TWI450059B - Production management system and production management methods - Google Patents

Description

生產管理系統及生產管理方法

本發明係關於一種在對例如LSI製造工廠之化合物半導體工廠等進行再開發或於人工作業工廠中，利用至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置，而管理製造發光二極體(LED)或半導體雷射元件等之半導體發光元件等之半導體元件時之生產之生產管理系統及使用其之生產管理方法。

根據專利文獻1，在先前之LSI製造工廠等中，具有如下功能：自半導體製造裝置中設定之晶圓處理條件而計算晶圓處理所需時間之功能；基於同條件之實效值之統計而計算參數中未設定之晶圓搬運時間、或腔室之處理條件穩定化時間之功能；自藉由該2個功能而求出之時間，計算晶圓處理之結束預測時刻之功能；預測時刻因半導體製造裝置之問題而自最初預測脫離之情形時，修正預測時刻之功能；在自與修正之有無無關之該結束預測時刻而追溯指定半導體製造裝置之使用者之一定時間之時點，將特定之信號通知至MES(Manufacturing Execution System：製造執行系統)或MCS之功能；或藉由信號塔之點亮裝置之變化或裝置附帶之蜂鳴器之鳴動而通知至使用者之功能。

又，為線上管理離線裝置，在先前，如圖5所示，使用將可線上於進行工序管理之主機裝置101之個人電腦102組入離線裝置103，經由個人電腦102而讀取離線裝置103之裝置狀態資訊之方法。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2009-43950號公報

在上述先前之構成中，將個人電腦102等之線上機器組入離線裝置103時，隨著裝置之改造，不僅花費開發費用，各裝置中需要開發之部分較多，向離線裝置103較多之生產工序之應用較為困難。

一直追求對LSI工廠之化合物半導體工廠進行再開發或於人工作業工廠之活用時，以低投資而將離線之人工處理進行符合線上之管理，從而實現節約人力與防止作業失誤之技術。

本發明係解決上述先前之問題者，目的在於提供一種在具有人工搬運/離線裝置之生產線上，線上管理裝置狀態，以低投資進行適於裝置管理與節約人力之導航功能，藉此，即使是具有離線裝置之生產線，仍可實現基於生產管理系統之虛擬線上管理之生產管理系統及使用其之生產管理方法。

本發明之生產管理系統，其在使用至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置而製造半導體元件之半導體製造工序中，其包含：主機裝置，其係對於該一個或複數個處理裝置具有批次之處理流程進展管理功能；及管理個人電腦，其係讀取以點亮、非點亮而通知附加於該離線裝置之裝置運轉狀況之信號塔信號，並將該離線裝置之裝置狀態資訊傳送至該主機裝置；且，該主機裝置基於該至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之裝置狀態資訊，經由對應之該處理裝置之該管理個人電腦，使包含該離線裝置之一個或複數個處理裝置之各批次之作業指示資訊輸出，藉此達成上述目的。

又，較好的是，在本發明之生產管理系統中，自上述至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置同時檢測作業所需信號時，上述主機裝置綜合判斷批次之處理優先順序、作業者當前地點等之生產條件，並經由該至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之各自之管理個人電腦，使作業指示資訊輸出。

再者，較好的是，在本發明之生產管理系統中，上述主機裝置由自上述至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置分別讀取之處理開始信號、與預先登錄之製程時間，預測處理結束時刻，並經由該至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之各自之管理個人電腦，使作業預約指示資訊輸出。

再者，較好的是，在本發明之生產管理系統中，上述管理個人電腦將上述裝置狀態資訊上傳至上述主機裝置，該主機裝置基於經上傳之裝置狀態資訊，將批次之作業指示資訊下載至與其對應之管理個人電腦。

本發明之生產管理方法為利用本發明之上述生產管理系統之生產管理方法，其讀取以點亮、非點亮而通知附加於上述離線裝置之裝置運轉狀況之信號塔信號，由管理個人電腦將該離線裝置之裝置狀態資訊傳送至該主機裝置，該主機裝置係基於該離線裝置之裝置狀態資訊，經由該管理個人電腦，使該離線裝置之批次之作業指示資訊輸出，藉此達成上述目的。

