JP3702436B2 - 半導体製造装置の管理装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置の管理装置に係わり、特に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部と、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部と、これらの間に形成された第３の表示部とを設け、第１又は第２の何れかの表示部のデータ等を選択すると、該当するデータ等に関する情報が他の表示部に表示され、第３の表示部には、その対応関係が表示される半導体製造装置の管理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の情報処理技術の飛躍的進歩から、多種多量の半導体チップが生産されている。これらの半導体は、インゴットからウェハーを切り出し、このウェハーに対してマスキング等を行い、更に、スパッタリング等を行っている。
【０００３】
この半導体チップの製造は、実際には６００〜８００程度の複雑な工程を経ており、特に、ＡＳＩＣ等の半導体チップは、多種類のチップを同一工場で量産する必要があり、その生産性の向上が強く望まれている。
【０００４】
半導体チップの工場では、処理が施されるウェハーをカセットに挿入し、このカセットを各工程を移動させることにより、各工程に配置されたマシンで各種処理が施される様に工夫されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の処理方法では、各工程のマシンの作動状態を作業員が充分把握することができず、半導体チップ工場の作業効率が向上しているとは言い難かった。
【０００６】
そこで作業員が、各工程のマシンを容易に把握することができ、半導体チップ工場の作業効率を向上させることができる半導体チップ工場の生産管理システムの実現が強く望まれていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題に鑑み案出されたもので、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第２の表示部に表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリーンルームを選択すると、前記第１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示される様に構成され、前記第３の表示部には、前記第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示がなされる構成となっている。
【０００８】
また本発明の、第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示が、選択されたクリーンルームから第１の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【０００９】
更に本発明は、使用者が入力手段より入力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「クリーンルーム別予約状況」に代えて、「クリーンルーム別処理残時間状況」を表示させる構成にすることもできる。
【００１０】
そして本発明は、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第１の表示部に表示された「マシン群別予約状況」に表示されたマシンの中から、使用者が入力手段より特定のマシンを選択すると、前記第２の表示部には、選択されたマシンの中の詳細な情報が表示され、前記第３の表示部には、前記第１の表示部の中から選択されたマシンと、前記第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる構成となっている。
【００１１】
また本発明は、第１の表示部の中から選択されたマシンと、前記第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第２の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００１２】
更に本発明は、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、使用者が入力手段より「未予約状況」の命令を入力すると、前記第１の表示部には、「未予約ロット情報」が表示され、前記第２の表示部には「マシンの予約状況の詳細」が表示され、前記第３の表示部には、前記第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる構成となっている。
【００１３】
そして本発明は、第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第１の表示部の「未予約状況」に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以上の様に構成された本発明は、ディスプレイ装置が情報を表示させ、演算処理手段が、ディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行う半導体製造装置の管理装置であり、このディスプレイ装置には、第１の表示部を、ディスプレイ装置の左側に形成し、第２の表示部を、ディスプレイ装置の右側に形成し、第３の表示部を、第１の表示部と第２の表示部との間に形成し、第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、第２の表示部に表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリーンルームを選択すると、第１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示され、第３の表示部には、第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示がなされるものである。
【００１７】
また本発明の、第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示が、選択されたクリーンルームから第１の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００１８】
更に本発明は、使用者が入力手段より入力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「クリーンルーム別予約状況」に代えて、「クリーンルーム別処理残時間状況」を表示させることもできる。
【００１９】
