CN102592188A - 生产管理系统和生产管理方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及生产管理系统和生产管理方法。在手动搬运／离线装置存在的生产线中，对装置状态进行在线管理，以低投资进行面向装置管理、省人工化的导航功能，由此即使是存在离线装置的生产线也能实现利用生产管理系统的伪在线管理。具有：主机装置(3)，具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机(2)，读取以点亮通知对离线装置(6)附加的装置运转状况的信号塔信号，将离线装置(6)的装置状态信息(异常(报警)、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息)向主机装置(3)发送，主机装置(3)基于离线装置(6)的装置状态信息(异常(报警)、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息)，对各管理个人计算机(2)进行离线装置(6)的批次的操作指示。

Description

生产管理系统和生产管理方法

技术领域

本发明涉及例如在对LSI制造工厂的化合物半导体工厂等的再开发、手动工厂中，对使用至少包含离线（off line）装置的一个或多个处理装置来制造发光二极管（LED）、半导体激光器元件等的半导体发光元件等的半导体元件时的生产进行管理的生产管理系统以及使用其的生产管理方法。

背景技术

在现有的LSI制造工厂等中，在专利文献1中，具有：根据在半导体制造装置中设定的晶片处理条件，计算出晶片处理所需要的时间的功能；基于相同条件的实际结果值的统计，计算出未以程式（recipe）设定的晶片搬运时间、室（chamber）的处理条件稳定化时间的功能；根据由该2个功能求取的时间，计算出晶片处理的结束预测时刻的功能；在预测时刻由于半导体制造装置的问题而从最初预测偏离的情况下，校正预测时刻的功能；以与有无校正无关的该结束预测时刻起追溯了半导体制造装置的用户指定的一定时间的定时向MES（Manufacturing Execution System：制造执行系统）或MCS通知特别指定的信号的功能，或者通过信号塔的点亮状态的变化或装置附带的蜂鸣器的鸣动来对用户进行通知的功能。

此外，为了对离线装置进行在线（on line）管理，以往如图5所示那样使用如下方法：对离线装置103编入能与进行工序管理的主机装置101在线的个人计算机102，经由个人计算机102读取离线装置103的装置状态信息。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-43950号公报。

在上述现有的结构中，为了对离线装置103编入个人计算机102等的在线设备，会伴随装置的改造，不仅花费开发费用，而且在每个装置中需要开发的部分多，对离线装置103多的生产工序的应用是困难的。

在对LSI工厂的化合物半导体工厂的再开发、手动工厂的有效利用时，要求有如下技术：以低投资对离线的手动处理进行以在线为标准的管理，实现省人工化、防止操作错误。

发明内容

本发明解决了上述现有问题，其目的在于，提供一种在手动搬运／离线装置存在的生产线中，通过对装置状态进行在线管理，以低投资进行面向装置管理、省人工化的导航功能，从而即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理的生产管理系统以及使用其的生产管理方法。

用于解决课题的单元

本发明的生产管理系统是，在使用至少包含离线装置的一个或多个处理装置来制造半导体元件的半导体制造工序中，具有：主机装置，其对该一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机，读取以点亮/非点亮通知对该离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，向该主机装置发送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的装置状态信息，经由对应的该处理装置的该管理个人计算机，使包含该离线装置的一个或多个处理装置的各批次的操作指示信息输出，由此实现上述目的。

此外，优选在本发明的生产管理系统中，在从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中同时检测出需要操作的信号时，所述主机装置综合判断批次的处理优先顺序、操作者当前的地点等的生产条件，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机，使操作指示信息输出。

进而，优选在本发明的生产管理系统中，所述主机装置根据从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中分别读取的处理开始信号和预先注册的处理时间来预测处理结束时刻，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机，使操作预约指示信息输出。

进而，优选在本发明的生产管理系统中，所述管理个人计算机向所述主机装置上载所述装置状态信息，基于上载的装置状态信息，该主机装置将批次的操作指示信息下载到与其对应的管理个人计算机中。