基於上述構成，以下，茲說明本發明之作用。

在本發明中，具有對於一個或複數個處理裝置具有批次之處理進展管理功能之主機裝置、與讀取以點亮、非點亮而通知附加於離線裝置之裝置運轉狀況之信號塔信號而將離線裝置之裝置狀態資訊傳送至主機裝置之管理個人電腦，且主機裝置基於至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之裝置狀態資訊，經由對應之處理裝置之管理個人電腦，使包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之各批次之作業指示資訊輸出。

藉此，讀取離線裝置之信號塔信號(包含警告信號)，自管理個人電腦傳送裝置狀態資訊至進行工序管理之主機裝置，而能夠主機裝置進行亦包含離線裝置生產管理，從而即使是具有離線裝置之生產線，仍可實現基於生產管理系統之虛擬線上管理。因此，可以低投資，在小規模生產線、局部性之分散生產線上，有效且確實地進行與線上控制同等之生產管理。

基於以上，根據本發明，讀取離線裝置之信號塔信號(包含警告信號)，自管理個人電腦，傳送裝置狀態資訊至進行工序管理之主機裝置，以主機裝置，亦包含離線裝置，而進行生產管理，因此即使是具有離線裝置之生產線，仍可實現基於生產管理系統之虛擬線上管理，從而可以低投資，在小規模生產線‧局部性之分散生產線上，有效且確實地進行與線上控制同等之生產管理。

以下，關於本發明之生產管理系統及使用其之生產管理方法之實施形態，茲參照圖式詳細說明。

圖1係顯示本發明之實施形態中之生產管理系統之要部構成例及其動作之方塊圖。

在圖1中，本實施形態之生產管理系統1具有：各管理個人電腦2，其係對包含離線裝置之複數個處理裝置之各者付與獨特之ID；主機裝置3，其係設為可與各管理個人電腦2分別交換資訊；及讀卡機4，其係設為將複數個生產作業(複數個生產批次)中各個付與獨特之ID及處理資訊(流程)之資料卡(RF-ID)自資料卡賦與裝置(未圖示)賦與作業者，而可自該資料卡讀取各作業者之生產資訊。

於資料卡中，嵌入有搭載稱為標籤晶片之記憶體之IC晶片及天線，且以使作業者一目了然之方式而於卡片表面上記載有「將哪個堆料機之哪個生產作業即晶匣(批次)人工搬運至哪個處理裝置而進行作業」。資料卡，以迴避處理裝置中之輸入失誤之方式，於IC晶片內登錄資料，藉由讀卡機4，容易且確實可讀取，或以條形碼表記生產條件，藉由條形碼，容易且確實可讀取。IC晶片內之登錄資料，係獲知例如處理所需之批次為何者、需要如何之處理之資料。

作為生產作業之晶匣(批次)之作業指示資訊，顯示於管理個人電腦2之顯示畫面上，或藉由連接於管理個人電腦2之資料卡賦與裝置，資料卡之內容經覆寫而得以顯示。

設置於例如離線裝置等之處理裝置之附近之管理個人電腦2，分別連接於主機裝置3與讀卡機4。管理個人電腦2將各作業者之生產資訊上傳至主機裝置3，基於上傳之生產資訊，主機裝置3將作業指示資訊下載至與其對應之管理個人電腦2中。概言之，管理個人電腦2，藉由作業者將處理開始/結束時寫入生產批次資訊(批次ID/流程資訊)之作業者之資料卡觸碰或靠近讀卡機4，而讀取該資料卡之內容，經由管理個人電腦2而傳送至主機裝置3。主機裝置3，基於該傳送之資料卡之內容(生產批次資訊)，掌握各批次之處理狀況(進展管理、正常處理之校對)，使符合該批次進展狀況之作業指示、晶匣(批次)之取出指示、下一工序之處理裝置選定與其搬運指示顯示於管理個人電腦2之顯示畫面，且將作業歷程自動收集於主機裝置3之資料庫中。

圖2係顯示圖1之生產管理系統1中之管理個人電腦2與主機裝置3之軟體構成例之方塊圖。

如圖2所示，本實施形態之生產管理系統1中之管理個人電腦2具有：CPU(中央運算處理裝置)21，其係作為進行全體之控制之控制部；輸入裝置22，其係用以相對CPU 21進行指令輸入之鍵盤、滑鼠、觸控面板及筆輸入裝置，進而經由通訊網路(例如網際網路或內部網路)而進行接收輸入；顯示部23，其係於顯示畫面上顯示初期畫面、選擇場面、基於CPU 21之控制結果畫面及操作輸入畫面等；ROM 24，其係作為記憶控制程式及其資料等之可電腦讀取之可讀取記錄媒體；及RAM 25，其係作為於起動時讀取控制程式及其資料等，而作為於基於CPU 21之各控制時讀取‧記憶資料之操作記憶體而動作之記憶部。