そして本発明は、第１の表示部に表示された「マシン群別予約状況」に表示されたマシンの中から、使用者が入力手段より特定のマシンを選択すると、第２の表示部には、選択されたマシンの中の詳細な情報が表示され、第３の表示部には、第１の表示部の中から選択されたマシンと、第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる。
【００２０】
また本発明は、第１の表示部の中から選択されたマシンと、第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第２の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００２１】
更に本発明は、使用者が入力手段より「未予約状況」の命令を入力すると、第１の表示部には、「未予約ロット情報」が表示され、第２の表示部には「マシンの予約状況の詳細」が表示され、第３の表示部には、第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる。
【００２２】
そして本発明は、第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第１の表示部の「未予約状況」に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００２５】
「原理」
【００２６】
図１に示す様に本発明は、ディスプレイ上の左側に第１の表示部１００を形成し、ディスプレイ上の右側に第２の表示部２００を形成させる。そして、第１の表示部１００と、第２の表示部２００との間に形成された第３の表示部３００とから形成されている。
【００２７】
本原理では、半導体製造装置の管理システムで説明する。
【００２８】
第１の表示部１００には、複数のマシン情報が表示されており、使用者が第１の表示部１００に表示されたマシンの中から特定のマシンを適宜の入力手段を使用して特定すると、対応する第２の表示部２００には、該当するマシンが既に予約されている「ロット情報」が表示される様になっている。この際、第３の表示部３００には、第１の表示部１００で選択されたマシンと、第２の表示部２００に表示された「ロット情報」とを関係付けるため、「矢印」の表示がなされる。
【００２９】
この入力手段は、タッチパネルやキーボード、マウス等、適宜のデータ入力手段を採用することができる。また第３の表示部３００は、「矢印」の記号に限ることなく、第１の表示部１００で選択されたマシンと、第２の表示部２００の「ロット情報」とを関係付けるためのものであれば、何れの表示であってもよい。
【００３０】
第３の表示部３００は、第１の表示部１００と第２の表示部２００との「インタラクション情報エリア」の機能を備えている。
【００３１】
なお上記原理は、「半導体製造装置の管理システム」の例で説明したが、「半導体製造装置の管理システム」に限定されるものではなく、何れの表示に応用することができる。
【００３２】
【実施例】
【００３３】
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００３４】
半導体工場では、処理が施されるウェハーをカセットに挿入し、このカセットを各工程を移動させることにより、各工程に配置されたマシンで各種処理が施している。
【００３５】
本実施例の半導体工場では、２４枚のウェハーをカセットに挿入し、このカセットをクリーンルーム内のマシンを移動させて、定められた工程を実施する様に構成されている。クリーンルーム内には、複数のマシンから構成されたマシン群が形成されており、作業員が、ウェハーが挿入されたカセットをストッカに装備することにより、指定されたマシンにカセットを装着させることができる。
【００３６】
図８は、本実施例の半導体製造装置の管理システムの構成を示す図である。
【００３７】
本実施例の半導体製造装置の管理システムは、端末手段１０００、１０００・・・・と、機器制御手段２０００と、ストッカ制御手段３０００と、演算処理手段１００００とから構成されている。
【００３８】
端末手段１０００は、入力手段１１００と、ディスプレイ手段１２００とが接続されている。
【００３９】
入力手段１１００は、使用者が、端末手段１０００に対して命令等を入力するためのもので、本実施例では、ディスプレイ手段１２００上に形成されたタッチセンサが採用されている。タッチセンサに限ることなく、マウスやキーボード等の入力装置等を採用することもできる。入力手段１１００は、使用者の命令等が入力可能であれば、何れの入力素子を採用することができる。
【００４０】
ディスプレイ手段１２００は、ディスプレイ上の左側に第１の表示部１００を形成し、ディスプレイ上の右側に第２の表示部２００を形成しており、第１の表示部１００と、第２の表示部２００との間に第３の表示部３００を形成している。
【００４１】
更にディスプレイ上にはタッチセンサが形成されており、使用者が、ディスプレイ上の情報を読み取りながら、命令等を入力することができる。
【００４２】
なお端末手段１０００は、複数用意することができ、それぞれが演算処理手段１００００に接続される。端末手段１０００は、クリーンルームの外や、クリーンルーム内、更に、演算処理手段１００００が設置されている機器室等に配備することができる。
【００４３】
機器制御手段２０００は、演算処理手段１００００の制御信号に基づき、半導体製造装置に装備されている各マシンを制御駆動する様になっている。
【００４４】
ストッカ制御手段３０００は、演算処理手段１００００の制御信号に基づき、各クリーンルームに配置されているストッカを制御駆動するためのものである。
【００４５】
演算処理手段１００００は、ホストコンピュータであり、ＣＰＵを備え、各種演算処理を行うと共に、半導体製造装置の管理システム全体の制御を司るものである。また比較的大きな記憶装置を備えており、データベースを構築する機能も備えている。
【００４６】
以上の様に構成された半導体製造装置の管理システムにより、半導体チップに対して各処理を行うためのマシンを総合的に管理することができる。
【００４７】
なお本明細書における演算処理手段には、演算処理手段１００００と端末手段１０００の中に装備されている演算処理機構の両者を示すものとする。
【００４８】
「第１実施例」
【００４９】
第１実施例では図２に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には、「マシン群別予約状況」を表示し、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、「クリーンルーム別予約状況」を表示する。
【００５０】
第１の表示部１００の「マシン群別予約状況」には、個々のマシンの予約状況が表示されている。即ち、そのマシンが今後、どの程度作業の予約が入っているかを示す様になっている。
【００５１】
