JP4675267B2 - 基板処理システム、群管理装置およびフロアレイアウト表示方法 - Google Patents
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Description
そして、これらの基板処理装置の運用は有機的かつ効率的に管理する必要があるので、これらの基板処理装置のコントローラをコンピュータによって構築された群管理装置にネットワークによってそれぞれ接続してなる基板処理システムにより、基板処理装置群を統括的に群管理することが、一般的に行われている。
このために、基板処理装置に障害が発生した場合には、基板処理装置の状態については認識することができても、その基板処理装置が作業フロアのどこの位置に配置されているのかを認識することが難しい。
その結果、不慣れな作業者の場合には、基板処理装置の配置図面(フロアレイアウト図面)を参照しても、フロア内を順に確認して障害が発生した基板処理装置を確認したりする等の無駄な作業時間が生じるために、作業効率の低下ひいては、装置稼働率の低下を招いていた。
具体的には、フロアレイアウト図面を参照しても、基板処理装置自体に状態を明示するシグナルタワー等が備え付けられていても、フロアがパーティション等の壁で仕切られている場合、遠くからそのシグナルタワーを見ることができないため、障害が発生した基板処理装置を発見することが容易ではなかった。
(1)基板に処理を施す基板処理装置と、少なくとも1台の基板処理装置に接続される群管理装置とによって構成される基板処理システムにおいて、
前記群管理装置は、予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、据え付けられる前記基板処理装置を割り当てることにより、前記フロアレイアウト画面および前記基板処理装置の位置情報と名称とを関連づけて保存するとともに、前記基板処理装置のレイアウト表示を実施し、障害の発生した基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に明示させて、フロア全体の基板処理装置群の状況を表示させることを特徴とする基板処理システム。
(2)基板に処理を施す基板処理装置に接続される群管理装置であって、
予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、据え付けられる前記基板処理装置を割り当てることにより、前記フロアレイアウト画面および前記基板処理装置の位置情報と名称とを関連づけて保存するとともに、前記基板処理装置のレイアウト表示を実施し、障害の発生した基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に明示させて、フロア全体の基板処理装置群の状況を表示させることを特徴とする群管理装置。
(3)予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、据え付けられる基板処理装置を割り当てることにより、前記フロアレイアウト画面および前記基板処理装置の位置情報と名称とを関連づけて保存するとともに、前記基板処理装置のレイアウト表示を実施し、障害の発生した基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に明示させて、フロア全体の基板処理装置群の状況を表示させることを特徴とするフロアレイアウト表示方法。
その結果、目的とする装置に容易に移動することができるので、障害から復旧する作業(例えば、メンテナンス作業)にかかる時間を減らし、装置稼働率の向上を図ることができる。
図1に示されているように、本実施の形態に係る基板処理システム(以下、群管理システムという。)10は、多数台の基板処理装置M1、M2、M3・・・Mnと、各基板処理装置M1〜Mnにネットワーク11によってそれぞれ接続された群管理装置20を備えている。
一般的なIC製造工場であっても、これらの基板処理装置M1〜Mnを100台以上備えており、100台以上の基板処理装置がIC製造工場の建屋内のクリーンルームと呼ばれているフロアに有機的かつ合理的にレイアウトされて設置されている。
各基板処理装置M1〜Mnはそれぞれに与えられたレシピを自動的に実施するために、パーソナルコンピュータ等から構築されたコントローラを備えており、これらのコントローラが群管理装置20にネットワーク11によって接続されている(図1参照)。
群管理装置20には、キーボードやマウス等によって構成された入力装置21、テレビモニタ等によって構成された表示装置22、記憶媒体駆動装置等によって構成された記憶装置23等が接続されている。