本實施形態之生產管理系統1中之主機裝置3具有：CPU(中央運算處理裝置)31，其係除了作為進行全體之控制之控制部；及資料庫32，其係作為記憶控制程式及其資料等之可電腦讀取之可讀取記錄媒體之ROM、及作為於起動時讀取控制程式及其資料等，而作為於基於CPU 31之各控制時讀取‧記憶資料之操作記憶體而動作之記憶部之RAM之外，記憶大量之生產資訊。

作為可讀取記錄媒體之ROM，除了硬碟之外，可以攜帶自由之光碟、磁光碟、磁碟及IC記憶體等而構成。該控制程式及其資料等雖記憶於ROM，但該控制程式及其資料，可自其它可讀取記錄媒體，或，經由無線、有線或網際網路等而下載至ROM。

管理個人電腦2中之CPU 21具有：資料輸入機構211，其係基於控制程式及其資料，將以讀卡機4讀取之批次ID及其工序內容加以資料輸入；流程對照機構212，其係流程對照資料輸入機構211資料輸入之批次ID及其工序內容作為生產資訊是否正確；對照結果顯示控制機構213，其係於顯示畫面上顯示流程對照機構212進行之對照結果及其後之處理內容(處理參數)；參數序號發行機構214，其係若對照結果作為作業指示正確，則發行對應於批次ID之參數序號；處理結束通知機構215，其係將對於該批次ID之處理結束之狀況通知至主機裝置3；處理歷程傳送機構216，其係處理歷程寫入後，將該處理裝置之處理歷程資料傳送至主機裝置3；下一工序內容顯示控制機構217，其係於顯示畫面上顯示控制「晶匣之取出」之訊息，且使「入庫堆料機」或「下一工序之處理裝置」顯示。

對照結果顯示控制機構213，若對照結果作為作業指示正確，則於顯示畫面上顯示控制「警告」及其「搬運目的地」。

主機裝置3中之CPU 31具有：參數登錄機構311，其係基於控制程式及其資料，接收對應於管理個人電腦2之批次ID之參數序號之發行，將對應於參數序號之參數(工序內容)登錄於資料庫32中；處理開始指示機構312，其係基於參數登錄機構311之對應於參數序號之參數內容(工序內容)之登錄後，經由管理個人電腦2而相對處理裝置指示「處理開始」；處理歷程寫入指示機構313，其係接收處理結束通知，以相對該處理裝置之管理個人電腦2而寫入該處理裝置之處理歷程資料之方式指示；處理歷程登錄機構314，其係接收來自管理個人電腦2之傳送處理歷程資料，而將該處理裝置之處理歷程資料登錄於資料庫32中；及下一工序內容顯示指示機構315，其係於管理個人電腦2中進行下一工序內容之顯示指示。

基於上述構成，茲說明利用本實施形態之生產管理系統1，作業者進行生產處理之情形之一例。

圖3係顯示包含利用圖1之生產管理系統1而進行生產處理之情形之作業者之作業處理之生產管理系統1之動作例之流程圖。

首先，如圖3所示，在步驟S1中，由作業者操作構成資料卡賦與裝置5之堆料機管理個人電腦51而選擇「卡片輸出資訊」。作為「卡片輸出資訊」，相對作業者指示自哪個堆料機取出哪個晶匣(批次)而人工搬運至哪個處理裝置。

此後，在步驟S2，作業者操作堆料機管理個人電腦51而自資料卡印表機52印刷輸出資料卡53。

接著，在步驟S3，作業者依據印刷輸出之資料卡53之內容而使該經指示之晶匣(批次)自源極堆料機54出庫。

其後，在步驟S4，作業者將出庫之晶匣(批次)人工搬運至特定之處理裝置中，進而，在步驟S5中，作業者將人工搬運之晶匣(批次)安置於裝置裝載機，且以讀卡機4讀取資料卡53之內容。即，作為「晶匣之安置」，作業者將晶匣(批次)安置於該處理裝置中。藉由使資料卡接近於安置於該處理裝置之讀卡機4，而進行「批次ID/工序讀取」，從而讀卡機4可無讀取失誤地正確讀取以該處理裝置進行處理之批次ID及其工序內容。

