユニットの種類に対応させたレシピコピーなどの管理と、スペースに対応させたメンテナンスや処理レシピなどの管理の双方が可能となるため、基板処理装置の取り扱いが容易となる。
【００８８】
以上のように、本実施形態に係る基板処理システム１では、基板処理ユニットを設置可能な複数箇所の設置可能スペースが設けられた複数台の基板処理装置１００，２００を有する。そして、複数台の基板処理装置１００，２００間で、複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが同一である一方、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が一部で異なる。さらに、複数箇所の設置可能スペースを相互に識別するために、複数台の基板処理装置１００．２００について共通のルールで複数箇所の設置可能スペースに対してレイアウト番号を割り当て、そのレイアウト番号に基づいて、基板処理装置１００，２００のメンテナンスや処理レシピに関する情報などの各種管理などを行う。このような構成とすることによって、基板処理装置１００，２００内のスペースに対応させて各種管理などを行うことが可能となるため、各基板処理装置１００，２００間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、レイアウト番号に基づいて、メンテナンスに関する情報や処理レシピに関する情報などの表示が行われるなど、基板処理装置１００，２００がユーザーに分かり易く管理される。その結果、装置のメンテナンスなどを容易に行うことができ、取り扱いの容易な基板処理システム１を提供することができる。
【００８９】
＜５．変形例＞
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明は上記説明した内容のものに限定されるものではない。
【００９０】
◎例えば、上述した実施形態では、基板Ｗに対して直接処理を施す基板処理ユニットを設置する設置可能スペースに対してレイアウト番号を付したが、これに限られるものではなく、薬液を設置するキャビネット（以下、「薬液キャビネット」と称する）など、基板Ｗを直接処理するユニット以外のユニットなどが設置されるスペースにもレイアウト番号を付すことによって、レイアウト番号に基づいて、薬液キャビネットのメンテナンスに関する情報などを管理するようにしても良い。
【００９１】
このような構成とすることによって、従来では、基板処理ユニット、すなわちユニット番号に関連付けられて管理されていた薬液キャビネットなどについても、基板処理装置１００，２００のスペースに対応させて、メンテナンスに関する情報などの管理を行うことができる。その結果、各基板処理装置１００，２００の間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、メンテナンスが必要な薬液キャビネットの場所を分かり易く管理することができる。
【００９２】
◎また、上述した実施形態では、基板処理装置１００と基板処理装置２００との間において、スピンデベロッパＳＤの有無によって、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が異なったが、これに限られるものではなく、例えば、ホットプレートＨＰ１の有無によって、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が異なるようなものであっても良い。すなわち、複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なっているものであれば良い。
【００９３】
◎また、上述した実施形態では、基板処理装置１００，２００の制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶されるデータベースＤＢ１に基づいて、それぞれ基板処理装置１００，２００のメンテナンスに関する情報を管理したが、これに限られるものではなく、例えば、制御部ＣＲ１，ＣＲ２からＬＡＮ６００を介して、各基板処理ユニットのセンサからの各種計測値などをホストコンピュータ５００に送信し、記憶部５１２にデータベースＤＢ１を備えるようにして、ホストコンピュータ５００の制御部５１１が、制御部ＣＲ１，ＣＲ２と同様にして、基板処理装置１００，２００のメンテナンスに関する情報を管理するようにしても良い。そして、このとき、ホストコンピュータ５００の表示部５３０にメンテナンスに関する情報を表示するようにしても良い。
【００９４】
なお、ホストコンピュータ５００は、制御部ＣＲ１，ＣＲ２の双方からＬＡＮ６００を介して、各センサからの各種計測値などを得ることができるため、基板処理装置１００，２００のうちいずれか一方、または両方ともについて、レイアウト番号に基づいて、メンテナンスに関する情報を管理および表示するようにしても良い。
【００９５】