群管理装置20はクリーンルーム内に設置してもよいが、クリーンルーム外に設置されるのが、一般的である。
GUIシステム24は表示装置22に表示された操作画面上のアイコン(機能を表す図形記号)をマウスポインタで指示してクリックしたり、カーソルで指示して決定したりして選択することにより、画面を切り替えたり、処理や命令、判断およびデータ(情報)を入力することができるようにするソフトウエア、である。
群管理装置20には本発明の特徴点としてのアプリケーションソフトウエアであるレイアウト表示システム30が組み込まれている。
レイアウト表示システム30は、予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、実際に据え付けられる複数の基板処理装置を割り当てることにより、前記基板処理装置のレイアウト表示を行うように構成されている。
すなわち、レイアウト表示システム30は後述するプログラムフローを実行するように構成されている。
ところで、IC製造工場毎にフロアのレイアウトは異なるため、フロアレイアウト画面の背景を各IC製造工場毎に設定する必要がある。
しかし、フロアレイアウト画面の背景を各IC製造工場毎に設定していたのでは、レイアウト表示登録の都度に、多大の手間が浪費されることになる。
そして、各IC製造工場毎のフロアレイアウト画像の登録時においては、予め保存フォルダに保存した複数のフロアレイアウト画像データファイルの中から、これからレイアウト表示登録しようとするIC製造工場のフロアレイアウトの実際の背景に一致するフロアレイアウト画像データファイルを選択して、レイアウト表示システム30に読み込む(ステップA2)。
フロアレイアウト画像データファイルF(図3参照)が複数種類、IC製造工場のフロアレイアウト図面に基づいて作成され、図3に示されたフロアレイアウト画像データファイル保存フォルダに保存される。
なお、フロアレイアウト画像データファイル保存フォルダは、レイアウト表示システム30または群管理装置20の記憶装置23に設定されている。
フロア選択ボタンを押下すると、図5に示されているように、ポップアップウインドが表示されるので、オペレータは実際のIC製造工場のフロアレイアウトの背景に一致するフロアレイアウト画像データファイル(例えば、F1)を選択する。
表示されたフロアレイアウト画像データファイルF1が所望のフロアレイアウトの背景であれば、オペレータは登録ボタンを押下する。
このフロアレイアウト画像データファイルF1の画面の上に表示する基板処理装置M1〜Mnは、自由に配置可能である。
また、フロアレイアウト画像データファイルF1の画面の上にそれぞれ配置した各基板処理装置M1〜Mnの認識を容易にするために、各基板処理装置M1〜Mnの名称を表示し、各基板処理装置M1〜Mnの配置座標と各基板処理装置M1〜Mnの名称をそれぞれリンクさせる。
さらに、フロアレイアウトをより理解し易くするために、各基板処理装置M1〜Mnだけでなく、フロアの通路や出入口等の目印となる部分に対しても文字情報の表示を自由に可能とする。
図7に示されているように、操作画面のツールボックスの装置ボタンが押下されると、装置リストウインドが表示されるので、オペレータは所望の(例えば、M1)の装置名称を選択する。選択すると、装置用矩形データが操作画面に表示される。
登録ボタンが押下されると、図9に示されたフロアレイアウト表示ファイルが、レイアウト表示システム30または群管理装置20に設定されたフロアレイアウト表示ファイル保存フォルダに保存される。
この文字情報の表示は、例えば、図10に示された手順で実施することができる。
図10に示されているように、操作画面のツールボックスの範囲選択ボタンを押下し、フロアレイアウト画像データファイルF1に文字表示エリアを指定する。
続いて、文字ボタンを押下し、文字表示エリアに文字(例えば、入口や出口)を書き込んで行く。
図11に示されているように、操作画面のツールボックスの範囲選択ボタンを押下し、フロアレイアウト画像データファイルF1に詳細表示したいエリアを指定する。
この詳細表示の画面も画像データによって表示されるが、フロアレイアウト画像データファイルF1の指定したエリアの画像データをコピーし、操作画面の表示範囲内に収まるサイズに拡大後、詳細表示用の画像データとして保存する。
図12に示されているように、画像データ拡大時の拡大率と指定範囲の左上座標は詳細表示時における各基板処理装置の表示のための座標と表示サイズとを取得するために必要となるので、内部データとして保存する。図9のレイアウト表示ファイルと比較してフロアレイアウト画像データファイルF1と各基板処理装置の位置情報と名称だけでなく、さらに、これらに加え、拡大率や詳細レイアウトの位置情報と画像ファイルも関連付けて表示されている。