以上之步驟S1~S5，係作業者實行藉由堆料機管理個人電腦51及資料卡53而指示之事件，且使讀卡機4讀取資料卡53之內容之作業者之作業。

接著，在步驟S6，在管理個人電腦2中，資料輸入機構211資料輸入以讀卡機4讀取之該處理裝置中進行處理之批次ID及其工序內容，流程對照機構212進行各該處理裝置之流程對照，進行「晶匣驗證、參數校對」，對照結果顯示控制機構213將其對照結果及其後之作業內容顯示於顯示部23。即，設置於該處理裝置之管理個人電腦2，確認讀卡機4讀取之批次ID及其工序內容作為作業指示是否正確。若讀卡機4讀取之批次ID及其工序內容(流程)正確，則管理個人電腦2在其顯示畫面上相對作業者進行接收確認。即，若該批次ID及其工序內容正確，則作為接收確認，作業者可對處理裝置指示處理開始，管理個人電腦2之參數序號發行機構214發行對應於批次ID之參數序號，在步驟S7，主機裝置3接收對應於該批次ID之參數序號，主機裝置3之參數登錄機構311將晶匣(批次)及參數(工序內容)登錄至資料庫32中。

在步驟S8中，藉由主機裝置3之參數登錄機構311之對應於批次ID之參數序號之登錄後，處理開始指示機構312相對處理裝置自動指示「處理開始」。

在步驟S6中，作為流程對照機構212對照之結果，若該批次ID及其工序內容不正確(否)，則對照結果顯示控制機構213於該管理個人電腦2之表示畫面上顯示控制「警告」及其「搬運目的地」。

以上之步驟S6~S8係管理個人電腦2及主機裝置3進行之動作。

接著，在步驟S9中，於顯示畫面上發佈「警告」之情形時，作業者自該處理裝置取出晶匣(批次)，將該晶匣(批次)人工搬運至正規之搬運目的地之處理裝置。

再者，在步驟S8中，基於處理開始指示機構312之「處理開始指示」，處理裝置開始處理，於一定時間後，處理裝置結束其處理。處理裝置，在步驟S10，管理個人電腦2之處理結束通知機構215，將對於該晶匣(批次)之處理結束之狀況通知至主機裝置3，主機裝置3之處理歷程寫入指示機構313接收該處理結束通知，在步驟S11，以相對該處理裝置之管理個人電腦2寫入處理歷程之資料之方式指示，管理個人電腦2之處理歷程傳送機構216將該處理裝置之處理歷程資料傳送至主機裝置3。在主機裝置3中，接收來自管理個人電腦2之處理歷程資料，主機裝置3之處理歷程登錄機構314將該處理裝置之處理歷程資料登錄至資料庫32中。

再者，在步驟S12，主機裝置3判斷相對該晶匣(批次)處理是否結束，若相對該晶匣(批次)處理結束(YES)，則主機裝置3之下一工序內容顯示指示機構315，在步驟S13，於管理個人電腦2中進行下一工序內容之顯示指示，管理個人電腦2之下一工序內容顯示控制機構217於其顯示畫面上顯示控制「晶匣之取出」之訊息，且使「入庫堆料機」顯示於管理個人電腦2之顯示畫面上。依據該指示，作業者自裝置裝載機卸下該晶匣(批次)而搬運至特定指示堆料機，使該晶匣(批次)入庫至特定指示堆料機。

又，在步驟S12中，若相對該晶匣(批次)處理未結束(NO)，則主機裝置3之下一工序內容顯示指示機構315，在步驟S14，於管理個人電腦2中進行下一工序內容之顯示指示，管理個人電腦2之下一工序內容顯示控制機構217，於其顯示畫面上顯示「晶匣之取出」之訊息，且使「下一工序之處理裝置」顯示於管理個人電腦2之顯示畫面上。依據該指示，作業者自裝置裝載機卸下該晶匣(批次)而搬運至下一工序之處理裝置，作業者在步驟S5，將該晶匣(批次)安置於裝置裝載機，且將資料卡靠近讀卡機4，使讀卡機4讀取卡片資訊。

