JP2003099114A

JP2003099114A - メンテナンス一括管理装置

Info

Publication number: JP2003099114A
Application number: JP2001289965A
Authority: JP
Inventors: Takaaki Onishi; 孝明大西
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-09-21
Filing date: 2001-09-21
Publication date: 2003-04-04

Abstract

(57)【要約】【課題】作業員が各装置に出向く回数を最小限に減少さ
せ、メンテナンス管理を簡単に行うこと。【解決手段】メンテナンス情報を送受信可能な複数の検
査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３
と、各検査・製造装置に通信手段（ＬＡＮ１４）を介し
て接続され、当該各装置のメンテナンス項目を一括管理
し、各検査・製造装置に対する異常・寿命を検出する管
理手段１７と、この管理手段により一括管理された各検
査・製造装置のメンテナンス情報を表示するモニタ装置
１６とを具備した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶ディス
プレイや有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディス
プレイなどのフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）、
又は半導体ウエハなどの半導体デバイスの検査・製造ラ
インに配置された複数の検査・製造装置における各ラン
プの寿命やモータの動作状態などのメンテナンス情報を
管理するメンテナンス一括管理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば液晶ディスプレイの検査・製造ラ
インには、複数の検査装置及び製造装置が配置されてい
る。このうち検査装置の種類は、例えばパターン検査、
線幅検査、マクロ検査、ミクロ検査、欠陥レビュー、反
射光目視検査、透過光目視検査、ミクロ結果レビューな
どである。

【０００３】製造装置の種類は、例えばスパッタリン
グ、ＣＶＤ（化学気相堆積）、ＰＶＤ（物理気相堆
積）、ＰＬＤ（パルスレーザ堆積）、ベーク、レジスト
塗布、アライナー、化学エッチング、リペアなどであ
る。

【０００４】これら検査・製造装置に対しては、個々の
装置毎の各メンテナンス対象、例えばランプやモータ、
ベルトなどの動作状態のメンテナンス管理が行われてい
る。例えば図８に示すように４台の検査・製造装置１−
１〜１−４が設けられている場合であれば、これら検査
・製造装置１−１〜１−４毎に各メンテナンス対象の各
検査項目１ａ〜１ｄ，２ａ〜２ｄ，…，４ａ〜４ｄが管
理されている。

【０００５】これら検査項目１ａ〜１ｄ，２ａ〜２ｄ，
…，４ａ〜４ｄは、各検査・製造装置１−１〜１−４毎
にそれぞれ４個づつのランプが使用されており、これら
ランプの寿命である。例えば検査・製造装置１−１にお
いて第１のランプ１ａ，第２のランプ１ｂ，第３のラン
プ１ｃ，第４のランプ１ｄである。

【０００６】これらランプ１ａ〜１ｄ，２ａ〜２ｄ，
…，４ａ〜４ｄに対するメンテナンス管理は、インライ
ン機として使用する検査装置であれば、ランプの平均寿
命の到来を判定する前にランプの交換タイミングを設定
し、この交換タイミングの確認を行なっている。

【０００７】この交換タイミングの確認は、各検査・製
造装置１−１〜１−４毎に設けられているアワーメータ
を作業員Ｑが随時確認することにより行われている。な
お、アワーメータは、ランプの点灯時間をカウントとし
て当該ランプの寿命を計っている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記メ
ンテナンス管理では、作業員Ｑが各検査・製造装置１−
１〜１−４毎のアワーメータを確認するために、随時各
検査・製造装置１−１〜１−４の設置場所まで出向かな
ければならず、上記ランプの確認だけでも１６個のラン
プのアワーメータを見る作業を行なわなければならず煩
雑である。そのうえ、ランプの個数だけ寿命の管理が必
要となる。

【０００９】又、各検査・製造装置１−１〜１−４に
は、ランプを交換したときにその時間情報を入力し、予
め設定された交換時期に近付くとそのメッセージを作業
員Ｑに知らせるためのダイアログ表示の装置を組み込ん
だものがあったとしても、作業員Ｑは、各検査・製造装
置１−１〜１−４に出向かないとそのメッセージを受け
取ることはできない。

【００１０】そこで本発明は、作業員が各装置に出向く
回数を最小限に減少させ、各装置に出向かなくても各装
置のメンテナンス管理が簡単に行なえるメンテナンス一
括管理装置を提供することを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、メンテナンス
情報を送受信可能な複数の検査・製造装置と、各検査・
製造装置に通信手段を介して接続され、当該各装置のメ
ンテナンス項目を一括管理し、各検査・製造装置に対す
る異常・寿命を検出する管理手段と、この管理手段によ
り一括管理された各検査・製造装置のメンテナンス情報
を表示するモニタ装置とを具備したことを特徴とするメ
ンテナンス一括管理装置である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１３】図１は本発明のメンテナンス一括管理装置
を適用した検査・製造システムの全体構成図である。こ
の検査・製造システムは、例えば液晶ディスプレイの検
査・製造ラインに設置されている。この液晶ディスプレ
イの製造ラインには、複数の検査・製造装置１０−１〜
１０−３，１１−１〜１１−３が設けられている。

【００１４】なお、これら検査・製造装置１０−１〜１
０−３，１１−１〜１１−３においてＭ１〜Ｍ３は、そ
れぞれメンテナンス対象の各検査項目を表わしている。

【００１５】このうち１群を形成する３台の検査・製造
装置１０−１〜１０−３は、１台のパーソナルコンピュ
ータ（以下、ＰＣと称する）１２に接続され、他の１群
を形成する３台の検査・製造装置１１−１〜１１−３
は、１台のパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと称す
る）１３に接続されている。