各基板処理装置の座標は詳細レイアウト背景用画像データの左上を原点として、取得した拡大率を元に詳細レイアウト画面上に表示する基板処理装置の座標を設定する。
この際に、オペレータは操作画面のフロアレイアウト表示を監視することにより、IC製造工場のフロア全体の基板処理装置群の状況を把握することができる。
これにより、障害発生中の基板処理装置が明確となり、また、オペレータは障害が発生した基板処理装置がフロアのどの位置に設置されているかを認識することができる。
マウスがクリックされたときの座標情報より該当する詳細表示ファイルを検索し、該当する詳細表示ファイルが登録されている場合に画面を切替えて表示する。
また、詳細表示の画面では基板処理装置の状態把握をより一層明確に行うために、表示された基板処理装置のエリアに基板処理装置状態表示エリアを設け、例えば、基板処理装置からの状態報告に合せ色を変化させて表示する。
また、基板処理装置と同じフロアに群管理装置を設置しておき、クリーンルーム外(事務所等)に設置された操作端末(パーソナルコンピュータ等)に基板処理装置のフロアレイアウトを表示させるように構成してもよい。
Claims (8)
- 基板に処理を施す基板処理装置と、少なくとも1台の基板処理装置に接続される群管理装置とによって構成される基板処理システムにおいて、
前記群管理装置は、予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、据え付けられる前記基板処理装置を割り当てることにより、前記フロアレイアウト画面および前記基板処理装置の位置情報と名称とを関連づけて保存するとともに、前記基板処理装置のレイアウト表示を実施し、障害の発生した基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に明示させて、フロア全体の基板処理装置群の状況を表示させることを特徴とする基板処理システム。 - 基板に処理を施す基板処理装置に接続される群管理装置であって、
予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、据え付けられる前記基板処理装置を割り当てることにより、前記フロアレイアウト画面および前記基板処理装置の位置情報と名称とを関連づけて保存するとともに、前記基板処理装置のレイアウト表示を実施し、障害の発生した基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に明示させて、フロア全体の基板処理装置群の状況を表示させることを特徴とする群管理装置。 - 予め登録しておいた複数のフロアレイアウト画面ファイルから所定のフロアレイアウト画面ファイルを選択して表示し、この選択されたフロアレイアウト画面内に、据え付けられる基板処理装置を割り当てることにより、前記フロアレイアウト画面および前記基板処理装置の位置情報と名称とを関連づけて保存するとともに、前記基板処理装置のレイアウト表示を実施し、障害の発生した基板処理装置を前記フロアレイアウト画面に明示させて、フロア全体の基板処理装置群の状況を表示させることを特徴とするフロアレイアウト表示方法。
- 前記フロアレイアウト画面にはフロアの通路および/または出入口の目印が表示されることを特徴とする請求項3に記載のフロアレイアウト表示方法。
- 前記フロアレイアウト画面内における障害のあった前記基板処理装置の表示状態が切り替えられるように構成されることを特徴とする請求項3または4に記載のフロアレイアウト表示方法。
- 前記フロアレイアウト画面内においた指定されたエリアが選択されると、前記指定されたエリアが操作画面の表示範囲内に収まるサイズに拡大表示されるように構成されることを特徴とする請求項3、4または5に記載のフロアレイアウト表示方法。
- 前記拡大表示されたエリアに、基板処理装置状態表示エリアを設け、基板処理状態からの状態報告に合わせて表示を切り替えるように構成されることを特徴とする請求項6に記載のフロアレイアウト表示方法。
- 前記基板処理装置は、酸化膜形成装置、レジスト塗布装置、縮小投影露光装置、現像装置、ドライエッチング装置、アッシング装置、CVD装置、不純物導入装置、拡散装置、アニール装置、スパッタリング装置、ウエハダイシング装置、ダイボンディング装置、ワイヤボンディング装置、樹脂封止体成形装置、リード成形装置から選択される基板処理装置のうち少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項3〜7のいずれかに記載のフロアレイアウト表示方法。
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