第２の表示部２００の「クリーンルーム別予約状況」には、各クリーンルーム毎の予約状況が表示されている。本実施例では、６つのクリーンルームを同時に表示している。但し、第２の表示部２００の「クリーンルーム別予約状況」は、６つのクリーンルームの情報を同時に表示しているので、一覧性を向上させるために各マシンの最小限の情報のみを表示している。
【００５２】
そこで、６つのクリーンルームの中から、使用者が一つのクリーンルームを選択する。この選択は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。
【００５３】
使用者が第２の表示部２００に表示されているクリーンルームの中から、データを必要とするクリーンルームを選択すると、図３に示される様に、第１の表示部１００には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示される。そして、第３の表示部３００には、第２の表示部２００の選択されたクリーンルームを認識可能とするため、この選択されたクリーンルームから第１の表示部１００に向けて「矢印」表示がなされる。この第３の表示部３００の「矢印」が、「インタラクション情報エリア」に該当する。
【００５４】
次に使用者が、第１の表示部１００に表示されている選択されたクリーンルームのマシン群の中から、特定のマシンを選択する。この選択は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。
【００５５】
特定のマシンが選択されると、図４に示される様に、第２の表示部２００には、その選択された特定のマシンの処理中のロット情報及び予約ロット情報の詳細が表示される。そして、第３の表示部３００には、第１の表示部１００の選択された特定のマシンを認識可能とするため、この選択された特定のマシンから第２の表示部２００に向けて「矢印」表示がなされる。
【００５６】
更に使用者が、第１の表示部１００に表示されているマシン群の中から、他の特定のマシンを選択すると、第２の表示部２００には、該当するマシンの処理中のロット情報及び予約ロット情報の詳細が表示される。更に、第３の表示部３００には、新たに選択された特定のマシンを認識可能とするため、この選択された特定のマシンから第２の表示部２００に向けて「矢印」が移動して表示される。
【００５７】
以上の様に構成された第１実施例は、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００とディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００とを関連付けて表示し、使用者の選択に合わせて切り替えることができるので、１つのディスプレイで、多くの情報を確認処理することができる。
【００５８】
なお、上記第１実施例では図２に示す様に、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、「クリーンルーム別予約状況」を表示しているが、使用者の入力により、「クリーンルーム別予約状況」から「クリーンルーム別処理残時間状況」に切り替えることもできる。「クリーンルーム別処理残時間状況」は、クリーンルーム毎にマシンの処理残時間を表示したものである。
【００５９】
使用者は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサや、別体に設けられたキーボード等から入力して、「クリーンルーム別予約状況」から「クリーンルーム別処理残時間状況」に切り替えることもできる。更に、図３に示される様に、第１の表示部１００には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況を拡大して表示することもできる。
【００６０】
また、図２に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には、「マシン群別予約状況」を表示させることができるが、使用者は、第１の表示部１００に表示された「マシン群別予約状況」の中から、特定のマシンを選択し、詳細な情報をディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に表示することができる。特定のマシンの選択は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。第３の表示部３００には、第１の表示部１００の中から選択されたマシンを認識可能とするため、この選択されたマシンから第２の表示部２００に向けて「矢印」表示がなされる。そして、第１の表示部１００の中から、新たに別のマシンを選択すると、第３の表示部３００の「矢印」も移動する様になっている。
【００６１】
「第２実施例」
【００６２】
次に本発明の第２実施例を説明する。
本第２実施例は、上述の第１実施例で記載した様に、第１の表示部１００に表示された「マシン群別予約状況」の中から、特定のマシンを選択し、詳細な情報をディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に表示させた後、入力手段から「未予約状況」の命令を入力すれば、第１の表示部１００には、未予約ロット情報が表示される。従って図５に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には「未予約状況」を表示させ、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には「マシンの予約状況の詳細」を表示させることにより、予約と未予約とを左右対比させて表示することができる。
【００６３】
なお、「未予約状況」の表示の命令は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。
【００６４】
また第３の表示部３００には、第２の表示部２００の中から選択された「マシンの予約状況の詳細」を認識可能とするため、この選択されたマシンから第１の表示部１００の「未予約状況」に向けて「矢印」表示がなされる。そして、第２の表示部２００の中から、新たに別のマシンを選択すると、第３の表示部３００の「矢印」も移動する様になっている。
【００６５】
そして使用者がマシンの「予約」を行う場合には、例えば図５に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には「未予約状況」を表示させ、更に、第２の表示部２００に表示されている「マシンの予約状況の詳細」の中から特定のマシンを選択した後、入力手段から「予約状況」を命令すれば、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、「予約ロット情報」が表示される。
【００６６】