【００１６】これら検査・製造装置１０−１〜１０−
３，１１−１〜１１−３は、検査装置であれば、例えば
パターン検査、線幅検査、マクロ検査、ミクロ検査、欠
陥レビュー、反射光目視検査、透過光目視検査、ミクロ
結果レビューなどであり、製造装置であれば、例えばス
パッタリング、ＣＶＤ（化学気相堆積）、ＰＶＤ（物理
気相堆積）、ＰＬＤ（パルスレーザ堆積）、ベーク、レ
ジスト塗布、アライナー、化学エッチング、リペアなど
である。

【００１７】なお、マクロ検査は、例えば液晶ディスプ
レイに用いられるガラス基板に対して照明光を照射し、
検査員の目視によりガラス基板上のダスト・粒子の付着
や汚れ、傷、欠け等の欠陥部分を検出したり、又はガラ
ス基板に対して照明光を照射したときの反射光を撮像
し、そのモニター画像を検査員が目視により観察してガ
ラス基板上の上記欠陥部分を検出する。

【００１８】ミクロ検査は、マクロ検査で検出された欠
陥部分を顕微鏡を用いて拡大して観察したり、その顕微
鏡の拡大画像をモニター表示することによって欠陥部分
を検査する。

【００１９】上記ＰＣ１２，１３は、それぞれ各検査・
製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３の各
動作条件の各情報（レシピと称する）に従って当該検査
・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３を
動作制御する機能を有している。

【００２０】これらＰＣ１２，１３は、ローカルエリア
ネットワーク（ＬＡＮ）１４を介してＰＣ（ＣＩＭ：Co
mputer Integrated Manufacturing）１５に接続され
ている。

【００２１】このＰＣ１５は、ＬＡＮ１４を介して各Ｐ
Ｃ１２，１３との間で相互に情報を授受可能になってい
る。このＰＣ１５には、カラー液晶ディスプレイやＣＲ
Ｔディスプレイなどのモニタ装置１６が接続されてい
る。

【００２２】上記ＰＣ１５は、各検査・製造装置１０−
１〜１０−３，１１−１〜１１−３に対してそれぞれＬ
ＡＮ１４を介して各ＰＣ１２，１３との間で相互に通信
を行ない、これら検査・製造装置１０−１〜１０−３，
１１−１〜１１−３のメンテナンス対象における各項目
のメンテナンス情報を読み込んで一括管理する管理手段
１７の機能を備えている。

【００２３】ここで、メンテナンス対象項目とその情報
は、各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜
１１−３において例えば以下の内容になっている。

【００２４】メンテナンス対象項目は、例えばランプ、
吸着パッド、モータ、ボールネジ、ベルト（タイミング
ベルト）、キャタピラ内のケーブル、モニタなどであ
る。

【００２５】このうちランプは、例えば液晶ディスプレ
イに用いられるガラス基板の検査装置としてマクロ検査
やミクロ検査を行なうときの照明光源に用いるものであ
る。

【００２６】このランプのメンテナンス情報は、例えば
光量値、色温度、印加電圧値、効率（フィラメント温
度）、電力などである。このうち光量値は、所定の光量
よりも暗くなるとスイッチがオンする光センサを配置
し、この光センサに一定の電圧を印加したときのセンサ
出力状態を検出することにより取得する。又、光量値
は、照度計を配置し、この照度計に一定の電圧を印加し
たときの照度計の計測値情報から取得する。

【００２７】色温度は、例えば色温度計を配置し、この
色温度計に一定の電圧を印加したときの色温度計の計測
値情報から取得する。

【００２８】印加電圧値は、例えば光量計と電圧計とを
配置し、ランプが規定光量に達するための電圧値情報か
ら取得する。

【００２９】効率（フィラメント温度）は、例えば温度
計等からその情報を取得する。

【００３０】電力は、例えば光量計と電流計と電圧計と
を配置し、ランプが規定光量に達するための電力値情報
から取得する。

【００３１】さらに、メンテナンス対象項目である吸着
パッドは、ガラス基板をステージ上に吸着保持するため
のもので、そのメンテナンス情報は、例えば圧力センサ
の検出により取得する真空圧である。

【００３２】モータは、ガラス基板を載置したステージ
を移動するためのものや、ガラス基板を撮像するための
カメラを移動するためのもので、そのメンテナンス情報
は、例えばノイズ、振動、トルク、電力などである。

【００３３】ボールネジは、モータの回転駆動をステー
ジに伝達するためのもので、そのメンテナンス情報は、
例えばノイズ、振動などである。

【００３４】ベルトは、ステージ上にガラス基板を載置
するときや取り外すときにガラス基板を下降又は上昇さ
せるためのリフトピンに下降又は上昇の駆動を伝達する
ためのもので、そのメンテナンス情報は、例えば弾性、
ガタ量、振動などである。

【００３５】キャタピラ内のケーブルは、ステージと例
えばＰＣ１２，１３の周辺回路とを電気的に接続するた
めのもので、そのメンテナンス情報は、例えば弾性、ガ
タ量などである。

【００３６】モニタは、各検査・製造装置１０−１〜１
０−３，１１−１〜１１−３での検査結果などを表示す
るもので、そのメンテナンス情報は、例えば電力であ
る。

【００３７】上記管理手段１７には、上記の如く各検査
・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３の
全てのメンテナンス情報を読み込んで一括集中管理する
ためのソフトウエア（一括集中管理用プログラム）がイ
ンストールされている。