本发明的生产管理方法是使用了本发明的所述生产管理系统的生产管理方法，其中，读取以点亮/非点亮通知对所述离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，管理个人计算机向该主机装置转送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该离线装置的装置状态信息，经由该管理个人计算机，使该离线装置的批次的操作指示信息输出，由此实现上述目的。

采用上述结构，以下，说明本发明的作用。

在本发明中，具有：主机装置，其对一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机，读取以点亮/非点亮通知对离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，向主机装置发送离线装置的装置状态信息，主机装置基于至少包含离线装置的一个或多个的处理装置的装置状态信息，经由对应的处理装置的管理个人计算机，输出包含离线装置的一个或多个处理装置的各批次的操作指示信息。

由此，能读出离线装置的信号塔信号（包含警告信号），从管理个人计算机向进行工序管理的主机装置发送装置状态信息，在主机装置中也包含离线装置进行生产管理，即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理。因此，在低投资、小规模线/局部的分散线中，能高效可靠地进行和在线控制同等的生产管理。

如上所述，根据本发明，由于读出离线装置的信号塔信号（包含警告信号），从管理个人计算机向进行工序管理的主机装置发送装置状态信息，在主机装置中也包含离线装置来进行生产管理，所以即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理，在低投资、小规模线/局部的分散线中，能高效可靠地进行和在线控制同等的生产管理。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式中的生产管理系统的主要部分结构例以及其动作的框图。

图2是表示图1的生产管理系统中的管理个人计算机和主机装置的软结构例的框图。

图3是表示在使用图1的生产管理系统来进行生产处理的情况下的包含操作者的操作处理的生产管理系统的动作例的流程图。

图4是图1的生产管理系统中的作为离线装置的多个处理装置、管理个人计算机以及主机装置的配置图。

图5是用于说明即使是在现有的生产管理系统中存在离线装置的生产线也能实现伪在线管理的情况的说明图。

具体实施方式

以下，针对本发明的生产管理系统以及使用其的生产管理方法的实施方式，一边参照附图一边详细地进行说明。

图1是表示本发明的实施方式中的生产管理系统的主要部分结构例以及其动作的框图。

在图1中，本实施方式的生产管理系统1具有：各管理个人计算机2，对包含离线装置的多个处理装置的各自附加固有的ID；主机装置3，能与各管理个人计算机2分别进行信息交换；以及读卡器4，能从数据卡给予装置（未图示）向操作者给予对多个生产工件（work）（多个生产批次）分别附加固有的ID以及处理信息（流程）的数据卡（RF-ID），能从该数据卡中读取每个操作者的生产信息。

在数据卡中埋入有被称为标签芯片的搭载有存储器的IC芯片以及天线，在卡表面记载有“将哪个储存库（stocker）的哪个生产工件即盒（cassette）（批次（lot））手动搬运到哪个处理装置并进行操作”以使操作者用眼睛看便知。在数据卡中，以避免在处理装置中的输入错误的方式将数据注册在IC芯片内并能通过读卡器4容易并且可靠地进行读取、或以条形码来标记生产条件并能通过条形码读码器容易并且可靠地进行读取。IC芯片内的注册数据例如是知晓需要处理的批次是什么、需要怎样的处理的数据。

作为生产工件的盒（批次）的操作指示信息显示在管理个人计算机2的显示画面上、或通过与管理个人计算机2连接的数据卡给予装置对数据卡的内容进行重写并显示。

例如设置在离线装置等的处理装置附近的管理个人计算机2与主机装置3和读卡器4分别连接。管理个人计算机2向主机装置3上载每个操作者的生产信息，基于上载的生产信息，主机装置3将操作指示信息下载到与其对应的管理个人计算机2中。总之，管理个人计算机2是，通过操作者在处理开始／结束时将写入了生产批次信息（批次ID／流程信息）的操作者的数据卡与读卡器4接触或靠近，从而读取该数据卡的内容，并经由管理个人计算机2向主机装置3发送。主机装置3基于该发送的数据卡的内容（生产批次信息），把握各批次的处理状况（进展管理、正常处理的查对），使管理个人计算机2的显示画面显示配合该批次进展状况的操作指示、盒（批次）的取出指示、下一工序的处理装置选定和其搬运指示，并且在主机装置3的数据库中自动收集操作历史。