以上之步驟S10~S14，係管理個人電腦2及主機裝置3進行之動作。

另，作業者，該處理裝置之處理之間，進行其他工作，若於管理個人電腦2之顯示畫面上顯示「晶匣之取出」及「向下一工序之搬運」之指示，則自該處理裝置進行「晶匣之取出」，於下一工序中人工搬運該晶匣(批次)。

概言之，在管理個人電腦2中，具有：資料輸入機構211資料輸入以讀卡機4讀取之批次ID及其工序內容之資料輸入步驟；流程對照機構212流程對照輸入之批次ID及其工序內容作為生產資訊是否正確之流程對照步驟；對照結果顯示控制機構213於顯示畫面上顯示控制流程對照機構212進行之對照結果及其後之作業內容之對照結果顯示控制步驟；若對照結果作為作業指示正確，則參數序號發行機構214發行對應於批次ID之參數序號之參數序號發行步驟；處理結束通知機構215將相對批次ID處理裝置之處理結束之狀況通知至主機裝置3之處理結束通知步驟；處理裝置之處理歷程寫入後，處理歷程傳送機構216將該處理裝置之處理歷程資料傳送至主機裝置3之處理歷程傳送步驟；下一工序內容顯示控制機構217於顯示畫面上顯示控制「晶匣之取出」之訊息，且顯示控制「入庫堆料機」或「下一工序之處理裝置」之下一工序內容顯示控制步驟。

在主機裝置3中，具有：接收參數序號之發行，參數登錄機構311將對應於參數序號之參數內容登錄於資料庫中之參數登錄步驟；參數內容之登錄後，處理開始指示機構312對處理裝置指示「處理開始」之處理開始指示步驟；接收處理結束通知，處理歷程寫入指示機構313以相對管理個人電腦2而寫入處理歷程資料之方式指示之處理歷程寫入指示步驟；處理歷程登錄機構314接收來自管理個人電腦2之傳送處理歷程資料，而將處理裝置之處理歷程資料登錄於資料庫32中之處理歷程登錄步驟；及下一工序內容顯示指示機構315於管理個人電腦2中進行下一工序內容之顯示指示之下一工序內容顯示指示步驟。

以上，已說明作為主機裝置3與作業者之作業界面之管理個人電腦2及讀卡機4，接著，利用圖4詳細說明，即使具有離線裝置作為處理裝置之生產線，仍將實現基於生產管理系統1之虛擬線上管理之管理個人電腦2之其他功能。

基於以上之本實施形態之生產管理系統1，操作員即作業者，藉由在決定之週期下以人工搬運而巡迴預先決定之根，依據顯示於管理個人電腦2之顯示畫面或資料卡(RF-ID標籤)之作業指示用畫面之生產資訊，即使離線裝置中不會自動接收批次之處理裝置，仍可確實進行正確之作業處理與批次搬運、下一工序處理。藉此，在具有人工搬運/離線裝置之生產線上，進行適於作業管理及節約人力之導航而確實實現作業之效率化及防止作業失誤。

圖4係圖1之生產管理系統中之離線裝置即複數個處理裝置、管理個人電腦2及主機裝置3之配置圖。

在圖4中，於離線裝置6中設置有以可確認處理裝置為異常(警報)或運轉、非運轉(維護(強制停止)、可處理、處理中、處理結束、處理等待)等之方式而點亮顯示之信號塔61。該離線裝置6之信號塔61廣泛用於本來之目的即檢測運轉、非運轉等之裝置狀態。管理個人電腦2讀取包含該裝置狀態資訊之信號塔信號/警告信號(以下簡稱為信號塔信號)，使離線裝置6虛擬線上化而可即時資訊取得離線裝置6之裝置狀態。於與該信號塔61連接之信號線62，設置讀取各種信號之解碼裝置63，以可與管理個人電腦2進行線上通訊之電子機器讀取，藉此，無需改造離線裝置6之裝置本體，而將離線裝置6之裝置狀態自管理個人電腦2傳送其裝置狀態資訊至進行工序管理之主機裝置3。

該生產管理系統1具有：主機裝置3，其對至少包含一個或複數個離線裝置6之一個或複數個處理裝置，具有批次之處理流程進展管理功能；及各管理個人電腦2，其係讀取以點亮、非點亮而通知附加於離線裝置6之裝置運轉狀況之信號塔信號(包含警報信號)，而將離線裝置6之裝置狀態資訊(異常(警報)或運轉、非運轉狀態資訊；裝置是否可用之資訊)傳送至主機裝置3；且主機裝置3基於至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置之各裝置狀態資訊(異常(警報)或運轉、非運轉狀態資訊；裝置是否可用之資訊)，經由各管理個人電腦2而輸出批次之作業指示資訊。