【００３８】この管理手段１７は、一括集中管理用プロ
グラムを起動することにより次のような各機能を有する
ものとなる。

【００３９】管理手段１７は、作業員Ｑの操作指示を受
けて、各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１
〜１１−３の各メンテナンス情報のうち所望の装置、例
えば検査・製造装置１０−１のみのメンテナンス情報を
モニタ装置１６に表示出力する機能を有している。

【００４０】管理手段１７は、図２に示すように各検査
・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３の
メンテナンス情報をメンテナンス情報表示欄Ｖ_１として
モニタ装置１６に表示出力すると共に、各検査・製造装
置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３の配置レイ
アウトを示す装置マップＶ_２をモニタ装置１６にビジュ
アル表示出力する機能を有している。

【００４１】図３はメンテナンス情報表示欄Ｖ_１と装置
マップＶ_２との具体的な表示例を示す図である。メンテ
ナンス情報表示欄Ｖ_１には、例えば検査・製造装置１０
−１〜１０−３，１１−１〜１１−３のうち検査動作を
行なう４台の検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１
−１を検査装置「１」〜「４」として表示している。

【００４２】このメンテナンス情報表示欄Ｖ_１には、４
台の検査装置「１」〜「４」に対する各メンテナンス対
象項目Ｍ１，Ｍ２、例えば各ランプＭ１，Ｍ２を使用し
た場合のランプ交換までの時間が表示されている。すな
わち、ランプＭ１を使用した場合に検査装置「１」では
２００ｈ（時間）、検査装置「２」では１３ｈ、検査装
置「３」では６０２ｈ、検査装置「４」では−５ｈであ
る。

【００４３】各メンテナンス対象項目Ｍ１，Ｍ２の設定
内容としては、項目Ｍ１に対して次回のランプ交換まで
１０００ｈ以上であれば「二重丸」、５００ｈ以上であ
れば「○」、１０ｈ以上であれば「△」、０ｈ以上であ
れば「×」を表示する項目がある。この項目において
「ダイアログは２０ｈ以下になると表示する」と「アラ
ームは５ｈ以下になると鳴らす」とがある。この表示で
は、「ダイアログは２０ｈ以下になると表示する」が作
業者Ｑによってチェックされ、管理手段１７は、ランプ
Ｍ１の残り使用時間が２０ｈ以下になると、その旨をモ
ニタ表示するものとなる。

【００４４】項目Ｍ２に対しても同様に、次回のランプ
交換まで１０００ｈ以上であれば「二重丸」、５００ｈ
以上であれば「○」、１０ｈ以上であれば「△」、０ｈ
以上であれば「×」を表示する項目がある。この項目に
おいて「ダイアログは２０ｈ以下になると表示する」と
「アラームは５ｈ以下になると鳴らす」とがある。この
表示では、「ダイアログは２０ｈ以下になると表示す
る」が作業者Ｑによってチェックされ、管理手段１７
は、ランプＭ１の残り使用時間が２０ｈ以下になると、
その旨をモニタ表示するものとなる。

【００４５】装置マップＶ_２は、実際の製造工場に設置
されている各検査装置「１」〜「４」やＰＣ（ホストコ
ンピュータとして表示）１５、このＰＣ１５と各検査装
置「１」〜「４」とを接続するためのハブ（ＨＵＢ）１
８の配置を図面化し、ビジュアル表示出力したものであ
る。

【００４６】又、このビジュアル表示には、少なくとも
通路１９，２０や非常口２１のレイアウトも表示されて
いる。

【００４７】具体的には、モニタ画面上において２本の
通路１９，２０が左右方向に表示され、一方の通路１９
の一方の側に各検査装置「１」〜「４」が所定の間隔を
おいて配置表示され、他方の側にＰＣ１５とハブ１８と
が配置表示されている。

【００４８】管理手段１７は、ビジュアル表示出力した
各検査装置「１」〜「４」のうち１つのメンテナンス対
象項目でもメンテナンスの必要がある検査装置、例えば
検査装置「１」を、他の検査装置「２」〜「４」とは異
なる形態、例えば記号化、色変化などの色分け表示する
機能を有している。

【００４９】管理手段１７は、ビジュアル表示出力した
各検査装置「１」〜「４」のうち所望の装置を作業者Ｑ
が指示すると、当該装置のメンテナンス情報を抽出して
表示する機能を有している。すなわち、装置マップＶ_２
の画面上において所望の装置として例えば検査装置
「１」上のカーソルを移動し、マウスをクリック操作し
て当該検査装置「１」を選択すると、この検査装置
「１」の表示色が例えば視覚的に分かり易い赤色系統の
色に変化し、かつ選択されなかった他の検査装置「２」
〜「４」を例えばグレー色に表示する機能を有してい
る。

【００５０】管理手段１７は、例えば４台の検査装置
「１」〜「４」のメンテナンス情報とメンテナンス期限
判定用の設定値とを比較し、メンテナンス情報が設定値
に近付くとメンテナンスを促す報知を行なう機能を有し
ている。

【００５１】又、管理手段１７は、例えば４台の検査装
置「１」〜「４」のうちいずれかの検査装置にエラー信
号が発生した場合、上記の如くメンテナンス情報と設定
値との比較によるメンテナンスを行なわず、検査装置
「１」〜「４」からのエラー信号を受けてメンテナンス
を促す報知を行なう機能を有している。

【００５２】メンテナンスを促す報知の方法として管理
手段１７は、モニタ装置１６にメッセージの表示した
り、同じようなメンテナンスを促すための絵や写真のよ
うな静止画やビデオ画像のような動画を表示する。