この予約作業は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。そして、第３の表示部３００には、情報の流れに応じて、「矢印」等が表示される。更に、新たな「予約」を第２の表示部２００で行えば、自動的に、第１の表示部１００の「未予約状況」も更新されて表示される。
【００６７】
また、使用者が図７に示す様に、「編集エディタ」の命令を入力すれば、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００の「予約ロット情報」は、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００に一時的に移動し、ここで、複雑な編集作業を行うこともできる。
【００６８】
この様に、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００の内容を、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００に一時的に移動させることにより、拡大された画面で簡便かつ確実に編集作業を行うことができる。
【００６９】
なお、「編集エディタ」の命令は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。特に、第３の表示部３００に該当する部分にタッチセンサを形成し、エディト作業の入力操作を行わせる構成にすることもできる。
【００７０】
「第３実施例」
【００７１】
本発明の第３実施例として、追加されるその他の機能を若干説明する。
半導体製造装置では、その処理の条件を適切に設定することが重要である。
従って図７に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００又はディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に、処理条件等の「ロット情報」を表示させることができる。
【００７２】
この「ロット情報」は、使用者の命令により分割させたり、更に、第１の表示部１００から第２の表示部２００へ移動させたり、逆に、第２の表示部２００から第１の表示部１００へと移動させることができる。
【００７３】
更に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００又はディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、クリーンルーム内の残ロットを一覧させたり、ウェハーが挿入されたカセットを移動させるためのストッカ残ロットの一覧を行うこともできる。
【００７４】
そして、出庫の確認や、保守、「ロット情報」の印刷等を行うことができる。
【００７５】
以上の様に、本発明を半導体の製造装置の管理装置として説明したが、半導体の製造装置の管理装置に限らず、何れの表示装置として応用することができる。
【００７６】
【効果】
以上の様に構成された本発明は、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第２の表示部に表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリーンルームを選択すると、前記第１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示される様に構成され、前記第３の表示部には、前記第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示がなされる構成となっているので、１画面を２つの表示部に分離し、その間を関係付ける表示部も備えているので、効率的で見易い半導体製造装置の管理装置を提供することができるという卓越した効果がある。
【００７７】
特に、半導体の製造装置の管理装置に応用すれば、多くの工程を有する処理においても、簡便かつ確実に工程管理等を行うことができるという卓越した効果がある。
【００７８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理を説明する図である。
【図２】本発明の第１実施例を説明する図である。
【図３】本発明の第１実施例を説明する図である。
【図４】 本発明の第１実施例を説明する図である。
【図５】 本発明の第２実施例を説明する図である。
【図６】本発明の第２実施例を説明する図である。
【図７】本発明の第２実施例を説明する図である。
【図８】本実施例の第３実施例を説明する図である。
【図９】本実施例の構成を説明する図である。
【符号の説明】
１００ 第１の表示部
２００ 第２の表示部
３００ 第３の表示部
１０００ 端末手段
１１００ 入力手段
１２００ ディスプレイ手段
２０００ 機器制御手段
３０００ ストッカ制御手段
１００００ 演算処理手段
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置の管理装置に係わり、特に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部と、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部と、これらの間に形成された第３の表示部とを設け、第１又は第２の何れかの表示部のデータ等を選択すると、該当するデータ等に関する情報が他の表示部に表示され、第３の表示部には、その対応関係が表示される半導体製造装置の管理装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
近年の情報処理技術の飛躍的進歩から、多種多量の半導体チップが生産されている。これらの半導体は、インゴットからウェハーを切り出し、このウェハーに対してマスキング等を行い、更に、スパッタリング等を行っている。
【０００３】
この半導体チップの製造は、実際には６００〜８００程度の複雑な工程を経ており、特に、ＡＳＩＣ等の半導体チップは、多種類のチップを同一工場で量産する必要があり、その生産性の向上が強く望まれている。
【０００４】
半導体チップの工場では、処理が施されるウェハーをカセットに挿入し、このカセットを各工程を移動させることにより、各工程に配置されたマシンで各種処理が施される様に工夫されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら上記従来の処理方法では、各工程のマシンの作動状態を作業員が充分把握することができず、半導体チップ工場の作業効率が向上しているとは言い難かった。
【０００６】