图2是表示图1的生产管理系统1中的管理个人计算机2和主机装置3的软结构例的框图。

如图2所示那样，本实施方式的生产管理系统1中的管理个人计算机2具有：作为进行整体的控制的控制部的CPU（中央运算处理装置）21；作为用于对CPU21进行输入指令的键盘、鼠标、触摸面板以及笔输入装置、进而经由通信网络（例如因特网、内联网）来进行接收输入的输入装置22；在显示画面上对初始画面、选择场面、利用CPU21的控制结果画面以及操作输入画面等进行显示的显示部23；存储有控制程序以及其数据等的作为计算机可读出的可读记录介质的ROM24；以及作为存储部的RAM25，其作为在起动时读出控制程序以及其数据等、对每个利用CPU21的控制读出数据并进行存储的工作存储器而起作用。

本实施方式的生产管理系统1中的主机装置3具有：作为进行整体的控制的控制部的CPU（中央运算处理装置）31；除了作为计算机可读出的可读记录介质的ROM以及作为存储部的RAM之外的、存储庞大的生产信息的数据库32，其中上述ROM存储有控制程序以及其数据等，上述RAM作为在起动时读出控制程序以及其数据等、对每个利用CPU31的控制读出数据并进行存储的工作存储器而起作用。

作为可读记录介质的ROM除了硬盘之外，通过自由携带的光盘、磁光盘、磁盘以及IC存储器等构成也可。该控制程序以及其数据等存储在ROM中，但该控制程序以及其数据从其他的可读记录介质、或者经由无线、有线或因特网等下载到ROM中也可。

管理个人计算机2中的CPU21具有：数据输入单元211，基于控制程序以及其数据，对通过读卡器4读取的批次ID和其工序内容进行数据输入；流程核对单元212，对将数据输入单元211进行数据输入了的批次ID和其工序内容作为生产信息是否正确进行流程核对；核对结果显示控制单元213，使流程核对单元212进行的核对结果以及下一处理内容（处理程式）显示在显示画面上；程式号码发放单元214，如果核对结果作为操作指示是正确的话，则发放对应于批次ID的程式号码；处理结束通知单元215，向主机装置3通知结束了对该批次ID的处理；处理历史转送单元216，在处理历史写入后，向主机装置3转送该处理装置的处理历史数据；以及下一工序内容显示控制单元217，在显示画面上对“盒的取出”的消息进行显示控制，并且显示“入库储存库”或“下一工序的处理装置”。

如果核对结果作为操作指示不正确的话，则核对结果显示控制单元213在显示画面上对“警告”以及其“搬运目的地”进行显示控制。

主机装置3中的CPU31具有：程式注册单元311，基于控制程序以及其数据，接受管理个人计算机2的对应于批次ID的程式号码的发放，将对应于程式号码的程式（工序内容）注册到数据库32中；处理开始指示单元312，在利用程式注册单元311的对应于程式号码的程式内容（工序内容）的注册后，对处理装置经由管理个人计算机2指示“处理开始”；处理历史写入指示单元313，接受处理结束通知，以对该处理装置的管理个人计算机2写入该处理装置的处理历史数据的方式进行指示；处理历史注册单元314，接受来自管理个人计算机2的转送处理历史数据，在数据库32中注册该处理装置的处理历史数据；以及下一工序内容显示指示单元315，在管理个人计算机2中进行下一工序内容的显示指示。

采用上述结构，针对在操作者使用本实施方式的生产管理系统1来进行生产处理的情况下的一个例子进行说明。

图3是表示在使用图1的生产管理系统1进行生产处理的情况下的包含操作者的操作处理的生产管理系统1的动作例的流程图。

首先，如图3所示那样，在步骤S1中，由操作者对构成数据卡给予装置5的储存库管理个人计算机51进行操作，选择“卡输出信息”。对操作者，指示作为“卡输出信息”的从哪个储存库取出哪个盒（批次）、手动搬运到哪个处理装置。