【００５３】さらに、メンテナンスを促す報知の方法と
して管理手段１７は、次のような各機能を有している。
すなわち、管理手段１７は、ブザーやスピーカを用いて
メンテナンスを促すための音声による鳴動、例えばアラ
ームや音楽、呼鈴を流す。この場合、管理手段１７は、
直接ブザーやスピーカを鳴動したり、又は外部装置を用
いてブザーやスピーカを鳴動する。外部装置としては、
例えばコンパクトディスクプレーヤ（ＣＤ）のような音
楽メディアを配信するものや、ビデオテープレコーダの
ような動画画像を配信するもの、シグナルタワーなどが
ある。

【００５４】又、管理手段１７は、電話回線を通じて作
業者の自宅や携帯電話機に通報を行なう機能を有してい
る。この場合、ＰＣ１５に作業者の自宅や携帯電話機の
電話番号を登録し、かつモデムを介して電話回線を接続
し、メンテナンスを促す際にはＰＣ１５に作業者の自宅
や携帯電話機に電話を掛けるものとなっている。

【００５５】なお、管理手段１７は、トランシーバ等の
無線機を用いてメンテナンスを促すようにしてもよい。

【００５６】管理手段１７は、例えば４台の検査装置
「１」〜「４」の各メンテナンス情報の履歴をメモリ２
２に記録する機能を有している。

【００５７】管理手段１７は、メモリ２２に記録された
例えば４台の検査装置「１」〜「４」の各メンテナンス
情報の履歴に基づいてメンテナンス期限判定用の設定値
を変更設定する機能を有している。

【００５８】例えば、メンテナンス対象項目として例え
ばランプの場合について説明すると、メンテナンス期限
判定用の設定値がランプ寿命に対して十分に大きいと、
作業者Ｑは、ランプの交換時期が未だ早いと判断してラ
ンプの交換作業は行なわない。ところが、このようなラ
ンプ寿命がメンテナンス期限判定用の設定値の前にラン
プ切れが起こったとする。

【００５９】この場合、ランプが切れたときまでのラン
プの使用時間を計算し、平均故障時間（ＭＴＢＦ：Mean
Time Before Failure）を推奨設定値とする、或い
はディフォルト値とする。そして、これら推奨設定値或
いはディフォルト値を新たなメンテナンス期限判定用の
設定値として変更設定する。なお、平均故障時間（ＭＴ
ＢＦ）に限らず、正規分布やワイブル分布を計算手法と
して用いてもよい。

【００６０】管理手段１７は、予め登録されたパスワー
ドが入力されたときだけ、メンテナンス情報をモニタ装
置１６に表示出力するように管理する機能を有してい
る。又、管理手段１７は、ハード的なキーロックを用い
て特定の作業者Ｑだけモニタ装置１６への表示ができな
いようにする機能を有している。

【００６１】次に、上記の如く構成された装置の作用に
ついて説明する。

【００６２】ＰＣ１５の管理手段１７は、ＬＡＮ１４を
通して各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１
〜１１−３のＰＣ１２，１３との間でデータの授受を行
ない、これら検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１
−１〜１１−３の全てのメンテナンス情報を読み込み、
これらメンテナンス情報をモニタ装置１６に表示出力す
る。

【００６３】この場合、管理手段１７は、作業員Ｑの操
作指示により所望の装置、例えば検査・製造装置１０−
１が選択指示されると、各検査・製造装置１０−１〜１
０−３，１１−１〜１１−３の各メンテナンス情報のう
ち検査・製造装置１０−１のみのメンテナンス情報をモ
ニタ装置１６に表示出力する。

【００６４】このとき、管理手段１７は、次のような方
法で各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜
１１−３のメンテナンス情報を読み込む。

【００６５】図４はメンテナンス情報の読み込み方法の
流れ図である。管理手段１７は、ステップ＃１におい
て、各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜
１１−３におけるメンテナンス対象項目、例えばラン
プ、吸着パッド、モータ、ボールネジ、ベルト（タイミ
ングベルト）、キャタピラ内のケーブル、モニタなどか
らメンテナンスの必要な箇所の項目を選択する。

【００６６】次に、管理手段１７は、ステップ＃２にお
いて、メンテナンスの必要な箇所の項目に対し、ＬＡＮ
１４を通して各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１
１−１〜１１−３のＰＣ１２，１３との間でデータの授
受を行ない、これら検査・製造装置１０−１〜１０−
３，１１−１〜１１−３からメンテナンスに必要な項目
のメンテナンス情報を読み込み、これらメンテナンス情
報をモニタ装置１６に表示出力する。

【００６７】このとき管理手段１７は、図３に示すよう
に各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１
１−３のメンテナンス情報をメンテナンス情報表示欄Ｖ
_１としてモニタ装置１６に表示出力すると共に、各検査
・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３の
配置レイアウトを示す装置マップＶ_２をモニタ装置１６
にビジュアル表示出力する。

【００６８】なお、メンテナンス情報表示欄Ｖ_１には、
上記の如く検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−
１〜１１−３のうち検査動作を行なう４台の検査・製造
装置１０−１〜１０−３，１１−１を検査装置「１」〜
「４」として表示する。

【００６９】次に、管理手段１７は、ステップ＃３にお
いて、例えば４台の検査装置「１」〜「４」の各メンテ
ナンス情報と各メンテナンス期限判定用の設定値とをそ
れぞれ比較し、メンテナンス情報が設定値に近付くとス
テップ＃４に移ってメンテナンスを促す報知を行なう。

【００７０】例えば、図３に示すメンテナンス情報表示
欄Ｖ_１には、４台の検査装置「１」〜「４」に対する各
メンテナンス対象項目Ｍ１，Ｍ２、例えば各ランプＭ
１，Ｍ２を使用した場合のランプ交換までの時間が表示
されている。