そこで作業員が、各工程のマシンを容易に把握することができ、半導体チップ工場の作業効率を向上させることができる半導体チップ工場の生産管理システムの実現が強く望まれていた。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は上記課題に鑑み案出されたもので、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第２の表示部に表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリーンルームを選択すると、前記第１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示される様に構成され、前記第３の表示部には、前記第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示がなされる構成となっている。
【０００８】
また本発明の、第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示が、選択されたクリーンルームから第１の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【０００９】
更に本発明は、使用者が入力手段より入力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「クリーンルーム別予約状況」に代えて、「クリーンルーム別処理残時間状況」を表示させる構成にすることもできる。
【００１０】
そして本発明は、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第１の表示部に表示された「マシン群別予約状況」に表示されたマシンの中から、使用者が入力手段より特定のマシンを選択すると、前記第２の表示部には、選択されたマシンの中の詳細な情報が表示され、前記第３の表示部には、前記第１の表示部の中から選択されたマシンと、前記第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる構成となっている。
【００１１】
また本発明は、第１の表示部の中から選択されたマシンと、前記第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第２の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００１２】
更に本発明は、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、使用者が入力手段より「未予約状況」の命令を入力すると、前記第１の表示部には、「未予約ロット情報」が表示され、前記第２の表示部には「マシンの予約状況の詳細」が表示され、前記第３の表示部には、前記第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる構成となっている。
【００１３】
そして本発明は、第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第１の表示部の「未予約状況」に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以上の様に構成された本発明は、ディスプレイ装置が情報を表示させ、演算処理手段が、ディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行う半導体製造装置の管理装置であり、このディスプレイ装置には、第１の表示部を、ディスプレイ装置の左側に形成し、第２の表示部を、ディスプレイ装置の右側に形成し、第３の表示部を、第１の表示部と第２の表示部との間に形成し、第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、第２の表示部に表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリーンルームを選択すると、第１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示され、第３の表示部には、第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示がなされるものである。
【００１７】
また本発明の、第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示が、選択されたクリーンルームから第１の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００１８】
更に本発明は、使用者が入力手段より入力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「クリーンルーム別予約状況」に代えて、「クリーンルーム別処理残時間状況」を表示させることもできる。
【００１９】
そして本発明は、第１の表示部に表示された「マシン群別予約状況」に表示されたマシンの中から、使用者が入力手段より特定のマシンを選択すると、第２の表示部には、選択されたマシンの中の詳細な情報が表示され、第３の表示部には、第１の表示部の中から選択されたマシンと、第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる。
【００２０】
また本発明は、第１の表示部の中から選択されたマシンと、第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第２の表示部に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００２１】
更に本発明は、使用者が入力手段より「未予約状況」の命令を入力すると、第１の表示部には、「未予約ロット情報」が表示され、第２の表示部には「マシンの予約状況の詳細」が表示され、第３の表示部には、第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる。
【００２２】
そして本発明は、第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第１の表示部の「未予約状況」に向けて表示される「矢印」とすることもできる。
【００２５】
「原理」
【００２６】
図１に示す様に本発明は、ディスプレイ上の左側に第１の表示部１００を形成し、ディスプレイ上の右側に第２の表示部２００を形成させる。そして、第１の表示部１００と、第２の表示部２００との間に形成された第３の表示部３００とから形成されている。
【００２７】
本原理では、半導体製造装置の管理システムで説明する。
【００２８】
第１の表示部１００には、複数のマシン情報が表示されており、使用者が第１の表示部１００に表示されたマシンの中から特定のマシンを適宜の入力手段を使用して特定すると、対応する第２の表示部２００には、該当するマシンが既に予約されている「ロット情報」が表示される様になっている。この際、第３の表示部３００には、第１の表示部１００で選択されたマシンと、第２の表示部２００に表示された「ロット情報」とを関係付けるため、「矢印」の表示がなされる。