該情形，在主機裝置3中，自複數個離線裝置6同時檢測作業所需之信號時，綜合判斷批次之處理優先順序、作業者當前地點等，而向各離線裝置6之管理個人電腦2輸出作業指示資訊。即，自至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置同時檢測作業所需之信號時，主機裝置3綜合判斷批次之處理優先順序、作業者當前地點等之生產條件，經由至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置之各者之各管理個人電腦2而使作業指示資訊輸出。又，由自離線裝置6讀取之信號塔信號中所含之處理開始信號、與預先登錄之離線裝置6之製程時間，預測處理結束時刻，而向各離線裝置6之管理個人電腦2輸出作業預約指示。主機裝置3由自至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置分別讀取之處理開始信號、與預先登錄之製程時間而預測處理結束時刻，經由至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置之各者之各管理個人電腦2，使作業預約指示資訊輸出。

可考量經由該各管理個人電腦2之批次之作業指示資訊，於各管理個人電腦2之顯示部23之顯示畫面上，以文章或圖樣等進行顯示輸出，或於異常(警報)時等藉由蜂鳴器等而進行音頻輸出，藉此對作業者進行各種指示輸出。

作為使用該生產管理系統1之生產管理方法，係由管理個人電腦2讀取以點亮、非點亮而通知附加於離線裝置6之裝置運轉狀況之信號塔信號(包含警報信號)，將離線裝置6之裝置狀態資訊傳送至主機裝置3，主機裝置3基於離線裝置6之裝置狀態資訊，經由管理個人電腦2，使離線裝置之批次之作業指示資訊輸出。即，本實施形態之生產管理方法，係由各管理個人電腦2讀取以點亮、非點亮而通知附加於離線裝置6之裝置運轉狀況之信號塔信號(包含警報信號)，將至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置之裝置狀態資訊分別傳送至主機裝置3，主機裝置3基於至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置之裝置狀態資訊，經由對應之各管理個人電腦2，使至少包含離線裝置6之一個或複數個處理裝置之批次之作業指示資訊輸出。該情形，管理個人電腦2將裝置狀態資訊上傳至主機裝置3，主機裝置3基於上傳之裝置狀態資訊，將批次之作業指示資訊分別下載至與其對應之各管理個人電腦2中。

藉由以上，自包含離線裝置6之裝置狀態資訊(運轉、非運轉狀態資訊)之信號塔信號而即時掌握裝置之運轉、非運轉狀態，藉此，進行工序管理之主機裝置3可於各離線裝置6之管理個人電腦2之顯示畫面上準確顯示指示進行中之生產作業(批次)搬運/處理指示。又，對於位在看不到信號塔61之位置之作業者，藉由顯示於各離線裝置6之管理個人電腦2之顯示畫面上之指示，仍可確實得知處理結束。與此同時，當產生作業所需之信號之情形時，進行工序管理之主機裝置3判斷優先順序，向各離線裝置6之管理個人電腦2之顯示畫面顯示指示，藉此可管理作業之優先順序。再者，由於可自處理開始時刻預測處理結束時刻，藉由組入向作業者發出先行(預定)作業指示等之功能，可提高作業者之作業效率(節約人力)。再者，主機裝置3可自動合計離線裝置6之裝置運轉狀況資料，可即時且正確地進行先前手動合計之運轉率管理，從而可實現生產線平衡等之工序改善。

如以上般，雖利用本發明之較佳實施形態而例示本發明，但本發明不應限定於該實施形態而加以解釋。應理解本發明僅基於專利申請範圍而解釋其範圍。本領域技術人員應理解，根據本發明之具體之較佳實施形態之記載，基於本發明之記載及技術常識，可實施等價之範圍。本說明書中引用之專利、專利申請案及文獻，其內容本身與具體記載於本說明書者相同，其內容係作為對於本說明書之參考而援用。

[產業上之可利用性]