【００７１】又、メンテナンス情報表示欄Ｖ_１には、
「ダイアログは２０ｈ以下になると表示する」の項目が
作業者Ｑによってチェックされ、これにより例えばラン
プＭ１の残り使用時間が２０ｈ以下になると、その旨が
モニタ表示されるものとなっている。

【００７２】従って、管理手段１７は、例えばランプＭ
１の残り使用時間が２０ｈ以下になると、すなわちメン
テナンス情報が設定値に近付いたとしてメンテナンスを
促す旨をモニタ装置１６にモニタ表示する。

【００７３】具体的なメンテナンス情報が設定値に近付
くことの判断は、図５に示すメンテナンス情報の判断の
流れ図に従って行われる。この判断では、メンテナンス
対象の項目として例えばランプを挙げている。

【００７４】例えば４台の検査装置「１」〜「４」にお
けるＰＣ１２，１３は、ステップ＃１０において、それ
ぞれ当該検査・製造装置１０−１の電源が投入されてい
る状態（電源ＯＮ）に常にランプが点灯しているものと
判断し、この電源ＯＮの時間をカウントし、この期間を
ランプの点灯時間Ｔのメンテナンス情報として読み込
む。

【００７５】なお、ランプの点灯時間Ｔは、各ＰＣ１
２，１３がそれぞれ電源ＯＮの時間を積算するに限ら
ず、ランプの点灯時間を直接カウントしてもよい。

【００７６】次に、管理手段１７は、ＬＡＮ１４を通し
て各ＰＣ１２，１３との間でデータの授受を行ない、こ
れら検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１
１−３からランプの点灯時間Ｔを読み込む。

【００７７】次に、管理手段１７は、ステップ＃１１に
おいて、ランプの点灯時間Ｔとランプの平均寿命などか
ら決めたメンテナンス期限判定用の設定値ｔｈとを比較
する。

【００７８】この比較の結果、ランプの点灯時間Ｔが設
定値ｔｈよりも短ければ、管理手段１７は、ランプの使
用を許可（ＯＫ）すると判断する。この場合、管理手段
１７は、例えば図３に示すメンテナンス情報表示欄Ｖ_１
において、ランプ交換まで１０００ｈ以上であれば「二
重丸」、５００ｈ以上であれば「○」などを表示する。

【００７９】ところが、ランプの点灯時間Ｔが設定値ｔ
ｈよりも長ければ、管理手段１７は、ステップ＃１２に
移り、当該ランプが寿命であると判断する。この場合、
管理手段１７は、例えば図３に示すメンテナンス情報表
示欄Ｖ_１において、「×」を表示する。

【００８０】又、管理手段１７は、ランプが寿命である
と判断すると、このランプに対してメンテナンスを促す
報知を行なう。すなわち、管理手段１７は、モニタ装置
１６にメンテナンスを促すメッセージの表示したり、メ
ンテナンスを促すための絵や写真のような静止画やビデ
オ画像のような動画を表示する。

【００８１】又は、管理手段１７は、ブザーやスピーカ
を用いてメンテナンスを促すための音声による鳴動、例
えばアラームや音楽、呼鈴を流す。この場合、管理手段
１７は、直接ブザーやスピーカを鳴動したり、又はコン
パクトディスクプレーヤ（ＣＤ）などの外部装置を用い
てブザーやスピーカを鳴動する。

【００８２】又は、管理手段１７は、予め登録された作
業者の自宅や携帯電話機に電話を掛け、電話回線を介し
てメンテナンスを促す旨を送信する。

【００８３】さらに管理手段１７は、ビジュアル表示出
力した例えば検査装置「１」〜「４」のうちランプが寿
命となった検査装置、例えば検査装置「１」を他の検査
装置「２」〜「４」とは異なる形態、例えば記号化、色
変化などの色分け表示する。

【００８４】図６は別のメンテナンス情報の読み込み方
法の流れ図である。この読み込み方法は、例えば検査装
置「１」〜「４」にエラー信号が発生した場合の方法で
ある。

【００８５】管理手段１７は、例えば４台の検査装置
「１」〜「４」のうちいずれかの検査装置にエラー信号
が発生した場合、ステップ＃１から＃４に移り、メンテ
ナンス情報と設定値との比較によるメンテナンスを行な
わず、検査装置「１」〜「４」からのエラー信号を受け
てメンテナンスを促す報知を行なう。

【００８６】この場合の具体的なメンテナンス情報が設
定値に近付くことの判断は、図７に示すメンテナンス情
報の判断の流れ図に従って行われる。

【００８７】例えば４台の検査装置「１」〜「４」にお
けるＰＣ１２，１３は、それぞれステップ＃２０，＃２
１のようにランプがオン（ＯＮ）した時刻Ｔ１とオフ
（ＯＦＦ）した時刻Ｔ２とを検出し、ランプの点灯時間
Ｔ（Σ（Ｔ２−Ｔ１））をカウントして求める。

【００８８】次に、ＰＣ１５の管理手段１７は、ＬＡＮ
１４を通して各ＰＣ１２，１３との間でデータの授受を
行ない、各検査装置「１」〜「４」からランプの点灯時
間Ｔを読み込む。

【００８９】次に、管理手段１７は、ステップ＃２２に
おいて、ランプの点灯時間Ｔとランプの平均寿命などか
ら決めたメンテナンス期限判定用の各設定値th、th
とを比較する。