【００２９】
この入力手段は、タッチパネルやキーボード、マウス等、適宜のデータ入力手段を採用することができる。また第３の表示部３００は、「矢印」の記号に限ることなく、第１の表示部１００で選択されたマシンと、第２の表示部２００の「ロット情報」とを関係付けるためのものであれば、何れの表示であってもよい。
【００３０】
第３の表示部３００は、第１の表示部１００と第２の表示部２００との「インタラクション情報エリア」の機能を備えている。
【００３１】
なお上記原理は、「半導体製造装置の管理システム」の例で説明したが、「半導体製造装置の管理システム」に限定されるものではなく、何れの表示に応用することができる。
【００３２】
【実施例】
【００３３】
本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
【００３４】
半導体工場では、処理が施されるウェハーをカセットに挿入し、このカセットを各工程を移動させることにより、各工程に配置されたマシンで各種処理が施している。
【００３５】
本実施例の半導体工場では、２４枚のウェハーをカセットに挿入し、このカセットをクリーンルーム内のマシンを移動させて、定められた工程を実施する様に構成されている。クリーンルーム内には、複数のマシンから構成されたマシン群が形成されており、作業員が、ウェハーが挿入されたカセットをストッカに装備することにより、指定されたマシンにカセットを装着させることができる。
【００３６】
図８は、本実施例の半導体製造装置の管理システムの構成を示す図である。
【００３７】
本実施例の半導体製造装置の管理システムは、端末手段１０００、１０００・・・・と、機器制御手段２０００と、ストッカ制御手段３０００と、演算処理手段１００００とから構成されている。
【００３８】
端末手段１０００は、入力手段１１００と、ディスプレイ手段１２００とが接続されている。
【００３９】
入力手段１１００は、使用者が、端末手段１０００に対して命令等を入力するためのもので、本実施例では、ディスプレイ手段１２００上に形成されたタッチセンサが採用されている。タッチセンサに限ることなく、マウスやキーボード等の入力装置等を採用することもできる。入力手段１１００は、使用者の命令等が入力可能であれば、何れの入力素子を採用することができる。
【００４０】
ディスプレイ手段１２００は、ディスプレイ上の左側に第１の表示部１００を形成し、ディスプレイ上の右側に第２の表示部２００を形成しており、第１の表示部１００と、第２の表示部２００との間に第３の表示部３００を形成している。
【００４１】
更にディスプレイ上にはタッチセンサが形成されており、使用者が、ディスプレイ上の情報を読み取りながら、命令等を入力することができる。
【００４２】
なお端末手段１０００は、複数用意することができ、それぞれが演算処理手段１００００に接続される。端末手段１０００は、クリーンルームの外や、クリーンルーム内、更に、演算処理手段１００００が設置されている機器室等に配備することができる。
【００４３】
機器制御手段２０００は、演算処理手段１００００の制御信号に基づき、半導体製造装置に装備されている各マシンを制御駆動する様になっている。
【００４４】
ストッカ制御手段３０００は、演算処理手段１００００の制御信号に基づき、各クリーンルームに配置されているストッカを制御駆動するためのものである。
【００４５】
演算処理手段１００００は、ホストコンピュータであり、ＣＰＵを備え、各種演算処理を行うと共に、半導体製造装置の管理システム全体の制御を司るものである。また比較的大きな記憶装置を備えており、データベースを構築する機能も備えている。
【００４６】
以上の様に構成された半導体製造装置の管理システムにより、半導体チップに対して各処理を行うためのマシンを総合的に管理することができる。
【００４７】
なお本明細書における演算処理手段には、演算処理手段１００００と端末手段１０００の中に装備されている演算処理機構の両者を示すものとする。
【００４８】
「第１実施例」
【００４９】
第１実施例では図２に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には、「マシン群別予約状況」を表示し、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、「クリーンルーム別予約状況」を表示する。
【００５０】
第１の表示部１００の「マシン群別予約状況」には、個々のマシンの予約状況が表示されている。即ち、そのマシンが今後、どの程度作業の予約が入っているかを示す様になっている。
【００５１】
第２の表示部２００の「クリーンルーム別予約状況」には、各クリーンルーム毎の予約状況が表示されている。本実施例では、６つのクリーンルームを同時に表示している。但し、第２の表示部２００の「クリーンルーム別予約状況」は、６つのクリーンルームの情報を同時に表示しているので、一覧性を向上させるために各マシンの最小限の情報のみを表示している。
【００５２】
そこで、６つのクリーンルームの中から、使用者が一つのクリーンルームを選択する。この選択は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。
【００５３】
使用者が第２の表示部２００に表示されているクリーンルームの中から、データを必要とするクリーンルームを選択すると、図３に示される様に、第１の表示部１００には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示される。そして、第３の表示部３００には、第２の表示部２００の選択されたクリーンルームを認識可能とするため、この選択されたクリーンルームから第１の表示部１００に向けて「矢印」表示がなされる。この第３の表示部３００の「矢印」が、「インタラクション情報エリア」に該当する。
【００５４】
次に使用者が、第１の表示部１００に表示されている選択されたクリーンルームのマシン群の中から、特定のマシンを選択する。この選択は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。
【００５５】
特定のマシンが選択されると、図４に示される様に、第２の表示部２００には、その選択された特定のマシンの処理中のロット情報及び予約ロット情報の詳細が表示される。そして、第３の表示部３００には、第１の表示部１００の選択された特定のマシンを認識可能とするため、この選択された特定のマシンから第２の表示部２００に向けて「矢印」表示がなされる。
【００５６】