接下来，在步骤S2中，操作者对储存库管理个人计算机51进行操作，从数据卡打印机52中打印输出数据卡53。

接着，在步骤S3中，操作者根据打印输出的数据卡53的内容，使该被指示的盒（批次）从源储存库54中出库。

之后，在步骤S4中，操作者将出库的盒（批次）手动搬运到规定的处理装置中。

进而，在步骤S5中，操作者在装置加载器中设置手动搬运来的盒（批次），并且通过读卡器4来读取数据卡53的内容。即，作为“盒的设置”，操作者在该处理装置中设置盒（批次）。通过使数据卡与设置在该处理装置中的读卡器4接近，从而进行“批次ID／工序读取”，读卡器4能无误地读取即正确地读取在该处理装置中进行处理的批次ID和其工序内容。

以上的步骤S1～S5是操作者执行由储存库管理个人计算机51以及数据卡53指示的事项并且使读卡器4读取数据卡53的内容的操作者的操作。

接下来，在步骤S6中，在管理个人计算机2中，数据输入单元211对以读卡器4读取的在该处理装置中进行处理的批次ID和其工序内容进行数据输入，流程核对单元212进行每个该处理装置的流程核对，进行“盒验证、程式查对”，核对结果显示控制单元213将该核对结果以及下一操作内容显示在显示部23中。即，设置在该处理装置中的管理个人计算机2确认读卡器4读取的批次ID以及其工序内容作为操作指示是否正确。如果读卡器4读入的批次ID以及其工序内容（流程）正确的话，则管理个人计算机2在其显示画面上对操作者进行受理确认。即，如果该批次ID以及其工序内容正确的话，则作为受理确认，操作者对处理装置指示处理开始也可，管理个人计算机2的程式号码发放单元214发放对应于批次ID的程式号码，在步骤S7中，主机装置3受理对应于该批次ID的程式号码，主机装置3的程式注册单元311在数据库32中注册盒（批次）以及程式（工序内容）。

在步骤S8中，在利用主机装置3的程式注册单元311的对应于批次ID的程式号码的注册后，处理开始指示单元312对处理装置自动指示“处理开始”。

在步骤S6中，如果作为流程核对单元212核对后的结果是该批次ID以及其工序内容不正确的话（否），则核对结果显示控制单元213在该管理个人计算机2的显示画面上对“警告”以及其“搬运目的地”进行显示控制。

以上的步骤S6～S8是管理个人计算机2以及主机装置3进行的动作。

接下来，在步骤S9中，在显示画面上发出“警告”的情况下，操作者从该处理装置中取下盒（批次），将该盒（批次）手动搬运到正规的搬运目的地的处理装置中。

进而，在步骤S8中，根据处理开始指示单元312的“处理开始指示”，处理装置开始处理，在一定时间后，处理装置结束该处理。在处理装置中，在步骤S10中，管理个人计算机2的处理结束通知单元215对主机装置3通知结束了对该盒（批次）的处理，主机装置3的处理历史写入指示单元313接受该处理结束通知，在步骤S11中，以对该处理装置的管理个人计算机2写入处理历史的数据的方式进行指示，管理个人计算机2的处理历史转送单元216向主机装置3转送该处理装置的处理历史数据。在主机装置3中，接受来自管理个人计算机2的处理历史数据，主机装置3的处理历史注册单元314在数据库32中注册该处理装置的处理历史数据。

进而，在步骤S12中，主机装置3判断是否对该盒（批次）结束了处理，如果对该盒（批次）结束了处理的话（是），则主机装置3的下一工序内容显示指示单元315在步骤S13中向管理个人计算机2进行下一工序内容的显示指示，管理个人计算机2的下一工序内容显示控制单元217在其显示画面上对“盒的取出”的消息进行显示控制，并且使管理个人计算机2的显示画面显示“入库储存库”。按照该指示，操作者从装置加载器中取下该盒（批次）并搬运到规定指示储存库中，使该盒（批次）向规定指示储存库入库。