【００９０】ここで、設定値thは、例えばランプの平
均寿命などから決められるもので、そろそろ交換時期で
ある旨を報知するためのものである。

【００９１】設定値thは、これ以上使用すると、ラン
プが切れるという警告を表わすもので、この設定値th
を過ぎるとランプは殆ど切れてランプを使用することに
その保証が無いものである。

【００９２】上記比較の結果、ランプの点灯時間Ｔが設
定値thよりも短ければ（Ｔ≦th）、管理手段１７
は、ランプの使用を許可（ＯＫ）すると判断する。この
場合、管理手段１７は、ステップ＃２３に移り、例えば
図３に示すメンテナンス情報表示欄Ｖ_１において、ラン
プの使用を許可（ＯＫ）と判断した各検査装置「１」〜
「４」を例えば青色で表示する。

【００９３】これと共に管理手段１７は、ランプ交換ま
で１０００ｈ以上であれば「二重丸」、５００ｈ以上で
あれば「○」などを重ねて表示してもよい。

【００９４】又、上記比較の結果、ランプの点灯時間Ｔ
が各設定値th、thの間（th＜Ｔ≦th）であれ
ば、管理手段１７は、ランプがそろそろ交換時期である
ことを判断し、ステップ＃２４に移り、当該ランプの各
検査装置「１」〜「４」を例えば黄色で表示する。

【００９５】又、上記比較の結果、ランプの点灯時間Ｔ
が各設定値thよりも長ければ（th＜Ｔ）、管理手段
１７は、ランプを至急に交換しなければならないと判断
し、ステップ＃２５に移り、当該ランプの各検査装置
「１」〜「４」を例えば赤色で表示する。

【００９６】一方、例えば４台の検査装置「１」〜
「４」のうちいずれかの検査装置に例えばランプ切れの
エラー信号が発生すると、管理手段１７は、ＬＡＮ１４
を通して検査装置「１」〜「４」からのエラー信号を受
信する。

【００９７】この管理手段１７は、ステップ＃２６にお
いて、エラー信号を受信すると、上記の如くメンテナン
ス情報と設定値との比較によるメンテナンスを行なわ
ず、ステップ＃２５に強制的に移り、ランプを至急に交
換しなければならないと判断し、当該ランプの各検査装
置「１」〜「４」を例えば赤色で表示する。

【００９８】以上のような別のメンテナンス情報の読み
込み方法においてもランプに対するメンテナンスの報知
の方法としては、上記同様に、モニタ装置１６にメンテ
ナンスを促すメッセージの表示したり、メンテナンスを
促すための絵や写真のような静止画やビデオ画像のよう
な動画を表示する。又は、ブザーやスピーカを用いてメ
ンテナンスを促すための音声による鳴動を行なう。又
は、予め登録された作業者の自宅や携帯電話機に電話を
掛け、電話回線を介してメンテナンスを促す旨を送信す
る。

【００９９】さらに管理手段１７は、ビジュアル表示出
力した例えば検査装置「１」〜「４」のうちランプが寿
命となった検査装置、例えば検査装置「１」を他の検査
装置「２」〜「４」とは異なる形態、例えば記号化、色
変化などの色分け表示する。

【０１００】一方、モニタ装置１６に各検査・製造装置
１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３のメンテナン
ス情報をメンテナンス情報表示欄Ｖ_１として表示すると
共に、これら検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１
−１〜１１−３の配置レイアウトを示す装置マップＶ_２
をビジュアル表示している状態に、作業者Ｑが例えば検
査装置「１」上のカーソルを移動し、マウスをクリック
操作して当該検査装置「１」を選択すると、管理手段１
７は、選択された検査装置「１」の表示色を例えば視覚
的に分かり易い赤色系統の色に変化し、かつ選択されな
かった他の検査装置「２」〜「４」を例えばグレー色に
表示する。

【０１０１】これにより、作業者Ｑは、例えば現在見て
いる検査装置「１」が視覚的に分かり易くなり、当該検
査装置「１」に関するメンテナンス対象の項目の設定変
更の間違えを防止できる。

【０１０２】又、管理手段１７は、例えば４台の検査装
置「１」〜「４」から読み込んだ各メンテナンス情報の
履歴を随時メモリ２２に記録する。

【０１０３】又、管理手段１７は、各検査・製造装置１
０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３のメンテナンス
情報を設定・変更した場合、これら設定・変更したメン
テナンス情報とその操作を行なった作業者の履歴とをメ
モリ２２に記録する。

【０１０４】これにより、例えば各検査・製造装置１０
−１〜１０−３，１１−１〜１１−３の間で動作に差異
が生じたときに、メンテナンス情報及びその作業者Ｑの
履歴を見ることによって差異が生じた原因を究明でき
る。

【０１０５】又、管理手段１７は、メモリ２２に記録さ
れた例えば４台の検査装置「１」〜「４」の各メンテナ
ンス情報の履歴に基づいて上記推奨設定値或いはディフ
ォルト値を求め、これら値をメンテナンス期限判定用の
設定値を変更設定する。

【０１０６】なお、管理手段１７は、作業者Ｑを限定す
るために予め登録されたパスワードが入力されたときだ
け、メンテナンス情報をモニタ装置１６に表示出力する
ように管理する。この場合、管理手段１７は、ハード的
なキーロックを用いて特定の作業者Ｑだけモニタ装置１
６への表示ができないようにしてもよい。