したがって、複数台の基板処理装置１００，２００を１箇所で一括管理する場合などには、同タイプの基板処理装置であっても各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なると、同一のスペースに異なる番号が付されるユニット番号でメンテナンスに関する情報を管理したのでは、メンテナンスをすべき場所などを特定する際に、特に混乱を招き易い。これに対して、同タイプの基板処理装置１００，２００であれば各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なっても同一のスペースに同一の番号が付されるレイアウト番号でメンテナンスに関する情報を管理すれば、メンテナンスをすべき場所の特定が極めて容易となる。
【００９６】
◎また、上述した実施形態では、基板処理装置１００，２００の制御部ＣＲ１，ＣＲ２が記憶部１３０に記憶されるデータベースＤＢ２に基づいて、基板処理装置１００，２００の処理レシピに関する情報を管理したが、これに限られるものではなく、例えば、ホストコンピュータ５００の記憶部５１２においてデータベースＤＢ２を記憶し、ホストコンピュータ５００の制御部５１１が、データベースＤＢ２に基づいて、基板処理装置１００，２００の処理レシピのフローレシピデータを表示部５３０に表示するようにしても良い。このとき、ホストコンピュータ５００の制御部５１１が、基板処理装置１００，２００のうちいずれか一方、または両方ともについて、データベースＤＢ２、すなわち、レイアウト番号に基づいて、フローレシピデータを表示部５３０に表示するようにしても良い。
【００９７】
したがって、複数台の基板処理装置を１箇所で一括管理する場合などには、同タイプの基板処理装置であっても各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なると、同一のスペースに異なる番号が付されるユニット番号で処理レシピに関する情報を管理したのでは、処理レシピをコピーする際に、フローレシピデータが変化したとの混乱を招き易い。これに対して、同タイプの基板処理装置１００，２００であれば各基板処理装置間でユニットの配置状況が異なっても、同一のスペースに同一の番号が付されるレイアウト番号でフローレシピデータを管理および表示すれば、オペレータの混乱を誘発したりすることもない。
【００９８】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１および請求項２の発明では、基板処理ユニットを設置可能な複数箇所のスペースが設けられた基板処理装置を複数台有し、当該複数台の基板処理装置間で、複数箇所のスペースの空間的レイアウトが同一である一方、複数箇所のスペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が少なくとも一部で異なる場合、複数箇所のスペースを相互に識別するために複数台の基板処理装置について共通のルールで複数箇所のスペースに対して割当てられる情報に基づいて、複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のスペースに対応させて各種管理などを行うことが可能となるため、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、基板処理装置をユーザーに分かり易く管理することにより、取り扱いの容易な基板処理システムを提供することができる。
【００９９】
特に、請求項２の発明では、複数箇所のスペースを相互に識別するために、複数台の基板処理装置について共通のルールで複数箇所のスペースに対して割当てられる情報に基づいて、基板処理装置についてのメンテナンスに関する情報を管理することによって、基板処理装置のスペースに対応づけてメンテナンスに関する情報を管理することができるため、各基板処理装置間で基板処理ユニットの配置状況が異なる場合にも、装置のメンテナンスなどを容易に行うことができる。
【０１００】
また、請求項３および請求項４の発明では、自己の基板処理装置における基板処理ユニットを設置可能な複数箇所のスペースに対して実際に配置される処理ユニットとは無関係に、複数箇所のスペースを相互に識別するために複数箇所のスペースに対して割り当てられる情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のスペースに対応させて各種管理などを行うことが可能となるため、基板処理装置をユーザーに分かり易く管理することにより、基板処理装置の取り扱いを容易とすることができる。
【０１０１】
特に、請求項４の発明では、自己の基板処理装置における基板処理ユニットを設置可能な複数箇所のスペースに対して実際に配置される処理ユニットとは無関係に、複数箇所のスペースを相互に識別するために複数箇所のスペースに対して割り当てられる情報と、自己の基板処理装置における各基板処理ユニットがいずれのスペースに配置されているかとは無関係に、自己の基板処理装置内の複数の基板処理ユニットを相互に識別するために割り当てられる情報とに基づいて、自己の基板処理装置を管理することによって、基板処理装置内のユニットの種類に対応させた管理とスペースに対応させた管理の双方が可能となるため、取り扱いが容易な基板処理装置とすることができる。