更に使用者が、第１の表示部１００に表示されているマシン群の中から、他の特定のマシンを選択すると、第２の表示部２００には、該当するマシンの処理中のロット情報及び予約ロット情報の詳細が表示される。更に、第３の表示部３００には、新たに選択された特定のマシンを認識可能とするため、この選択された特定のマシンから第２の表示部２００に向けて「矢印」が移動して表示される。
【００５７】
以上の様に構成された第１実施例は、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００とディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００とを関連付けて表示し、使用者の選択に合わせて切り替えることができるので、１つのディスプレイで、多くの情報を確認処理することができる。
【００５８】
なお、上記第１実施例では図２に示す様に、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、「クリーンルーム別予約状況」を表示しているが、使用者の入力により、「クリーンルーム別予約状況」から「クリーンルーム別処理残時間状況」に切り替えることもできる。「クリーンルーム別処理残時間状況」は、クリーンルーム毎にマシンの処理残時間を表示したものである。
【００５９】
使用者は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサや、別体に設けられたキーボード等から入力して、「クリーンルーム別予約状況」から「クリーンルーム別処理残時間状況」に切り替えることもできる。更に、図３に示される様に、第１の表示部１００には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況を拡大して表示することもできる。
【００６０】
また、図２に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には、「マシン群別予約状況」を表示させることができるが、使用者は、第１の表示部１００に表示された「マシン群別予約状況」の中から、特定のマシンを選択し、詳細な情報をディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に表示することができる。特定のマシンの選択は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。第３の表示部３００には、第１の表示部１００の中から選択されたマシンを認識可能とするため、この選択されたマシンから第２の表示部２００に向けて「矢印」表示がなされる。そして、第１の表示部１００の中から、新たに別のマシンを選択すると、第３の表示部３００の「矢印」も移動する様になっている。
【００６１】
「第２実施例」
【００６２】
次に本発明の第２実施例を説明する。
本第２実施例は、上述の第１実施例で記載した様に、第１の表示部１００に表示された「マシン群別予約状況」の中から、特定のマシンを選択し、詳細な情報をディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に表示させた後、入力手段から「未予約状況」の命令を入力すれば、第１の表示部１００には、未予約ロット情報が表示される。従って図５に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には「未予約状況」を表示させ、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には「マシンの予約状況の詳細」を表示させることにより、予約と未予約とを左右対比させて表示することができる。
【００６３】
なお、「未予約状況」の表示の命令は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。
【００６４】
また第３の表示部３００には、第２の表示部２００の中から選択された「マシンの予約状況の詳細」を認識可能とするため、この選択されたマシンから第１の表示部１００の「未予約状況」に向けて「矢印」表示がなされる。そして、第２の表示部２００の中から、新たに別のマシンを選択すると、第３の表示部３００の「矢印」も移動する様になっている。
【００６５】
そして使用者がマシンの「予約」を行う場合には、例えば図５に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００には「未予約状況」を表示させ、更に、第２の表示部２００に表示されている「マシンの予約状況の詳細」の中から特定のマシンを選択した後、入力手段から「予約状況」を命令すれば、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、「予約ロット情報」が表示される。
【００６６】
この予約作業は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。そして、第３の表示部３００には、情報の流れに応じて、「矢印」等が表示される。更に、新たな「予約」を第２の表示部２００で行えば、自動的に、第１の表示部１００の「未予約状況」も更新されて表示される。
【００６７】
また、使用者が図７に示す様に、「編集エディタ」の命令を入力すれば、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００の「予約ロット情報」は、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００に一時的に移動し、ここで、複雑な編集作業を行うこともできる。
【００６８】
この様に、ディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００の内容を、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００に一時的に移動させることにより、拡大された画面で簡便かつ確実に編集作業を行うことができる。
【００６９】
なお、「編集エディタ」の命令は、ディスプレイ上に形成されたタッチセンサから行ってもよく、別体に設けられたキーボードから入力してもよい。特に、第３の表示部３００に該当する部分にタッチセンサを形成し、エディト作業の入力操作を行わせる構成にすることもできる。
【００７０】
「第３実施例」
【００７１】
本発明の第３実施例として、追加されるその他の機能を若干説明する。
半導体製造装置では、その処理の条件を適切に設定することが重要である。
従って図７に示す様に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００又はディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００に、処理条件等の「ロット情報」を表示させることができる。
【００７２】