【０１０７】このように上記一実施の形態においては、
ＰＣ１５の管理手段１７により各検査・製造装置１０−
１〜１０−３，１１−１〜１１−３の各ＰＣ１２，１３
に対してそれぞれＬＡＮ１４を介して通信を行ない、こ
れら検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１
１−３のメンテナンス対象項目の各メンテナンス情報を
読み込んで一括管理し、かつ各検査・製造装置１０−１
〜１０−３，１１−１〜１１−３のメンテナンス情報を
メンテナンス情報表示欄Ｖ_１として表示出力すると共
に、これら検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−
１〜１１−３の配置レイアウトを示す装置マップＶ_２を
ビジュアル表示出力するので、従来のように作業員Ｑが
各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１
−３毎の各アワーメータを確認するために、随時各検査
・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３の
設置場所まで出向くことなく、メンテナンス対象項目、
例えばランプの寿命の管理ができる。

【０１０８】従って、作業員Ｑが各検査・製造装置１０
−１〜１０−３，１１−１〜１１−３に出向く回数を最
小限に減少させ、各検査・製造装置１０−１〜１０−
３，１１−１〜１１−３に出向かなくても各検査・製造
装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３のメンテ
ナンス管理が簡単にできる。

【０１０９】又、作業員Ｑの操作指示を受けて所望の装
置、例えば検査・製造装置１０−１のみのメンテナンス
情報をモニタ装置１６に表示出力できるので、作業員Ｑ
が現在メンテナンスを必要とする例えば検査・製造装置
１０−１に対するメンテナンス対象項目の設定・変更が
間違えることなく確実にできる。

【０１１０】特に装置マップＶ_２において、実際の製造
工場に設置されている各検査装置「１」〜「４」やＰＣ
１５などの配置を図面化してビジュアル表示出力し、か
つメンテナンスの必要がある検査装置を、他の検査装置
とは異なる形態、例えば記号化、色変化などの色分け表
示するので、作業員Ｑが現在メンテナンスを必要とする
例えば検査・製造装置１０−１を間違えることなく、メ
ンテナンス対象項目の確認ミスやメンテナンス対象項目
の設定・変更等の各種情報の入力ミスを防止でき、さら
にこれら作業の効率を向上できる。

【０１１１】又、例えば４台の検査装置「１」〜「４」
のメンテナンス情報とメンテナンス期限判定用の設定値
とを比較し、メンテナンス情報が設定値に近付くとメン
テナンスを促す報知を行なうので、例えば各検査装置
「１」〜「４」における各ランプの寿命を認識し、ラン
プ切れになる前に確実にランプを交換することができ
る。

【０１１２】従って、例えば４台の検査装置「１」〜
「４」においてランプを切ることは、その検査・製造ラ
インを停止させることになるので、必ず事前にランプを
交換する必要がある。しかるに、本発明装置であれば、
ランプが切れる前に事前にランプを交換できる。

【０１１３】このときのメンテナンスを促す報知の方法
として例えば、ランプの使用を許可（ＯＫ）として当該
ランプの検査装置「１」〜「４」を例えば青色で表示し
たり、ランプがそろそろ交換時期であるとして当該ラン
プの各検査装置「１」〜「４」を例えば黄色で表示した
り、さらにランプを至急に交換しなければならないとし
て当該ランプの各検査装置「１」〜「４」を例えば赤色
で表示するので、ランプの使用状態を正確に把握でき
る。

【０１１４】例えば４台の検査装置「１」〜「４」のう
ちいずれかの検査装置にエラー信号が発生した場合に
は、これら検査装置「１」〜「４」からのエラー信号を
受けて直接的にメンテナンスを促す報知、特に至急にラ
ンプ交換を行なうことを出力するので、ランプ切れが近
くなってもそのランプの交換時期をその間近で行なうこ
とができる。

【０１１５】さらに、メンテナンスを促す報知の方法と
しては、メッセージを表示したり、メンテナンスを促す
ための絵や写真のような静止画やビデオ画像のような動
画を表示したり、さらに、ブザーやスピーカを用いてメ
ンテナンスを促すための音声による鳴動を行なったり、
電話回線を通じて作業者の自宅や携帯電話機に通報を行
なうので、作業員Ｑの視覚、聴覚に対して確実にメンテ
ナンスを促すことができる。

【０１１６】又、例えば４台の検査装置「１」〜「４」
の各メンテナンス情報の履歴をメモリ２２に記録するの
で、例えば各検査・製造装置１０−１〜１０−３，１１
−１〜１１−３の間で動作に差異が生じたときに、メン
テナンス情報及びその作業者Ｑの履歴を見ることによっ
て差異が生じた原因を究明できる。

【０１１７】管理手段１７は、メモリ２２に記録された
例えば４台の検査装置「１」〜「４」の各メンテナンス
情報の履歴に基づいてメンテナンス期限判定用の設定値
を変更設定するので、実際に使用した結果のメンテナン
ス対象項目のメンテナンス情報に応じて適切なメンテナ
ンス期限判定用の設定値を得ることができる。

【０１１８】又、予め登録されたパスワードが入力され
たときだけ、メンテナンス情報をモニタ装置１６に表示
出力するように管理するので、特定の作業者Ｑ以外にメ
ンテナンス情報の操作をできなくすることができる。

【０１１９】このようにパスワード入力により作業者Ｑ
を限定すれば、メンテナンス情報などの設定内容のプロ
テクトできてメンテナンス情報などの管理が容易にな
る。

【０１２０】なお、メンテナンスを実施したいという情
報を入力すると、自動的に初期値（デフォルト値）が設
定されるようにすれば、メンテナンス時の作業項目を簡
素化できる。