此外，在步骤S12中，如果对该盒（批次）没有结束处理的话（否），则主机装置3的下一工序内容显示指示单元315在步骤S14中向管理个人计算机2进行下一工序内容的显示指示，管理个人计算机2的下一工序内容显示控制单元217在其显示画面上显示“盒的取出”的消息，并且在管理个人计算机2的显示画面上显示“下一工序的处理装置”。按照该指示，操作者从装置加载器中取下该盒（批次）并搬运至下一工序的处理装置中，在步骤S5中，操作者在装置加载器中设置该盒（批次），并且使数据卡靠近读卡器4，读卡器4读取卡信息。

以上的步骤S10～S14是管理个人计算机2以及主机装置3进行的动作。

再有，操作者在该处理装置的处理期间进行其他的工作，如果在管理个人计算机2的显示画面上显示出“盒的取出”以及“向下一工序的搬运”的指示的话，则从该处理装置中进行“盒的取出”，向下一工序手动搬运该盒（批次）。

总之，在管理个人计算机2中，具有：数据输入工序，数据输入单元211对通过读卡器4读取的批次ID和其工序内容进行数据输入；流程核对工序，流程核对单元212对将输入的批次ID和其工序内容作为生产信息是否正确进行流程核对；核对结果显示控制工序，核对结果显示控制单元213在显示画面上对流程核对单元212进行的核对结果以及下一操作内容进行显示控制；程式号码发放工序，如果核对结果作为操作指示是正确的话，程式号码发放单元214发放对应于批次ID的程式号码；处理结束通知工序，处理结束通知单元215向主机装置3通知对批次ID结束了处理装置的处理；处理历史转送工序，在处理装置的处理历史写入后，处理历史转送单元216向主机装置3转送该处理装置的处理历史数据；以及下一工序内容显示控制工序，下一工序内容显示控制单元217在显示画面上对“盒的取出”的消息进行显示控制，并且对“入库储存库”或“下一工序的处理装置”进行显示控制。

在主机装置3中，具有：程式注册工序，程式注册单元311接受程式号码的发放，在数据库中注册对应于程式号码的程式内容；处理开始指示工序，在程式内容的注册后，处理开始指示单元312对处理装置指示“处理开始”；处理历史写入指示工序，处理历史写入指示单元313接受处理结束通知，以对管理个人计算机2写入处理历史数据的方式进行指示；处理历史注册工序，处理历史注册单元314接受来自管理个人计算机2的转送处理历史数据，在数据库32中注册处理装置的处理历史数据；以及下一工序内容显示指示工序，下一工序内容显示指示单元315向管理个人计算机2进行下一工序内容的显示指示。

以上，针对作为主机装置3和操作者的操作接口的管理个人计算机2以及读卡器4进行了说明，接下来，针对即使是作为处理装置而存在离线装置的生产线，也可实现利用生产管理系统1的伪在线管理的管理个人计算机2的其他功能，使用图4详细地进行说明。

采用以上的本实施方式的生产管理系统1，通过作为操作人员的操作者按决定的周期以手动搬运的方式在预先决定的路线中巡回，从而按照在管理个人计算机3的显示画面或数据卡（RF-ID标签）的操作指示用画面中显示的生产信息，即使是未由离线装置自动接受批次的处理装置也能可靠地进行正确的操作处理和批次搬运/下一工序处理。由此，在手动搬运／离线装置存在的生产线中，进行面向操作管理以及省人工化的导航，能可靠地实现操作的高效化以及操作错误的防止。

图4是图1的生产管理系统中的作为离线装置的多个处理装置、管理个人计算机2以及主机装置3的配置图。

在图4中，在离线装置6中设置有以能确认处理装置异常（报警）、运转/非运转（维护（强制停止）、能处理、处理中、处理结束、处理等待）等的方式进行点亮显示的信号塔61。该离线装置6的信号塔61在作为本来目的的运转/非运转等装置状态的感测中被广泛使用。管理个人计算机2读取包含该装置状态信息的信号塔信号／警告信号（以下，仅称为信号塔信号），对离线装置6进行伪在线化，能实时得到离线装置6的装置状态信息。在和该信号塔61连接的信号线62设置有读取各种信号的译码装置63，以管理个人计算机2的能进行在线通信的电子设备来读取，由此不改造离线装置6的装置主体地从管理个人计算机2向进行工序管理的主机装置3发送离线装置6的装置状态信息。