【０１０２】
また、請求項５の発明では、請求項１と同様な効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す概念図である。
【図２】 基板処理システムの機能構成を示すブロック図である。
【図３】 基板処理装置の一例を示す斜視図である。
【図４】 基板処理装置の一例を示す斜視図である。
【図５】 ユニット番号およびレイアウト番号の付され方について説明する図である。
【図６】 基板処理装置の内部構成を示すブロック図である。
【図７】 基板処理装置の内部構成を示すブロック図である。
【図８】 異状を警告する警告画面を例示する図である。
【図９】 フローレシピデータとユニット処理データとを説明するための図である。
【図１０】 フローレシピデータとユニット処理データとを説明するための図である。
【図１１】 レシピコピー後におけるフローレシピの表示について説明する図である。
【図１２】 レシピコピー後におけるフローレシピの表示について説明する図である。
【符号の説明】
１ 基板処理システム
１００，２００ 基板処理装置
１３０，５１２ 記憶部（記憶手段，識別情報記憶手段）
５１１ 制御部（管理手段）
５３０，ＤＰ 表示部
ＣＲ１，ＣＲ２ 制御部（管理手段，自己装置管理手段）
Ｌ１〜Ｌ１２ レイアウト番号（第１の識別情報）
Ｕ１〜Ｕ１２ ユニット番号（第２の識別情報）
Claims (5)
- 基板処理ユニットの設置可能スペースが複数箇所に設けられた基板処理装置を複数台有し、前記複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが前記複数台の基板処理装置間で同一である一方、前記複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が前記複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なる基板処理システムであって、
前記複数箇所の設置可能スペース相互の識別情報を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理する管理手段と、
を備え、
前記複数箇所の設置可能スペースに対する前記識別情報の割当てが、前記複数台の基板処理装置について共通のルールでなされていることを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１に記載の基板処理システムであって、
前記管理手段が、
前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置についてのメンテナンスに関する情報を管理することを特徴とする基板処理システム。 - 請求項１に記載の基板処理システムに利用可能な基板処理装置であって、
自己の基板処理装置における複数箇所の設置可能スペースに実際に配置されている基板処理ユニットとは無関係に前記複数箇所の設置可能スペースに割り当てられて、前記複数箇所の設置可能スペースを相互に識別する第１の識別情報、を記憶する識別情報記憶手段と、
前記識別情報記憶手段に記憶された前記第１の識別情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理する自己装置管理手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項３に記載の基板処理装置であって、
前記識別情報記憶手段が、
前記第１の識別情報と、
自己の基板処理装置において各基板処理ユニットがいずれの設置可能スペースに配置されているかとは無関係に割り当てられ、自己の基板処理装置内の複数の基板処理ユニットを相互に識別する第２の識別情報と、
を互いに対応させて記憶し、
前記自己装置管理手段が、
前記識別情報記憶手段に記憶された前記第１と第２の識別情報に基づいて、自己の基板処理装置を管理することを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理ユニットの設置可能スペースが複数箇所に設けられた基板処理装置を複数台有し、前記複数箇所の設置可能スペースの空間的レイアウトが前記複数台の基板処理装置間で同一である一方、前記複数箇所の設置可能スペースへの基板処理ユニットの実際の配置状況が前記複数台の基板処理装置間の少なくとも一部で異なる基板処理システムの管理方法であって、
前記複数台の基板処理装置について共通のルールで付された前記複数箇所の設置可能スペースの識別情報を記憶する第１のステップと、
前記記憶手段に記憶された前記識別情報に基づいて、前記複数台の基板処理装置のうち少なくとも一台の基板処理装置を管理する第２のステップと、
を備えることを特徴とする基板処理システムの管理方法。
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