在對LSI製造工廠之化合物半導體工廠等進行再開發或在人工作業工廠中，在管理使用包含離線裝置之一個或複數個處理裝置而製造發光二極體(LED)或半導體雷射元件等之半導體發光元件等之半導體元件時之生產之生產管理系統及生產管理方法之領域中，由於自管理個人電腦讀取離線裝置之信號塔信號(包含警告信號)，並傳送裝置狀態資訊至進行工序管理之主機裝置，以主機裝置進行亦包含離線裝置之生產管理，因此，即使是具有離線裝置之生產線，仍可實現基於生產管理系統之虛擬線上管理，以低投資，在小規模生產線、局部性之分散生產線上，可有效且確實地進行與線上控制同等之生產管理。

1．．．生產管理系統

2．．．管理個人電腦

3．．．主機裝置

4．．．讀卡機

5．．．資料卡賦與裝置

6．．．離線裝置

21．．．CPU(中央運算處理裝置)

22．．．輸入裝置

23．．．顯示部

24．．．ROM

25．．．RAM

31．．．CPU(中央運算處理裝置)

32．．．資料庫

51．．．堆料機管理個人電腦

52．．．資料卡印表機

53．．．資料卡

54．．．源極堆料機

61．．．信號塔

62．．．信號線

63．．．解碼裝置

211．．．資料輸入機構

212．．．流程對照機構

213．．．對照結果顯示控制機構

214．．．參數序號發行機構

215．．．處理結束通知機構

216．．．處理歷程傳送機構

217．．．下一工序內容顯示控制機構

311．．．參數登錄機構

312．．．處理開始指示機構

313．．．處理歷程寫入指示機構

314．．．處理歷程登錄機構

315．．．下一工序內容顯示指示機構

圖1係顯示本發明之實施形態中之生產管理系統之要部構成例及其動作之方塊圖。

圖2係顯示圖1之生產管理系統中之管理個人電腦與主機裝置之軟體構成例之方塊圖。

圖3係顯示包含利用圖1之生產管理系統而進行生產處理之情形之作業者之作業處理之生產管理系統之動作例之流程圖。

圖4係圖1之生產管理系統中之離線裝置即複數個處理裝置、管理個人電腦及主機裝置之配置圖。

圖5係用以說明先前之生產管理系統中具有離線裝置之生產線仍實現虛擬性線上管理之情形之說明圖。

2．．．管理個人電腦

3．．．主機裝置

6．．．離線裝置

51．．．堆料機管理個人電腦

54．．．源極堆料機

61．．．信號塔

62．．．信號線

63．．．解碼裝置

Claims (5)

1. 一種生產管理系統，其在使用至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置而製造半導體元件之半導體製造工序中，其包含：主機裝置，其係對於該一個或複數個處理裝置具有批次之處理流程進展管理功能；及管理個人電腦，其係讀取以點亮、非點亮而通知附加於該離線裝置之裝置運轉狀況之信號塔信號，並將該離線裝置之裝置狀態資訊傳送至該主機裝置；且，該主機裝置係基於該至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之裝置狀態資訊，經由對應之該處理裝置之該管理個人電腦，使包含該離線裝置之一個或複數個處理裝置之各批次之作業指示資訊輸出。
2. 如請求項1之生產管理系統，其中自上述至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置同時檢測作業所需之信號時，上述主機裝置綜合判斷批次之處理優先順序、作業者當前地點等之生產條件，並經由該至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之各自之管理個人電腦，使作業指示資訊輸出。
3. 如請求項1之生產管理系統，其中上述主機裝置由自上述至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置分別讀取之處理開始信號、與預先登錄之製程時間，預測處理結束時刻，並經由該至少包含離線裝置之一個或複數個處理裝置之各自之管理個人電腦，使作業預約指示資訊輸出。
4. 如請求項1之生產管理系統，其中上述管理個人電腦將上述裝置狀態資訊上傳至上述主機裝置，該主機裝置基於上傳之裝置狀態資訊，將批次之作業指示資訊下載至與其對應之管理個人電腦。
5. 一種生產管理方法，其係使用如請求項1至4中任一項之生產管理系統者，且讀取以點亮、非點亮而通知附加於上述離線裝置之裝置運轉狀況之信號塔信號，由管理個人電腦將該離線裝置之裝置狀態資訊傳送至該主機裝置，該主機裝置基於該離線裝置之裝置狀態資訊，經由該管理個人電腦，使該離線裝置之批次之作業指示資訊輸出。