该生产管理系统1具有：主机装置3，其对至少包含一个或多个离线装置6的一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及各管理个人计算机2，读取以点亮/非点亮通知对离线装置6附加的装置运转状况的信号塔信号（包含报警信号），将离线装置6的装置状态信息（异常（报警）、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息）向主机装置3进行发送，主机装置3基于至少包含离线装置6的一个或多个处理装置的各装置状态信息（异常（报警）、运转/非运转状态信息；装置是否空闲的信息），经由各管理个人计算机2，输出批次的操作指示信息。

在该情况下，在主机装置3中，在从多个离线装置6中同时检测出需要操作的信号时，综合判断批次的处理优先顺序、操作者当前的地点等，向每个离线装置6的管理个人计算机2输出操作指示信息。即，在从至少包含离线装置6的一个或多个处理装置中同时检测出需要操作的信号时，主机装置3综合判断批次的处理优先顺序、操作者当前的地点等的生产条件，经由至少包含离线装置6的一个或多个处理装置的各自的各管理个人计算机2使操作指示信息输出。此外，根据从离线装置6读取的信号塔信号中包含的处理开始信号和预先注册的离线装置6的处理时间来预测处理结束时刻，向每个离线装置6的管理个人计算机2输出操作预约指示。主机装置3根据从至少包含离线装置6的一个或多个处理装置中分别读取的处理开始信号和预先注册的处理时间来预测处理结束时刻，经由至少包含离线装置6的一个或多个处理装置的各自的各管理个人计算机2使操作预约指示信息输出。

经由了该各管理个人计算机2的批次的操作指示信息在各管理个人计算机2的显示部23的显示画面上以语句、图案等进行显示输出，或在异常（报警）时等通过蜂鸣器等输出声音，或可以考虑对操作者的各种的指示输出。

作为使用了该生产管理系统1的生产管理方法，读取以点亮/非点亮通知对离线装置6附加的装置运转状况的信号塔信号（包含报警信号），管理个人计算机2向主机装置3转送离线装置6的装置状态信息，主机装置3基于离线装置6的装置状态信息，经由管理个人计算机2，输出离线装置的批次的操作指示信息。即，在本实施方式的生产管理方法中，读取以点亮/非点亮通知对离线装置6附加的装置运转状况的信号塔信号（包含报警信号），各管理个人计算机2分别向主机装置3转送至少包含离线装置6的一个或多个处理装置的装置状态信息，主机装置3基于至少包含离线装置6的一个或多个处理装置的装置状态信息，经由对应的各管理个人计算机2，输出至少包含离线装置6的一个或多个处理装置的批次的操作指示信息。在该情况下，管理个人计算机2向主机装置3上载装置状态信息，基于上载的装置状态信息，主机装置3将批次的操作指示信息分别下载到与其对应的各管理个人计算机2中。

如上所述，根据包含离线装置6的装置状态信息（运转/非运转状态信息）的信号塔信号，实时地把握装置的运转/非运转状态，由此进行工序管理的主机装置3，能在每个离线装置6的管理个人计算机2的显示画面上对装设的生产工件（批次）搬运／处理指示正确地进行显示指示。此外，即使对于处在无法看见信号塔61的位置的操作者，也能通过对每个离线装置6的管理个人计算机2的显示画面的显示来可靠地通知处理结束。与此同时地，在产生操作所需要的信号的情况下，进行工序管理的主机装置3判断优先顺序，通过向每个离线装置6的管理个人计算机2的显示画面的显示指示，从而能管理操作的优先顺序。进而，由于能根据处理开始时刻预测处理结束时刻，所以通过编入向操作者显现先行（预定）操作指示等的功能，从而能提高操作者的操作效率（省人工化）。进而，主机装置3能自动合计离线装置6的装置运转状况数据，能实时并且正确地进行现有手合计的运转率管理，能改善线平衡等的工序。