【０１２１】又、メンテナンス品の在庫情報を入力すれ
ば、ＭＴＴＲ（Mean Time To Repair）を小さくでき
る。

【０１２２】上記一実施の形態によれば、ランプのメン
テナンスに限らず、各検査・製造装置１０−１〜１０−
３，１１−１〜１１−３において吸着パッド、モータ、
ボールネジ、ベルト（タイミングベルト）、キャタピラ
内のケーブル、モニタなどについても、各検査・製造装
置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３に出向かな
くてもメンテナンス管理が簡単にできる。

【０１２３】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。

【０１２４】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【０１２５】例えば、上記一実施の形態では、液晶ディ
スプレイの検査・製造ラインに適用した場合について説
明したが、これに限らず、有機ＥＬディスプレイなどの
フラットパネルディスプレイの検査・製造ライン、さら
には各種製品の検査・製造ラインにも適用できる。

【０１２６】又、各検査・製造装置１０−１〜１０−
３，１１−１〜１１−３の各ＰＣ１２，１３に対してＬ
ＡＮ１４を介してＰＣ１５を接続しているが、これら検
査・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３
とＰＣ１５との間の通信手段としては、ＬＡＮ１４に限
らず、インターネットを用いてもよい。従って、各検査
・製造装置１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３に
対するＰＣ１５は、各検査・製造装置１０−１〜１０−
３，１１−１〜１１−３が設置された製造工場内に設け
る必要なく、例えば複数の製造工場における各装置の各
メンテナンス情報を一括集中管理できるように別の地域
（日本国内、外国等）に設立した一括管理センタにＰＣ
１４を設けてもよい。

【０１２７】さらに、検査・製造条件の表示欄Ｖ_１とビ
ジュアル表示されている装置マップＶ_２とを表示するモ
ニタ装置１６は、カラー液晶ディスプレイやＣＲＴディ
スプレイに限らず、発光ダイオード（ＬＥＤ）を用いた
ものや、各検査・製造装置１０−１〜１０−４などをシ
ンボル化して表わした配置図を記載した表示盤にランプ
等を用いて表示するようにしてもよい。

【０１２８】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、作
業員が各装置に出向く回数を最小限に減少させ、メンテ
ナンス管理を簡単に行なえるメンテナンス一括管理装置
を提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるメンテナンス一括管理装置の一
実施の形態を適用した検査・製造システムの構成図。

【図２】本発明に係わるメンテナンス一括管理装置の一
実施の形態におけるメンテナンス情報表示欄と装置マッ
プの表示を示す図。

【図３】本発明に係わるメンテナンス一括管理装置の一
実施の形態におけるメンテナンス情報表示欄と装置マッ
プとの具体的な表示例を示す図。

【図４】本発明に係わるメンテナンス一括管理装置の一
実施の形態におけるメンテナンス情報の読み込み方法の
流れ図。

【図５】本発明に係わるメンテナンス一括管理装置の一
実施の形態におけるメンテナンス情報の判断の流れ図。

【図６】本発明に係わるメンテナンス一括管理装置の一
実施の形態における別のメンテナンス情報の読み込み方
法の流れ図。

【図７】本発明に係わるメンテナンス一括管理装置の一
実施の形態における別のメンテナンス情報の判断の流れ
図。

【図８】従来における各検査・製造装置に対するメンテ
ナンス情報の取得方法を説明するための図。

【符号の説明】

１０−１〜１０−３，１１−１〜１１−３：検査・製造
装置１２，１３：パーソナルコンピュータ（ＰＣ）１４：ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）１５：ＰＣ（ＣＩＭ）１６：モニタ装置１７：管理手段１８：ハブ（ＨＵＢ）１９，２０：通路２１：非常口２２：メモリ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】メンテナンス情報を送受信可能な複数の
検査・製造装置と、前記各検査・製造装置に通信手段を
介して接続され、当該各装置のメンテナンス項目を一括
管理し、前記各検査・製造装置に対する異常・寿命を検
出する管理手段と、この管理手段により一括管理された前記各検査・製造装
置のメンテナンス情報を表示するモニタ装置と、を具備
したことを特徴とするメンテナンス一括管理装置。
【請求項２】前記モニタ装置に、前記各装置の配置レ
イアウトを示す装置マップをビジュアル表示出力し、メ
ンテナンスの必要がある前記装置を、他の前記装置とは
異なる形態で表示する機能を有することを特徴とする請
求項１記載のメンテナンス一括管理装置。
【請求項３】前記管理手段は、前記モニタ装置に、前
記ビジュアル表示した前記各装置のうち所望の装置を指
示すると、当該装置の前記メンテナンス情報を抽出して
表示することを特徴とする請求項２記載のメンテナンス
一括管理装置。
【請求項４】前記管理手段は、前記装置の前記メンテ
ナンス情報とメンテナンス期限判定用の設定値とを比較
し、前記メンテナンス情報が前記設定値に近付くとメン
テナンスを促す報知を行なう機能を有することを特徴と
する請求項１記載のメンテナンス一括管理装置。
【請求項５】前記管理手段は、前記各装置の前記各メ
ンテナンス情報の履歴を記録し、各メンテナンス情報の
履歴に基づいて前記メンテナンス期限判定用の設定値を
変更設定する機能を有することを特徴とする請求項１記
載のメンテナンス一括管理装置。
【請求項６】前記管理手段は、前記装置内の電源オン
の期間や前記装置内の稼動指令を発している期間を前記
メンテナンス情報として読み込む機能を有することを特
徴とする請求項１記載のメンテナンス一括管理装置。
【請求項７】前記管理手段は、予め登録されたパスワ
ードの入力により前記メンテナンス情報を前記モニタ装
置に表示出力する機能を有することを特徴とする請求項
１記載のメンテナンス一括管理装置。