この「ロット情報」は、使用者の命令により分割させたり、更に、第１の表示部１００から第２の表示部２００へ移動させたり、逆に、第２の表示部２００から第１の表示部１００へと移動させることができる。
【００７３】
更に、ディスプレイ上の左側に形成された第１の表示部１００又はディスプレイ上の右側に形成された第２の表示部２００には、クリーンルーム内の残ロットを一覧させたり、ウェハーが挿入されたカセットを移動させるためのストッカ残ロットの一覧を行うこともできる。
【００７４】
そして、出庫の確認や、保守、「ロット情報」の印刷等を行うことができる。
【００７５】
以上の様に、本発明を半導体の製造装置の管理装置として説明したが、半導体の製造装置の管理装置に限らず、何れの表示装置として応用することができる。
【００７６】
【効果】
以上の様に構成された本発明は、情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第２の表示部に表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリーンルームを選択すると、前記第１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示される様に構成され、前記第３の表示部には、前記第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示がなされる構成となっているので、１画面を２つの表示部に分離し、その間を関係付ける表示部も備えているので、効率的で見易い半導体製造装置の管理装置を提供することができるという卓越した効果がある。
【００７７】
特に、半導体の製造装置の管理装置に応用すれば、多くの工程を有する処理においても、簡便かつ確実に工程管理等を行うことができるという卓越した効果がある。
【００７８】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の原理を説明する図である。
【図２】本発明の第１実施例を説明する図である。
【図３】本発明の第１実施例を説明する図である。
【図４】 本発明の第１実施例を説明する図である。
【図５】 本発明の第２実施例を説明する図である。
【図６】本発明の第２実施例を説明する図である。
【図７】本発明の第２実施例を説明する図である。
【図８】本実施例の第３実施例を説明する図である。
【図９】本実施例の構成を説明する図である。
【符号の説明】
１００ 第１の表示部
２００ 第２の表示部
３００ 第３の表示部
１０００ 端末手段
１１００ 入力手段
１２００ ディスプレイ手段
２０００ 機器制御手段
３０００ ストッカ制御手段
１００００ 演算処理手段
Claims (7)
- 情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第２の表示部に表示された複数のクリーンルームの中から、使用者が入力手段より特定のクリーンルームを選択すると、前記第１の表示部には、選択されたクリーンルームのマシン群の詳細な予約状況が拡大されて表示される様に構成され、前記第３の表示部には、前記第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示がなされる半導体製造装置の管理装置。
- 第２の表示部の中から選択されたクリーンルームと、前記第１の表示部に表示されたマシン群の詳細な予約状況との対応を示し、選択されたクリーンルームが認識される様な表示が、選択されたクリーンルームから第１の表示部に向けて表示される「矢印」である請求項１記載の半導体製造装置の管理装置。
- 使用者が入力手段より入力した命令に基づき、第２の表示部に表示された「クリーンルーム別予約状況」に代えて、「クリーンルーム別処理残時間状況」を表示させる請求項１又は請求項２記載の半導体製造装置の管理装置。
- 情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、前記第１の表示部に表示された「マシン群別予約状況」に表示されたマシンの中から、使用者が入力手段より特定のマシンを選択すると、前記第２の表示部には、選択されたマシンの中の詳細な情報が表示され、前記第３の表示部には、前記第１の表示部の中から選択されたマシンと、前記第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる半導体製造装置の管理装置。
- 第１の表示部の中から選択されたマシンと、前記第２の表示部に表示されたマシンの詳細な情報との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第２の表示部に向けて表示される「矢印」である請求項４記載の半導体製造装置の管理装置。
- 情報を表示させるためのディスプレイ装置と、このディスプレイ装置を駆動させると共に、情報の処理を行うための演算処理手段とからなる半導体製造装置の管理装置であって、このディスプレイ装置には、前記ディスプレイ装置の左側に形成された第１の表示部と、該ディスプレイ装置の右側に形成された第２の表示部と、前記第１の表示部と該第２の表示部との間に形成された第３の表示部とが形成されており、前記第１の表示部には、個々のマシンが今後どの程度の作業の予約が入っているかの予約状況を示す「マシン群別予約状況」が表示され、前記第２の表示部には、各クリーンルーム毎に使用の予約が入っているかの予約状況である「クリーンルーム別予約状況」を表示する様になっており、使用者が入力手段より「未予約状況」の命令を入力すると、前記第１の表示部には、「未予約ロット情報」が表示され、前記第２の表示部には「マシンの予約状況の 詳細」が表示され、前記第３の表示部には、前記第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示がなされる半導体製造装置の管理装置。
- 第１の表示部に表示された「未予約ロット情報」と、前記第２の表示部に表示された「マシンの予約状況の詳細」との対応を示し、選択されたマシンが認識される様な表示が、選択されたマシンから第１の表示部の「未予約状況」に向けて表示される「矢印」である請求項６記載の半導体製造装置の管理装置。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6894318B2 (ja) | 2017-08-04 | 2021-06-30 | 株式会社荏原製作所 | 画面制御プログラムおよび半導体製造装置 |
-
1996
- 1996-04-15 JP JP11693896A patent/JP3702436B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09283395A (ja) | 1997-10-31 |
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