如以上那样，使用本发明的优选的实施方式来对本发明进行了例示，但本发明并不应当被该实施方式所限定地进行解释。可以理解本发明应当仅通过权利要求书来解释其范围。可以理解本领域技术人员根据本发明的具体的优选的实施方式的记载，基于本发明的记载以及技术常识，能实施等价的范围。可以理解在本说明书中引用的专利、专利申请以及文献的内容本身与在本说明书中具体记载的内容同样地，其内容应当作为对本说明书的参考而进行引用。

产业上的可利用性

在对LSI制造工厂的化合物半导体工厂等的再开发、手动工厂中，对使用包含离线装置的一个或多个处理装置来制造发光二极管（LED）、半导体激光器元件等半导体发光元件等的半导体元件时的生产进行管理的生产管理系统和生产管理方法的领域中，读出离线装置的信号塔信号（包含警告信号），从管理个人计算机向进行工序管理的主机装置发送装置状态信息，在主机装置中也包含离线装置进行生产管理，因此即使是存在离线装置的生产线，也能实现利用生产管理系统的伪在线管理，在低投资、小规模线/局部的分散线中，能高效可靠地进行和在线控制同等的生产管理。

附图标记的说明

1 生产管理系统；

2 管理个人计算机；

21、31 CPU（中央运算处理装置）；

22 输入装置；

23 显示部；

24 ROM；

25 RAM；

32 数据库；

211 数据输入单元；

212 流程核对单元；

213 核对结果显示控制单元；

214 程式号码发放单元；

215 处理结束通知单元；

216 处理历史转送单元；

217 下一工序内容显示控制单元；

3 主机装置；

311 程式注册单元；

312 处理开始指示单元；

313 处理历史写入指示单元；

314 处理历史注册单元；

315 下一工序内容显示指示单元；

4 读卡器；

5 数据卡给予装置；

51 储存库管理个人计算机；

52 数据卡打印机；

53 数据卡；

54 源储存库；

6 离线装置；

61 信号塔；

62 信号线；

63 译码装置。

Claims (5)

1.一种生产管理系统，其中，

在使用至少包含离线装置的一个或多个处理装置来制造半导体元件的半导体制造工序中，

所述生产管理系统具有：主机装置，其对该一个或多个处理装置具有批次的处理流程进展管理功能；以及管理个人计算机，读取以点亮/非点亮通知对该离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，向该主机装置发送该离线装置的装置状态信息，

该主机装置基于该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的装置状态信息，经由对应的该处理装置的该管理个人计算机，使包含该离线装置的一个或多个处理装置的各批次的操作指示信息输出。

2.根据权利要求1所述的生产管理系统，其中，

在从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中同时检测出需要操作的信号时，所述主机装置综合判断批次的处理优先顺序、操作者当前的地点等的生产条件，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机，使操作指示信息输出。

3.根据权利要求1所述的生产管理系统，其中，

所述主机装置根据从所述至少包含离线装置的一个或多个处理装置中分别读取的处理开始信号和预先注册的处理时间来预测处理结束时刻，经由该至少包含离线装置的一个或多个处理装置的各自的管理个人计算机，使操作预约指示信息输出。

4.根据权利要求1所述的生产管理系统，其中，

所述管理个人计算机向所述主机装置上载所述装置状态信息，基于上载的装置状态信息，该主机装置将批次的操作指示信息下载到与其对应的管理个人计算机中。

5.一种生产管理方法，使用了权利要求1～4的任一项所述的生产管理系统，其中，

读取以点亮/非点亮通知对所述离线装置附加的装置运转状况的信号塔信号，管理个人计算机向该主机装置转送该离线装置的装置状态信息，该主机装置基于该离线装置的装置状态信息，经由该管理个人计算机，使该离线装置的批次的操作指示信息输出。

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